JP2000235151A - 光学系における光学的波面収差を補正する方法、それに基づき製造された光学系及び望遠鏡 - Google Patents

光学系における光学的波面収差を補正する方法、それに基づき製造された光学系及び望遠鏡

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ブラウネッカー ベルンハルト
Beaver Massimo
ビーバー マッシモ
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光学系における光学的波面収差を補正する方
法、それに基づき製造された光学系及び望遠鏡を提供す
る。 【解決手段】 該方法は、入射瞳(EP)と出射瞳(A
P)の間の種々の波長及び視野のための光学的波面を計
算し、かつ場合により存在する位相差を光路内の位相に
影響を及ぼす少なくとも1つの面(5,7)により補償
することよりなる。該望遠鏡は、望遠鏡第1のリフレク
タ(3)の軸線(A)が光軸(O)と0゜からずれた角
度(α)を形成することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、請求項1記載の上
位概念記載の光学的波面収差を補正する方法並びに請求
項3及び5の上位概念の特徴を有する顕微鏡に関する。
【0002】
【従来の技術】光学においてはしばしば点状物体が問題
となる。古典的例は、望遠鏡で殆ど点状の正座を記録す
る天文学である。もう1つの現代の例は、データ交換の
目的のための2つの人工衛星の光学的結合である。各人
工衛星は異なる波長のレーザ光を1つ以上の対象人工衛
星に送信する。伝達すべきデータシーケンスを有する光
の強度が修正されていれば、コミニケーションモードで
通話され、自体を“ファインデン(finden)”するため
に、両者の人工衛星がレーザ光を発振すると、データ収
集モード(Aquisitionsmodus)で通話される。両者の作
動様式において、それぞれの対象人工衛星の大きな距離
(静止軌道において70000kmまで)のために殆ど
点状で別の人工衛星が現れる。
【0003】両者の場合、捕捉された物体は極めて小さ
い光出力で処理されねばならない。従って、光学系は第
一に明るいべきである。今や、点状物体においては、照
射強度bは受信者の位置で: b≡W/A≒D2*sin2(δ) (1) [式中、Wは入射光線出力、Aは回折円盤の面積、Dは
入射瞳の直径、及びδは望遠鏡の開口角度である]によ
り与えられる(R. W. Pohl, Einfuerung in diePhysik,
Band 3, Seite 64)。sin(δ)を、焦点距離Fを
使用してF値: F#≡F/D (2) から方程式: NA=1/(2*F#) (3) から導き出される顕微鏡の開口数NAとする。従って、
準点状物体のための明るい系は、大直径Dによっても又
は大開口数によっても又はそれらの両者のいずれかによ
って表される。
【0004】天文学においては、直径Dを極めて大きく
選択すべきである。マウント・パロマ(Mount Paloma
r)及びそのた天文学センターの大きな8m望遠鏡が公
知である。技術的実現可能性の理由から、実際に開口数
は小さく保たればならいが、そでの光度の取得はかなり
である。小さい開口数のために、方程式(3)によれば
焦点距離は相応して拡大され、ひいては望遠鏡寸法も拡
大される。その際、ある程度の直径、典型的には30c
mから、反射鏡系のみが使用される。それというのも、
レンズ系はもはや殆ど製造不可能であるからである。
【0005】光学的に屈折するレンズ系に対して反射鏡
系の第2の大きな利点は、色収差を有しないことにあ
る。従って、光学的に補正された反射鏡系は、UV範囲
においても、またさらに赤外範囲においても使用可能で
ある。このことは特に天文学においては決定的に重要な
ことである。
【0006】それに対する欠点は、反射鏡においては、
数度にすぎない小さいな視野であり、一方レンズ系はま
た極端に広い角度に構成することができる(180゜よ
り大きい視野を有する魚眼レンズ系参照)。天文学にお
いては、これらの欠点をエレガントに、但し著しい費用
をかけて、大きなケレストリック(celestrische)視野
を達成するために法外な機械的リモートコントロールユ
ニットにより解決することができる。
【0007】歴史的、及び今日もなお一般に、球状の面
形のレンズ及び反射鏡は数世紀を越えて完成された製造
方法である。望遠鏡におけるように、複数の球面鏡を前
後に配置すべき場合には、これらの反射鏡は共通の光学
的対称軸を有するべきである(オン・アクシス(on-axi
s)配置)。そうでなければ、結像質の低下を生じるこ
とがある。オン・アクシス作動において、もちろん、一
面では光損失及び他面ではしばしば一層悪く有害な人工
的回折を生じる内部食(obscuration)の問題がある。
人工回折は結像する望遠鏡において像質を劣化させ、一
方宇宙望遠鏡の場合には好ましくないビーム拡大、ひい
ては対象人工衛星での重大なエネルギー損失を生じる。
【0008】しかしながら、食は、反射鏡を“オフ・ア
クシス(off-axis)”作動させれば回避することができ
る。そこでまず、通常の回転対称の“パレント(Paren
t)”反射鏡を製作したが、但しそのうちの1つだけの、
光軸から離れて位置する大抵は円形の一部分のみを利用
される。もちろんそれから、本発明の課題を解決すべき
である像劣化をが生じる。
【0009】非球面鏡は、球面鏡よりも製造が困難であ
る。しかし、極めて高い質要求のために、非球面鏡は不
可欠である。非球面の場合には、回転放物面体、楕円体
又は双曲面体と複雑な非円錐非球面体との間で区別され
る。困難性は最後のもの、特に大直径及び小さいF値の
反射鏡において一層増大する。さらに、2以下のF値か
ら、測定及び試験手段に対する極めて高い要求が設定さ
れる。
【0010】人工衛星通信においては、状況は天文学に
おけるとは完全に別である。この場合には、第一に顕微
鏡寸法及び重量は最小化されるべきであり、実質的にこ
れらは高いコストを伴う。従って、人工衛星光学系は、
主として小さい寸法からなる。そこで、ミラーが選択さ
れる。それというのも、ミラーは光度に開発された軽量
構造様式において光学的の等価のレンズ形よりも著しく
小さい重量を有するからである。さらに、レンズ系は宇
宙飛行においては、高いエネルギー光度放射に世って惹
起されるレンズにおけるガラス混濁に対する高価な保護
手段が必要になるという最大の問題がある。
【0011】反射鏡系のもう1つの利点は、反射鏡装置
を相応して適当に“重ね合わせる”と、必要な堆積を最
小にすることができることにある。しかしながら、重ね
合わせは既に前記のオフ・アクシス系においては必須で
あるが、これはなお別の利点をもたらす:一面では、コ
ンパクトな配置により光学系は熱的に安定になる。人工
衛星は極端な温度差にさられるので、以下の構成規則が
当てはまる:寸法が小さくなればなる程に、機械構造の
熱膨張により惹起される光学系の焦点ずれ(defocussin
g)がますます小さくなる。数μmの焦点ずれは、許容
されない波面変形をもたらすことがある。
【0012】設計者はさらに人工衛星の自己振動を最小
にしなければならない。振動する人工衛星は、劇的に光
学的結合の“ポインティング(Pointing)”安定性を劣
化する:このことは、振動は大きな距離に基づき対象人
工衛星の位置での強度信号を惹起することと見なされ
る。強度変動もまたデータ伝送のエラー率(Bit ErrorR
ate)に影響を及ぼしかつデータ速度の好ましくない低
下により補償されねばならない。振動の原因は、周回軌
道における機械的固定点の欠陥にある。そこでその都度
の人工衛星の新たな方向制御が機械的に行わねばなら
ず、従って積極的に軽減されねばならない。このこと
は、特に構造の固有周波数に近くにおいては著しく複雑
化される制御進行をもたらす。従って、この場合も、構
造大きさが小さい程、安定化が容易になると言える。如
何に臨界的に振動を評価するかは、典型的には50ナノ
ラード(nanorad)、従って100分の1秒(!!)の
ポインティング安定性のための許容付与から明白であ
る。
【0013】今や十分に光学的出力を対象人工衛星に伝
達するためには、小さな反射鏡直径にもかかわらず2つ
の可能性がある:強力なレーザ光源を利用する及び方程
式(1)に基づき望遠鏡の開口数NAを高める。
【0014】この際、大きなNAは殆ど常に必要であ
る。それというのも、十分に視準されたレーザ光での純
粋な通信及びデータ収集のほかに多くの人工衛星はまた
光学的に受動的に、従って準天文学的に作業しなければ
ならないからである。そのように、人工衛星は恒久的に
選択された星座を記録し、該星座に基づき、いわゆるポ
インティングモードで新たな位置に移動しなければなら
ない場合、空間的に位置確認される。しかし、確実性及
び費用の理由から、同一の望遠鏡光学系が通信、データ
収集及びポインティングチャンネルのために利用され
る。
【0015】従って、以下の種類の作動が現代の宇宙望
遠鏡によって実施される:光学通信は、1064nmで
両方向兼用の“送信及び受信”モードにおいて、例えば
0.1゜の小さい視野、極めて高い波面質(<λ/30
rms)及び高いデータ率(>10Gbyte/se
c)で行われる。光学的データ収集は、(800〜90
0nm)で同様に両方向兼用の“送信及び受信”モード
において、3゜の比較的大きな視野、通常良好な波面質
(<λ/10rms)及び中程度のデータ率(50〜1
00kbyte/sec)で行われる。最後に、いわゆ
る光学的“ポインティング”は受動的“受信”作動形式
で、同様に3゜の大きな視野及び通常良好な波面質(<
λ/10rms)、しかし幅広いスペクトル補正(50
0〜1000nm)で実施される。
【0016】即ち、反射鏡系は比較的小さい直径(20
0〜300mm)の通信範囲及びおおきな開口数におけ
る宇宙使用のためのものである。これらは重量及び安定
性の理由から機械的に著しく複雑に入り組んでいなけれ
ばならない。光学的質は、通信、データ収集及びポイン
ティングチャンネルの極めて良好、従って回折が制限さ
れているべきである。
【0017】このような光学系もしくは望遠鏡は、例え
ば米国特許第5,309,276号明細書から公知であ
る。該明細書には、望遠鏡は極めて一般的に記載されて
おり、実地、特に宇宙飛行の要求の高い必要条件は考慮
されていない。
【0018】一面では、必要スペースがかなり大きい、
それというのも、一次及び二次反射鏡が共通の光軸を有
する、従って上記の説明に基づき光学的に折り畳まれな
いからである。それにもかかわらずある程度の視野のた
めに光束をカットせずに一次及び二次反射鏡で導くため
には、二次反射鏡は一次反射鏡からかなり離れて配置さ
れねばならない。このことは前述のように、作動モード
における大きな温度変動が計算されねばならない場合に
は好ましくない。さらにそれにより、“オフ・アクシ
ス”的に作動する一次反射鏡の利用されたない中央領域
は不必要に拡大され、このことは“パレント”反射鏡の
大きな直径を必要とする。それにもかかわらず顕微鏡の
寸法を縮小するために、F値=1を有するパレント反射
鏡が構成された。これは実地において前記の大きさの直
径の場合には極めて狭い製作許容差のために著しく高い
費用をかけて実現されるにすぎない。このF値の場合に
は、さらに試験技術に対する高い要求が課せられる。
【0019】上記文献においてはまた、不十分な波面質
の場合にはあらゆる反射鏡を円錐より高次数に非球面化
することができることを留意すべきである。このことは
大きな反射鏡において高価なかつ技術的に不確実な実施
態様であるにすぎない。
【0020】さらに、小さい反射鏡M3はアホーカル倍
率Γ=6.5の場合にのみ平面に保つことができること
も欠点と見なされる。その他の倍率では、該反射鏡は凹
面又は凸面に構成されねばならず、このことは一面では
通常コストを増大し、他面ではまた全系の調整をも複雑
にする。
【0021】全ての欠点を要約すれば、前記の解決手段
は、最適でなく、融通性がなく、微妙かつ高価な解決手
段であることが立証される。従って、この形では実地の
ためには不適切である。
【0022】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、前記
の課題を克服しかつコンパクト、明るい、広角かつ食の
無い系を実用に即して可能にすることである。前記の要
求度の高い、一部は矛盾する要求を満足する光学的解決
手段が見出さればならい。従って、本発明は、第一に、
簡単な方法で補正された光学系、ないしは明らかに小さ
い寸法、小さい重量及び少ないコストでも実現される望
遠鏡を提供することを課題の基礎とする。
【0023】
【課題を解決するための手段】このことは、本発明に基
づき唯一の補正面により安定かつ廉価な手段で実施でき
ることが判明した。
【0024】前記課題は、驚異的にも請求項3及び5の
特徴部に記載の手段により達成される。
【0025】請求項3記載の光学系ではしかも、宇宙望
遠鏡の場合におけるように、申し分の無い作動が同時に
複数の光学チャンネルにおいて必要である場合、最適な
補正が可能である。上述のように、通信のための光学的
要求は、データ収集及びポインティングのための要求と
は異なる。それにもかかわらず、補正を唯一の補正面を
用いて同時に実施することが可能である。このことは従
来は、妥協の導入においてのみ可能であったにすぎな
い。
【0026】本発明が基礎とする課題は、請求項6の特
徴から明らかなように、まず光学収差を甘受することに
より解決される、しかしこの収差は請求項5に記載の特
徴により排除されるので、最終的に最初の手段の利点は
残ったままである。さらに、最初予期されなかった付加
的効果が判明した。即ち、第3のリフレクタは、6.5
よりおおきいアフォーカル倍率でも平面に保つことがで
きる。もちろん、このことはコスト減少及び製造の簡略
化に寄与する。
【0027】このような顕微鏡いおいて補正を行うため
に開発された方法は、有利には請求項1及び2に記載の
方法であり、かつそれにより、適用される光学系に全く
左右されずに、原則的には、波面を劣化する一連の収差
をも排除可能であることが判明した。そこで、オフ・ア
クシスの非球面の形、位置及び傾倒により惹起される設
計の残留収差を排除することができる。さらに、光学成
分の残留する研磨及び組立誤差を補償することが可能で
ありかつ実際にまた必要である。測定値から補正手段が
導かれる。従って、本発明はまた一般的に請求項3及び
4に記載の光学系にも関する。
【0028】請求項7に記載した角度だけの第一のリフ
レクタの傾倒は非対称誤差を制御可能な限界内に保つこ
とがでることが判明した。従って、このような傾倒が有
利である。さらにまた、既に例えば1゜の比較的小さい
傾倒(この場合には、非対称誤差も極めて小さい)は、
冒頭に記載した利点をもたらすことができ、従ってこの
ことを認識することは確実に本発明の小さな利点ではな
い。既に例えば30秒の傾倒は、明白な改良をもたらす
ことができる。
【0029】好ましくは、補正は、請求項8に相応し
て、第3のリフレクタで行う。それというのも、このリ
フレクタは一般に第1及び第4のリフレクタよりも小さ
くかつ光学的にまた低感度にされ、並びに中間面の近く
にあって、瞳面からそれほど離れていないからである。
それにより、これは像面収差の補正のため、並びにまた
瞳収差の補正のためにも利用することができる。さら
に、第3のリフレクタは本発明の構成においては平面で
あってよい。
【0030】如何にして非対称誤差を実地において排除
するかは、それ自体この分野における当業者の能力にあ
る。しかい、多項式を有する請求項8に相応する手段が
好ましい。
【0031】上記技術水準では、パレント反射鏡がF値
1を有することを批判した。本発明においては、請求項
9及び/又は10に記載の手段は特に簡単に実現するこ
とができる。
【0032】非対称誤差を制限するためには、請求項1
1の特徴を実現すれば十分である。
【0033】さらに、例えば本発明による顕微鏡のため
には、第1、第2及び第4のリフレクタは、それらのパ
レント反射鏡が製造に基づきなお代替可能の1.5のF
値を下回らないように計算される。
【0034】オフ・アクシスで作動するリフレクタ(第
1、第2及び第4のリフレクタ)は、互いに傾倒され
る。それにより一面ではコンパクトな構造堆積が生じ、
他面ではオフ・アクシスモードで導入される波面収差を
既に部分的に補償することができる。
【0035】残留する収差は、鏡面の非球面成形により
補正される。この場合も、簡単化された実現可能性の理
由から3つの大きな反射鏡リフレクタ(第1、第2及び
第4のリフレクタ)は純粋な円錐反射鏡として構成さ
れ、一方第3のリフレクタは純粋な平面鏡として構成さ
れる。融通性理由から、このことは大きなアフォーカル
強化範囲Γ=4...15にも当てはまる。平面鏡(第
3のリフレクタ)は、本発明によれば表面構造化された
位相プレートを有し、該プレートで光学的波面の最終的
な微補正が達成される。該位相プレートは、透過性ガラ
ス板として第3のリフレクタの近くに組み込むことがで
きる。
【0036】このように構造化されたプレートの製造
は、光学的品質における任意の深さプロフィールを有す
る反射鏡表面を研磨しかつ測定するために、機械的面加
工の新たな技術的可能性により可能になる。
【0037】しかしまた、該プレートはホログラムの形
の回折素子として構成することもできる。その際には、
ホログラムを第3のリフレクタ素子の平面に接合するこ
とができる。
【0038】向かい合った傾倒及び位相補正プレートの
付加的な自由度の準備により、アフォーカル拡大の大き
な範囲のために、波面質を著しく改善する手段を見出す
ことができる。この場合、これらの解決手段の全ては、
顕微鏡の外部の出射瞳APが機械的に接近可能であると
いう技術的に重要な周辺条件を満足する。
【0039】
【実施例】本発明のさらなる詳細を、図面に略示した実
施例の以下の説明により明らかにする。この場合、図1
〜8につき例示的に補正プレートによる補正手段かつ図
9〜15で反射素子での補正手段を説明する。
【0040】図1によれば、光束1は光軸Oに沿って入
射し、かつ、軸線Aが光軸Oと角度αを形成する第1の
リフレクタ3の凹面反射鏡面2に当たる。このことはも
ちろん、非対象収差を生じるべきことを意味する。それ
というのも、図1に対して、鏡面2に沿って上から下に
向かえば、この面2はますます入射する光束1の像面か
ら遠ざかる。この距離は、角度αを極めて小さく保て
ば、もちろんきわめて小さく保つことができ、その際に
は、このような角度αのリフレクタ3の傾倒は殆ど顕著
な有利な効果を有しないと予測される。しかし、以下の
記載は、そうではないことを明らかにする。
【0041】当該技術の水準におけるように、鏡面2は
光束を第2の取る面リフレクタ4に反射する。リフレク
タ3の角度αの傾倒により生じる非対称誤差は、光軸O
に対する第2のリフレクタ4の軸線A′も角度βを形成
すれば緩和することができる、その際両者の角度α及び
βは有利には同じ大きさである。もちろん、角度αもし
くはβが大きければ大きい程、系をコンパクトに構成す
ることができるが、それにより生じる非対称誤差はまた
なお制御可能、即ち容易に補正可能であるべきである。
角度αの大きさを少なくとも30゜、有利には10゜の
制限することが重要であることが判明した。特に、該角
度は5゜未満、従って例えば役1゜未満であるべきであ
る。また言及すれば、この第2のリフレクタ4の“パレ
ント”反射鏡のF値は、その製造可能性を簡単にするた
めに、1よりもできるだけ大きいかつ有利には1.5よ
り大であるべきである。2±0.3のF値は、実地にお
いてはあらゆる要求を満足する。
【0042】第2のリフレクタ4から、光束は第3のリ
フレクタ5に投射され、該リフレクタは第4のリフレク
タ6と共に、最終的に出射瞳の平面APが光軸Oに対し
てほぼ平行に延びる、即ち偏向された光軸O′が入射光
束1の光軸Oに対してほぼ直角であるような光束の偏向
を生じる。このことは特に、本発明による光学望遠鏡系
(“回折制限傾斜ミラー:Schiefspiegler”とも称され
る)が経緯儀類似の構造に組み込まれるべき使用のため
に重要である。それというのも、このようにして、光線
を構造の傾倒軸線で入力もしくは出力結合することがで
きるからであるからである。凹面鏡面2及び凸面鏡面4
の組合せにより、第3のリフレクタ5の近くに中間像面
Zが生じる。
【0043】図1に示された光路の経路において、今や
結像収差、特にまた傾倒により生じる非対称収差のため
の補正が行われるべきありかつ行わればならない。その
ために種々の可能性が存在する。既に、面2上の軸線
A、ひいては入射瞳EPの傾斜調整により波面の非対称
収差が生ぜしめられる。従って、リフレクタ3の前方に
このような非球面レンズ(又は相応する光学部材)を、
この非対称誤差を補正するために、設置することが第1
の可能性である。EPの大きさのために、この手段はも
ちろん最適でない、従ってまたべつの誤差を甘受されね
ばならず、よってこのような自体で与えられる、鏡面2
又はリフレクタ4での補正のような可能性は同様にあま
り重要でない。それに対して、第3のリフレクタ5の範
囲内での補正は最適である。それというのも、このリフ
レクタは一般に第1及び第4のリフレクタ3及び6より
も小さくかつまた光学的に殆ど敏感でなく、並びに中間
像面Zの近くかつ瞳面APからあまり離れていない位置
を有する。このことは、有利に後で言及する補正が好ま
しくも、加工が可能な平坦な構成に基づき特に簡単にな
第3のリフレクタで実施されるか、又は、リフレクタ5
範囲に薄い面平行の補正プレート7を投入することによ
り行われることを意味する。
【0044】角度α(及び場合によりまたβ)の傾倒に
より、構造がよりコンパクトのなるよう光学成分を近く
に寄せ合うことができることが達成されるだけでなく、
そのことら、第3のリフレクタ5の完全な平面形を生じ
ることができ、このリフレクタがそれで既に述べた波面
補正を実施すべき場合(図9〜15に以下に説明されて
いるよいうに)にのみ特別の表面形状を有する必要であ
ることに注目すべきである。しかしそれでも、もちろん
この平面鏡としての構成も全コストの低減を生じる。さ
らに、パレント・リフレクタ3(凹面)及び4(凸面)
は1よりも大きなF値を有することができる。以下に記
載する実施例及び計算では、1.7のF値及び1゜に過
ぎない傾倒値αを基礎とする。
【0045】図2〜8の図面は、倍率Γ≒10を有する
図1に相応する系を基礎とする。
【0046】今や、図2を考察されば、この図面は、達
成された波面質、即ち補正を伴わない光軸Oの対する角
度αの第1のリフレクタ3の軸線の傾斜設定又は傾倒の
効果に関する、本発明を実施する際の中間結果の第1実
施例を示す。この場合、図2は重なり合った平面に多数
のグラフを示す。図2の右側の列は水平瞳子午線(x)
に沿った波面収差を示し、かつ左側の列は垂直瞳子午線
(y)に沿った波面の収差を示す。図2aは、両者の軸
方向において相対視野の視野角度X及びY0.00゜で
の波長1064,824,811及び789のための収
差(光路差)を表す。図2b)はX=0.00゜及びY
=1.00゜での収差、図2c)はX=0.00゜及び
Y=−1.00゜での収差、図2d)はX=0.00゜
及びY=1.00゜での収差、及び図2e)は最後にX
=−1.00゜及びY=0.00゜での収差である。明
らかなように、最大0.8λの波面変形が示されおり、
これは典型的λ/8pV又は等価のλ/24rmsの規
格値のかなり外にある。
【0047】この波面誤差を、今や相応して構成された
表面構造を有する補正プレート7を中間配置することに
より減少させることができる。光学系の至適化は、光学
専門家にとっては殆ど日常的に要求される課題であるの
で、ここには差し当たり詳細には言及する必要はない。
いずれにせよ、極めて多くの光線のためには一次反射鏡
3での入射瞳EPから出射瞳APまでの光路長が計算さ
れかつ波面として示される。その理想面からのずれは、
最小化すべき量である。この最小化は、今やあらゆる自
由構造パラメータ、後反射鏡の半径、間隔、傾倒、偏心
等の変更により並びに付加的に新たに補正プレート7も
しくは(以下参照)リフレクタ3の表面形状の変更によ
り行われる。
【0048】この最適化に基づき、図2のグラフの配置
に関して相応する図3のイメージが得られる。図2と比
較すれば、全ての波面収差を著しく減少させることがで
きることが明らかである。類似した比較は、例えば通信
チャンネルのための、比較的小さい視野に関する図4及
び図5でも行うことができる。この場合、改良は一目で
はそれほどめざましいくは見なされない。このことは、
該系が既に前補正されていたことにある。それでもこの
場合も、当業者に識別できる明白な改良が達成されてい
る。この改良は、例えば通信チャンネルの重要性のため
におけるように、規格が狭いほどますます重要である。
留意すべきことは、同一の補正素子で物理的に異なって
定義されかつ特定化された両者のチャンネルの改良が達
成されることである。そのようにして生じる、透過性補
正プレートの表面の表面プロフィールは図6及び7(後
者は強度に誇張された図である)に示されている。この
場合、垂直軸でのスケールピッチはミリメータで示され
ている。
【0049】選択的また、波面に屈折だけによってでは
なく、また回折を介して影響を及ぼす可能性も生じる。
このことは特殊な光学素子、例えばホログラムによって
可能である。その際には、該ホログラムを透過性面7の
平坦な表面に組み込むか、又は薄いフィルムとして貼付
又は接合する(透過性ホログラム)か又は類似した方法
でリフレクタ5の平坦な面に反射ホログラムとして組み
込む。図8は、ホログラム位相機能を透過性ホログラム
の平面図で、図15は反射性ホログラムの平面図で示
す。
【0050】図9〜15の以下の説明では、Γ≒8.5
の小さい倍率を有する図1に相応する系を基礎とする。
この場合は、補正手段は直接第3のリフレクタ5で行わ
れる、従って補正プレートは中間配置されていない。
【0051】そのために、波面が所望の形式で補正され
るように、第3のリフレクタの自体て平面の表面プロフ
ィールの補正が行われる。そこで、図9及び10におけ
るグラフはまた、データ収集チャンネルの相当する大き
な視野のための補正されていない状態と補正された状態
における光学系の波面を示す。この場合も、改良が明ら
かに認められる。第3のリフレクタ5の表面プロフィー
ルは、図13及び14に、図6及び7の図面に相応する
形式で示されている。この場合、図14は、表面構造を
斜視図的に強度に誇張した図で示されている。補正プレ
ートのための図8におけると同じ形式で、第3のリフレ
クタの表面もホログラム構造を備えていてもよい。この
ような構造は、第3のリフレクタ5の表面に関しては、
図15から明らかである。
【0052】表面プロフィールは、リフレクタ5の表面
に加工、例えばエッチングするか、又は固有の反射性構
成部材として平坦なリフレクタ表面に貼付又は接合する
ことができる。
【0053】以下の実施例は、透過性補正プレート、第
3のリフレクタの表面での反射性補正手段であれ又は付
加的に回折によって作用する、透過性補正プレートでの
補正手段によるものでもあれ、表面プロフィールΔzの
製造のための補正機能を示す。この場合、補償面は、Φ
=(2π/λ)***Δzにより表される位相構造を
有する。この場合、ファクタaは、透過性表面であるか
又は反射性表面であるかにより左右され、ファクタbは
面のその都度の組み込み位置を決定する。
【0054】例1 第2のリフレクタに面した厚さ3mmの面平行のガラス
板を、図1の図面に相応してプレート7として光路内に
導入する。表面プロフィールΔz、即ち平面の深さずれ
は、位置座標の関数として多項式、特に以下の多項式:
【0055】
【数4】
【0056】によって表される。上記式中、Δzは、前
述のように位置(x,y)での座標z(図6,7参照)
に沿ったmmでの深度レリーフを表し、この場合x及び
yは図6,7から明らかな、z軸に対して垂直な座標で
ある。ディメンジョンの付いた係数AR〜DRは、基礎
となる円錐の、この場合は平坦な、波面からのずれの回
転対称成分4*,6*,8*,10次数であり、一方ディ
メンジョンの無い係数AP〜DPは相応する非回転対称
成分を表す。全ての係数は、数学的至適化の自由パラメ
ータである。この際、このことはガラス板の屈折率n及
び波長λを使用して光学的に有効な位相補正関数: Φ=(2π/λ)*(n−1)*Δz を与える。
【0057】波面の最適化により、以下の多項式:
【0058】
【数5】
【0059】[式中、Eは指数である]が生じた。
【0060】例2 第3のリフレクタ3で、構造関数Δzを深度レリーフと
して鏡面に研磨により施した(図13)。以下で使用し
た係数は、例1に示したものを表す。波面の以下の最適
化のよれば、以下の値が生じる:
【0061】
【数6】
【0062】これは、次いで、固有の位相補正関数: Φ=(2π/λ)**cos(θ)*Δz [式中、θは反射鏡法線に対する光線偏向角度である]
を生じる。
【0063】例3 所望の位相補正関数は、構造化された表面での回折を介
して生ぜしめることもできる。いまや、回折する構造を
以下にして形成するかには種々の可能性が存在する:図
8では、該構成を修正したフレネルプレートとして使用
した。この場合、理想は以下の通りである:例1におけ
る光学的位相を、 Φ=(2π/λ)*(n−1)* Δz*(modulo λ) と記載することができる。この際には、透過性指示プレ
ート7に例1からのレリーフ関数Δzでなく、修正Δz
(modulo λ)を研磨により施す。このようにして構成
光路内に投入すると、波面は例1におけると同様に補正
される。差異は、基礎となる物理的機構がもはや反射で
なく、またこの微細な構造における回折であることにあ
る。それにもかかわらず、Φは前記の係数AR〜DPか
らの関数として表さればならないという項目は当てはま
る。
【0064】本発明の範囲内において、多数の変更が可
能である、例えば角度αの傾倒により惹起される収差の
補正を、例えば光路内に相前後して配置された2つの補
正面により行うことができ、二重の処理のために、それ
により場合により像質のさらなる改良を達成することが
できるとしても有利ではない。このような部分的もしく
は機械的補正は、第3のリフレクタ5の反射するフィル
ムの代わりに透過性フィルムをリフレクタ5の鏡面に施
すこともできる。この場合には、光束の第1の補正は鏡
面に達するまでの透過性フィルムの最初の透過の際に行
われ、かつ光束の第2の補正はリフレクタ5の鏡面での
反射後に行われる。もちろんその際には、補正は相応し
て計算されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【図1】第3のリフレクタの近くに配置された補正プレ
ートを有する本発明による光学系の構造のための1実施
例を示す図である。
【図2】種々の視野角度及び波長に関するx及びy方向
における大きな視野(場合によりデータ収集チャンネル
における)のための図1の補正されていない計の出射瞳
における、波長λの単位で表される波面変形を示す図で
ある。
【図3】図2に相当する、但し本発明に基づき補正プレ
ートをにより補正された系のための図である。
【図4】図2に相当する、但し比較的小さい視野(場合
により通信チャンネルにおける)のための図である。
【図5】図4に相当する、但し本発明に基づき補正プレ
ートを用いて補正された系の図である。
【図6】z注視方向での補正プレートの表面プロフィー
ルである。
【図7】補正プレートの表面プロフィールの強度に誇張
した斜視図である。
【図8】図3もしくは図5に相応する補正を惹起する、
ホログラムを有する補正プレートのための位相関数を示
す図である。
【図9】図2に類似した、大きな視野(データ収集チャ
ンネル)、但し小さい倍率を有するための補正されてい
ない系の出射瞳における波面変形を示す図である。
【図10】図9に相当する、但し本発明に基づき補正手
段により第3のリフレクタで補正された系を示す図であ
る。
【図11】小さい視野(通信チャンネル)のための、図
9に相当する図である。
【図12】図10に相当する、但し本発明に基づき第3
の反射鏡で補正された系を示す図である。
【図13】z注視方向における第3のリフレクタの自体
平坦な表面におけるmmでの表面プロフィールを示す図
である。
【図14】自体で平坦な、第3のリフレクタの表面プロ
フィールの強度に誇張した斜視図である。
【図15】図10もしくは12に相応する補正が惹起さ
れる、第3のリフレクタのホログラムを有する表面のた
めの位相関数を示す図である。
【符号の説明】
1 光束、 O 光軸、 2 凹面鏡面、 3 リフレ
クタ、 A 光軸、α AとOの形成する角度、 4
第2の凸面リフレクタ、 A′ 第2のリフレクタの光
軸、 β 第2のリフレクタの光軸に対する角度、 5
第3のリフレクタ、 O′ 偏向した光軸、 6 第
4のリフレクタ、 Z 中間像面、AP 瞳面、 7
補正プレート

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光学系における光学的波面収差を補正す
    る方法において、入射瞳(EP)と出射瞳(AP)の間
    の種々の波長及び視野のための光学的波面を計算し、か
    つ場合により存在する位相差を光路内の位相に影響を及
    ぼす少なくとも1つの面(5,7)により補償すること
    特徴とする、光学系における光学的波面収差を補正する
    方法。
  2. 【請求項2】 以下の特徴の少なくとも1つ: a)位相差を補償する面(5,7)が中間像面(Z)又
    は瞳面(AP)内又は近くに配置されている; b)位相差を補償する面(5,7)が反射性である; c)位相差を補償する面(5,7)が透過性である; d)位相差を補償する面(5,7)が回折性である; e)位相差を補償する面(5,7)が位相構造:Φ=
    (2π/λ)***ΔzもしくはΦ=(2π/λ)*
    **Δz(modulo λ)を有し、これは有利には多項
    式、特に多項式: 【数1】 に相当し、上記式中、ΔzもしくはΔz(modulo λ)
    は位置(x,y)での座標zに沿ったmmでの深度プロ
    フィールを表し、a=(n−1)は透過性面、a=2は
    反射性面であり、一方bは面の組み込み位置を決定する
    幾何学的ファクタであり、x及びyはz軸に対して垂直
    な座標であり、ディメンジョンの付いた係数AR〜DR
    は基礎となる円錐波面からのずれの回転対称成分4.,
    6.,8.,10.次数を表し、一方ディメンジョンの
    無い係数AP〜DPは相応する非回転対称成分を表すこ
    と特徴とする、請求項1記載の方法。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2記載の方法で製造され
    た、少なくとも1つの光学部材により規定された光路及
    び補正装置を有する光学系において、入射瞳(EP)と
    出射瞳(AP)の間の種々の波長及び視野のための光学
    的波面を計算し、かつ場合により存在する位相差を光路
    内の位相に影響を及ぼす少なくとも1つの面(5,7)
    により補償すること特徴とする光学系。
  4. 【請求項4】 以下の特徴の少なくとも1つ: a)位相差を補償する面(5,7)が中間像面(Z)又
    は瞳面(AP)内又は近くに配置されている; b)位相差を補償する面(5,7)が反射性である; c)位相差を補償する面(5,7)が透過性である; d)位相差を補償する面(5,7)が回折性である; e)位相差を補償する面(5,7)が位相構造:Φ=
    (2π/λ)***ΔzもしくはΦ=(2π/λ)*
    **Δz(modulo λ)を有し、これは有利には多項
    式、特に多項式: 【数2】 に相当し、上記式中、ΔzもしくはΔz(modulo λ)
    は位置(x,y)での座標zに沿ったmmでの深度プロ
    フィールを表し、a=(n−1)は透過性面、a=2は
    反射性面であり、一方bは面の組み込み位置を決定する
    幾何学的ファクタであり、x及びyはz軸に対して垂直
    な座標であり、ディメンジョンの付いた係数AR〜DR
    は基礎となる円錐波面からのずれの回転対称成分4.,
    6.,8.,10.次数を表し、一方ディメンジョンの
    無い係数AP〜DPは相応する非回転対称成分を表すこ
    と特徴とする、請求項4記載の光学系。
  5. 【請求項5】 望遠鏡として構成されかつ請求項1又は
    2記載の方法に基づき製造された、1つの光路を有する
    光学系であって、該光路の軸線(A)に沿って配置され
    た第1のリフレクタ(3)を有し、該リフレクタが光軸
    (O)に沿って入射する光束(1)を凸面の第2のリフ
    レクタ(4)に反射し、該第2のリフレクタが第1のリ
    フレクタによって得られた光束を第3のリフレクタ
    (5)に導き、該第3のリフレクタによって、前記光軸
    (O)に対する一定の角度で反射せしめるために、凹面
    の第4にリフレクタ(6)に導かれる形式のものにおい
    て、光路内に光学的波面収差を補正するための装置
    (5,7)が設けられていることを特徴とする光学系。
  6. 【請求項6】 第1のリフレクタ(3)の軸線(A)が
    光軸(O)と0゜からずれた角度(α)を形成する、請
    求項5記載の望遠鏡。
  7. 【請求項7】第1のリフレクタ(3)の軸線(A)と入
    射光束(1)の光軸(O)との間の角度(α)が30゜
    未満、有利には10゜未満、特に5゜未満、例えば約1
    ゜である、請求項6記載の望遠鏡。
  8. 【請求項8】 補正装置(5,7)が、特に第3のリフ
    レクタ(5)に配属された位相構造:Φ=(2π/λ)
    ***ΔzもしくはΦ=(2π/λ)***Δz(mo
    dulo λ)を有し、これは有利には多項式、特に多項
    式: 【数3】 に相当し、上記式中、ΔzもしくはΔz(modulo λ)
    は位置(x,y)での座標zに沿ったmmでの深度プロ
    フィールを表し、a=(n−1)は透過性面、a=2は
    反射性面であり、一方bは面の組み込み位置を決定する
    幾何学的ファクタであり、x及びyはz軸に対して垂直
    な座標であり、ディメンジョンの付いた係数AR〜DR
    は基礎となる円錐波面からのずれの回転対称成分4.,
    6.,8.,10.次数を表し、一方ディメンジョンの
    無い係数AP〜DPは相応する非回転対称成分を表す、
    請求項5から7までのいずれか1項記載の望遠鏡。
  9. 【請求項9】 第1のリフレクタ(3)のパレント反射
    鏡が1より大、有利には1.5より大、かつ殊に2±
    0.3であるF値を有する、請求項5から8までのいず
    れか1項記載の望遠鏡。
  10. 【請求項10】 第2のリフレクタ(4)のパレント反
    射鏡が1より大、有利には1.5より大、かつ殊に2±
    0.3であるF値を有する、請求項5から9までのいず
    れか1項記載の望遠鏡。
  11. 【請求項11】 第2のリフレクタ(4)の軸線
    (A′)も光軸(O)と0゜からずれた角度(β)を形
    成しかつ有利には第1及び第2のリフレクタ(3及び
    4)の軸線(A及びA′)の入射光束(1)の光軸
    (O)に対する角度が実質的に同じ大きさでありかつ/
    又は第2のリフレクタ(4)の軸線(A′)と入射光束
    (1)の光軸(O)との間の角度(β)が30゜未満、
    有利には10゜未満、殊に5゜未満、例えば1゜であ
    る、請求項6から10までのいずれか1項記載の望遠
    鏡。
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