JP2000222717A - Magnetic recording medium, method and device for manufacturing same, and magnetic recording device - Google Patents

Magnetic recording medium, method and device for manufacturing same, and magnetic recording device

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JP2000222717A
JP2000222717A JP2527999A JP2527999A JP2000222717A JP 2000222717 A JP2000222717 A JP 2000222717A JP 2527999 A JP2527999 A JP 2527999A JP 2527999 A JP2527999 A JP 2527999A JP 2000222717 A JP2000222717 A JP 2000222717A
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JP
Japan
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magnetic recording
recording medium
substrate
magnetic
manufacturing
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Application number
JP2527999A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshiyuki Ikeda
祥行 池田
Takeshi Kuriwada
健 栗和田
Yoshinori Seki
義則 関
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Mitsubishi Chemical Corp
Original Assignee
Mitsubishi Chemical Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the magnetic recording medium which has a small Hc distribution and less errors in its data recording area, its manufacturing method and device, and the magnetic recording device. SOLUTION: The magnetic recording medium and the magnetic recording device using it are characterized by that ΔHc(θ)/ΔHc(r) is <=0.5 in the recording area determined by excluding a distance which is 10% of the radius of the magnetic recording medium from the innermost peripheral and outermost peripheral parts, where ΔHc is the difference between the maximum and minimum values of the coercive force at the same radius position in the circumferential direction and ΔHc(r) is the difference between the maximum and minimum values of the coercive force at the same angle position in the radial direction. Gas is blown from a nozzle 5 to a substrate 2 held on a pedestalate 1 to form a film while the substrate 2 is rotated, thus manufacturing this magnetic recording medium.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体、そ
の製造方法、製造装置及び磁気記録装置に関し、詳しく
は良好な磁気特性及び電磁変換特性を得ることを可能に
する薄膜型の磁気記録媒体、その製造方法、製造装置及
び磁気記録装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium, a method of manufacturing the same, a manufacturing apparatus thereof, and a magnetic recording apparatus, and more particularly, to a thin film type magnetic recording medium capable of obtaining good magnetic characteristics and electromagnetic conversion characteristics. , A manufacturing method thereof, a manufacturing apparatus, and a magnetic recording apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】ディスク状の磁気記録媒体は、周知の通
り非磁性のディスク状の基板の上にCo合金等の磁性層
を形成したものであり、通常はこの磁性層の下側に非磁
性下地膜が形成され、上側に保護膜や潤滑膜などが形成
されている。
2. Description of the Related Art As is well known, a disk-shaped magnetic recording medium is formed by forming a magnetic layer such as a Co alloy on a non-magnetic disk-shaped substrate. A base film is formed, and a protective film, a lubricating film, and the like are formed on the upper side.

【0003】この磁性層を形成する場合、基板を保持部
材にて保持してスパッタ、蒸着、プラズマCVD、イオ
ンプレーティング等の薄膜形成方法によって磁性層薄膜
を成膜している。従来のこの磁性層の成膜方法にあって
は、基板はその周方向には回転はされず、同一姿勢を保
った状態にて磁性層が成膜される。
In forming this magnetic layer, the substrate is held by a holding member, and a thin magnetic layer film is formed by a thin film forming method such as sputtering, vapor deposition, plasma CVD, or ion plating. In this conventional method for forming a magnetic layer, the substrate is not rotated in the circumferential direction, and the magnetic layer is formed while maintaining the same posture.

【0004】ディスク状基板の両面に磁気記録層を形成
した両面記録タイプの磁気記録媒体の磁性層を成膜する
場合、該基板をスパッタ装置内に入れ非回転状態に保持
し、この基板の両板面に配置されたターゲットによって
スパッタすることが通常である。
When forming a magnetic layer of a double-sided recording type magnetic recording medium in which magnetic recording layers are formed on both sides of a disk-shaped substrate, the substrate is placed in a sputtering apparatus and held in a non-rotating state. Usually, sputtering is performed by a target arranged on the plate surface.

【0005】ディスク状の磁気記録媒体を有する磁気記
録装置にあっては、周知の通り磁気ヘッドを該磁気記録
媒体の半径方向を含む方向に移動させて基板上の目的と
する領域に対し情報の読み書きを行うよう構成されてい
る。
In a magnetic recording apparatus having a disk-shaped magnetic recording medium, as is well known, a magnetic head is moved in a direction including a radial direction of the magnetic recording medium to transfer information to a target area on a substrate. It is configured to read and write.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】非回転状態で磁性層等
の層を成膜して製造した従来の磁気記録媒体は、ディス
ク状磁気記録媒体の半径に対する10%の距離をそれぞ
れ最内周、最外周部分から除いた部分の記録領域におい
て、同一半径位置における円周方向の保磁力の最大、最
小値の差をΔHc(θ)、また、同一角度位置における
半径方向の保磁力の最大、最小値の差をΔHc(r)と
したときに、通常はΔHc(r)よりΔHc(θ)の方
が大きい傾向にあったが、あまり問題とされなかった。
A conventional magnetic recording medium manufactured by forming a layer such as a magnetic layer in a non-rotating state has a distance of 10% of the radius of the disk-shaped magnetic recording medium at the innermost circumference, In the recording area other than the outermost peripheral portion, the difference between the maximum and minimum values of the circumferential coercive force at the same radial position is ΔHc (θ), and the maximum and minimum of the radial coercive force at the same angular position. When the difference between the values was ΔHc (r), ΔHc (θ) generally tended to be larger than ΔHc (r), but this was not a problem.

【0007】近年の情報量の増大と装置の小型軽量化の
要求により、線記録密度及びトラック密度が高くなり、
1ビット当りの面積が小さくなってくると、今まで問題
にならなかったΔHc(θ)、ΔHc(r)の影響が無
視できなくなる。特に同心円状にデータトラックを記録
してあり、円周方向のデータが連続的に読み出されるの
で、波形等化等の信号処理の観点から見て、円周方向の
Hc特性が非常に重要となる。
[0007] With the recent increase in the amount of information and the demand for smaller and lighter devices, the linear recording density and track density have increased.
As the area per bit becomes smaller, the effects of ΔHc (θ) and ΔHc (r) which have not been a problem until now cannot be ignored. In particular, since data tracks are recorded concentrically and data in the circumferential direction are continuously read, the Hc characteristics in the circumferential direction are very important from the viewpoint of signal processing such as waveform equalization. .

【0008】本発明は、円周方向でのHc分布が小さ
い、すなわち円周方向の磁気、電気特性が安定した磁気
記録媒体と、それを安価に製造できる製造方法及び製造
装置と、この磁気記録媒体を採用した磁気記録装置を提
供することを目的とする。
The present invention relates to a magnetic recording medium having a small Hc distribution in the circumferential direction, that is, stable magnetic and electric properties in the circumferential direction, a manufacturing method and a manufacturing apparatus capable of manufacturing the same at low cost, and a magnetic recording medium. It is an object to provide a magnetic recording device using a medium.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体
は、ディスク状の基板の板面に少なくとも磁性層を有す
る薄膜を形成した磁気記録媒体において、磁気記録媒体
の半径に対する10%の距離をそれぞれ最内周及び最外
周部分から除いた部分の記録領域において、同一半径位
置における円周方向の保磁力の最大値と最小値との差を
ΔHc(θ)とし、同一角度位置における半径方向の保
磁力の最大値と最小値との差をΔHc(r)としたとき
に、ΔHc(θ)/ΔHc(r)の値が0.5以下であ
ることを特徴とする。
According to the magnetic recording medium of the present invention, in a magnetic recording medium in which a thin film having at least a magnetic layer is formed on a plate surface of a disk-shaped substrate, a distance of 10% to a radius of the magnetic recording medium is set. The difference between the maximum value and the minimum value of the coercive force in the circumferential direction at the same radial position in the recording area excluding the innermost and outermost portions is defined as ΔHc (θ). When the difference between the maximum value and the minimum value of the coercive force is ΔHc (r), the value of ΔHc (θ) / ΔHc (r) is 0.5 or less.

【0010】かかる磁気記録媒体は、円周方向でのHc
分布が小さく、円周方向の磁気、電気特性が安定してい
る。
[0010] Such a magnetic recording medium has an Hc in the circumferential direction.
The distribution is small and the magnetic and electrical properties in the circumferential direction are stable.

【0011】なお、記録領域の保磁力の最大値と最小値
の差が保磁力の平均値の20%以下であり、かつ、前記
ΔHc(θ)/ΔHc(r)の値が0.3以下である
と、エラーレートに与えるモジュレーションの影響がよ
り大きくなるサブミクロントラック幅クラスの磁気記録
媒体のエラー特性に特に効果がある。
The difference between the maximum value and the minimum value of the coercive force of the recording area is 20% or less of the average value of the coercive force, and the value of ΔHc (θ) / ΔHc (r) is 0.3 or less. Is particularly effective for the error characteristics of the magnetic recording medium of the submicron track width class in which the influence of the modulation on the error rate is greater.

【0012】この磁気記録媒体は、少なくとも1つの層
を成膜する工程において基板をその周方向に回転させる
方法及び装置によって容易に製造することができる。
This magnetic recording medium can be easily manufactured by a method and an apparatus for rotating a substrate in a circumferential direction in a step of forming at least one layer.

【0013】この成膜工程において基板を周方向に回転
させるには、基板の外周縁部を保持し、基板をその周方
向に回転可能に保持しておき、基板に回転力を与えるの
が基板両面に同時に成膜できるので好ましい。
In order to rotate the substrate in the circumferential direction in this film forming step, the outer peripheral edge of the substrate is held, the substrate is held rotatably in the circumferential direction, and a rotational force is applied to the substrate. This is preferable because films can be simultaneously formed on both surfaces.

【0014】この回転力付与手段としては、基板の板面
にガスを吹き付けるノズルや、基板に接触して回転力を
与える部材などを用いることができる。このガスとして
は、成膜装置内の雰囲気ガスや原料ガス、あるいは成膜
に障害を与えない非反応性ガスなどが好ましい。
As the rotational force applying means, a nozzle that blows a gas onto the plate surface of the substrate, a member that contacts the substrate and applies a rotational force, or the like can be used. The gas is preferably an atmosphere gas or a source gas in the film forming apparatus, or a non-reactive gas that does not impair the film formation.

【0015】基板に接触して回転を与える部材として
は、ローラや無端回転ベルト、あるいは超音波モータ等
が挙げられる。また、基板の外周縁に沿って往復動する
圧電素子やバネ等の部材を用いることもできる。基板を
保持する部材それ自体を超音波モータとしても良い。
Examples of the member that rotates by contacting the substrate include a roller, an endless rotating belt, and an ultrasonic motor. Further, a member such as a piezoelectric element or a spring that reciprocates along the outer peripheral edge of the substrate can be used. The member for holding the substrate itself may be an ultrasonic motor.

【0016】なお、基板を回転自在に保持しておき、成
膜に先立って回転力を与えて回転させ、成膜工程の間は
惰性で回転を続けさせるようにしても良い。この方法で
あれば、成膜期間中に駆動部材から異物(ゴミ等)が発
生しないという効果が奏される。
The substrate may be rotatably held, and may be rotated by applying a rotational force prior to film formation, and may be rotated by inertia during the film formation process. According to this method, there is an effect that no foreign matter (dust or the like) is generated from the driving member during the film forming period.

【0017】この基板は一定速度で回転するのが好まし
いが、経時的に回転数が変化してもよい。基板回転数を
一定とするためには、例えばディスクの記録領域と全く
関係ない部分、例えば、チャンファ部などに光沢の違う
箇所を作り、それを反射式センサーで読みとることによ
り回転数を検知し、この検知回転数が一定となるように
制御する方法等を採用することができる。
This substrate preferably rotates at a constant speed, but the number of rotations may change over time. In order to keep the substrate rotation speed constant, for example, a part with no relation to the recording area of the disk, such as a chamfer part, create a part with a different gloss, and read it with a reflective sensor to detect the rotation speed, A method of controlling the detected rotation speed to be constant or the like can be adopted.

【0018】本発明では、下地層あるいは、磁性層と下
地層との間に位置する中間層、磁性層、保護層のいずれ
か1つの層の成膜時に基板を回転させても良いが、少な
くとも磁性層の成膜時に基板を回転させるのが好まし
く、磁性層及びそれに接する層の成膜に基板を回転させ
るのがさらに好ましい。全てのスパッタ工程で基板を回
転させると、より好適な磁気記録媒体を製造できる。
In the present invention, the substrate may be rotated when forming the underlayer or any one of the intermediate layer, the magnetic layer, and the protective layer located between the magnetic layer and the underlayer. Preferably, the substrate is rotated during the formation of the magnetic layer, and more preferably, the substrate is rotated during the formation of the magnetic layer and the layer in contact therewith. By rotating the substrate in all the sputtering steps, a more suitable magnetic recording medium can be manufactured.

【0019】本発明の磁気記録装置は、上記本発明の磁
気記録媒体と、この磁気記録媒体を回転させる駆動手段
と、磁気ヘッドと、この磁気ヘッドを移動させる手段と
を有するものである。この移動手段は、磁気ヘッドを磁
気記録媒体の半径方向を含む方向に移動させて情報の読
み取りあるいは読み書きを行う。
A magnetic recording apparatus according to the present invention includes the magnetic recording medium according to the present invention, driving means for rotating the magnetic recording medium, a magnetic head, and means for moving the magnetic head. The moving means reads or reads / writes information by moving the magnetic head in a direction including the radial direction of the magnetic recording medium.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】本発明の磁気記録媒体の非磁性基
板としては、Alを主成分とした例えばAl−Mg合金
等のAl合金基板のほか、通常のソーダガラス、ソーダ
ライムガラス、アルミノシリケート系ガラス、硼珪酸ガ
ラス、結晶化ガラス等のガラス類、シリコン、チタン等
の金属、合金、セラミックス、各種樹脂からなる基板な
ど、非磁性基板であれば任意のものを用いることができ
る。中でもAl合金基板や結晶化ガラス等のガラス基板
を用いることが好ましい。この基板は中央に孔があいた
リング形状のものである。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS As a non-magnetic substrate of the magnetic recording medium of the present invention, in addition to an Al alloy substrate containing Al as a main component, such as an Al-Mg alloy, ordinary soda glass, soda lime glass, aluminosilicate Any non-magnetic substrate can be used as long as it is a non-magnetic substrate, such as a glass, a glass such as a borosilicate glass and a crystallized glass, a metal such as silicon and titanium, an alloy, a ceramic, and a substrate made of various resins. Among them, it is preferable to use an Al alloy substrate or a glass substrate such as crystallized glass. This substrate has a ring shape with a hole in the center.

【0021】磁気ディスクの製造工程においては、まず
基板の洗浄・乾燥が行われるのが通常であり、本発明に
おいても各層の密着性を確保する見地からもその形成前
に洗浄、乾燥を行うことが望ましい。
In the manufacturing process of a magnetic disk, it is usual to wash and dry the substrate first, and in the present invention, from the viewpoint of ensuring the adhesion of each layer, it is necessary to wash and dry the substrate before its formation. Is desirable.

【0022】本発明の磁気記録媒体の製造に際しては、
非磁性基板表面にNiP等の非磁性金属被覆層を形成す
ることが好ましい。
In manufacturing the magnetic recording medium of the present invention,
It is preferable to form a nonmagnetic metal coating layer such as NiP on the surface of the nonmagnetic substrate.

【0023】非磁性金属被覆層を形成する手法として
は、無電解めっき法、スパッタリング法、真空蒸着法、
CVD法など薄膜形成に用いられる方法を利用すること
ができる。導電性の材料からなる基板の場合であれば電
解めっきを使用することが可能である。非磁性金属被覆
層の膜厚は50nm以上あればよい。ただし、磁気ディ
スク媒体の生産性などを考慮すると50nm以上20,
000nm以下であることが好ましい。さらに好ましく
は100nm以上15,000nm以下である。
Techniques for forming the nonmagnetic metal coating layer include electroless plating, sputtering, vacuum deposition, and the like.
A method used for forming a thin film such as a CVD method can be used. In the case of a substrate made of a conductive material, it is possible to use electrolytic plating. The thickness of the nonmagnetic metal coating layer may be 50 nm or more. However, considering the productivity of the magnetic disk medium, etc.
It is preferably not more than 000 nm. More preferably, it is 100 nm or more and 15,000 nm or less.

【0024】基板表面、又は非磁性金属被覆層が形成さ
れた基板表面にテキスチャリング例えば同心状テキスチ
ャリングを施しても良い。同心状テキスチャリングと
は、例えば遊離砥粒とテキスチャーテープを使用した機
械式テキスチャリングやレーザー光線などを利用したテ
キスチャリング加工、又はこれらを併用して円周方向に
研磨することにより、基板円周方向に微小溝を多数形成
することを指称する。
The surface of the substrate or the surface of the substrate on which the nonmagnetic metal coating layer is formed may be subjected to texturing, for example, concentric texturing. Concentric texturing is, for example, mechanical texturing using loose abrasive grains and texture tape, texturing using laser light, or the like, or by polishing them together in the circumferential direction, in the circumferential direction of the substrate. To form a large number of microgrooves.

【0025】機械的テキスチャリングを施すための遊離
砥粒の種類としてはダイアモンド砥粒、中でも表面がグ
ラファイト化処理されているものが好ましい。機械的テ
キスチャリングに用いられる砥粒としては他にアルミナ
砥粒が広く用いられているが、特にテキスチャリング溝
に沿って磁化容易軸を配向させるという観点から考える
とダイアモンド砥粒が極めて良い性能を発揮する。この
原因については現在のところ明確にはなっていないが、
極めて再現性の良い結果が得られている。
As the type of free abrasive grains for mechanical texturing, diamond abrasive grains, particularly those whose surfaces have been subjected to a graphitization treatment, are preferred. Alumina abrasive grains are widely used as abrasive grains used in mechanical texturing, but diamond abrasive grains have extremely good performance, especially from the viewpoint of orienting the axis of easy magnetization along the texturing grooves. Demonstrate. The cause is not clear at this time,
Extremely reproducible results have been obtained.

【0026】基板の表面は、表面粗さ(Ra)がどのよ
うな値をとっても本発明の効果には基本的には影響ない
が、ヘッド浮上量ができるだけ小さいことが高密度磁気
記録の実現には有効であり、またこれら基板の特徴のひ
とつが優れた表面平滑性にあることから、基板表面のR
aは2nm以下、さらには1nm以下であることが好ま
しく、中でも0.5nm以下であることが好ましい。た
だし、このRaは、触針式表面粗さ計を用いて測定した
場合をいうものとする。このとき測定用の針の先端は半
径0.2μm程度の大きさのものが使用される。
The surface of the substrate does not basically affect the effect of the present invention no matter what value the surface roughness (Ra) takes, but the fact that the head flying height is as small as possible is necessary for realizing high density magnetic recording. Is effective, and one of the features of these substrates is excellent surface smoothness.
a is preferably 2 nm or less, more preferably 1 nm or less, and particularly preferably 0.5 nm or less. However, this Ra shall mean the case where it measures using the stylus type surface roughness meter. At this time, the tip of the needle for measurement has a radius of about 0.2 μm.

【0027】非磁性基板上又は前記Ni−P等の非磁性
被覆層上には、必要に応じてCr層、Crを主成分とす
るCr合金層、酸化クロム層、Cu層等の中間層を形成
した後、磁性層を形成する。
An intermediate layer such as a Cr layer, a Cr alloy layer containing Cr as a main component, a chromium oxide layer, or a Cu layer may be formed on the nonmagnetic substrate or the nonmagnetic coating layer such as Ni-P, if necessary. After formation, a magnetic layer is formed.

【0028】なお、この中間層としては、純Cr層の
他、磁性層との結晶マッチングなどの目的でCrにV、
Ti、Mo、Zr、Hf、Ta、W、Ge、Nb、S
i、Cu、Bなどの第二、第三元素を添加した合金層
や、酸化Cr層が好ましい。中でも純Cr層やTi、M
o、W、V、Ta、Si、Nb、Zr及びHfを有する
Cr合金層が好ましい。これら第二、第三元素の含有量
はそれぞれの元素によって最適な量が異なるが、一般に
は1原子%〜50原子%、好ましくは5原子%〜30原
子%、さらに好ましくは5原子%〜20原子%の範囲で
ある。
As the intermediate layer, in addition to the pure Cr layer, V and V are added for the purpose of crystal matching with the magnetic layer.
Ti, Mo, Zr, Hf, Ta, W, Ge, Nb, S
An alloy layer to which second and third elements such as i, Cu, and B are added, and a Cr oxide layer are preferable. Above all, pure Cr layer, Ti, M
A Cr alloy layer containing o, W, V, Ta, Si, Nb, Zr and Hf is preferable. The content of the second and third elements varies depending on the respective elements, but is generally 1 atomic% to 50 atomic%, preferably 5 atomic% to 30 atomic%, more preferably 5 atomic% to 20 atomic%. Atomic% range.

【0029】中間層の膜厚は異方性を発現させ得るに十
分なものであればよく、通常は0.1〜50nmであ
り、好ましくは0.3〜30nm、さらに好ましくは
0.5〜10nmである。Crを主成分とする金属膜の
成膜時には基板加熱を行っても行わなくてもよい。
The thickness of the intermediate layer may be any thickness sufficient to exhibit anisotropy, and is usually 0.1 to 50 nm, preferably 0.3 to 30 nm, and more preferably 0.5 to 30 nm. 10 nm. Substrate heating may or may not be performed when forming a metal film containing Cr as a main component.

【0030】磁性層としては、通常、純CoやCo−
P、Co−Ni−P、Co−Ni、Co−Sm、Co−
Cr−Ta、Co−Ni−Cr、Co−Ni−Pt、C
o−Cr−Pt、Co−Cr−Ta−Ptなどの磁性材
料として一般に用いられるCo合金磁性材料を用いるの
が好ましい。これらのCo合金に更にNi、Cr、P
t、Ta、W、Bなどの元素やSiO2等の化合物を加
えたものでも良い。Co合金磁性層の膜厚は任意である
が、通常10〜100nm、好ましくは30〜70nm
である。
The magnetic layer is usually made of pure Co or Co-
P, Co-Ni-P, Co-Ni, Co-Sm, Co-
Cr-Ta, Co-Ni-Cr, Co-Ni-Pt, C
It is preferable to use a Co alloy magnetic material generally used as a magnetic material such as o-Cr-Pt or Co-Cr-Ta-Pt. Ni, Cr, P
A material to which an element such as t, Ta, W, or B or a compound such as SiO 2 is added may be used. The thickness of the Co alloy magnetic layer is arbitrary, but is usually 10 to 100 nm, preferably 30 to 70 nm.
It is.

【0031】なお、上記の磁性層を2種以上の積層構造
としても良い。Crを主成分とする下地層と磁性層との
間に非磁性CoCr等の中間層を設けても良い。
The magnetic layer may have a laminated structure of two or more types. An intermediate layer of non-magnetic CoCr or the like may be provided between the underlayer containing Cr as a main component and the magnetic layer.

【0032】磁気記録媒体の各層を形成する成膜方法と
しては任意であるが、例えば直流(マグネトロン)スパ
ッタリング法、高周波(マグネトロン)スパッタリング
法、ECRスパッタリング法、真空蒸着法などの物理的
蒸着法が挙げられる。
The method for forming each layer of the magnetic recording medium is arbitrary, and for example, a physical vapor deposition method such as a direct current (magnetron) sputtering method, a high frequency (magnetron) sputtering method, an ECR sputtering method, and a vacuum vapor deposition method is used. No.

【0033】又、成膜時の条件としても特に制限はな
く、到達真空度、基板加熱の方式と基板温度、スパッタ
リングガス圧、バイアス電圧等は、成膜装置により適宜
決定すればよい。例えば、スパッタリング成膜では、通
常の場合、到達真空度は1×10-6Torr以下、基板
温度は室温〜400℃、スパッタリングガス圧は1×1
-3〜20×10-3Torr、バイアス電圧は一般的に
は0〜−500Vである。
The conditions for the film formation are not particularly limited, and the ultimate vacuum, the substrate heating method and the substrate temperature, the sputtering gas pressure, the bias voltage, etc. may be appropriately determined by the film forming apparatus. For example, in the case of sputtering film formation, usually, the ultimate vacuum degree is 1 × 10 −6 Torr or less, the substrate temperature is from room temperature to 400 ° C., and the sputtering gas pressure is 1 × 1.
0 −3 to 20 × 10 −3 Torr, and the bias voltage is generally 0 to −500V.

【0034】成膜に当っては、磁性層のCrの偏析を促
進するために、一般に非磁性基板を100〜350℃程
度に加熱することが好ましい。基板加熱は、下地層形成
前に行っても良く、熱吸収率が低い透明な基板を使用す
る場合には、熱吸収率を高くするため、Crを主成分と
する下地層を形成してから基板を加熱し、しかる後にC
o合金磁性層を形成しても良い。
In film formation, it is generally preferable to heat the nonmagnetic substrate to about 100 to 350 ° C. in order to promote the segregation of Cr in the magnetic layer. Substrate heating may be performed before the formation of the underlayer, and when a transparent substrate having a low heat absorption is used, an underlayer containing Cr as a main component is formed in order to increase the heat absorption. Heat the substrate and then C
An o-alloy magnetic layer may be formed.

【0035】この磁性層上には、蒸着、スパッタ、プラ
ズマCVD、イオンプレーティング、湿式法等の方法に
より保護層を形成し、次いで潤滑層を形成する。保護層
としては、C(炭素)、水素化C、窒素化C、アルモフ
ァスC、SiC、TiC等の炭素質層やSiO2、Zr2
3、Al23等の酸化物、SiN、TiNなどの窒化
物など、通常用いられる保護層材料を用いることができ
るが、C又は水素化Cが好ましい。なお、保護層が2層
以上の層から構成されていてもよい。保護層の膜厚は1
〜50nm、特に5〜30nmが好ましい。潤滑層に用
いる潤滑剤としては、フッ素系潤滑剤、炭化水素系潤滑
剤及びこれらの混合物等が挙げられ、通常1〜4nmの
厚さで潤滑層を形成する。
On this magnetic layer, a protective layer is formed by a method such as vapor deposition, sputtering, plasma CVD, ion plating, or a wet method, and then a lubricating layer is formed. Examples of the protective layer include carbonaceous layers such as C (carbon), hydrogenated C, nitrogenated C, Amorphous C, SiC, and TiC, and SiO 2 and Zr 2.
Although a commonly used protective layer material such as an oxide such as O 3 and Al 2 O 3 and a nitride such as SiN and TiN can be used, C or hydrogenated C is preferable. Note that the protective layer may be composed of two or more layers. The thickness of the protective layer is 1
-50 nm, particularly preferably 5-30 nm. Examples of the lubricant used for the lubricating layer include a fluorine-based lubricant, a hydrocarbon-based lubricant, a mixture thereof, and the like, and usually form the lubricating layer with a thickness of 1 to 4 nm.

【0036】本発明の磁気記録媒体は、上記の如く基板
上に磁性層その他の必要な各層を形成することにより製
造されるのであるが、各層をスパッタリング、真空蒸着
法、CVD法等の気相法によって形成する際には基板を
周方向に連続的に又は間欠的に回転させることによりΔ
Hc(θ)/ΔHc(r)が0.5以下のものとなる。
The magnetic recording medium of the present invention is manufactured by forming a magnetic layer and other necessary layers on a substrate as described above. Each layer is formed by a vapor phase method such as sputtering, vacuum vapor deposition, or CVD. When forming by the method, the substrate is rotated continuously or intermittently in the
Hc (θ) / ΔHc (r) is 0.5 or less.

【0037】本発明の磁気記録装置は、本発明の磁気記
録媒体と、ヘッドと、このヘッドの移動手段とを有する
ものである。
A magnetic recording apparatus according to the present invention includes the magnetic recording medium according to the present invention, a head, and means for moving the head.

【0038】この磁気記録装置としては、磁気記録媒体
を1枚或いは複数枚を串刺し状に固定するシャフトと、
該シャフトにベアリングを介して接合された磁気記録媒
体を回転させるモータと、磁気ヘッドと、該ヘッドが取
り付けられたヘッドアームと、ヘッドアームを介してヘ
ッドを磁気記録媒体上の任意の位置に移動させることの
できるアクチュエータとを有した磁気記録装置が例示さ
れる。
The magnetic recording device includes a shaft for fixing one or more magnetic recording media in a skewered manner,
A motor for rotating a magnetic recording medium joined to the shaft via a bearing, a magnetic head, a head arm to which the head is attached, and moving the head to an arbitrary position on the magnetic recording medium via the head arm An example is a magnetic recording device having an actuator that can be driven.

【0039】なお、上述の磁気ヘッドの再生部をMRヘ
ッドで構成することにより、高記録密度においても十分
な信号強度を得ることができ、1平方インチ当たり2G
ビット以上の高記録密度を持った磁気記録装置を実現す
ることができる。またこの磁気ヘッドを、浮上量が0.
01μm以上、0.05μm未満と、従来より低い高さ
で浮上させると、出力が向上して高い装置S/Nが得ら
れ、大容量で高信頼性の磁気記録装置を提供することが
できる。また、最尤復号法による信号処理回路を組み合
わせるとさらに記録密度を向上でき、例えば、トラック
密度10kTPI以上、線記録密度200kFCI以
上、1平方インチ当たり2Gビット以上の記録密度で記
録・再生する場合にも十分なS/N比が得られる。
When the reproducing section of the magnetic head is constituted by an MR head, a sufficient signal intensity can be obtained even at a high recording density, and 2 G / inch 2 can be obtained.
It is possible to realize a magnetic recording device having a high recording density of bits or more. Also, the magnetic head is used with a flying height of 0.
When flying at a height lower than the conventional height of not less than 01 μm and less than 0.05 μm, the output is improved and a high device S / N is obtained, and a large-capacity and high-reliability magnetic recording device can be provided. The recording density can be further improved by combining a signal processing circuit based on the maximum likelihood decoding method. For example, when recording / reproducing at a recording density of not less than 10 kTPI, not less than linear recording density of 200 kFCI, and not less than 2 Gbits per square inch, Also obtains a sufficient S / N ratio.

【0040】磁気ヘッドの再生部を、互いの磁化方向が
外部磁界によって相対的に変化することによって大きな
抵抗変化を生じる複数の導電性磁性層と、その導電性磁
性層の間に配置された導電性非磁性層からなるGMRヘ
ッド、あるいはスピン・バルブ効果を利用したGMRヘ
ッドとすることにより、信号強度をさらに高めることが
でき、1平方インチ当たり3Gビット以上、240kF
CI以上の線記録密度を持った信頼性の高い磁気記録装
置の実現が可能となる。
The reproducing section of the magnetic head is composed of a plurality of conductive magnetic layers which generate a large resistance change due to a relative change in their magnetization directions due to an external magnetic field, and a conductive layer disposed between the conductive magnetic layers. The signal strength can be further increased by using a GMR head made of a conductive non-magnetic layer or a GMR head using the spin valve effect, so that the signal strength is 3 Gbits / sq.
A highly reliable magnetic recording device having a linear recording density equal to or higher than CI can be realized.

【0041】図1は実施の形態に係る磁気記録媒体の製
造装置の内部の正面図、図2は図1のII−II線に沿う断
面図、図3はこの製造装置の図1のIII−III線に沿う断
面図である。
FIG. 1 is a front view of the inside of the apparatus for manufacturing a magnetic recording medium according to the embodiment, FIG. 2 is a sectional view taken along the line II-II of FIG. 1, and FIG. It is sectional drawing which follows the III line.

【0042】ペデステレート1の上部には複数個の爪3
が設けられており、これらの爪は磁気記録媒体2の外周
に沿う位置を占めるように配設されている。各爪3の上
面にはV字形やコ字形など、基板の外周縁部が入り込む
ことで基板を保持する大きさ及び形状の溝が形成されて
いる。
A plurality of claws 3 are provided above the pedestrate 1.
These claws are arranged so as to occupy positions along the outer periphery of the magnetic recording medium 2. On the upper surface of each of the claws 3, a groove having a size and shape such as a V-shape or a U-shape, which holds the substrate by entering the outer peripheral edge thereof, is formed.

【0043】これらの爪3上に板面が鉛直状となるよう
に基板2が載置され、チャンバ6内に該基板2が挿入さ
れる。チャンバ6には、基板2の両面に対峙するように
1対のターゲット9が配置されている。各ターゲット9
の背後側にはバッキングプレート8及びマグネトロン7
が順次に配置され、マグネトロンスパッタリングにより
基板2上に薄膜層を形成可能としている。なお、前記ペ
デステレート1にはバイアス印加点4が設けられてい
る。
The substrate 2 is placed on these claws 3 so that the plate surface is vertical, and the substrate 2 is inserted into the chamber 6. A pair of targets 9 are arranged in the chamber 6 so as to face both surfaces of the substrate 2. Each target 9
Behind the backing plate 8 and magnetron 7
Are sequentially arranged, and a thin film layer can be formed on the substrate 2 by magnetron sputtering. The pedestrate 1 is provided with a bias application point 4.

【0044】この基板2の外周縁の直近位置にノズル5
が配置されている。この実施の形態では、ノズル5は基
板2の図1の右端側部分の直下に配置され、該基板2の
右端側に沿って上方にガスを吹き出すように配置されて
いる。このノズル5から吹き出されたガスが基板2の右
端側部分の両面に沿って上方に流れることにより、基板
2に対し図1における反時計回り方向の回転力が与えら
れ、基板2が回転する。
The nozzle 5 is located immediately adjacent to the outer peripheral edge of the substrate 2.
Is arranged. In this embodiment, the nozzle 5 is disposed immediately below the right end portion of the substrate 2 in FIG. 1 and is arranged so as to blow gas upward along the right end side of the substrate 2. The gas blown out from the nozzle 5 flows upward along both surfaces of the right end portion of the substrate 2, so that a rotational force in the counterclockwise direction in FIG. 1 is applied to the substrate 2, and the substrate 2 rotates.

【0045】このガスとしてはスパッタリング時の雰囲
気ガスが好適であり、通常はアルゴンが用いられる。な
お、チャンバ6内からはこのガスの噴出量に見合った排
気量にて排気が行われる。
As this gas, an atmosphere gas at the time of sputtering is suitable, and usually argon is used. It should be noted that the gas is exhausted from the chamber 6 with an exhaust amount corresponding to the amount of the gas jetted.

【0046】この実施の形態ではノズル5が図1の右端
側の1ケ所にのみ配置されているが、それ以外の位置に
配置されてもよく、2ケ所以上に配置されても良い。ノ
ズル5からのガスの吹出方向も図とは逆としても良い。
また、1ケ所に2以上のノズルを配置しても良い。基板
2の各ディスク面に向って別々のノズルからガスを吹き
出しても良い。
In this embodiment, the nozzle 5 is disposed only at one position on the right end side in FIG. 1, but it may be disposed at another position or at two or more positions. The direction in which the gas is blown out from the nozzle 5 may be reversed.
Further, two or more nozzles may be arranged at one place. Gas may be blown out from separate nozzles toward each disk surface of the substrate 2.

【0047】図4は別の実施の形態に係る磁気記録媒体
の製造装置を示すものであり、基板2が複数個のローラ
10上に載置されている。各ローラ10を連動させるた
めにベルト11がローラ10間に張り架けられている。
このベルト11をベルト駆動プーリ(図示略)に架け、
該プーリを回転させて各ローラ10を回転させることに
より、基板2が回転される。
FIG. 4 shows an apparatus for manufacturing a magnetic recording medium according to another embodiment, in which a substrate 2 is mounted on a plurality of rollers 10. A belt 11 is stretched between the rollers 10 in order to link the rollers 10.
This belt 11 is hung on a belt drive pulley (not shown),
The substrate 2 is rotated by rotating each roller 10 by rotating the pulley.

【0048】図5は、図4の装置において、該駆動プー
リを省略し、代わりに1つのローラ10に駆動輪12を
接触させ、この駆動輪12をモータ13によって回転さ
せるようにしたものであり、同様に各ローラ10が回転
することにより基板2が回転する。
FIG. 5 shows the apparatus shown in FIG. 4 in which the driving pulley is omitted, and instead, the driving wheel 12 is brought into contact with one roller 10 and the driving wheel 12 is rotated by a motor 13. Similarly, when each roller 10 rotates, the substrate 2 rotates.

【0049】図6は図5において駆動輪12及びモータ
13を省略し、代わりに1つのローラ10に風車15を
取り付けたものである。ノズル14から該風車15にガ
スを吹き付けてローラ10を回転させることにより基板
2が回転する。
FIG. 6 omits the drive wheels 12 and the motor 13 in FIG. 5 and replaces one roller 10 with a windmill 15 instead. The substrate 2 is rotated by blowing gas from the nozzle 14 onto the windmill 15 to rotate the roller 10.

【0050】[0050]

【実施例】実施例1 図1に示す製造装置により基板上に薄膜を成膜して磁気
記録媒体を製造した。なお、3個の爪3のうち図1の中
央のものは基板2の中心の鉛直下方に位置し、左右の爪
3はそれから左右にそれぞれ55゜(基板2の中心角と
して)離隔している。爪3の上面の溝のV字の開き角度
は120゜とした。中央の爪3から右方に65゜の位置
に吹出口の内径が2mmのノズル5を配置し、上方にA
rガスを6L/minの割合で吹き出して基板を200
rpmで回転させた。
EXAMPLE 1 A thin film was formed on a substrate by the manufacturing apparatus shown in FIG. 1 to manufacture a magnetic recording medium. 1 is located vertically below the center of the substrate 2 and the left and right claws 3 are separated from each other by 55 ° (as the central angle of the substrate 2). . The V-shaped opening angle of the groove on the upper surface of the claw 3 was 120 °. A nozzle 5 having an inner diameter of the outlet of 2 mm is disposed at a position 65 ° to the right of the center claw 3 and A
r gas is blown out at a rate of 6 L / min to remove the substrate 200
Rotated at rpm.

【0051】非磁性基板としては外径3.5インチのア
ルミ基板を用い、これを爪3上に載せた後チャンバ6内
に移動させ、チャンバ6内を真空ポンプにより排気し
た。上記回転数にてディスクを回転させながら下地層と
してNiP合金層を150nm、下地層の上にCoCr
層を中間層として約20nm、Co−Cr−Pt合金よ
りなる強磁性合金薄膜を膜厚30nm順次に形成した。
この磁気記録層上に、保護層として、スパッタにより水
素化カーボン膜を成膜した。また、スパッタ終了後、保
護層上に潤滑剤層を設け、磁気特性2500〔Oe〕、
90〔Gμm〕クラスの磁気記録媒体を得た。
As a non-magnetic substrate, an aluminum substrate having an outer diameter of 3.5 inches was placed on the claws 3 and then moved into the chamber 6, and the inside of the chamber 6 was evacuated by a vacuum pump. While rotating the disk at the above rotation speed, a NiP alloy layer was 150 nm as an underlayer, and CoCr was formed on the underlayer.
Using the layer as an intermediate layer, a ferromagnetic alloy thin film of about 20 nm and a Co—Cr—Pt alloy was sequentially formed to a thickness of 30 nm.
On this magnetic recording layer, a hydrogenated carbon film was formed as a protective layer by sputtering. After the end of the sputtering, a lubricant layer is provided on the protective layer, and has a magnetic property of 2500 [Oe].
A 90 [G μm] class magnetic recording medium was obtained.

【0052】得られた磁気記録媒体は、Guzikを使
用し、書き込み幅2.4μmの記録ヘッドで、最大記録
周波数6MHzで書き込み、読み込みギャップ幅1.9
μmのヘッドを用い、そのデータを読み込み、その予測
判定値ごとの出力しきい値を変え、エラーを測定するこ
とでエラーレートを測定した。
The obtained magnetic recording medium was written at a maximum recording frequency of 6 MHz using a Guzik recording head having a writing width of 2.4 μm, and a reading gap width of 1.9.
Using a μm head, the data was read, the output threshold for each of the predicted determination values was changed, and the error was measured to measure the error rate.

【0053】エラーレートを測定したディスクは、その
Hcを測定するため、最外周部から磁気記録媒体の半径
に対する10%の距離だけ半径方向に入った位置から最
内周から10%の距離だけ入った部分まで、その円周方
向の角度30度ごと、半径方向に8mmごとに直径8m
mの円盤状に打ち抜き、東英工業製のVSM(VSM−
P7)を用いてHcを測定し、それぞれΔHc(θ)、
ΔHc(r)を求めた結果を表1に示す。
In order to measure the Hc of the disk for which the error rate was measured, a distance of 10% from the innermost circumference to a position 10% from the innermost circumference in the radial direction from the outermost circumference to the radius of the magnetic recording medium. 8m in diameter every 8mm in the radial direction, every 30 degrees in the circumferential direction up to the part
m VSM (VSM-
Hc was measured using P7), and ΔHc (θ),
Table 1 shows the results of determining ΔHc (r).

【0054】比較例1 強磁性合金薄膜のスパッタ工程でディスクを回転させず
に行ったこと以外は実施例1と同一にして磁気記録媒体
を得、同様の評価を行った。結果を表1に示す。
Comparative Example 1 A magnetic recording medium was obtained in the same manner as in Example 1 except that the disk was not rotated in the sputtering step of the ferromagnetic alloy thin film, and the same evaluation was performed. Table 1 shows the results.

【0055】[0055]

【表1】 [Table 1]

【0056】この実施例及び比較例より、ΔHc(θ)
/ΔHc(r)が小さいメディアでは、エラーレートが
よくなることが分る。
From this example and comparative example, ΔHc (θ)
It can be seen that the error rate is improved for media with a small / ΔHc (r).

【0057】[0057]

【発明の効果】以上の通り、本発明によるとデータ記録
領域におけるHc分布が小さくエラーのきわめて少ない
磁気記録媒体及び磁気記録装置が提供される。本発明の
製造方法及び製造装置によると、この磁気記録媒体を効
率良く製造することができる。
As described above, according to the present invention, there are provided a magnetic recording medium and a magnetic recording apparatus having a small Hc distribution in a data recording area and having very few errors. According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus of the present invention, this magnetic recording medium can be manufactured efficiently.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施の形態に係る磁気記録媒体の製造装置の内
部の正面図である。
FIG. 1 is a front view of the inside of a magnetic recording medium manufacturing apparatus according to an embodiment.

【図2】図1のII−II線に沿う断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along the line II-II in FIG.

【図3】図1のIII−III線に沿う断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along the line III-III in FIG. 1;

【図4】別の実施の形態に係る磁気記録媒体の製造装置
の概略図である。
FIG. 4 is a schematic view of an apparatus for manufacturing a magnetic recording medium according to another embodiment.

【図5】さらに別の実施の形態に係る磁気記録媒体の製
造装置の概略図である。
FIG. 5 is a schematic view of an apparatus for manufacturing a magnetic recording medium according to still another embodiment.

【図6】さらに別の実施の形態に係る磁気記録媒体の製
造装置の概略図である。
FIG. 6 is a schematic view of an apparatus for manufacturing a magnetic recording medium according to still another embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ペデステレート 2 基板 3 爪 5 ノズル 10 ローラ 11 ベルト 12 駆動輪 13 モータ 15 風車 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pedesterate 2 Substrate 3 Claw 5 Nozzle 10 Roller 11 Belt 12 Drive wheel 13 Motor 15 Windmill

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11B 5/85 G11B 5/85 Z (72)発明者 関 義則 神奈川県横浜市青葉区鴨志田町1000番地 三菱化学株式会社横浜総合研究所内 Fターム(参考) 4K029 AA02 AA09 BA06 BA07 BA12 BA13 BA24 BA25 BA34 BB02 BC06 BD11 CA01 CA05 DC04 DC18 DC34 DC35 DC39 DC48 JA02 JA08 5D006 BB07 BB08 DA03 EA03 FA09 5D112 AA05 AA24 FA01 KK01 KK06──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G11B 5/85 G11B 5/85 Z (72) Inventor Yoshinori Seki 1000 Kamoshida-cho, Aoba-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Mitsubishi 4K029 AA02 AA09 BA06 BA07 BA12 BA13 BA24 BA25 BA34 BB02 BC06 BD11 CA01 CA05 DC04 DC18 DC34 DC35 DC39 DC48 JA02 JA08 5D006 BB07 BB08 DA03 EA03 FA09 5D112 AA05 AA24 FA01 KK01KK06

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ディスク状の基板の板面に少なくとも磁
性層を有する磁気記録媒体において、 磁気記録媒体の半径に対する10%の距離をそれぞれ最
内周及び最外周部分から除いた部分の記録領域におい
て、同一半径位置における円周方向の保磁力の最大値と
最小値との差をΔHc(θ)とし、同一角度位置におけ
る半径方向の保磁力の最大値と最小値との差をΔHc
(r)としたときに、ΔHc(θ)/ΔHc(r)の値
が0.5以下であることを特徴とする磁気記録媒体。
1. A magnetic recording medium having at least a magnetic layer on a plate surface of a disk-shaped substrate, wherein a distance of 10% of a radius of the magnetic recording medium is excluded from an innermost circumference and an outermost circumference in a recording area. The difference between the maximum value and the minimum value of the circumferential coercive force at the same radial position is ΔHc (θ), and the difference between the maximum value and the minimum value of the radial coercive force at the same angular position is ΔHc.
A magnetic recording medium wherein the value of ΔHc (θ) / ΔHc (r) is 0.5 or less when (r).
【請求項2】 請求項1において、前記記録領域の保磁
力の最大値と最小値との差が記録領域全体の保磁力の平
均値の20%以下であり、且つ前記のΔHc(θ)/Δ
Hc(r)の値が0.3以下であることを特徴とする磁
気記録媒体。
2. The recording medium according to claim 1, wherein a difference between a maximum value and a minimum value of the coercive force of the recording area is not more than 20% of an average value of the coercive force of the entire recording area, and the ΔHc (θ) / Δ
A magnetic recording medium, wherein the value of Hc (r) is 0.3 or less.
【請求項3】 ディスク状の基板の板面に少なくとも磁
性層を形成する成膜工程を有する磁気記録媒体の製造方
法において、少なくとも1つの層の成膜工程において基
板をその周方向に回転させることを特徴とする磁気記録
媒体の製造方法。
3. A method of manufacturing a magnetic recording medium having a film forming step of forming at least a magnetic layer on a plate surface of a disk-shaped substrate, wherein the substrate is rotated in a circumferential direction in the film forming step of at least one layer. A method for manufacturing a magnetic recording medium, comprising:
【請求項4】 請求項3において、少なくとも磁性層の
成膜工程において基板を回転させることを特徴とする磁
気記録媒体の製造方法。
4. The method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 3, wherein the substrate is rotated at least in a step of forming the magnetic layer.
【請求項5】 請求項3において、少なくとも磁性層
と、該磁性層に接する層の成膜工程において基板を回転
させることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
5. The method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 3, wherein the substrate is rotated in at least a step of forming a magnetic layer and a layer in contact with the magnetic layer.
【請求項6】 請求項3において、すべての層の成膜工
程において基板を回転させることを特徴とする磁気記録
媒体の製造方法。
6. The method of manufacturing a magnetic recording medium according to claim 3, wherein the substrate is rotated in the step of forming all the layers.
【請求項7】 請求項3ないし5のいずれか1項におい
て、成膜工程がディスク両面で同時に成膜する工程であ
ることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
7. The method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 3, wherein the film forming step is a step of simultaneously forming a film on both surfaces of the disk.
【請求項8】 ディスク状の基板の外周縁部を保持する
保持手段と、該基板の板面に薄膜を設けるための手段と
を有する磁気記録媒体の製造装置において、 該保持手段は該基板を周方向に回転可能に保持するもの
であり、 該基板に対し回転力を与える手段が設けられたことを特
徴とする磁気記録媒体の製造装置。
8. An apparatus for manufacturing a magnetic recording medium, comprising: holding means for holding an outer peripheral portion of a disk-shaped substrate; and means for providing a thin film on a plate surface of the substrate. An apparatus for manufacturing a magnetic recording medium, which holds a substrate so as to be rotatable in a circumferential direction and provides a rotational force to the substrate.
【請求項9】 請求項8において、前記回転力を与える
手段は、該基板に対しガスを吹き付けて回転力を与える
ノズルを有することを特徴とする磁気記録媒体の製造装
置。
9. The magnetic recording medium manufacturing apparatus according to claim 8, wherein the means for applying a rotational force has a nozzle for applying a rotational force by blowing a gas to the substrate.
【請求項10】 請求項8において、前記回転力を与え
る手段は、前記基板に接触して回転力を与える部材であ
ることを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
10. An apparatus according to claim 8, wherein said means for applying a rotational force is a member that applies a rotational force by contacting said substrate.
【請求項11】 磁気記録媒体と、該磁気記録媒体を回
転駆動する駆動手段と、磁気ヘッドと、該磁気ヘッドを
移動させる手段とを有する磁気記録装置において、該磁
気記録媒体が請求項1又は2に記載の磁気記録媒体であ
ることを特徴とする磁気記録装置。
11. A magnetic recording apparatus comprising: a magnetic recording medium; driving means for driving the magnetic recording medium to rotate; a magnetic head; and means for moving the magnetic head. 3. A magnetic recording device, which is the magnetic recording medium according to 2.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2009081952A1 (en) * 2007-12-26 2009-07-02 Canon Anelva Corporation Substrate holder, film forming method using substrate holder, method for manufacturing hard disc, film forming apparatus and program

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