JP2000174074A - Method for coating with electronic material adhesive - Google Patents

Method for coating with electronic material adhesive

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JP2000174074A
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polyimide film
film
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polyimide
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滋宏 森下
Seiji Kamimura
誠二 神村
Masahiro Okabe
雅寛 岡部
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To completely evaporate and remove an organic solvent included in an adhesive coated film of an adhesive coated plastic base material film by a method wherein, after the adhesive coated plastic base material film is passed through a hot wind drying furnace, after the adhesive coated plastic base material film is passed through a distant infrared rays drying furnace. SOLUTION: A polyimide film 2 is mounted on a feed-out device 1 as a plastic base material film to be an insulation layer. Next, a polyimide system adhesive 6 containing a solvent is applied onto the polyimide film 2 at a uniform thickness by a coating roller 5. Continuously, after the resultant adhesive coated polyimide film 7 is passed through the interior of a hot wind drying furnace 8 and dried, the adhesive coated polyimide film 7 is passed through the interior of a distant infrared rays drying furnace 9 to be completely dried. Thus, it is possible to completely evaporate and remove an organic solvent included in the adhesive coated polyimide film 7.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電子材料用接着剤
の塗布方法に関するものである。更に詳述すれば、本発
明はTABテープ(テープオートメイテッドボンディン
グ用テープ)やBGA用テープ(ボールグリッドアレイ
用テープ)等の電子部品材料へ電子材料用接着剤を塗布
する方法に関するものである。
The present invention relates to a method for applying an adhesive for electronic materials. More specifically, the present invention relates to a method for applying an electronic material adhesive to electronic component materials such as a TAB tape (tape automated bonding tape) and a BGA tape (ball grid array tape).

【0002】[0002]

【従来の技術】TABテープ、BGA用テープ等は半導
体装置等の電子部品材料として広く使用されている。
2. Description of the Related Art TAB tapes, BGA tapes, and the like are widely used as materials for electronic components such as semiconductor devices.

【0003】従来、このTABテープは次のようにして
製造されていた。
Conventionally, this TAB tape has been manufactured as follows.

【0004】 プラスチック基材フィルムの用意 まず、絶縁層となるプラスチック基材フィルムを用意す
る。
Preparation of Plastic Base Film First, a plastic base film to be an insulating layer is prepared.

【0005】プラスチック基材フィルムとしては、ポリ
イミドフィルム等がある。
[0005] Examples of the plastic substrate film include a polyimide film.

【0006】このポリイミドフィルムには、予めスプロ
ケット孔を開口しておくようにする。
A sprocket hole is previously opened in this polyimide film.

【0007】 接着剤の用意 次に、溶剤を含む接着剤を用意する。Preparation of Adhesive Next, an adhesive containing a solvent is prepared.

【0008】この接着剤としては、溶剤に溶かしてワニ
ス状としたエポキシ樹脂接着剤、ポリイミド樹脂接着
剤、ポリアミド樹脂接着剤、樹脂ブレンド接着剤等が用
いられている。
As the adhesive, an epoxy resin adhesive, a polyimide resin adhesive, a polyamide resin adhesive, a resin blend adhesive, etc., which are dissolved in a solvent to form a varnish, are used.

【0009】ここにおいて、エポキシ樹脂接着剤は、ベ
ースエポキシ樹脂と硬化剤とを有機溶剤に溶解すること
により製造する。
Here, the epoxy resin adhesive is produced by dissolving a base epoxy resin and a curing agent in an organic solvent.

【0010】また、ポリイミド樹脂接着剤は、有機溶剤
中でテトラカルボン酸無水物、芳香簇ジアミン等を反応
させることにより得られる。
The polyimide resin adhesive can be obtained by reacting tetracarboxylic anhydride, aromatic diamine and the like in an organic solvent.

【0011】 ポリイミドフィルム上へ接着剤塗装作
次に、ポリイミドフィルム上へ上記で用意した接着剤
を均一な厚さに塗装する。
Adhesive coating on polyimide film
Work will be painted adhesive prepared above onto a polyimide film to a uniform thickness.

【0012】 接着剤塗装ポリイミドフィルムの乾燥
作業 次に、上記で得られた接着剤塗装ポリイミドフィルム
を熱風式乾燥炉内を通過させることにより乾燥する。
Drying of adhesive-coated polyimide film
Work then dried by passing hot air drying oven adhesive coating polyimide films obtained in the above.

【0013】この乾燥作業によりポリイミドフィルム上
へ塗装された接着剤中の有機溶剤分が蒸発、揮散し、そ
れによりポリイミドフィルム上に接着剤が固形化する。
この接着剤の固形化により接着剤塗布ポリイミドフィル
ムが得られる。
By this drying operation, the organic solvent in the adhesive applied on the polyimide film evaporates and volatilizes, thereby solidifying the adhesive on the polyimide film.
By solidifying the adhesive, an adhesive-coated polyimide film is obtained.

【0014】 接着剤塗布ポリイミドフィルム上へ銅
箔等の貼り合わせ 次に、上記で得られた接着剤塗布ポリイミドフィルム
の接着剤塗布面側に銅箔やリードフレームを貼り合わせ
る。
Copper on polyimide film coated with adhesive
Bonding the foil then bonding the copper foil or lead frame to the adhesive coated surface of the adhesive-coated polyimide film obtained above.

【0015】 銅箔貼り合わせポリイミドフィルムの
回路パターン形成 次に、上記で得られた銅箔貼り合わせポリイミドフィ
ルムの銅箔側にフォトレジストを塗布する。
[0015] Copper foil bonded polyimide film
Circuit patterns formed Next, a photoresist to the copper foil side of a copper foil bonded polyimide film obtained in the above.

【0016】次に、その銅箔貼り合わせポリイミドフィ
ルムの銅箔側にフォトレジスト塗布した面に回路パター
ンマスクを介して露光し、それから現像、水洗すること
により回路パターンを形成する。
Next, the surface of the copper foil-bonded polyimide film coated with the photoresist on the copper foil side is exposed through a circuit pattern mask, and then developed and washed to form a circuit pattern.

【0017】 TABテープの製造 次に、上記により得られた銅箔貼り合わせポリイミド
フィルムの銅箔側に回路パターンを形成したものに、裏
止剤を塗布し、それからエッチングし、次にレジストを
剥離し、次にソルダーレジスト印刷し、次に所定箇所に
めっきすることによりTABテープを製造する。
Production of TAB Tape Next, a backing agent is applied to the copper foil-bonded polyimide film obtained as described above, on which a circuit pattern is formed on the copper foil side, followed by etching, and then stripping the resist. Next, a TAB tape is manufactured by printing a solder resist and then plating a predetermined portion.

【0018】[0018]

【発明が解決しようとする課題】さて、このようなTA
Bテープの電気的特性、機械的特性及び化学的特性に悪
影響を及ぼすものとしてポリイミドフィルム上へ塗装し
た接着剤塗膜中の残留有機溶剤量がある。
Now, such a TA
An adverse effect on the electrical properties, mechanical properties and chemical properties of the B tape is the amount of residual organic solvent in the adhesive coating applied on the polyimide film.

【0019】このポリイミドフィルム上へ塗装した接着
剤塗膜中の残留有機溶剤量は、用いた接着剤中の有機溶
剤の沸点が高いほど大きく、また、接着剤塗装ポリイミ
ドフィルムの乾燥作業における乾燥温度が低い程大き
い。
The amount of the residual organic solvent in the adhesive film coated on the polyimide film increases as the boiling point of the organic solvent in the adhesive used increases, and the drying temperature in the drying operation of the adhesive-coated polyimide film increases. The lower the, the greater.

【0020】ここにおいて、接着剤中の有機溶剤を沸点
が低いものにすることもできるが、その場合には作業中
の接着剤から低沸点有機溶剤が大量に蒸発し、その結果
接着剤の樹脂分の変動、職場火災危険が増大するという
難点がある。
In this case, the organic solvent in the adhesive may have a low boiling point. In this case, however, a large amount of the low-boiling organic solvent evaporates from the working adhesive, and as a result, the resin of the adhesive is removed. Minute fluctuations and increased workplace fire danger.

【0021】他方、乾燥温度を上げることもできるが、
その場合にはポリイミドフィルムの熱劣化、接着剤の塗
装膜の膨れ不良等の多発、乾燥炉の断熱材料の厚みの増
大化、熱効率の低下等の難点が発生する。
On the other hand, the drying temperature can be increased,
In this case, there are problems such as the thermal deterioration of the polyimide film, the swelling of the adhesive coating film, and the like, the increase in the thickness of the heat insulating material of the drying oven, and the decrease in the thermal efficiency.

【0022】本発明はかかる点に立って為されたもので
あって、その目的とするところは前記した従来技術の欠
点を解消し、溶剤を含む接着剤を塗布したプラスチック
基材フィルムの接着剤塗膜中に含まれている有機溶剤を
完全に蒸発、除去することができる電子材料用接着剤の
塗布方法を提供することにある。
The present invention has been made in view of such a point, and an object of the present invention is to solve the above-mentioned disadvantages of the prior art and to provide an adhesive for a plastic substrate film coated with an adhesive containing a solvent. An object of the present invention is to provide a method for applying an adhesive for electronic materials, which can completely evaporate and remove an organic solvent contained in a coating film.

【0023】[0023]

【課題を解決するための手段】本発明の要旨とするとこ
ろは、溶剤を含む接着剤を塗布したプラスチック基材フ
ィルムを熱風乾燥炉内を通過させることにより接着剤塗
布プラスチック基材フィルムとし、然る後、該接着剤塗
布プラスチック基材フィルムを遠赤外線乾燥炉内を通過
させることを特徴とする電子材料用接着剤の塗布方法に
ある。
The gist of the present invention is that a plastic substrate film coated with an adhesive containing a solvent is passed through a hot-air drying oven to form an adhesive-coated plastic substrate film. And then passing the adhesive-coated plastic substrate film through a far-infrared drying oven.

【0024】本発明において、プラスチック基材フィル
ムとしては、耐熱性の点からポリイミドフィルムが好ま
しい。
In the present invention, a polyimide film is preferable as the plastic substrate film from the viewpoint of heat resistance.

【0025】即ち、本発明では、まず、溶剤を含む接着
剤を塗布したポリイミドフィルムを熱風乾燥装置内を通
過させることにより有機溶剤の大部分を蒸発、揮散さ
せ、次に、遠赤外線乾燥装置を通過させることにより残
りの微量の有機溶剤を完全に蒸発、揮散させることを特
徴とする電子材料用接着剤の塗布方法にある。
That is, in the present invention, first, a polyimide film coated with an adhesive containing a solvent is passed through a hot-air drying device to evaporate and volatilize most of the organic solvent. There is provided a method for applying an adhesive for electronic materials, characterized by completely evaporating and volatilizing the remaining trace amount of organic solvent by passing the same.

【0026】[0026]

【発明の実施の形態】次に、本発明の電子材料用接着剤
の塗布方法の実施の形態について説明する。
Next, an embodiment of a method for applying an adhesive for electronic materials according to the present invention will be described.

【0027】本発明において、熱風乾燥装置としては工
業的に市販されているものならよい。
In the present invention, any commercially available hot air drying device may be used as long as it is commercially available.

【0028】また、本発明において、遠赤外線乾燥装置
も工業的に市販されているものならよく、例えば防爆型
の遠赤外線乾燥装置でもよく、また、非防爆型の遠赤外
線乾燥装置でもよい。この非防爆型の遠赤外線乾燥装置
でもよいのは、最初の熱風乾燥装置による乾燥作業によ
り接着剤塗装膜の有機溶剤の大部分が蒸発、揮散してお
り、従って、爆発が起こらないのである。
In the present invention, the far-infrared ray drying device may be any commercially available one, and may be, for example, an explosion-proof far-infrared ray drying device or a non-explosion-proof far-infrared ray drying device. The non-explosion-proof far-infrared drying device may be used because most of the organic solvent in the adhesive coating film is evaporated and volatilized by the first drying operation by the hot air drying device, so that no explosion occurs.

【0029】しかも、この遠赤外線乾燥装置は熱風乾燥
装置と比較して消費電力が少なくて済み、且つ接着剤塗
装膜の内部まで伝熱するため、効率よく有機溶剤を蒸
発、揮散させることができる。
Moreover, the far-infrared ray drying device requires less power consumption than the hot-air drying device and transmits heat to the inside of the adhesive coating film, so that the organic solvent can be efficiently evaporated and volatilized. .

【0030】[0030]

【実施例】次に、本発明の電子材料用接着剤の塗布方法
の一実施例について図面により説明する。
Next, an embodiment of a method for applying an adhesive for electronic materials according to the present invention will be described with reference to the drawings.

【0031】図1は、本発明の電子材料用接着剤の塗布
方法の一実施例を示した正面説明図である。
FIG. 1 is an explanatory front view showing an embodiment of a method for applying an adhesive for electronic materials according to the present invention.

【0032】図1において、1は送出装置、2はポリイ
ミドフィルム、3はガイドプーリー、4は接着剤塗装タ
ンク、5は塗装ローラー、6は溶剤を含むワニス状のポ
リイミド系接着剤、7は接着剤塗装ポリイミドフィル
ム、8は熱風乾燥炉、9は遠赤外線乾燥炉、10は接着
剤塗布ポリイミドフィルム、11は巻取装置である。
In FIG. 1, 1 is a feeding device, 2 is a polyimide film, 3 is a guide pulley, 4 is an adhesive coating tank, 5 is a coating roller, 6 is a varnish-like polyimide adhesive containing a solvent, and 7 is an adhesive. 8 is a hot-air drying oven, 9 is a far-infrared drying oven, 10 is an adhesive-coated polyimide film, and 11 is a winding device.

【0033】 プラスチック基材フィルムの用意 まず、絶縁層となるプラスチック基材フィルムとしてポ
リイミドフィルムを用意した。このポリイミドフィルム
には予めスプロケット孔を開口しておいた。
Preparation of Plastic Base Film First, a polyimide film was prepared as a plastic base film to be an insulating layer. A sprocket hole was previously opened in this polyimide film.

【0034】このように用意したポリイミドフィルム2
を送出装置1に装着する。
The polyimide film 2 thus prepared
Is attached to the sending device 1.

【0035】 接着剤の用意 次に、溶剤を含む接着剤としてN−メチルピロリドン中
で酸成分と多価アミン成分とを反応して得られたポリイ
ミド系接着剤を用意した。
Preparation of Adhesive Next, a polyimide adhesive obtained by reacting an acid component and a polyamine component in N-methylpyrrolidone as an adhesive containing a solvent was prepared.

【0036】このポリイミド系接着剤6を接着剤塗装タ
ンク4内に入れた。
The polyimide adhesive 6 was put in the adhesive coating tank 4.

【0037】 ポリイミドフィルム上へ接着剤塗装作
次に、上記で用意したポリイミドフィルム2上へ上記
で用意したポリイミド系接着剤6を塗装ローラー5に
より均一な厚さに塗装した。
Adhesive coating on polyimide film
Work was then painted a uniform thickness by painting roller 5 a polyimide adhesive 6 onto the polyimide film 2 was prepared prepared by the above.

【0038】 接着剤塗装ポリイミドフィルムの熱風
式乾燥炉乾燥作業 次に、上記で得られた接着剤塗装ポリイミドフィルム
7を熱風式乾燥炉8内を通過させることにより乾燥し
た。
Hot air of adhesive-coated polyimide film
Wherein drying oven drying operations Next, the adhesive coated polyimide film 7 obtained above was dried by passing through a hot air drying oven 8.

【0039】ここにおいて、ポリイミド系接着剤中の有
機溶剤のN−メチルピロリドンの沸点は252℃であ
る。従って、熱風式乾燥炉の温度は200〜300℃と
した。ここにおいて、300℃以上の温度となると断熱
層を厚くする等の対策が必要であり、且つ放熱が大きく
なり、加温効率が下がる。
Here, the boiling point of the organic solvent N-methylpyrrolidone in the polyimide adhesive is 252 ° C. Therefore, the temperature of the hot-air drying furnace was set to 200 to 300 ° C. Here, if the temperature becomes 300 ° C. or more, measures such as increasing the thickness of the heat insulating layer are required, and the heat dissipation increases, and the heating efficiency decreases.

【0040】この乾燥作業によりポリイミドフィルム上
へ塗装された接着剤塗膜中の大半の有機溶剤分が蒸発、
揮散し、それによりポリイミドフィルム上に接着剤が固
形化した。
By this drying operation, most of the organic solvent in the adhesive coating film coated on the polyimide film was evaporated.
It volatilized, thereby solidifying the adhesive on the polyimide film.

【0041】 接着剤塗装ポリイミドフィルムの遠赤
外線乾燥炉乾燥作業 次に、上記で得られた接着剤塗装ポリイミドフィルム
7を遠赤外線乾燥炉9内を通過させることにより完全に
乾燥した。
Far Infrared of Adhesive Coated Polyimide Film
External drying oven drying operations were then completely dried by passing a far-infrared drying oven 9 adhesive coating polyimide film 7 obtained above.

【0042】この遠赤外線乾燥炉9の場合、スポット的
に加温することができるため、熱風式に対し消費電力も
十分の一程度と少なくて済み、また、前段に大部分の溶
剤を除去しているため、防爆構造とする必要がなく、し
かも、残存溶剤を完全に除去することができる。
In the case of the far-infrared drying oven 9, since the heating can be performed in a spot manner, the power consumption can be reduced to about one tenth of that of the hot air type, and most of the solvent is removed in the preceding stage. Therefore, there is no need to use an explosion-proof structure, and the residual solvent can be completely removed.

【0043】これにより接着剤塗膜中に残留有機溶剤が
ない接着剤塗布ポリイミドフィルム10が得られた。
As a result, an adhesive-coated polyimide film 10 having no residual organic solvent in the adhesive coating film was obtained.

【0044】 接着剤塗布ポリイミドフィルムの巻取 上記で完全に乾燥した接着剤塗布ポリイミドフィルム
10は、巻取装置11により巻き取る。
Winding of the adhesive-coated polyimide film The adhesive-coated polyimide film 10 completely dried as described above is wound by a winding device 11.

【0045】このようにして得られた接着剤塗膜中に残
留有機溶剤がない接着剤塗布ポリイミドフィルム10
は、TABテープとして加工する。
The adhesive-coated polyimide film 10 having no residual organic solvent in the thus obtained adhesive coating film.
Is processed as a TAB tape.

【0046】TABテープとして加工するには、まず、
接着剤塗布面側に銅箔やリードフレームを貼り合わせ
し、それからスプロケット孔を設ける。このスプロケッ
ト孔は前述したように接着剤塗布前に形成しておいたと
きには省略される。
To process as TAB tape, first,
A copper foil or a lead frame is attached to the adhesive applied surface side, and then a sprocket hole is provided. This sprocket hole is omitted when it is formed before the application of the adhesive as described above.

【0047】次に、フォトレジストを塗布、露光、現像
することにより銅箔に回路パターンを形成する。
Next, a circuit pattern is formed on the copper foil by applying, exposing and developing a photoresist.

【0048】次に、裏止剤を塗布、エッチング、レジス
ト剥離、ソルダーレジスト印刷、めっき等の工程を経る
ことによりTABテープを製造する。
Next, a TAB tape is manufactured through steps such as application of a backing agent, etching, resist stripping, solder resist printing, and plating.

【0049】本発明の電子材料用接着剤の塗布方法の一
実施例ではTABテープについて説明したが、BGA用
テープ、LOC用テープ等にも勿論適用することができ
る。
In one embodiment of the method of applying the adhesive for electronic materials of the present invention, a TAB tape has been described. However, the present invention can also be applied to a BGA tape, a LOC tape and the like.

【0050】[0050]

【発明の効果】本発明の電子材料用接着剤の塗布方法に
よれば、溶剤を含む接着剤を塗布したポリイミドフィル
ムの接着剤塗膜中に含まれている有機溶剤を完全に蒸
発、除去することができ、それによりTABテープ、B
GA用テープ、LOC用テープ等の電気的特性、機械的
特性及び化学的特性を顕著に向上できるものである。
According to the method of applying the adhesive for electronic materials of the present invention, the organic solvent contained in the adhesive coating of the polyimide film coated with the adhesive containing the solvent is completely evaporated and removed. Can be used, so that TAB tape, B
Electrical properties, mechanical properties and chemical properties of GA tapes, LOC tapes and the like can be remarkably improved.

【0051】また、本発明の電子材料用接着剤の塗布方
法によれば、乾燥作業における消費電力の低減、乾燥温
度の上昇の抑止等の効果も大きいものである。
Further, according to the method for applying an adhesive for electronic materials of the present invention, the effect of reducing power consumption in the drying operation and suppressing an increase in the drying temperature is great.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の電子材料用接着剤の塗布方法の一実施
例を示した正面説明図である。
FIG. 1 is an explanatory front view showing one embodiment of a method for applying an adhesive for electronic materials of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 送出装置 2 ポリイミドフィルム 3 ガイドプーリー 4 接着剤塗装タンク 5 塗装ローラー 6 ポリイミド系接着剤 7 接着剤塗装ポリイミドフィルム 8 熱風乾燥炉 9 遠赤外線乾燥炉 10 接着剤塗布ポリイミドフィルム 11 巻取装置 Reference Signs List 1 delivery device 2 polyimide film 3 guide pulley 4 adhesive coating tank 5 coating roller 6 polyimide-based adhesive 7 adhesive-coated polyimide film 8 hot-air drying oven 9 far-infrared drying oven 10 adhesive-coated polyimide film 11 winding device

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡部 雅寛 茨城県日立市日高町5丁目1番1号 日立 電線株式会社パワーシステム研究所内 Fターム(参考) 5F044 MM03 MM06 MM11 MM48  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Masahiro Okabe 5-1-1, Hidaka-cho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture F-term in Power Systems Research Laboratory, Hitachi Cable, Ltd. 5F044 MM03 MM06 MM11 MM48

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】溶剤を含む接着剤を塗布したプラスチック
基材フィルムを熱風乾燥炉内を通過させることにより接
着剤塗布プラスチック基材フィルムとし、然る後、該接
着剤塗布プラスチック基材フィルムを遠赤外線乾燥炉内
を通過させることを特徴とする電子材料用接着剤の塗布
方法。
1. A plastic substrate film coated with an adhesive containing a solvent is passed through a hot-air drying oven to form an adhesive-coated plastic substrate film. A method for applying an adhesive for electronic materials, wherein the method is passed through an infrared drying oven.
【請求項2】用いるプラスチック基材フィルムが、ポリ
イミドフィルムであることを特徴とする請求項1記載の
電子材料用接着剤の塗布方法。
2. The method according to claim 1, wherein the plastic substrate film used is a polyimide film.
JP35081498A 1998-12-10 1998-12-10 Method for coating with electronic material adhesive Pending JP2000174074A (en)

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