JP2000218498A - ワイヤソーのワイヤ断線検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ワイヤソーに設置されたワイヤ断線検出装置の
メンテナンス性を向上させるワイヤ断線検出装置を提供
すること。 【解決手段】本発明は、ワイヤソー１０のグルーブロー
ラ１８Ａ〜１８Ｄが設置された加工室を覆うカバーを、
内カバー６０と外カバー６２とで２重に構成し、グルー
ブローラ１８Ａ〜１８Ｄを支持するブラケット４２が前
記内カバー６０の一部を形成する。接触検出ワイヤ１０
０は、ブラケット４２に形成された貫通孔４２Ａを介し
て内カバー６０に貫通状態で取り付けられ、その両端の
支持部材１０２、１０４は、ブラケット４２の外部に取
り付けられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーのワイヤ
断線検出装置に係り、特にシリコン、ガラス、セラミッ
ク等の脆性材料を切断するワイヤソーのワイヤ断線検出
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤソーは、複数個のグルーブローラ
にワイヤを巻きかけて形成したワイヤ列に加工液（スラ
リ）を供給しながらインゴットを押し付けることによ
り、前記被加工物を多数枚のウェーハに切断する装置で
ある。このようなワイヤソーには、ワイヤ断線検出装置
が設けられている。

【０００３】従来のワイヤ断線検出装置は、ワイヤの走
行路の近傍に検出部材を設置し、この検出部材をセンサ
に連結することにより、断線したワイヤの検出部材への
接触を前記センサで検出し、ワイヤの断線を判断するよ
うに構成されている。前記検出部材は、通常、断線した
ワイヤに接触すると張力変動を生じる接触検出用ワイヤ
が用いられ、複数個のグルーブローラを支持する一対の
ブラケットの内側に設置された一対の支持部材によって
張設されていた。この支持部材には、前記センサや、接
触検出用ワイヤの張力調節手段が設けられていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワイヤ断線検出装置では、インゴットを切断した際に、
供給した加工液が飛散して、前記支持部材に加工液が付
着するという欠点があった。支持部材に加工液が付着す
ると、前記センサが加工液によって温度上昇して測定誤
差が生じたり、付着した加工液のために前記接触検出用
ワイヤの張力調節ができなかったりした。このため、接
触検出用ワイヤの交換作業や張力調節作業の際には、前
記支持部材を洗浄しなければならず、ワイヤ断線検出装
置のメンテナンス性が悪いという欠点があった。

【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、ワイヤ断線検出装置のメンテナンス性を向上さ
せることのできるワイヤソーのワイヤ断線検出装置を提
供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛
けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に被加工物を押し付
けて多数枚のウェーハに切断するワイヤソーに設けら
れ、断線したワイヤが接触されてワイヤの断線を検出す
る検出部材が備えられたワイヤ断線検出装置において、
前記複数個のグルーブローラが設置された加工室を覆う
カバーに貫通孔が形成され、該貫通孔を介して前記カバ
ーの内部に前記検出部材が挿通され、該検出部材を支持
する支持部材が前記カバーの外部に設けられたことを特
徴とする。

【０００７】請求項１記載の発明によれば、前記検出部
材を支持する支持部材は、加工室を覆うカバーの外部に
設置されているので、加工室に供給した加工液が、支持
部材に付着することがない。したがって、支持部材を洗
浄する必要がなく、これにより、ワイヤ断線検出装置の
メンテナンス性を向上させることができる。請求項２記
載の発明によれば、前記検出部材は、一対の前記支持部
材によって張設された接触検出用ワイヤであり、該接触
検出用ワイヤの張力変動によって前記ワイヤの断線が検
出される。この場合も請求項１記載の発明と同様に、接
触検出用ワイヤの支持部材が前記カバーの外部に設けら
れているので、支持部材が加工液に付着することがな
い。したがって、接触検出部ワイヤの取り付け作業等を
容易に行うことができる。

【０００８】請求項３記載の発明によれば、前記一対の
支持部材のうち一方の支持部材には、前記接触検出用ワ
イヤの張力調節手段が設けられ、他方の支持部材には、
接触検出用ワイヤの張力検知手段が設けられている。前
記一方の支持部材は、カバーの外部に設置されているの
で、張力調節手段に加工液が付着せず、前記一方の支持
部材を洗浄する必要がない。また、他方の支持部材もカ
バーの外部に設置されているので、張力検知手段が加工
液の熱影響を受けることが無く、接触検出用ワイヤの張
力を正確に測定することができる。

【０００９】請求項４記載の発明によれば、前記検出部
材は、前記複数個のグルーブローラ間を走行するワイヤ
と、前記複数個のグルーブローラに対して出入するワイ
ヤとの間に設けられたことを特徴とするので、ワイヤの
断線位置にかかわらず、ワイヤの断線を迅速に検知する
ことができる。すなわち、複数個のグルーブローラ間を
走行するワイヤが断線した場合には、断線したワイヤの
端部が遠心力により前記検出部材に接触し、複数個のグ
ルーブローラの外部でワイヤが断線した場合には、前記
出入するワイヤが張力低下により垂れ下がって、前記検
出部材に接触する。したがって、ワイヤの断線を迅速に
検出することができ、断線したワイヤが暴れて他の機器
を傷付けるのを防止することができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーのワイヤ断線検出装置の実施の形態につい
て詳説する。図１は、本発明の実施の形態のワイヤ断線
検出装置が採用されたワイヤソー１０の斜視図であり、
図２は、図１に示したワイヤソー本体１１の主要構成部
を露出させた斜視図である。

【００１１】これらの図に示すように、ワイヤソー１０
は、ワイヤソー本体１１、加工液供給装置４４、加工液
回収タンク４０、洗浄液タンク７６及びオーバーフロー
タンク５６から構成される。ワイヤソー本体１１には、
ワイヤリール１２が設けられ、このワイヤリール１２に
巻かれたワイヤ１４は、多数のガイドローラ１６、１６
…、で形成される一方側のワイヤ走行路を経て４本のグ
ルーブローラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ、１８Ｄに複数回
巻き掛けられ、ワイヤ１４同士が平行なワイヤ列２０を
形成する。ワイヤ列２０を形成したワイヤ１４は、ワイ
ヤ列２０を挟んで左右対称に形成されるとともに前記一
方側のワイヤ走行路と同一構造の他方側のワイヤ走行路
を経て、図示しないワイヤリールに巻き取られる。

【００１２】前記ワイヤ列２０の両側に形成されるワイ
ヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２及びダンサ
ローラ２４が配設され（一方側のみ図示）、ワイヤ案内
装置２２によって、ワイヤ１４がワイヤリール１２から
一定ピッチで巻き取りまたは送りだされる。また、ダン
サローラ２４には、所定重量のウェイト（図示せず）が
架設され、このウェイトによって走行するワイヤ１４に
一定の張力が付与される。また、ワイヤ走行路には、ワ
イヤ洗浄装置（図示せず）が設けられ、このワイヤ洗浄
装置において走行するワイヤ１４に洗浄液を噴射するこ
とによりワイヤ１４に付着した加工液（スラリ）がワイ
ヤ１４から除去される。

【００１３】前記ワイヤ１４が巻きかけられた４本のグ
ルーブローラ１８Ａ〜１８Ｄは、その両端が対向する一
対のブラケット４２、４２に回転自在に支持され、各々
の回転中心を結んだ時にその形状が矩形状となる位置に
配設されている。前記一対のブラケット４２、４２は、
後述するオイルパン３６の上部に設置されている。ま
た、前記グルーブローラ１８Ｃ及び前記一対のワイヤリ
ール１２は、それぞれ正逆回転可能なモータ２６、２８
に連結されている。前記ワイヤ１４は、これらのモータ
２６、２８を駆動することにより、一対のワイヤリール
１２間を高速で往復走行する。

【００１４】前記ワイヤ列２０の上方には、ワークフィ
ードテーブル３０（送り装置）がフィードベース３２に
上下にスライド自在に取り付けられ、フィードベース３
２に設けたモータ３３によりワークフィードテーブル３
０は前記ワイヤ列２０に対して垂直に昇降移動する。ま
た、ワークフィードテーブル３０の下部には、図示しな
いインゴットが結晶方位合わせした状態で保持される。

【００１５】前記ワイヤ列２０の下方には、オイルパン
３６が設置され、このオイルパン３６によって前記ワイ
ヤ列２０に供給された加工液が回収される。オイルパン
３６の内側には、傾斜面が形成されており、傾斜面の下
端に回収パイプ３８（図５参照）が接続されている。回
収パイプ３８は、先端が加工液回収タンク４０に連れ、
これにより、オイルパン３６に回収された加工液は、回
収パイプ３８を介して加工液回収タンク４０に貯留され
る。

【００１６】加工液供給ユニット４４は、移動可能な台
車４８に加工液タンク４６、熱交換器５０、供給ポンプ
５２及び流量計５４等を搭載して構成される。加工液タ
ンク４６には、図示しない配管が接続され、この配管の
先端が前記加工液回収タンク４０の上部の回収ポンプ４
１に着脱自在に接続される。これにより、前記加工液回
収タンク４０に貯留された加工液は、回収ポンプ４１に
より汲み上げられて加工液タンク４６に回収される。加
工液タンク４６に回収された加工液は、供給ポンプ５２
で汲み上げられ、ワイヤ列２０の上方に設置した加工液
ノズル（図示せず）からワイヤ列２０に噴射される。そ
して、噴射された加工液は、前述したようにオイルパン
３６で回収され、加工液回収タンク４０を介して加工液
タンク４６に戻され、循環供給される。なお、循環供給
される加工液は、熱交換器５０により一定温度に調節さ
れている。

【００１７】以上のように構成されたワイヤソー１０に
おいて、インゴットは次のように切断される。まず、イ
ンゴットをワークフィードテーブル３０に結晶方位を合
わせた状態で保持する。そして、ワイヤ１４を高速で往
復走行させた後、ワークフィードテーブル３０をワイヤ
列２０に向けて下降させ、インゴットをワイヤ列２０の
切断部に押し付ける。この際、前記ワイヤ列２０の切断
部には、加工液タンク４６から図示しないノズルを介し
て加工液が供給され、インゴットは、この加工液中に含
まれる砥粒のラッピング作用で多数枚のウェーハに一度
に切断される。

【００１８】ところで、前記被加工物の切断を行う加工
室を覆うカバーは、内カバー６０（カバーに相当）と外
カバー６２とで２重に構成されている。図３は、図１に
示したワイヤソー本体１１の斜視図である。同図に示す
ように、ワイヤソー本体１１には、外カバー６２が設け
られ、この外カバー６２によってワイヤソー本体１１の
内部と外部とが遮断される。この外カバー６２には、図
３のＡ矢視において正面に折り畳み戸９４が形成され、
左右側面にそれぞれ引き戸９６が形成される。外カバー
６２は、折り畳み戸９４または引き戸９６を開くことに
より、内カバー６０の正面または左右側面が露出するよ
うに構成される。符号１１４は、外カバー６２に着脱自
在に取り付けられた戸であり、ワークフィードテーブル
３０のメンテナンスの際に取り外される。

【００１９】図４は、内カバー６０を示す斜視図であ
り、図５は、図４に示した内カバー６０に形成された各
戸を開いた斜視図である。同図に示す内カバー６０は、
箱状に形成され、図４のＡ矢視における内カバー６０の
正面は、前記一対のブラケット４２、４２の一方と正面
板６４で形成される。正面板６４は、前記ブラケット４
２に支持された支柱６６、６６に取り付けられ、中央下
部にスライド板６８が設置される。スライド板６８は、
両側のガイドレール７０を介して正面板６４に取り付け
られ、上下方向にスライド自在に設置される。また、ス
ライド板６８には、固定ネジ７２が設けられ、スライド
板６８を上方にスライドさせてこの固定ネジ７２を正面
板６４に形成したネジ穴７４に螺合することにより、図
５に示したようにスライド板６８を上方に固定して、切
断部を視認可能な窓７６を形成することができる。

【００２０】内カバー６０の左右側面はそれぞれ、開き
戸７８、折り畳み戸８０、ワイヤカバー８２及び側面板
８４で構成される。側面板８４は、前記一対のブラケッ
ト４２、４２の下端部に架設され、その下端はオイルパ
ン３６に密着している。側面板８４の上部には、ワイヤ
カバー８２が取り付けられる。ワイヤカバー８２は、前
記ワイヤリール１２とグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｄと
の間のワイヤ１４を覆うように構成され、カバー８８と
カバー８９とから構成される。カバー８８は、ブラケッ
ト４２に突設された固定板８６に着脱自在に設置され
る。また、カバー８９は、断面凹状に形成された下カバ
ー８９Ｂと、該下カバー８９Ｂに覆い被さる上カバー８
９Ａとから構成され、上カバー８９Ａが、固設された下
カバー８６に矢印９３方向に回動自在に取り付けられ
る。これにより、カバー８８を固定板８６から取り外
し、上カバー８９Ａを回転させることにより、グルーブ
ローラ１８Ａ〜１８Ｄとワイヤリール１２との間のワイ
ヤ１４を露出させることができる。

【００２１】ワイヤカバー８２の上部には、折り畳み戸
８０が設けられる。折り畳み戸８０は、上下一対の板８
０Ａ、８０Ｂを蝶番で取り付けて構成され、下側の板８
０Ａが、前記ブラケット４２にネジ部材等により着脱自
在に取り付けられている。これにより、折り畳み戸８０
の上側の板８０Ａを矢印９１方向に回転させることがで
きるとともに、下側の板８０Ｂをブラケット４２、４２
から脱着して折り畳み戸８０自体を取り外すことができ
る。

【００２２】また、折り畳み戸８０の上部には、開き戸
７８が設けられる。開き戸７８は、右開き戸７８Ａと左
開き戸７８Ｂとから構成され、右開き戸７８Ａ及び左開
き戸７８Ｂはそれぞれブラケット４２に支持された支柱
６６、６６に回動自在に取り付けられている。また、右
開き戸７８Ａ及び左開き戸７８Ｂは、それぞれ左右２枚
の板を蝶番で取り付けられて構成される。これにより、
右開き戸７８Ａ及び左開き戸７８Ｂはそれぞれ、図５に
示したように折り畳みながら開くことができる。

【００２３】また、前記折り畳み戸８０の上部は、開き
戸７８の下部に重なるように構成されている。これによ
り、開き戸７８を閉じた後に、折り畳み戸８０を閉じる
と、開き戸７８の開閉を折り畳み戸８０でロックするこ
とができる。また、折り畳み戸８０の上側の板８０Ａを
矢印９１方向に回転させ、開き戸７８を開くことによ
り、図５に示したように、ワイヤ列２０周辺に大きな開
口部を形成することができる。これにより、インゴット
をこの開口部から挿入してワークフィードテーブル３０
に取り付けることができる。

【００２４】内カバー６０の背面は、もう一方のブラケ
ット４２と前記フィードベース３２で構成される。この
フィードベース３２には、前述したように、ワークフィ
ードテーブル３０が上下方向にスライド自在に設置され
ている。ワークフィードテーブル３０は、モータ３３を
駆動することにより、前記内カバー６０の正面、左右側
面、背面によって筒状に形成された側壁に挿入される。
また、ワークフィードテーブル３０の下端には、ブラシ
９０が正面及び左右側面に取り付けられ、前記ワークフ
ィードテーブル３０を側壁内に挿入した際にブラシ９０
が側壁に摺接するように構成される。これにより、ワー
クフィードテーブル３０を上下動すると、ブラシ９０が
正面及び左右側面に付着した加工液を払い落とすので、
ワークフィードテーブル３０と側壁との隙間から加工液
や切削塵が漏出するのを防止することができる。

【００２５】また、前記内カバー６０の下面は、オイル
パン３６で形成されている。即ち、前述したように、前
記一対のブラケット４２、４２が、オイルパン３８に載
置されるとともに、前記側面板がオイルパン３６に密着
している。これにより、内カバー６０の下面は、オイル
パン３６と回収パイプ３８との連結部を除いて密閉され
る。

【００２６】このようにワイヤソー１０の内カバー６０
は、上面、下面、正面、左右側面及び背面によって切断
部を包囲しているので、加工液や切削塵が内カバー６０
から漏洩することはない。次に、本発明の実施の形態に
係るワイヤソーのワイヤ断線検出装置の主要構成部につ
いて詳説する。

【００２７】図６は、ワイヤソーのワイヤ断線検出装置
の主要構成部を示す斜視図である。同図に示すように、
ワイヤ１４は、ガイドローラ１６Ａ、１６Ｂにガイドさ
れた後、グルーブローラ１８Ａに巻き掛けられる。そし
て、ワイヤ１４は、グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｄに複
数回巻き掛けられた後、グルーブローラ１８Ｂに巻き掛
けられて、ガイドローラ１６Ｃ、１６Ｄにガイドされた
後、ワイヤリール１２に巻き取られる。

【００２８】前記グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｄは、対
向する一対のブラケット４２、４２に支持されている。
一対のブラケット４２、４２の外部にはそれぞれ、支持
部材１０２、１０４が設けられ、この支持部材１０２、
１０４に接触検出用ワイヤ１００が架設されている。図
７は、本発明の実施の形態に係るワイヤ断線検出装置の
構造を説明する構造説明図である。

【００２９】同図に示すように、前記接触検出用ワイヤ
１００の両端部には、係合部１０６、１０６が設けら
れ、この係合部１０６が前記支持部材１０２、１０４に
形成したピン１０８、１０８に係合する。前記支持部材
１０２には、接触検出用ワイヤ１００の張力を調節する
張力調節装置が設けられる。即ち、前記ピン１０８はス
ライド部材１１０に取り付けられ、このスライド部材１
１０は、ブラケット４２に取り付けられた取付具１１２
に矢印１１４方向にスライド自在に設置される。また、
前記取付具１１２には突出した支持部材１１８が設けら
れ、この支持部材１１８に調節ネジ１２０が回転自在に
支持される。調節ネジ１２０の先端には、雄ねじが形成
され、この雄ねじが前記スライド部材１１０の端面に形
成された雌ねじに螺合している。これにより、調節ネジ
１２０の他端に形成された調節摘まみを回動すると、前
記調節ネジ１２０のスライド部材１１０に螺合した量が
変化するので、前記スライド部材１１０を矢印１１４方
向にスライドさせることができ、ワイヤ１４の張力を調
節することができる。なお、符号１１６は、ロックレバ
ーであり、前記スライド部材１１０のスライドを不能に
し、前記スライド部材１１０を固定することができる。

【００３０】一方、前記支持部材１０４には、ロードセ
ル１２２が設けられている。ロードセル１２２は、微分
回路１２４を介してワイヤソー１０の制御部１２６に接
続され、前記接触検出用ワイヤ１００に張力変動が生じ
ると弾性変形を生じ、それを電気信号に変換して制御部
１２６に出力する。制御部１２６は、接触検出用ワイヤ
１００に所定値以上の張力変動を検出すると、ワイヤ１
４が断線したと判断してワイヤソー１０の運転を停止す
る。すなわち、ワイヤ１４が断線して接触検出用ワイヤ
１００に接触すると、その接触の衝撃によって接触検出
用ワイヤ１００の張力変動し、その張力変動をロードセ
ル１２２が検知し、制御部１２６は、ワイヤ１４の断線
を判断する。

【００３１】ところで、前記接触検出用ワイヤ１００
は、加工液が当たることにより微少な張力変動を起こす
が、その微少成分は、ノイズ成分として微分回路１２４
で取り除かれる。したがって、制御部１２６では、断線
したワイヤ１４の接触時のようにインパルス状に入って
くる張力変動のみを検出することができ、ワイヤ断線時
以外の誤検出を防止することができる。

【００３２】図８は、図６に示した主要構成部の側面の
拡大図である。同図に示すように、前記接触検出用ワイ
ヤ１００は、ガイドローラ１６Ｂからグルーブローラ１
８Ａに出入するワイヤ１４（以下、出入ワイヤ１４Ａと
称す）と、グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｄ間を周回走行
するワイヤ１４（以下、周回ワイヤ１４Ｂと称す）に近
接して配置される。具体的には、接触検出用ワイヤ１０
０は、出入ワイヤ１４Ａと周回ワイヤ１４Ｂとの間で、
且つ、グルーブローラ１８Ａとグルーブローラ１８Ｄの
中間付近に配設される。

【００３３】前記一対のブラケット４２、４２にはそれ
ぞれ、円形の貫通孔４２Ａが形成されている。この貫通
孔４２Ａは、接触検出用ワイヤ１００に対して比較的大
きく形成されており、接触検出用ワイヤ１００の係合部
１０６が挿通可能に構成されている。したがって、接触
検出用ワイヤ１００を貫通孔４２Ａに挿通して支持部材
１０２、１０４に取り付ける接触検出用ワイヤ１００の
張設作業を容易に行うことができる。

【００３４】また、前記一対のブラケット４２、４２に
は、加工液の飛散防止カバー１３０が設置されている。
この飛散防止カバー１３０は、ブラケット４２に形成さ
れた座に蝶ネジ１３２によって取り付けられ、飛散防止
カバー１３０には、この蝶ネジ１３２が挿入される長穴
１３０Ａが形成されている。また、飛散防止カバー１３
２には、前記接触検出用ワイヤ１００の直径よりも若干
大きい幅の溝１３０Ｂが形成されている。これにより、
飛散防止カバー１３０は接触検出用ワイヤ１００に接触
しない状態で、前記貫通孔４２Ａを一部を塞ぐので、前
記ブラケット４２の内部に連通する面積を小さくするこ
とができ、貫通孔４２Ａからの加工液の飛散を防止する
ことができる。また、前記飛散防止カバー１３０は、蝶
ネジ１３２を緩めることにより、矢印１３４方向にスラ
イドするので、簡単に前記貫通孔４２Ａを露出させるこ
とができ、接触検出用ワイヤ１００の張設作業を容易に
行うことができる。

【００３５】前記のごとく構成された本発明の実施の形
態に係るワイヤソーのワイヤ断線検出装置の作用は次の
通りである。インゴットの切断中に走行するワイヤ１４
が断線すると、その断線したワイヤ１４は接触検出用ワ
イヤ１００に接触し、接触検出用ワイヤ１００の張力を
大きく変動させる。接触検出用ワイヤの張力は、ロード
セルにより常時検出されており、その検出値は微分回路
１２４を介して常に制御部１２６に出力されている。し
たがって、前記ワイヤ１４の断線による接触検出用ワイ
ヤ１００の張力変動は、制御部１２６によって検出さ
れ、検出された場合には、制御部１２６は、ワイヤ１４
が断線したと判断して、ワイヤソー１０の運転を停止す
る。

【００３６】ところで、前記接触検出用ワイヤ１００
は、ワイヤ１４やグルーブローラ１８Ａ〜１８Ｄの交換
作業の度に着脱作業を必要とし、装着した際には必ず張
力調節装置によって張力調節する必要があった。したが
って、張力調節装置に加工液が付着していると、張力調
節が正確にできないため、従来は、張力調節する度に張
力調節装置を洗浄していた。

【００３７】これに対し、本実施の形態のワイヤ断線検
出装置は、張力調節装置が、内カバー６０の外部に取り
付けられた支持部材１０２に設けられる。したがって、
ワイヤ列２０に供給した加工液が張力調節装置に付着す
ることはない。これにより、張力調節装置を洗浄する必
要がなくなり、接触検出用ワイヤ１００の着脱作業を容
易に行うことができる。

【００３８】また、本実施の形態のワイヤ断線検出装置
では、接触検出用ワイヤ１００の張力変動を検出するロ
ードセル１２２を、内カバー６０の外部に設置された支
持部材１０４に設けているので、ロードセル１２２への
加工液の付着を防止することができる。これにより、前
記ロードセルが加工液によって温度変動することがない
ので、接触検出用ワイヤ１００の張力変動を精度良く測
定することができる。

【００３９】また、本実施の形態のワイヤ断線検出装置
では、接触検出用ワイヤ１００が進入ワイヤ１４Ａと周
回ワイヤ１４Ｂの間に設置されているので、ワイヤ１４
がどこで断線しても直ぐに検知することができる。すな
わち、グルーブローラ１８Ａ〜１８Ｄ間でワイヤ１４が
断線した場合、断線したワイヤ１４がグルーブローラ１
８Ａ〜１８Ｄ間を周回する際の遠心力によって前記接触
検出用ワイヤ１００に接触する。また、グルーブローラ
１８Ａ〜１８Ｄ間の外部でワイヤ１４が断線した場合、
断線によって進入ワイヤ１４Ａの張力が瞬時に低下し、
進入ワイヤ１４Ａが垂れ下がって接触検出用ワイヤ１０
０に接触する。このように、ワイヤ１４がどの位置で断
線しても直ぐに検出し、制御部１２６が瞬時にワイヤソ
ー１０の運転を停止するので、断線したワイヤ１４が暴
れて他の機器を切断することがない。

【００４０】また、本実施の形態のワイヤ断線検出装置
では、ブラケット４２に接触検出用ワイヤ１００の張設
するための貫通孔４２Ａを形成したので、接触検出用ワ
イヤ１００の張設作業を容易に行うことができる。さら
に、飛散防止カバー１３０をブラケット４２に取り付け
て、前記貫通孔４２Ａの一部を塞いたので、加工液の漏
出を防止することができる。

【００４１】なお、上述した実施の形態では、ワイヤ１
４の断線検出部材として、接触検出用ワイヤ１００を用
い、その接触検出用ワイヤ１００の張力変動をロードセ
ル１２２で検出することによりワイヤ１４の断線を検知
したが、これに限定するものではない。たとえば、前記
接触検出用ワイヤ１００に一定の電圧を印加し、接触検
出用ワイヤ１００を断線したワイヤ１４との接触により
切断するように構成するとともに、電流計で前記接触検
出用ワイヤ１００に流れる電流を検知するように構成す
る。この場合、ワイヤ１４が断線すると、断線したワイ
ヤ１４によって接触検出用ワイヤ１００が断線し、接触
検出用ワイヤ１００に流れる電流値が零になる。制御部
１２６は、電流計の測定値が零になったことにより、ワ
イヤ１４の断線を判断する。

【００４２】また、ワイヤ断線検出装置の別の例として
は、走行するワイヤ１４に一定の電圧を印加するととも
に、前記接触検出用ワイヤ１００に接続した電流計で前
記接触検出用ワイヤ１００に流れる電流を検出する。こ
の場合、ワイヤ１４が断線すると、断線したワイヤ１４
に接触した接触検出用ワイヤ１００が断線し、接触検出
用ワイヤ１００に電流が流れる。制御部１２６は、この
通電状態を検知して、ワイヤ１４の断線を判断する。

【００４３】また、別の例としては、検出部材として接
触検出バーを使用し、振動センサでこの接触検出バーの
振動を検知する。この場合、ワイヤ１４が断線すると、
断線したワイヤ１４が接触検出バーに接触して振動し、
制御部１２６は、この振動を検知して、ワイヤの断線を
認識する。上述したどのワイヤ断線検出装置の場合に
も、検出部材の支持部材を内カバー６０の外部に設置す
ることにより、支持部材への加工液の付着を防止するこ
とができ、ワイヤソーの断線検出装置のメンテナンスを
容易に行うことができる。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のワイヤソ
ーの断線検出装置によれば、加工室を一対の支持板を一
部とするカバーで覆い、検出部材の支持部材を前記カバ
ーの外部に設けたので、支持部材に加工液が付着するこ
とがなく、検出部材の着脱作業を容易に行うことができ
る。また、前記検出部材を、複数のグルーブローラ間を
走行するワイヤと、複数のグルーブローラへ出入するワ
イヤとの間に配置したので、ワイヤの断線位置にかかわ
らず、ワイヤの断線を迅速に検出することができ、ワイ
ヤソーの安全性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るワイヤ断線検出装置
を採用したワイヤソーの斜視図

【図２】図１に示したワイヤソー本体の構成機器を露出
させたワイヤソーの斜視図

【図３】図１に示したワイヤソーの外カバーを示す斜視
図

【図４】図１に示したワイヤソーの内カバーを示す斜視
図

【図５】図４に示した内カバーに形成した各戸や窓を開
放した斜視図

【図６】本発明に係るワイヤ断線検出装置の主要構成部
を示す斜視図

【図７】本発明の実施の形態に係るワイヤ断線検出装置
の概略構成図

【図８】図６に示した主要構成部を拡大した側面図

【符号の説明】

１０…ワイヤソー １４…ワイヤ ２０…ワイヤ列 ４２…ブラケット １００…接触検出用ワイヤ １０２、１０４…支持部材 １２２…ロードセル １２６…制御部

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛
   けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に被加工物を押し付
   けて多数枚のウェーハに切断するワイヤソーに設けら
   れ、断線したワイヤが接触されてワイヤの断線を検出す
   る検出部材が備えられたワイヤ断線検出装置において、 前記複数個のグルーブローラが設置された加工室を覆う
   カバーに貫通孔が形成され、該貫通孔を介して前記カバ
   ーの内部に前記検出部材が挿通され、該検出部材を支持
   する支持部材が前記カバーの外部に設けられたことを特
   徴とするワイヤソーのワイヤ断線検出装置。
2. 【請求項２】前記検出部材は、一対の前記支持部材によ
   って張設された接触検出用ワイヤであり、該接触検出用
   ワイヤの張力変動によって前記ワイヤの断線が検出され
   ることを特徴とする請求項１記載のワイヤソーのワイヤ
   断線検出装置。
3. 【請求項３】前記一対の支持部材のうち一方の支持部材
   には、前記接触検出用ワイヤの張力調節手段が設けら
   れ、他方の支持部材には、接触検出用ワイヤの張力検知
   手段が設けられていることを特徴とする請求項２記載の
   ワイヤソーのワイヤ断線検出装置。
4. 【請求項４】前記検出部材は、前記複数個のグルーブロ
   ーラ間を走行するワイヤと、前記複数個のグルーブロー
   ラに対して出入するワイヤとの間に設けられたことを特
   徴とする請求項１、２または３記載のワイヤソーのワイ
   ヤ断線検出装置。