JP2000195802A - 減圧排気システムおよび減圧気相処理装置 - Google Patents
減圧排気システムおよび減圧気相処理装置Info
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- JP2000195802A JP2000195802A JP10367231A JP36723198A JP2000195802A JP 2000195802 A JP2000195802 A JP 2000195802A JP 10367231 A JP10367231 A JP 10367231A JP 36723198 A JP36723198 A JP 36723198A JP 2000195802 A JP2000195802 A JP 2000195802A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 オイルミストの飛散を極力抑えることがで
き、安定稼働が可能で、稼働効率が高い減圧排気システ
ムおよび減圧気相処理装置を提供する。 【解決手段】 減圧ＭＯＣＶＤ装置の反応器８に、減圧
ポンプ１を有し、かつ、減圧ポンプ１の排気側の排気用
配管３ｂに、直列接続された２つのオイルミストトラッ
プ７が設けられた減圧排気システムを接続する。排気用
配管３ｂは除害装置に接続する。他の例では、減圧ポン
プ１の排気側に、並列に２つの排気用配管３ｂを接続
し、それぞれの排気用配管３ｂに２つのオイルミストト
ラップ７を直列に接続する。
き、安定稼働が可能で、稼働効率が高い減圧排気システ
ムおよび減圧気相処理装置を提供する。 【解決手段】 減圧ＭＯＣＶＤ装置の反応器８に、減圧
ポンプ１を有し、かつ、減圧ポンプ１の排気側の排気用
配管３ｂに、直列接続された２つのオイルミストトラッ
プ７が設けられた減圧排気システムを接続する。排気用
配管３ｂは除害装置に接続する。他の例では、減圧ポン
プ１の排気側に、並列に２つの排気用配管３ｂを接続
し、それぞれの排気用配管３ｂに２つのオイルミストト
ラップ７を直列に接続する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は減圧排気システム
および減圧気相処理装置に関する。
および減圧気相処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】減圧気相成長装置、特に、減圧有機金属
化学気相成長（ＭＯＣＶＤ）装置は、反応器を減圧する
ための減圧排気システムを有している。図３は、従来の
減圧排気システムおよびこの従来の減圧排気システムを
用いた減圧ＭＯＣＶＤ装置の構成例を示す略線図であ
る。
化学気相成長（ＭＯＣＶＤ）装置は、反応器を減圧する
ための減圧排気システムを有している。図３は、従来の
減圧排気システムおよびこの従来の減圧排気システムを
用いた減圧ＭＯＣＶＤ装置の構成例を示す略線図であ
る。
【０００３】図３に示すように、従来の減圧排気システ
ムは、減圧手段として例えばロータリーポンプやドライ
ポンプのような減圧ポンプ１０１を有している。減圧ポ
ンプ１０１の吸気側にはバタフライバルブ１０２が設け
られている。バタフライバルブ１０２はその開閉角度が
可変であり、圧力制御手段としての役割を有している。
また、減圧ポンプ１０１の吸気側および排気側には、そ
れぞれ、排気用配管１０３ａおよび排気用配管１０３ｂ
が接続されている。
ムは、減圧手段として例えばロータリーポンプやドライ
ポンプのような減圧ポンプ１０１を有している。減圧ポ
ンプ１０１の吸気側にはバタフライバルブ１０２が設け
られている。バタフライバルブ１０２はその開閉角度が
可変であり、圧力制御手段としての役割を有している。
また、減圧ポンプ１０１の吸気側および排気側には、そ
れぞれ、排気用配管１０３ａおよび排気用配管１０３ｂ
が接続されている。
【０００４】バタフライバルブ１０２の上流側にあたる
排気用配管１０３ａには、ゲートバルブＶ101 およびエ
アオペレートバルブＶ102 が設けられている。ゲートバ
ルブＶ101 はメインの排気経路の開閉を行うためのもの
であり、エアオペレートバルブＶ102 は補助用の排気経
路の開閉を行うためのものである。
排気用配管１０３ａには、ゲートバルブＶ101 およびエ
アオペレートバルブＶ102 が設けられている。ゲートバ
ルブＶ101 はメインの排気経路の開閉を行うためのもの
であり、エアオペレートバルブＶ102 は補助用の排気経
路の開閉を行うためのものである。
【０００５】この減圧排気システムの吸気側の排気用配
管１０３ａには、圧力をモニターするための圧力計１０
４が設けられている。この圧力計１０４の出力は圧力コ
ントローラ（図示せず）に供給されている。この圧力コ
ントローラは、圧力計１０４からの圧力信号をもとに、
バタフライバルブ１０２の開閉角度を調節するためのも
のである。符号１０５は、バイパス用配管を示す。この
バイパス用配管１０５は、この減圧排気システムの吸気
側の排気用配管１０３ａから分岐している。このバイパ
ス用配管１０５には、エアオペレートバルブＶ103 およ
び差圧計１０６が設けられている。エアオペレートバル
ブＶ103 の開閉は差圧計１０６により制御されている。
管１０３ａには、圧力をモニターするための圧力計１０
４が設けられている。この圧力計１０４の出力は圧力コ
ントローラ（図示せず）に供給されている。この圧力コ
ントローラは、圧力計１０４からの圧力信号をもとに、
バタフライバルブ１０２の開閉角度を調節するためのも
のである。符号１０５は、バイパス用配管を示す。この
バイパス用配管１０５は、この減圧排気システムの吸気
側の排気用配管１０３ａから分岐している。このバイパ
ス用配管１０５には、エアオペレートバルブＶ103 およ
び差圧計１０６が設けられている。エアオペレートバル
ブＶ103 の開閉は差圧計１０６により制御されている。
【０００６】この減圧排気システムの排気側の排気用配
管１０３ｂにはオイルミストトラップ１０７が設けられ
ている。このオイルミストトラップ１０７は、減圧ポン
プ１０１で発生したオイルミストなどが、排気用配管１
０３ｂを通じて下流側に飛散するのを防止するためのも
のである。
管１０３ｂにはオイルミストトラップ１０７が設けられ
ている。このオイルミストトラップ１０７は、減圧ポン
プ１０１で発生したオイルミストなどが、排気用配管１
０３ｂを通じて下流側に飛散するのを防止するためのも
のである。
【０００７】上述のように構成された、この従来の減圧
排気システムを減圧ＭＯＣＶＤ装置に用いる場合には、
この減圧排気システムの吸気側の排気用配管１０３ａ
を、減圧ＭＯＣＶＤ装置の反応器１０８に接続し、排気
側の排気用配管１０３ｂおよびバイパス用配管１０５
を、除害装置（図示せず）に接続する。
排気システムを減圧ＭＯＣＶＤ装置に用いる場合には、
この減圧排気システムの吸気側の排気用配管１０３ａ
を、減圧ＭＯＣＶＤ装置の反応器１０８に接続し、排気
側の排気用配管１０３ｂおよびバイパス用配管１０５
を、除害装置（図示せず）に接続する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
減圧排気システムでは、減圧ポンプ１０１の排気側にオ
イルミスト飛散防止用のオイルミストトラップ１０７が
設けられているものの、この方法ではオイルミストを十
分にトラップしきれず、下流側に少なからずオイルミス
トが飛散してしまう。このため、減圧ポンプ１０１の下
流側に飛散したオイルが溜まり、排気用配管１０３ｂに
配管詰まりが生じるという問題があった。また、この配
管詰まりによって減圧ポンプ１０１の能力が低下するた
め、この従来の減圧排気システムが接続された減圧ＭＯ
ＣＶＤ装置では、反応器１０８内の圧力の制御性が低下
し、その悪影響が、成長させる化合物半導体の品質にま
で及ぶという問題があった。
減圧排気システムでは、減圧ポンプ１０１の排気側にオ
イルミスト飛散防止用のオイルミストトラップ１０７が
設けられているものの、この方法ではオイルミストを十
分にトラップしきれず、下流側に少なからずオイルミス
トが飛散してしまう。このため、減圧ポンプ１０１の下
流側に飛散したオイルが溜まり、排気用配管１０３ｂに
配管詰まりが生じるという問題があった。また、この配
管詰まりによって減圧ポンプ１０１の能力が低下するた
め、この従来の減圧排気システムが接続された減圧ＭＯ
ＣＶＤ装置では、反応器１０８内の圧力の制御性が低下
し、その悪影響が、成長させる化合物半導体の品質にま
で及ぶという問題があった。
【０００９】さらに、オイルミストトラップ１０７でト
ラップしきれずに下流側に飛散したオイルミストは、排
気用配管１０３ｂを通じて除害装置にまで達するため、
除害装置の処理能力が低下したり、除害装置内のダスト
フィルタや配管に詰まりが生じるなどの問題があった。
ラップしきれずに下流側に飛散したオイルミストは、排
気用配管１０３ｂを通じて除害装置にまで達するため、
除害装置の処理能力が低下したり、除害装置内のダスト
フィルタや配管に詰まりが生じるなどの問題があった。
【００１０】また、配管詰まりが生じた場合などは、装
置の稼働を停止して部品の交換や修理などのメンテナン
スを行わなければならず、装置の稼働効率が低下すると
いう問題もあった。
置の稼働を停止して部品の交換や修理などのメンテナン
スを行わなければならず、装置の稼働効率が低下すると
いう問題もあった。
【００１１】以上は、従来の減圧排気システムを減圧Ｍ
ＯＣＶＤ装置に用いた場合についてであるが、上述の問
題は減圧ＭＯＣＶＤ装置以外にも、拡散装置やアニール
装置などの他の減圧気相処理装置に用いた場合について
も起こり得るものである。
ＯＣＶＤ装置に用いた場合についてであるが、上述の問
題は減圧ＭＯＣＶＤ装置以外にも、拡散装置やアニール
装置などの他の減圧気相処理装置に用いた場合について
も起こり得るものである。
【００１２】したがって、この発明の目的は、オイルミ
ストの飛散を極力抑えることができ、安定稼働が可能
で、稼働効率が高い減圧排気システムおよび減圧気相処
理装置を提供することにある。
ストの飛散を極力抑えることができ、安定稼働が可能
で、稼働効率が高い減圧排気システムおよび減圧気相処
理装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の第１の発明による減圧排気システムは、
減圧ポンプを有し、減圧ポンプの排気側に、直列接続さ
れた複数のオイルミスト除去手段が設けられていること
を特徴とするものである。
に、この発明の第１の発明による減圧排気システムは、
減圧ポンプを有し、減圧ポンプの排気側に、直列接続さ
れた複数のオイルミスト除去手段が設けられていること
を特徴とするものである。
【００１４】この発明の第２の発明による減圧気相処理
装置は、処理室と、処理室に接続された減圧排気システ
ムとを有し、減圧排気システムは、減圧ポンプを有し、
かつ、減圧ポンプの排気側に、直列接続された複数のオ
イルミスト除去手段が設けられたものであることを特徴
とするものである。
装置は、処理室と、処理室に接続された減圧排気システ
ムとを有し、減圧排気システムは、減圧ポンプを有し、
かつ、減圧ポンプの排気側に、直列接続された複数のオ
イルミスト除去手段が設けられたものであることを特徴
とするものである。
【００１５】上述のように構成されたこの発明によれ
ば、減圧ポンプの排気側に、直列接続された複数のオイ
ルミスト除去手段が設けられていることにより、１段目
のオイルミスト除去手段で除去しきれなかったオイルミ
ストを、２段目以降のオイルミスト除去手段で除去する
ことができるので、下流側へのオイルミストの飛散を極
めて効果的に抑制することができる。
ば、減圧ポンプの排気側に、直列接続された複数のオイ
ルミスト除去手段が設けられていることにより、１段目
のオイルミスト除去手段で除去しきれなかったオイルミ
ストを、２段目以降のオイルミスト除去手段で除去する
ことができるので、下流側へのオイルミストの飛散を極
めて効果的に抑制することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施形態につい
て図面を参照しながら説明する。なお、実施形態の全図
において、同一または対応する部分には同一の符号を付
す。
て図面を参照しながら説明する。なお、実施形態の全図
において、同一または対応する部分には同一の符号を付
す。
【００１７】まず、この発明の第１の実施形態について
説明する。図１は、この第１の実施形態による減圧排気
システムおよびこの減圧排気システムを用いた減圧ＭＯ
ＣＶＤ装置の構成例を示す。
説明する。図１は、この第１の実施形態による減圧排気
システムおよびこの減圧排気システムを用いた減圧ＭＯ
ＣＶＤ装置の構成例を示す。
【００１８】図１に示すように、この減圧排気システム
は、減圧手段として例えばロータリーポンプやドライポ
ンプのような減圧ポンプ１を有している。減圧ポンプ１
の吸気側にはバタフライバルブ２が設けられている。バ
タフライバルブ２はその開閉角度が可変であり、圧力制
御手段としての役割を有している。また、減圧ポンプ１
の吸気側および排気側には、それぞれ、排気用配管３ａ
および排気用配管３ｂが接続されている。
は、減圧手段として例えばロータリーポンプやドライポ
ンプのような減圧ポンプ１を有している。減圧ポンプ１
の吸気側にはバタフライバルブ２が設けられている。バ
タフライバルブ２はその開閉角度が可変であり、圧力制
御手段としての役割を有している。また、減圧ポンプ１
の吸気側および排気側には、それぞれ、排気用配管３ａ
および排気用配管３ｂが接続されている。
【００１９】バタフライバルブ２の上流側にあたる排気
用配管３ａには、ゲートバルブＶ1およびエアオペレー
トバルブＶ2 が設けられている。ゲートバルブＶ1 はメ
インの排気経路の開閉を行うためのものであり、エアオ
ペレートバルブＶ2 は補助用の排気経路の開閉を行うた
めのものである。
用配管３ａには、ゲートバルブＶ1およびエアオペレー
トバルブＶ2 が設けられている。ゲートバルブＶ1 はメ
インの排気経路の開閉を行うためのものであり、エアオ
ペレートバルブＶ2 は補助用の排気経路の開閉を行うた
めのものである。
【００２０】この減圧排気システムの吸気側の排気用配
管３ａには、圧力をモニターするための圧力計４が設け
られている。この圧力計４の出力は圧力コントローラ
（図示せず）に供給されている。この圧力コントローラ
は、圧力計４からの圧力信号をもとに、バタフライバル
ブ２の開閉角度を調節するためのものである。符号５
は、バイパス用配管を示す。このバイパス用配管５は、
この減圧排気システムの吸気側の排気用配管３ａから分
岐している。このバイパス用配管５には、エアオペレー
トバルブＶ3 および差圧計６が設けられている。エアオ
ペレートバルブＶ3の開閉は差圧計６により制御されて
いる。
管３ａには、圧力をモニターするための圧力計４が設け
られている。この圧力計４の出力は圧力コントローラ
（図示せず）に供給されている。この圧力コントローラ
は、圧力計４からの圧力信号をもとに、バタフライバル
ブ２の開閉角度を調節するためのものである。符号５
は、バイパス用配管を示す。このバイパス用配管５は、
この減圧排気システムの吸気側の排気用配管３ａから分
岐している。このバイパス用配管５には、エアオペレー
トバルブＶ3 および差圧計６が設けられている。エアオ
ペレートバルブＶ3の開閉は差圧計６により制御されて
いる。
【００２１】この減圧排気システムの排気側の排気用配
管３ｂには、直列接続された２つのオイルミストトラッ
プ７が設けられている。これらのオイルミストトラップ
７は、減圧ポンプ１で発生したオイルミストなどが、排
気用配管３ｂを通じて下流側に飛散するのを防止するた
めのものである。この減圧排気システムにおいて、これ
らの２つのオイルミストトラップ７には、例えば互いに
ほぼ等しいトラップ能力を有するものが用いられてい
る。また、個々のオイルミストトラップ７のトラップ能
力は、例えば図３に示した従来の減圧排気システムにお
けるオイルミストトラップ１０７と同等の能力に選ばれ
ている。したがって、この減圧排気システムにおけるオ
イルミストのトラップ効果は、上述のように減圧ポンプ
１の排気側（下流側）に２つのオイルミストトラップ７
が直列に接続されていることにより、従来の減圧排気シ
ステムに比べて高いものとなっている。
管３ｂには、直列接続された２つのオイルミストトラッ
プ７が設けられている。これらのオイルミストトラップ
７は、減圧ポンプ１で発生したオイルミストなどが、排
気用配管３ｂを通じて下流側に飛散するのを防止するた
めのものである。この減圧排気システムにおいて、これ
らの２つのオイルミストトラップ７には、例えば互いに
ほぼ等しいトラップ能力を有するものが用いられてい
る。また、個々のオイルミストトラップ７のトラップ能
力は、例えば図３に示した従来の減圧排気システムにお
けるオイルミストトラップ１０７と同等の能力に選ばれ
ている。したがって、この減圧排気システムにおけるオ
イルミストのトラップ効果は、上述のように減圧ポンプ
１の排気側（下流側）に２つのオイルミストトラップ７
が直列に接続されていることにより、従来の減圧排気シ
ステムに比べて高いものとなっている。
【００２２】上述のように構成されたこの減圧排気シス
テムを、減圧ＭＯＣＶＤ装置に用いる場合には、この減
圧排気システムの吸気側の排気用配管３ａを、減圧ＭＯ
ＣＶＤ装置の反応器８に接続し、排気側の排気用配管３
ｂおよびバイパス用配管５を、除害装置（図示せず）に
接続する。また、必要に応じて、反応器８からの生成物
による減圧ポンプ１への悪影響を抑制するために除塵フ
ィルタ（図示せず）を設けてもよい。
テムを、減圧ＭＯＣＶＤ装置に用いる場合には、この減
圧排気システムの吸気側の排気用配管３ａを、減圧ＭＯ
ＣＶＤ装置の反応器８に接続し、排気側の排気用配管３
ｂおよびバイパス用配管５を、除害装置（図示せず）に
接続する。また、必要に応じて、反応器８からの生成物
による減圧ポンプ１への悪影響を抑制するために除塵フ
ィルタ（図示せず）を設けてもよい。
【００２３】次に、上述のように構成されたこの減圧排
気システムによる反応器８の減圧方法の一例について説
明する。減圧される前の反応器８には、所定流量のＨ2
ガスなどのキャリアガスが導入されており、この反応器
８の内部の圧力はほぼ大気圧にされている。このとき、
この減圧排気システムにおいては、二つの排気ユニット
のゲートバルブＶ1 およびエアオペレートバルブＶ2 が
いずれも閉じられ、バイパス用配管５のエアオペレート
バルブＶ3 が開かれている。したがって、反応器８に導
入されているキャリアガスは、バイパス用配管５を通じ
て除害装置（図示せず）に導入されている。
気システムによる反応器８の減圧方法の一例について説
明する。減圧される前の反応器８には、所定流量のＨ2
ガスなどのキャリアガスが導入されており、この反応器
８の内部の圧力はほぼ大気圧にされている。このとき、
この減圧排気システムにおいては、二つの排気ユニット
のゲートバルブＶ1 およびエアオペレートバルブＶ2 が
いずれも閉じられ、バイパス用配管５のエアオペレート
バルブＶ3 が開かれている。したがって、反応器８に導
入されているキャリアガスは、バイパス用配管５を通じ
て除害装置（図示せず）に導入されている。
【００２４】この反応器８を減圧する場合には、まず、
エアオペレートバルブＶ3 が閉じられバイパス用配管５
が遮断される。これとほぼ同時にエアオペレートバルブ
Ｖ2が開かれ、減圧ポンプ１による反応器８の減圧が開
始される。これにより、反応器８の内部の圧力は徐々に
低下していく。
エアオペレートバルブＶ3 が閉じられバイパス用配管５
が遮断される。これとほぼ同時にエアオペレートバルブ
Ｖ2が開かれ、減圧ポンプ１による反応器８の減圧が開
始される。これにより、反応器８の内部の圧力は徐々に
低下していく。
【００２５】そして、反応器８の内部が所定の圧力に達
したところで、減圧ＭＯＣＶＤ装置では、反応器８に供
給するキャリアガスの流量を増加させる。これととも
に、この減圧排気システムでは、ゲートバルブＶ1 が開
かれ、反応器８の内部は本格的な減圧状態にされる。こ
のとき、エアオペレートバルブＶ2 は開かれたままであ
ってもよい。
したところで、減圧ＭＯＣＶＤ装置では、反応器８に供
給するキャリアガスの流量を増加させる。これととも
に、この減圧排気システムでは、ゲートバルブＶ1 が開
かれ、反応器８の内部は本格的な減圧状態にされる。こ
のとき、エアオペレートバルブＶ2 は開かれたままであ
ってもよい。
【００２６】そして、反応器８の内部の圧力がさらに低
下し、所定の圧力に達したところで、減圧ＭＯＣＶＤ装
置では、反応器８に供給するキャリアガスの流量をさら
に増加させ、最終的に必要な流量とする。これととも
に、この減圧排気システムでは、反応器８内の圧力を成
長に必要な圧力（成長圧力）まで下げるために、圧力計
４からの圧力信号が供給されている圧力コントローラ
（図示せず）の制御のもと、バタフライバルブ２の動作
を開始する。
下し、所定の圧力に達したところで、減圧ＭＯＣＶＤ装
置では、反応器８に供給するキャリアガスの流量をさら
に増加させ、最終的に必要な流量とする。これととも
に、この減圧排気システムでは、反応器８内の圧力を成
長に必要な圧力（成長圧力）まで下げるために、圧力計
４からの圧力信号が供給されている圧力コントローラ
（図示せず）の制御のもと、バタフライバルブ２の動作
を開始する。
【００２７】これにより、反応器８内の圧力が自動制御
状態となり、やがて所定の成長圧力に達する。また、反
応器８内の成長圧力が変動した場合には、上述の圧力コ
ントローラにより二つのバタフライバルブ２に対してフ
ィードバックがかけられる。これにより、反応器８内の
成長圧力がほぼ一定になるように制御される。
状態となり、やがて所定の成長圧力に達する。また、反
応器８内の成長圧力が変動した場合には、上述の圧力コ
ントローラにより二つのバタフライバルブ２に対してフ
ィードバックがかけられる。これにより、反応器８内の
成長圧力がほぼ一定になるように制御される。
【００２８】上述のように構成されたこの第１の実施形
態によれば、減圧ポンプ１の排気側に、直列接続された
２つのオイルミストトラップ７が設けられ、１段目（上
流側）のオイルミストトラップ７でトラップしきれなか
ったオイルミストを、２段目（下流側）のオイルミスト
トラップ７でトラップするようにしているので、オイル
ミストをほぼ完全に除去することができ、下流側へのオ
イルミストの飛散を極めて効果的に抑制することができ
る。これにより、排気側の排気用配管３ｂの配管詰まり
や、この配管詰まりに起因する減圧ポンプ１の能力低下
を防止することができる。また、排気用配管３ｂを通じ
て除害装置に侵入するオイルミストが、ほとんど問題と
ならないレベルにまで低減されるので、除害装置の処理
能力が低下するのを防止することができると共に、除害
装置内のダストフィルタや配管に詰まりが生じるのを防
止することができる。したがって、減圧排気システムお
よび減圧ＭＯＣＶＤ装置を安定的に稼働させることがで
きると共に、減圧排気システムおよび減圧ＭＯＣＶＤ装
置の安全性を向上させることもできる。
態によれば、減圧ポンプ１の排気側に、直列接続された
２つのオイルミストトラップ７が設けられ、１段目（上
流側）のオイルミストトラップ７でトラップしきれなか
ったオイルミストを、２段目（下流側）のオイルミスト
トラップ７でトラップするようにしているので、オイル
ミストをほぼ完全に除去することができ、下流側へのオ
イルミストの飛散を極めて効果的に抑制することができ
る。これにより、排気側の排気用配管３ｂの配管詰まり
や、この配管詰まりに起因する減圧ポンプ１の能力低下
を防止することができる。また、排気用配管３ｂを通じ
て除害装置に侵入するオイルミストが、ほとんど問題と
ならないレベルにまで低減されるので、除害装置の処理
能力が低下するのを防止することができると共に、除害
装置内のダストフィルタや配管に詰まりが生じるのを防
止することができる。したがって、減圧排気システムお
よび減圧ＭＯＣＶＤ装置を安定的に稼働させることがで
きると共に、減圧排気システムおよび減圧ＭＯＣＶＤ装
置の安全性を向上させることもできる。
【００２９】また、減圧排気システムにおいて配管詰ま
りが防止されることにより、従来に比べて、装置の稼働
停止を伴うようなメンテナンスの発生頻度が少なくて済
むので、減圧ＭＯＣＶＤ装置の稼働効率を向上させるこ
とができる。
りが防止されることにより、従来に比べて、装置の稼働
停止を伴うようなメンテナンスの発生頻度が少なくて済
むので、減圧ＭＯＣＶＤ装置の稼働効率を向上させるこ
とができる。
【００３０】また、減圧排気システムにおいて減圧ポン
プ１の能力低下が防止されることにより、減圧動作を安
定的に行うことができるので、反応器８内の圧力の制御
性を向上させることができる。これにより、この減圧Ｍ
ＯＣＶＤ装置を用いて行われる処理（成長）の品質を向
上させることができる。
プ１の能力低下が防止されることにより、減圧動作を安
定的に行うことができるので、反応器８内の圧力の制御
性を向上させることができる。これにより、この減圧Ｍ
ＯＣＶＤ装置を用いて行われる処理（成長）の品質を向
上させることができる。
【００３１】次に、この発明の第２の実施形態について
説明する。図２は、この第２の実施形態による減圧排気
システムおよびこの減圧排気システムを用いた減圧ＭＯ
ＣＶＤ装置の構成例を示す。
説明する。図２は、この第２の実施形態による減圧排気
システムおよびこの減圧排気システムを用いた減圧ＭＯ
ＣＶＤ装置の構成例を示す。
【００３２】図２に示すように、この減圧排気システム
においては、減圧ポンプ１の排気側に、例えば互いにほ
ぼ等しいコンダクタンスを有する２つの排気用配管３ｂ
が並列に接続されている。この場合、排気側の各排気経
路のコンダクタンスは、第１の実施形態による減圧排気
システムの排気側の排気用配管３ｂのコンダクタンスと
同等に選ばれている。そして、これらの排気側の排気用
配管３ｂのそれぞれに、２つのオイルミストトラップ７
が直列に接続されている。この減圧排気システムにおい
て、全部で４つあるオイルミストトラップ７には、例え
ば互いにほぼ等しいトラップ能力を有するものが用いら
れている。また、個々のオイルミストトラップ７のトラ
ップ能力は、例えば図３に示した従来の減圧排気システ
ムにおけるオイルミストトラップ１０７と同等の能力に
選ばれている。したがって、この減圧排気システムにお
けるトータルでのオイルミストのトラップ効果は、従来
の減圧排気システムより高いのは勿論のこと、第１の実
施形態による減圧排気システムと比べても高められてい
る。この減圧排気システムのその他の構成は、第１の実
施形態による減圧排気システムと同様であるので、説明
を省略する。
においては、減圧ポンプ１の排気側に、例えば互いにほ
ぼ等しいコンダクタンスを有する２つの排気用配管３ｂ
が並列に接続されている。この場合、排気側の各排気経
路のコンダクタンスは、第１の実施形態による減圧排気
システムの排気側の排気用配管３ｂのコンダクタンスと
同等に選ばれている。そして、これらの排気側の排気用
配管３ｂのそれぞれに、２つのオイルミストトラップ７
が直列に接続されている。この減圧排気システムにおい
て、全部で４つあるオイルミストトラップ７には、例え
ば互いにほぼ等しいトラップ能力を有するものが用いら
れている。また、個々のオイルミストトラップ７のトラ
ップ能力は、例えば図３に示した従来の減圧排気システ
ムにおけるオイルミストトラップ１０７と同等の能力に
選ばれている。したがって、この減圧排気システムにお
けるトータルでのオイルミストのトラップ効果は、従来
の減圧排気システムより高いのは勿論のこと、第１の実
施形態による減圧排気システムと比べても高められてい
る。この減圧排気システムのその他の構成は、第１の実
施形態による減圧排気システムと同様であるので、説明
を省略する。
【００３３】上述のように構成されたこの減圧排気シス
テムを、減圧ＭＯＣＶＤ装置に用いる場合には、この減
圧排気システムの吸気側の排気用配管３ａを、減圧ＭＯ
ＣＶＤ装置の反応器８に接続し、２系統ある排気側の排
気用配管３ｂおよびバイパス用配管５を、除害装置（図
示せず）に接続する。また、必要に応じて、反応器８か
らの生成物による減圧ポンプ１への悪影響を抑制するた
めに除塵フィルタ（図示せず）を設けてもよい。
テムを、減圧ＭＯＣＶＤ装置に用いる場合には、この減
圧排気システムの吸気側の排気用配管３ａを、減圧ＭＯ
ＣＶＤ装置の反応器８に接続し、２系統ある排気側の排
気用配管３ｂおよびバイパス用配管５を、除害装置（図
示せず）に接続する。また、必要に応じて、反応器８か
らの生成物による減圧ポンプ１への悪影響を抑制するた
めに除塵フィルタ（図示せず）を設けてもよい。
【００３４】この第２の実施形態によれば、第１の実施
形態と同様な利点を得ることができる他、減圧排気シス
テムの排気側に、ほぼ同等の能力を有する２系統の排気
経路を有することにより、いずれか一方の排気経路に問
題が生じた場合であっても、装置の稼働に大きな影響を
与えることなくそのメンテナンスを行うことができるの
で、装置の稼働効率をより一層向上させることができる
という利点を得ることもできる。
形態と同様な利点を得ることができる他、減圧排気シス
テムの排気側に、ほぼ同等の能力を有する２系統の排気
経路を有することにより、いずれか一方の排気経路に問
題が生じた場合であっても、装置の稼働に大きな影響を
与えることなくそのメンテナンスを行うことができるの
で、装置の稼働効率をより一層向上させることができる
という利点を得ることもできる。
【００３５】以上、この発明の実施形態について具体的
に説明したが、この発明は、上述の実施形態に限定され
るものではなく、この発明の技術的思想に基づく各種の
変形が可能である。
に説明したが、この発明は、上述の実施形態に限定され
るものではなく、この発明の技術的思想に基づく各種の
変形が可能である。
【００３６】例えば、上述の第１および第２の実施形態
において挙げた減圧排気システムおよび減圧ＭＯＣＶＤ
装置の構成はあくまで例にすぎず、必要に応じて、これ
らと異なる構成としてもよい。具体的には、例えば、バ
タフライバルブ２は、これと同様な圧力制御を行う機能
を有するものと置き換えてもよく、また、ゲートバルブ
Ｖ1 およびエアオペレートバルブＶ2 ，Ｖ3 なども、排
気用配管３ａおよびバイパス用配管５を遮蔽する同様な
機能を有するものと置き換えてもよい。
において挙げた減圧排気システムおよび減圧ＭＯＣＶＤ
装置の構成はあくまで例にすぎず、必要に応じて、これ
らと異なる構成としてもよい。具体的には、例えば、バ
タフライバルブ２は、これと同様な圧力制御を行う機能
を有するものと置き換えてもよく、また、ゲートバルブ
Ｖ1 およびエアオペレートバルブＶ2 ，Ｖ3 なども、排
気用配管３ａおよびバイパス用配管５を遮蔽する同様な
機能を有するものと置き換えてもよい。
【００３７】また、上述の第１および第２の実施形態に
おいては、減圧排気システムの排気側の排気用配管３ｂ
に設けられた１段目および２段目のオイルミストトラッ
プ７に、互いにほぼ等しいトラップ能力を有するものを
用いているが、これらの１段目および２段目のオイルミ
ストトラップ７には、互いに異なるトラップ能力を有す
るものを用いてもよい。また、上述の第２の実施形態に
おいては、減圧排気システムの排気側に並列に接続され
た２つの排気用配管３ｂに、互いにほぼ等しいコンダク
タンスを有するものを用いているが、これらの２つの排
気用配管３ｂのコンダクタンスは互いに異なっていても
よい。
おいては、減圧排気システムの排気側の排気用配管３ｂ
に設けられた１段目および２段目のオイルミストトラッ
プ７に、互いにほぼ等しいトラップ能力を有するものを
用いているが、これらの１段目および２段目のオイルミ
ストトラップ７には、互いに異なるトラップ能力を有す
るものを用いてもよい。また、上述の第２の実施形態に
おいては、減圧排気システムの排気側に並列に接続され
た２つの排気用配管３ｂに、互いにほぼ等しいコンダク
タンスを有するものを用いているが、これらの２つの排
気用配管３ｂのコンダクタンスは互いに異なっていても
よい。
【００３８】また、上述の第１および第２の実施形態に
おいては、減圧排気システムの排気側の排気用配管３ｂ
の１つにつき、３つ以上のオイルミストトラップ７を直
列に接続してもよい。また、上述の第２の実施形態にお
いては、減圧排気システムの排気側に３つ以上の排気用
配管３ｂを並列に接続してもよい。
おいては、減圧排気システムの排気側の排気用配管３ｂ
の１つにつき、３つ以上のオイルミストトラップ７を直
列に接続してもよい。また、上述の第２の実施形態にお
いては、減圧排気システムの排気側に３つ以上の排気用
配管３ｂを並列に接続してもよい。
【００３９】また、上述の第１および第２の実施形態に
おいては、この発明を減圧ＭＯＣＶＤ装置に適用した場
合について説明したが、この発明は、減圧ＭＯＣＶＤ装
置以外に、拡散装置やアニール装置など他の減圧気相処
理装置に適用することが可能である。
おいては、この発明を減圧ＭＯＣＶＤ装置に適用した場
合について説明したが、この発明は、減圧ＭＯＣＶＤ装
置以外に、拡散装置やアニール装置など他の減圧気相処
理装置に適用することが可能である。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、減圧ポンプの排気側に、直列接続された複数のオイ
ルミスト除去手段が設けられていることにより、１段目
のオイルミスト除去手段で除去しきれなかったオイルミ
ストを、２段目以降のオイルミスト除去手段で除去する
ことができるので、下流側へのオイルミストの飛散を極
めて効果的に抑制することができる。これにより、減圧
排気システムにおいて配管詰まりや減圧ポンプの能力低
下を防止することができるので、この減圧排気システム
が接続される減圧気相処理装置の安定稼働が可能になる
と共に、その稼働効率を向上させることができる。
ば、減圧ポンプの排気側に、直列接続された複数のオイ
ルミスト除去手段が設けられていることにより、１段目
のオイルミスト除去手段で除去しきれなかったオイルミ
ストを、２段目以降のオイルミスト除去手段で除去する
ことができるので、下流側へのオイルミストの飛散を極
めて効果的に抑制することができる。これにより、減圧
排気システムにおいて配管詰まりや減圧ポンプの能力低
下を防止することができるので、この減圧排気システム
が接続される減圧気相処理装置の安定稼働が可能になる
と共に、その稼働効率を向上させることができる。
【図１】この発明の第１の実施形態による減圧排気シス
テムおよび減圧ＭＯＣＶＤ装置の構成例を示す略線図で
ある。
テムおよび減圧ＭＯＣＶＤ装置の構成例を示す略線図で
ある。
【図２】この発明の第２の実施形態による減圧排気シス
テムおよび減圧ＭＯＣＶＤ装置の構成例を示す略線図で
ある。
テムおよび減圧ＭＯＣＶＤ装置の構成例を示す略線図で
ある。
【図３】従来の減圧排気システムおよび減圧ＭＯＣＶＤ
装置の構成例を示す略線図である。
装置の構成例を示す略線図である。
１・・・減圧ポンプ、３ａ，３ｂ・・・排気用配管、７
・・・オイルミストトラップ、８・・・反応器
・・・オイルミストトラップ、８・・・反応器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H076 AA21 BB15 BB21 BB45 CC51 CC95 CC99 4K030 AA11 EA11 KA28 5F045 AA04 AA06 BB10 EG01 EG08
Claims (4)
- 【請求項１】 減圧ポンプを有し、 上記減圧ポンプの排気側に、直列接続された複数のオイ
ルミスト除去手段が設けられていることを特徴とする減
圧排気システム。 - 【請求項２】 上記減圧ポンプの排気側に複数の排気経
路を有し、上記複数の排気経路のそれぞれに、上記複数
のオイルミスト除去手段が直列に接続されていることを
特徴とする請求項１記載の減圧排気システム。 - 【請求項３】 処理室と、 上記処理室に接続された減圧排気システムとを有し、 上記減圧排気システムは、減圧ポンプを有し、かつ、上
記減圧ポンプの排気側に、直列接続された複数のオイル
ミスト除去手段が設けられたものであることを特徴とす
る減圧気相処理装置。 - 【請求項４】 上記減圧排気システムは、上記減圧ポン
プの排気側に複数の排気経路を有し、上記複数の排気経
路のそれぞれに、上記複数のオイルミスト除去手段が直
列に接続されたものであることを特徴とする請求項３記
載の減圧気相処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10367231A JP2000195802A (ja) | 1998-12-24 | 1998-12-24 | 減圧排気システムおよび減圧気相処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10367231A JP2000195802A (ja) | 1998-12-24 | 1998-12-24 | 減圧排気システムおよび減圧気相処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000195802A true JP2000195802A (ja) | 2000-07-14 |
Family
ID=18488805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10367231A Pending JP2000195802A (ja) | 1998-12-24 | 1998-12-24 | 減圧排気システムおよび減圧気相処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000195802A (ja) |
-
1998
- 1998-12-24 JP JP10367231A patent/JP2000195802A/ja active Pending
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