JP2000248151A - Semiconductor-sealing resin composition and resin-sealed type semiconductor device - Google Patents

Semiconductor-sealing resin composition and resin-sealed type semiconductor device

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JP2000248151A
JP2000248151A JP11050123A JP5012399A JP2000248151A JP 2000248151 A JP2000248151 A JP 2000248151A JP 11050123 A JP11050123 A JP 11050123A JP 5012399 A JP5012399 A JP 5012399A JP 2000248151 A JP2000248151 A JP 2000248151A
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resin
resin composition
semiconductor
weight
parts
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JP11050123A
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Japanese (ja)
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Hideo Nagase
英雄 長瀬
Seiichi Akagi
清一 赤城
Teruki Aizawa
輝樹 相沢
Yasuyuki Hirai
康之 平井
Ken Nanaumi
憲 七海
Fumio Furusawa
文夫 古沢
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Showa Denko Materials Co Ltd
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Hitachi Chemical Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor-sealing resin composition which can improve curing properties without deteriorating various characteristics, such as mechanical characteristic, low water absorption and the like being characteristics of a thermocurable resin bearing a dihydrobenzoxazine ring, can clear a problem involved in a conventional epoxy resin sealing material such that the amount of a flame- retardant should be reduced from the view point of environmental protection and has excellent storage stability, and also to provide a semiconductor device sealed with the composition. SOLUTION: A semiconductor device is prepared by sealing a semiconductor element with a semiconductor-sealing resin composition comprising 100 pts.wt. of a thermocurable resin composition, as an essential component, which comprises a thermocurable resin bearing a dihydrobenzoxazine ring synthesized from a phenol, formaldehyde and an aromatic diamine, an epoxy resin and a phenol resin and has a melt viscosity of a mixture of these three components at 150 deg.C of not higher than 2P, 0.01-35 pts.wt. of an additive comprising at least one selected among curing accelerators, releasing agents, adhesion-imparting agents, colorants and flame-retardants and 200-1,200 pts.wt. of an inorganic filler.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体封止用樹脂
組成物及び樹脂封止型半導体装置に関し、特に従来一般
に用いられているエポキシ樹脂封止材を難燃性、電気特
性、耐リフロー性、保存安定性等において総合的に陵駕
するジヒドロベンゾオキサジン系樹脂の半導体封止用樹
脂組成物及び樹脂封止型半導体装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resin composition for semiconductor encapsulation and a resin-encapsulated semiconductor device, and more particularly to a conventional epoxy resin encapsulant which is used for flame retardancy, electrical characteristics, and reflow resistance. The present invention relates to a resin composition for semiconductor encapsulation of a dihydrobenzoxazine-based resin which comprehensively excels in storage stability and the like, and a resin-encapsulated semiconductor device.

【0002】[0002]

【従来の技術】樹脂封止型半導体装置には、従来エポキ
シ樹脂がそのバランスのとれた機械特性、耐熱性、生産
性の高い成形性等により広く用いられている。しかし、
半導体装置の薄型高密度化や表面実装方式の普及により
半導体装置に求められる特性はより厳しくなり、それに
伴ってエポキシ樹脂にもより優れた上記特性やより多く
の機能が必要とされるようになった。そのような要求に
応じるためにとられてきたエポキシ樹脂の改質方法とし
ては、具体的には、可撓化剤での変成・アロイ化による
低弾性率化、官能基密度の増加等が挙げられるが、これ
らの手法による改質も限界に近づきつつある。また更に
近年は、環境保全の観点から、難燃性を維持する上で不
可欠とされてきたハロゲン化物及びアンチモンの添加量
の低減が進められており、この点からも新しい樹脂系の
組成物が求められている。
2. Description of the Related Art Conventionally, epoxy resins have been widely used in resin-encapsulated semiconductor devices because of their well-balanced mechanical properties, heat resistance, and moldability with high productivity. But,
As semiconductor devices have become thinner and denser, and surface mounting methods have become more widespread, the characteristics required for semiconductor devices have become more stringent, and accordingly, the above-mentioned characteristics and more functions have been required for epoxy resins. Was. Modification methods of epoxy resins that have been taken to meet such requirements include, specifically, lowering the modulus of elasticity by denaturation and alloying with a flexibilizing agent, increasing the density of functional groups, and the like. However, reforming by these methods is approaching its limit. Further, in recent years, from the viewpoint of environmental protection, reductions in the addition amounts of halides and antimony, which have been indispensable for maintaining flame retardancy, have been promoted. From this point of view, new resin compositions have been developed. It has been demanded.

【0003】上記要求を達成する方法として、いくつか
の試みが為されている。例えば、特開平2−3445号
公報にはポリイミド樹脂を用いた組成物が半導体封止用
樹脂組成物として例示されている。しかし、ポリイミド
樹脂には可撓性、接着性が不十分であることに加え極め
て高価であり成形性も劣るという短所がある。そこで、
新規の樹脂系としてジヒドロベンゾオキサジン化合物が
提案されている(特開昭49−47387号公報、米国
特許5152939号明細書参照)。この化合物の硬化
反応は、エポキシ樹脂と類似の、ジヒドロベンゾオキサ
ジン環の開環重合反応を利用するものであるため、揮発
分の発生を殆ど伴わないといった特徴がある。一方、開
環重合反応を利用したジヒドロベンゾオキサジン化合物
の硬化物は、従来知られている熱硬化性樹脂と比較して
耐熱性が良好であり、しかも高強度且つ可撓性に優れて
いる。しかし、従来公知のジヒドロベンゾオキサジン化
合物においては、硬化に長時間を要するとともに、硬化
物の架橋密度が低くモールド成形直後の成形品の硬度が
低く、抜型が難しいため半導体封止用途としては使いづ
らいものであった。
Some attempts have been made to achieve the above-mentioned requirements. For example, in JP-A-2-3445, a composition using a polyimide resin is exemplified as a resin composition for semiconductor encapsulation. However, polyimide resins have disadvantages in that, in addition to insufficient flexibility and adhesiveness, they are extremely expensive and have poor moldability. Therefore,
Dihydrobenzoxazine compounds have been proposed as new resin systems (see JP-A-49-47387 and US Pat. No. 5,152,939). Since the curing reaction of this compound utilizes a ring-opening polymerization reaction of a dihydrobenzoxazine ring similar to that of an epoxy resin, it has a feature that almost no volatile components are generated. On the other hand, a cured product of a dihydrobenzoxazine compound utilizing a ring-opening polymerization reaction has good heat resistance, high strength and excellent flexibility as compared with conventionally known thermosetting resins. However, conventionally known dihydrobenzoxazine compounds require a long time for curing, have a low cross-linking density of the cured product, have low hardness of a molded product immediately after molding, and are difficult to remove from the mold, so that it is difficult to use as a semiconductor sealing application. Was something.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる状況
に鑑みなされたもので、ジヒドロベンゾオキサジン環を
有する熱硬化性樹脂の特徴である機械特性や低吸水率等
の諸特性を低下させることなく硬化性を向上させ、且つ
一般のエポキシ樹脂封止材の問題点である難燃剤の低減
及び保存安全性に優れた半導体封止用樹脂組成物及び該
組成物により封止した半導体装置を提供することを目的
とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is an object of the present invention to reduce various characteristics such as a mechanical characteristic and a low water absorption characteristic of a thermosetting resin having a dihydrobenzoxazine ring. Provided is a resin composition for semiconductor encapsulation, which has improved curability, is excellent in reducing flame retardants and is excellent in storage safety, which are problems of general epoxy resin encapsulants, and a semiconductor device encapsulated with the composition. The purpose is to do.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記目的
を達成するために鋭意研究を重ねた結果、芳香族ジアミ
ンから誘導されるジヒドロベンゾオキサジン環を有する
熱硬化性樹脂、1分子中にエポキシ基を2個以上有する
エポキシ樹脂及びフェノール樹脂、並びに特定量の無機
質充填材を配合することにより、ジヒドロベンゾオキサ
ジン環を有する熱硬化性樹脂とフェノール樹脂あるいは
エポキシ樹脂の組み合わせでは達し得なかった硬化性す
なわち硬化速度、及びモールド成形直後の成形品の硬度
を飛躍的に向上でき、更にインサートとの接着力に優れ
ておりこれで封止した半導体装置は耐リフロー性に優れ
ることを見出した。すなわち本発明は、フェノール類、
ホルムアルデヒド類、及び芳香族ジアミンから合成され
るジヒドロベンゾオキサジン環を有する熱硬化性樹脂、
エポキシ樹脂及びフェノール樹脂からなり、且つこれら
3成分の混合物の150℃における溶融粘度が2P以下
となる熱硬化性樹脂組成物を必須成分として含有し、こ
の熱硬化性樹脂組成物100重量部に対し、硬化促進
剤、離型剤、接着性付与剤、着色剤及び難燃剤から選ば
れる少なくとも1種からなる添加剤0.01〜35重量
部、及び無機質充填材200〜1200重量部からなる
半導体封止用樹脂組成物および該組成物で封止した半導
体装置に関する。
Means for Solving the Problems The present inventors have conducted intensive studies to achieve the above object, and as a result, have found that a thermosetting resin having a dihydrobenzoxazine ring derived from an aromatic diamine in one molecule By mixing an epoxy resin and a phenolic resin having two or more epoxy groups with a specific amount of an inorganic filler, a combination of a thermosetting resin having a dihydrobenzoxazine ring with a phenolic resin or an epoxy resin could not be achieved. It has been found that the curability, that is, the curing speed, and the hardness of a molded product immediately after molding can be remarkably improved, and that the semiconductor device sealed with the insert has excellent adhesive strength to the insert and has excellent reflow resistance. That is, the present invention relates to phenols,
Formaldehydes, and a thermosetting resin having a dihydrobenzoxazine ring synthesized from an aromatic diamine,
A thermosetting resin composition comprising an epoxy resin and a phenolic resin and having a melt viscosity of 2 P or less at 150 ° C. of a mixture of these three components is contained as an essential component, based on 100 parts by weight of the thermosetting resin composition. A semiconductor encapsulant comprising 0.01 to 35 parts by weight of an additive comprising at least one selected from the group consisting of a curing accelerator, a release agent, an adhesion-imparting agent, a colorant and a flame retardant, and 200 to 1200 parts by weight of an inorganic filler. The present invention relates to a resin composition for stopping and a semiconductor device sealed with the composition.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】本発明に用いられるジヒドロベン
ゾオキサジン環を有する熱硬化性樹脂は、フェノール性
水酸基を有する化合物とホルムアルデヒド及び芳香族ジ
アミン類から合成される。フェノール性水酸基を有する
化合物としては、フェノール、o,m,p−クレゾー
ル、キシレノール、ノニルフェノール、p−t−ブチル
フェノール、オクチルフェノール等、一価のフェノール
類が例示でき、これら化合物のうち1種以上を併用して
用いることもできる。また、ホルムアルデヒド源として
は80%以上のホルムアルデヒド含有品、特に92%以
上の濃度を有するパラホルムが好ましい。芳香族ジアミ
ン類としては、m−フェニレンジアミン、p−フェニレ
ンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、
4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジ
アミノジフェニルスルホン、2,2−ビス〔(4−アミ
ノフェノキシ)フェニル〕プロパン等が挙げられる。こ
れらジアミン類は単独でまたは2種以上併用して用いる
こともできる。特に4,4’−ジアミノジフェニルメタ
ンを用いることが作業性、特性向上の点で好ましい。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The thermosetting resin having a dihydrobenzoxazine ring used in the present invention is synthesized from a compound having a phenolic hydroxyl group, formaldehyde and aromatic diamines. Examples of the compound having a phenolic hydroxyl group include monovalent phenols such as phenol, o, m, p-cresol, xylenol, nonylphenol, pt-butylphenol, octylphenol, and one or more of these compounds are used in combination. It can also be used. As a formaldehyde source, a product containing 80% or more of formaldehyde, particularly paraform having a concentration of 92% or more is preferable. As aromatic diamines, m-phenylenediamine, p-phenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenylmethane,
4,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 2,2-bis [(4-aminophenoxy) phenyl] propane, and the like. These diamines can be used alone or in combination of two or more. In particular, it is preferable to use 4,4′-diaminodiphenylmethane in terms of workability and characteristics.

【0007】反応に用いられる溶剤には、メタノール、
エタノール、プロパノール、ブタノール等が挙げられ
る。特に、メタノールが価格、パラホルムとの親和性か
ら好ましい。上記ジヒドロベンゾオキサジン環を有する
熱硬化性樹脂の合成は、フェノール類とパラホルムを溶
剤中で懸濁させた後50℃〜70℃に加温し芳香族ジア
ミン類を15〜30分かけて添加するのが好ましい。5
0℃未満では、芳香族ジアミン類及びパラホルムが溶解
しないままに反応が進み、未反応のパラホルム、芳香族
ジアミン類が反応系内に残り樹脂として好ましくない。
70℃を越えると部分的に反応が進み均質な樹脂が得ら
れない。芳香族ジアミン類を添加後、反応温度を還流温
度(約80℃)に昇温し、乳化後2時間反応させる。反
応終了後、減圧下で溶剤及び水分を除去しジヒドロベン
ゾオキサジン環を有する熱硬化性樹脂を得る。上記反応
において、使用する溶剤の量は、パラホルムの量の0.
5倍〜2倍、特に1.0倍〜1.5倍が好ましい。0.
5倍未満では、パラホルムの未溶解部分が多く、均一に
反応しないため樹脂中に未反応原料が残り、特性の優れ
た樹脂は得られない。また2倍を越える場合には、反応
で副生する水を除去するのに時間がかかり過ぎる等の問
題が生ずるので好ましくない。上記のジヒドロベンゾオ
キサジン環を有する熱硬化性樹脂は、150℃以上、望
ましくは170〜220℃に加熱することにより、触媒
や硬化剤を用いないでも、副生成物を生じることなく硬
化する。
The solvents used for the reaction include methanol,
Ethanol, propanol, butanol and the like can be mentioned. Particularly, methanol is preferable from the viewpoint of price and affinity with paraform. In the synthesis of the thermosetting resin having a dihydrobenzoxazine ring, phenols and paraform are suspended in a solvent, and then heated to 50 to 70 ° C., and aromatic diamines are added over 15 to 30 minutes. Is preferred. 5
If the temperature is lower than 0 ° C., the reaction proceeds without dissolving the aromatic diamines and paraform, and unreacted paraforms and aromatic diamines remain in the reaction system, which is not preferable as a resin.
If the temperature exceeds 70 ° C., the reaction partially proceeds, and a homogeneous resin cannot be obtained. After the addition of the aromatic diamines, the reaction temperature is raised to the reflux temperature (about 80 ° C.), and the mixture is allowed to react for 2 hours after emulsification. After completion of the reaction, the solvent and water are removed under reduced pressure to obtain a thermosetting resin having a dihydrobenzoxazine ring. In the above reaction, the amount of the solvent used is 0.1% of the amount of paraform.
5 times to 2 times, particularly preferably 1.0 times to 1.5 times. 0.
If the ratio is less than 5 times, the undissolved portion of paraform is large and does not react uniformly, so that unreacted raw materials remain in the resin, and a resin having excellent properties cannot be obtained. On the other hand, if it is more than twice, it is not preferable because it takes too much time to remove water produced as a by-product in the reaction. The above-mentioned thermosetting resin having a dihydrobenzoxazine ring can be cured by heating to 150 ° C. or higher, preferably 170 to 220 ° C., without using a catalyst or a curing agent, without generating by-products.

【0008】本発明に用いられるジヒドロベンゾオキサ
ジン環を有する熱硬化性樹脂は、150℃での溶融粘度
が3P以下、好ましくは2P以下のものが用いられ2種
類以上を組み合わせて用いることもできる。本発明に用
いられるエポキシ樹脂としては、150℃での溶融粘度
が6P以下のもの、好ましくは3P以下のエポキシ樹脂
が用いられる。特に好ましくは1分子中にエポキシ基を
2個有するエポキシ樹脂を用いることで、例えばビフェ
ニル系エポキシ樹脂、ビスフェノールA系エポキシ樹脂
が挙げられる。また必要によりハロゲン化エポキシが用
いられる。難燃性の点から臭素含有量が30〜50重量
%の臭素化エポキシ樹脂が用いられ、特に好ましくは臭
素化ノボラック系エポキシ樹脂、テトラブロモビスフェ
ノールA系エポキシ樹脂が用いられる。上記エポキシ樹
脂の配合割合は、樹脂分全体の3〜67重量%、更に好
ましくは5〜58重量%である。3重量%未満であると
架橋密度が低く、成形直後の成形品に十分な硬度が得ら
れず、67重量%以上では吸水率が上昇する。ハロゲン
化エポキシ樹脂の配合割合は、樹脂分100重量部に対
して15重量部以下が適当であり、一般のエポキシ樹脂
封止材に比べハロゲンの量が少なくなるだけでなく、三
酸化アンチモンを使用せずに良好な難燃性が得られる。
本発明において、前記熱硬化性樹脂に配合されるフェノ
ール樹脂としては、150℃での溶融粘度が3P以下、
特に好ましくは2P以下のノボラック型フェノール樹脂
やキシリレン型フェノール樹脂が用いられる。ノボラッ
ク型フェノール樹脂としては、フェノールノボラック樹
脂やビスフェノールノボラック樹脂、フェノール変性キ
シレン樹脂、アルキルフェノール樹脂等が挙げられる。
これらは2種以上併用してもよい。
The thermosetting resin having a dihydrobenzoxazine ring used in the present invention has a melt viscosity at 150 ° C. of 3 P or less, preferably 2 P or less, and two or more kinds can be used in combination. As the epoxy resin used in the present invention, an epoxy resin having a melt viscosity at 150 ° C. of 6P or less, preferably 3P or less is used. Particularly preferably, an epoxy resin having two epoxy groups in one molecule is used, and examples thereof include a biphenyl epoxy resin and a bisphenol A epoxy resin. If necessary, a halogenated epoxy is used. From the viewpoint of flame retardancy, a brominated epoxy resin having a bromine content of 30 to 50% by weight is used, and a brominated novolak epoxy resin and a tetrabromobisphenol A epoxy resin are particularly preferably used. The mixing ratio of the epoxy resin is 3 to 67% by weight, more preferably 5 to 58% by weight of the whole resin. If it is less than 3% by weight, the crosslink density is low, and a molded product immediately after molding cannot have sufficient hardness, and if it is 67% by weight or more, the water absorption increases. The proportion of the halogenated epoxy resin is suitably 15 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the resin component. Not only the amount of halogen is smaller than that of a general epoxy resin sealing material, but also antimony trioxide is used. Good flame retardancy can be obtained without using.
In the present invention, the phenolic resin blended with the thermosetting resin has a melt viscosity at 150 ° C. of 3P or less,
Particularly preferably, a novolak type phenol resin or a xylylene type phenol resin having 2P or less is used. Examples of the novolak type phenol resin include a phenol novolak resin, a bisphenol novolak resin, a phenol-modified xylene resin, and an alkylphenol resin.
These may be used in combination of two or more.

【0009】ジヒドロベンゾオキサジン環を有する熱硬
化性樹脂は、それ自身自硬化性であるが硬化反応が遅
い。そこで、フェノール樹脂を樹脂分全体の10〜31
重量%、好ましくは13〜25重量%配合することによ
り、機械特性を低下させずに硬化性を向上させることが
できる。フェノール樹脂が10重量%未満の場合は十分
な硬化性が得られず、31重量%を越えると硬化性は向
上するが吸水率が増加し、機械特性が低下することがあ
る。本発明では、上記ジヒドロベンゾオキサジン環を有
する熱硬化性樹脂、エポキシ樹脂及びフェノール樹脂を
それぞれ所定量配合させてなる熱硬化性樹脂組成物であ
り、且つこの熱硬化性樹脂の150℃での溶融粘度が2
P以下となることが良好な硬化性及び成形性を得るため
に重要である。溶融粘度が2Pを超えると無機質充填材
の充填が困難となり、成形不良を生じることになる。本
発明において用いられる無機質充填材としては、溶融性
二酸化珪素粉末、硼酸亜鉛、及び水酸化アルミニウム等
が挙げられる。これらは1種または2種以上の混合物と
して用いられる。溶融性二酸化珪素粉末は、球状のもの
又は破砕状のもののいずれをも用いることができ、ある
いは両者を併用することも可能である。その粒径は0.
5〜30μmが適当であり、この範囲を逸脱すると強度
の低下あるいは成形不良が生じる。また、予め所定のカ
ップリング剤で表面処理した無機質充填材を使用するこ
ともできる。無機質充填材の配合量は、熱硬化性樹脂1
00重量部に対し、200〜1200重量部、更に好ま
しくは300〜800重量部が適当である。200重量
部未満では強度の低下及び熱膨張係数の低減効果の低下
が見られ、1200重量部を越えると成形が困難とな
る。
A thermosetting resin having a dihydrobenzoxazine ring is self-curing, but has a slow curing reaction. Therefore, the phenolic resin is used in an amount of 10 to 31
By blending by weight, preferably 13 to 25% by weight, curability can be improved without lowering mechanical properties. If the phenolic resin content is less than 10% by weight, sufficient curability cannot be obtained. If the phenolic resin content exceeds 31% by weight, the curability is improved, but the water absorption increases, and the mechanical properties may decrease. In the present invention, the thermosetting resin having a dihydrobenzoxazine ring, an epoxy resin, and a phenol resin are each mixed in a predetermined amount, and the thermosetting resin is melted at 150 ° C. Viscosity 2
It is important that the content be P or less in order to obtain good curability and moldability. If the melt viscosity exceeds 2P, it becomes difficult to fill with the inorganic filler, resulting in poor molding. Examples of the inorganic filler used in the present invention include fusible silicon dioxide powder, zinc borate, and aluminum hydroxide. These are used as one kind or a mixture of two or more kinds. As the fusible silicon dioxide powder, either spherical or crushed silicon dioxide powder can be used, or both can be used in combination. Its particle size is 0.
A thickness of 5 to 30 μm is appropriate. If the thickness is out of this range, a reduction in strength or poor molding occurs. In addition, an inorganic filler that has been surface-treated with a predetermined coupling agent in advance can also be used. The compounding amount of the inorganic filler is the thermosetting resin 1
200 to 1200 parts by weight, more preferably 300 to 800 parts by weight, per 100 parts by weight is suitable. If the amount is less than 200 parts by weight, the strength and the effect of reducing the coefficient of thermal expansion decrease, and if it exceeds 1200 parts by weight, molding becomes difficult.

【0010】本発明の半導体封止用樹脂組成物には、必
要に応じ、硬化促進剤、離型剤、接着付与剤、着色剤、
難燃剤等の添加剤を配合することができる。硬化促進剤
としては、カテコール、ビスフェノールA等の多官能フ
ェノール化合物、p−トルエンスルホン酸、p−フェノ
ールスルホン酸等のスルホン酸類、安息香酸、サリチル
酸、シュウ酸、アジピン酸等のカルボン酸類、コバルト
(II)アセチルアセテート、アルミニウム(III) アセチ
ルアセテート、ジルコニウム(IV)アセチルアセトネー
ト等の金属錯体、酸化カルシウム、酸化コバルト、酸化
マグネシウム、酸化鉄等の金属酸化物、水酸化カルシウ
ム、特に好ましくはイミダゾール及びその誘導体、ジア
ザビシクロウンデセン、ジアザビシクロノネン等の第三
級アミン及びこれらの塩、トリフェニルホスフィン、ト
リフェニルホスフィン・ベンゾキノン誘導体、トリフェ
ニルホスフィン・トリフェニルボロン塩、テトラフェニ
ルホスホニウム・テトラフェニルボレート等のリン系化
合物及びその誘導体が挙げられる。これらは1種で又は
2種以上の混合物として用いられる。硬化促進剤の配合
量は、熱硬化性樹脂組成物100重量部に対し、5重量
部以下、更に好ましくは3重量部以下であり、5重量部
を超えると吸水率の増加及び保存安定性が悪化する。
[0010] The resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention may optionally contain a curing accelerator, a release agent, an adhesion-imparting agent, a coloring agent,
Additives such as flame retardants can be blended. Examples of the curing accelerator include polyfunctional phenol compounds such as catechol and bisphenol A; sulfonic acids such as p-toluenesulfonic acid and p-phenolsulfonic acid; carboxylic acids such as benzoic acid, salicylic acid, oxalic acid and adipic acid; II) metal complexes such as acetyl acetate, aluminum (III) acetyl acetate, zirconium (IV) acetyl acetonate, metal oxides such as calcium oxide, cobalt oxide, magnesium oxide and iron oxide, calcium hydroxide, particularly preferably imidazole and Derivatives, tertiary amines such as diazabicycloundecene, diazabicyclononene and salts thereof, triphenylphosphine, triphenylphosphine / benzoquinone derivatives, triphenylphosphine / triphenylboron salts, tetraphenylphosphonate And phosphorus-based compounds such as um-tetraphenylborate and derivatives thereof. These are used alone or as a mixture of two or more. The compounding amount of the curing accelerator is 5 parts by weight or less, more preferably 3 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the thermosetting resin composition. When the amount exceeds 5 parts by weight, the increase in water absorption and the storage stability are reduced. Getting worse.

【0011】離型剤としては、ポリエステル系ワック
ス、モンタン酸エステルワックスやカルナバワックス等
が、着色剤としてカーボンブラック等が用いることがで
きる。接着付与剤としては、シランカップリング剤、例
えばアミノシラン、ジアミノシラン、トリアミノシラ
ン、ウレイド変性アミノシラン、ビニルシラン、ビニル
ベンジルアミノシラン、ベンジルアミノシラン、カチオ
ニックシラン、エポキシシラン、アニリノシラン等が挙
げられる。これらは1種で又は2種以上の混合物として
用いられる。また、必要に応じて一般に用いられている
アンチモン化合物を難燃剤として配合することもでき
る。
As the releasing agent, polyester wax, montanic acid ester wax, carnauba wax and the like can be used, and as the coloring agent, carbon black and the like can be used. Examples of the adhesion-imparting agent include silane coupling agents such as aminosilane, diaminosilane, triaminosilane, ureido-modified aminosilane, vinylsilane, vinylbenzylaminosilane, benzylaminosilane, cationic silane, epoxy silane, and anilinosilane. These are used alone or as a mixture of two or more. In addition, a commonly used antimony compound can be blended as a flame retardant, if necessary.

【0012】本発明において、必要に応じてエラストマ
ーを配合することができる。エラストマーを配合するこ
とにより樹脂と金属との接着力が更に向上する。用いら
れるエラストマーとしては、特に限定されないが、主鎖
の構造単位の一部が構造単位同士で架橋されたエラスト
マー及びジヒドロベンゾオキサジン環を有する熱硬化性
樹脂及びジヒドロベンゾオキサジン環が開環して生成す
るフェノール性水酸基と反応し得る官能基を有する液状
エラストマーが好ましく用いられる。主鎖の構造単位の
一部が構造単位同士で架橋されたエラストマーの場合、
特に好ましくは、アクリロニトリル−ブタジエン共重合
体エラストマーやシロキサン結合を有するモノマーを出
発原料として合成されたシリコーンゲル(例えば特開昭
63−241020号公報に示される、エポキシ及びア
ミノ変性シリコーンの混合物をフェノールノボラックを
分散媒且つ触媒として分散後ゲル化させたもの)が用い
られる。また、エラストマー中にジヒドロベンゾオキサ
ジン環を有する熱硬化性樹脂及びジヒドロベンゾオキサ
ジン環が開環して生成するフェノール性水酸基と反応し
得る、例えば、エポキシ基のような官能基、水酸基やカ
ルボキシル基等の溶解度パラメーターの高い官能基を有
するものが特に好ましい。これらのエラストマーの粒子
径は0.2mm以下が好ましい。
In the present invention, an elastomer can be blended if necessary. By blending the elastomer, the adhesive force between the resin and the metal is further improved. The elastomer to be used is not particularly limited, but is formed by opening an elastomer in which a part of the main chain structural units are crosslinked by structural units, a thermosetting resin having a dihydrobenzoxazine ring, and a dihydrobenzoxazine ring. A liquid elastomer having a functional group capable of reacting with a phenolic hydroxyl group is preferably used. In the case of an elastomer in which a part of the main chain structural units are cross-linked with each other,
Particularly preferably, a silicone gel synthesized from an acrylonitrile-butadiene copolymer elastomer or a monomer having a siloxane bond as a starting material (for example, a mixture of an epoxy- and amino-modified silicone disclosed in JP-A-63-241020, and a phenol novolak) Is gelled after dispersion as a dispersion medium and a catalyst). Further, a thermosetting resin having a dihydrobenzoxazine ring in the elastomer and a phenolic hydroxyl group generated by opening of the dihydrobenzoxazine ring can react with, for example, a functional group such as an epoxy group, a hydroxyl group or a carboxyl group. Those having a functional group having a high solubility parameter are particularly preferable. The particle size of these elastomers is preferably 0.2 mm or less.

【0013】これら架橋構造を有するエラストマーは、
ジヒドロベンゾオキサジン環を有する熱硬化性樹脂と混
合、硬化する際、粒子の凝集が起こらない限り、選択し
た粒子径をそのまま維持した海島型分散構造を容易に得
ることができ、硬化物の靭性が向上する。これに対して
架橋構造を有しないエラストマーを用いた場合のスピノ
ーダル分解等の熱硬化性樹脂組成物中にエラストマーを
析出分散させる方法では、エラストマーの粒子径の制御
が難しく、均一な海島構造ができないことがある。ジヒ
ドロベンゾオキサジン環を有する熱硬化性樹脂及びジヒ
ドロベンゾオキサジン環が開環して生成するフェノール
性水酸基と反応し得る官能基を有する液状エラストマー
の官能基としては、アミノ基、エポキシ基、カルボキシ
ル基、フェノール性水酸基が挙げられる。上記のエラス
トマーの配合割合は、前記熱硬化性樹脂組成物100重
量部に対して、好ましくは1〜50重量部、更に好まし
くは2〜40重量部である。1重量部未満であると、靭
性を向上させることが難しくなり、50重量部を越える
と機械特性が低下することがある。
These crosslinked elastomers are:
When mixed with a thermosetting resin having a dihydrobenzoxazine ring and cured, as long as the particles do not agglomerate, a sea-island type dispersion structure that maintains the selected particle size can be easily obtained, and the toughness of the cured product is improved. improves. In contrast, in a method of depositing and dispersing an elastomer in a thermosetting resin composition such as spinodal decomposition when an elastomer having no crosslinked structure is used, it is difficult to control the particle size of the elastomer, and a uniform sea-island structure cannot be obtained. Sometimes. Examples of the functional group of the liquid elastomer having a functional group capable of reacting with a thermosetting resin having a dihydrobenzoxazine ring and a phenolic hydroxyl group generated by opening the dihydrobenzoxazine ring include an amino group, an epoxy group, a carboxyl group, Phenolic hydroxyl groups are mentioned. The proportion of the elastomer is preferably 1 to 50 parts by weight, more preferably 2 to 40 parts by weight, based on 100 parts by weight of the thermosetting resin composition. If the amount is less than 1 part by weight, it is difficult to improve the toughness, and if it exceeds 50 parts by weight, the mechanical properties may be deteriorated.

【0014】また、本発明は上記樹脂組成物により、半
導体素子を封止した樹脂封止型半導体装置も提供するも
のである。上記の樹脂封止型半導体装置の製造方法は、
特に限定はされないが、加熱ロール等により60〜12
0℃で混練して樹脂組成物を調整し、然る後に金型内に
半導体素子を配置し、次いで得られた樹脂組成物を16
0〜220℃、成形圧20〜120kgf/cm2 で1
〜10分間圧縮成形または移送成形することにより硬化
させ、更に160〜220℃で1〜6時間後硬化させる
ことにより、より良好な特性を有する樹脂封止型半導体
装置が得られる。
The present invention also provides a resin-sealed semiconductor device in which a semiconductor element is sealed with the above resin composition. The method for manufacturing the resin-encapsulated semiconductor device described above includes:
Although it is not particularly limited, it is 60 to 12 by a heating roll or the like.
The resin composition was adjusted by kneading at 0 ° C., and then the semiconductor element was placed in a mold.
0-220 ° C, molding pressure 20-120kgf / cm 2 at 1
By curing by compression molding or transfer molding for 10 minutes to 10 minutes, and further by post-curing at 160 to 220 ° C. for 1 to 6 hours, a resin-sealed semiconductor device having better characteristics can be obtained.

【0015】[0015]

【実施例】以下、本発明の実施例及びその比較例によっ
て、本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれら
の実施例に限定されるものではない。 実施例1〜11、比較例1〜7 [1]ジヒドロベンゾオキサジン環を有する熱硬化性樹
脂の合成(I) フェノール0.94kg(10mol相当)、メタノー
ル900ml、95%パラホルム0.63kg(20m
ol相当)を混合し、加熱還流して、パラホルムをフェ
ノールに懸濁する。懸濁液を加温し50℃になったら、
4,4’−ジアミノジフェニルメタン0.99kg(5
mol相当)を分割して添加する。添加終了後、反応温
度を上昇させ、還流させる。反応液は乳化する。乳化し
てから反応を2時間継続する。反応終了後、減圧下に溶
剤及び副生成した水を留去し、ジヒドロベンゾオキサジ
ン環を有する熱硬化性樹脂を得た(溶融粘度1.2P/
150℃)。 [2]ジヒドロベンゾオキサジン環を有する熱硬化性樹
脂の合成(II) ビスフェノールF1.0kg(5mol相当)、アニリ
ン0.93kg(10mol相当)をメチルエチルケト
ン0.5kg中で混合し、80℃で5時間撹拌し、均一
な混合溶液を調整した。5リットルフラスコ中に、ホル
マリン1.62kgを仕込み90℃に加熱し、ここへビ
スフェノールF/アニリン/メチルエチルケトン混合溶
液を30分間かけて少しずつ添加した。添加終了後30
分間、還流温度に保ち、然る後に100℃で2時間66
66.1Pa以下に減圧して縮合水を除去し、反応し得
るヒドロキシル基の75%がジヒドロベンゾオキサジン
化された熱硬化性樹脂を得た(溶融粘度:0.8P/1
50℃)。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples of the present invention and comparative examples thereof, but the present invention is not limited to these examples. Examples 1 to 11, Comparative Examples 1 to 7 [1] Synthesis of thermosetting resin having dihydrobenzoxazine ring (I) Phenol 0.94 kg (corresponding to 10 mol), methanol 900 ml, 95% paraform 0.63 kg (20 m
ol) and heat to reflux to suspend paraform in phenol. When the suspension is heated to 50 ° C,
0.99 kg of 4,4'-diaminodiphenylmethane (5
(equivalent to 1 mol) are added in portions. After the addition is completed, the reaction temperature is raised and refluxed. The reaction solution is emulsified. After emulsification, the reaction is continued for 2 hours. After completion of the reaction, the solvent and by-produced water were distilled off under reduced pressure to obtain a thermosetting resin having a dihydrobenzoxazine ring (melt viscosity: 1.2 P /
150 ° C). [2] Synthesis of thermosetting resin having dihydrobenzoxazine ring (II) 1.0 kg (equivalent to 5 mol) of bisphenol F and 0.93 kg (equivalent to 10 mol) of aniline are mixed in 0.5 kg of methyl ethyl ketone, and the mixture is heated at 80 ° C. for 5 hours. The mixture was stirred to prepare a uniform mixed solution. 1.62 kg of formalin was charged into a 5 liter flask, heated to 90 ° C., and a mixed solution of bisphenol F / aniline / methyl ethyl ketone was gradually added thereto over 30 minutes. 30 after completion of addition
For 2 minutes at reflux temperature, then at 100 ° C. for 2 hours 66
The pressure was reduced to 66.1 Pa or less to remove the condensed water, thereby obtaining a thermosetting resin in which 75% of the reactive hydroxyl groups were converted to dihydrobenzoxazine (melt viscosity: 0.8 P / 1).
50 ° C).

【0016】[3]ノボラック型フェノール樹脂の合成
(A) フェノール2.4kg、ホルマリン(37%水溶液)
0.13kg,パラホルム0.5kg、シュウ酸3gを
5リットルフラスコに仕込み、還流温度で4時間反応さ
せた。引き続き、内部を6666.1Pa以下に減圧し
て未反応のフェノール及び水を除去した。(溶融粘度:
2P/150℃)。 [4]ノボラック型フェノール樹脂の合成(B) フェノール2.8kg、ホルマリン(37%水溶液)
0.25kg,パラホルム0.8kg、8%塩酸11
g、シュウ酸8gを5リットルフラスコに仕込み、還流
温度で6時間反応させた。引き続き、内部を6666.
1Pa以下に減圧して未反応のフェノール及び水を除去
した。(溶融粘度:10P/150℃)。 [5]エポキシ樹脂 ビフェニル型エポキシ樹脂(油化シェルエポキシ株式会
社製商品名YX−4000H エポキシ当量:192g
/eq 溶融粘度:0.1P) 臭素化ノボラック型エポキシ樹脂(住友化学株式会社製
商品名ESB−400T エポキシ当量:400g/e
q 溶融粘度:1.4P 臭素含有率:50%)
[3] Synthesis of novolak-type phenol resin (A) 2.4 kg of phenol, formalin (37% aqueous solution)
0.13 kg, 0.5 kg of paraform and 3 g of oxalic acid were charged into a 5-liter flask and reacted at a reflux temperature for 4 hours. Subsequently, the internal pressure was reduced to 6666.1 Pa or less to remove unreacted phenol and water. (Melt viscosity:
2P / 150 ° C). [4] Synthesis of novolak type phenol resin (B) Phenol 2.8 kg, formalin (37% aqueous solution)
0.25 kg, paraform 0.8 kg, 8% hydrochloric acid 11
g and 8 g of oxalic acid were charged into a 5-liter flask and reacted at reflux temperature for 6 hours. Then, the inside is set to 6666.
The pressure was reduced to 1 Pa or less to remove unreacted phenol and water. (Melt viscosity: 10P / 150 ° C). [5] Epoxy resin Biphenyl type epoxy resin (YX-4000H manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd. Epoxy equivalent: 192 g
/ Eq Melt viscosity: 0.1P) Brominated novolak type epoxy resin (trade name: ESB-400T, manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd. Epoxy equivalent: 400 g / e)
q Melt viscosity: 1.4P Bromine content: 50%)

【0017】[6]その他の配合物 硬化促進剤としてはトリフェニルホスフィン・ベンゾキ
ノン誘導体(北興化学社製)を使用した。エラストマー
としては、粒子径70nmの架橋アクリロニトリル−ブ
タジエン共重合体(日本合成ゴム株式会社製商品名XE
R−91、液状アクリロニトリル−ポリブタジエン共重
合体(宇部興産株式会社製 商品名ATBN1300X
16、AN量1.65重量%、アミノ基含量、アミン当
量900)を使用した。またシリコーンゲルとして、ア
ミノシリコーン(信越化学工業株式会社製商品名KF−
86 アミン当量2000)25gとエポキシシリコー
ン(信越化学工業株式会社製商品名X−22−163B
エポキシ当量1800)45gを混合し、温度120
℃で溶融している上記ノボラック型フェノール樹脂
(A)210g中に添加して、均一に白濁するまで撹拌
を行い、その後約120℃で1時間加熱を続けてシリコ
ーンゲル含有フェノール樹脂混合物を作製した。シラン
カップリング剤として、γ−グリドキプロピルトリメト
キシシランとメチルトリメトキシシランの混合物を用い
た。また、充填剤として、平均粒径25μmの球状溶融
シリカ(マイクロン(株)製商品名S−COX−3
1)、平均粒径10μmの球状溶融シリカ(龍森(株)
社製商品名FB−301)及び平均粒径0.7μmの球
状溶融シリカ((株)アドマテックス製商品名SO−2
5R)を7:2:1で混合したものを用いた。
[6] Other Compounds A triphenylphosphine / benzoquinone derivative (manufactured by Hokuko Chemical Co., Ltd.) was used as a curing accelerator. As the elastomer, a crosslinked acrylonitrile-butadiene copolymer having a particle diameter of 70 nm (trade name XE manufactured by Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd.)
R-91, liquid acrylonitrile-polybutadiene copolymer (ATBN1300X manufactured by Ube Industries, Ltd.)
16, AN amount 1.65% by weight, amino group content, amine equivalent 900). As a silicone gel, amino silicone (trade name KF- manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
86 amine equivalent 2000) 25g and epoxy silicone (trade name X-22-163B manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
45 g of an epoxy equivalent (1800) were mixed at a temperature of 120.
The mixture was added to 210 g of the novolak-type phenol resin (A) melted at a temperature of 100 ° C., and the mixture was stirred until the mixture became uniformly turbid. . As a silane coupling agent, a mixture of γ-glyoxypropyltrimethoxysilane and methyltrimethoxysilane was used. As the filler, spherical fused silica having an average particle size of 25 μm (trade name: S-COX-3 manufactured by Micron Corporation)
1), spherical fused silica having an average particle size of 10 μm (Tatsumori Co., Ltd.)
FB-301 (trade name, manufactured by Sharp Corporation) and spherical fused silica having an average particle diameter of 0.7 μm (trade name: SO-2, manufactured by Admatex Co., Ltd.)
5R) at a ratio of 7: 2: 1.

【0018】[硬化]表1及び表2に示す配合組成によ
り原材料を混合し、二軸加熱ロールを用いて90℃で1
5分間混練後これを粉砕し、粉末状の樹脂組成物を作製
した。なお、樹脂組成物中の溶融性二酸化珪素粉末の充
填量は、80容積%とした。次いで、移送成形機の金型
キャビティ内に半導体素子を配置し、175℃、70k
gf/cm2 、90秒間の条件で上記金型内で各樹脂組
成物の移送成形を行い、QFP54ピン(外寸20mm
×14mm×2mm、リードフレーム材質42アロイ、
半導体素子寸法8mm×10mm)の半導体装置を得
た。また175℃、6時間の条件で後硬化を行った。
[Curing] The raw materials were mixed according to the composition shown in Tables 1 and 2, and the mixture was heated at 90 ° C. using a biaxial heating roll.
After kneading for 5 minutes, the mixture was pulverized to prepare a powdery resin composition. The filling amount of the fusible silicon dioxide powder in the resin composition was 80% by volume. Next, the semiconductor element is placed in the mold cavity of the transfer molding machine,
Each resin composition was transferred and molded in the above mold under the conditions of gf / cm 2 and 90 seconds, and a QFP 54 pin (external size 20 mm
× 14mm × 2mm, 42 alloy of lead frame material,
A semiconductor device having a semiconductor element size of 8 mm × 10 mm) was obtained. Post-curing was performed at 175 ° C. for 6 hours.

【0019】[特性評価]樹脂組成物の機械特性、耐熱
性、難燃性、接着性等の一般特性を知るため、上記と同
条件で板状の硬化物である試験片も作製した。硬化物の
特性は、機械特性・電気特性についてはJIS K69
11に準じ、難燃性についてはUL−94に準じて測定
した。溶融粘度については、コーンプレート粘度計を用
い、150℃の粘度を測定した。熱時硬度については、
175℃で90秒間モールド成形した直後の成形品の硬
度を測定した。保存安定性については、熱硬化性樹脂組
成物を40℃高温槽中に放置し、30日経過後のゲル化
時間の変化を調べた。成形品の可撓性は、試験片を−5
5℃及び150℃に各30分間保持するヒートサイクル
試験を行い、所定のサイクル毎のクラック発生率(試験
片10個当たりのクラックの発生した試験片の数)を求
めて評価した。更に、成形した半導体装置を85℃、8
5%RHの条件下で吸湿させた後、215℃で90秒間
の熱処理を行い(リフロークラック試験)パッケージク
ラックの発生率(半導体装置10個当たりのパッケージ
クラックを生じた半導体装置の数)を求め、半導体装置
の耐湿信頼性を評価した。以下、各実施例、比較例にお
ける配合組成、測定結果を表1〜4に示す。なお、配合
組成すべて重量部で示した。
[Evaluation of Properties] In order to know the general properties of the resin composition, such as mechanical properties, heat resistance, flame retardancy and adhesiveness, a plate-shaped cured product was prepared under the same conditions as above. The properties of the cured product are JIS K69 for mechanical and electrical properties.
According to No. 11, the flame retardancy was measured according to UL-94. The melt viscosity was measured at 150 ° C. using a cone plate viscometer. For hot hardness,
The hardness of the molded product immediately after being molded at 175 ° C. for 90 seconds was measured. Regarding the storage stability, the thermosetting resin composition was left in a high-temperature bath at 40 ° C., and the change in gelation time after 30 days was examined. The flexibility of the molded article was determined by
A heat cycle test in which the temperature was maintained at 5 ° C. and 150 ° C. for 30 minutes each was performed, and the crack occurrence rate (the number of cracked test pieces per 10 test pieces) in each predetermined cycle was determined and evaluated. Further, the molded semiconductor device is heated at 85 ° C. for 8 hours.
After moisture absorption under the condition of 5% RH, heat treatment is performed at 215 ° C. for 90 seconds (reflow crack test) to determine the rate of occurrence of package cracks (the number of semiconductor devices having package cracks per 10 semiconductor devices). The humidity resistance of the semiconductor device was evaluated. Tables 1 to 4 show the composition and the measurement results in each of Examples and Comparative Examples. In addition, all the compounding compositions were shown in parts by weight.

【0020】[0020]

【表1】 [Table 1]

【0021】[0021]

【表2】 [Table 2]

【0022】[0022]

【表3】 [Table 3]

【0023】[0023]

【表4】 [Table 4]

【0024】[0024]

【発明の効果】本発明の半導体封止用樹脂組成物を用い
ることにより、低吸水率で機械特性、接着性が良好で且
つ、従来のエポキシ樹脂系半導体封止用樹脂組成物では
達成できなかった難燃剤の低減及び長期保存安定性が実
現できた。
EFFECTS OF THE INVENTION By using the resin composition for encapsulating a semiconductor of the present invention, it has low water absorption, good mechanical properties and good adhesion, and cannot be achieved with the conventional epoxy resin-based resin composition for encapsulating a semiconductor. The reduced flame retardant and long-term storage stability were realized.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 相沢 輝樹 茨城県下館市大字小川1500番地 日立化成 工業株式会社下館工場内 (72)発明者 平井 康之 茨城県下館市大字小川1500番地 日立化成 工業株式会社下館工場内 (72)発明者 七海 憲 茨城県下館市大字小川1500番地 日立化成 工業株式会社下館工場内 (72)発明者 古沢 文夫 茨城県下館市大字小川1500番地 日立化成 工業株式会社下館工場内 Fターム(参考) 4J002 AC075 AE034 CC043 CC053 CC063 CC123 CC27W CD05X CD12X CP035 DA037 DE076 DE086 DE096 EE046 EF066 EF096 EJ036 EJ066 EL096 EU136 EV236 EW146 EX018 EX068 EX078 EY016 FD097 FD156 FD164 FD348 4M109 AA01 BA01 CA21 EA02 EA06 EB03 EB04 EB06 EB08 EB09 EB12 EB18 EB19 EC01 EC03 EC09  ──────────────────────────────────────────────────の Continuing on the front page (72) Inventor Teruki Aizawa 1500 Oji Ogawa, Shimodate City, Ibaraki Prefecture Inside the Shimodate Plant of Hitachi Chemical Co., Ltd. Inside the Shimodate Plant (72) Inventor Nori Nanami 1500, Oji Ogawa, Shimodate City, Ibaraki Prefecture Inside the Shimodate Plant, Hitachi Chemical Co., Ltd. Term (reference) 4J002 AC075 AE034 CC043 CC053 CC063 CC123 CC27W CD05X CD12X CP035 DA037 DE076 DE086 DE096 EE046 EF066 EF096 EJ036 EJ066 EL096 EU136 EV236 EW146 EX018 EX068 EX078 EY016 FD018 EB156 EB EB EB EB EB 164 EB 156 EC01 EC03 EC09

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】フェノール類、ホルムアルデヒド類、及び
芳香族ジアミンから合成されるジヒドロベンゾオキサジ
ン環を有する熱硬化性樹脂、エポキシ樹脂及びフェノー
ル樹脂からなり、且つこれら3成分の混合物の150℃
における溶融粘度が2P以下となる熱硬化性樹脂組成物
を必須成分として含有し、この熱硬化性樹脂組成物10
0重量部に対し、硬化促進剤、離型剤、接着性付与剤、
着色剤及び難燃剤から選ばれる少なくとも1種からなる
添加剤0.01〜35重量部、及び無機質充填材200
〜1200重量部からなる半導体封止用樹脂組成物。
1. A thermosetting resin having a dihydrobenzoxazine ring synthesized from phenols, formaldehydes and aromatic diamines, an epoxy resin and a phenol resin, and a mixture of these three components at 150 ° C.
Containing a thermosetting resin composition having a melt viscosity of 2 P or less as an essential component, and comprising the thermosetting resin composition 10
0 parts by weight, a curing accelerator, a release agent, an adhesion-imparting agent,
0.01 to 35 parts by weight of an additive composed of at least one selected from a coloring agent and a flame retardant, and an inorganic filler 200
A resin composition for encapsulating a semiconductor, comprising -1200 parts by weight.
【請求項2】ホルムアルデヒド類が92%以上のホルム
アルデヒドの含有量であるパラホルムを用いて得た請求
項1記載の半導体封止用樹脂組成物。
2. The resin composition for semiconductor encapsulation according to claim 1, wherein the formaldehyde is obtained using paraform having a formaldehyde content of 92% or more.
【請求項3】芳香族ジアミンが4,4’−ジアミノジフ
ェニルメタンである請求項1または2記載の半導体封止
用樹脂組成物。
3. The resin composition for encapsulating a semiconductor according to claim 1, wherein the aromatic diamine is 4,4′-diaminodiphenylmethane.
【請求項4】エポキシ樹脂が1分子中に2個のエポキシ
基を有するもの、又は、1分子中にエポキシ基を3個以
上有するエポキシ樹脂を併用したものである請求項1乃
至3のいずれかに記載の半導体封止用樹脂組成物。
4. The epoxy resin according to claim 1, wherein the epoxy resin has two epoxy groups in one molecule, or an epoxy resin having three or more epoxy groups in one molecule. 3. The resin composition for semiconductor encapsulation according to item 1.
【請求項5】熱硬化性樹脂組成物100重量部に対し、
ハロゲン化エポキシ樹脂15重量部以下を含有する請求
項4記載の半導体封止用樹脂組成物。
5. The method according to claim 1, wherein 100 parts by weight of the thermosetting resin composition is
5. The resin composition for semiconductor encapsulation according to claim 4, comprising 15 parts by weight or less of a halogenated epoxy resin.
【請求項6】熱硬化性樹脂100重量部に対し、更にエ
ラストマー1〜50重量部を含有する請求項1〜5のい
ずれかに記載の半導体封止用樹脂組成物。
6. The resin composition for semiconductor encapsulation according to claim 1, further comprising 1 to 50 parts by weight of an elastomer based on 100 parts by weight of the thermosetting resin.
【請求項7】請求項1〜6のいずれか記載の半導体封止
用樹脂組成物を硬化して得られる樹脂硬化物。
7. A cured resin obtained by curing the resin composition for semiconductor encapsulation according to claim 1.
【請求項8】請求項1〜6のいずれか記載の半導体封止
用樹脂組成物により封止してなる樹脂封止型半導体装
置。
8. A resin-sealed semiconductor device sealed with the resin composition for semiconductor encapsulation according to claim 1.
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