JP2000224874A - 圧電型アクチュエータ - Google Patents
圧電型アクチュエータInfo
- Publication number
- JP2000224874A JP2000224874A JP11057504A JP5750499A JP2000224874A JP 2000224874 A JP2000224874 A JP 2000224874A JP 11057504 A JP11057504 A JP 11057504A JP 5750499 A JP5750499 A JP 5750499A JP 2000224874 A JP2000224874 A JP 2000224874A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- case
- electrode portion
- diaphragm
- piezoelectric actuator
- vibrating plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 圧電素子が取り付けられた振動板をケース内
に設置するに際して、加工性を良くするためにケースを
合成樹脂製のものとしても振動特性が変化することがな
いようにするとともに、振動板のアースを何らその振動
特性に悪影響を与えることなく容易にとることができる
ようにする。 【構成】 圧電素子が取り付けられた振動板の周縁を金
属製のリングによって支持し、その金属製のリングを合
成樹脂製のケース内に設置するようにしたうえで、その
金属製のリングに電極部を一体的に形成して、その電極
部がケースの外部に露呈するように構成する。
に設置するに際して、加工性を良くするためにケースを
合成樹脂製のものとしても振動特性が変化することがな
いようにするとともに、振動板のアースを何らその振動
特性に悪影響を与えることなく容易にとることができる
ようにする。 【構成】 圧電素子が取り付けられた振動板の周縁を金
属製のリングによって支持し、その金属製のリングを合
成樹脂製のケース内に設置するようにしたうえで、その
金属製のリングに電極部を一体的に形成して、その電極
部がケースの外部に露呈するように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電素子が取り付けら
れた振動板をケース内に設けるようにした圧電型アクチ
ュエータに関する。
れた振動板をケース内に設けるようにした圧電型アクチ
ュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、この種の圧電型アクチュエータ
は、センサ本体に角速度が作用したときのガス通路にお
けるガス流の偏向状態を、そのガス通路に左，右一対に
設けられた感熱抵抗素子の抵抗の変化として電気的に検
出してそのときの角速度の大きさおよび向きを求めるよ
うにした、センサ本体がマイクロマシニング加工によっ
て形成された超小型のガス式角速度センサにあって、ガ
ス通路内に一定したガス流を供給するためのポンプとし
て用いられている。
は、センサ本体に角速度が作用したときのガス通路にお
けるガス流の偏向状態を、そのガス通路に左，右一対に
設けられた感熱抵抗素子の抵抗の変化として電気的に検
出してそのときの角速度の大きさおよび向きを求めるよ
うにした、センサ本体がマイクロマシニング加工によっ
て形成された超小型のガス式角速度センサにあって、ガ
ス通路内に一定したガス流を供給するためのポンプとし
て用いられている。
【０００３】しかして、このような用途の圧電型アクチ
ュエータにあっては、その動作特性が安定するべく、非
常な加工精度が要求されるものになっている。
ュエータにあっては、その動作特性が安定するべく、非
常な加工精度が要求されるものになっている。
【０００４】従来の圧電型アクチュエータは、図９に示
すように、圧電素子１が取り付けられた振動板２の周縁
を上ケース３と下ケース４との間に挟持させるようにし
て、その上ケース３と下ケース４をかしめや溶接または
ネジ止めなどによって結合させるようにしている。圧電
素子１にはプラス側のリード１３がハンダ付けされて、
そのリード１３が上ケース３にあけられた穴１７から外
部に引き出されている。
すように、圧電素子１が取り付けられた振動板２の周縁
を上ケース３と下ケース４との間に挟持させるようにし
て、その上ケース３と下ケース４をかしめや溶接または
ネジ止めなどによって結合させるようにしている。圧電
素子１にはプラス側のリード１３がハンダ付けされて、
そのリード１３が上ケース３にあけられた穴１７から外
部に引き出されている。
【０００５】その際、上ケース３と下ケース４の結合の
状態によって振動板２の支持状態が変わり、それにとも
なって振動板２の振動特性が微妙に変化してしまうの
で、各ケース３，４を金属によって煩雑な精密加工を施
すようにしなければならなかった。
状態によって振動板２の支持状態が変わり、それにとも
なって振動板２の振動特性が微妙に変化してしまうの
で、各ケース３，４を金属によって煩雑な精密加工を施
すようにしなければならなかった。
【０００６】加工性を良くするために上ケース３と下ケ
ース４とを合成樹脂によってモールド成形するのでは、
振動板２を挟持する面の加工精度が悪くなって特性がば
らついてしまうとともに、振動板２の振動による挟持面
の摩耗によって特性が変化してしまう。また、その樹脂
の熱膨張係数が振動板２の材質とはかけ離れたものとな
って、温度によって振動板２の挟持状態が変わって特性
が変化してしまうことになる。
ース４とを合成樹脂によってモールド成形するのでは、
振動板２を挟持する面の加工精度が悪くなって特性がば
らついてしまうとともに、振動板２の振動による挟持面
の摩耗によって特性が変化してしまう。また、その樹脂
の熱膨張係数が振動板２の材質とはかけ離れたものとな
って、温度によって振動板２の挟持状態が変わって特性
が変化してしまうことになる。
【０００７】そして、特に、上ケース３と下ケース４と
を合成樹脂製のものとするのでは、それをアース体とし
て用いることができないため、図１０に示すように、振
動板２に直接アース用のリード１８をハンダ付けして、
そのリード１８をとり回しながら上ケース３にあけられ
た穴１９から外部に引き出すようにする必要があるもの
になってしまう。
を合成樹脂製のものとするのでは、それをアース体とし
て用いることができないため、図１０に示すように、振
動板２に直接アース用のリード１８をハンダ付けして、
そのリード１８をとり回しながら上ケース３にあけられ
た穴１９から外部に引き出すようにする必要があるもの
になってしまう。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】解決しようとする問題
点は、圧電素子が取り付けられた振動板の周縁を挟持す
る上ケースと下ケースとを特性のばらつきがないように
金属によって精密加工するのでは加工性が劣り、加工性
を良くするために合成樹脂によって上ケースと下ケース
とを成形するのでは、振動板の挟持面の加工精度が悪か
ったり摩耗したりして、また温度によって特性が変化し
てしまうことである。
点は、圧電素子が取り付けられた振動板の周縁を挟持す
る上ケースと下ケースとを特性のばらつきがないように
金属によって精密加工するのでは加工性が劣り、加工性
を良くするために合成樹脂によって上ケースと下ケース
とを成形するのでは、振動板の挟持面の加工精度が悪か
ったり摩耗したりして、また温度によって特性が変化し
てしまうことである。
【０００９】そして、特に、ケースを合成樹脂製のもの
とするのでは、振動板に直接アース用のリードをハンダ
付けしてケース外部に引き出す必要を生じて、ハンダ付
けをする際の位置決めが困難になって作業性が悪くなる
とともに、振動板にリードを接続すること自体がその振
動特性に悪影響を与えてしまうという問題がある。振動
部分からは直接にリードを極力引き出さないようにする
のが望ましい。
とするのでは、振動板に直接アース用のリードをハンダ
付けしてケース外部に引き出す必要を生じて、ハンダ付
けをする際の位置決めが困難になって作業性が悪くなる
とともに、振動板にリードを接続すること自体がその振
動特性に悪影響を与えてしまうという問題がある。振動
部分からは直接にリードを極力引き出さないようにする
のが望ましい。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、圧電素子が取
り付けられた振動板をケース内に設置するに際して、そ
のケースを合成樹脂製のものとしても特性が変化するこ
とがないようにするとともに、振動板のアースを何らそ
の振動特性に悪影響を与えることがなく容易にとること
ができるようにするべく、振動板の周縁を金属製のリン
グによって支持したうえで、その金属製のリングを合成
樹脂製のケース内に設置するようにしたうえで、その金
属製のリングに電極部を一体的に形成して、その電極部
がケースの外部に露呈するようにしている。
り付けられた振動板をケース内に設置するに際して、そ
のケースを合成樹脂製のものとしても特性が変化するこ
とがないようにするとともに、振動板のアースを何らそ
の振動特性に悪影響を与えることがなく容易にとること
ができるようにするべく、振動板の周縁を金属製のリン
グによって支持したうえで、その金属製のリングを合成
樹脂製のケース内に設置するようにしたうえで、その金
属製のリングに電極部を一体的に形成して、その電極部
がケースの外部に露呈するようにしている。
【００１１】
【実施例】本発明による圧電型アクチュエータにあって
は、図１および図２に示すように、その基本的な構成
が、圧電素子１が貼り付けられた振動板２と、その振動
板２の周縁を挟持する一対の金属製のインナーリング
５，６と、一方のインナーリング５が嵌合する溝７が形
成された合成樹脂製の上ケース３および他方のインナー
リング６が嵌合する溝８が形成された合成樹脂製の下ケ
ース４とからなっている。
は、図１および図２に示すように、その基本的な構成
が、圧電素子１が貼り付けられた振動板２と、その振動
板２の周縁を挟持する一対の金属製のインナーリング
５，６と、一方のインナーリング５が嵌合する溝７が形
成された合成樹脂製の上ケース３および他方のインナー
リング６が嵌合する溝８が形成された合成樹脂製の下ケ
ース４とからなっている。
【００１２】ここでは、圧電型アクチュエータをポンプ
として用いるようにしたときの構成を示しており、上ケ
ース３にはガスの吸入口９と吐出口１０とが設けられ、
上ケース３と下ケース４とを組み付けたケース内部にガ
ス室１１が形成されるようになっている。図中、１２は
圧電素子１にハンダ付けされたプラス側のリード１３の
外部引出し孔である。
として用いるようにしたときの構成を示しており、上ケ
ース３にはガスの吸入口９と吐出口１０とが設けられ、
上ケース３と下ケース４とを組み付けたケース内部にガ
ス室１１が形成されるようになっている。図中、１２は
圧電素子１にハンダ付けされたプラス側のリード１３の
外部引出し孔である。
【００１３】このような圧電型アクチュエータにあって
は、上ケース３側の溝７内にインナーリング５を、下ケ
ース４側の溝８内にインナーリング６をそれぞれ嵌め込
んだうえで、振動板２を挟持するように上ケース３と下
ケース４とを接合することによって組み付けられる。
は、上ケース３側の溝７内にインナーリング５を、下ケ
ース４側の溝８内にインナーリング６をそれぞれ嵌め込
んだうえで、振動板２を挟持するように上ケース３と下
ケース４とを接合することによって組み付けられる。
【００１４】その際、予め、上ケース３側の溝７内にイ
ンナーリング５を、下ケース４側の溝８内にインナーリ
ング６をそれぞれインサート成形しておくようにすれ
ば、組付け時の作業性が向上する。
ンナーリング５を、下ケース４側の溝８内にインナーリ
ング６をそれぞれインサート成形しておくようにすれ
ば、組付け時の作業性が向上する。
【００１５】上ケース３と下ケース４との接合は、接着
剤による接着、超音波溶着、熱かしめ、ネジ止めなどに
よって行われる。
剤による接着、超音波溶着、熱かしめ、ネジ止めなどに
よって行われる。
【００１６】このように構成されたものにあって、特に
本発明では、下側のインナーリング６に外周方向に突出
するアース用の電極部２０を一体的に形成するととも
に、下ケース４にその電極部２０を外部に引き出す切欠
部２１を設けて、その電極部２０がケース外部に突出す
るようにして、その電極部２０の突出部分にアース用の
リード１８をハンダ付けできるようにしている。
本発明では、下側のインナーリング６に外周方向に突出
するアース用の電極部２０を一体的に形成するととも
に、下ケース４にその電極部２０を外部に引き出す切欠
部２１を設けて、その電極部２０がケース外部に突出す
るようにして、その電極部２０の突出部分にアース用の
リード１８をハンダ付けできるようにしている。
【００１７】このように本発明によれば、合成樹脂製の
上ケース３および下ケース４からなるケース内に振動板
２を設置するに際して、その振動板２の周縁を金属製の
インナーリング５，６間に挟持するようにしているの
で、振動板２の挟持面の加工精度を充分に保ちながら、
その挟持面に摩耗をきたすようなことなく、振動特性が
安定したものを加工性良く製造することができるように
なる。また、インナーリング５，６の熱膨張係数を振動
板２とほぼ同じにすることができ、温度によって振動板
２の挟持状態が変わって振動特性が変化するようなこと
を防止できるようになる。
上ケース３および下ケース４からなるケース内に振動板
２を設置するに際して、その振動板２の周縁を金属製の
インナーリング５，６間に挟持するようにしているの
で、振動板２の挟持面の加工精度を充分に保ちながら、
その挟持面に摩耗をきたすようなことなく、振動特性が
安定したものを加工性良く製造することができるように
なる。また、インナーリング５，６の熱膨張係数を振動
板２とほぼ同じにすることができ、温度によって振動板
２の挟持状態が変わって振動特性が変化するようなこと
を防止できるようになる。
【００１８】そして、特に本発明によれば、ケース外部
において突出している電極部２０にアース用のリード１
８をハンダ付けすることができ、振動板２のアースを何
らその振動特性に悪影響を与えることなく容易にとるこ
とができるようになる。
において突出している電極部２０にアース用のリード１
８をハンダ付けすることができ、振動板２のアースを何
らその振動特性に悪影響を与えることなく容易にとるこ
とができるようになる。
【００１９】なお、その際、図３および図４に示すよう
に、上側のインナーリング５にアース用のリード１８を
直接ハンダ付けして、そのリード１８を上ケース３に設
けられた切欠部２２から外部に引き出すようにするので
は、インナーリング５にリード１８をハンダ付けをする
際の位置決めが困難になって作業性が悪くなってしま
う。
に、上側のインナーリング５にアース用のリード１８を
直接ハンダ付けして、そのリード１８を上ケース３に設
けられた切欠部２２から外部に引き出すようにするので
は、インナーリング５にリード１８をハンダ付けをする
際の位置決めが困難になって作業性が悪くなってしま
う。
【００２０】また、図５は本発明による圧電型アクチュ
エータの他の構成例を示しており、この場合は、予め振
動板２の周縁部を一対の金属製のインナーリング１４，
１５間にかしめによって挟持させたものを合成樹脂製の
上ケース３および下ケース４からなるケース内に設置す
るようにしている。
エータの他の構成例を示しており、この場合は、予め振
動板２の周縁部を一対の金属製のインナーリング１４，
１５間にかしめによって挟持させたものを合成樹脂製の
上ケース３および下ケース４からなるケース内に設置す
るようにしている。
【００２１】一対のインナーリング１４，１５間に振動
板２の周縁部を挟持する場合、図６に示すように、下ケ
ース４側の溝８内に嵌め込まれる一方のインナーリング
１４にはその周縁に突出する壁部１６が形成されてお
り、そのインナーリング１４上に振動板２および他方の
インナーリング１５をその端部がその壁部１６に当接す
るように載置したうえで、その壁部１６の先端を折り曲
げてかしめるようにしている。
板２の周縁部を挟持する場合、図６に示すように、下ケ
ース４側の溝８内に嵌め込まれる一方のインナーリング
１４にはその周縁に突出する壁部１６が形成されてお
り、そのインナーリング１４上に振動板２および他方の
インナーリング１５をその端部がその壁部１６に当接す
るように載置したうえで、その壁部１６の先端を折り曲
げてかしめるようにしている。
【００２２】そして、上ケース３側の溝７と下ケース４
側の溝８との間にかしめによって振動板２を挟持するよ
うに一体化されたインナーリング１４，１５を嵌め込ん
だうえで、上ケース３と下ケース４とを接合することに
よって組み付けられる。
側の溝８との間にかしめによって振動板２を挟持するよ
うに一体化されたインナーリング１４，１５を嵌め込ん
だうえで、上ケース３と下ケース４とを接合することに
よって組み付けられる。
【００２３】しかして、この構成によれば、予めかしめ
によって一対のインナーリング１４，１５間に振動板２
の周縁部を挟持したものをケース内に組み付けるように
しているので、容易に振動板２の周縁の挟持状態を一定
にすることができ、振動特性が一定したものを加工性良
く量産することができるようになる。
によって一対のインナーリング１４，１５間に振動板２
の周縁部を挟持したものをケース内に組み付けるように
しているので、容易に振動板２の周縁の挟持状態を一定
にすることができ、振動特性が一定したものを加工性良
く量産することができるようになる。
【００２４】その際、特に、インナーリング１５に突出
形成されている電極部２０を下ケース４側の切欠部２１
に嵌合させることによって、予めかしめによって振動板
２を挟持するように一体化されたインナーリング１４，
１５をケース内に組み付ける際の位置決めを行わせるこ
とができるようになる。
形成されている電極部２０を下ケース４側の切欠部２１
に嵌合させることによって、予めかしめによって振動板
２を挟持するように一体化されたインナーリング１４，
１５をケース内に組み付ける際の位置決めを行わせるこ
とができるようになる。
【００２５】図７および図８は本発明の他の実施例を示
すもので、ここでは上側のインナーリング５の外周方向
に突出形成した電極部２３を上方に折り曲げて、上ケー
ス３にあけられた穴２４からその電極部２３の端部を露
呈させるようにして、そのケース上面に露呈した電極部
２３の端部にリード１８をハンダ付けするようにしてい
る。
すもので、ここでは上側のインナーリング５の外周方向
に突出形成した電極部２３を上方に折り曲げて、上ケー
ス３にあけられた穴２４からその電極部２３の端部を露
呈させるようにして、そのケース上面に露呈した電極部
２３の端部にリード１８をハンダ付けするようにしてい
る。
【００２６】また、特に図示しないが、下側のインナー
リング６の外周方向に突出形成した電極部を下方に折り
曲げて、下ケース４にあけられた穴からその電極部の端
部を露呈させるようにして、そのケース下面に露呈した
電極部の端部にリードをハンダ付けするようにしてもよ
いことはいうまでもない。
リング６の外周方向に突出形成した電極部を下方に折り
曲げて、下ケース４にあけられた穴からその電極部の端
部を露呈させるようにして、そのケース下面に露呈した
電極部の端部にリードをハンダ付けするようにしてもよ
いことはいうまでもない。
【００２７】
【効果】以上、本発明による圧電型アクチュエータにあ
っては、圧電素子が取り付けられた振動板の周縁を金属
製のリングによって支持し、その金属製のリングを合成
樹脂製のケース内に設置するようにしたうえで、その金
属製のリングに電極部を一体的に形成して、その電極部
がケースの外部に露呈するように構成したもので、ケー
スを合成樹脂製のものとしても振動特性が変化すること
がないように振動板をケース内に設置するとともに、振
動板のアースを何らその振動特性に悪影響を与えること
なく容易にとることができ、振動特性が安定した圧電型
アクチュエータを加工性良く製造できるという利点を有
している。
っては、圧電素子が取り付けられた振動板の周縁を金属
製のリングによって支持し、その金属製のリングを合成
樹脂製のケース内に設置するようにしたうえで、その金
属製のリングに電極部を一体的に形成して、その電極部
がケースの外部に露呈するように構成したもので、ケー
スを合成樹脂製のものとしても振動特性が変化すること
がないように振動板をケース内に設置するとともに、振
動板のアースを何らその振動特性に悪影響を与えること
なく容易にとることができ、振動特性が安定した圧電型
アクチュエータを加工性良く製造できるという利点を有
している。
【図１】本発明による圧電型アクチュエータの一実施例
を示す正断面図である。
を示す正断面図である。
【図２】同実施例による圧電型アクチュエータの分解斜
視図である。
視図である。
【図３】圧電型アクチュエータにおけるアース用リード
の引出し状態の一例を示す正断面図である。
の引出し状態の一例を示す正断面図である。
【図４】圧電型アクチュエータにおけるアース用リード
の引出し状態の一例を示す分解斜視図である。
の引出し状態の一例を示す分解斜視図である。
【図５】本発明による圧電型アクチュエータの他の実施
例を示す正断面図である。
例を示す正断面図である。
【図６】一対のインナーリング間に振動板の周縁部をか
しめによって挟持する過程を示す図である。
しめによって挟持する過程を示す図である。
【図７】本発明による圧電型アクチュエータのさらに他
の実施例を示す正断面図である。
の実施例を示す正断面図である。
【図８】図７に示す実施例による圧電型アクチュエータ
の分解斜視図である。
の分解斜視図である。
【図９】従来の圧電型アクチュエータの一構成例を示す
正断面図である。
正断面図である。
【図１０】従来の圧電型アクチュエータの他の構成例を
示す正断面図である。
示す正断面図である。
１ 圧電素子 ２ 振動板 ３ 上ケース ４ 下ケース ５ インナーリング ６ インナーリング ９ 吸入口 １０ 吐出口 １４ インナーリング １５ インナーリング １６ 壁部 １８ アース用リード１８ ２０ 電極部 ２１ 切欠部 ２３ 電極部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加藤 清 埼玉県和光市中央１丁目４番１号 株式会 社本田技術研究所内 (72)発明者 平山 心祐 埼玉県和光市中央１丁目４番１号 株式会 社本田技術研究所内 (72)発明者 鈴鹿 純一 愛知県名古屋市瑞穂区高辻町14番18号 日 本特殊陶業株式会社内 (72)発明者 櫻井 隆行 愛知県名古屋市瑞穂区高辻町14番18号 日 本特殊陶業株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 圧電素子が取り付けられた振動板の周縁
を金属製のリングによって支持し、その金属製のリング
を合成樹脂製のケース内に設置するようにしたうえで、
その金属製のリングに電極部を一体的に形成して、その
電極部がケースの外部に露呈するように構成した圧電型
アクチュエータ。 - 【請求項２】 振動板の周縁を一対の金属製のリング間
に挟持させるようにしたうえで、そのうちの一方のリン
グに電極部を形成するようにしたことを特徴とする請求
項１の記載による圧電型アクチュエータ。 - 【請求項３】 ケースを密閉構造として、そのケースに
ガスの吸入口と吐出口とを設けて、ポンプとして用いる
ようにしたことを特徴とする請求項１の記載による圧電
型アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05750499A JP4453114B2 (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | 圧電型アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05750499A JP4453114B2 (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | 圧電型アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000224874A true JP2000224874A (ja) | 2000-08-11 |
| JP4453114B2 JP4453114B2 (ja) | 2010-04-21 |
Family
ID=13057571
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05750499A Expired - Fee Related JP4453114B2 (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | 圧電型アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4453114B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI680232B (zh) * | 2018-08-13 | 2019-12-21 | 科際精密股份有限公司 | 流體驅動裝置 |
-
1999
- 1999-01-28 JP JP05750499A patent/JP4453114B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI680232B (zh) * | 2018-08-13 | 2019-12-21 | 科際精密股份有限公司 | 流體驅動裝置 |
| US11248597B2 (en) | 2018-08-13 | 2022-02-15 | Koge Micro Tech Co., Ltd. | Fluid driving device |
| US11585337B2 (en) | 2018-08-13 | 2023-02-21 | Koge Micro Tech Co., Ltd. | Fluid driving device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4453114B2 (ja) | 2010-04-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9103337B2 (en) | Fluid control device | |
| CN101410702B (zh) | 利用整体式端口与膜片构造的基于厚膜技术的超高压传感器 | |
| KR100642912B1 (ko) | 유량 측정 장치 | |
| JP2001108544A (ja) | 半導体センサ | |
| JP4301048B2 (ja) | 圧力センサおよびその製造方法 | |
| JP2003302300A (ja) | 圧力センサ | |
| JP4353251B2 (ja) | 圧力センサ | |
| KR100572095B1 (ko) | 공기 유량 측정 장치 | |
| JP2003172665A (ja) | 圧力センサ | |
| JP2000224874A (ja) | 圧電型アクチュエータ | |
| CN1985116A (zh) | 电磁控制阀 | |
| JP5076687B2 (ja) | 圧力センサ | |
| EP1369675A2 (en) | Pressure sensor assembly | |
| CN101657709A (zh) | 压力传感器方法和设备 | |
| JP4456689B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JP2006105853A (ja) | 圧力センサ | |
| JP7013298B2 (ja) | 圧力センサとその製造方法 | |
| JP2000217374A (ja) | 圧電型アクチュエ―タ | |
| JP4415337B2 (ja) | 圧電型アクチュエータ | |
| JP2000224873A (ja) | 圧電型アクチュエータ | |
| JP2000217373A (ja) | 圧電型アクチュエ―タ | |
| JP2000294846A (ja) | 圧電型アクチュエータ | |
| JP4347946B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JP4952271B2 (ja) | 圧力センサ | |
| JP4223273B2 (ja) | 圧力センサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051219 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081226 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090120 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090319 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090319 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090616 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090810 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100119 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100125 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130212 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130212 Year of fee payment: 3 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130212 Year of fee payment: 3 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140212 Year of fee payment: 4 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |