JP2000200551A

JP2000200551A - 陰極線管の製造方法およびその装置

Info

Publication number: JP2000200551A
Application number: JP11276822A
Authority: JP
Inventors: Yasuo Wakamatsu; 保夫若松; Kazunari Hirayama; 和成平山
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1998-10-26
Filing date: 1999-09-29
Publication date: 2000-07-18
Also published as: KR20000029295A; KR100378057B1; TW434645B; US6520818B1

Abstract

(57)【要約】【課題】陰極線管の構成部材に所定の処理を施す際
に、不良が発生しても原因を容易に解明することの可能
な陰極線管の製造方法および装置を提供すること。【解決手段】陰極線管のパネルに関する固有情報を自
動的に設定する工程、前記陰極線管のパネルの内面に、
複数の処理を行い、蛍光体膜パターンを形成する工程、
前記蛍光体膜パターン形成工程において、処理条件を自
動的に測定する工程、前記測定工程で得られた測定値を
前記固有情報と対応させて自動的に記憶する工程、前記
処理工程で得られたパネルを検査し、良否を判定する工
程、および前記良否判定工程において不良と判定された
場合に、不良コードを前記固有情報と対応させて自動的
に記憶する工程を具備することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、陰極線管の構成部
材に所定の処理を施す陰極線管の製造方法および製造装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、陰極線管の構成部材であるパネ
ルの内面に所望のパターンの蛍光体膜を形成する工程で
は、まず、図７および図８に示すように、パネル１１を
構成するガラスの曲面状の内面に所定パターンの黒色膜
１２を形成する。この黒色膜１２のパターンは、たとえ
ば図９に示すように、円形の多数の孔１３を規則性を持
って配置したものである。

【０００３】黒色膜１２は、レジスト塗布工程、シャド
ウマスクを通して露光を行う露光工程、シャドウマスク
を外して行う現像工程、およびダグと呼ばれる黒色導電
性物質の塗布工程を経て、パネル１１の内面に形成され
る。

【０００４】次に、図１０に示すように、青、緑、赤の
３色の蛍光体膜１４を黒色膜１２の各孔１３内にそれぞ
れ形成する。この蛍光体膜１４の形成の際にも、各色蛍
光体の塗布、パネル１１とシャドウマスクとを組合せ、
シャドウマスクを通しての露光、およびシャドウマスク
を外して行う現像工程を経て、３色の蛍光体膜１４が所
望のパターンで塗布された蛍光面が形成される。最終的
には、フィルミング工程、あるいはアルミ膜１５をスパ
ッタによって形成するアルミ工程を経て、蛍光面が形成
される。

【０００５】しかし、このような蛍光面形成工程では、
種々の不良発生の可能性が考えられる。たとえば、露光
前のパネル温度を所望の値にしておかないと、露光する
場合、熱膨張の影響で光の照射位置がずれ、ひいては蛍
光体膜への電子ビームのランディング位置がずれてしま
い、白色均一性（ＷＵ：ホワイト・ユニフォーミティ）
と呼ばれる青、緑、赤の３色を光らせたときの均一な白
さが出ないという品位の劣化を招くことがある。

【０００６】また、現像工程では、現像液をノズルから
蛍光体膜に噴出させて蛍光体膜を現像するが、この現像
の際の圧力が高過ぎると、蛍光体を余分に除去してしま
う。この場合、蛍光体膜厚が減少して輝度を劣化させた
り、ドット落ちと呼ばれる蛍光体の一部が剥がれてしま
うという不良が生じる。

【０００７】反対に、現像の圧力が弱すぎると、混色と
いわれる、所望の色に他の色が混ざってしまうという不
良が生じる。また、現像スプレーの圧力変動や場所によ
る圧力のむらがあると、現像むらなどの不良が発生す
る。

【０００８】このように、現像液の圧力および温度も、
現像に影響を与える重要な因子となっており、さらに、
蛍光体の粘度、密度、および温度も、蛍光体膜の形成に
重要な役割を担っている。したがって、品位の高い蛍光
体膜の形成には、蛍光体を塗布するときのパネルの温
度、蛍光体の粘度や密度や温度、現像液の温度や圧力、
露光するときのパネルの温度、製造室内の温度、湿度お
よび清浄度等、製造条件を一定にすることが重要であ
る。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】このようにして形成さ
れる蛍光面のでき具合は、通常、蛍光体膜製造装置の出
口部分において検査される。この検査作業は、パネルを
パネルコンベア上にて、あるいは、パネルコンベアから
アンロードしたライトテーブル上にて、それぞれ人手に
よって行われる。このような人手による方法では、膜の
品位や欠点を検査するが、不良が発生した場合、その原
因を探すことが極めて困難であった。すなわち、プロセ
スの因子が多すぎて、熟練したエンジニアや作業者でも
なかなか原因を特定することが難しいという問題を有し
ている。

【００１０】本発明の目的は、陰極線管の構成部材に不
良が発生しても、その原因を容易に解明することの可能
な陰極線管の製造方法を提供することにある。

【００１１】本発明の他の目的は、陰極線管の構成部材
に不良が発生しても、その原因を容易に解明することの
可能な陰極線管の製造装置を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、陰極線管の構成部材に関する固有情報を
自動的に設定する工程、前記陰極線管の構成部材に１つ
以上の処理を施す工程、前記処理工程において、処理条
件を自動的に測定する工程、前記測定工程で得られた測
定値を前記固有情報と対応させて自動的に記憶する工
程、および前記処理工程で得られた構成部材を検査し、
良否を判定する工程を具備する陰極線管の製造方法を提
供する。

【００１３】また、本発明は、陰極線管のパネルに関す
る固有情報を自動的に設定する工程、前記陰極線管のパ
ネルの内面に、複数の処理を行い、蛍光体膜パターンを
形成する工程、前記蛍光体膜パターン形成工程におい
て、処理条件を自動的に測定する工程、前記測定工程で
得られた測定値を前記固有情報と対応させて自動的に記
憶する工程、前記処理工程で得られたパネルを検査し、
良否を判定する工程、および前記良否判定工程において
不良と判定された場合に、不良コードを前記固有情報と
対応させて自動的に記憶する工程を具備する陰極線管の
製造方法を提供する。

【００１４】更に、本発明は、陰極線管の構成部材に関
する固有情報を自動的に設定する手段、前記陰極線管の
構成部材に１つ以上の処理を施す手段、前記処理手段に
よる処理条件を自動的に測定する手段、前記測定手段に
より得られた測定値を前記固有情報と対応させて自動的
に記憶するコントローラー、および前記処理手段により
得られた構成部材を検査し、良否を判定する手段を具備
する陰極線管の製造装置を提供する。

【００１５】本発明は、構成部材毎に固有の情報をそれ
ぞれ設定し、入力しておき、この構成部材毎に設定され
た固有の情報と、構成部材に対し所定の処理が施された
ときの処理条件の測定値とを、互いに対応させて記憶し
ておくことを特徴とする。

【００１６】このように構成される本発明の陰極線管の
製造方法および製造装置によると、処理後の検査によ
り、構成部材の良否を判定し、構成部材が不良と判定さ
れた場合、その原因を容易に解明することができる。

【００１７】また、陰極線管の構成部材に対して所定の
処理を施す設備の情報を、構成部材毎に設定された固有
の情報と対応させて記憶しておくことにより、処理後の
検査により、構成部材の良否を判定し、構成部材が不良
と判定された場合、その原因を容易に解明することがで
きる。

【００１８】更に、陰極線管の構成部材に対して所定の
処理を施すために用いられる部品の特性値を測定し、こ
の測定された特性値を構成部材毎に設定された固有の情
報と対応させて記憶しておくことにより、処理後の検査
により、構成部材の良否を判定し、構成部材が不良と判
定された場合、その原因を容易に解明することができ
る。

【００１９】更にまた、陰極線管の構成部材に対して所
定の処理を施す工程途中で形成された半製品の特性値を
測定し、この測定された特性値と、構成部材毎に設定さ
れた固有の情報とを、対応させて記憶しておくことによ
り、処理後の検査により、構成部材の良否を判定し、構
成部材が不良と判定された場合、その原因を容易に解明
することができる。

【００２０】そしてまた、構成部材の良否を判定し、不
良品に対しては不良コードを入力し、この入力された不
良コードを構成部材毎に設定された固有の情報と対応さ
せて記憶しておくことにより、処理後の検査により、構
成部材の良否を判定し、構成部材が不良と判定された場
合、その原因を容易に解明することができる。

【００２１】また、これらの情報を互いに対応させて記
憶させておく手段として、リレーショナルデータベース
（企業の情報システムに利用される代表的なデータベー
ス構造の１つ）を用いることにより、複合した条件での
検索が可能となり、任意の条件での情報の抽出が可能と
なる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施
形態に係る陰極線管の製造装置を示すシステムブロック
図で、図２は、その設備構成を示す説明図である。

【００２３】図２において、参照数字２１は蛍光面形成
装置の全体を示し、この蛍光面形成装置２１による蛍光
面形成工程の前半は黒色膜塗布工程２２に対応し、後半
は蛍光体膜塗布工程２３に対応する。

【００２４】この蛍光面形成装置２１は、複数台の塗布
装置２５Ａ〜２５Ｆ、および、これら塗布装置の間、即
ち、塗布装置２５Ａと塗布装置２５Ｂの間、塗布装置２
５Ｃと塗布装置２５Ｄの間、塗布装置２５Ｄと塗布装置
２５Ｅの間、および塗布装置２５Ｅと塗布装置２５Ｆの
間に配置された複数台の露光装置２６ａ〜２６ｄとを備
えている。

【００２５】これら塗布装置２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｄ，
２５Ｅ，２５Ｆのそれぞれの前段には、パネル１１と図
示しないシャドウマスクとを分離する分離装置２７ａ〜
２７ｅが配置され、塗布装置２５Ａ，２５Ｃ，２５Ｄ，
２５Ｅのそれぞれの後段には、分離されたパネル１１と
シャドウマスクとを再び一体化する合体装置２８ａ〜２
８ｄが配置されている。なお、分離装置２７ａ〜２７ｅ
によって分離されたシャドウマスクは、搬送装置２９ａ
〜２９ｄによって合体装置２８ａ〜２８ｄまで搬送され
るように構成される。

【００２６】また、各塗布装置は、具体的には、レジス
ト塗布装置２５Ａ、ダグ塗布装置２５Ｂ、青色蛍光体塗
布装置２５Ｃ，緑色蛍光体塗布装置２５Ｄ，赤色蛍光体
塗布装置２５Ｅ、フィルミング工程などの最終的な仕上
をする仕上装置２５Ｆである。

【００２７】これら塗布装置２５Ａ〜２５Ｆは、それぞ
れ、シャドウマスクを取り外したパネル１１を、図３に
示すように保持するキャリアヘッド３１を有し、このキ
ャリアヘッド３１は、スピンモータ３２とともにアーム
３３の先端部に取り付けられ、スピンモータ３２により
スピン駆動される。また、キャリアヘッド３１に保持さ
れたパネル１１は、アーム３３により、図示しない洗浄
装置、塗布装置、乾燥装置などの各処理位置で停止する
ように、円軌道に沿って間歇的に搬送される。

【００２８】さらに、各露光装置２６ａ〜２６ｄは、塗
布装置間にそれぞれ複数台配置されており、塗布装置に
おいてレジスト、ダグ、または蛍光体が塗布され、合体
装置２８ａ〜２８ｄによってシャドウマスクが取付けら
れたパネル１１の内面を露光する。なお、それぞれの位
置に複数台づつ設けたのは、所定の露光時間を確保する
ためであり、必要な露光時間に対応した台数が設けられ
ている。

【００２９】ここで、陰極線管の構成部材、たとえばパ
ネル１１に、蛍光面を形成するための所定の処理を施す
際に、所定の処理工程に入る前にパネル１１毎に固有の
パネル情報を設定し、記憶しておき、この記憶されたパ
ネル情報と、パネル１１に対して施された処理に関する
情報とを互いに対応させて記憶しておくことにより、処
理後のパネル１１に不良が発生した場合に、パネル１１
の不良原因を迅速かつ容易に解明することができる。

【００３０】また、これら処理に関する情報としては、
パネル１１に対して所定の処理が施されるときの処理プ
ロセス条件、パネル１１に対して所定の処理を施す設
備、例えば露光処理を施すための露光装置２６に関する
情報、パネル１１に対して所定の処理を施すために用い
られる部品の特性値、例えばシャドウマスクの透過率等
の特性値、パネル１１に対する処理工程の途中で形成さ
れた半製品に関する特性値、例えば黒色膜のサイズなど
の特性値、検査後の不良品に対して入力される不良コー
ドなどがある。

【００３１】このような情報を設定し、記録するため
に、図２に示す装置では、次のような手段が設置されて
いる。まず、蛍光面形成装置２１の入口部分には、パネ
ル１１に固有の情報、すなわちパネル情報を設定する手
段として、印字装置３５が設置されている。このパネル
情報としては、陰極線管の品種、連続番号、製造年月日
などが適しており、図４に示すように、パネル１１の側
面に、例えばバーコード３５ａが印字される。

【００３２】また、分離装置２７によってパネル１１か
ら分離されたシャドウマスク用の搬送装置２９ａの後段
部分に、部品であるシャドウマスクの透過率を測定する
マスク透過率測定手段３６が、部品特性測定手段として
設けられている。さらに、ダグ塗布装置２５Ｂの後段
に、半製品である黒色膜を備えたパネル１１の、黒色膜
のサイズを測定する半製品特性測定手段としての黒色膜
サイズ測定手段３７が設けられている。

【００３３】さらにまた、黒色膜塗布工程２２の出口部
分および蛍光体膜塗布工程２３の出口部分には、パネル
情報読取用のリーダ３８ａ，３８ｂがそれぞれ設けられ
ている。また、これら黒色膜塗布工程２２および蛍光体
膜塗布工程２３の出口部分では、検査者３９ａ，３９ｂ
によりパネル１１が良否判定され、不良品に対して不良
コードを入力する端末装置４０ａ，４０ｂがそれぞれ設
けられている。

【００３４】これら印字装置３５、マスク透過率測定手
段３６、黒色膜サイズ測定手段３７、リーダ３８ａ，３
８ｂ、端末装置４０ａ，４０ｂは、図１で示すように、
それぞれ工場基幹ＬＡＮ４１を介して全体制御用の制御
手段としての制御装置４２に接続されている。また、こ
の制御装置４２には、パネル１１に対して所定の処理を
施すための設備の情報、たとえば露光装置２６ａ〜２６
ｄの番号等の情報を登録することができる。

【００３５】また、レジスト塗布装置２５Ａ、ダグ塗布
装置２５Ｂ、各色蛍光体塗布装置２５Ｃ，２５Ｄ，２５
Ｅおよび仕上装置２５Ｆに対応する各プロセス毎にプロ
セス制御用のコントローラ４３ａ，４３ｂ・・が設けら
れており、これらコントローラ４３ａ，４３ｂ・・も工
場基幹ＬＡＮ４１を介して制御装置４２に接続されてい
る。

【００３６】前述のように、パネル１１に対して所定の
処理が施されるときの処理プロセス条件が得られるが、
これらの情報を得るために各プロセス毎に測定器として
の温度計４５、圧力計４６、粘度計４７、湿度計４８お
よび照度計４９が、それぞれ必要な数だけ設置されてお
り、これらにより得た測定値は、処理プロセス条件とし
て分散ネットワーク５１を通してコントローラ４３に入
力され、基幹ＬＡＮ４１を介して制御装置４２に入力さ
れる。

【００３７】そして、処理プロセス条件としては、例え
ば塗布装置２５Ａ〜２５Ｆにローディング・アンローデ
ィングするときのパネル１１の温度、現像液の圧力、蛍
光体の温度、密度、粘度、露光前のパネル１１の温度、
露光装置２６ａ〜２６ｄの光源の照度および製造装置周
囲の温度や湿度がある。

【００３８】また、各温度計４５、圧力計４６、粘度計
４７、湿度計４８および照度計４９は、これらの値を測
定し、それらの計測値は最終的には制御装置４２に入力
され、制御装置４２はこれらの計測データを演算処理し
てその結果を表示する機能を備えている。

【００３９】次に、上記実施の形態に係る装置の動作に
ついて説明する。

【００４０】まず、図示しない前工程からシャドウマス
クを内面に取り付けたパネル１１が、図２に示す蛍光面
形成装置２１の黒色膜塗布工程２２の入口部分に搬送さ
れてローディングされると、印字装置３５によって固有
のパネル情報がパネル１１の側面に印字され、設定され
る。このローディングされたパネル１１のパネル情報
は、基幹ＬＡＮ４１を介して制御装置４２に入力され
る。

【００４１】また、分離装置２７ａにより、パネル１１
からシャドウマスクが分離された後、パネル１１はレジ
スト塗布装置２５Ａにローディングされる。このローデ
ィングされたパネル１１は、図３に示すキャリアヘッド
３１に保持されて、スピン駆動されながら円軌道上を間
歇送りされ、洗浄、レジスト塗布、乾燥の各工程におい
て所定の処理が施される。このときの処理プロセス条件
として、図１で示した各種測定器で測定された値が、制
御装置４２に入力される。

【００４２】その後、パネル１１は、レジスト塗布装置
２５Ａからアンロードされ、合体装置２８ａでシャドウ
マスクと一体化され、シャドウマスクと合体したパネル
１１は露光装置２６ａにローディングされて、そこで露
光される。

【００４３】また、露光後は、分離装置２７ｂにより再
びパネル１１からシャドウマスクが分離され、パネル１
１はダグ塗布装置２５Ｂにローディングされる。そし
て、黒色膜１２の材料であるダグが塗布され、所望の工
程を経てパネル１１の内面に黒色膜１２が形成され、半
製品である、黒色膜１２を備えたパネル１１が得られ
る。

【００４４】この黒色膜塗布工程２２の出口部分では、
黒色膜サイズ測定手段３７によって黒色膜１２のサイズ
が測定されるとともに、リーダ３８ａによりパネル１１
の１枚毎にパネル情報が読み込まれ、これらの値は制御
装置４２に入力される。

【００４５】さらに、検査者３９ａによって、黒色膜１
２が所望の品位で形成されたかを検査する。このとき不
良が発見されると、検査者３９は不良コードを端末装置
４０ａ（不良コード入力手段）から制御装置４２に入力
する。

【００４６】また、この黒色膜塗布工程２２内では、分
離装置２７によってパネル１１から分離されたシャドウ
マスクの透過率をマスク透過率測定手段３６によって測
定し、その測定値は制御装置４２に入力される。

【００４７】次に、パネル１１は蛍光体膜塗布工程２３
に移行し、青色蛍光体を塗布する蛍光体塗布装置２５Ｃ
にて青色蛍光体が塗布され、その後、合体装置２８によ
りシャドウマスクが合体され、露光装置２６ｂにより露
光され、分離装置２７ｃにより再びシャドウマスクが分
離される。

【００４８】さらに、同様にして蛍光体塗布装置２５Ｄ
において緑色蛍光体が塗布され、その後も、同様にして
赤色蛍光体塗布装置２５Ｅにて赤色蛍光体が塗布され
る、そして、最終的には仕上装置２５Ｆにより、フィル
ミング工程などの仕上の処理をする。

【００４９】このような蛍光体膜塗布工程２３の出口部
分でも、リーダ３８ｂによりパネル１１の１枚毎にパネ
ル情報が読み込まれ、検査者３９ｂによって蛍光体膜が
所望の品位で形成されたかが検査される。そして、不良
が見つかると、不良コードが端末装置４０ｂ（不良コー
ド入力手段）から制御装置４２に入力される。

【００５０】このようにしてパネル１１に対する蛍光面
が形成されるが、このときの各工程での処理プロセス条
件、つまり、パネル１１の温度、現像液の温度や圧力、
蛍光体の粘度や密度や温度、露光装置２６の光源の積算
光量等の測定値が制御装置４２に入力される。制御装置
４２では、既に入力されているパネル情報に付加する形
で互いに対応を取って記憶させる。

【００５１】また、制御装置４２は、パネル１１が各塗
布装置２５Ａ〜２５Ｅおよび仕上装置Ｆを経由する毎
に、パネル情報をシフトさせ、対応する処理プロセスに
おいて入力される各測定値や使用された露光装置２６ａ
〜２６ｄの番号、シャドウマスク透過率などの特性値、
黒色膜サイズや、入力された不良コードなどを、それぞ
れパネル情報に付加する形で互いに対応をとって記憶さ
せる。

【００５２】このようにして得られたデータは、例え
ば、図５で示すように処理される。図５は、測定された
パネル１１（パネルＮｏ．１２３４５）のパネル温度を
レーダチャートに示したものである。すなわち、蛍光面
形成装置２１による各処理プロセスにおいて収集された
各位置におけるパネル１１の温度が、パネル１１の１枚
毎に図示されており、パネル１１の製造履歴が即座に分
かるため、問題点の把握が容易になる。

【００５３】図５では、温度の上限警報領域５３（図
中、多数の水平線により表わされる環状領域）、下限警
報領域５４（図中、多数の垂直線により表わされる環状
領域）、下限ライン５５、上限ライン５６、適正領域５
７（下限ライン５５と上限ライン５６の間の環状領域）
を設定して、これらと実際の温度５８との関係を示して
おり、この結果から警報を出すこともできる。

【００５４】また、このような内容から、工程異常を即
座に掴むことができ、工程へのフィードバックを迅速に
行うことが可能である。更に、検査者３９ａ，３９ｂが
入力した不良コードを解析することにより、その不良に
特有な傾向を掴むことができ、不良対策を的確に行うこ
とができる。更にまた、検査者名を入力することによ
り、検査者毎の検査結果を知ることができる。

【００５５】また、データの表示方法として、図６で示
すように、複数枚のパネル１１のたとえば温度分布を不
良項目別に示せば、不良品の集団の温度分布傾向と、良
品の集団温度分布の傾向を比較することによって、不良
発生との関連付けを求めることもできる。

【００５６】図６は、例えば、蛍光面形成工程におけ
る、蛍光体を塗布する直前のパネル温度をパネル毎に測
定し、温度と良品、不良品を集計したグラフであり、横
軸にパネル温度、縦軸に頻度を示している。黒色が不良
品、良品である。このグラフから、パネル温度が２１℃
のときは、約３０％が不良となり、それより低くなる
と、すべてが不良となることがわかる。また、温度が２
３．６℃以上になっても、不良品が発生することがわか
る。

【００５７】更に、入力されるデータは、処理プロセス
における測定値データだけでなく、オンラインで計測さ
れた部品が持っている特性値、たとえばマスクのホール
サイズ、透過率などのデータも含まれているため、これ
らを参照することにより、蛍光体膜の品位と処理プロセ
ス条件や部品が持っている特性値との関係を掴むことが
できる。

【００５８】更にまた、半製品に関する特性値、たとえ
ばＢＣ（ＢｌａｃｋＣｏａｔｉｎｇ）サイズや、陰極
線管となって真空で動作させたときのＷＵ（Ｗｈｉｔｅ
Ｕｎｉｆｏｒｍｉｔｙ）の測定値を参照できるように
すれば、陰極線管の品質を、処理プロセスにおける測定
値や、部品が持っている特性値などと関連付けすること
ができ、迅速に工程解析、不良対策を行うことができ
る。

【００５９】また、すべての情報をリレーショナルデー
タベースを用いてデータベース化しておくことが出来
る。即ち、陰極線管製造工程における各種データを、自
由なサンプリング周期でデータベースに格納する。この
場合、所定の製品についての、各測定点におけるデータ
とその時のワークの番号とを同時にデータベースに格納
することにより、測定値とワークとを関係付けすること
が出来る。このようなデータベースから、複合した条件
検索による過去の任意の情報を検索することができ、任
意の抽出条件での製造条件の解析が可能となる。

【００６０】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、陰極線管の構成部材、例えばパネルに所定の処
理を施す場合、そのパネル毎の固有の情報と、測定され
た処理プロセス条件のデータとを対応させて記憶してお
くことにより、不良が発生しても、迅速な一品別、不良
項目別、時間帯別の工程解析により、その原因を容易に
解明して、不良対策を行うことができる。また、解析デ
ータを応用し、適正な製造条件の設定にフィードバック
することが可能である。

【００６１】また、これらすべての情報をリレーショナ
ルデータベースを用いてデータベース化しておくこと
で、複合した条件検索による過去の任意の情報を検索す
ることができ、任意の抽出条件での製造条件の解析が可
能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る陰極線管の製造装置
を示すシステムブロック図。

【図２】本発明の一実施形態に係る陰極線管の製造工程
を示す図。

【図３】本発明の一実施形態に係る陰極線管の製造工程
で用いる塗布装置の一部の構造を示す図。

【図４】本発明の一実施形態に係る陰極線管の製造工程
における、パネルに印字されたパネル情報を示すパネル
の側面図。

【図５】本発明の一実施形態に係る陰極線管の製造工程
において収集したデータの表示例を示すレーダチャー
ト。

【図６】本発明の一実施形態に係る陰極線管の製造工程
において収集したデータの表示例を示すグラフ。

【図７】一般的な陰極線管のパネルを示す平面図。

【図８】一般的な陰極線管のパネルを示す正面図。

【図９】一般的な陰極線管のパネル内面に形成される黒
色膜を示す説明図。

【図１０】陰極線管のパネル内面に形成される蛍光面の
一部を拡大して示す断面図。

【符号の説明】

１１…パネル１２…黒色膜２１…蛍光面形成装置２５Ａ〜２５Ｆ…塗布装置２６ａ〜２６ｄ…露光装置２７ａ〜２７ｅ…分離装置２８ａ〜２８ｄ…合体装置２９ａ〜２９ｄ…搬送装置３１…キャリアヘッド３２…スピンモータ３３…アーム３５…印字装置３５ａ…バーコード３６…マスク透過率測定手段３７…黒色膜サイズ測定手段３８ａ，３８ｂ…パネル情報読取用のリーダ３９ａ，３９ｂ…検査者４０ａ，４０ｂ…端末装置４１…工場基幹ＬＡＮ４２…制御装置。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】陰極線管の構成部材に関する固有情報を自
動的に設定する工程、前記陰極線管の構成部材に１つ以上の処理を施す工程、前記処理工程において、処理条件を自動的に測定する工
程、前記測定工程で得られた測定値を前記固有情報と対応さ
せて自動的に記憶する工程、および前記処理工程で得ら
れた構成部材を検査し、良否を判定する工程を具備する
ことを特徴とする陰極線管の製造方法。
【請求項２】前記処理を行う設備の情報が、前記固有情
報と対応して自動的に記憶されることを特徴とする請求
項１に記載の方法。
【請求項３】前記処理に用いられる部品の特性値が測定
され、得られた測定値が前記固有情報と対応して自動的
に記憶されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】前記処理が行われる途中の半製品の特性値
が測定され、得られた測定値が前記固有情報と対応して
自動的に記憶されることを特徴とする請求項１に記載の
方法。
【請求項５】前記良否判定工程において不良と判定され
た場合に、不良コードが前記固有情報と対応して自動的
に記憶されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項６】陰極線管のパネルに関する固有情報を自動
的に設定する工程、前記陰極線管のパネルの内面に、複数の処理を行い、蛍
光体膜パターンを形成する工程、前記蛍光体膜パターン形成工程において、処理条件を自
動的に測定する工程、前記測定工程で得られた測定値を
前記固有情報と対応させて自動的に記憶する工程、前記処理工程で得られたパネルを検査し、良否を判定す
る工程、および前記良否判定工程において不良と判定さ
れた場合に、不良コードを前記固有情報と対応させて自
動的に記憶する工程を具備することを特徴とする陰極線
管の製造方法。
【請求項７】前記処理を行う設備の情報が、前記固有情
報と対応して自動的に記憶されることを特徴とする請求
項６に記載の方法。
【請求項８】前記処理に用いられる部品の特性値が測定
し、得られた測定値が前記固有情報と対応して自動的に
記憶されることを特徴とする請求項６に記載の方法。
【請求項９】前記処理が行われる途中の半製品の特性値
が測定され、得られた測定値が前記固有情報と対応して
自動的に記憶されることを特徴とする請求項６に記載の
方法。
【請求項１０】陰極線管の構成部材に関する固有情報を
自動的に設定する手段、前記陰極線管の構成部材に１つ以上の処理を施す手段、前記処理手段による処理条件を自動的に測定する手段、前記測定手段により得られた測定値を前記固有情報と対
応させて自動的に記憶するコントローラー、および前記
処理手段により得られた構成部材を検査し、良否を判定
する手段を具備することを特徴とする陰極線管の製造装
置。
【請求項１１】前記処理を行う設備の情報を登録する設
備情報登録手段を更に具備し、前記コントローラーは、
前記設備情報登録手段により登録された設備情報を前記
固有情報と対応させて自動的に記憶することを特徴とす
る請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】前記処理に用いられる部品の特性値を測
定する部品特性測定手段を更に具備し、前記コントロー
ラーは、前記部品特性測定手段により測定された測定値
を前記固有情報と対応させて自動的に記憶することを特
徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１３】前記処理が行われる途中の半製品の特性
値を測定する半製品特性測定手段を更に具備し、前記コ
ントローラーは、前記半製品性測定手段により測定され
た測定値を前記固有情報と対応させて自動的に記憶する
ことを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１４】前記良否判定工程において不良と判定さ
れた場合に、不良品に関し不良コードを前記コントロー
ラーに入力する不良コード入力手段を更に具備し、前記
コントローラーは、前記不良コード入力手段により入力
された不良コードを、前記固有情報と対応させて自動的
に記憶することを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１５】前記固有情報および前記測定手段により
得られた測定値を、リレーショナルデータベースを用い
て、対応させて登録する情報登録手段を更に具備するこ
とを特徴とする請求項１０に記載の装置。