JP2001312808A - Magnetic disk, method for forming its magnetization pattern and magnetic disk device - Google Patents

Magnetic disk, method for forming its magnetization pattern and magnetic disk device

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JP2001312808A
JP2001312808A JP2001045680A JP2001045680A JP2001312808A JP 2001312808 A JP2001312808 A JP 2001312808A JP 2001045680 A JP2001045680 A JP 2001045680A JP 2001045680 A JP2001045680 A JP 2001045680A JP 2001312808 A JP2001312808 A JP 2001312808A
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JP
Japan
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magnetic
magnetization
pattern
magnetic disk
recording
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Withdrawn
Application number
JP2001045680A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoji Arita
陽二 有田
Yuzo Seo
雄三 瀬尾
Yoshiyuki Ikeda
祥行 池田
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Mitsubishi Chemical Corp
Original Assignee
Mitsubishi Chemical Corp
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Signal Processing For Digital Recording And Reproducing (AREA)
  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic disk in which a servo mechanism for positioning the head of a high density magnetic disk device can be precisely and easily applied and high density recording is permitted and to provide a magnetic disk device. SOLUTION: In the magnetic disk having at least one magnetic layer provided on a substrate, plural radial direction magnetization regions each consisting of a magnetic domain whose magnetization direction is a radial direction and an outer peripheral direction and a magnetic domain whose magnetization direction is a radial direction and an inner peripheral direction are provided at an interval of nearly equal angle in the magnetic layer.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、情報記録に用いら
れる磁気ディスク及びその磁化パターン形成方法、並び
にこれを用いた磁気ディスク装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic disk used for information recording, a method of forming a magnetic pattern thereof, and a magnetic disk device using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気ディスク装置(ハードディスクドラ
イブ、HDD)はコンピュータなどの情報処理装置の外
部記録装置として広く用いられ、近年は動画像の録画装
置やセットトップボックスのための記録装置としても使
用されつつある。磁気ディスク装置は、通常、磁気ディ
スクを1枚或いは複数枚を串刺し状に固定するシャフト
と、該シャフトにベアリングを介して接合された磁気デ
ィスクを回転させるモータと、記録及び/又は再生に用
いる磁気ヘッドと、該ヘッドが取り付けられたアーム
と、ヘッドアームを介してヘッドを磁気ディスク上の任
意の位置に移動させることのできるアクチュエータとか
らなる。記録再生用ヘッドは通常浮上型ヘッドで、磁気
ディスク上を一定の浮上量で移動している。また、浮上
型ヘッドの他に媒体との距離をより縮めるために、コン
タクトヘッド(接触型ヘッド)の使用も提案されてい
る。
2. Description of the Related Art Magnetic disk devices (hard disk drives, HDDs) are widely used as external recording devices for information processing devices such as computers, and in recent years are also used as moving image recording devices and recording devices for set-top boxes. It is getting. A magnetic disk device generally includes a shaft for fixing one or more magnetic disks in a skewered manner, a motor for rotating a magnetic disk joined to the shaft via bearings, and a magnetic disk used for recording and / or reproduction. It comprises a head, an arm to which the head is attached, and an actuator that can move the head to an arbitrary position on the magnetic disk via the head arm. The recording / reproducing head is usually a flying head, and moves on a magnetic disk at a constant flying height. In addition to the flying head, use of a contact head (contact type head) has been proposed in order to further reduce the distance from the medium.

【0003】磁気ディスク装置に搭載される磁気ディス
クは、一般にアルミニウム合金などからなる基板の表面
にNiP層を形成し、所要の平滑化処理、テキスチャリ
ング処理などを施した後、その上に、金属下地層、磁性
層(記録層、情報記録層)、保護層、潤滑層などを順次
形成して作製されている。あるいは、ガラスなどからな
る基板の表面に金属下地層、磁性層(記録層、情報記録
層)、保護層、潤滑層などを順次形成して作製されてい
る。磁気ディスクには面内磁気ディスクと垂直磁気ディ
スクとがある。面内磁気ディスクは、通常、磁化方向が
周方向である長手記録が行われる。
A magnetic disk mounted on a magnetic disk device generally has a NiP layer formed on the surface of a substrate made of an aluminum alloy or the like, performs a required smoothing process, texturing process, and the like, and then forms a metal layer thereon. It is manufactured by sequentially forming an underlayer, a magnetic layer (recording layer, information recording layer), a protective layer, a lubricating layer, and the like. Alternatively, it is manufactured by sequentially forming a metal base layer, a magnetic layer (recording layer, information recording layer), a protective layer, a lubricating layer, and the like on the surface of a substrate made of glass or the like. Magnetic disks include in-plane magnetic disks and perpendicular magnetic disks. The longitudinal recording in which the magnetization direction is the circumferential direction is usually performed on the in-plane magnetic disk.

【0004】磁気ディスクの高密度化は年々その速度を
増しており、これを実現する技術には様々なものがあ
る。例えば磁気ヘッドの浮上量をより小さくしたり磁気
ヘッドとしてGMRヘッドを採用したり、また磁気ディ
スクの記録層に用いる磁性材料を保磁力の高いものにす
るなどの改良や、磁気ディスクの情報記録トラックの間
隔を狭くするなどが試みられている。例えば100Gb
it/inch2を実現するには、トラック密度は10
0ktpi以上が必要とされる。
[0004] The density of magnetic disks has been increasing year by year, and there are various techniques for realizing this. For example, improvements such as reducing the flying height of the magnetic head, employing a GMR head as the magnetic head, increasing the magnetic material used for the recording layer of the magnetic disk to have a high coercive force, and improving the information recording track of the magnetic disk Attempts have been made to reduce the distance between the two. For example, 100Gb
To realize it / inch 2 , the track density is 10
0 ktpi or more is required.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】各トラックには、磁気
ヘッドを制御するための制御用磁化パターンが形成され
ている。例えば磁気ヘッドの位置制御に用いる信号や同
期制御に用いる信号である。情報記録トラックの間隔を
狭めてトラック数を増加させると、データ記録/再生用
ヘッドの位置制御に用いる信号(以下、「サーボ信号」
と言うことがある。)もそれに合わせてディスクの半径
方向に対して密に、すなわちより多く設けて精密な制御
を行えるようにしなければならない。
On each track, a control magnetization pattern for controlling the magnetic head is formed. For example, it is a signal used for position control of the magnetic head or a signal used for synchronization control. When the number of tracks is increased by reducing the interval between information recording tracks, a signal used for position control of a data recording / reproducing head (hereinafter, “servo signal”) is used.
I may say. ) Must also be provided densely in the radial direction of the disk, that is, more, so that precise control can be performed.

【0006】また、データ記録に用いる以外の領域、即
ちサーボ信号に用いる領域や該サーボ領域とデータ記録
領域の間のギャップ部を小さくしてデータ記録領域を広
くし、データ記録容量を上げたいとの要請も大きい。こ
のためにはサーボ信号の出力を上げたり同期信号の精度
を上げる必要がある。
It is also desired to increase the data recording capacity by reducing the area other than the area used for data recording, that is, the area used for servo signals and the gap between the servo area and the data recording area to increase the data recording area. There is a great demand. For this purpose, it is necessary to increase the output of the servo signal and the accuracy of the synchronization signal.

【0007】また、微分信号検出方式の磁気ディスクに
おいては、サーボパターンからの再生信号を大きくする
ためには、サーボパターンのトラック方向密度(FC
I)を上げ、単位距離あたりに得られる微分信号の積算
量を大きくする必要がある。粗いサーボパターンでは微
分信号の積算量がかせげないため再生信号が小さくなっ
てしまい、正確な位置決めが行いにくい。従ってトラッ
ク方向にも益々高密度で精密な記録が要求される。
In the magnetic disk of the differential signal detection system, in order to increase the reproduction signal from the servo pattern, the density of the servo pattern in the track direction (FC
It is necessary to increase I) to increase the integrated amount of the differential signal obtained per unit distance. In the case of a coarse servo pattern, the amount of integration of the differential signal is indispensable, so that the reproduced signal is small, and it is difficult to perform accurate positioning. Therefore, high-density and precise recording is required in the track direction.

【0008】このような微細なサーボ信号をディスク上
に形成する手段として、従来は、情報の記録再生に用い
る磁気ヘッドを用いて、これを精密な半径位置に位置決
めしつつサーボ信号を書き込むという手法がとられてい
たが、このためには高価な機器が必要であり、書き込み
時間もかかるため、磁気転写あるいは熱(光)と磁気を
併用した光学的転写技術により、マスク(マスターディ
スク、マスター)に形成したサーボパターンをディスク
上に移しとるという手法が提案されている。
Conventionally, as a means for forming such a fine servo signal on a disk, a method of writing a servo signal while positioning the magnetic head at a precise radial position using a magnetic head used for recording and reproducing information is conventionally used. However, this requires expensive equipment and takes a long time to write, so masks (master disk, master) can be obtained by magnetic transfer or optical transfer technology using both heat (light) and magnetism. A method of transferring a servo pattern formed on a disk onto a disk has been proposed.

【0009】一例は、高保磁力の磁性層を持つマスター
ディスクにサーボパターンを形成し、マスターディスク
を磁気ディスクに密着させるとともに、外部から補助磁
界をかけて磁化パターンを転写する方法である(USP
5,991,104号)。
One example is a method in which a servo pattern is formed on a master disk having a magnetic layer having a high coercive force, the master disk is brought into close contact with the magnetic disk, and a magnetization pattern is transferred by applying an auxiliary magnetic field from outside (USP).
5,991,104).

【0010】他の例は、媒体を予め一方向に磁化してお
き、マスターディスクに高透磁率で低保磁力の軟磁性層
などをパターニングし、マスターディスクを媒体に密着
させるとともに外部磁界をかける方法である。軟磁性層
がシールドとして働き、シールドされていない領域に磁
化パターンが転写される(EP915456号)。本技
術はマスターディスクを用い、強力な磁界によって磁化
パターンを媒体に形成している。
In another example, the medium is magnetized in one direction in advance, and a soft magnetic layer or the like having a high magnetic permeability and a low coercive force is patterned on the master disk so that the master disk is brought into close contact with the medium and an external magnetic field is applied. Is the way. The soft magnetic layer functions as a shield, and a magnetization pattern is transferred to an unshielded region (EP915456). This technology uses a master disk to form a magnetization pattern on a medium by a strong magnetic field.

【0011】上記転写技術は、磁気ヘッドで記録できな
いような複雑な形状の磁化パターンが形成できる点で優
れる一方、マスク(マスター)に微細加工を施して転写
するためパターンの最小寸法の制約があった。更に、熱
(光)と磁気を併用した光学的転写技術では、マスクと
磁気ディスクの間に距離を保って転写するのが一般的な
ため、光の回折によりパターンがぼける可能性もあり、
この点でも形成できる磁化パターンの最小寸法に制約が
あった。このため転写技術を高いトラック密度の磁気デ
ィスクに適用するには、この点を解決することが不可欠
である。
The above transfer technique is excellent in that a magnetic pattern having a complicated shape that cannot be recorded by a magnetic head can be formed. However, since the transfer is performed by performing fine processing on a mask (master), there is a restriction on the minimum dimension of the pattern. Was. Furthermore, in the optical transfer technology using both heat (light) and magnetism, it is common to transfer the image with a distance between the mask and the magnetic disk, and thus the pattern may be blurred due to light diffraction.
In this respect, the minimum size of the magnetic pattern that can be formed is limited. Therefore, in order to apply the transfer technique to a magnetic disk having a high track density, it is essential to solve this point.

【0012】また、通常のバーストサーボ媒体において
は、位置検出に用いられるのは記録部側部(磁区の半径
方向の端部)であって情報記録に用いられる記録部中心
(磁区の半径方向の比較的中心部)ではない。一般に記
録部側部は磁気的に飽和しておらず出力信号が不安定で
あるため高いノイズを発生するという問題があり、高精
度の位置決めが難しいという問題があった。そこで、磁
化方向が半径方向であるようなサーボパターンが提案さ
れている。例えば特開平7−161021号には、磁性
層を二層有してなる媒体であって、下層に半径方向磁化
を持つサーボパターンが記録され、上層に周方向磁化を
持つ情報パターンが記録される磁気ディスクが記載され
ている。下層にはサーボパターンが周方向に連続的に記
録されてなり、これをもとに磁気ヘッドの位置制御を行
い、上層に周方向磁化を持つ情報パターンが記録され
る。しかしながら、情報記録のための磁性層の下に別の
磁性層を加えることは情報記録用磁性層の結晶配向を制
御するうえで好ましくない。線記録密度の高い高密度磁
気ディスクほど結晶配向の制御が重要となるため、層が
増えることで媒体の表面粗度も大きくなり好ましくない
し、コスト増の原因ともなる。また上層の厚み分だけ下
層と磁気ヘッドとの距離は離れてしまうので、下層に記
録されたサーボパターンからの信号は分解能が落ちてし
まう。このため細かいトラッキングが行いにくく、トラ
ックピッチの狭い高密度磁気ディスクには適さない。更
に、トラックピッチが狭くなると下層のサーボパターン
の記録周波数が高くならざるを得ず、上層の情報パター
ンの記録周波数と似た周波数の信号がサーボパターンか
ら出てしまうおそれがある。そこで例えば、トラック密
度10kTPI以上、線記録密度200kFCI以上、
1平方インチ当たり2Gビット以上の記録密度を持つよ
うな高密度磁気ディスクに適する磁化パターンを得たい
との要請があった。また、特開昭56−145568号
には、半径方向磁化からなるサーボパターンが周方向に
連続的に形成され、その磁化が同一半径では同じ大きさ
の磁化であり、半径方向に三角波状又は正弦波状に磁化
の大きさが変化する磁気ディスクが記載されている。し
かしながら本媒体が使用される磁気ディスク装置は、複
数個ある記録面のうち一面を位置決め用の基準面(サー
ボ面)として用い、このサーボ面に予め記録されたサー
ボトラックに位置決め専用のサーボヘッドをトラッキン
グさせ、これにより他の記録面でのトラッキングを同時
に行う磁気ディスク装置である(サーボ面サーボ方
式)。つまりサーボパターンを設けた片面はトラッキン
グサーボのみに使用され、情報記録には使用できない。
しかしながら磁気ディスク装置の小型大容量化が進む現
在では、片面を情報記録に使用できない欠点は大きく、
本方式は採られない。また、サーボ面での位置情報で位
置決め専用のサーボヘッドをトラッキングさせ、これを
元に間接的に他の面のヘッドのトラッキングを行うため
に、位置決め精度があまり高くなく、トラック密度10
kTPI以上であるような高密度磁気ディスクでの使用
には不十分である。なお上記いずれの文献にもサーボパ
ターンの記録方法は記載されていない。本発明はこれら
の問題点を解決するものであって、特に高密度磁気ディ
スクに適し、粗いサーボパターンでありながら、高い密
度で配設されたトラックに精度良く位置決めを行うこと
のできる磁気ディスク及びその磁化パターン形成方法並
びに磁気ディスク装置を提供することを目的とする。
In a normal burst servo medium, it is the side of the recording section (radial end of the magnetic domain) that is used for position detection and the center of the recording section (radial direction of the magnetic domain) used for information recording. Not relatively central). Generally, the recording portion side is not magnetically saturated and the output signal is unstable, so that there is a problem that high noise is generated, and there is a problem that high-precision positioning is difficult. Therefore, a servo pattern in which the magnetization direction is a radial direction has been proposed. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. H7-161021 discloses a medium having two magnetic layers, in which a servo pattern having a radial magnetization is recorded in a lower layer and an information pattern having a circumferential magnetization is recorded in an upper layer. A magnetic disk is described. Servo patterns are continuously recorded in the lower layer in the circumferential direction. Based on this, the position of the magnetic head is controlled, and an information pattern having circumferential magnetization is recorded in the upper layer. However, adding another magnetic layer under the magnetic layer for information recording is not preferable in controlling the crystal orientation of the magnetic layer for information recording. Since the control of the crystal orientation is more important for a high-density magnetic disk having a higher linear recording density, increasing the number of layers increases the surface roughness of the medium, which is not preferable, and also causes an increase in cost. Further, since the distance between the lower layer and the magnetic head is increased by the thickness of the upper layer, the resolution of the signal from the servo pattern recorded in the lower layer is reduced. For this reason, it is difficult to perform fine tracking and is not suitable for a high-density magnetic disk having a narrow track pitch. Further, when the track pitch becomes narrow, the recording frequency of the lower servo pattern must be increased, and a signal having a frequency similar to the recording frequency of the upper information pattern may be output from the servo pattern. Therefore, for example, a track density of 10 kTPI or more, a linear recording density of 200 kFCI or more,
There has been a demand for obtaining a magnetization pattern suitable for a high-density magnetic disk having a recording density of 2 Gbits per square inch or more. Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 56-145568 discloses that a servo pattern consisting of radial magnetization is formed continuously in the circumferential direction, and the magnetization has the same magnitude at the same radius, and is triangular or sinusoidal in the radial direction. A magnetic disk in which the magnitude of magnetization changes in a wave-like manner is described. However, a magnetic disk device using this medium uses one of a plurality of recording surfaces as a reference surface (servo surface) for positioning, and a servo head dedicated to positioning is provided on a servo track previously recorded on this servo surface. This is a magnetic disk device that performs tracking and thereby simultaneously performs tracking on another recording surface (servo surface servo method). That is, one side on which the servo pattern is provided is used only for tracking servo, and cannot be used for information recording.
However, at present, the size and capacity of magnetic disk drives are increasing, and the disadvantage that one side cannot be used for information recording is significant.
This method is not adopted. Further, since the servo head dedicated to positioning is tracked by the position information on the servo surface, and the head on the other surface is tracked indirectly based on the tracking information, the positioning accuracy is not very high, and the track density is 10%.
It is not sufficient for use with a high-density magnetic disk having a kTPI or more. It should be noted that none of the above documents describes a servo pattern recording method. The present invention solves these problems, and is particularly suitable for a high-density magnetic disk, and a magnetic disk capable of performing accurate positioning on tracks arranged at a high density while having a coarse servo pattern. It is an object of the present invention to provide a method for forming a magnetization pattern and a magnetic disk drive.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上述したような実状に鑑
み本発明者らが鋭意検討した結果、磁気ディスクの磁性
層に、記録方向(周方向)と直交する面内方向(半径方
向)に磁化方向を持つ半径方向磁化領域(直交磁化部)
をほぼ等角度間隔に設け、これを位置検出パターンとし
て用いることで、高密度磁気ディスクであっても粗い磁
化パターンで高い分解能で位置決めが可能であること見
出し本発明に至った。
In view of the above situation, the inventors of the present invention have made intensive studies and found that the magnetic layer of the magnetic disk is placed in an in-plane direction (radial direction) perpendicular to the recording direction (circumferential direction). Radial magnetization region with magnetization direction (orthogonal magnetization region)
Are provided at substantially equal angular intervals and are used as position detection patterns, whereby even a high-density magnetic disk can be positioned at a high resolution with a coarse magnetization pattern, and the present invention has been achieved.

【0014】即ち本発明の要旨は、基板上に少なくとも
一層の磁性層を設けてなる磁気ディスクであって、該磁
性層には、磁化方向が半径方向かつ内周方向である磁区
と磁化方向が半径方向かつ外周方向である磁区からなる
半径方向磁化領域(直交磁化部)が、ほぼ等角度間隔に
複数設けられてなることを特徴とする磁気ディスクに存
する。本媒体にあっては、周方向が記録方向であり、媒
体と記録再生ヘッドとの相対移動方向(トラック方向)
である。本発明の別の要旨は、基板上に少なくとも一層
の磁性層を設けてなる磁気ディスクに、外部磁界を印加
してマスクに設けられたパターンを転写することによ
り、磁性層に、磁化方向が半径方向である磁化パターン
を設けることを特徴とする磁化パターン形成方法に存す
る。本発明の更に別の要旨は、磁気ディスクと、該磁気
ディスクを記録方向に駆動する駆動部と、記録部と再生
部からなる磁気ヘッドと、磁気ヘッドを磁気ディスクに
対して相対移動させる手段と、磁気ヘッドへの記録信号
入力と磁気ヘッドからの再生信号出力を行うための記録
再生信号処理手段を有する磁気ディスク装置であって、
磁気ディスクが上記いずれかの磁気ディスクであり、か
つ前記磁化パターンに基づいて磁気ヘッドの半径方向位
置を制御する手段を含むことを特徴とする磁気ディスク
装置に存する。
That is, the gist of the present invention is a magnetic disk having at least one magnetic layer provided on a substrate, wherein the magnetic layer has a magnetic domain whose magnetization direction is a radial direction and an inner circumferential direction and a magnetization direction. A magnetic disk is characterized in that a plurality of radial magnetization regions (orthogonal magnetization portions) formed of magnetic domains that are radial and outer circumferential directions are provided at substantially equal angular intervals. In this medium, the circumferential direction is the recording direction, and the relative movement direction (track direction) between the medium and the recording / reproducing head.
It is. Another gist of the present invention is that a pattern provided on a mask is transferred by applying an external magnetic field to a magnetic disk having at least one magnetic layer provided on a substrate, so that the magnetization direction has a radius on the magnetic layer. There is provided a method for forming a magnetization pattern, characterized by providing a magnetization pattern which is a direction. Still another aspect of the present invention is a magnetic disk, a driving unit that drives the magnetic disk in a recording direction, a magnetic head including a recording unit and a reproducing unit, and a unit that relatively moves the magnetic head with respect to the magnetic disk. A magnetic disk device having a recording / reproducing signal processing unit for performing a recording signal input to a magnetic head and a reproducing signal output from the magnetic head,
The magnetic disk device according to the present invention is characterized in that the magnetic disk is any one of the above magnetic disks and includes means for controlling a radial position of the magnetic head based on the magnetization pattern.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下に本発明についてより詳細に
説明する。本発明の磁気ディスクは、基板上に少なくと
も一層の磁性層を設けてなる磁気ディスクであって、該
磁性層に、磁化方向が半径方向かつ内周方向である磁区
と磁化方向が半径方向かつ外周方向である磁区からなる
半径方向磁化領域(直交磁化部)が、ほぼ等角度間隔に
設けられてなる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in more detail. The magnetic disk of the present invention is a magnetic disk having at least one magnetic layer provided on a substrate, wherein the magnetic layer has a magnetic domain whose magnetization direction is a radial direction and an inner circumferential direction and a magnetic domain whose magnetization direction is a radial direction and an outer circumferential direction. Radially magnetized regions (orthogonal magnetized portions) composed of magnetic domains, which are directions, are provided at substantially equal angular intervals.

【0016】本発明の半径方向磁化領域には、内周方向
磁区と外周方向磁区の両方を有するので、両磁区の間に
は磁区境界部が存在する。直交磁化部そのものの磁化は
通常の磁気ヘッドでは検出されないが、直交磁化部中の
磁区境界部から発生する、媒体面に垂直方向の磁界は検
出される。従って信号の読取りが可能である。しかも、
情報信号との分離が容易であり磁気ヘッドの位置決めが
簡便に行える。また、境界部に沿って常に垂直方向の磁
界が発生し出力信号が連続して得られるため、出力信号
の積算値が大きくなり、大きな再生信号が得られやす
い。従って粗いサーボパターンでも精度の高い磁気ヘッ
ドの位置決めができる。直交磁化部は磁気的に飽和して
いるので、出力信号も安定しノイズも小さいという利点
もある。
Since the radial magnetization region of the present invention has both the inner circumferential magnetic domain and the outer circumferential magnetic domain, a magnetic domain boundary exists between the two magnetic domains. The magnetization of the orthogonal magnetized portion itself is not detected by a normal magnetic head, but a magnetic field generated from a magnetic domain boundary in the orthogonal magnetized portion and perpendicular to the medium surface is detected. Therefore, the signal can be read. Moreover,
The separation from the information signal is easy, and the positioning of the magnetic head can be easily performed. Further, since a magnetic field in the vertical direction is always generated along the boundary and the output signal is continuously obtained, the integrated value of the output signal becomes large and a large reproduction signal is easily obtained. Therefore, a highly accurate magnetic head can be positioned even with a coarse servo pattern. Since the orthogonal magnetization part is magnetically saturated, there is an advantage that the output signal is stable and the noise is small.

【0017】加えて、半径方向磁化領域(直交磁化部)
を連続ではなくほぼ等角度間隔に設けることで、直交磁
化部では間欠的にトラッキングを行い他の領域は情報記
録に使用できる(セクターサーボ方式)。例えば、サー
ボパターンである半径方向磁化領域と、情報パターンで
ある周方向磁化領域とを周方向に交互に設けることがで
きる。それゆえ従来のように磁性層を二層とし一層をサ
ーボパターン記録専用とする必要がなく、本発明は、磁
性層が一層しかない通常の磁気ディスクに好ましく適用
できる。或いはサーボ面サーボ方式のように記録面を無
駄にすることもない。また、位置信号の読取り用と情報
記録用のヘッドが同じであるため高密度磁気ディスクで
も高精度でトラッキングが行える。従って本発明は、例
えばトラック密度10kTPI以上、線記録密度200
kFCI以上、1平方インチ当たり2Gビット以上の記
録密度を持つような高密度磁気ディスクにも好ましく適
用できる。個々のサーボパターンは例えば、放射状、ま
たは湾曲した放射状に形成される。そして、このような
サーボパターンが例えば1周に数十〜数百個程度、ほぼ
等角度間隔で設けられる。ほぼ等角度間隔とは、例えば
数μm〜数十μm程度の誤差を含む。最も好ましくはサ
ーボパターンは誤差無くちょうど等角度間隔に設けられ
る。以上では磁化パターンがサーボパターンである場合
について述べたが、サーボパターンは、記録再生用磁気
ヘッドの位置制御を行うためのサーボパターンであって
もよいし、サーボパターンを記録するための基準パター
ンであってもよい。後者の場合は、後に磁気ヘッドで基
準パターンを読取り、それをもとに別のサーボパターン
を記録する。そのほか、磁化パターンは必要に応じてア
ドレス情報や同期情報などを含んでいてもよい。
In addition, a radial magnetization region (orthogonal magnetization portion)
Are provided at substantially equal angular intervals rather than continuously, tracking is performed intermittently in the orthogonal magnetization portion, and other regions can be used for information recording (sector servo method). For example, a radial magnetization region serving as a servo pattern and a circumferential magnetization region serving as an information pattern can be provided alternately in the circumferential direction. Therefore, unlike the conventional case, there is no need to provide two magnetic layers and one layer dedicated to servo pattern recording, and the present invention can be preferably applied to an ordinary magnetic disk having only one magnetic layer. Alternatively, the recording surface is not wasted unlike the servo surface servo method. Further, since the head for reading the position signal and the head for recording the information are the same, tracking can be performed with high accuracy even with a high-density magnetic disk. Therefore, the present invention provides, for example, a track density of 10 kTPI or more and a linear recording density of 200
The present invention can be preferably applied to a high-density magnetic disk having a recording density of not less than kFCI and not less than 2 Gbits per square inch. Each servo pattern is formed, for example, radially or curvedly radially. Such servo patterns are provided, for example, on the order of several tens to several hundreds in one round, at substantially equal angular intervals. The substantially equiangular intervals include, for example, an error of about several μm to several tens μm. Most preferably, the servo patterns are provided at exactly equal angular intervals without error. Although the case where the magnetization pattern is a servo pattern has been described above, the servo pattern may be a servo pattern for controlling the position of the recording / reproducing magnetic head or a reference pattern for recording the servo pattern. There may be. In the latter case, the reference pattern is read by a magnetic head later, and another servo pattern is recorded based on the reference pattern. In addition, the magnetization pattern may include address information, synchronization information, and the like as needed.

【0018】本発明の再生原理について説明する。面内
磁気ディスクであれば、磁化は、面内であって媒体のト
ラック方向と同じ方向を向いており、磁気ヘッドは磁区
の境界部からの漏れ磁界を検出する。磁気ヘッドは通
常、トラック方向の磁区のみを検出し、これに直交する
半径方向の磁区は検出しない構造となっている。ただ
し、垂直方向の磁界は検出できる。半径方向の磁区が形
成されていると、磁化の逆転する部分、すなわち磁区の
境界部近傍の狭い領域で、ディスク表面に垂直方向の磁
界が発生する。本発明においてはこれを利用し、サーボ
パターンを半径方向磁化領域(直交磁化部)として記録
し、直交磁化部の内周方向磁区と外周方向磁区の磁区境
界部(以下、単に磁区境界部と称する)からの垂直方向
の磁界を検出してサーボ信号を得る。直交磁化部そのも
のの信号は検出されないため磁区境界部以外の磁化は信
号出力には影響を与えない。図4に示すように、直交磁
化部中、個々の磁区の境界部においては、垂直方向(N
又はS)の磁界の湧き出しがある。これを上記磁気ヘッ
ドにより検出するのである。
The reproduction principle of the present invention will be described. In the case of an in-plane magnetic disk, the magnetization is in-plane and oriented in the same direction as the track direction of the medium, and the magnetic head detects a leakage magnetic field from the boundary between magnetic domains. The magnetic head usually has a structure in which only magnetic domains in the track direction are detected, and magnetic domains in the radial direction perpendicular to the magnetic domains are not detected. However, the magnetic field in the vertical direction can be detected. When a magnetic domain is formed in the radial direction, a magnetic field in the direction perpendicular to the disk surface is generated in a portion where the magnetization is reversed, that is, in a narrow region near the boundary of the magnetic domain. In the present invention, using this, the servo pattern is recorded as a radial magnetization region (orthogonal magnetization portion), and a magnetic domain boundary portion between an inner circumferential magnetic domain and an outer circumferential magnetic domain of the orthogonal magnetization portion (hereinafter, simply referred to as a magnetic domain boundary portion). ) Is detected to obtain a servo signal. Since the signal of the orthogonal magnetization part itself is not detected, the magnetization other than the magnetic domain boundary does not affect the signal output. As shown in FIG. 4, in the orthogonal magnetized portion, at the boundary between the individual magnetic domains, the vertical direction (N
Or, there is a magnetic field of S). This is detected by the magnetic head.

【0019】本発明において好ましくは、半径方向磁化
領域(直交磁化部)の磁区境界部を半径方向に変位させ
る、即ち記録方向を横切るよう変化させる。例えば、磁
区境界部の少なくとも一部が半径方向に段差状に変位す
る。このとき、段差状変位の幅が、単位パターンの半径
方向の繰り返し周期の1/8〜3/8の範囲内であるの
が好ましい。特に好ましくは、1/6、1/4、1/3
のいずれかである。或いは、磁区境界部が半径に対して
略三角波状に変位する部分を有する。略三角波状とは、
厳密な三角波ではなく例えば三角波の頂部が丸められて
いるような形状を含む。このように変位することでひと
つの領域で位相の異なる信号が得られるので、トラッキ
ングが外れた場合にその方向を判断することができる。
短いサーボパターンでもトラッキングのための十分な情
報が得られやすい。このためサーボパターン領域を小さ
くすることができ、それだけ情報記録に使用できる領域
が大きくなり、記録容量を上げることができる。次に、
磁気ディスクの磁性層に、磁化方向が半径方向である磁
化パターンを設ける方法について説明する。このような
半径方向磁化は、磁気ヘッドにより半径方向磁化領域を
形成しようとした場合、磁化方向が半径方向となるよう
な特殊なヘッドを作製する必要がある。従って、外部磁
界を印加してマスクに設けられたパターンを転写するこ
とにより形成するのが好ましい。例えば、磁気転写法あ
るいは後に詳述する加熱と磁気による光学的転写法であ
る。磁気転写法は、まず磁性層のほぼ全体を半径方向の
一方向(例えば内周方向)に均一に磁化する。そのの
ち、形成すべき磁化パターンに応じて軟磁性層がパター
ニングされたマスク(マスターディスク)を媒体に密着
させるとともに先の磁化と逆向きに、媒体の保磁力より
大きい外部磁界(例えば外周方向)をかける。軟磁性層
がシールドとして働き、シールドされていない領域が外
部磁界の方向に磁化される。その結果、磁性層に、磁化
方向が半径方向かつ内周方向である磁区と磁化方向が半
径方向かつ外周方向である磁区からなる半径方向磁化領
域がほぼ等角度間隔に形成される。光学的転写法も、ま
ず磁性層のほぼ全体を半径方向の一方向(例えば内周方
向)に均一に磁化する。そののち、形成すべき磁化パタ
ーンに応じて透過部と非透過部がパターニングされたマ
スクを介してエネルギー線を照射しつつ、先の磁化と逆
向きに弱めの外部磁界(例えば外周方向)をかける方法
である。エネルギー線によって磁化消失温度以上に加熱
された領域が外部磁界の方向に磁化され、その結果ほぼ
等角度間隔に磁化パターンが形成される。本発明では半
径方向の2種類の磁化により磁化パターンが形成された
領域を半径方向磁化領域とする。それ以外の内周方向に
均一に磁化された領域は含まれない。このような領域は
磁区境界部を含まないため、通常の磁気ヘッドで検出可
能な信号を発生しない。このような領域は、後に情報
(データ)を記録するための情報記録領域となる。な
お、最初の均一磁化を磁性層全体ではなく磁性層の一部
としてもよい。例えば半径方向磁化領域としたい領域の
みを均一磁化してもよい。このように、磁気転写法ある
いは光学的転写法によれば、形成すべき磁化パターンに
応じてマスク(マスターディスク)に一旦パターンを形
成し、外部磁界の印加方向を半径方向とすれば容易に半
径方向磁化領域が形成でき、好ましい。また、一般に転
写法では磁気ヘッドほど微細な磁化パターンは形成しに
くいが、本発明に係る半径方向磁化パターンは比較的粗
いパターンで十分な信号が得られるため、転写法との相
性が良い。更に、光学的転写法によれば、媒体の保磁力
より大きい外部磁界を使用する必要がないので、高密度
記録に適した保磁力の高い高密度媒体であっても磁化パ
ターンの形成がしやすく好ましい。例えば、室温での保
磁力が2000Oe以上あるような磁気ディスクに適用
しやすい。即ち光学的転写法によれば、磁化パターンを
形成するにあたり局所加熱と外部磁界印加を組み合わせ
るので、強い外部磁界を用いる必要がない。そして、加
熱領域以外に磁界が印加されても磁化されないので、磁
区形成を加熱領域に限定できる。このため、磁区境界が
明瞭となり、磁化遷移幅が小さく磁区の境界での磁化遷
移が非常に急峻で出力信号の品質が高いパターンが形成
できる。媒体(磁気ディスク)とマスターディスクを圧
着させる必要がないので、媒体やマスクを傷つけること
なく、媒体の欠陥を増加させる虞れもない。そして媒体
上に凹凸を生じず、傷つきや欠陥の増加もないので、媒
体の表面粗度を小さく抑えることができ、浮上/接触す
る磁気ヘッドの走行を不安定にすることがない。
In the present invention, preferably, the magnetic domain boundary portion of the radial magnetization region (orthogonal magnetization region) is displaced in the radial direction, that is, is changed so as to cross the recording direction. For example, at least a part of the magnetic domain boundary portion is displaced in the radial direction like a step. At this time, the width of the step-like displacement is preferably in the range of 1/8 to 3/8 of the repetition period of the unit pattern in the radial direction. Particularly preferably, 1/6, 1/4, 1/3
Is one of Alternatively, the magnetic domain boundary portion has a portion displaced in a substantially triangular wave shape with respect to the radius. The substantially triangular wave shape
Including a shape in which the top of the triangle wave is rounded instead of the exact triangle wave, for example. By performing such displacement, signals having different phases can be obtained in one area, so that when tracking is lost, the direction can be determined.
Sufficient information for tracking is easily obtained even with a short servo pattern. For this reason, the servo pattern area can be reduced, and the area that can be used for information recording increases accordingly, and the recording capacity can be increased. next,
A method of providing a magnetic pattern having a radial magnetization direction on a magnetic layer of a magnetic disk will be described. For such a radial magnetization, when a magnetic head is used to form a radial magnetization region, it is necessary to manufacture a special head in which the magnetization direction is the radial direction. Therefore, it is preferable that the pattern is formed by applying an external magnetic field and transferring the pattern provided on the mask. For example, a magnetic transfer method or an optical transfer method using heating and magnetism, which will be described in detail later. In the magnetic transfer method, first, substantially the entire magnetic layer is uniformly magnetized in one radial direction (for example, the inner circumferential direction). Thereafter, a mask (master disk) in which the soft magnetic layer is patterned according to the magnetization pattern to be formed is brought into close contact with the medium, and an external magnetic field (for example, in the outer circumferential direction) that is larger than the coercive force of the medium in a direction opposite to the previous magnetization. multiply. The soft magnetic layer acts as a shield, and the unshielded region is magnetized in the direction of the external magnetic field. As a result, in the magnetic layer, radial magnetization regions including magnetic domains whose magnetization directions are radial and inner circumferential directions and magnetic domains whose magnetization directions are radial and outer circumferential directions are formed at substantially equal angular intervals. In the optical transfer method, first, almost the entire magnetic layer is uniformly magnetized in one radial direction (for example, the inner circumferential direction). Thereafter, a weak external magnetic field (for example, in the outer circumferential direction) is applied in the direction opposite to the previous magnetization while irradiating energy rays through a mask in which the transmission portion and the non-transmission portion are patterned according to the magnetization pattern to be formed. Is the way. The region heated by the energy beam to a temperature higher than the magnetization extinction temperature is magnetized in the direction of the external magnetic field, and as a result, magnetization patterns are formed at substantially equal angular intervals. In the present invention, a region where a magnetization pattern is formed by two types of magnetization in the radial direction is defined as a radial magnetization region. The other regions uniformly magnetized in the inner circumferential direction are not included. Since such a region does not include a magnetic domain boundary, it does not generate a signal that can be detected by a normal magnetic head. Such an area becomes an information recording area for recording information (data) later. The initial uniform magnetization may be a part of the magnetic layer instead of the entire magnetic layer. For example, uniform magnetization may be performed only in a region desired to be a radial magnetization region. As described above, according to the magnetic transfer method or the optical transfer method, once a pattern is formed on a mask (master disk) according to the magnetization pattern to be formed, and the direction of application of the external magnetic field is set to the radial direction, the radius can be easily changed. A directional magnetization region can be formed, which is preferable. In general, in the transfer method, it is difficult to form a finer magnetic pattern as in a magnetic head, but the radial magnetization pattern according to the present invention is a relatively coarse pattern, and a sufficient signal can be obtained. Furthermore, according to the optical transfer method, since it is not necessary to use an external magnetic field larger than the coercive force of the medium, it is easy to form a magnetization pattern even in a high-density medium having a high coercive force suitable for high-density recording. preferable. For example, it can be easily applied to a magnetic disk having a coercive force at room temperature of 2000 Oe or more. That is, according to the optical transfer method, since local heating and application of an external magnetic field are combined in forming a magnetization pattern, it is not necessary to use a strong external magnetic field. Then, even if a magnetic field is applied to a region other than the heating region, the region is not magnetized, so that magnetic domain formation can be limited to the heating region. Therefore, a magnetic domain boundary becomes clear, a magnetization transition width is small, and a magnetic transition at the magnetic domain boundary is very steep, so that a pattern with high output signal quality can be formed. Since there is no need to crimp the medium (magnetic disk) and the master disk, there is no risk of damaging the medium or the mask and increasing defects of the medium. Since no irregularities are formed on the medium and there is no increase in scratches or defects, the surface roughness of the medium can be suppressed to a small value, and the traveling of the magnetic head that flies and contacts does not become unstable.

【0020】光学的転写法についてより詳細に説明す
る。最初の均一磁化の際には、磁気ディスクに強い外部
磁界を印加して、磁性層全体を半径方向の所望の一方向
に均一に磁化する。外部磁界を印加する手段は、磁気ヘ
ッドを用いてもよいし、電磁石または、永久磁石を所望
の磁化方向に磁界が生じるよう複数個配置して用いても
よい。更にそれらの異なる手段を組み合わせて使用して
もよい。磁界の強さは磁気ディスクの磁性層の特性によ
って異なり、磁性層の室温での保磁力の2倍以上の磁界
によって磁化することが好ましい。これより弱いと磁化
が不十分となる可能性がある。ただし、通常、磁界印加
に用いる着磁装置の能力上、磁性層の室温での保磁力の
5倍以下程度である。次に、磁気ディスクの磁性層表面
を部分的に加熱し、磁性層の磁化消失温度、例えばキュ
リー温度近傍まで昇温すると同時に、先の均一磁化とは
逆方向に磁化されるように外部磁界を印加する。磁界の
強さが強いほど磁化パターンが形成しやすい。好ましく
は磁性層の室温での保磁力の1/8以上の磁界とする。
これより弱いと、加熱部が、冷却時に周囲の磁区からの
磁界の影響をうけて再び周囲と同じ方向に磁化されてし
まう可能性がある。
The optical transfer method will be described in more detail. In the first uniform magnetization, a strong external magnetic field is applied to the magnetic disk to uniformly magnetize the entire magnetic layer in a desired radial direction. As a means for applying the external magnetic field, a magnetic head may be used, or a plurality of electromagnets or permanent magnets may be arranged so as to generate a magnetic field in a desired magnetization direction. Further, these different means may be used in combination. The strength of the magnetic field depends on the characteristics of the magnetic layer of the magnetic disk, and it is preferable that the magnetic layer is magnetized by a magnetic field that is at least twice the coercive force of the magnetic layer at room temperature. If it is lower than this, the magnetization may be insufficient. However, usually, the coercive force of the magnetic layer at room temperature is about 5 times or less due to the capability of the magnetizing device used for applying the magnetic field. Next, the surface of the magnetic layer of the magnetic disk is partially heated to raise the temperature to near the magnetization disappearance temperature of the magnetic layer, for example, the Curie temperature, and at the same time, an external magnetic field is applied so as to be magnetized in a direction opposite to the uniform magnetization. Apply. The stronger the strength of the magnetic field, the easier the magnetization pattern is formed. Preferably, the magnetic field is at least 1/8 of the coercive force of the magnetic layer at room temperature.
If it is lower than this, the heating section may be magnetized again in the same direction as the surroundings under the influence of the magnetic field from the surrounding magnetic domains during cooling.

【0021】ただし、磁性層の室温での保磁力より小さ
い磁界とする。磁性層の室温での保磁力の2/3以下と
するのが好ましく、1/2倍以下とするのがより好まし
い。これより大きいと、加熱部の周囲の磁区も影響を受
けてしまう可能性がある。加熱は、磁性層の保磁力の低
下が見られる温度まで加熱できればよいが、例えば磁性
層の磁化消失温度、キュリー温度近傍である。好ましく
は100℃以上に加熱する。100℃未満で外部磁界の
影響を受ける磁性層は、室温での磁区の安定性が低い傾
向がある。また、加熱温度は700℃以下が好ましい。
あまり加熱温度が高いと、磁性層が変形してしまう可能
性がある。
The magnetic field is smaller than the coercive force of the magnetic layer at room temperature. The coercive force of the magnetic layer at room temperature is preferably 2 or less, more preferably 1 / or less. If it is larger than this, the magnetic domains around the heating section may be affected. The heating may be performed at a temperature at which the coercive force of the magnetic layer is reduced. For example, the heating is near the magnetization disappearance temperature or the Curie temperature of the magnetic layer. Preferably, it is heated to 100 ° C. or higher. Magnetic layers that are affected by an external magnetic field below 100 ° C. tend to have low domain stability at room temperature. Further, the heating temperature is preferably 700 ° C. or lower.
If the heating temperature is too high, the magnetic layer may be deformed.

【0022】次に、磁性層の局所的な加熱の方法につい
て説明する。加熱手段は、磁性層表面を部分的に加熱で
きる機能を備えていればよいが、不要な部分への熱拡散
防止やコントロール性を考えると、パワーコントロー
ル、加熱する部位の大きさが制御しやすいレーザ等のエ
ネルギー線を利用したものが好適である。このとき、マ
スクを併用するのが好ましい。エネルギー線をマスクを
介して照射することで複数の磁化パターンを一度に形成
することができるため、磁化パターン形成工程が短時間
となりかつ簡便である。
Next, a method for locally heating the magnetic layer will be described. The heating means only needs to have a function capable of partially heating the surface of the magnetic layer, but in consideration of prevention of heat diffusion to unnecessary parts and controllability, power control, the size of the portion to be heated can be easily controlled. It is preferable to use an energy ray such as a laser. At this time, it is preferable to use a mask together. By irradiating the energy beam through the mask, a plurality of magnetization patterns can be formed at a time, so that the magnetization pattern formation process is short and simple.

【0023】また、エネルギー線は連続照射よりもパル
ス状にして加熱部位の制御や加熱温度の制御を行うのが
好ましい。特にパルスレーザ光源の使用が好適である。
パルスレーザ光源はレーザをパルス状に断続的に発振す
るものであり、連続レーザを音響光学素子(AO)や電
気光学素子(EO)などの光学部品で断続させパルス化
するのに比して、パワー尖頭値の高いレーザをごく短時
間に照射することができ熱の蓄積が起こりにくく非常に
好ましい。連続レーザを光学部品によりパルス化した場
合、パルス内ではそのパルス幅に亘ってほぼ同じパワー
を持つ。一方パルスレーザ光源は、例えば光源内で共振
によりエネルギーをためて、パルスとしてレーザを一度
に放出するため、パルス内では尖頭のパワーが非常に大
きく、その後小さくなっていく。本発明では、コントラ
ストが高く精度の高い磁化パターンを形成するために、
ごく短時間に急激に加熱しその後急冷させるのが好まし
いため、パルスレーザ光源の使用が適している。
Further, it is preferable to control the heating portion and the heating temperature by making the energy beam more pulse-shaped than continuous irradiation. In particular, use of a pulse laser light source is preferred.
A pulsed laser light source oscillates a laser intermittently in a pulsed manner. Compared to a continuous laser which is intermittently pulsed by an optical component such as an acousto-optic device (AO) or an electro-optic device (EO), it is pulsed. It is very preferable that a laser having a high power peak value can be irradiated in a very short time and heat is hardly accumulated. When a continuous laser is pulsed by an optical component, the pulse has substantially the same power over the pulse width. On the other hand, the pulse laser light source accumulates energy by resonance in the light source and emits the laser at once as a pulse, so that the peak power is very large within the pulse and then decreases. In the present invention, in order to form a magnetization pattern with high contrast and high accuracy,
The use of a pulsed laser light source is suitable because it is preferable to rapidly heat and then rapidly cool in a very short time.

【0024】磁化パターンが形成される媒体面は、パル
ス状エネルギー線の照射時と非照射時で温度差が大きい
方が、パターンのコントラストを上げ、或いは記録密度
を上げるために好ましい。従ってパルス状エネルギー線
の非照射時には室温以下程度になっているのが好まし
い。室温とは25℃程度である。なお、パルス状エネル
ギー線を使用する際に、外部磁界は連続的に印加しても
パルス状に印加しても良い。
It is preferable that the medium surface on which the magnetization pattern is formed has a large temperature difference between when the pulsed energy beam is irradiated and when it is not irradiated, in order to increase the pattern contrast or the recording density. Therefore, it is preferable that the temperature be lower than room temperature when the pulsed energy beam is not irradiated. Room temperature is about 25 ° C. When a pulsed energy beam is used, an external magnetic field may be applied continuously or in a pulsed manner.

【0025】エネルギー線の波長は、1100nm以下
であることが好ましい。これより波長が短いと回折作用
が小さく分解能が上がるため、微細な磁化パターンを形
成しやすい。更に好ましくは、600nm以下の波長で
ある。高分解能であるだけでなく、回折が小さいため間
隙によるマスクと磁気ディスクのスペーシングも広くと
れハンドリングがしやすく、磁化パターン形成装置が構
成しやすくなるという利点が生まれる。また、波長は1
50nm以上であるのが好ましい。150nm未満で
は、マスクに用いる合成石英の吸収が大きくなり、加熱
が不十分となりやすい。波長を350nm以上とすれ
ば、光学ガラスをマスクとして使用することもできる。
具体的には、エキシマレーザ(157nm,193n
m,248nm、308nm、351nm。特にKrF
の248nmがよく使用される)、YAGのQスイッチ
レーザ(1064nm)の2倍波(532nm)、3倍
波(355nm)、或いは4倍波(266nm)、Ar
レーザ(488nm、514nm)、ルビーレーザ(6
94nm)などである。
The wavelength of the energy ray is preferably 1100 nm or less. If the wavelength is shorter than this, the diffraction effect is small and the resolution is increased, so that a fine magnetization pattern is easily formed. More preferably, the wavelength is 600 nm or less. In addition to high resolution, there is an advantage that the spacing between the mask and the magnetic disk is widened due to the small diffraction, the handling is easy, and the magnetization pattern forming apparatus is easy to configure. The wavelength is 1
It is preferably at least 50 nm. If it is less than 150 nm, the absorption of the synthetic quartz used for the mask becomes large, and the heating tends to be insufficient. If the wavelength is 350 nm or more, optical glass can be used as a mask.
Specifically, an excimer laser (157 nm, 193n)
m, 248 nm, 308 nm, 351 nm. Especially KrF
248 nm is often used), the second harmonic (532 nm), the third harmonic (355 nm), or the fourth harmonic (266 nm) of the YAG Q-switched laser (1064 nm), Ar
Laser (488 nm, 514 nm), ruby laser (6
94 nm).

【0026】エネルギー線のパワーは、外部磁界の大き
さによって最適な値を選べばよいが、パルス状エネルギ
ー線の1パルス当たりのパワーは1000mJ/cm2
以下とすることが好ましい。これより大きなパワーをか
けると、パルス状エネルギー線によって該磁気ディスク
表面が損傷を受け変形を起こす可能性がある。
The power of the energy ray may be selected at an optimum value according to the magnitude of the external magnetic field, but the power per pulse of the pulsed energy ray is 1000 mJ / cm 2.
It is preferable to set the following. If a power larger than this is applied, the surface of the magnetic disk may be damaged and deformed by the pulsed energy beam.

【0027】より好ましくは500mJ/cm2以下で
あり、更に好ましくは200mJ/cm2以下である。
この領域であると比較的熱拡散の大きな基板を用いた場
合でも分解能の高い磁化パターンが形成しやすい。ま
た、パワーは10mJ/cm2以上とするのが好まし
い。これより小さいと、磁性層の温度が上がりにくく磁
気転写が起こりにくい。
It is more preferably at most 500 mJ / cm 2 , still more preferably at most 200 mJ / cm 2 .
In this region, a magnetization pattern with high resolution is easily formed even when a substrate having relatively large thermal diffusion is used. Further, the power is preferably set to 10 mJ / cm 2 or more. If it is smaller than this, the temperature of the magnetic layer hardly rises and magnetic transfer hardly occurs.

【0028】また、エネルギー線による媒体の損傷が心
配される場合は、パルス状エネルギー線のパワーを小さ
くして、該パルス状エネルギー線と同時に印加される磁
界強度を上げるといった手段を取ることもできる。例え
ば、面内磁気ディスクの場合は、常温での保磁力の25
〜75%、垂直記録の場合には、1から50%のできる
だけ大きな磁界をかけ、照射エネルギーを下げる。
If there is a concern that the medium may be damaged by the energy beam, it is possible to take measures such as reducing the power of the pulsed energy beam and increasing the intensity of the magnetic field applied simultaneously with the pulsed energy beam. . For example, in the case of an in-plane magnetic disk, the coercive force at room temperature is 25%.
In the case of perpendicular recording, a magnetic field as large as 1 to 50% is applied to lower the irradiation energy.

【0029】パルス状エネルギー線のパルス幅は、1μ
sec以下であることが望ましい。これよりパルス幅が
広いと該磁気ディスクにパルス状エネルギー線にて与え
たエネルギーによる発熱が分散して、分解能が低下しや
すい。1パルス当たりのパワーが同じである場合、パル
ス幅を短くし一度に強いエネルギーを照射した方が、熱
拡散が小さく磁化パターンの分解能が高くなる傾向にあ
る。より好ましくは100nsec以下である。この領
域であるとAlなど金属の比較的熱拡散の大きな基板を
用いた場合でも分解能の高い磁化パターンが形成しやす
い。最小幅が2μm以下のパターンを形成する際には、
パルス幅を25nsec以下とするのがよい。即ち、分
解能を重視すれば、パルス幅は短いほど良い。また、パ
ルス幅は1nsec以上であるのが好ましい。磁性層の
磁化反転が完了するまでの時間、加熱を保持しておくの
が好ましいからである。
The pulse width of the pulse energy beam is 1 μm.
sec or less is desirable. If the pulse width is wider than this, the heat generated by the energy given to the magnetic disk by the pulsed energy beam is dispersed, and the resolution tends to decrease. When the power per pulse is the same, a shorter pulse width and irradiation with strong energy at one time tend to reduce thermal diffusion and increase the resolution of the magnetization pattern. More preferably, it is 100 nsec or less. In this region, a magnetization pattern with high resolution is easily formed even when a substrate such as Al having a relatively large thermal diffusion of a metal is used. When forming a pattern having a minimum width of 2 μm or less,
The pulse width is preferably set to 25 nsec or less. That is, if importance is placed on the resolution, the shorter the pulse width, the better. Also, the pulse width is preferably 1 nsec or more. This is because it is preferable to maintain the heating until the magnetization reversal of the magnetic layer is completed.

【0030】なお、パルス状レーザの一種として、モー
ドロックレーザのようにピコ秒、フェムト秒レベルの超
短パルスを高周波で発生できるレーザがある。超短パル
スを高周波で照射している期間においては、各々の超短
パルス間のごく短い時間はレーザが照射されないが非常
に短い時間であるため加熱部はほとんど冷却されない。
すなわち、一旦キュリー温度以上に昇温された領域はキ
ュリー温度以上に保たれる。
As one type of pulsed laser, there is a laser which can generate picosecond and femtosecond level ultrashort pulses at a high frequency, such as a mode-locked laser. During the period of irradiating the ultrashort pulse at a high frequency, the laser is not irradiated for a very short time between each ultrashort pulse, but the heating portion is hardly cooled because it is a very short time.
That is, the region once heated to the Curie temperature or higher is maintained at the Curie temperature or higher.

【0031】従ってこのような場合、連続照射期間(超
短パルス間のレーザが照射されない時間も含めた連続照
射期間)を1パルスとする。また連続照射期間の照射エ
ネルギー量の積分値を1パルス当たりのパワー(mJ/
cm2)とする。
Therefore, in such a case, the continuous irradiation period (the continuous irradiation period including the time during which the laser is not irradiated between the ultrashort pulses) is defined as one pulse. In addition, the integral value of the irradiation energy amount during the continuous irradiation period is calculated as power per pulse (mJ /
cm 2 ).

【0032】次に、本発明を適用するに好ましい磁気デ
ィスクの構成について説明する。本発明の磁気ディスク
の基板としては、高速記録再生時に高速回転させても振
動しない必要があり、通常、硬質基板が用いられる。振
動しない十分な剛性を得るため、基板厚みは一般に0.
3mm以上が好ましい。但し厚いと磁気記録装置の薄型
化に不利なため、3mm以下が好ましい。例えば、Al
を主成分とした例えばAl−Mg合金等のAl合金基板
や、Mgを主成分とした例えばMg−Zn合金等のMg
合金基板、通常のソーダガラス、アルミノシリケート系
ガラス、非結晶ガラス類、シリコン、チタン、セラミッ
クス、各種樹脂のいずれかからなる基板やそれらを組み
合わせた基板などを用いることができる。中でもAl合
金基板や強度の点では結晶化ガラス等のガラス製基板、
コストの点では樹脂製基板を用いることが好ましい。
Next, a preferred configuration of a magnetic disk to which the present invention is applied will be described. As the substrate of the magnetic disk of the present invention, it is necessary that the substrate does not vibrate even when rotated at high speed during high-speed recording and reproduction, and a hard substrate is usually used. In order to obtain sufficient rigidity to prevent vibration, the thickness of the substrate is generally 0.1 mm.
3 mm or more is preferable. However, if it is thick, it is disadvantageous for thinning the magnetic recording device, so that it is preferably 3 mm or less. For example, Al
An Al alloy substrate such as an Al-Mg alloy containing Mg as a main component, or an Mg alloy such as an Mg-Zn alloy containing Mg as a main component.
An alloy substrate, a substrate made of any of ordinary soda glass, aluminosilicate glass, amorphous glass, silicon, titanium, ceramics, various resins, a substrate obtained by combining them, or the like can be used. Among them, Al alloy substrates and glass substrates such as crystallized glass in terms of strength,
It is preferable to use a resin substrate in terms of cost.

【0033】磁気ディスクの製造工程においては、まず
基板の洗浄・乾燥が行われるのが通常であり、本発明に
おいても各層の密着性を確保する見地からもその形成前
に洗浄、乾燥を行うことが望ましい。基板表面にはNi
P、NiAl等の金属層を形成してもよい。金属層を形
成する場合に、その手法としては、無電解めっき法、ス
パッタリング法、真空蒸着法、CVD法など薄膜形成に
用いられる方法を利用することができる。導電性の材料
からなる基板の場合であれば電解めっきを使用すること
が可能である。金属層の膜厚は50nm以上が好まし
い。ただし、磁気ディスク媒体の生産性などを考慮する
と20μm以下であることが好ましい。さらに好ましく
は10μm以下である。
In the manufacturing process of the magnetic disk, it is usual to wash and dry the substrate first, and in the present invention, from the viewpoint of ensuring the adhesion of each layer, it is necessary to wash and dry the substrate before its formation. Is desirable. Ni on the substrate surface
A metal layer such as P or NiAl may be formed. When the metal layer is formed, a method used for forming a thin film such as an electroless plating method, a sputtering method, a vacuum evaporation method, and a CVD method can be used. In the case of a substrate made of a conductive material, it is possible to use electrolytic plating. The thickness of the metal layer is preferably 50 nm or more. However, in consideration of the productivity of the magnetic disk medium and the like, the thickness is preferably 20 μm or less. More preferably, it is 10 μm or less.

【0034】また、金属層を成膜する領域は基板表面全
域が望ましいが、一部だけ、例えばテキスチャリングを
施す領域のみでも実施可能である。また、基板表面、又
は基板に金属層が形成された表面に同心状テキスチャリ
ングを施してもよい。本発明において同心状テキスチャ
リングとは、例えば遊離砥粒とテキスチャーテープを使
用した機械式テキスチャリングやレーザ光線などを利用
したテキスチャリング、又はこれらを併用することによ
って、円周方向に研磨することによって基板円周方向に
微小溝を多数形成した状態を指称する。一般に、機械式
テキスチャリングは磁性層の面内異方性を出すために行
われる。面内等方性の磁性層としたい場合は施す必要は
ない。また一般に、レーザ光線などを利用したテキスチ
ャリングは、CSS(コンタクト・スタート・アンド・
ストップ)特性を良好にするために行われる。磁気ディ
スク装置が、非駆動時にヘッドをディスクの外に待避さ
せる方式(ロード・アンロード方式)などの場合は施す
必要はない。
The region where the metal layer is formed is desirably the entire region of the substrate surface, but it is also possible to implement only a part, for example, only the region where texturing is to be performed. Also, concentric texturing may be applied to the surface of the substrate or the surface of the substrate on which the metal layer is formed. In the present invention, concentric texturing is, for example, mechanical texturing using free abrasive grains and texture tape or texturing using a laser beam, or by using these together, by polishing in the circumferential direction. This refers to a state in which a large number of microgrooves are formed in the circumferential direction of the substrate. Generally, mechanical texturing is performed to obtain in-plane anisotropy of the magnetic layer. If it is desired to form an in-plane isotropic magnetic layer, it is not necessary to apply the magnetic layer. Generally, texturing using a laser beam or the like is performed by CSS (contact start and
Stop) is performed to improve the characteristics. When the magnetic disk device is of a system (load / unload system) in which the head is retracted outside the disk when the magnetic disk device is not driven, there is no need to apply this method.

【0035】機械的テキスチャリングを施すための遊離
砥粒の種類としてはダイヤモンド砥粒、中でも表面がグ
ラファイト化処理されているものが最も好ましい。機械
的テキスチャリングに用いられる砥粒としては他にアル
ミナ砥粒が広く用いられているが、特にテキスチャリン
グ溝に沿って磁化容易軸を配向させるという面内配向媒
体の観点から考えるとダイアモンド砥粒が極めて良い性
能を発揮する。
The type of free abrasive grains for mechanical texturing is most preferably diamond abrasive grains, especially those whose surfaces are graphitized. Alumina abrasive grains are widely used as abrasive grains for mechanical texturing, but diamond abrasive grains are particularly considered from the viewpoint of the in-plane orientation medium that orients the axis of easy magnetization along the texturing grooves. Has extremely good performance.

【0036】ヘッド浮上量ができるだけ小さいことが高
密度磁気記録の実現には有効であり、またこれら基板の
特長のひとつが優れた表面平滑性にあることから、基板
表面の粗度Raは2nm以下が好ましく、より好ましく
は1nm以下である。特に0.5nm以下が好ましい。
なお、基板表面粗度Raは、触針式表面粗さ計を用いて
測定長400μmで測定後、JIS B0601に則っ
て算出した値である。このとき測定用の針の先端は半径
0.2μm程度の大きさのものが使用される。
It is effective that the head flying height is as small as possible to realize high-density magnetic recording, and one of the features of these substrates is excellent surface smoothness. Therefore, the roughness Ra of the substrate surface is 2 nm or less. And more preferably 1 nm or less. Particularly, the thickness is preferably 0.5 nm or less.
The substrate surface roughness Ra is a value calculated according to JIS B0601 after measuring with a stylus type surface roughness meter at a measurement length of 400 μm. At this time, the tip of the measuring needle has a radius of about 0.2 μm.

【0037】次に基板上には、磁性層との間に下地層等
を形成してもよい。下地層は、結晶を微細化し、かつそ
の結晶面の配向を制御することを目的とし、Crを主成
分とするものが好ましく用いられる。Crを主成分とす
る下地層の材料としては、純Crのほか、記録層との結
晶マッチングなどの目的で、CrにV、Ti、Mo、Z
r、Hf、Ta、W、Ge、Nb、Si、Cu、Bから
選ばれる1又は2以上の元素を添加した合金や酸化Cr
なども含む。
Next, an underlayer or the like may be formed between the substrate and the magnetic layer. The underlayer is preferably made of Cr as a main component for the purpose of refining the crystal and controlling the orientation of the crystal plane. As the material of the underlayer containing Cr as a main component, in addition to pure Cr, Cr, V, Ti, Mo, Z may be used for the purpose of crystal matching with the recording layer.
alloys containing one or more elements selected from the group consisting of r, Hf, Ta, W, Ge, Nb, Si, Cu, and B;
Including.

【0038】中でも純Cr、又はCrにTi、Mo、
W、V、Ta、Si、Nb、Zr及びHfから選ばれる
1又は2以上の元素を添加した合金が好ましい。これら
第二、第三元素の含有量はそれぞれの元素によって最適
な量が異なるが、一般には1原子%〜50原子%が好ま
しく、より好ましくは5原子%〜30原子%、さらに好
ましくは5原子%〜20原子%の範囲である。
Above all, pure Cr, or Cr, Ti, Mo,
An alloy to which one or more elements selected from W, V, Ta, Si, Nb, Zr and Hf are added is preferable. The optimum content of the second and third elements differs depending on the respective elements, but is generally preferably 1 to 50 atomic%, more preferably 5 to 30 atomic%, and still more preferably 5 to 30 atomic%. % To 20 atomic%.

【0039】下地層の膜厚はこの異方性を発現させ得る
に十分なものであればよいが、好ましくは0.1〜50
nmであり、より好ましくは0.3〜30nm、さらに
好ましくは0.5〜10nmである。Crを主成分とす
る下地層の成膜時は基板加熱を行っても行わなくてもよ
い。下地層の上には、記録層との間に、場合により軟磁
性層を設けても良い。特に磁化遷移ノイズの少ないキー
パー媒体、或いは磁区が媒体の面内に対して垂直方向に
ある垂直磁気ディスクには、効果が大きく、好適に用い
られる。
The thickness of the underlayer may be any thickness which is sufficient to exhibit this anisotropy, but is preferably 0.1 to 50.
nm, more preferably 0.3 to 30 nm, even more preferably 0.5 to 10 nm. The substrate may or may not be heated during the formation of the underlayer mainly composed of Cr. A soft magnetic layer may be provided between the underlayer and the recording layer in some cases. In particular, the effect is large and is preferably used for a keeper medium having little magnetization transition noise or a perpendicular magnetic disk having magnetic domains perpendicular to the plane of the medium.

【0040】軟磁性層は透磁率が比較的高く損失の少な
いものであればよいが、NiFeや、それに第3元素と
してMo等を添加した合金が好適に用いられる。最適な
透磁率は、データの記録に利用されるヘッドや記録層の
特性によっても大きく変わるが、概して、最大透磁率が
10〜1000000(H/m)程度であることが好ま
しい。
The soft magnetic layer may have a relatively high magnetic permeability and a small loss, but NiFe or an alloy to which Mo or the like is added as a third element is preferably used. Although the optimum magnetic permeability greatly varies depending on the characteristics of the head and the recording layer used for recording data, it is generally preferable that the maximum magnetic permeability is about 10 to 1,000,000 (H / m).

【0041】或いはまた、Crを主成分とする下地層上
に必要に応じ中間層を設けてもよい。例えばCoCr系
中間層を設けると、磁性層の結晶配向が制御しやすく好
ましい。次に記録層(磁性層)を形成するが、記録層と
軟磁性層の間には下地層と同一材料の層又は他の非磁性
材料が挿入されていてもよい。記録層の成膜時は、基板
加熱を行っても行わなくてもよい。記録層としては、C
o合金磁性層、TbFeCoを代表とする希土類系磁性
層、CoとPdの積層膜を代表とする遷移金属と貴金属
系の積層膜等が好ましく用いられる。
Alternatively, an intermediate layer may be provided on the underlayer containing Cr as a main component, if necessary. For example, it is preferable to provide a CoCr-based intermediate layer because the crystal orientation of the magnetic layer can be easily controlled. Next, a recording layer (magnetic layer) is formed. Between the recording layer and the soft magnetic layer, a layer of the same material as the underlayer or another nonmagnetic material may be inserted. When forming the recording layer, the substrate may or may not be heated. As the recording layer, C
An o-alloy magnetic layer, a rare earth magnetic layer represented by TbFeCo, a transition metal / noble metal based laminated film represented by a laminated film of Co and Pd, and the like are preferably used.

【0042】Co合金磁性層としては、通常、純Coや
CoNi、CoSm、CoCrTa、CoNiCr、C
oCrPtなどの磁性材料として一般に用いられるCo
合金磁性材料を用いうる。これらのCo合金に更にN
i、Cr、Pt、Ta、W、Bなどの元素やSiO2
の化合物を加えたものでも良い。例えばCoCrPtT
a、CoCrPtB、CoNiPt、CoNiCrPt
B等が挙げられる。Co合金磁性層の膜厚は任意である
が、好ましくは5nm以上、より好ましくは10nm以
上である。また、好ましくは50nm以下、より好まし
くは30nm以下である。また、本記録層は、適当な非
磁性の中間層を介して、或いは直接2層以上積層しても
よい。その時、積層される磁性材料の組成は、同じであ
っても異なっていてもよい。
The Co alloy magnetic layer is usually made of pure Co, CoNi, CoSm, CoCrTa, CoNiCr, C
Co, commonly used as a magnetic material such as oCrPt
Alloy magnetic materials can be used. These Co alloys are further added with N
Elements to which i, Cr, Pt, Ta, W, B or the like, or compounds such as SiO 2 may be added. For example, CoCrPtT
a, CoCrPtB, CoNiPt, CoNiCrPt
B and the like. The thickness of the Co alloy magnetic layer is arbitrary, but is preferably 5 nm or more, more preferably 10 nm or more. Further, it is preferably 50 nm or less, more preferably 30 nm or less. The recording layer may be formed by laminating two or more layers via an appropriate non-magnetic intermediate layer or directly. At that time, the composition of the magnetic materials to be laminated may be the same or different.

【0043】希土類系磁性層としては、磁性材料として
一般的なものを用いうるが、例えばTbFeCo、Gd
FeCo、DyFeCo、TbFeなどが挙げられる。
これらの希土類合金にTb、Dy、Hoなどを添加して
もよい。酸化劣化防止の目的からTi、Al、Ptが添
加されていてもよい。希土類系磁性層の膜厚は、任意で
あるが、通常5〜100nm程度である。また、本記録
層は、適当な非磁性の中間層を介して、或いは直接2層
以上積層してもよい。その時、積層される磁性材料の組
成は、同じであっても異なっていてもよい。特に希土類
系磁性層は、アモルファス構造膜であり、かつメディア
面内に対して垂直方向に磁化を持つため高記録密度記録
に適する。
As the rare-earth magnetic layer, a general magnetic material can be used. For example, TbFeCo, Gd
Examples include FeCo, DyFeCo, and TbFe.
Tb, Dy, Ho or the like may be added to these rare earth alloys. Ti, Al, and Pt may be added for the purpose of preventing oxidative deterioration. The thickness of the rare earth magnetic layer is arbitrary, but is usually about 5 to 100 nm. The recording layer may be formed by laminating two or more layers via an appropriate non-magnetic intermediate layer or directly. At that time, the composition of the magnetic materials to be laminated may be the same or different. In particular, the rare earth magnetic layer has an amorphous structure film and has magnetization in a direction perpendicular to the plane of the medium, so that it is suitable for high recording density recording.

【0044】同様に垂直磁気記録が行える、遷移金属と
貴金属系の積層膜としては、磁性材料として一般的なも
のを用いうるが、例えばCo/Pd、Co/Pt、Fe
/Pt、Fe/Au、Fe/Agなどが挙げられる。こ
れらの積層膜材料の遷移金属、貴金属は、特に純粋なも
のでなくてもよく、それらを主とする合金であってもよ
い。積層膜の膜厚は、任意であるが、通常5〜1000
nm程度である。また、必要に応じて3種以上の材料の
積層であってもよい。
Similarly, as the transition metal and noble metal-based laminated film on which perpendicular magnetic recording can be performed, a general magnetic material can be used. For example, Co / Pd, Co / Pt, Fe
/ Pt, Fe / Au, Fe / Ag and the like. The transition metal and the noble metal of these laminated film materials need not be particularly pure, and may be an alloy mainly composed of them. The thickness of the laminated film is arbitrary, but is usually 5 to 1000.
nm. Further, a laminate of three or more materials may be used as necessary.

【0045】磁性層の室温での保磁力は、室温において
磁化を保持し、かつ適当な外部磁界により均一に磁化さ
れるものである必要がある。磁性層の室温での保磁力を
2000Oe以上とすることで、小さな磁区が保持でき
高密度記録に適した媒体が得られる。より好ましくは3
000Oe以上である。ただし、好ましくは20kOe
以下とする。20kOeを超えると、一括磁化のために
大きな外部磁界が必要となり、また通常の磁気記録が行
いにくくなる可能性がある。
The coercive force of the magnetic layer at room temperature needs to maintain magnetization at room temperature and be uniformly magnetized by an appropriate external magnetic field. By setting the coercive force at room temperature of the magnetic layer to 2000 Oe or more, a medium that can maintain small magnetic domains and is suitable for high-density recording can be obtained. More preferably 3
000 Oe or more. However, preferably 20 kOe
The following is assumed. If it exceeds 20 kOe, a large external magnetic field is required for collective magnetization, and normal magnetic recording may be difficult to perform.

【0046】光学的転写法を用いる場合は、磁性層は、
室温において磁化を保持しつつ、適当な加熱温度では弱
い外部磁界で磁化されるものである必要がある。また室
温と磁化消失温度との差が大きい方が磁化パターンの磁
区が明瞭に形成しやすい。このため磁化消失温度は高い
ほうが好ましく、100℃以上が好ましくより好ましく
は150℃以上である。例えば、キュリー温度近傍(キ
ュリー温度のやや下)や補償温度近傍に磁化消失温度が
ある。
When the optical transfer method is used, the magnetic layer
It is necessary that the material be magnetized by a weak external magnetic field at an appropriate heating temperature while maintaining the magnetization at room temperature. The larger the difference between the room temperature and the magnetization extinction temperature is, the more easily magnetic domains of the magnetization pattern are formed. Therefore, the magnetization extinction temperature is preferably higher, more preferably 100 ° C. or higher, and more preferably 150 ° C. or higher. For example, there is a magnetization extinction temperature near the Curie temperature (slightly below the Curie temperature) or near the compensation temperature.

【0047】キュリー温度は、好ましくは100℃以上
である。100℃未満では、室温での磁区の安定性が低
い傾向がある。より好ましくは150℃以上である。ま
た好ましくは700℃以下である。磁性層をあまり高温
に加熱すると、変形してしまう可能性があるためであ
る。これら記録層は、記録容量増大などのために、二層
以上設けてもよい。このとき、間には他の層を介するの
が好ましい。
The Curie temperature is preferably 100 ° C. or higher. If the temperature is lower than 100 ° C., the stability of the magnetic domain at room temperature tends to be low. It is more preferably at least 150 ° C. Further, the temperature is preferably 700 ° C. or less. If the magnetic layer is heated to an excessively high temperature, the magnetic layer may be deformed. Two or more of these recording layers may be provided to increase the recording capacity. At this time, it is preferable that another layer is interposed therebetween.

【0048】磁性層上に保護層を形成するのが好まし
い。すなわち、媒体の最表面を硬質の保護層により覆
う。保護層はヘッドや衝突や塵埃・ゴミ等のマスクとの
挟み込みによる磁性層の損傷を防ぐ働きをする。マスク
を用いた転写法を適用する際には、マスクとの接触から
媒体を保護する働きもある。また保護層は、加熱された
磁性層の酸化を防止する効果もある。磁性層は一般に酸
化されやすく、加熱されると更に酸化されやすい。磁性
層が複数層ある場合には、最表面に近い磁性層の上に保
護層を設ければよい。保護層は磁性層上に直接設けても
良いし、必要に応じて間に他の働きをする層をはさんで
も良い。
It is preferable to form a protective layer on the magnetic layer. That is, the outermost surface of the medium is covered with the hard protective layer. The protective layer functions to prevent the magnetic layer from being damaged by a head, a collision, or a mask between dust and dust. When a transfer method using a mask is applied, it also has a function of protecting the medium from contact with the mask. The protective layer also has the effect of preventing oxidation of the heated magnetic layer. The magnetic layer is generally easily oxidized, and is more easily oxidized when heated. When there are a plurality of magnetic layers, a protective layer may be provided on the magnetic layer near the outermost surface. The protective layer may be provided directly on the magnetic layer, or may have another layer interposed therebetween as required.

【0049】保護層としては、硬質で酸化に強い性質を
有していればよい。一般にカーボン、水素化カーボン、
窒素化カーボン、アモルファスカーボン、SiC等の炭
素質層やSiO2、Zr23、SiN、TiNなどが用
いられる。保護層が磁性を有する材料であっても良い。
特に、ヘッドと磁性層の距離を極限まで近づけるために
は、非常に硬質の保護層を薄く設けることが好ましい。
従って耐衝撃性及び潤滑性の点で炭素質保護膜が好まし
く、特にダイヤモンドライクカーボンが好ましい。エネ
ルギー線による磁性層の損傷防止の役割を果たすだけで
なく、ヘッドによる磁性層の損傷にも極めて強くなる。
また、保護層が2層以上の層から構成されていてもよ
い。磁性層の直上の保護層としてCrを主成分とする層
を設けると、磁性層への酸素透過を防ぐ効果が高く好ま
しい。記録再生時の磁性層とヘッドとの距離を小さくす
るために、保護層は薄い方が好ましい。従って50nm
以下が好ましく、より好ましくは30nm以下、さらに
好ましくは20nm以下である。ただし、充分な耐久性
を得るためには0.1nm以上が好ましく、より好まし
くは1nm以上である。
The protective layer only needs to be hard and resistant to oxidation. Generally carbon, hydrogenated carbon,
A carbonaceous layer of nitrogenated carbon, amorphous carbon, SiC, or the like, SiO 2 , Zr 2 O 3 , SiN, TiN, or the like is used. The protective layer may be a magnetic material.
In particular, in order to make the distance between the head and the magnetic layer as close as possible, it is preferable to provide a very hard protective layer thinly.
Therefore, a carbonaceous protective film is preferable in terms of impact resistance and lubricity, and diamond-like carbon is particularly preferable. Not only does it play a role in preventing the magnetic layer from being damaged by energy rays, it also becomes extremely resistant to damage to the magnetic layer by the head.
Further, the protective layer may be composed of two or more layers. It is preferable to provide a layer containing Cr as a main component as a protective layer immediately above the magnetic layer because the effect of preventing oxygen from permeating the magnetic layer is high. In order to reduce the distance between the magnetic layer and the head during recording and reproduction, the protective layer is preferably thin. Therefore 50 nm
Is preferably 30 nm or less, more preferably 20 nm or less. However, in order to obtain sufficient durability, the thickness is preferably 0.1 nm or more, more preferably 1 nm or more.

【0050】更に保護層上には潤滑層を形成するのが好
ましい。媒体のマスク及び磁気ヘッドによる損傷を防ぐ
機能を持つ。潤滑層に用いる潤滑剤としては、フッ素系
潤滑剤、炭化水素系潤滑剤及びこれらの混合物等が挙げ
られ、ディップ法、スピンコート法などの常法で塗布す
ることができる。蒸着法で成膜してもよい。磁化パター
ン形成の妨げとならないために潤滑層は薄い方が好まし
く、10nm以下が好ましい。より好ましくは4nm以
下である。十分な潤滑性能を得るためには0.5nm以
上が好ましい。より好ましくは1nm以上である。潤滑
層上からエネルギー線を照射する場合には、潤滑剤のダ
メージ(分解、重合)等を考慮し、再塗布などを行って
もよい。また、以上の層構成には他の層を必要に応じて
加えても良い。
Further, it is preferable to form a lubricating layer on the protective layer. It has a function of preventing damage by a medium mask and a magnetic head. Examples of the lubricant used for the lubricating layer include a fluorine-based lubricant, a hydrocarbon-based lubricant, a mixture thereof, and the like, and can be applied by a conventional method such as a dip method or a spin coat method. The film may be formed by an evaporation method. In order not to hinder the formation of the magnetic pattern, the thickness of the lubricating layer is preferably thin, and is preferably 10 nm or less. More preferably, it is 4 nm or less. In order to obtain sufficient lubrication performance, the thickness is preferably 0.5 nm or more. More preferably, it is 1 nm or more. When the energy beam is irradiated from above the lubricating layer, re-application may be performed in consideration of the damage (decomposition, polymerization) of the lubricant. Further, other layers may be added to the above-mentioned layer constitution as needed.

【0051】浮上型/接触型ヘッドの走行安定性を損な
わないよう、磁化パターン形成後の該媒体の表面粗度R
aは3nm以下に保つのが好ましい。なお、媒体表面粗
度Raとは潤滑層を含まない媒体表面の粗度であって、
触針式表面粗さ計(機種名:Tencor P-12 disk profile
r(KLA Tencor社製))を用いて測定長400μmで測
定後、JIS B0601に則って算出した値である。
より好ましくは1.5nm以下とする。望ましくは磁化
パターン形成後の該媒体の表面うねりWaを5nm以下
に保つ。Waは潤滑層を含まない媒体表面のうねりであ
って、触針式表面粗さ計(機種名:Tencor P-12 disk p
rofiler(KLA Tencor社製))を用いて測定長2mmで
測定後、Ra算出に準じて算出した値である。より好ま
しくは3nm以下とする。ところで、このように構成さ
れる磁気ディスクへの磁化パターンの形成は、記録層
(磁性層)に対して行う。記録層上に保護層や潤滑層な
どを形成した後に記述のいずれかの方法で行うのが好ま
しいが、記録層の酸化のおそれが無い場合は記録層の成
膜直後に行っても良い。
In order not to impair the running stability of the flying / contact type head, the surface roughness R
a is preferably kept at 3 nm or less. The medium surface roughness Ra is the roughness of the medium surface not including the lubricating layer,
Stylus type surface roughness meter (Model name: Tencor P-12 disk profile
r (manufactured by KLA Tencor) with a measurement length of 400 μm and a value calculated according to JIS B0601.
More preferably, the thickness is 1.5 nm or less. Desirably, the surface waviness Wa of the medium after the formation of the magnetization pattern is kept at 5 nm or less. Wa is the waviness of the medium surface that does not include a lubricating layer, and is a stylus type surface roughness meter (model name: Tencor P-12 disk p
It is a value calculated according to Ra calculation after measuring with a measurement length of 2 mm using a rofiler (manufactured by KLA Tencor). More preferably, the thickness is 3 nm or less. Incidentally, the formation of the magnetization pattern on the magnetic disk thus configured is performed on the recording layer (magnetic layer). It is preferable to perform the method by any of the methods described after forming a protective layer, a lubricating layer, and the like on the recording layer, but may be performed immediately after the formation of the recording layer if there is no possibility of oxidation of the recording layer.

【0052】磁気ディスクの各層を形成する成膜方法と
しては各種の方法が採りうるが、例えば直流(マグネト
ロン)スパッタリング法、高周波(マグネトロン)スパ
ッタリング法、ECRスパッタリング法、真空蒸着法な
どの物理的蒸着法が挙げられる。また、成膜時の条件と
しては、得るべき媒体の特性に応じて、到達真空度、基
板加熱の方式と基板温度、スパッタリングガス圧、バイ
アス電圧等を適宜決定する。例えば、スパッタリング成
膜では、通常の場合、到達真空度は5×10-6Torr
以下、基板温度は室温〜400℃、スパッタリングガス
圧は1×10-3〜20×10-3Torr、バイアス電圧
は0〜−500Vが好ましい。
Various methods can be adopted as a film forming method for forming each layer of the magnetic disk. For example, physical vapor deposition such as direct current (magnetron) sputtering, high frequency (magnetron) sputtering, ECR sputtering, and vacuum vapor deposition is used. Law. As the conditions at the time of film formation, the ultimate vacuum, the substrate heating method and substrate temperature, the sputtering gas pressure, the bias voltage, and the like are appropriately determined according to the characteristics of the medium to be obtained. For example, in the case of sputtering film formation, the ultimate vacuum degree is usually 5 × 10 −6 Torr.
Hereinafter, the substrate temperature is preferably from room temperature to 400 ° C., the sputtering gas pressure is preferably from 1 × 10 −3 to 20 × 10 −3 Torr, and the bias voltage is preferably from 0 to −500 V.

【0053】基板を加熱する場合は下地層形成前から加
熱しても良い。或いは、熱吸収率が低い透明な基板を使
用する場合には、熱吸収率を高くするため、Crを主成
分とする種子層又はB2結晶構造を有する下地層を形成
してから基板を加熱し、しかる後に記録層等を形成して
も良い。記録層が、希土類系の磁性層の場合には、腐食
・酸化防止の見地から、ディスクの最内周部及び最外周
部を最初マスクして、記録層まで成膜、続く保護層の成
膜の際にマスクを外し、記録層を保護層で完全に覆う方
法や、保護層が2層の場合には、記録層と第一の保護層
までをマスクしたまま成膜、第2の保護層を成膜する際
にマスクを外し、やはり記録層を第二の保護層で完全に
覆うようにすると希土類系磁性層の腐食、酸化が防げて
好適である。
When the substrate is heated, it may be heated before the formation of the underlayer. Alternatively, when a transparent substrate having a low heat absorption is used, the substrate is heated after forming a seed layer mainly composed of Cr or an underlayer having a B2 crystal structure in order to increase the heat absorption. After that, a recording layer or the like may be formed. When the recording layer is a rare-earth magnetic layer, the innermost and outermost parts of the disk are first masked to form a film up to the recording layer and then a protective layer from the viewpoint of corrosion and oxidation prevention. In this case, the mask is removed and the recording layer is completely covered with the protective layer. If the protective layer is composed of two layers, the film is formed with the recording layer and the first protective layer masked. It is preferable to remove the mask when forming the film, and to completely cover the recording layer with the second protective layer, because corrosion and oxidation of the rare earth magnetic layer can be prevented.

【0054】次に、本発明の磁気ディスク装置について
説明する。本発明の磁気ディスク装置は、少なくとも上
述してきた磁気ディスクと、これを記録方向に駆動する
駆動部と、記録部と再生部からなる磁気ヘッドと、磁気
ヘッドを磁気ディスクに対して相対運動させる手段と、
磁気ヘッドへの信号入力と磁気ヘッドからの出力信号再
生を行うための記録再生信号処理手段を有する磁気ディ
スク装置である。より詳しくは、通常、磁気ディスクを
1枚或いは複数枚を串刺し状に固定するシャフトと、該
シャフトにベアリングを介して接合された磁気ディスク
を回転させるモータと、記録及び/又は再生に用いる磁
気ヘッドと、該ヘッドが取り付けられたアームと、ヘッ
ドアームを介してヘッドを磁気記録媒体上の任意の位置
に移動させることのできるアクチュエータとからなり、
記録再生用ヘッドが磁気記録媒体上を一定の浮上量で移
動している。記録情報は、信号処理手段を経て記録信号
に変換されて磁気ヘッドにより記録される。また、磁気
ヘッドにより読み取られた再生信号は同信号処理手段を
経て逆変換され、再生情報が得られる。
Next, the magnetic disk drive of the present invention will be described. A magnetic disk drive according to the present invention includes at least the magnetic disk described above, a drive unit for driving the magnetic disk in a recording direction, a magnetic head including a recording unit and a reproducing unit, and means for moving the magnetic head relative to the magnetic disk. When,
This is a magnetic disk device having a recording / reproducing signal processing means for performing signal input to the magnetic head and reproduction of an output signal from the magnetic head. More specifically, usually, a shaft for fixing one or more magnetic disks in a skewered manner, a motor for rotating a magnetic disk joined to the shaft via a bearing, and a magnetic head used for recording and / or reproduction And an arm to which the head is attached, and an actuator that can move the head to an arbitrary position on the magnetic recording medium via the head arm,
The recording / reproducing head moves over the magnetic recording medium at a constant flying height. The recording information is converted into a recording signal via a signal processing means and recorded by a magnetic head. Further, the reproduction signal read by the magnetic head is inversely converted through the signal processing means to obtain reproduction information.

【0055】磁気ディスク上には、同心円状のトラック
に沿って半径方向磁化領域からなるサーボパターンがほ
ぼ等角度間隔で形成されている。サーボパターン間には
情報信号がセクター単位で記録される。2つのサーボパ
ターンの間が1セクターである。本発明の磁気ディスク
装置は、半径方向磁化領域からなるサーボパターンに基
づいて磁気ヘッドの半径方向位置を検出・制御する手段
を含む。
On the magnetic disk, servo patterns composed of radially magnetized regions are formed at substantially equal angular intervals along concentric tracks. Information signals are recorded between the servo patterns in sector units. One sector is between two servo patterns. The magnetic disk drive of the present invention includes means for detecting and controlling the position of the magnetic head in the radial direction based on the servo pattern composed of the radial magnetization regions.

【0056】具体的には、該手段は、磁気ヘッドが半径
方向磁化領域(直交磁化部)の磁区境界部より発生す
る、媒体面に垂直方向の磁束を検出することができ、該
磁束の極性によって磁気ヘッドの半径方向位置を検出・
制御するものである。このとき、損失なく効率の良いサ
ーボパターン検出を行うためには、磁気ヘッドの半径方
向の幅が単位パターンの半径方向の平均幅以下とするの
が好ましい。磁気ヘッドはサーボパターンからサーボ信
号を読み取り、これによりトラックの中心に正確にトラ
ッキングを行い、そのセクターの情報信号を読み取る。
記録時も同様にトラッキングを行い、セクターに情報を
記録する。本発明によれば、サーボパターンを半径方向
磁化パターンとすることにより少ないパターンでも高精
度のトラッキングを行うことができるので、磁気ディス
クのトラック密度を上げることができる。また、サーボ
領域を狭くでき、それだけデータ記録領域(情報記録領
域)を広くすることもできる。従って本発明によれば、
磁気ディスク装置を大容量化でき、或いは同容量で小型
化することができる。磁気ヘッドとしては、薄膜ヘッ
ド、MRヘッド、GMRヘッド、TMRヘッドなど各種
のものを用いることができる。特に、磁気ヘッドの再生
部をMRヘッド、GMRヘッド、TMRヘッドなどで構
成することにより、高記録密度においても十分な信号強
度を得ることができ、高記録密度を持った磁気ディスク
装置を実現することができる。
More specifically, the means can detect a magnetic flux in the direction perpendicular to the medium surface, which is generated by the magnetic head from the magnetic domain boundary of the radial magnetization area (orthogonal magnetization area), and can detect the polarity of the magnetic flux. To detect the radial position of the magnetic head
To control. At this time, in order to perform efficient servo pattern detection without loss, it is preferable that the radial width of the magnetic head be equal to or less than the radial average width of the unit pattern. The magnetic head reads a servo signal from the servo pattern, thereby accurately performing tracking at the center of the track, and reads an information signal of the sector.
At the time of recording, tracking is performed similarly, and information is recorded in the sector. According to the present invention, since the servo pattern is a radial magnetization pattern, high-accuracy tracking can be performed even with a small number of patterns, so that the track density of the magnetic disk can be increased. Further, the servo area can be narrowed, and the data recording area (information recording area) can be expanded accordingly. Therefore, according to the present invention,
The capacity of the magnetic disk device can be increased, or the size can be reduced with the same capacity. Various magnetic heads such as a thin film head, an MR head, a GMR head, and a TMR head can be used. In particular, by configuring the reproducing section of the magnetic head with an MR head, a GMR head, a TMR head, or the like, a sufficient signal intensity can be obtained even at a high recording density, and a magnetic disk device having a high recording density is realized. be able to.

【0057】またこの磁気ヘッドを、浮上量が0.01
μm以上、0.05μm未満と、低い高さで浮上させる
と、出力が向上して高い装置S/Nが得られ、大容量で
高信頼性の磁気ディスク装置を提供することができる。
また、最尤復号法による信号処理回路を組み合わせると
さらに記録密度を向上でき、例えば、トラック密度10
kTPI以上、線記録密度200kFCI以上、1平方
インチ当たり2Gビット以上の記録密度で記録・再生す
る場合にも十分なS/Nが得られる。さらに浮上量を
0.001μm〜0.01μm未満とすると、例えば、
トラック密度13kTPI以上、線記録密度250kF
CI以上、1平方インチ当たり3Gビット以上の記録密
度で記録・再生する場合にも十分なS/Nが得られる。
The flying height of the magnetic head is set at 0.01.
When flying at a low height of not less than μm and less than 0.05 μm, the output is improved and a high device S / N is obtained, and a large capacity and highly reliable magnetic disk device can be provided.
Further, by combining a signal processing circuit based on the maximum likelihood decoding method, the recording density can be further improved.
A sufficient S / N can be obtained even when recording / reproducing at a recording density of at least kTPI, a linear recording density of 200 kFCI or more, and 2 Gbits per square inch or more. Further, when the flying height is less than 0.001 μm to less than 0.01 μm, for example,
Track density 13kTPI or more, linear recording density 250kF
A sufficient S / N can be obtained even when recording / reproducing at a recording density of CI or more and 3 Gbits / square inch or more.

【0058】さらに磁気ヘッドの再生部を、互いの磁化
方向が外部磁界によって相対的に変化することによって
大きな抵抗変化を生じる複数の導電性磁性層と、その導
電性磁性層の間に配置された導電性非磁性層からなるG
MRヘッド、あるいはスピン・バルブ効果を利用したG
MRヘッドとすることにより、信号強度をさらに高める
ことができ、1平方インチ当たり10Gビット以上、3
50kFCI以上の線記録密度を持った信頼性の高い磁
気記録装置の実現が可能となる。
Further, the reproducing portion of the magnetic head is disposed between a plurality of conductive magnetic layers which generate a large resistance change due to a relative change in their magnetization directions due to an external magnetic field, and the conductive magnetic layers. G consisting of a conductive non-magnetic layer
MR head or G using spin valve effect
By using the MR head, the signal strength can be further increased, and 10 Gbits or more per square inch
A highly reliable magnetic recording device having a linear recording density of 50 kFCI or more can be realized.

【0059】[0059]

【実施例】以下に本発明を実施例を用いて説明するが、
その要旨の範囲を越えない限り本発明は実施例に限定さ
れるものではない。 実施例1(磁区境界部の少なくとも一部が半径方向に段
差状に変位する例) 本発明の一実施例を図1、図2を用いて説明する。図2
(a)は磁気ディスク表面の一部を模式的に示した図で
ある。サーボパターンである半径方向磁化領域がほぼ等
角度間隔で形成され、そのあいだに周方向磁化を持つ情
報磁化パターンが形成されている。個々のサーボパター
ンは例えば、放射状または図示したように湾曲した放射
状に形成される。そして、このようなサーボパターンが
例えば1周に数十〜数百個程度設けられる。図2(b)
はそのサーボパターン領域の一部を拡大した図である。
磁気ディスクには、強い外部磁界により一旦、回転中心
方向に向かって一様に磁化され()、次いで、形成す
べきパターンに応じてレーザー光を照射し局所的に加熱
しつつ逆向きに弱い外部磁界をかけることにより、パタ
ーン部が外周方向に磁化され、サーボパターンが記録さ
れる()。このように形成された磁気ディスク表面の
サーボパターン領域を拡大し、パターン部を摸式的に示
したのが図1である。図中、N及びSは磁区境界部で湧
き出している垂直磁化を模式的に示したものであって、
Nでは上向きの磁化が、Sでは下向きの磁化が検出され
る。図の左右は情報の記録方向(トラックが延在する方
向、ディスクの周方向)であって、図の上下がそれに対
する直交方向(ディスクの半径方向)である。図の下側
が半径内周方向、上側が半径外周方向である。媒体の回
転中心は図の下方にあり、媒体は同図左方に向かって移
動し、図示しない磁気ヘッドにより左より右に向かって
情報が読みとられる。読取りにはMRヘッドが用いら
れ、高周波数の磁界変化も高い感度で検出される。
EXAMPLES The present invention will be described below with reference to examples.
The present invention is not limited to the embodiments unless it exceeds the scope of the gist. Example 1 (Example in which at least a part of a magnetic domain boundary portion is displaced radially in steps) An example of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG.
(A) is a diagram schematically showing a part of the surface of a magnetic disk. Radial magnetized regions, which are servo patterns, are formed at substantially equal angular intervals, and an information magnetized pattern having circumferential magnetization is formed between them. The individual servo patterns are formed, for example, radially or radially as shown. Then, for example, several tens to several hundreds of such servo patterns are provided in one round. FIG. 2 (b)
FIG. 4 is an enlarged view of a part of the servo pattern area.
The magnetic disk is once uniformly magnetized toward the center of rotation by a strong external magnetic field (), and then irradiated with a laser beam in accordance with the pattern to be formed and locally heated while being locally heated. By applying a magnetic field, the pattern portion is magnetized in the outer peripheral direction, and a servo pattern is recorded (). FIG. 1 schematically shows the servo pattern area on the surface of the magnetic disk formed in this way and schematically shows the pattern portion. In the figure, N and S schematically show the perpendicular magnetization flowing at the magnetic domain boundary,
In N, upward magnetization is detected, and in S, downward magnetization is detected. The left and right sides of the figure are information recording directions (the direction in which tracks extend, the circumferential direction of the disk), and the upper and lower sides of the figure are orthogonal directions (radial directions of the disk). The lower side of the figure is the radial inner circumferential direction, and the upper side is the radial outer circumferential direction. The rotation center of the medium is below the figure, the medium moves leftward in the figure, and information is read from the left to the right by a magnetic head (not shown). An MR head is used for reading, and a high-frequency magnetic field change is detected with high sensitivity.

【0060】図1では中央部分に、半径方向磁化領域
(直交磁化部)内の磁区境界部が半径方向に段差状に変
位する部分を有する。これはレーザー光の照射領域を半
径方向に振ることによっても形成できるが、このような
形状の透過部を有するマスクを通してレーザー光を照射
することにより形成できる。後者は短時間かつ簡便にパ
ターンを形成できる点で好ましい。直交磁化部の磁区境
界部には、内外周から磁化が集中する部分でN極が、内
外周に向かって磁化が拡散する部分でS極が現れる。記
録方向に延びる帯状の磁化パターンの内周側と外周側に
は常に一対の磁区境界部が形成され、両者から現れる磁
界の方向は逆向きとなる。即ち、一つのパターンを書く
ことでNとSの二つの位置情報信号を得ることができ
る。このような信号を、損失なく効率的に検出するため
には、検出ヘッドの半径方向の幅は磁化単位パターン
(単位パターン)の平均値の幅以下であるのが好まし
い。ここで磁化単位パターンとは、サーボパターンを形
成する磁区の一つ一つを言う。図1で言えば、検出ヘッ
ドの半径方向の幅は、外周方向磁区又は内周方向磁区の
半径方向の幅以下であるのが好ましい。
In FIG. 1, the central portion has a portion in which the magnetic domain boundary portion in the radial magnetization region (orthogonal magnetization portion) is displaced in a step shape in the radial direction. This can be formed by shaking the irradiation area of the laser light in the radial direction, but can also be formed by irradiating the laser light through a mask having a transmission portion having such a shape. The latter is preferable since a pattern can be formed easily in a short time. At the magnetic domain boundary of the orthogonal magnetization portion, an N pole appears at a portion where the magnetization is concentrated from the inner and outer circumferences, and an S pole appears at a portion where the magnetization is diffused toward the inner and outer circumferences. A pair of magnetic domain boundaries is always formed on the inner peripheral side and the outer peripheral side of the belt-shaped magnetization pattern extending in the recording direction, and the directions of the magnetic fields generated from both are opposite. That is, two position information signals of N and S can be obtained by writing one pattern. In order to detect such a signal efficiently without loss, it is preferable that the width in the radial direction of the detection head is equal to or smaller than the width of the average value of the magnetization unit pattern (unit pattern). Here, the magnetization unit pattern refers to each magnetic domain forming a servo pattern. In FIG. 1, the radial width of the detection head is preferably equal to or less than the radial width of the outer circumferential magnetic domain or the inner circumferential magnetic domain.

【0061】低いノイズと高い信号レベルを得るために
は、サーボパターンの内周方向磁区と外周方向磁区がい
ずれも飽和状態まで磁化されていることが好ましい。磁
気ヘッドを用いて書込まれた従来のサーボパターンで
は、ヘッド端部で書き込み能力が低下し、無着磁部分が
形成されるのに対し、本発明のディスクにおいては、全
ての部分で磁気的に飽和しており、無着磁部によるノイ
ズ発生が防止される。
In order to obtain low noise and a high signal level, it is preferable that both the inner magnetic domain and the outer magnetic domain of the servo pattern are magnetized to a saturation state. In a conventional servo pattern written using a magnetic head, the write performance is reduced at the end of the head, and a non-magnetized portion is formed. On the other hand, in the disk of the present invention, magnetic portions are formed in all portions. And the occurrence of noise due to the non-magnetized portion is prevented.

【0062】ここで、図1のサーボ用の単位パターン
は、それぞれ、単位パターンの半径方向の繰り返し周期
の1/4(単位パターン幅の1/2)だけずれた二つの
段差部からなり、また、パターン幅と同一の間隔で半径
方向に多数繰り返し配置されている。すなわち、図1に
おいて単位パターンの半径方向の繰り返し周期は、単位
パターンの2倍である。この種の単位パターンは、通
常、情報記録トラックのトラックピッチの2倍から4倍
の周期で配置される。例えば、図1のI及びIIIに記
録トラックがあるとき、単位パターンは、記録トラック
のトラックピッチの2倍の周期で配置されている。図1
のII及びIVに記録トラックがあるときも、単位パタ
ーンは、記録トラックのトラックピッチの2倍の周期で
配置されている。一方、図1のI、II、III、IV
全てが記録トラックであるとき、単位パターンは、記録
トラックのトラックピッチの4倍の周期で配置されてい
るのである。
Here, the unit pattern for servo shown in FIG. 1 is composed of two step portions which are shifted from each other by 1 / of the repetition period in the radial direction of the unit pattern (1 / of the unit pattern width). Are arranged repeatedly in the radial direction at the same interval as the pattern width. That is, the repetition period of the unit pattern in the radial direction in FIG. 1 is twice as long as the unit pattern. This type of unit pattern is usually arranged at a period of 2 to 4 times the track pitch of the information recording track. For example, when there are recording tracks in I and III in FIG. 1, the unit patterns are arranged at a period twice as long as the track pitch of the recording tracks. FIG.
Also, when there are recording tracks in II and IV, the unit patterns are arranged with a period twice as long as the track pitch of the recording tracks. On the other hand, I, II, III, IV of FIG.
When all are recording tracks, the unit patterns are arranged at a period four times the track pitch of the recording tracks.

【0063】トラックピッチの2倍周期で単位パターン
を設ける場合、段差部の一方のみが位置制御に用いられ
る。例えば、図の左側の段差部を用いると、情報記録ト
ラックは単位パターン中心線I、および単位パターン間
の中心線と中心線が一致する位置IIIに設けられる。
磁気ヘッドが情報トラックI又はIIIの中心に位置す
る場合には、単位パターンの側部に発生するN極とS極
の発生する磁界が釣り合い、ヘッドには出力を生じな
い。磁気ヘッドがいずれかの半径方向に変移すると、そ
の大きさに応じて一方の磁極の作用が大きくなり、ヘッ
ドは単位パターンに対応した出力を生じる。
When a unit pattern is provided with a period twice as long as the track pitch, only one of the steps is used for position control. For example, when the step portion on the left side of the drawing is used, the information recording track is provided at the center line I of the unit pattern and at the position III where the center line coincides with the center line between the unit patterns.
When the magnetic head is located at the center of the information track I or III, the magnetic field generated by the N pole and the S pole generated on the side of the unit pattern is balanced, and no output is generated in the head. When the magnetic head moves in any radial direction, the action of one of the magnetic poles increases according to the size, and the head produces an output corresponding to the unit pattern.

【0064】いずれの方向に変移した時にいずれの極に
対応する出力が発生するかは、情報トラックの中心線が
単位パターンの中心に一致するか、単位パターン間の中
心線に一致するかで決まる。どちらかを検出するために
は、図の右側の段差部の極性を検出することによって判
断することができる。単位パターンをトラックピッチの
4倍周期で配置する場合は、左右双方の段差を制御に用
い、制御に用いない側の段差を符合の検出に用いれば良
い。
In which direction the output corresponding to which pole is generated when shifting is determined by whether the center line of the information track matches the center of the unit pattern or the center line between the unit patterns. . Either of them can be detected by detecting the polarity of the step on the right side of the drawing. When the unit patterns are arranged at a cycle four times the track pitch, both the left and right steps may be used for control, and the steps not used for control may be used for code detection.

【0065】サーボパターンはデータ領域内に一定の等
角度間隔で設けられ、かつ、サーボパターン内ではヘッ
ドの移動する半径位置範囲にわたってこの単位パターン
が繰り返し記録される。また、単位パターンから発生す
る磁界は、直交磁化部の磁区境界部近傍の狭い範囲幅に
限定されるが、この幅は単位パターンの繰り返し周期よ
りも小さい。従って単位パターンには、該境界部を半径
位置を異ならせて複数設けるのが望ましく、隣接するト
ラックの位置決めには同じパターンの異なる部分が発生
する磁界を利用することが好ましい。図1においては、
1つの単位パターン内に、N、N、S、Sの4つの境界
部が形成されている。
Servo patterns are provided at regular equal angular intervals in the data area, and in the servo pattern, this unit pattern is repeatedly recorded over a radial position range in which the head moves. Further, the magnetic field generated from the unit pattern is limited to a narrow range width near the magnetic domain boundary of the orthogonal magnetization portion, and this width is smaller than the repetition period of the unit pattern. Therefore, it is desirable to provide a plurality of the boundary portions in the unit pattern at different radial positions, and it is preferable to use a magnetic field generated by different portions of the same pattern for positioning adjacent tracks. In FIG.
Four boundary portions of N, N, S, and S are formed in one unit pattern.

【0066】直交磁化部の境界部の半径位置の変化は、
段差状に設けることでもっとも単純な制御が可能とな
る。段差を直角とするのが、記録スペースのロスを生じ
ることなく位置偏差と信号出力の関係が線形であり、制
御ゲインを上げやすく好ましいが、レーザー光のなまり
や、マスクのパターン誤差などにより厳密に直角とする
のは難しい。実際には図1のごとく斜めの段差であった
り、曲線的な段差であったりする場合が多い。段差状変
位の幅は、単位パターンの半径方向の繰り返し周期の1
/8〜3/8の範囲内であるのが好ましい。これによ
り、一つの単位パターンから位相の異なる信号を得るこ
とができる。段差状変位の幅が単位パターンの半径方向
の繰り返し周期の1/2である場合、全く逆の位相にな
るだけなので位相の異なる情報が得られない。段差状変
位の幅があまり小さすぎると、位相の違いも小さいた
め、分解能の高い信号が得られにくい。逆にあまり大き
すぎると、そのような急な変位の磁化パターンを形成す
るのが困難になる。より好ましくは、段差状変位の幅は
単位パターンの半径方向の繰り返し周期の1/6、1/
4、1/3のいずれかである。図1は1/4の場合の例
であるが、このとき、いわゆる2相のトラッキング信号
が得られ、1つの単位パターン繰り返し周期中に最大で
4本の記録トラックを設けることができる。一方、1/
6、1/3の場合には、いわゆる3相のトラッキング信
号が得られ、1つの単位パターン繰り返し周期中に最大
で6本の記録トラックを設けることができる。以上のよ
うな磁気ディスクを、MRヘッドを組み込み、所定のト
ラッキング用回路を備えた磁気ディスク装置に組み入れ
ることで、本発明に係る磁気ディスク装置とすることが
できる。
The change in the radial position at the boundary of the orthogonal magnetization portion is as follows.
The simplest control becomes possible by providing in a step shape. It is preferable to set the step at a right angle because the relationship between the position deviation and the signal output is linear without causing a loss of recording space, and the control gain can be easily increased. However, it is strictly required due to the rounding of the laser beam and the pattern error of the mask. It is difficult to make a right angle. Actually, there are many cases where the steps are diagonal steps or curved steps as shown in FIG. The width of the step-like displacement is one of the repetition periods in the radial direction of the unit pattern.
It is preferably in the range of / 8 to 3/8. Thereby, signals having different phases can be obtained from one unit pattern. When the width of the step-like displacement is の of the repetition period of the unit pattern in the radial direction, the phase is completely opposite, and information having a different phase cannot be obtained. If the width of the step-like displacement is too small, the phase difference is small, and it is difficult to obtain a signal with high resolution. On the other hand, if it is too large, it becomes difficult to form such a sudden displacement magnetization pattern. More preferably, the width of the step-like displacement is 1/6, 1/1 of the repetition period of the unit pattern in the radial direction.
4 or 1/3. FIG. 1 shows an example of the case of 1/4. At this time, a so-called two-phase tracking signal is obtained, and up to four recording tracks can be provided in one unit pattern repetition period. On the other hand, 1 /
In the case of 6, 1/3, a so-called three-phase tracking signal is obtained, and up to six recording tracks can be provided in one unit pattern repetition period. The magnetic disk device according to the present invention can be obtained by incorporating the above magnetic disk into a magnetic disk device having a predetermined tracking circuit by incorporating an MR head.

【0067】実施例2(磁区境界部が半径に対して略三
角波状に変位する部分を有する例) 本発明の他の実施例を図3を用いて説明する。図3
(a)は磁気ディスク表面のサーボパターン領域を拡大
した図であって、パターン部を摸式的に示したものであ
る。図中、N及びSは磁区境界部で湧き出している垂直
磁化を模式的に示したものであって、Nでは上向きの磁
化が、Sでは下向きの磁化が検出される。図の左右は情
報の記録方向(トラックが延在する方向、ディスクの周
方向)であって、図の上下がそれに対する直交方向(デ
ィスクの半径方向)である。図の下側が半径内周方向、
上側が半径外周方向である。媒体の回転中心は図の下方
にあり、媒体は同図左方に向かって移動し、図示しない
磁気ヘッドにより左より右に向かって情報が読みとられ
る。読取りにはMRヘッドが用いられ、高周波数の磁界
変化も高い感度で検出される。
Embodiment 2 (an example in which a magnetic domain boundary portion has a portion displaced in a substantially triangular wave shape with respect to the radius) Another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG.
(A) is an enlarged view of a servo pattern area on the surface of a magnetic disk, schematically showing a pattern portion. In the figure, N and S schematically show the perpendicular magnetization that has flowed out at the boundary of the magnetic domain. In N, an upward magnetization is detected, and in S, a downward magnetization is detected. The left and right sides of the figure are information recording directions (the direction in which tracks extend, the circumferential direction of the disk), and the upper and lower sides of the figure are orthogonal directions (radial directions of the disk). The lower side of the figure is the radius inner circumference direction,
The upper side is the radial outer peripheral direction. The rotation center of the medium is below the figure, the medium moves leftward in the figure, and information is read from the left to the right by a magnetic head (not shown). An MR head is used for reading, and a high-frequency magnetic field change is detected with high sensitivity.

【0068】媒体は、強い外部磁界により一旦、回転中
心方向に向かって一様に磁化され、次いで、形成すべき
パターンに応じてレーザー光を照射し局所的に加熱しつ
つ逆向きに弱い外部磁界をかけることにより、パターン
部が外周方向に磁化される。図3(a)に示すような直
交磁化部は、半径位置変化に応じて太さが変わるような
形状の透過部を有するマスクを通してレーザー光を照射
することにより形成できる。
The medium is once magnetized uniformly in the direction of the center of rotation by a strong external magnetic field. Then, the medium is irradiated with a laser beam in accordance with the pattern to be formed and locally heated while being locally heated. , The pattern portion is magnetized in the outer peripheral direction. The orthogonal magnetization part as shown in FIG. 3A can be formed by irradiating a laser beam through a mask having a transmission part whose shape changes in accordance with a change in the radial position.

【0069】図3を横切る太線は、ヘッドによる読取り
例を示したもので、S極部分では負のパルスを、N極部
分では正のパルスを出力する(図3(b)参照)。本サ
ーボパターンは、直交磁化部の境界部の半径位置を直線
状に変化させた単位パターンを用いるものであり、位相
差を検出するものである。すなわち、記録トラックに対
して直交磁化部の磁区境界部が斜めに直線的に形成され
る。
A thick line crossing FIG. 3 shows an example of reading by the head. A negative pulse is output in the S pole portion and a positive pulse is output in the N pole portion (see FIG. 3B). This servo pattern uses a unit pattern in which the radial position of the boundary between the orthogonal magnetization portions is changed linearly, and detects a phase difference. That is, the magnetic domain boundary portion of the orthogonal magnetization portion is formed obliquely and linearly with respect to the recording track.

【0070】このサーボパターンは、ヘッドの半径位置
の変移にともない、出力パルスのタイミングが直線状に
変化するという特徴がある。例えば、図3(a)のヘッ
ド軌跡のごとくヘッドを動かすと(b)のような4つの
パルスが得られる。ヘッド軌跡が半径内周側にずれる
と、1番目と2番目のパルスの間隔Xは狭くなり、ヘッ
ド軌跡が半径外周側にずれると、1番目と2番目のパル
スの間隔Xは広くなる。両パルスの時間差を計測するこ
とにより半径位置を求めることができる。
This servo pattern is characterized in that the output pulse timing changes linearly as the radial position of the head changes. For example, when the head is moved along the head locus of FIG. 3A, four pulses as shown in FIG. 3B are obtained. When the head trajectory shifts toward the inner radius, the interval X between the first and second pulses becomes narrower, and when the head trajectory shifts toward the outer radius, the interval X between the first and second pulses increases. The radial position can be determined by measuring the time difference between the two pulses.

【0071】また、パルスの極性により、いずれの傾斜
部分にヘッドが位置しているかを知ることができる。タ
イミングを測定するためには二つのパルスの時間差を測
れば良い。このためには、図3のごとく、磁区境界部が
半径に対して略三角波状に変位する部分を有するのが好
ましい。ここでは、1本の記録トラック上に、外周にい
くほど特定周方向に直線上に変位する磁化境界部と、外
周にいくほど逆の周方向に直線上に変位する磁化境界部
とを一対で有するようにする(例えば、パターンA又は
パターンBのいずれか)。これにより、ヘッドの半径位
置の変動によるパルスタイミングの変動が逆方向となる
二つのパルスを得ることができ、双方のパルスの時間差
を計測することにより半径位置を求めることができる。
なお、図3においては、磁区境界部の変位の頂点部分は
丸みを持たせてあり、ヘッド位置が半径方向にずれても
3番目と4番目のパルスの間隔はほどんと変わらないた
め、上記計測には用いない。これは以下の理由による。
Further, it is possible to know on which inclined portion the head is located by the polarity of the pulse. To measure the timing, the time difference between the two pulses may be measured. For this purpose, as shown in FIG. 3, it is preferable that the magnetic domain boundary has a portion that is displaced in a substantially triangular wave shape with respect to the radius. Here, on one recording track, a pair of a magnetized boundary portion that is displaced linearly in a specific circumferential direction toward the outer periphery and a magnetized boundary portion that is displaced linearly in the opposite circumferential direction toward the outer periphery is paired. (For example, either pattern A or pattern B). As a result, it is possible to obtain two pulses in which the variation of the pulse timing due to the variation of the radial position of the head is in the opposite direction, and the radial position can be obtained by measuring the time difference between both pulses.
In FIG. 3, the top of the displacement of the magnetic domain boundary is rounded, and even if the head position is shifted in the radial direction, the interval between the third and fourth pulses does not change much. Not used for measurement. This is for the following reason.

【0072】まず、境界部の変位の頂点部分は曲率が無
限大であり、転写などで精度良くこれを書き込むことが
難しい。磁気転写法や光学的転写法では一般に、マスタ
ーからの転写に際してぼやけが生じ、微細なパターンを
転写しにくい。また、仮に書き込めても、この部分で磁
界の乱れが生じ、計測精度を悪化させてしまう。これを
避けるためには、頂点部分に丸みを持たせた、略三角波
状のパターンを用いることが好ましい。そして、丸みの
部分は計測に用いず、これを横切る半径位置において
は、他のパターン端部分を用いて計測を行なう。
First, the vertex portion of the displacement at the boundary portion has an infinite curvature, and it is difficult to accurately write this at the time of transfer or the like. In the magnetic transfer method and the optical transfer method, blurring generally occurs during transfer from a master, and it is difficult to transfer a fine pattern. Even if the data can be written, the magnetic field is disturbed in this portion, and the measurement accuracy is deteriorated. In order to avoid this, it is preferable to use a substantially triangular wave-like pattern having a rounded apex. The rounded portion is not used for measurement, and at a radial position crossing the rounded portion, the measurement is performed using another pattern end portion.

【0073】すなわち、図3に示す例では、サーボパタ
ーンとしてA、B二つのパターンを傾斜部を半径方向に
ずらして設け、ヘッドが一方のパターンの曲線部を通過
する際は、他方の傾斜部の中心部を同時に通過するよう
に構成している。双方のパターンから、それぞれパルス
間隔が計測されるが、この間隔が所定の範囲にある方の
計測値を採用し、極端に長い間隔と短い間隔を示す計測
値は使用しない。以上のような磁気ディスクを、MRヘ
ッドを組み込み、所定のトラッキング用回路を備えた磁
気ディスク装置に組み入れることで、本発明に係る磁気
ディスク装置とすることができる。
That is, in the example shown in FIG. 3, two patterns A and B are provided as servo patterns with inclined portions shifted in the radial direction, and when the head passes through the curved portion of one pattern, the other inclined portion is provided. Are configured to simultaneously pass through the center portion. The pulse interval is measured from each of the two patterns, but the measured value in which the interval is within a predetermined range is adopted, and the measured values indicating extremely long and short intervals are not used. The magnetic disk device according to the present invention can be obtained by incorporating the above magnetic disk into a magnetic disk device having a predetermined tracking circuit by incorporating an MR head.

【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
形成の容易な粗い磁化パターンを形成することで、高密
度な磁気ディスク装置のヘッド位置決めサーボを精度良
くかつ簡便に行なうことができ、ひいては、高密度記録
が可能な磁気ディスク及び磁気ディスク装置を安価かつ
短時間で提供することができる。
As described above, according to the present invention,
By forming a coarse magnetization pattern that is easy to form, the head positioning servo of a high-density magnetic disk device can be performed accurately and easily, and as a result, a magnetic disk and a magnetic disk device capable of high-density recording are inexpensive. And it can be provided in a short time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例の半径方向磁化領域の磁化パ
ターンの説明図。
FIG. 1 is an explanatory diagram of a magnetization pattern of a radial magnetization region according to one embodiment of the present invention.

【図2】実施例1の磁化パターンの説明図。FIG. 2 is an explanatory diagram of a magnetization pattern according to the first embodiment.

【図3】本発明の他の実施例の半径方向磁化領域の磁化
パターンの説明図。
FIG. 3 is an explanatory diagram of a magnetization pattern of a radial magnetization region according to another embodiment of the present invention.

【図4】本発明の直交磁化部の磁化検出の説明図。FIG. 4 is an explanatory diagram of magnetization detection of the orthogonal magnetization unit according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 サーボパターン(半径方向磁化領域) 2 周方向磁化領域 1 Servo pattern (radial magnetization area) 2 Circumferential magnetization area

Claims (14)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板上に少なくとも一層の磁性層を設け
てなる磁気ディスクであって、 該磁性層には、磁化方向が半径方向かつ内周方向である
磁区と磁化方向が半径方向かつ外周方向である磁区から
なる半径方向磁化領域が、ほぼ等角度間隔に複数設けら
れてなることを特徴とする磁気ディスク。
1. A magnetic disk comprising at least one magnetic layer provided on a substrate, comprising: a magnetic domain having a magnetization direction of a radial direction and an inner circumferential direction; and a magnetic domain having a magnetization direction of a radial direction and an outer circumferential direction. A plurality of radially magnetized regions comprising magnetic domains are provided at substantially equal angular intervals.
【請求項2】 互いに隣接する該半径方向磁化領域の間
に、磁化方向が周方向である周方向磁化領域が設けられ
てなる、請求項1に記載の磁気ディスク。
2. The magnetic disk according to claim 1, wherein a circumferential magnetization region whose magnetization direction is a circumferential direction is provided between the adjacent radial magnetization regions.
【請求項3】 該半径方向磁化領域が、記録再生用磁気
ヘッドの位置制御を行うためのサーボパターン又はサー
ボパターン記録用の基準パターンである請求項1又は2
に記載の磁気ディスク。
3. A servo pattern for controlling the position of a recording / reproducing magnetic head or a reference pattern for recording a servo pattern, wherein the radial magnetization region is a reference pattern for recording a servo pattern.
A magnetic disk according to claim 1.
【請求項4】 該半径方向磁化領域が、内周方向磁区と
外周方向磁区の磁区境界部が半径方向に変位する部分を
有する、請求項3に記載の磁気ディスク。
4. The magnetic disk according to claim 3, wherein the radial magnetization region has a portion in which a magnetic domain boundary between an inner circumferential magnetic domain and an outer circumferential magnetic domain is displaced in a radial direction.
【請求項5】 該磁区境界部の少なくとも一部が、半径
方向に段差状に変位する、請求項4に記載の磁気ディス
ク。
5. The magnetic disk according to claim 4, wherein at least a part of the magnetic domain boundary portion is displaced radially in steps.
【請求項6】 該段差状の変位の幅が、単位パターンの
半径方向の繰り返し周期の1/8〜3/8の範囲内であ
る、請求項5に記載の磁気ディスク。
6. The magnetic disk according to claim 5, wherein the width of the step-like displacement is within a range of 1 / to / of a radial repetition period of the unit pattern.
【請求項7】 該段差状の変位の幅が、単位パターンの
半径方向の繰り返し周期の1/6、1/4、1/3のい
ずれかである、請求項6に記載の磁気ディスク。
7. The magnetic disk according to claim 6, wherein the width of the step-like displacement is any one of 1/6, 1/4, and 1/3 of the radial repetition period of the unit pattern.
【請求項8】 該磁区境界部が、半径に対して略三角波
状に変位する部分を有する、請求項4に記載の磁気ディ
スク。
8. The magnetic disk according to claim 4, wherein the magnetic domain boundary portion has a portion that is displaced in a substantially triangular wave shape with respect to a radius.
【請求項9】 基板上に少なくとも一層の磁性層を設け
てなる磁気ディスクに、外部磁界を印加してマスクに設
けられたパターンを転写することにより、磁性層に、磁
化方向が半径方向である磁化パターンを設けることを特
徴とする磁化パターン形成方法。
9. A magnetic disk in which at least one magnetic layer is provided on a substrate, and a pattern provided on a mask is transferred by applying an external magnetic field, so that the magnetization direction is radial in the magnetic layer. A method for forming a magnetization pattern, comprising providing a magnetization pattern.
【請求項10】 マスクを介して該ディスクにエネルギ
ー線を照射し該磁性層を局所的に加熱する工程と、該磁
性層に外部磁界を印加する工程とを含む、請求項9に記
載の磁化パターンの形成方法。
10. The magnetization according to claim 9, comprising: irradiating the disk with energy rays through a mask to locally heat the magnetic layer; and applying an external magnetic field to the magnetic layer. The method of forming the pattern.
【請求項11】 請求項9または10に記載の方法によ
り磁化パターンが形成されてなることを特徴とする磁気
ディスク。
11. A magnetic disk having a magnetization pattern formed by the method according to claim 9. Description:
【請求項12】 磁気ディスクと、該磁気ディスクを記
録方向に駆動する駆動部と、記録部と再生部からなる磁
気ヘッドと、磁気ヘッドを磁気ディスクに対して相対移
動させる手段と、磁気ヘッドへの記録信号入力と磁気ヘ
ッドからの再生信号出力を行うための記録再生信号処理
手段を有する磁気ディスク装置であって、 磁気ディスクが請求項1乃至8、11のいずれかに記載
の磁気ディスクであり、かつ前記磁化パターンに基づい
て磁気ヘッドの半径方向位置を制御する手段を含むこと
を特徴とする磁気ディスク装置。
12. A magnetic disk, a driving unit for driving the magnetic disk in a recording direction, a magnetic head comprising a recording unit and a reproducing unit, means for moving the magnetic head relative to the magnetic disk, and 12. A magnetic disk drive having recording / reproducing signal processing means for performing recording signal input and reproducing signal output from a magnetic head, wherein the magnetic disk is the magnetic disk according to claim 1. And a means for controlling a radial position of the magnetic head based on the magnetization pattern.
【請求項13】 内周方向磁区と外周方向磁区の磁区境
界部より発生する、媒体面に垂直方向の磁束を検出し、
該磁束の極性によって磁気ヘッドの半径方向位置を制御
する手段を含む請求項12に記載の磁気ディスク装置。
13. A magnetic flux in a direction perpendicular to a medium surface, which is generated from a magnetic domain boundary between an inner circumferential magnetic domain and an outer circumferential magnetic domain,
13. The magnetic disk drive according to claim 12, further comprising means for controlling a radial position of the magnetic head according to the polarity of the magnetic flux.
【請求項14】 磁気ヘッドの半径方向の幅が磁化単位
パターンの半径方向の平均幅以下である請求項12また
は13に記載の磁気ディスク装置。
14. The magnetic disk drive according to claim 12, wherein the radial width of the magnetic head is equal to or less than the radial average width of the magnetization unit pattern.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7706094B2 (en) 2007-08-31 2010-04-27 Toshiba Storage Device Corporation Storage device and servo information writing method

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