JP2000169160A - ガラスプレス成形装置 - Google Patents

ガラスプレス成形装置

Info

Publication number
JP2000169160A
JP2000169160A JP10351355A JP35135598A JP2000169160A JP 2000169160 A JP2000169160 A JP 2000169160A JP 10351355 A JP10351355 A JP 10351355A JP 35135598 A JP35135598 A JP 35135598A JP 2000169160 A JP2000169160 A JP 2000169160A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass material
glass
static electricity
unit
press
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10351355A
Other languages
English (en)
Inventor
Minoru Kubo
実 久保
Hiroyuki Sakakibara
啓行 榊原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP10351355A priority Critical patent/JP2000169160A/ja
Publication of JP2000169160A publication Critical patent/JP2000169160A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B11/00Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
    • C03B11/06Construction of plunger or mould
    • C03B11/08Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B11/00Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プレス成形における静電気の影響をなくして
品質のよい光学素子を製造することができるガラスプレ
ス成形装置を提供すること。 【解決手段】 成形するためのガラス材gを収容してい
るガラス材収容部40と、前記ガラス材gを所定の形状
に成形するためのプレス部60と、前記ガラス材gを保
持するためのガラス材保持部51を有しており、前記ガ
ラス材収容部40から前記プレス部に前記ガラス材gを
搬送するための搬送部50と、前記ガラス材収容部4
0、前記プレス部60及び前記搬送部50が内部に配置
されている成型室11とを有するガラスプレス成形装置
10において、前記ガラス材保持部51は、導電体から
なっているとともに電気的に接地されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラスプレス成形
装置の改良、特に、成形される光学素子の品質を向上さ
せるガラスプレス成形装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、光学機器のレンズやプリズム等の
光学素子は、大量かつ精度よく製造するためにプレス成
形によって製造されている。これら光学素子のプレス成
形方法には主に2つの方法があげられる。図5には従来
のレンズ成形装置におけるプレス部の一例を示す構成図
であり、図5を参照してプレス部について説明する。図
5のプレス部1は、上型2、下型3、入れ子4、5等を
有していて、上型2は矢印Z方向に移動可能に設けられ
ている。入れ子4、5はそれぞれプレス成形されるガラ
ス材を保持するものであって、下型3、上型4にそれぞ
れ挿入されている。
【0003】上型2、下型3にはガラスが成形されるべ
き形状がかたどられて、入れ子4、5にガラス材gが配
置される。ここで、上型2及び下型3に形成されている
型の内径は、実際に製造すべきレンズの外径よりも大き
く形成されている。このため、ガラス材gはその体積を
完成品のガラスレンズGLの体積と精度よく合わせる必
要がないため、入れ子4に配置されるガラス材gにはゴ
ブプリフォームが使用されている。
【0004】次に図5を参照してプレス部1の動作例に
ついて説明する。まず、図5(A)に示すように、の入
れ子4にゴブプリフォームのガラス材gが載せられれ
る。その後図5(B)に示すように、上型2が矢印Z方
向に移動して、ガラスレンズGLがプレス成形される。
ここで、図6(A)に示すプレス成形により製造される
ガラスレンズは実際の外径より大きく製造される。そし
て、図6(B)に示すように、製造されたガラスレンズ
GLに芯取り等の後加工が施されて、所定の形状を有す
るガラスレンズGLが作製される。
【0005】また、図7は別のプレス部の一例を示す構
成図であり、図7を参照してプレス部6について説明す
る。図7のプレス部6は、図5のプレス部1と同様に上
型2a、下型3a、入れ子4a、5aを有している。こ
こで図6のプレス部6は上型2a及び下型3aに形成さ
れている型の内径が製造すべきガラスレンズの外径とほ
ぼ同一になるように設定されている。このため、ガラス
材gは精度よく製造されるレンズの体積と同じ体積を入
れ子4に配置する必要があるため、ボール型プリフォー
ムが使用される。プレス部6の動作例についても図5の
プレス部1の動作例とほぼ同一であるが、製造されるガ
ラスレンズGLは、作製すべきガラスレンズGLの外径
と同じであるため、芯取り等の後処理を行う必要がな
い。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ガラスプレ
ス成形装置1、6は小径化、軽量化のため、装置を構成
する機器の材料としてセラミック系の材料やアルマイト
処理されたアルミニウムが多用されている。しかし、こ
れらの材料は不導体であるため、静電気が蓄積しやすく
また蓄積されると放電されにくいという性質を有してい
る。一方、レンズの材料となるガラス材もまた不導体で
あるため、非常に静電気が蓄積されやすいという性質を
有している。
【0007】ここで、たとえばガラス材がガラスプレス
成形装置を構成する機器に接触し、あるいは長時間保持
されている状態にあると、機器に蓄積されている静電気
がガラス材に授受されてしまうことがある。静電気が蓄
積されているガラス材がプレス成形装置の型に配置され
ると、図8(A)に示すようにガラス材gと入れ子4が
吸着してしまったり、もしくは反発し合ってしまう場合
がある。この状態でプレス成形を行うと、特に図6のプ
レス成型方法の場合に、図8(B)に示すように、成形
されたガラスレンズGLに偏肉等が生じてしまったり、
型が破損する原因となってしまうという問題がある。
【0008】さらに、近年光学機器の小径化とともに光
学素子の小径化が進んでいて、成形すべきガラスレンズ
GLの大きさも小さくなってきている。従って、プレス
成形に使用されるプリフォームの大きさも小さくなるわ
けであるが、プリフォームの大きさが小さければ小さい
ほど静電気の影響は大きくなってしまうという問題があ
る。従って、小径(軽量)のガラスレンズGLを製造す
るとき、特に図6のプレス成形方法の場合には、ガラス
プレス成形装置を自動化するのが大変難しいという問題
がある。
【0009】そこで本発明は上記課題を解消し、プレス
成形における静電気の影響をなくして品質のよい光学素
子を製造することができるガラスプレス成形装置を提供
することを目的としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的は、請求項1の
発明によれば、成形するためのガラス材を収容している
ガラス材収容部と、前記ガラス材を所定の形状に成形す
るためのプレス部と、前記ガラス材を保持するためのガ
ラス材保持部を有しており、前記ガラス材収容部から前
記ガラス成形部に前記ガラス材を搬送するための搬送部
と、前記ガラス材収容部、前記プレス部及び前記搬送部
が内部に配置されている成型室とを有するガラスプレス
成形装置において、前記ガラス材保持部は、導電体から
なっているとともに電気的に接地されているガラスプレ
ス成形装置により、達成される。
【0011】請求項1の構成によれば、ガラス材を保持
するガラス材保持部が導体からなっていて、電気的に接
続されている。よって、ガラス材保持部がガラス材と接
触することにより、ガラス材に蓄積されている静電気を
ガラス材保持部に逃がすとともに、ガラス材保持部が静
電気を蓄積しないようにしている。これにより、ガラス
材に静電気が蓄積されることによる不純物の付着を防止
するとともに、プレス部において静電気によるプレス成
形品の形状不良を防止して、光学素子の品質を向上させ
ることができる。
【0012】上記目的は、請求項2の発明によれば、請
求項1の構成において、前記ガラス材収容部は、前記ガ
ラス材と接触する部位が導電体からなっているガラスプ
レス成形装置により、達成される。請求項2の構成によ
れば、プレス成形される前のガラス材が導電体からなる
ガラス材収容部によって収容されている。これにより、
ガラス材がガラス材収容部に接触して保持されていると
きに、ガラス材に蓄積されている静電気がガラス材収容
部に放電されるとともに、ガラス材収容部は静電気を蓄
積しないので、ガラス材に静電気が蓄積されるのを抑え
ることができる。従って、ガラス材及び成形室内の機器
に静電気が蓄積することにより発生する光学素子の品質
の低下を防止することができる。
【0013】上記目的は、請求項3の発明によれば、請
求項1の構成において、前記成形室には、前記成形室外
に配置されている加湿部と、前記加湿部に接続されてい
て前記加湿部で加湿された空気を前記成形室内に取り込
むためダクトとを有する湿度調整部が取り付けられてい
て、前記ダクトは、導電体からなっているガラスプレス
成形装置により、達成される。請求項3の構成によれ
ば、成形室内を静電気が発生しにくい湿度に保つための
湿度調整部が取り付けられている。また、加湿された空
気を成形室内に取り込むダストは導電体により形成され
ている。これにより、成形室内において静電気が発生に
くくするようにすることができるとともに、ダストに静
電気が蓄積しないようにすることができる。従って、ガ
ラス材及び成形室内の機器に静電気が蓄積することによ
り発生する光学素子の品質の低下を防止することができ
る。
【0014】上記目的は、請求項4の発明によれば、請
求項1の構成において、前記成形室内には、前記成形室
内の静電気を排除するための静電気排除部が配置されて
いるガラスプレス成形装置により、達成される。請求項
4によれば、成形室内には静電気除去部が配置されてい
て、生成室内に配置されている機器及びガラス材に蓄積
されている静電気をイオンブローにより積極的に除去す
る。これにより、成形室内の機器及びガラス材の静電気
の蓄積を抑えることができるため、ガラス材及び機器が
静電気を蓄積していることによる光学素子の品質の低下
を抑えることができる。
【0015】上記目的は、請求項5の発明によれば、請
求項1の構成において、前記ガラス材保持部には、ガラ
ス材を吸引により保持するため空圧調整装置と接続され
ていて、前記空圧調整装置における前記成形室内に配置
されている部材は、導電体からなっているガラスプレス
成形装置により、達成される。請求項5の構成によれ
ば、成形室内で真空発生、もしくはガラス材の搬送及び
保持などに使用される空圧調整装置のバルブや配管など
が導電体で構成される。一般的に静電気は空気の流れで
も発生しうるが、これにより、成形室内の機器、ガラス
材に静電気が発生するのを抑えることができる。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、
技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明
の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨
の記載がない限り、これらの形態に限られるものではな
い。
【0017】図1には本発明のガラスプレス成形装置の
好ましい実施の形態を示す斜視図を示しており、図1を
参照してガラスプレス成形装置10について説明する。
図1のガラスプレス成形装置10は、成形室11内に湿
度調整部20、静電気除去部30、ガラス材収容部4
0、搬送部50、プレス部60等が設けられている。湿
度調整部20は加湿部21、ダクト22等から構成され
ていて、加湿部21は成形室11の外部に配置されてい
る。加湿部21はたとえば50%以上の湿度の空気を生
成するものであって、ダクト22と接続されている。ダ
クト22は加湿部21により生成された空気を成形室1
1内に取り込むものである。成形室11内をたとえば湿
度50%に保つことで、ガラス材g及び成形室11内の
機器における静電気の発生が抑えられる。
【0018】ここで、ダクト22は配管用ホース及び継
ぎ手等から構成されていて、導電体、すなわち静電気が
蓄積されない材質で形成されている。ダクト22が導電
体から形成されていることにより、ダクト22に静電気
が蓄積することがなくなり、成形室11内の静電気の発
生を抑えることができる。なお、導電体としてはたとえ
ば鉄、銅、アルミニウム等の従来公知の導電材料が使用
される。成形室11内にはたとえばイオン発生器等から
なる静電気除去部30が配置されていて、静電気除去部
30は成形室11内に配置されている機器及び後述する
ガラス材収容部40に収容されているガラス材gに対し
てイオンブローして、成形室11内に配置されている機
器及びガラス材gに蓄積されている静電気を積極的に除
去するものである。
【0019】図2はガラス材収容部40の周辺部位を示
す拡大斜視図であり、図1と図2を参照してガラス材収
容部40について説明する。図2のガラス材収容部40
は、複数の穴を有しており、この複数の穴にガラスレン
ズGLの材料となるガラス材gが収容されている。そし
てガラス材収容部40はたとえば鉄、銅、アルミニウム
等の導電性を有する材質から形成されている。このガラ
ス材収容部40にガラス材が収容されると、ガラス材g
とガラス材収容部40が接触することになり、ガラス材
gに蓄積されている静電気がガラス材収容部40により
除去される。同時に、ガラス材収容部40は導電体から
なっているため静電気が蓄積されることがなく、ガラス
材gに対して静電気が授受されることがなくなる。
【0020】図1のガラス材収容部40とプレス部60
の間には搬送部50が配置されている。搬送部50はガ
ラス材収容部40に収容されているガラス材gをプレス
部60に搬送するものであって、ガラス材gを保持する
ガラス材保持部51、ガラス材保持部52を矢印Y方向
にガイドするレール52を有している。図2のガラス材
保持部51は、たとえ導電性の材質からなっているとと
もに、導線等によりアース(接地)されている。よっ
て、ガラス材保持部51は静電気を蓄積することがなく
なるとともに、ガラス材gを保持した際、ガラス材gと
接触することによりガラス材gに蓄積されている静電気
を除去することができる。
【0021】また、ガラス材保持部51は真空発生装置
53に配管52、バルブ54を介して接続されていて、
真空発生装置53の作動によりガラス材gを吸引により
保持する。ここで真空発生装置53はたとえば成型室1
1外に配置されていて、配管52及びバルブ54は成型
室11内に配置されている。そして配管52及びバルブ
54等の成型室11内に配置されている部材は導電体か
らなっている。これにより、成型室11内に静電気が発
生するのを抑えることができる。なお、真空発生装置5
3をガラス材保持部51が図1のレール52に沿って矢
印Y方向に移動するための駆動源とすることもできる。
【0022】図3はプレス部60の周辺部位を示す構成
図であり、図3を参照してプレス部60について説明す
る。なお、図3にはたとえば下型のみ図示しているが、
上型もほぼ同一の構成を有している。プレス部60は、
ベース61、型取り付け部62、下型63、導通用板金
64等を有している。ベース61は図1の成形室11の
底面部に配置されていて、導電性を有する材料から形成
されている。図3のベース61の上には型取り付け部6
2が固定ねじ65により固定されていて、型取り付け部
62は、セラミック系の材料から形成されている。型取
り付け部62の上部には下型63が固定ねじ65により
固定されている。下型63は導電性の有する材料から形
成されており、下型63の上面にはガラスレンズGLの
外径がかたどられている。
【0023】ここで、固定ねじ65、65は導電体から
なっていて、この固定ねじ65、65には導通用板金6
4が固定されている。すなわち、導通用板金64が配置
されることにより、下型63は固定ねじ65、導通用板
金64、固定ねじ65を介してベース61と電気的に接
続されている状態となる。従って、下型63に蓄積され
ている静電気は導通用板金64等を介してベース61に
導通する。これにより、下型63に静電気が発生するこ
とを抑えて、静電気によるガラスレンズGLの形状の乱
れを防止することができる。すなわち、静電気によりガ
ラス材gと下型63が吸着もしくは反発することがなく
なり、精度よくガラスレンズGLの外径を形成すること
ができる。
【0024】次に図1乃至図3を参照してガラスプレス
成形装置10の動作例について説明する。まず、図1の
ガラス材収容部40にガラスレンズGLの材料となるボ
ール型プリフォームもしくはゴムプリフォームのガラス
材gが収容される。このとき、湿度調整部20が作動し
て、成形室11内がたとえば50%以上の湿度に保たれ
ているとともに、静電気除去部30により成形室11内
に収容されている機器及びガラス材gに対してイオンブ
ローが行われる。これにより、成形室11内は静電気が
発生しにくい状態になるとともに、ガラス材g及び成形
室11内の機器に蓄積されている静電気を積極的に除去
する。
【0025】その後、図2の搬送部50がガラス材収容
部40に収容されているガラス材gをガラス材保持部5
1により保持する。ここで、ガラス材保持部51はアー
スされていて、静電気が蓄積されないとともに、ガラス
材gの静電気がガラス材保持部51を介して放出され
る。そして、搬送部50は図1のレール52に沿ってガ
ラス材gを矢印Y方向に移動してプレス部60に供給す
る。図3のプレス部60は、下型63に配置されたガラ
ス材gをプレス成形して所定の形状を形成し、ガラスレ
ンズGLを形成する。このとき、下型63は静電気を導
電用板金64を介して放出しているため、ガラス材gと
下型63が吸着もしくは反発せず下型63の所定の位置
にガラス材gを位置決めしてプレス成形することができ
る。よって、プレス成形されたガラスレンズGLは精度
よく成形されることになる。
【0026】上記実施の形態によれば、成形室11内の
湿度を50%以上に保つことで静電気の発生を抑えると
ともに、静電気除去部30により成形室11内に配置さ
れている機器及びガラス材gの静電気を積極的に除去す
ることができる。また、ガラス材gと接触するガラス材
収容部40及び搬送部50のガラス材保持部51が導電
体で形成されていて、ガラス材保持部51はアースされ
ているため、ガラス材gに蓄積されている静電気を取り
除くことができる。
【0027】さらに、プレス部60における型63が導
電用板金64によって型63に蓄積される静電気を外部
に放出することができるとともに、ガラス材gが型63
と接触した際、ガラス材gの静電気を放出することがで
きる。そして、上述のような静電気対策を高じることに
より、ガラス材gに蓄積されている静電気に起因する、
ガラス材gへの不純物の付着が減少して品質のよいガラ
スレンズGLを作製する事ができる。特に、静電気の影
響の大きい小径(軽量)のガラスレンズGLを製造する
場合、ガラス材gと下型が吸着もしくは反発することに
よる不良品の発生を最小限に抑えることができるととも
に、成形の自動化を図ることができる。
【0028】本発明の実施の形態は、上記実施の形態に
は限定されない。たとえば、図1のガラスプレス成型装
置10はガラスレンズGLをプレス成形するものである
が、たとえばプリズム等の光学素子を製造する際にも適
用することができる。また、図1の静電気除去部30は
成型室11内全体に対してイオンブローしているが、た
とえば長時間ガラス材gが留まるガラス材収容部40に
対して重点的にイオンブローするようにしてもよい。さ
らに、図4に示すように、静電気除去部30がない場合
であっても、静電気によるガラスレンズGLの変形を防
止することができ、また、図1の湿度調整部20がない
場合であっても静電気によるガラスレンズGLの変形を
防止することができる。
【0029】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
プレス成形における静電気の影響をなくして品質のよい
光学素子を製造することができるガラスプレス成形装置
を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のガラスプレス成形装置の好ましい実施
の形態を示す斜視図。
【図2】本発明のガラスプレス成形装置におけるガラス
材収容部及び搬送部の周辺部位を示す斜視図。
【図3】本発明のガラスプレス成形装置におけるプレス
部の構成を示す図。
【図4】本発明のガラスプレス成形装置の別の実施の形
態を示す斜視図。
【図5】従来のガラスプレス成形装置におけるプレス部
の一例を示す構成図。
【図6】従来の別のガラスプレス成形装置におけるプレ
ス部の一例を示す構成図。
【図7】従来のガラスプレス成形装置におけるプレス部
の型周辺部位一例を示す構成図。
【図8】従来のガラスプレス成形装置におけるプレス部
に配置されたガラス材の周辺部位を示す図。
【符号の説明】
10・・・ガラスプレス成形装置、11・・・成形室、
20・・・湿度調整部、21・・・加湿部、22・・・
ダクト、30・・・静電気除去部、40・・・ガラス材
収容部、50・・・搬送部、51・・・ガラス材保持
部、60・・・プレス部。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 成形するためのガラス材を収容している
    ガラス材収容部と、前記ガラス材を所定の形状に成形す
    るためのプレス部と、前記ガラス材を保持するためのガ
    ラス材保持部を有しており、前記ガラス材収容部から前
    記ガラス成形部に前記ガラス材を搬送するための搬送部
    と、前記ガラス材収容部、前記プレス部及び前記搬送部
    が内部に配置されている成型室とを有するガラスプレス
    成形装置において、 前記ガラス材保持部は、導電体からなっているとともに
    電気的に接地されていることを特徴とするガラスプレス
    成形装置。
  2. 【請求項2】 前記ガラス材収容部は、前記ガラス材と
    接触する部位が導電体からなっている請求項1に記載の
    ガラスプレス成形装置。
  3. 【請求項3】 前記成形室には、成形室外に配置されて
    いる加湿部と、前記加湿部に接続されていて前記加湿部
    で加湿された空気を前記成形室内に取り込むためダクト
    とを有する湿度調整部が取り付けられていて、前記ダク
    トは、導電体からなっている請求項1に記載のガラスプ
    レス成形装置。
  4. 【請求項4】 前記成形室内には、前記成形室内の静電
    気を排除するための静電気排除部が配置されている請求
    項1に記載のガラスプレス成形装置。
  5. 【請求項5】 前記ガラス材保持部には、ガラス材を吸
    引により保持するため空圧調整装置と接続されていて、
    前記空圧調整装置における前記成形室内に配置されてい
    る部材は、導電体からなっている請求項1に記載のガラ
    スプレス成形装置。
JP10351355A 1998-12-10 1998-12-10 ガラスプレス成形装置 Pending JP2000169160A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10351355A JP2000169160A (ja) 1998-12-10 1998-12-10 ガラスプレス成形装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10351355A JP2000169160A (ja) 1998-12-10 1998-12-10 ガラスプレス成形装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000169160A true JP2000169160A (ja) 2000-06-20

Family

ID=18416747

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10351355A Pending JP2000169160A (ja) 1998-12-10 1998-12-10 ガラスプレス成形装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000169160A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7697106B2 (en) 2000-01-14 2010-04-13 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display device and method of manufacturing the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7697106B2 (en) 2000-01-14 2010-04-13 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display device and method of manufacturing the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6679194B2 (en) Cassette table of a semiconductor fabricating apparatus
KR100560599B1 (ko) 파티클 제거장치
US10385455B2 (en) Film forming apparatus and film forming method
KR101996717B1 (ko) 성막 방법 및 성막 장치
JP2000169160A (ja) ガラスプレス成形装置
US8235696B2 (en) In-mold forming apparatus, in-mold forming method, in-mold formed article manufacturing method, and dust collector
US7245350B2 (en) Exposure apparatus
US8370989B2 (en) Static eliminator with dust removal feature
JPH10156301A (ja) 移送品の除塵装置
US20150035184A1 (en) Substrate manufacturing facility and method of manufacturing substrate
JP2002289670A (ja) 浮上ユニット
JP2018095382A (ja) シート収納装置
KR102106839B1 (ko) 집진 장치 및 집진 방법
WO2000071479A1 (fr) Procede de maintien de la qualite d'une preforme de fibre optique et procede de conservation
JP2006240906A (ja) 光学素子の成形方法、光学素子の製造方法、光学素子の成形装置
KR20090043160A (ko) 렌즈의 원소재 세정 장치 및 이를 구비하는 렌즈 성형 장치
KR20000026442A (ko) 집진장치가 설치된 반도체 설비 및 집진 방법
JPWO2020004478A1 (ja) 静電チャック
JPH0955418A (ja) ウェーハ搬送装置
CN109637955B (zh) 目标物暂存系统
CN110052676B (zh) 电极结构
JP2003051523A (ja) パーティクル除去システム
CN213001576U (zh) 印制电路板清洁设备及系统
WO2019240029A1 (ja) 真空処理装置、ダミー基板装置
CN111989196B (zh) 夹紧装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050905

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080715

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080826

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20081224