JP2000193526A

JP2000193526A - 微分スペクトルセンサ

Info

Publication number: JP2000193526A
Application number: JP10369040A
Authority: JP
Inventors: Tetsuya Nagashima; 哲也長島; Masanori Okuyama; 雅則奥山; Kazuhiko Hashimoto; 和彦橋本
Original assignee: Hochiki Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Hochiki Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1998-12-25
Filing date: 1998-12-25
Publication date: 2000-07-14
Anticipated expiration: 2018-12-25
Also published as: JP4077098B2

Abstract

(57)【要約】【課題】センサ自体で対象物体の微分スペクトル情報が
直接得られる。【解決手段】微小間隔を隔てて配置した対向面に反射膜
を形成した一対の光学基板の基板間隔を、外部信号によ
り交流的に変化させて光線の透過特性を変化させる波長
可変干渉フィルタ３と、波長可変干渉フィルタ３を透過
した光を集光する集光レンズ４と、集光レンズ４の集光
位置に配置され、受光光量の変化量に比例した受光信号
を出力する誘電ボロメータ等の光電変換素子と受光信号
を微分する微分回路を備えたセンサチップ５で構成さ
れ、対象物体の分光スペクトルの特徴点を示す検出信号
を出力する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、波長可変干渉フィ
ルタを利用して測定対象物体の分光スペクトルの変化、
即ち微分スペクトルを簡単に検出する微分スペクトルセ
ンサに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、測定対象物体の分光スペクトルを
解析して特徴を抽出する装置としては、例えばリモート
センシングに代表されるような大型で複雑な装置が使用
されている。

【０００３】また波長可変干渉フィルタを利用したスペ
クトル画像分析装置では、波長可変干渉フィルタの基板
間隔を変えることで、複数の透過ピークスペクトルの分
布を変化させ、透過ピークスペクトルの分布変化で得ら
れた２つの画像の差分を演算することで微分スペクトル
画像を生成し、カラー表示している（特開平８−２８５
６８８号）。

【０００４】即ち、このスペクトル画像分析装置は、１
画素に対応してＲ，Ｇ，Ｂの各フィルタを備えた３つの
受光セルを配置したＣＣＤ等のカラー撮像手段を使用
し、波長可変干渉フィルタ及び撮影レンズ系により結像
された物体像につき、波長可変干渉フィルタの基板間隔
を２段階に変化させて得たＲ，Ｇ，Ｂ画像データをメモ
リに記憶し、２つの画像の差を演算してＲ，Ｇ，Ｂの微
分スペクトル画像を生成し、カラー表示している。こ
のような微分スペクトル画像を生成する装置によれば、
生成された微分スペクトル画像を解析することで、物体
のもつ波長スペクトルのどこに特徴的なスペクトル変化
があるのかを求めることができる。更に微分スペクトル
画像のカラー表示によれば、スペクトルのどの帯域に特
徴があるのかを容易に読みとることができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
リモートセンシング等における分光解析にあっては、イ
メージセンサで撮像したカラー画像や赤外線画像をメモ
リに格納した後に分光スペクトル解析を行っており、画
像が冗長な情報量を持っているため、分光解析のソフト
処理が複雑で処理に時間がかかる。

【０００６】また波長可変干渉フィルタを用いたスペク
トル画像分析装置にあっても、波長可変干渉フィルタの
基板間隔を切替えることによる異なる透過ピークスペク
トルの分布変化で得た画像をメモリに記憶した後に、画
素単位の差分計算で微分スペクトル画像を求めており、
ソフト的な画像解析の処理負担が大きく、リアルタイム
で画像処理を行おうとすると高性能で大型の装置を必要
とする問題があった。

【０００７】本発明は、このような従来の問題点に鑑み
てなされたもので、センサ自体で測定対象物体の微分ス
ペクトル情報が直接得られるようにした微分スペクトル
センサを提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明の微分スペクトルセンサは、微小間隔を隔て
て配置した対向面に反射膜を形成した一対の光学基板の
基板間隔を、外部信号により交流的に変化させて光線の
透過特性を変化させる波長可変干渉フィルタと、波長可
変干渉フィルタの後部に配置され、波長可変干渉フィル
タを透過した光の受光光量に比例した受光信号を出力す
る光電変換素子と、光電変換素子の受光信号を微分する
微分回路とで構成され、対象物体の分光スペクトルの特
徴点を示す検出信号を出力する。

【０００９】このため本発明の微分スペクトルセンサ
は、センサ自体が分光スペクトルの中の特徴部分の抽出
と、特徴部分での光量変化を示す微分情報を検出できる
ため、分光解析の妨げとなる情報を低減して有為な情報
を残し、画像処理装置等によるセンサ検出信号の分光解
析に必要な情報量を激減させ、センサ検出信号に基づく
分光解析の処理負担を大幅に減らことができる。

【００１０】また本発明の別の形態にあっては、微分ス
ペクトル画像を直接得るためのイメージセンサを実現す
るため、波長可変干渉フィルタ、結像レンズ、撮像素子
で構成する。この場合、撮像素子は、結像レンズの結像
位置に配置され、受光光量に比例した受光信号を出力す
る複数の光電変換素子を受光画素として二次元配置する
と共に受光画素からの受光信号を微分する微分回路を備
える。

【００１１】また、この光電変換素子を使用した微分ス
ペクトルセンサについては、その微分回路の低域遮断周
波数を、波長可変干渉フィルタの基板間隔を変化する駆
動周波数よりも低い周波数に設定する。

【００１２】

【発明の実施の形態】図１は本発明の微分スペクトルセ
ンサの実施形態であり、測定対象物からの光線を集光し
て波長スペクトルの微分成分を検出するスポット型の微
分スペクトルセンサである。

【００１３】図１において、スポット型微分スペクトル
センサ１は、ケース２の開口部に続いて波長可変干渉フ
ィルタ３を設け、続いて集光レンズ４を配置し、集光レ
ンズ４の焦点となる集光位置にセンサチップ５を配置し
ている。センサチップ５には図２に示すセンサチップ回
路が実装されている。ここで集光レンズ４は必ずしも必
要なく、集光レンズ４を設けない構造であってもよい。

【００１４】図２は、図１のスポット型微分スペクトル
センサ１に設けたセンサチップ５の実施形態である。図
２のセンサチップにあっては、検出素子として赤外線帯
域に検出感度を有する誘電ボロメータ１６を使用してい
る。誘電ボロメータ１６は赤外線検出容量として機能
し、したがって図示のように可変容量で表わすことがで
きる。

【００１５】この赤外線検出容量としての誘電ボロメー
タ１６は、強誘電体材料例えば（Ｂａ1-x Ｓｒx ）Ｔｉ
Ｏ₃の薄膜を使用し、赤外線を受けたときの温度による
誘電率の変化を利用して赤外線パワーを電気信号に変換
する。もちろん誘電ボロメータ１６に使用する材料とし
ては、赤外線を吸収したことによる温度変化に伴って誘
電率も変化する材料であれば、適宜の強誘電体材料を使
用できる。

【００１６】誘電ボロメータ１６は、抵抗体１５を介し
て電源電圧＋Ｖｃの印加を受け、これによって誘電ボロ
メータ１６は電界印加状態で検出動作を行う。このよう
に誘電ボロメータ１６に電源電圧＋Ｖｃを抵抗体１５を
介して加えることによる電界印加によって、電界印加な
しの場合に比べると赤外線に対する検出感度を数十倍と
高めることができる。

【００１７】また電界印加型の誘電ボロメータ１６にあ
っては、抵抗型ボロメータに比べても赤外線に対する検
出感度を数倍とすることができる。この誘電ボロメータ
１６は赤外線の受光量の増加に応じた温度上昇に対し、
強誘電体膜を形成する強誘電体材料（Ｂａ1-x Ｓｒx ）
ＴｉＯ₃のｘ＝０．１７とすると、温度増加に対し誘電
率を略直線的に増加させる光電変換素子として動作す
る。

【００１８】誘電ボロメータ１６に続いては微分回路１
７が設けられる。微分回路１７は抵抗１８とコンデンサ
１９を用いたＲＣ微分回路を使用しており、抵抗１８の
値をＲ、コンデンサ１９の容量をＣとすると、その低域
遮断周波数ｆ1 はｆ1 ＝１／２πＲＣとなる。

【００１９】ここで誘電ボロメータ１６に集光される測
定対象物体からの光線の波長スペクトルは、図３のパル
ス駆動電圧源１４からの駆動周波数ｆ0 により図５
（Ｂ）のように波長λ１，λ２の間でピークスペクトル
が切り替えられ、例えば図６（Ｂ）のような駆動周波数
ｆ0 に同期した受光パワーの変化となる。

【００２０】したがって、この波長可変干渉フィルタ３
の駆動周波数ｆ0 に対し微分回路１７の低域遮断周波数
ｆ１がｆ0 ＞ｆ1 となるように、抵抗１８，コンデンサ１９の値Ｒ，Ｃを
定める。

【００２１】更に微分回路１７に続いて帯域通過フィル
タ１０を設け、誘電ボロメータ１６の検出信号に含まれ
る高周波ノイズを除去するようにしてもよい。もちろ
ん、高周波ノイズが問題にならなければ帯域通過フィル
タ１０は設ける必要がない。

【００２２】図３は、図１のスポット型微分スペクトル
センサ１に設けた波長可変干渉フィルタ３の構造であ
る。波長可変干渉フィルタ３はファブリ・ペロー型干渉
フィルタとして知られており、一対のガラス基板１１
ａ，１１ｂの対向面に例えば２００〜３００オングスト
ローム程度の厚みを有するＡｕ等の反射膜となる透光性
の金属膜１２ａ，１２ｂを蒸着しており、このガラス基
板１１ａ，１１ｂを、間に圧電素子１３を介して配置
し、その間に微小間隔Ｘを設定している。

【００２３】圧電素子１３はパルス駆動電圧源１４によ
る２段階の直流電圧Ｖ１，Ｖ２（但し、Ｖ１＜Ｖ２）の
印加を受けて、基板間隔ＸをＸ１，Ｘ２の２段階に交流
的に変化させている。

【００２４】この波長可変干渉フィルタ３は、ガラス基
板１２ｂ側からの入射光に対し、透光性を持つ金属膜１
２ｂ，１２ａ間で多重反射によって生ずる干渉作用に起
因して図４のような複数の透過ピークスペクトルが分布
して光を透過する。図４の透過ピークスペクトルにおい
て、例えば実線の透過ピークスペクトルがパルス駆動電
圧源１４から電圧Ｖ１を印加して基板間隔をＸ１とした
場合であり、また破線の透過ピークスペクトルの分布が
パルス駆動電圧源１４のパルス電圧をＶ２として基板間
隔をＸ２とした場合である。

【００２５】このような交流的に変化する複数の透過ピ
ークスペクトルの分布を作り出す図３の波長可変干渉フ
ィルタ３を、図１のようにスポット型微分スペクトルセ
ンサ１に配置した場合、赤外線帯域の特定の波長を測定
対象の目標監視波長とし、この目標監視波長に図４の実
線の透過ピークスペクトルのいずれかが位置するよう
に、基板間隔Ｘ１即ちパルス駆動電圧源１４のパルス電
圧における低い方のパルス電圧Ｖ１を決める。

【００２６】このように目標監視波長に対しパルス電圧
Ｖ１の基板間隔Ｘ１でピークスペクトルをセットしたな
らば、目標監視波長から例えば図４の破線のようにシフ
トした位置に透過ピークスペクトルが存在するように、
パルス駆動電圧源１４の高い方のパルス電圧Ｖ２によっ
て基板間隔Ｘ２を決める。

【００２７】再び図１を参照するに、ケース２に設けら
れた波長可変干渉フィルタ３からは、外部にフィルタ駆
動用リード６ａ，６ｂが引き出されている。またセンサ
チップ５からは電源供給リード７ａと出力リード７ｂが
引き出されている。

【００２８】次に図１のスポット型微分スペクトルセン
サの動作を説明する。図１のスポット型微分スペクトル
センサ１は、例えば火災によって発生する炎から放射さ
れる赤外線を検出する炎検出器等に使用される。図５
（Ａ）は測定対象物から光線を受光した際のスペクトル
である。

【００２９】この測定対象のスペクトルに対し、図３の
ようにパルス駆動電圧源１４からのパルス電圧Ｖ１，Ｖ
２の繰返しにより波長可変干渉フィルタ３の基板間隔を
Ｘ１，Ｘ２で変化させたときの複数の透過ピークスペク
トルの１つが、図５（Ｂ）のように測定対象物のスペク
トルの特徴部分に位置するように、パルス駆動電圧Ｖ
１，Ｖ２をよ決めている。

【００３０】このため低い方のパルス電圧Ｖ１による基
板間隔Ｘ１の設定では波長λ１、例えば3.8 μｍに実線
のピークスペクトルが生じ、パルス電圧Ｖ２による基板
間隔Ｘ２で波長λ２、例えば4.3 μｍに破線のピークス
ペクトルが生ずる。

【００３１】図６（Ａ）は、図１の波長可変干渉フィル
タ３の基板間隔の切替えであり、パルス駆動電圧源１４
からのパルス電圧Ｖ１，Ｖ２により所定の駆動周波数ｆ
0 で定まる繰返し周期で基板間隔をＸ１とＸ２に変化さ
せている。このとき図５（Ａ）のように測定スペクトル
をもつ光線を受光したとすると、図５（Ｂ）の干渉フィ
ルタのピークスペクトルの切替えにより、図６（Ｂ）の
ような波長λ１のピークスペクトルによる受光パワーと
波長λ２のピークスペクトルによる受光パワーが交互に
得られ、センサチップ５に集光される。

【００３２】このため、センサチップ５に設けている図
２の誘電ボロメータ１６に図６（Ｂ）のような受光パワ
ー（受光量）が加わり、図６（Ｃ）のように受光パワー
の立ち上がり変化と立ち下がり変化に対応した微分波形
となるセンサ出力が微分回路１７を介して検出信号（微
分信号）Ｖｏとして出力される。このセンサ出力となる
検出信号Ｖｏは、図５（Ａ）の測定スペクトルの波長λ
１，λ２における変化量を表わす特徴波長での微分スペ
クトルである。

【００３３】したがって、図６（Ｃ）のようなセンサ出
力が得られたときに例えば炎検知を警報することができ
る。もちろん図５（Ａ）のような特徴のあるスペクトル
が得られていない場合には、波長可変干渉フィルタ３の
波長λ１，λ２の各ピークスペクトルの透過で得られた
受光パワーは略同レベルにあり、センサ出力としての微
分波形は得られない。

【００３４】また測定スペクトル帯域全域に亘るような
ノイズスペクトルを受けても測定波長λ１，λ２のそれ
ぞれにおける受光パワーは略同じであり、その結果、微
分出力となるセンサ出力にノイズスペクトルの影響は現
われることはなく、高いＳＮを確保することができる。

【００３５】このように波長可変干渉フィルタ３の基板
間隔を交流的に変化させるようにしたことで、従来の焦
電型センサでは必要となるチョッパを不要にできること
から、機械的駆動部品による信頼性の低下を防ぐことが
できる。また、目標とする特徴スペクトルをもつ対象物
体が存在する場合のみ検出信号を出力することができ
る。

【００３６】図７は、本発明の微分スペクトルセンサの
他の実施形態であり、二次元画像として微分スペクトル
画像を得ることのできるイメージ型微分スペクトルセン
サとしたことを特徴とする。

【００３７】図７において、イメージ型微分スペクトル
センサ２０は、波長可変干渉フィルタ３に続いて結像レ
ンズ２１を設け、結像レンズ２１の結像位置に撮像素子
２２を配置している。結像レンズ２１は測定対象物２３
を撮像素子２２に反転した倒立像２４として結像する倒
立光学系を例にとっている。

【００３８】波長可変干渉フィルタ３は図３の構造を持
ち、パルス駆動電圧源１４によって駆動周波数ｆ0 とな
る電圧Ｖ１，Ｖ２（但しＶ１＜Ｖ２）の印加により基板
間隔をＸ１，Ｘ２で切り替えて、図４の実線と破線のよ
うな透過ピークスペクトルの分布を切り替えている。

【００３９】図８は、図７のイメージ型微分スペクトル
センサ２０に設けた撮像素子２２の実施形態である。撮
像素子２２は赤外線二次元イメージセンサを構成してお
り、外部からのタイミング信号やアドレス信号等を含む
制御信号を受ける制御信号入力端子２６、外部制御信号
に応じて撮像素子２２の動作を制御する信号を出力する
制御回路２８、画素セル３２がマトリクス状に二次元配
置されたセンサアレイ３１、制御回路２８からのクロッ
クＣＬＫ１に基づいて行パルスＳｘを出力してセンサア
レイ３１の中の行の選択を行う行セレクタ２９、制御回
路２８からのクロックＣＬＫ２に基づいた列パルスＳｙ
の出力によりセンサアレイ３１の中の列の選択を行う列
セレクタ３０、センサアレイの列に対応して設けられ、
選択された画素セル３２からの画素信号を増幅するオペ
アンプ３３、センサアレイ３１の列に対応して設けられ
オペアンプ３３からの信号に含まれる高周波ノイズを除
去する帯域通過フィルタ３４、更に制御回路２８からの
制御信号ＳＣにより制御されて帯域通過フィルタ３４か
らの画素使用の有無を選択的に出力端子２７に与えるマ
ルチプレクサ４０を備える。

【００４０】この撮像素子２２における制御回路２８
は、行セレクタ２９、列セレクタ３０及びマルチプレク
サ４０を制御し、列セレクタ３０からは図９（Ａ）の列
パルスＳｙがセンサアレイ３１に出力され、同時に行セ
レクタ２９からは図９（Ｂ）の行パルスＳｘがセンサア
レイ３１に出力される。即ち、図９（Ａ）の列パルスＳ
ｙは周期Ｔｙで列パルスを出力しており、この列パルス
周期Ｔｙの間に図９（Ｂ）の行パルスＳｘが行方向の画
素セル３２の数分だけ出力され、以下これを繰り返す。

【００４１】図１０は、図８のセンサアレイ３１に設け
ている画素セル３２の１つを取り出して示したセル回路
図である。図１０において、画素セル３２には光電変換
素子として、図２と同様、誘電ボロメータ１６が設けら
れ、誘電ボロメータ１６は赤外線受光量に応じて誘電率
が変化する可変容量として動作する。

【００４２】また誘電ボロメータ１６は抵抗体１５を介
して電源電圧＋Ｖｃの印加で電界印加型となっており、
十分な赤外線に対する検出感度を有する。また誘電ボロ
メータ１６の検出信号は赤外線受光量に依存した温度に
比例した直線変化であることから、誘電ボロメータ１６
に続いて微分回路１７を設けている。

【００４３】微分回路１７は、抵抗１８とコンデンサ１
９を備えたＲＣ微分回路であり、その低域遮断周波数ｆ
1 は波長可変干渉フィルタ３の駆動周波数ｆ0 より低い
周波数に設定されている。微分回路１７に続いては、行
パルスＳｘでオン・オフされるトランジスタ３５と、列
パルスＳｙでオン・オフされるトランジスタ３６が直列
接続されている。

【００４４】尚、図８の撮像素子２２にあっては、セン
サアレイ３１の外部に帯域通過フィルタ３４を設けてい
ることから、画素セル３２単位に独立に帯域通過フィル
タを設ける必要はない。

【００４５】また上記の実施形態は、赤外線スペクトル
に感度を持つ誘電ボロメータ等の赤外線センサを検出素
子として用いた場合を例にとるものであったが、本発明
はこれに限定されず、可視光域や紫外線域に感度を持
ち、受光量に比例した受光信号を出力する適宜の光電変
換素子を使用できる。

【００４６】更に波長可変干渉フィルタ３による測定の
ための目標波長として、炎から放出される赤外線の波長
設定を例にとっているが、測定対象物からの光線のスペ
クトルの特徴に応じて適宜の波長を目標監視波長とする
ピークスペクトルの波長設定（基板間隔の設定）で、適
宜の測定対象物体に対応したセンサ機能が実現できる。

【００４７】

【発明の効果】以上説明してきたように本発明によれ
ば、センサ自体が分光スペクトルの中の特徴部分の抽出
と特徴部分での光量変化を示す微分情報を直接検出でき
るため、分光スペクトルの解析の妨げとなる情報を大幅
に低減して有効な情報のみを残し、外部的な分光解析と
微分解析を不要にして装置の処理負担を大幅に減らし、
簡単に測定対象物体の微分スペクトルを検出することが
できる。

【００４８】特に微分スペクトル画像を出力するイメー
ジセンサ型とした場合には、センサから直接、分光スペ
クトルの中の特徴波長についての微分スペクトル画像信
号が得られ、通常のモニタを使用することで直接微分ス
ペクトル画像の監視表示ができ、画像処理装置でセンサ
からの微分スペクトル画像を読み込むことで、測定対象
物体の特徴解析及び判断を簡単且つ迅速に行うことがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】単一のセンサチップを用いた本発明の実施形態
の説明図

【図２】図１のセンサチップの回路図

【図３】図１の波長可変干渉フィルタの構造図

【図４】図３の波長可変干渉フィルタの基板間隔を２段
階に変化させたときの複数のピークスペクトル分布の説
明図

【図５】図１の実施形態における測定波長スペクトルと
波長可変干渉フィルタによる特徴ピークスペクトルの切
替え説明図

【図６】図１の実施形態における波長可変干渉フィルタ
の基板間隔切替え、センサ受光パワー及びセンサ検出信
号の説明図

【図７】撮像素子を用いた本発明の実施形態の説明図

【図８】図７の撮像素子の説明図

【図９】図８の撮像素子における列パルスと行パルスの
タイムチャート

【図１０】図８の画素セルの回路図

【符号の説明】

１：スポット型微分スペクトルセンサ２：ケース３：波長可変干渉フィルタ４：集光レンズ５：センサチップ６ａ，６ｂ：フィルタ駆動用リード７ａ：電源供給リード７ｂ：出力リード１１ａ，１１ｂ：ガラス基板１２ａ，１２ｂ：金属膜１３：圧電素子１４：パルス駆動電圧源１５，１８：抵抗１６：誘電ボロメータ１７：微分回路１９：コンデンサ２０：イメージ型微分スペクトルセンサ２１：結像レンズ２２：撮像素子２３：対象物体２４：倒立像２６：制御信号入力端子２７：画像信号出力端子２８：制御回路２９：行セレクタ３０：列セレクタ３１：センサアレイ３２：画素セル３３：オペアンプ３４：帯域通過フィルタ４０：マルチプレクサ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者長島哲也東京都品川区上大崎２丁目10番43号ホーチキ株式会社内 (72)発明者奥山雅則大阪府豊中市上野坂１丁目16番13号 (72)発明者橋本和彦大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内Ｆターム(参考） 2G020 AA03 BA13 BA20 CC23 CC55 CC65 CD05 CD26

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】微小間隔を隔てて配置した対向面に反射膜
を形成した一対の光学基板の基板間隔を、外部信号によ
り交流的に変化させて光線の透過特性を変化させる波長
可変干渉フィルタと、前記波長可変干渉フィルタの後部に配置され、前記波長
可変干渉フィルタを透過した光の受光光量に比例した受
光信号を出力する光電変換素子と、前記光電変換素子の受光信号を微分する微分回路と、で
構成され、対象物体の分光スペクトルの特徴点を示す検
出信号を出力することを特徴とする微分スペクトルセン
サ。
【請求項２】微小間隔を隔てて配置した対向面に反射膜
を形成した一対の光学基板の基板間隔を、外部信号によ
り交流的に変化させて光線の透過特性を変化させる波長
可変干渉フィルタと、前記波長可変干渉フィルタを透過した対象物体からの光
線を結像する結像レンズと、前記結像レンズの結像位置に配置され、受光光量に比例
した受光信号を出力する複数の光電変換素子を受光画素
として二次元配置すると共に前記受光画素からの受光信
号を微分する微分回路を設けた撮像素子と、で構成さ
れ、対象物体の分光スペクトルの特徴点を示す微分スペ
クトル画像の撮像信号を出力することを特徴とする微分
スペクトルセンサ。
【請求項３】請求項１又は２記載の微分スペクトルセン
サに於いて、前記微分回路は、前記波長可変干渉フィル
タの基板間隔を変化する駆動周波数より低い低域遮断周
波数を有することを特徴とする微分スペクトルセンサ。