JP2000199812A - 複層回折光学素子の製造方法 - Google Patents
複層回折光学素子の製造方法Info
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- JP2000199812A JP2000199812A JP11002236A JP223699A JP2000199812A JP 2000199812 A JP2000199812 A JP 2000199812A JP 11002236 A JP11002236 A JP 11002236A JP 223699 A JP223699 A JP 223699A JP 2000199812 A JP2000199812 A JP 2000199812A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の回折格子を正確にかつ容易に位置合わ
せる。 【解決手段】 （ａ）において、金型１はスリーブ２内
に配置されており、その表面に回折面が形成されてお
り、更に回折面に対向して光学面を形成するための金型
３がスリーブ２内を移動自在に嵌合されている。ここ
で、金型１、３によりスリーブ２内に形成されたキャビ
ティ４内に注入口５から水ガラスＧを注入して硬化さ
せ、回折光学素子Ｘを作成する。次に、（ｂ）におい
て、得られた回折光学素子Ｘを金型３と共に移動して、
金型１と回折光学素子Ｘの間にキャビティ６を形成す
る。このキャビティ６内に注入口５から水ガラスＧと異
なる種類の水ガラスＧ’を注入し硬化させることによ
り、２層回折光学素子を得ることができる。
せる。 【解決手段】 （ａ）において、金型１はスリーブ２内
に配置されており、その表面に回折面が形成されてお
り、更に回折面に対向して光学面を形成するための金型
３がスリーブ２内を移動自在に嵌合されている。ここ
で、金型１、３によりスリーブ２内に形成されたキャビ
ティ４内に注入口５から水ガラスＧを注入して硬化さ
せ、回折光学素子Ｘを作成する。次に、（ｂ）におい
て、得られた回折光学素子Ｘを金型３と共に移動して、
金型１と回折光学素子Ｘの間にキャビティ６を形成す
る。このキャビティ６内に注入口５から水ガラスＧと異
なる種類の水ガラスＧ’を注入し硬化させることによ
り、２層回折光学素子を得ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種の光学系にお
いて使用する複層回折光学素子の製造方法に関するもの
である。
いて使用する複層回折光学素子の製造方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来から屈折系のみにより構成された光
学系においては、分散特性が異なる硝材を組み合わせる
ことによって色収差を低減している。例えば、望遠鏡等
の対物レンズにおいては、分散の小さい硝材を正レン
ズ、分散の大きい硝材を負レンズとし、これらを組み合
わせて用いることにより、光軸上に現れる色収差を補正
している。このため、レンズの構成枚数が制限される場
合や使用可能な硝材が限定されている場合等において
は、色収差が十分に補正できないことがある。
学系においては、分散特性が異なる硝材を組み合わせる
ことによって色収差を低減している。例えば、望遠鏡等
の対物レンズにおいては、分散の小さい硝材を正レン
ズ、分散の大きい硝材を負レンズとし、これらを組み合
わせて用いることにより、光軸上に現れる色収差を補正
している。このため、レンズの構成枚数が制限される場
合や使用可能な硝材が限定されている場合等において
は、色収差が十分に補正できないことがある。
【０００３】硝材の組み合わせにより色収差を補正する
方法に対して、SPIE Vol. 1354 International Lens De
sign Conference(1990) 等の文献に、光学系の一部に回
折作用を有する回折光学素子を設けることにより、色収
差を低減する方法が開示されている。この方法は図８
(a) 、(b) に示すように、屈折光学素子Ａと回折光学素
子Ｂとでは、分散が逆方向に発生するという物理現象を
利用したものである。
方法に対して、SPIE Vol. 1354 International Lens De
sign Conference(1990) 等の文献に、光学系の一部に回
折作用を有する回折光学素子を設けることにより、色収
差を低減する方法が開示されている。この方法は図８
(a) 、(b) に示すように、屈折光学素子Ａと回折光学素
子Ｂとでは、分散が逆方向に発生するという物理現象を
利用したものである。
【０００４】回折光学素子Ｂとしては、例えば所定次数
の回折光に光量を集中できるキノフォーム型やキノフォ
ーム型を階段状に近似したバイナリ型の格子断面形状を
有する位相型の回折光学素子が知られている。このよう
な回折光学素子Ｂにおいて、同心円状の格子周期を素子
中心から外周部に向けて変化させることにより、屈折光
学素子１と同様の収斂作用や発散作用を持たせることが
できる。
の回折光に光量を集中できるキノフォーム型やキノフォ
ーム型を階段状に近似したバイナリ型の格子断面形状を
有する位相型の回折光学素子が知られている。このよう
な回折光学素子Ｂにおいて、同心円状の格子周期を素子
中心から外周部に向けて変化させることにより、屈折光
学素子１と同様の収斂作用や発散作用を持たせることが
できる。
【０００５】キノフォーム型やバイナリ型の回折光学素
子において、回折光学素子の屈折率がｎであるとき、次
式のように設定することにより、格子高さｄを波長λに
おけるｍ次の回折光の回折効率を最も高めることができ
る。 ｄ＝ｍλ／（ｎ−１） ・・・(1)
子において、回折光学素子の屈折率がｎであるとき、次
式のように設定することにより、格子高さｄを波長λに
おけるｍ次の回折光の回折効率を最も高めることができ
る。 ｄ＝ｍλ／（ｎ−１） ・・・(1)
【０００６】また、回折効率とは特定次数の回折光に配
分される光量の割合であり、特定次数の回折光の光量に
対する入射光全体の光量の比で表される。
分される光量の割合であり、特定次数の回折光の光量に
対する入射光全体の光量の比で表される。
【０００７】ところで、位相型回折光学素子の特定次数
の回折光の回折効率は、例えば図９に示すような特性を
有している。図９において、横軸は波長、縦軸は回折効
率を表しており、この回折光学素子は特定波長λＤ（λ
Ｌ≦λＤ≦λＵ）において、特定次数の回折光の回折効
率が最も高くなるように設計されている。従って、それ
以外の波長における回折効率は波長λＤにおける回折効
率に対して相対的に低くなる。これは、格子高さｄが波
長λＤにおいて(1) 式を用いて最適化されているため、
その他の波長においては最適値でなくなるからである。
以下、このλＤのような格子高さｄを決定するために用
いた波長を設計波長、対象となる回折光の次数を設計次
数と呼ぶ。
の回折光の回折効率は、例えば図９に示すような特性を
有している。図９において、横軸は波長、縦軸は回折効
率を表しており、この回折光学素子は特定波長λＤ（λ
Ｌ≦λＤ≦λＵ）において、特定次数の回折光の回折効
率が最も高くなるように設計されている。従って、それ
以外の波長における回折効率は波長λＤにおける回折効
率に対して相対的に低くなる。これは、格子高さｄが波
長λＤにおいて(1) 式を用いて最適化されているため、
その他の波長においては最適値でなくなるからである。
以下、このλＤのような格子高さｄを決定するために用
いた波長を設計波長、対象となる回折光の次数を設計次
数と呼ぶ。
【０００８】例えば、設計波長λＤを５５０ｎｍ、設計
次数を１次とし、回折光学素子を輪帯状の８段の階段構
造により形成した場合には、設計波長λＤにおける回折
効率は約９５％となり、波長６５０ｎｍにおける１次回
折光の回折効率は約８８％、波長４４０ｎｍにおける１
次回折光の回折効率は約８０％になる。また、回折効率
が１００％に満たない分は、設計次数以外の回折光にな
る。
次数を１次とし、回折光学素子を輪帯状の８段の階段構
造により形成した場合には、設計波長λＤにおける回折
効率は約９５％となり、波長６５０ｎｍにおける１次回
折光の回折効率は約８８％、波長４４０ｎｍにおける１
次回折光の回折効率は約８０％になる。また、回折効率
が１００％に満たない分は、設計次数以外の回折光にな
る。
【０００９】この内、設計次数から離れた次数の回折光
は、設計次数の回折光の結像位置に対して大幅にずれる
ため結像には寄与せず、全面にフレアのような状態で周
加される。一方、設計次数±１次の回折光は、結像性能
を評価するような空間周波数領域では解像しないが、完
全にぼけた状態でもなく、低い空間周波数領域では結像
する。このため、この次数の回折光の回折効率が大きい
と、設計次数の回折光の周辺にかなり大きなサイドロー
ブのあるようなスポットとなり、光学性能が悪化すると
いう問題点がある。
は、設計次数の回折光の結像位置に対して大幅にずれる
ため結像には寄与せず、全面にフレアのような状態で周
加される。一方、設計次数±１次の回折光は、結像性能
を評価するような空間周波数領域では解像しないが、完
全にぼけた状態でもなく、低い空間周波数領域では結像
する。このため、この次数の回折光の回折効率が大きい
と、設計次数の回折光の周辺にかなり大きなサイドロー
ブのあるようなスポットとなり、光学性能が悪化すると
いう問題点がある。
【００１０】つまり、回折光学素子を光学系に利用して
良好な光学性能を得るためには、設計次数の回折光の回
折効率を使用全波長帯域に渡って高く維持すると共に、
設計次数近傍の回折光の回折効率を極力、低く抑える必
要がある。
良好な光学性能を得るためには、設計次数の回折光の回
折効率を使用全波長帯域に渡って高く維持すると共に、
設計次数近傍の回折光の回折効率を極力、低く抑える必
要がある。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述の従
来例においては、設計次数近傍の回折光の回折効率を低
く抑え、設計次数の回折光の回折効率を広い波長帯域に
渡って高く維持するために、分散の異なる材質を複数重
ね合わせた回折光学素子が特開平９−１２７３２１号公
報や特開平９−１２７３２２号公報に開示されている。
更に、これらの公報には、製造方法としてモアレ縞を用
いて複数の回折光学素子の位置合わせをする方法が開示
されている。
来例においては、設計次数近傍の回折光の回折効率を低
く抑え、設計次数の回折光の回折効率を広い波長帯域に
渡って高く維持するために、分散の異なる材質を複数重
ね合わせた回折光学素子が特開平９−１２７３２１号公
報や特開平９−１２７３２２号公報に開示されている。
更に、これらの公報には、製造方法としてモアレ縞を用
いて複数の回折光学素子の位置合わせをする方法が開示
されている。
【００１２】しかしながら、これらの公報に開示された
製造方法においては、鏡筒を用いて組み合わせるために
複数の回折光学素子の正確な位置合わせをすることが困
難である。
製造方法においては、鏡筒を用いて組み合わせるために
複数の回折光学素子の正確な位置合わせをすることが困
難である。
【００１３】本発明の目的は、上述の問題点を解消し、
複数の回折格子同士を正確にかつ容易に位置合わせが可
能な複層回折光学素子の製造方法を提供することにあ
る。
複数の回折格子同士を正確にかつ容易に位置合わせが可
能な複層回折光学素子の製造方法を提供することにあ
る。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係る複層回折光学素子は、同一の回折面形状
を複数面重ね合わせた形態を有する回折光学素子を製造
する方法において、同一外筒内に載置した同一の型によ
り異なる種類の材料を順次に重ね合わせて形成すること
を特徴とする。
の本発明に係る複層回折光学素子は、同一の回折面形状
を複数面重ね合わせた形態を有する回折光学素子を製造
する方法において、同一外筒内に載置した同一の型によ
り異なる種類の材料を順次に重ね合わせて形成すること
を特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】図１に示す第１の実施例はガラス
複層回折光学素子の製造方法を示しており、積層回折光
学素子の回折面形状は円形状の平面上に回折格子が１０
０本、格子高さは全て約５μｍ、格子間隔は中心が約５
００μｍ、周辺が約５０μｍで、中心から周辺に向かっ
て、順次に減少する形状とされている。
複層回折光学素子の製造方法を示しており、積層回折光
学素子の回折面形状は円形状の平面上に回折格子が１０
０本、格子高さは全て約５μｍ、格子間隔は中心が約５
００μｍ、周辺が約５０μｍで、中心から周辺に向かっ
て、順次に減少する形状とされている。
【００１６】図１は第１の実施例における２種類の材質
の回折光学素子を同一の外筒内で硬化する状態の概念図
を示し、図２はそれぞれの方法で得られた２層の回折光
学素子を示している。
の回折光学素子を同一の外筒内で硬化する状態の概念図
を示し、図２はそれぞれの方法で得られた２層の回折光
学素子を示している。
【００１７】図１（ａ）において、金型１はスリーブ２
内に配置されていて、その表面に回折面が形成されてお
り、更にこの回折面に対向して光学面を形成するための
金型３がスリーブ２内を移動自在に嵌合されている。こ
こで、金型１、３によりスリーブ２内に形成されたキャ
ビティ４内に注入口５から水ガラスＧを注入して硬化さ
せ、回折光学素子Ｘを作成する。
内に配置されていて、その表面に回折面が形成されてお
り、更にこの回折面に対向して光学面を形成するための
金型３がスリーブ２内を移動自在に嵌合されている。こ
こで、金型１、３によりスリーブ２内に形成されたキャ
ビティ４内に注入口５から水ガラスＧを注入して硬化さ
せ、回折光学素子Ｘを作成する。
【００１８】次に、図１（ｂ）において、得られた回折
光学素子Ｘを金型３と共に移動して、金型１と回折光学
素子Ｘの間にキャビティ６を形成する。このキャビティ
６内に注入口５から水ガラスＧと異なる種類の水ガラス
Ｇ’を注入し硬化させることにより、図２に示すような
２層回折光学素子Ｙを得る。
光学素子Ｘを金型３と共に移動して、金型１と回折光学
素子Ｘの間にキャビティ６を形成する。このキャビティ
６内に注入口５から水ガラスＧと異なる種類の水ガラス
Ｇ’を注入し硬化させることにより、図２に示すような
２層回折光学素子Ｙを得る。
【００１９】図３は比較例のガラス複層回折光学素子の
製造状態を示しており、金型２１は回折面形状を有し、
スリーブ１２内に嵌合させると共に、反対の光学面を形
成するための金型１３をスリーブ１２内に摺動自在に嵌
合して、キャビティ１４をスリーブ１２内に形成する。
このキャビティ１４内に注入口１５から水ガラスＧを注
入して硬化させて、回折光学素子Ｘを得る。
製造状態を示しており、金型２１は回折面形状を有し、
スリーブ１２内に嵌合させると共に、反対の光学面を形
成するための金型１３をスリーブ１２内に摺動自在に嵌
合して、キャビティ１４をスリーブ１２内に形成する。
このキャビティ１４内に注入口１５から水ガラスＧを注
入して硬化させて、回折光学素子Ｘを得る。
【００２０】次に、図３（ｂ）において、金型１１と同
等の回折面形状を有する金型１６を得られた回折光学素
子Ｘと共に、スリーブ２と同等の内径を持つスリーブ１
７内に嵌合してキャビティ１８を形成する。このキャビ
ティ１８内に注入口１９から水ガラスＧと異なる種類の
水ガラスＧ’を注入硬化させ、図２に示すような第１の
実施例で得られたものと同様な２層回折光学素子Ｙを得
ることができる。しかし、この図３の方法で得られた２
層回折光学素子Ｙでは、回折格子のずれが約５μｍ発生
している。
等の回折面形状を有する金型１６を得られた回折光学素
子Ｘと共に、スリーブ２と同等の内径を持つスリーブ１
７内に嵌合してキャビティ１８を形成する。このキャビ
ティ１８内に注入口１９から水ガラスＧと異なる種類の
水ガラスＧ’を注入硬化させ、図２に示すような第１の
実施例で得られたものと同様な２層回折光学素子Ｙを得
ることができる。しかし、この図３の方法で得られた２
層回折光学素子Ｙでは、回折格子のずれが約５μｍ発生
している。
【００２１】先の第１の実施例において得られた２層回
折光学素子Ｙにおける回折格子のずれは約１μｍ以下で
あり、良好な光学性能が得られる。この実施例における
２層回折光学素子Ｙの格子のずれは、形成時の回折格子
ずれにのみ起因するのに対し、前述の比較例における２
層回折光学素子Ｙでは、金型１１及び１層目の回折光学
素子Ｘの設置のずれや、金型１６の格子加工ずれなどの
複数の要因に影響されるため、５μｍのずれが発生した
と考えられる。
折光学素子Ｙにおける回折格子のずれは約１μｍ以下で
あり、良好な光学性能が得られる。この実施例における
２層回折光学素子Ｙの格子のずれは、形成時の回折格子
ずれにのみ起因するのに対し、前述の比較例における２
層回折光学素子Ｙでは、金型１１及び１層目の回折光学
素子Ｘの設置のずれや、金型１６の格子加工ずれなどの
複数の要因に影響されるため、５μｍのずれが発生した
と考えられる。
【００２２】なお、回折面形状は円形状の平面上に回折
格子が１００本、格子高さは全て約１０μｍ、格子間隔
は中心が約５００μｍ、周辺が約５０μｍで、中心から
周辺に向かって順次に減少する形状とし、第１層目を射
出成形した合成樹脂、第２層目をキャスティングした合
成樹脂により２層回折光学素子Ｙを得ることもできる。
この場合においても、第１の実施例と同様にずれは約１
μｍ以下であり、良好な光学性能が得られる。
格子が１００本、格子高さは全て約１０μｍ、格子間隔
は中心が約５００μｍ、周辺が約５０μｍで、中心から
周辺に向かって順次に減少する形状とし、第１層目を射
出成形した合成樹脂、第２層目をキャスティングした合
成樹脂により２層回折光学素子Ｙを得ることもできる。
この場合においても、第１の実施例と同様にずれは約１
μｍ以下であり、良好な光学性能が得られる。
【００２３】図４は第２の実施例によるガラス−合成樹
脂複層回折光学素子の製造方法を示しており、その回折
面形状は円形状の平面上に回折格子が１００本、格子高
さは全て約７μｍ、格子間隔は中心が５００μｍ、周辺
が５０μｍで、中心から周辺に向かって、順次に減少す
る形状とされている。この第２の実施例における複層回
折光学素子は、第１層目を加圧成形したガラス、第２層
目をキャスティングした合成樹脂で構成される。
脂複層回折光学素子の製造方法を示しており、その回折
面形状は円形状の平面上に回折格子が１００本、格子高
さは全て約７μｍ、格子間隔は中心が５００μｍ、周辺
が５０μｍで、中心から周辺に向かって、順次に減少す
る形状とされている。この第２の実施例における複層回
折光学素子は、第１層目を加圧成形したガラス、第２層
目をキャスティングした合成樹脂で構成される。
【００２４】図４（ａ）はこの第２の実施例における回
折面形状を形成した金型２１をスリーブ２２内に摺動自
在に嵌合し、更に回折格子と反対の光学面を形成するた
めの金型２３をスリーブ２２内に摺動自在に嵌合してい
る。ここで、金型２１、２３によりスリーブ２２内に形
成されたキャビティ２４内にガラスブランク２５を配置
し、ヒータ２６により加熱して金型２１、２３により加
圧成形することにより、ガラスによる第１層目の回折光
学素子Ｘを形成する。
折面形状を形成した金型２１をスリーブ２２内に摺動自
在に嵌合し、更に回折格子と反対の光学面を形成するた
めの金型２３をスリーブ２２内に摺動自在に嵌合してい
る。ここで、金型２１、２３によりスリーブ２２内に形
成されたキャビティ２４内にガラスブランク２５を配置
し、ヒータ２６により加熱して金型２１、２３により加
圧成形することにより、ガラスによる第１層目の回折光
学素子Ｘを形成する。
【００２５】次に、図４（ｂ）において、金型２１を引
き戻し回折光学素子Ｘと金型２１の間にキャビティ２７
を形成する。このキャビティ２７内に注入口２８から合
成樹脂Ｐを注入し硬化させることにより、図２に示すよ
うな２層２層回折光学素子Ｙを得ることができる。
き戻し回折光学素子Ｘと金型２１の間にキャビティ２７
を形成する。このキャビティ２７内に注入口２８から合
成樹脂Ｐを注入し硬化させることにより、図２に示すよ
うな２層２層回折光学素子Ｙを得ることができる。
【００２６】図５は比較例のガラス−合成樹脂複層回折
光学素子の製造状態を示しており、金型３１は回折面形
状を有し、スリーブ３２内に嵌合すると共に、ガラスブ
ランク３３を金型３１上に載置する。このガラスブラン
ク３３をヒータ３４により加熱し、反対の光学面を形成
するための金型３５により加圧成形して、１層目の回折
光学素子Ｘを形成する。
光学素子の製造状態を示しており、金型３１は回折面形
状を有し、スリーブ３２内に嵌合すると共に、ガラスブ
ランク３３を金型３１上に載置する。このガラスブラン
ク３３をヒータ３４により加熱し、反対の光学面を形成
するための金型３５により加圧成形して、１層目の回折
光学素子Ｘを形成する。
【００２７】次に、図５（ｂ）において、金型３１と同
等の回折面形状を有する金型３６を、得られた回折光学
素子Ｘと共にスリーブ３２と同等の内径を持つスリーブ
３７内に嵌合して、回折光学素子Ｘとの間にキャビティ
３８を形成する。このキャビティ３８内に注入口３９か
ら合成樹脂Ｐを注入硬化させ、図２に示すような２層回
折光学素子Ｙを得ることができる。この方法により得ら
れた２層回折光学素子Ｙにおける格子のずれは約５μｍ
である。
等の回折面形状を有する金型３６を、得られた回折光学
素子Ｘと共にスリーブ３２と同等の内径を持つスリーブ
３７内に嵌合して、回折光学素子Ｘとの間にキャビティ
３８を形成する。このキャビティ３８内に注入口３９か
ら合成樹脂Ｐを注入硬化させ、図２に示すような２層回
折光学素子Ｙを得ることができる。この方法により得ら
れた２層回折光学素子Ｙにおける格子のずれは約５μｍ
である。
【００２８】第２の実施例における２層回折光学素子Ｙ
における格子のずれは約１μｍ以下であり、良好な光学
性能が得られる。この第２の実施例における２層回折光
学素子Ｙの格子のずれは、第２層目の硬化時の格子ずれ
にのみ起因するのに対し、比較例における２層回折光学
素子Ｙでは金型３１及び第１層目の回折光学素子Ｘの配
置のずれや金型３６の格子加工ずれなど複数の要因に影
響されるため、約５μｍのずれが発生したものと考えら
れる。
における格子のずれは約１μｍ以下であり、良好な光学
性能が得られる。この第２の実施例における２層回折光
学素子Ｙの格子のずれは、第２層目の硬化時の格子ずれ
にのみ起因するのに対し、比較例における２層回折光学
素子Ｙでは金型３１及び第１層目の回折光学素子Ｘの配
置のずれや金型３６の格子加工ずれなど複数の要因に影
響されるため、約５μｍのずれが発生したものと考えら
れる。
【００２９】図６は第４の実施例における３層回折光学
素子の製造方法を示しており、スリーブ４１内で金型４
２により保持された図２に示す２層目まで形成された回
折光学素子Ｙと、第３層目の光学面を形成するための金
型４３によりキャビティ４４を形成する。第３層目形成
用の金型４３は第１の実施例又は第２の実施例における
第２層目形成後に格子形成用金型と入れ代えてスリーブ
４１内にセットすればよい。このキャビティイ４４に注
入口４５から水ガラス又は合成樹脂を注入して硬化させ
ることにより、図７に示すような両面を平面の光学面と
した３層回折光学素子Ｚを得ることができる。
素子の製造方法を示しており、スリーブ４１内で金型４
２により保持された図２に示す２層目まで形成された回
折光学素子Ｙと、第３層目の光学面を形成するための金
型４３によりキャビティ４４を形成する。第３層目形成
用の金型４３は第１の実施例又は第２の実施例における
第２層目形成後に格子形成用金型と入れ代えてスリーブ
４１内にセットすればよい。このキャビティイ４４に注
入口４５から水ガラス又は合成樹脂を注入して硬化させ
ることにより、図７に示すような両面を平面の光学面と
した３層回折光学素子Ｚを得ることができる。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る複層回
折光学素子の製造方法は、複数の回折光学素子を重ね合
わせて成型するに当り、同一外筒内において同一金型で
形成することにより、容易にかつ正確な位置関係を得る
ことができる。
折光学素子の製造方法は、複数の回折光学素子を重ね合
わせて成型するに当り、同一外筒内において同一金型で
形成することにより、容易にかつ正確な位置関係を得る
ことができる。
【図１】第１の実施例の説明図である。
【図２】２層回折光学素子の断面図である。
【図３】比較例の説明図である。
【図４】第２の実施例の説明図である。
【図５】比較例の説明図である。
【図６】第３の実施例の説明図である。
【図７】３層回折光学素子の断面図である。
【図８】回折光学素子の回折作用の説明図である。
【図９】回折効率のグラフ図である。
１、３、２１、２３、４２、４３ 金型 ２、２２、４１ スリーブ ４、６、２４、２７、４４ キャビティ ５、２８、４５ 注入口 Ｘ 回折光学素子 Ｙ ２層回折光学素子 Ｚ ３層回折光学素子
Claims (7)
- 【請求項１】 同一の回折面形状を複数面重ね合わせた
形態を有する回折光学素子を製造する方法において、同
一外筒内に載置した同一の型により異なる種類の材料を
順次に重ね合わせて形成することを特徴とする複層回折
光学素子の製造方法。 - 【請求項２】 前記同一外筒内に載置した型の光学素子
成形面に回折面形状が形成されている請求項１に記載の
複層回折光学素子の製造方法。 - 【請求項３】 前記外筒の内径が複数の回折光学素子を
形成する空腔部分において同一である請求項１に記載の
複層回折光学素子の製造方法。 - 【請求項４】 前記回折面形状は加圧成形、射出成形、
キャスティングにより形成する請求項１に記載の複層回
折光学素子の製造方法。 - 【請求項５】 請求項１〜４に記載の複層回折光学素子
の製造方法により製造した合成樹脂により構成した複層
回折光学素子。 - 【請求項６】 請求項１〜４に記載の複層回折光学素子
の製造方法により製造した合成樹脂とガラスにより構成
した複層回折光学素子。 - 【請求項７】 請求項１〜４に記載の複層回折光学素子
の製造方法により製造したガラスにより構成した複層回
折光学素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11002236A JP2000199812A (ja) | 1999-01-07 | 1999-01-07 | 複層回折光学素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11002236A JP2000199812A (ja) | 1999-01-07 | 1999-01-07 | 複層回折光学素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000199812A true JP2000199812A (ja) | 2000-07-18 |
Family
ID=11523729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11002236A Pending JP2000199812A (ja) | 1999-01-07 | 1999-01-07 | 複層回折光学素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000199812A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021199761A1 (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-07 | 株式会社フジクラ | 光演算装置、及び、光演算装置の製造方法 |
-
1999
- 1999-01-07 JP JP11002236A patent/JP2000199812A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021199761A1 (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-07 | 株式会社フジクラ | 光演算装置、及び、光演算装置の製造方法 |
| JPWO2021199761A1 (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-07 | ||
| JP7324936B2 (ja) | 2020-03-31 | 2023-08-10 | 株式会社フジクラ | 光演算装置、及び、光演算装置の製造方法 |
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