JP2000222846A - Magnetic recording medium, recording method, and magnetic recording device - Google Patents

Magnetic recording medium, recording method, and magnetic recording device

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JP2000222846A
JP2000222846A JP11025277A JP2527799A JP2000222846A JP 2000222846 A JP2000222846 A JP 2000222846A JP 11025277 A JP11025277 A JP 11025277A JP 2527799 A JP2527799 A JP 2527799A JP 2000222846 A JP2000222846 A JP 2000222846A
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JP
Japan
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magnetic
servo signal
recording medium
magnetic recording
recording
Prior art date
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Application number
JP11025277A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshiyuki Ikeda
祥行 池田
Yuzo Seo
雄三 瀬尾
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Mitsubishi Chemical Corp
Original Assignee
Mitsubishi Chemical Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a magnetic recording medium, a recording method, and a magnetic recording device that have the large reproduction output and S/N of a servo signal, can accurately carry out tracking, and can reduce a track pitch for performing high-density recording. SOLUTION: A magnetic recording medium has a substrate 10 and a magnetic layer 11 on the substrate 10. In the servo signal recording region of the substrate 10, a projection part 12 is provided. A servo signal is recorded to the magnetic layer 11 on the projection part 12. The servo signal is recorded to the magnetic layer on one projection part 12 so that a magnetization direction is inverted for three times. To write the servo signal, one circuit of the desired number of clock signals is written at fixed intervals at an outermost periphery part on a disk. The signal is read by a clock head for synchronizing, and a high-frequency signal being synchronized with the signal is used for writing by a magnetic head.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は磁気ディスク等の磁
気記録媒体、記録方法及び磁気記録装置に係り、特にサ
ーボ信号記録部に凸部及び凹部が設けられ、この凸部上
の磁性層にサーボ信号が記録された磁気記録媒体と、こ
のサーボ信号の記録方法と、この磁気記録媒体を備えた
磁気記録装置とに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium such as a magnetic disk, a recording method, and a magnetic recording apparatus, and more particularly to a servo signal recording portion having a convex portion and a concave portion. The present invention relates to a magnetic recording medium on which a signal is recorded, a method of recording the servo signal, and a magnetic recording device provided with the magnetic recording medium.

【0002】[0002]

【従来の技術】ハードディスク等の磁気ディスクにおい
ては、記録トラックのサーボのためにサーボ信号記録部
が設けられている。このサーボ信号記録部を凹部及び凸
部にて構成し、該凸部上の磁性層にサーボ信号を記録し
たものがある(例えば、米国特許4,912,585、
特開平5−242470号公報)。
2. Description of the Related Art In a magnetic disk such as a hard disk, a servo signal recording unit is provided for servoing a recording track. This servo signal recording portion is constituted by a concave portion and a convex portion, and a servo signal is recorded on a magnetic layer on the convex portion (for example, US Pat. No. 4,912,585;
JP-A-5-242470).

【0003】図3〜5はこの特開平5−242470号
の発明の実施例に係る磁気記録媒体の説明図、図6は同
号の発明に対する比較例を示す磁気記録媒体の説明図で
ある。
FIGS. 3 to 5 are explanatory views of a magnetic recording medium according to an embodiment of the invention of Japanese Patent Laid-Open No. 5-242470, and FIG. 6 is an explanatory view of a magnetic recording medium showing a comparative example with respect to the invention of the same publication.

【0004】同号公報は、記録トラック3間に溝部4を
周方向に形成したディクリートトラックメディアに関す
るものである。なお、図3,4の符号1は基板、2は磁
性層である。このトラック3を基板1の半径方向に横断
する溝6を形成することによりサーボ信号記録部が形成
されている。図5のサーボ信号記録部の凸部の磁化の向
き(磁化方向)は、溝6(凹部)の磁化の向きと反対に
なっている。この図5のように凸部と凹部とで磁化方向
を反対とすることにより、凸部の立上り部と立下り部と
で磁化方向が反転するため、サーボ信号再生時の再生出
力及びS/Nが、図6のように凸部にのみサーボ信号を
記録した磁気記録媒体(米国特許4,912,585号
に相当のもの。)に比べて大きくなる。
[0004] This publication relates to a discrete track medium in which grooves 4 are formed in the circumferential direction between recording tracks 3. 3 and 4, reference numeral 1 denotes a substrate, and 2 denotes a magnetic layer. A servo signal recording portion is formed by forming a groove 6 that traverses the track 3 in the radial direction of the substrate 1. The direction of magnetization (magnetization direction) of the convex portion of the servo signal recording section in FIG. 5 is opposite to the direction of magnetization of the groove 6 (concave portion). By reversing the magnetization direction between the convex portion and the concave portion as shown in FIG. 5, the magnetization direction is inverted between the rising portion and the falling portion of the convex portion. However, as compared with a magnetic recording medium in which a servo signal is recorded only on a convex portion as shown in FIG. 6 (corresponding to U.S. Pat. No. 4,912,585).

【0005】なお、この特開平5−242470号で
は、凸凹部を同時に1方向にDC磁化した後、書き込み
電流を変え、凸部のみ反対方向にDC磁化させることに
より、凸部と凹部とで磁化方向が反対となるようにして
いる。
In Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 5-242470, after the convex and concave portions are simultaneously DC-magnetized in one direction, the write current is changed, and only the convex portions are DC-magnetized in the opposite direction. The directions are reversed.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】図6の如く、凸部のみ
を磁化したサーボ信号記録方式の場合には、凹部は磁化
されていないことから磁化方向が完全に反転する境界域
が無く、得られる信号が小さくS/N比が低い。このた
め、高密度化によるトラック幅の狭幅化で媒体の出力が
低下した際には、良い信号が得られないと言った問題が
ある。
As shown in FIG. 6, in the case of the servo signal recording method in which only the convex portions are magnetized, the concave portions are not magnetized, so that there is no boundary region in which the magnetization direction is completely reversed, and thus, there is a problem. Signal is small and the S / N ratio is low. Therefore, when the output of the medium is reduced due to the narrow track width due to the high density, there is a problem that a good signal cannot be obtained.

【0007】図3〜5に示す特開平5−242470号
の発明の如く凸部と凹部で反対方向に磁化したサーボ信
号記録方式の場合には、磁化反転領域が存在するため、
大きな信号が得られるが、磁化反転領域が凸凹の境界に
しかできない。また、ディスク基盤の凸凹のパターンに
関しては、加工上の制約から磁気記録した場合に得られ
るスイッチング間隔ほど細かなパターン化ができない。
これらの理由のため、得られる信号の周波数も低く、や
はりノイズには弱いと言った問題がある。
In the case of the servo signal recording method in which the protrusions and the recesses are magnetized in opposite directions, as in the invention of Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-242470 shown in FIGS.
Although a large signal can be obtained, the magnetization reversal region can be formed only at the uneven boundary. Further, with respect to the uneven pattern of the disk substrate, it is not possible to form a pattern as fine as the switching interval obtained when magnetic recording is performed due to processing restrictions.
For these reasons, there is a problem that the frequency of the obtained signal is low, and it is also weak against noise.

【0008】更に、同号公報の発明のサーボ信号記録方
法は、DC磁化であり、凸部へのサーボ信号書き込み時
には凹部を磁化させず凸部のみを磁化させる条件とする
ため、信号品質が凸凹の深さと電流値の関係に大きく依
存してしまい、設計が複雑になるという問題もある。
Further, in the servo signal recording method of the invention of the same publication, DC magnetization is used, and when writing a servo signal to a convex portion, the condition is such that only the convex portion is magnetized without magnetizing the concave portion. There is also a problem that the design greatly depends on the relationship between the current depth and the current depth.

【0009】本発明はサーボ信号の再生出力及びS/N
が大きく高精度にてトラッキングが可能であり、トラッ
クピッチを小さくして高密度記録を行うことができる磁
気記録媒体、記録方法及び磁気記録装置を提供すること
を目的とする。
The present invention relates to the reproduction output of servo signals and S / N
It is an object of the present invention to provide a magnetic recording medium, a recording method, and a magnetic recording apparatus that can perform high-accuracy recording by reducing the track pitch, which enables high-accuracy tracking.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体
は、記録トラックのサーボ信号記録部が凹部及び凸部に
て構成され、該凸部の表面の磁性層にサーボ信号が磁化
方向がトラック方向となるように記録されている磁気記
録媒体において、該サーボ信号は、1つの凸部上の磁性
層において磁化方向が少なくとも1回反転するように記
録されていることを特徴とするものである。
According to the magnetic recording medium of the present invention, a servo signal recording portion of a recording track is constituted by a concave portion and a convex portion. In a magnetic recording medium recorded so as to have a direction, the servo signal is recorded so that the magnetization direction is reversed at least once in a magnetic layer on one convex portion. .

【0011】かかる本発明の磁気記録媒体にあっては、
凸部上の磁性層に書き込まれたサーボ信号に磁化方向の
反転部が存在するのでサーボ信号の再生出力及びS/N
が大きい。しかも、本発明では凸部上の磁性層にのみサ
ーボ信号を書き込めば良く、このサーボ信号書き込み時
に凹部上の磁性層への影響は考慮する必要がない。従っ
て、凸部上の磁性層へのサーボ信号書き込みに際し磁性
層に大きな磁化力を作用させるように書き込み電流を選
定することができ、これによっても再生出力及びS/N
を大きくし、信号品質を良くすることができる。この結
果、トラッキング精度が著しく向上する。
In the magnetic recording medium of the present invention,
Since the servo signal written in the magnetic layer on the convex portion has a reversal portion of the magnetization direction, the reproduction output of the servo signal and the S / N
Is big. Moreover, in the present invention, it is sufficient to write the servo signal only on the magnetic layer on the convex portion, and it is not necessary to consider the influence on the magnetic layer on the concave portion when writing the servo signal. Therefore, when writing a servo signal to the magnetic layer on the convex portion, the write current can be selected so that a large magnetizing force acts on the magnetic layer, which also enables reproduction output and S / N
And signal quality can be improved. As a result, tracking accuracy is significantly improved.

【0012】なお、この磁化方向は1つの凸部において
少なくとも1回反転していれば良いが、2回以上とくに
3回以上例えば3回ないし5回反転しているのが好まし
い。
It is sufficient that the magnetization direction is inverted at least once in one projection, but it is preferable that the magnetization direction is inverted two or more times, particularly three or more times, for example, three to five times.

【0013】本発明では、このサーボ信号の書き込みは
磁気ヘッドによって行われるが、この磁気ヘッドが1つ
の凸部上をトラック方向に縦断する間に磁気ヘッドから
発生する磁束方向が少なくとも1回反転するように磁気
ヘッドへのサーボ信号書き込み電流を高周波信号電流と
することにより、該凸部の磁化方向が反転したサーボ信
号記録方式とすることができる。
In the present invention, the writing of the servo signal is performed by a magnetic head, and the direction of the magnetic flux generated from the magnetic head is reversed at least once while the magnetic head traverses one convex portion in the track direction. By using a high-frequency signal current as the servo signal writing current to the magnetic head, a servo signal recording method in which the magnetization direction of the convex portion is reversed can be achieved.

【0014】なお、このサーボ信号記録は、磁気記録媒
体を磁気記録装置に組み込む前に行われ、その後この磁
気記録媒体が磁気記録装置に組み付けられるのが好まし
い。このようにすれば、サーボ信号記録を専用装置で行
うことができ、ドライブのデータ記録用ヘッドとは異な
るヘッドでのサーボ記録も可能であり、サーボパターン
の設計が広がったり、書き込みのためのタイミングを取
るクロック信号を得る手段を高精度なエンコーダ等さま
ざまな手段から選択する余地ができる。
Preferably, the servo signal recording is performed before the magnetic recording medium is incorporated into the magnetic recording device, and thereafter, the magnetic recording medium is assembled into the magnetic recording device. In this way, servo signal recording can be performed by a dedicated device, servo recording can be performed with a head different from the data recording head of the drive, and the servo pattern design can be expanded or the timing for writing can be increased. There is room for selecting a means for obtaining a clock signal from various means such as a high-precision encoder.

【0015】また、サーボ信号記録に高周波信号を用い
ることで、DC磁化と異なり、凸凹の深さと書き込み電
流値の依存性がほとんどなく凸部のみ選択的に磁化で
き、設計範囲が広がり品質が安定すると言った利点がも
たらされる。
Further, by using a high-frequency signal for recording the servo signal, unlike the DC magnetization, there is almost no dependence on the depth of the unevenness and the write current value, and only the convex portion can be selectively magnetized, and the design range is widened and the quality is stable. This brings the benefits mentioned above.

【0016】本発明の磁気記録装置は、かかる本発明の
磁気記録媒体と、磁気ヘッドと、この磁気ヘッドを記録
トラックと交叉方向(ディスクの半径方向を含む方向)
に移動させる手段とを有するものである。
The magnetic recording apparatus of the present invention provides a magnetic recording medium of the present invention, a magnetic head, and a direction in which the magnetic head crosses a recording track (a direction including a radial direction of a disk).
Means for moving to

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】図1は実施の形態に係る磁気記録
媒体のサーボ信号記録部付近の構成を示す模式的な斜視
断面図、図2は図1のII−II線に沿う断面図と再生信号
波形図である。なお、図2Aでは基板や磁性層の厚み、
凸部の高さ等は模式的に示されている。
FIG. 1 is a schematic perspective cross-sectional view showing a configuration near a servo signal recording portion of a magnetic recording medium according to an embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II-II in FIG. It is a reproduction signal waveform diagram. In FIG. 2A, the thickness of the substrate and the magnetic layer
The heights and the like of the protrusions are schematically shown.

【0018】この磁気記録媒体は、基板10上に磁性層
11及びその他の薄膜層を有する。この磁気記録媒体に
あっては、通常のものと同様に、データを記録するトラ
ック16を有したデータ領域のほか、アドレスコードの
記録領域、クロック信号の記録領域及びサーボ信号の記
録領域が設けられている。この基板10のサーボ信号記
録領域には凸部12が設けられており、この凸部12上
の磁性層11にサーボ信号が記録されている。
This magnetic recording medium has a magnetic layer 11 and other thin film layers on a substrate 10. This magnetic recording medium is provided with a data area having a track 16 for recording data, a recording area for an address code, a recording area for a clock signal, and a recording area for a servo signal, in the same manner as a normal magnetic recording medium. ing. A protrusion 12 is provided in the servo signal recording area of the substrate 10, and the servo signal is recorded on the magnetic layer 11 on the protrusion 12.

【0019】この実施の形態にあっては、図2Aの通
り、1つの凸部12上の磁性層に磁化方向が3回反転す
るようにサーボ信号が記録されている。即ち、1つの凸
部12上において残留磁化の磁区が走行方向と同一ある
いは、逆となるように合計3回反転して配列されている
(因みに図5,6に示した従来例にあっては凸部上の磁
区方向は走行方向と同一あるいは逆方向のみであり反転
は無い)。
In this embodiment, as shown in FIG. 2A, a servo signal is recorded on the magnetic layer on one projection 12 so that the magnetization direction is reversed three times. In other words, the magnetic domains of the remanent magnetization are arranged three times in total on one convex portion 12 so that the magnetic domains of the remanent magnetization are the same as or opposite to the running direction (in the prior art examples shown in FIGS. The direction of the magnetic domain on the projection is the same as or opposite to the running direction, and there is no reversal).

【0020】この基板1を回転させることによりサーボ
信号記録部と磁気ヘッドとがトラック長手方向に相対移
動すると、図2Bの通り3個の磁化方向の反転部分にお
いて著しく大きな再生出力が得られ、S/Nも大きくな
る。なお、凸部12の立ち上り部及び立ち下り部におい
ても再生信号が発生するが、この波高は磁化方向反転部
の出力波高に比べて小さい。
When the servo signal recording section and the magnetic head move relative to each other in the track longitudinal direction by rotating the substrate 1, a remarkably large reproduction output is obtained in the three magnetization direction reversal portions as shown in FIG. 2B. / N also increases. Note that a reproduced signal is also generated at the rising portion and the falling portion of the convex portion 12, but this wave height is smaller than the output wave height of the magnetization direction reversing portion.

【0021】このサーボ信号を書き込むには、例えばデ
ィスク上の最外周部にクロックヘッドによりクロック信
号を一定間隔に所望の個数だけ、一周分書き込む。この
信号をクロックヘッドで読み込み同期を取り、これと同
期した高周波信号を用いて磁気ヘッドにより凸部にサー
ボ信号を書き込む。この書き込みを行う場合、書き込み
専用装置を用いるのが好ましい。基板10を回転させる
と共にこの書き込み専用装置の磁気ヘッドに高周波信号
を流して凸部12上の磁性層11にサーボ信号を書き込
む。この際、磁気ヘッドが1つの凸部12を図2の左右
方向に縦断する間に該磁気ヘッドに3サイクルの交番電
流が通電されるように、基板の回転速度に応じた書き込
み高周波電流の周波数を選択することにより、図1に示
すように磁化方向が3回反転したサーボ信号記録を得る
ことができる。
In order to write the servo signal, for example, a clock head writes a desired number of clock signals at a constant interval on the outermost peripheral portion of the disk for one round. This signal is read and synchronized by a clock head, and a servo signal is written to the convex portion by a magnetic head using a high-frequency signal synchronized with the clock. When performing this writing, it is preferable to use a write-only device. While rotating the substrate 10, a high-frequency signal is applied to the magnetic head of the write-only device to write a servo signal to the magnetic layer 11 on the convex portion 12. At this time, the frequency of the write high-frequency current according to the rotation speed of the substrate is set so that the alternating current of three cycles is supplied to the magnetic head while the magnetic head traverses one convex portion 12 in the left-right direction in FIG. By selecting, it is possible to obtain a servo signal recording whose magnetization direction is inverted three times as shown in FIG.

【0022】このサーボ信号は凸部12上の磁性層11
にのみ書き込まれるものであるが、データ記録トラック
など、他の領域にも書き込み、その後の工程で凸部12
以外のサーボ信号記録を消去しても良い。
This servo signal is applied to the magnetic layer 11 on the convex portion 12.
However, the data is also written in other areas such as a data recording track, and the protrusion 12
Other servo signal records may be deleted.

【0023】このサーボ信号を凸部12に書き込みする
場合、凹部15の磁性層11にも若干の磁化が生じる
が、周波数の高い磁気記録は、ヘッドと磁気記録層の距
離が接近した部分にのみ強く行われ、距離の増大に伴っ
て残留磁束は急速に低下する。このため、凹部はその深
さに拘わらず殆ど記録が行われず、実質的には凸部12
上の磁性層にのみサーボ信号が書き込まれるようにな
り、シャープな記録及び再生が可能となる。
When this servo signal is written in the convex portion 12, a slight magnetization is also generated in the magnetic layer 11 in the concave portion 15, but high-frequency magnetic recording is performed only in a portion where the distance between the head and the magnetic recording layer is short. It is performed strongly, and the residual magnetic flux decreases rapidly as the distance increases. For this reason, recording is hardly performed in the concave portion irrespective of its depth.
Servo signals are written only on the upper magnetic layer, and sharp recording and reproduction can be performed.

【0024】上記実施の形態にあっては1つの凸部12
の磁性層11において磁化方向が3回反転しているが、
図7のように1回だけ反転するものであっても良く、5
回などその他の反転数としても良い。ただし、高精度の
トラッキングを行うためには2回以上とりわけ3回以上
の反転数とするのが好ましい。実用的には3回ないし5
回とするのが好ましい。
In the above embodiment, one projection 12
The magnetization direction is reversed three times in the magnetic layer 11 of
It may be one that is inverted only once as shown in FIG.
Other inversion numbers such as times may be used. However, in order to perform high-accuracy tracking, the number of inversions is preferably two or more, especially three or more. 3 to 5 practically
Preferably, the number of times.

【0025】上記実施の形態にあっては記録トラック1
6同士の間に溝部は設けられていないが、図3のように
該溝部4を設けたディスクリートタイプの磁気記録媒体
についても本発明を適用できる。
In the above embodiment, recording track 1
Although no groove is provided between the six, the present invention can be applied to a discrete type magnetic recording medium provided with the groove 4 as shown in FIG.

【0026】なお、上記の凸部12のトラック長手方向
の幅員は任意に設定すれば良いが、通常1〜5μm程度
であり、凸部12の高さは100〜300nm程度が好
ましい。また、各凸部のトラック長手方向における間隔
は、サーボのパターンによって決まるもので、適宜最適
値を設定すれば良いが、通常、凸部12同士のトラック
長手方向の間隔は凸部のトラック長手方向の幅員を1と
すると、0.5〜2程度が好ましい。
The width of the protrusion 12 in the longitudinal direction of the track may be arbitrarily set, but is usually about 1 to 5 μm, and the height of the protrusion 12 is preferably about 100 to 300 nm. The interval between the convex portions in the track longitudinal direction is determined by the servo pattern, and may be set to an optimal value as appropriate. Usually, the interval between the convex portions 12 in the track longitudinal direction is generally the same as the interval between the convex portions in the track longitudinal direction. If the width of is set to 1, it is preferably about 0.5 to 2.

【0027】本発明の磁気記録媒体の基板や薄膜等の好
ましい態様について次に説明する。
Preferred embodiments of the magnetic recording medium of the present invention, such as a substrate and a thin film, will be described below.

【0028】本発明の磁気記録媒体の基板としては、A
lを主成分とした例えばAl−Mg合金等のAl合金基
板のほか、通常のソーダガラス、ソーダライムガラス、
アルミノシリケート系ガラス、硼珪酸ガラス、結晶化ガ
ラス等のガラス類、シリコン、チタン等の金属、合金、
セラミックス、各種樹脂からなる基板など、非磁性基板
であれば任意のものを用いることができる。中でもAl
合金基板や結晶化ガラス等のガラス基板を用いることが
好ましい。この基板は中央に孔があいたリング形状のも
のである。
As the substrate of the magnetic recording medium of the present invention,
In addition to an Al alloy substrate such as an Al-Mg alloy containing l as a main component, ordinary soda glass, soda lime glass,
Glasses such as aluminosilicate glass, borosilicate glass, crystallized glass, metals and alloys such as silicon and titanium,
Any non-magnetic substrate such as a substrate made of ceramics and various resins can be used. Among them, Al
It is preferable to use a glass substrate such as an alloy substrate or crystallized glass. This substrate has a ring shape with a hole in the center.

【0029】磁気ディスクの製造工程においては、まず
基板の洗浄・乾燥が行われるのが通常であり、本発明に
おいても各層の密着性を確保する見地からもその形成前
に洗浄、乾燥を行うことが望ましい。
In the manufacturing process of the magnetic disk, the substrate is usually washed and dried first. In the present invention, from the viewpoint of ensuring the adhesion of each layer, washing and drying are performed before the formation. Is desirable.

【0030】本発明の磁気記録媒体の製造に際しては、
非磁性基板表面にNiP等の非磁性金属被覆層を形成す
ることが好ましい。
In manufacturing the magnetic recording medium of the present invention,
It is preferable to form a nonmagnetic metal coating layer such as NiP on the surface of the nonmagnetic substrate.

【0031】非磁性金属被覆層を形成する手法として
は、無電解めっき法、スパッタリング法、真空蒸着法、
CVD法など薄膜形成に用いられる方法を利用すること
ができる。導電性の材料からなる基板の場合であれば電
解めっきを使用することが可能である。非磁性金属被覆
層の膜厚は50nm以上あればよい。ただし、磁気ディ
スク媒体の生産性などを考慮すると50nm以上20,
000nm以下であることが好ましい。さらに好ましく
は100nm以上15,000nm以下である。
As a technique for forming the nonmagnetic metal coating layer, there are electroless plating, sputtering, vacuum deposition,
A method used for forming a thin film such as a CVD method can be used. In the case of a substrate made of a conductive material, it is possible to use electrolytic plating. The thickness of the nonmagnetic metal coating layer may be 50 nm or more. However, considering the productivity of the magnetic disk medium, etc.
It is preferably not more than 000 nm. More preferably, it is 100 nm or more and 15,000 nm or less.

【0032】基板表面、又は非磁性金属被覆層が形成さ
れた基板表面にテキスチャリング例えば同心状テキスチ
ャリングを施しても良い。同心状テキスチャリングと
は、例えば遊離砥粒とテキスチャーテープを使用した機
械式テキスチャリングやレーザー光線などを利用したテ
キスチャリング加工、又はこれらを併用して円周方向に
研磨することにより、基板円周方向に微小溝を多数形成
することを指称する。
The substrate surface or the substrate surface on which the non-magnetic metal coating layer is formed may be subjected to texturing, for example, concentric texturing. Concentric texturing is, for example, mechanical texturing using loose abrasive grains and texture tape, texturing using laser light, or the like, or by polishing them together in the circumferential direction, in the circumferential direction of the substrate. To form a large number of microgrooves.

【0033】機械的テキスチャリングを施すための遊離
砥粒の種類としてはダイアモンド砥粒、中でも表面がグ
ラファイト化処理されているものが好ましい。機械的テ
キスチャリングに用いられる砥粒としては他にアルミナ
砥粒が広く用いられているが、特にテキスチャリング溝
に沿って磁化容易軸を配向させるという観点から考える
とダイアモンド砥粒が極めて良い性能を発揮する。この
原因については現在のところ明確にはなっていないが、
極めて再現性の良い結果が得られている。
As the type of free abrasive grains for mechanical texturing, diamond abrasive grains, particularly those whose surfaces have been subjected to a graphitization treatment, are preferred. Alumina abrasive grains are widely used as abrasive grains used in mechanical texturing, but diamond abrasive grains have extremely good performance, especially from the viewpoint of orienting the axis of easy magnetization along the texturing grooves. Demonstrate. The cause is not clear at this time,
Extremely reproducible results have been obtained.

【0034】基板の表面は、表面粗さ(Ra)がどのよ
うな値をとっても本発明の効果には基本的には影響ない
が、ヘッド浮上量ができるだけ小さいことが高密度磁気
記録の実現には有効であり、またこれら基板の特徴のひ
とつが優れた表面平滑性にあることから、基板表面のR
aは2nm以下、さらには1nm以下であることが好ま
しく、中でも0.5nm以下であることが好ましい。た
だし、このRaは、触針式表面粗さ計を用いて測定した
場合をいうものとする。このとき測定用の針の先端は半
径0.2μm程度の大きさのものが使用される。
The surface of the substrate does not basically affect the effect of the present invention no matter what value the surface roughness (Ra) takes, but the fact that the head flying height is as small as possible is necessary for realizing high density magnetic recording. Is effective, and one of the features of these substrates is excellent surface smoothness.
a is preferably 2 nm or less, more preferably 1 nm or less, and particularly preferably 0.5 nm or less. However, this Ra shall mean the case where it measures using the stylus type surface roughness meter. At this time, the tip of the needle for measurement has a radius of about 0.2 μm.

【0035】非磁性基板上又は前記Ni−P等の非磁性
被覆層上には、必要に応じてCr層、Crを主成分とす
るCr合金層、酸化クロム層、Cu層等の中間層を形成
した後、磁性層を形成する。
An intermediate layer such as a Cr layer, a Cr alloy layer containing Cr as a main component, a chromium oxide layer, or a Cu layer may be formed on the nonmagnetic substrate or the nonmagnetic coating layer of Ni-P or the like, if necessary. After formation, a magnetic layer is formed.

【0036】なお、この中間層としては、純Cr層の
他、磁性層との結晶マッチングなどの目的でCrにV、
Ti、Mo、Zr、Hf、Ta、W、Ge、Nb、S
i、Cu、Bなどの第二、第三元素を添加した合金層
や、酸化Cr層が好ましい。中でも純Cr層やTi、M
o、W、V、Ta、Si、Nb、Zr及びHfを有する
Cr合金層が好ましい。これら第二、第三元素の含有量
はそれぞれの元素によって最適な量が異なるが、一般に
は1原子%〜50原子%、好ましくは5原子%〜30原
子%、さらに好ましくは5原子%〜20原子%の範囲で
ある。
As the intermediate layer, in addition to the pure Cr layer, V and V are added for the purpose of crystal matching with the magnetic layer.
Ti, Mo, Zr, Hf, Ta, W, Ge, Nb, S
An alloy layer to which second and third elements such as i, Cu, and B are added, and a Cr oxide layer are preferable. Above all, pure Cr layer, Ti, M
A Cr alloy layer containing o, W, V, Ta, Si, Nb, Zr and Hf is preferable. The content of the second and third elements varies depending on the respective elements, but is generally 1 atomic% to 50 atomic%, preferably 5 atomic% to 30 atomic%, more preferably 5 atomic% to 20 atomic%. Atomic% range.

【0037】中間層の膜厚は異方性を発現させ得るに十
分なものであればよく、通常は0.1〜50nmであ
り、好ましくは0.3〜30nm、さらに好ましくは
0.5〜10nmである。Crを主成分とする金属膜の
成膜時には基板加熱を行っても行わなくてもよい。
The thickness of the intermediate layer may be any thickness that is sufficient to exhibit anisotropy, and is usually 0.1 to 50 nm, preferably 0.3 to 30 nm, and more preferably 0.5 to 30 nm. 10 nm. Substrate heating may or may not be performed when forming a metal film containing Cr as a main component.

【0038】磁性層としては、通常、純CoやCo−
P、Co−Ni−P、Co−Ni、Co−Sm、Co−
Cr−Ta、Co−Ni−Cr、Co−Ni−Pt、C
o−Cr−Pt、Co−Cr−Ta−Ptなどの磁性材
料として一般に用いられるCo合金磁性材料を用いるの
が好ましい。これらのCo合金に更にNi、Cr、P
t、Ta、W、Bなどの元素やSiO2等の化合物を加
えたものでも良い。Co合金磁性層の膜厚は任意である
が、通常10〜100nm、好ましくは30〜70nm
である。
The magnetic layer is usually made of pure Co or Co-
P, Co-Ni-P, Co-Ni, Co-Sm, Co-
Cr-Ta, Co-Ni-Cr, Co-Ni-Pt, C
It is preferable to use a Co alloy magnetic material generally used as a magnetic material such as o-Cr-Pt or Co-Cr-Ta-Pt. Ni, Cr, P
A material to which an element such as t, Ta, W, or B or a compound such as SiO 2 is added may be used. The thickness of the Co alloy magnetic layer is arbitrary, but is usually 10 to 100 nm, preferably 30 to 70 nm.
It is.

【0039】なお、上記の磁性層を2種以上の積層構造
としても良い。Crを主成分とする下地層と磁性層との
間に非磁性CoCr等の中間層を設けても良い。
The magnetic layer may have a laminated structure of two or more types. An intermediate layer of non-magnetic CoCr or the like may be provided between the underlayer containing Cr as a main component and the magnetic layer.

【0040】磁気記録媒体の各層を形成する成膜方法と
しては任意であるが、例えば直流(マグネトロン)スパ
ッタリング法、高周波(マグネトロン)スパッタリング
法、ECRスパッタリング法、真空蒸着法などの物理的
蒸着法が挙げられる。
The film forming method for forming each layer of the magnetic recording medium is arbitrary. For example, physical vapor deposition methods such as direct current (magnetron) sputtering, high frequency (magnetron) sputtering, ECR sputtering, and vacuum deposition are used. No.

【0041】又、成膜時の条件としても特に制限はな
く、到達真空度、基板加熱の方式と基板温度、スパッタ
リングガス圧、バイアス電圧等は、成膜装置により適宜
決定すればよい。例えば、スパッタリング成膜では、通
常の場合、到達真空度は1×10-6Torr以下、基板
温度は室温〜400℃、スパッタリングガス圧は1×1
-3〜20×10-3Torr、バイアス電圧は一般的に
は0〜−500Vである。
The conditions for the film formation are not particularly limited, and the ultimate vacuum, the substrate heating method and the substrate temperature, the sputtering gas pressure, the bias voltage, etc. may be appropriately determined by the film forming apparatus. For example, in the case of sputtering film formation, usually, the ultimate vacuum degree is 1 × 10 −6 Torr or less, the substrate temperature is from room temperature to 400 ° C., and the sputtering gas pressure is 1 × 1.
0 −3 to 20 × 10 −3 Torr, and the bias voltage is generally 0 to −500V.

【0042】成膜に当っては、磁性層のCrの偏析を促
進するために、一般に非磁性基板を100〜350℃程
度に加熱することが好ましい。基板加熱は、下地層形成
前に行っても良く、熱吸収率が低い透明な基板を使用す
る場合には、熱吸収率を高くするため、Crを主成分と
する下地層を形成してから基板を加熱し、しかる後にC
o合金磁性層を形成しても良い。
In film formation, it is generally preferable to heat the nonmagnetic substrate to about 100 to 350 ° C. in order to promote the segregation of Cr in the magnetic layer. Substrate heating may be performed before the formation of the underlayer, and when a transparent substrate having a low heat absorption is used, an underlayer containing Cr as a main component is formed in order to increase the heat absorption. Heat the substrate and then C
An o-alloy magnetic layer may be formed.

【0043】この磁性層上には、蒸着、スパッタ、プラ
ズマCVD、イオンプレーティング、湿式法等の方法に
より保護層を形成し、次いで潤滑層を形成する。保護層
としては、C(炭素)、水素化C、窒素化C、アルモフ
ァスC、SiC、TiC等の炭素質層やSiO2、Zr2
3、Al23等の酸化物、SiN、TiNなどの窒化
物など、通常用いられる保護層材料を用いることができ
るが、C又は水素化Cが好ましい。なお、保護層が2層
以上の層から構成されていてもよい。保護層の膜厚は1
〜50nm、特に5〜30nmが好ましい。潤滑層に用
いる潤滑剤としては、フッ素系潤滑剤、炭化水素系潤滑
剤及びこれらの混合物等が挙げられ、通常1〜4nmの
厚さで潤滑層を形成する。
On this magnetic layer, a protective layer is formed by a method such as vapor deposition, sputtering, plasma CVD, ion plating, or a wet method, and then a lubricating layer is formed. Examples of the protective layer include carbonaceous layers such as C (carbon), hydrogenated C, nitrogenated C, Amorphous C, SiC, and TiC, and SiO 2 and Zr 2.
Although a commonly used protective layer material such as an oxide such as O 3 and Al 2 O 3 and a nitride such as SiN and TiN can be used, C or hydrogenated C is preferable. Note that the protective layer may be composed of two or more layers. The thickness of the protective layer is 1
-50 nm, particularly preferably 5-30 nm. Examples of the lubricant used for the lubricating layer include a fluorine-based lubricant, a hydrocarbon-based lubricant, a mixture thereof, and the like, and usually form the lubricating layer with a thickness of 1 to 4 nm.

【0044】本発明の磁気記録装置は、本発明の磁気記
録媒体と、磁気ヘッドと、この磁気ヘッドの移動手段と
を有するものである。
A magnetic recording apparatus according to the present invention includes the magnetic recording medium according to the present invention, a magnetic head, and means for moving the magnetic head.

【0045】この磁気記録装置としては、磁気記録媒体
を1枚或いは複数枚を串刺し状に固定するシャフトと、
該シャフトにベアリングを介して接合された磁気記録媒
体を回転させるモータと、磁気ヘッドと、該ヘッドが取
り付けられたヘッドアームと、ヘッドアームを介してヘ
ッドを磁気記録媒体上の任意の位置に移動させることの
できるアクチュエータとを有した磁気記録装置が例示さ
れる。
The magnetic recording device includes a shaft for fixing one or more magnetic recording media in a skewered manner,
A motor for rotating a magnetic recording medium joined to the shaft via a bearing, a magnetic head, a head arm to which the head is attached, and moving the head to an arbitrary position on the magnetic recording medium via the head arm An example is a magnetic recording device having an actuator that can be driven.

【0046】なお、上述の磁気ヘッドの再生部をMRヘ
ッドで構成することにより、高記録密度においても十分
な信号強度を得ることができ、1平方インチ当たり2G
ビット以上の高記録密度を持った磁気記録装置を実現す
ることができる。またこの磁気ヘッドを、浮上量が0.
01μm以上、0.05μm未満と、従来より低い高さ
で浮上させると、出力が向上して高い装置S/Nが得ら
れ、大容量で高信頼性の磁気記録装置を提供することが
できる。また、最尤復号法による信号処理回路を組み合
わせるとさらに記録密度を向上でき、例えば、トラック
密度10kTPI以上、線記録密度200kFCI以
上、1平方インチ当たり2Gビット以上の記録密度で記
録・再生する場合にも十分なS/N比が得られる。
By constructing the reproducing section of the above-mentioned magnetic head with an MR head, a sufficient signal intensity can be obtained even at a high recording density, and 2 G / inch 2 can be obtained.
It is possible to realize a magnetic recording device having a high recording density of bits or more. Also, the magnetic head is used with a flying height of 0.
When flying at a height lower than the conventional height of not less than 01 μm and less than 0.05 μm, the output is improved and a high device S / N is obtained, and a large-capacity and high-reliability magnetic recording device can be provided. The recording density can be further improved by combining a signal processing circuit based on the maximum likelihood decoding method. For example, when recording / reproducing at a recording density of not less than 10 kTPI, not less than linear recording density of 200 kFCI, and not less than 2 Gbits per square inch, Also obtains a sufficient S / N ratio.

【0047】磁気ヘッドの再生部を、互いの磁化方向が
外部磁界によって相対的に変化することによって大きな
抵抗変化を生じる複数の導電性磁性層と、その導電性磁
性層の間に配置された導電性非磁性層からなるGMRヘ
ッド、あるいはスピン・バルブ効果を利用したGMRヘ
ッドとすることにより、信号強度をさらに高めることが
でき、1平方インチ当たり3Gビット以上、240kF
CI以上の線記録密度を持った信頼性の高い磁気記録装
置の実現が可能となる。
The reproducing portion of the magnetic head is composed of a plurality of conductive magnetic layers which generate a large resistance change due to a relative change in their magnetization directions due to an external magnetic field, and a conductive layer disposed between the conductive magnetic layers. The signal strength can be further increased by using a GMR head made of a conductive non-magnetic layer or a GMR head using the spin valve effect, so that the signal strength is 3 Gbits / sq.
A highly reliable magnetic recording device having a linear recording density equal to or higher than CI can be realized.

【0048】[0048]

【発明の効果】以上の通り、本発明によると、再生出力
が大きくノイズの小さいサーボ信号記録を形成できるた
め高精度のトラッキングが可能となる。また、サーボ信
号の書き込み電流として高周波信号電流を用いることに
より、直流磁化と異なり、サーボ信号記録部の凹凸の深
さと書き込み電流値の依存性が殆どなく凸部の磁性層の
みを選択的に磁化させることができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to form a servo signal record having a large reproduction output and a small noise, thereby enabling high-accuracy tracking. Also, unlike the DC magnetization, the use of a high-frequency signal current as the servo signal write current has little dependence on the unevenness of the servo signal recording portion and the write current value, and selectively magnetizes only the magnetic layer of the convex portion. Can be done.

【0049】本発明によれば、磁気記録媒体のトラック
ピッチを小さくしてその記録密度を増大させることも可
能である。
According to the present invention, it is possible to increase the recording density by reducing the track pitch of the magnetic recording medium.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施の形態に係る磁気記録媒体のサーボ信号記
録部付近の構成を示す模式的な斜視断面図である。
FIG. 1 is a schematic perspective sectional view showing a configuration near a servo signal recording section of a magnetic recording medium according to an embodiment.

【図2】図1のII−II線に沿う模式的な断面図と再生信
号波形図である。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view taken along line II-II of FIG. 1 and a reproduced signal waveform diagram.

【図3】従来例を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a conventional example.

【図4】従来例を示す断面図である。FIG. 4 is a sectional view showing a conventional example.

【図5】従来例を示す説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing a conventional example.

【図6】従来例を示す説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram showing a conventional example.

【図7】別の実施の形態を示す凸部の断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view of a projection showing another embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,10 基板 2,11 磁性層 3,16 記録トラック 4 溝部 7,12 凸部 13 磁気ヘッド DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,10 Substrate 2,11 Magnetic layer 3,16 Recording track 4 Groove part 7,12 Convex part 13 Magnetic head

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 記録トラックのサーボ信号記録部が凹部
及び凸部にて構成され、該凸部の表面の磁性層にサーボ
信号が磁化方向がデータ記録トラックの長手方向となる
ように記録されている磁気記録媒体において、 該サーボ信号は、1つの凸部上の磁性層において磁化方
向が少なくとも1回反転するように記録されていること
を特徴とする磁気記録媒体。
1. A servo signal recording portion of a recording track is composed of a concave portion and a convex portion, and a servo signal is recorded on a magnetic layer on a surface of the convex portion such that a magnetization direction becomes a longitudinal direction of a data recording track. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the servo signal is recorded such that the magnetization direction is reversed at least once in a magnetic layer on one protrusion.
【請求項2】 請求項1において、磁化方向が複数回反
転していることを特徴とする磁気記録媒体。
2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetization direction is reversed a plurality of times.
【請求項3】 請求項2において、磁化方向が3回以上
反転していることを特徴とする磁気記録媒体。
3. The magnetic recording medium according to claim 2, wherein the magnetization direction is reversed three times or more.
【請求項4】 請求項1ないし3のいずれか1項の磁気
記録媒体の前記凸部上の磁性層にサーボ信号を磁気ヘッ
ドによって書き込むサーボ信号記録方法であって、該磁
気ヘッドが1つの該凸部上をデータ記録トラックの長手
方向に縦断する間に磁気ヘッドから発生する磁束方向が
少なくとも1回反転するように磁気ヘッドへのサーボ信
号書き込み電流を高周波信号電流とすることを特徴とす
るサーボ信号の記録方法。
4. A servo signal recording method for writing a servo signal by a magnetic head on a magnetic layer on the convex portion of the magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic head comprises one of the magnetic heads. A servo signal writing current to the magnetic head being a high-frequency signal current so that the direction of a magnetic flux generated from the magnetic head is reversed at least once while traversing the convex portion in the longitudinal direction of the data recording track. Signal recording method.
【請求項5】 磁気記録媒体と、該磁気記録媒体の駆動
手段と、磁気ヘッドと、該磁気ヘッドを磁気記録媒体の
データ記録トラックと交叉方向に移動させる手段とを有
する磁気記録装置において、該磁気記録媒体が請求項1
ないし3のいずれか1項の磁気記録媒体であることを特
徴とする磁気記録装置。
5. A magnetic recording apparatus comprising: a magnetic recording medium; driving means for the magnetic recording medium; a magnetic head; and means for moving the magnetic head in a direction crossing a data recording track of the magnetic recording medium. Claim 1 is a magnetic recording medium.
4. A magnetic recording device, which is the magnetic recording medium according to any one of items 3 to 3.
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