JP2000162589A - 反射型液晶表示装置及びその製造方法 - Google Patents
反射型液晶表示装置及びその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 保護膜を新たに設けることによる工程の増大
が発生せず、また銀をエッチングすることなく反射膜と
した反射型液晶表示装置を得ることができる。 【解決手段】 ＴＦＴ及びそのＴＦＴに接続された反射
表示電極５０を備えた絶縁性基板１０と、銀カラ成る反
射材料をメタルマスクによってマスクした以外の領域に
設けてなる反射膜５１、カラーフィルタ３１、保護膜３
３、拡散層３４、対向電極３５及び配向膜３６を積層し
て形成された対向電極基板３０とすることにより、新た
に保護膜を反射膜５１上に設ける必要もなく、また銀を
エッチングすることなく反射膜５１を形成しているの
で、エッチングされた銀を回収する手間及び設備も不要
となり工程の簡略化及びコストの低減が図れる。
が発生せず、また銀をエッチングすることなく反射膜と
した反射型液晶表示装置を得ることができる。 【解決手段】 ＴＦＴ及びそのＴＦＴに接続された反射
表示電極５０を備えた絶縁性基板１０と、銀カラ成る反
射材料をメタルマスクによってマスクした以外の領域に
設けてなる反射膜５１、カラーフィルタ３１、保護膜３
３、拡散層３４、対向電極３５及び配向膜３６を積層し
て形成された対向電極基板３０とすることにより、新た
に保護膜を反射膜５１上に設ける必要もなく、また銀を
エッチングすることなく反射膜５１を形成しているの
で、エッチングされた銀を回収する手間及び設備も不要
となり工程の簡略化及びコストの低減が図れる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、反射型液晶表示装
置及びその製造方法に関する。
置及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、観察方向から入射した光を反
射させて表示を見るいわゆる反射型液晶表示装置が提案
されている。
射させて表示を見るいわゆる反射型液晶表示装置が提案
されている。
【０００３】図３に、従来の反射型液晶表示装置の断面
図を示す。
図を示す。
【０００４】同図に示すように、従来の反射型液晶表示
装置は、石英ガラス、無アルカリガラス等からなる絶縁
性基板１０上に、スイッチング素子である薄膜トランジ
スタ（以下、「ＴＦＴ」と称する。）を形成する。ま
ず、絶縁性基板（ＴＦＴ基板）１０上に、クロム（Ｃ
ｒ）、モリブデン（Ｍｏ）などの高融点金属からなるゲ
ート電極１１、ゲート絶縁膜１２、及び多結晶シリコン
膜からなる能動層１３を順に形成する。
装置は、石英ガラス、無アルカリガラス等からなる絶縁
性基板１０上に、スイッチング素子である薄膜トランジ
スタ（以下、「ＴＦＴ」と称する。）を形成する。ま
ず、絶縁性基板（ＴＦＴ基板）１０上に、クロム（Ｃ
ｒ）、モリブデン（Ｍｏ）などの高融点金属からなるゲ
ート電極１１、ゲート絶縁膜１２、及び多結晶シリコン
膜からなる能動層１３を順に形成する。
【０００５】その能動層１３には、ゲート電極１１上方
のチャネル１３ｃと、このチャネル１３ｃの両側に、チ
ャネル１３ｃ上のストッパ絶縁膜１４をマスクにしてイ
オン注入されて形成されるソース１３ｓ及びドレイン１
３ｄが設けられている。
のチャネル１３ｃと、このチャネル１３ｃの両側に、チ
ャネル１３ｃ上のストッパ絶縁膜１４をマスクにしてイ
オン注入されて形成されるソース１３ｓ及びドレイン１
３ｄが設けられている。
【０００６】そして、ゲート絶縁膜１２、能動層１３及
びストッパ絶縁膜１４上の全面に、ＳｉＯ2膜、ＳｉＮ
膜及びＳｉＯ2膜の順に積層された層間絶縁膜１５を形
成し、ドレイン１３ｄに対応して設けたコンタクトホー
ルにアルミニウム（Ａｌ）等の金属を充填してドレイン
電極１６を形成する。更に全面に例えば有機樹脂から成
り表面を平坦にする平坦化絶縁膜１７を形成する。そし
て、その平坦化絶縁膜１７のソース１３ｓに対応した位
置にコンタクトホールを形成し、このコンタクトホール
を介してソース１３ｓとコンタクトした銀（Ａｇ）から
成りソース電極１８を兼ねた反射電極である反射表示電
極１９を平坦化絶縁膜１７上に形成する。
びストッパ絶縁膜１４上の全面に、ＳｉＯ2膜、ＳｉＮ
膜及びＳｉＯ2膜の順に積層された層間絶縁膜１５を形
成し、ドレイン１３ｄに対応して設けたコンタクトホー
ルにアルミニウム（Ａｌ）等の金属を充填してドレイン
電極１６を形成する。更に全面に例えば有機樹脂から成
り表面を平坦にする平坦化絶縁膜１７を形成する。そし
て、その平坦化絶縁膜１７のソース１３ｓに対応した位
置にコンタクトホールを形成し、このコンタクトホール
を介してソース１３ｓとコンタクトした銀（Ａｇ）から
成りソース電極１８を兼ねた反射電極である反射表示電
極１９を平坦化絶縁膜１７上に形成する。
【０００７】この反射表示電極１９は、図３に示すよう
に、各ＴＦＴに応じて島化されていなければならないた
め、成膜した銀をエッチングしなければならない。
に、各ＴＦＴに応じて島化されていなければならないた
め、成膜した銀をエッチングしなければならない。
【０００８】そしてその反射表示電極１９上にポリイミ
ド等の有機樹脂からなり液晶２１を配向させる配向膜２
０を形成する。
ド等の有機樹脂からなり液晶２１を配向させる配向膜２
０を形成する。
【０００９】また、ＴＦＴ基板１０に対向し絶縁性基板
からなる対向電極基板３０には、ＴＦＴ基板１０側に、
赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色及び遮光機能を有
するブラックマトリックス３２を備えたカラーフィルタ
３３、その上に形成された樹脂から成る保護膜３４、そ
の全面に形成された透明導電材料から成る対向電極３
５、及び配向膜３６を備えており、その反対側の面には
位相差板４１及び偏光板４２が順に配置されている。そ
して、対向電極基板３０とＴＦＴ基板１０の周辺をシー
ル接着材（図示せず）により接着し、形成された空隙に
ツイスティッドネマティック（ＴＮ）液晶２１を挟持す
る。
からなる対向電極基板３０には、ＴＦＴ基板１０側に、
赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色及び遮光機能を有
するブラックマトリックス３２を備えたカラーフィルタ
３３、その上に形成された樹脂から成る保護膜３４、そ
の全面に形成された透明導電材料から成る対向電極３
５、及び配向膜３６を備えており、その反対側の面には
位相差板４１及び偏光板４２が順に配置されている。そ
して、対向電極基板３０とＴＦＴ基板１０の周辺をシー
ル接着材（図示せず）により接着し、形成された空隙に
ツイスティッドネマティック（ＴＮ）液晶２１を挟持す
る。
【００１０】上述の反射型液晶表示装置を観察する際の
光の進み方を説明する。
光の進み方を説明する。
【００１１】外部から入射される自然光１００は、矢印
で示すように、観察者１０１側から入射し、偏光板４
２、位相差板４１、対向電極基板３０、カラーフィルタ
３３、保護膜３４、対向電極３５、配向膜３６、液晶２
１、及びＴＦＴ基板１０上の配向膜２０を透過して、反
射表示電極１９にて反射され、その後、入射と逆の方向
に各層を透過して対向電極基板３０上の偏光板４２から
出射し観察者の目１０１に入る。
で示すように、観察者１０１側から入射し、偏光板４
２、位相差板４１、対向電極基板３０、カラーフィルタ
３３、保護膜３４、対向電極３５、配向膜３６、液晶２
１、及びＴＦＴ基板１０上の配向膜２０を透過して、反
射表示電極１９にて反射され、その後、入射と逆の方向
に各層を透過して対向電極基板３０上の偏光板４２から
出射し観察者の目１０１に入る。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】ところが、反射表示電
極の材料として銀を用いた場合、銀の表面は非常に酸化
しやすく、酸化すると光反射率が低下することになるた
め、ＳｉＯ2膜等の保護膜を新たに形成する必要があ
り、工程が増加するという欠点があった。
極の材料として銀を用いた場合、銀の表面は非常に酸化
しやすく、酸化すると光反射率が低下することになるた
め、ＳｉＯ2膜等の保護膜を新たに形成する必要があ
り、工程が増加するという欠点があった。
【００１３】また、銀からなる各反射表示電極は島化さ
れるので、そのために硝酸等のエッチャントにて成膜し
た銀をエッチングしなければならない。しかし、そのエ
ッチングされた銀は回収物質として指定されているた
め、回収するための設備が新たに必要となりコストアッ
プになるという欠点があった。
れるので、そのために硝酸等のエッチャントにて成膜し
た銀をエッチングしなければならない。しかし、そのエ
ッチングされた銀は回収物質として指定されているた
め、回収するための設備が新たに必要となりコストアッ
プになるという欠点があった。
【００１４】そこで本発明は、上記の従来の欠点に鑑み
て為されたものであり、工程が増大せず、また銀をエッ
チングすることなく高反射率の反射膜を形成した反射型
液晶表示装置及びその製造方法を提供することを目的と
する。
て為されたものであり、工程が増大せず、また銀をエッ
チングすることなく高反射率の反射膜を形成した反射型
液晶表示装置及びその製造方法を提供することを目的と
する。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明の反射型液晶表示
装置は、表示領域を有し、互いに対向して配置された第
１及び第２の基板間に液晶を充填して成る反射型液晶表
示装置であって、前記第１の基板にはスイッチング素
子、該スイッチング素子に接続された透明導電性材料か
らなる表示電極を備え、前記第２の基板には前記表示領
域に対応した領域に銀から成る反射膜を備えており、該
反射膜上にカラーフィルタ、該カラーフィルタを保護す
る保護膜及び透明導電性材料からなる対向電極を積層し
て備えているものである。
装置は、表示領域を有し、互いに対向して配置された第
１及び第２の基板間に液晶を充填して成る反射型液晶表
示装置であって、前記第１の基板にはスイッチング素
子、該スイッチング素子に接続された透明導電性材料か
らなる表示電極を備え、前記第２の基板には前記表示領
域に対応した領域に銀から成る反射膜を備えており、該
反射膜上にカラーフィルタ、該カラーフィルタを保護す
る保護膜及び透明導電性材料からなる対向電極を積層し
て備えているものである。
【００１６】また、本発明の反射型液晶表示装置の製造
方法は、表示領域を有し、互いに対向して配置された第
１及び第２の基板間に液晶を充填して成る反射型液晶表
示装置の製造方法であって、前記第１の基板上にスイッ
チング素子を形成する工程と、該スイッチング素子を含
む全面を覆った平坦化絶縁膜を形成する工程と、該平坦
化膜上に、該平坦化絶縁膜に設けたコンタクトホールを
介して前記スイッチング素子に接続させた透明導電性材
料から成る表示電極を形成する工程と、前記第２の基板
上に前記表示領域に対応した領域に開口部を有するマス
クを配置した後、銀から成る反射膜を堆積して前記開口
部に反射膜を形成する工程と、該反射膜上にカラーフィ
ルタ、該カラーフィルタを保護する保護膜、透明導電性
材料から成る対向電極及び配向膜を積層形成する工程と
を備えたものである。
方法は、表示領域を有し、互いに対向して配置された第
１及び第２の基板間に液晶を充填して成る反射型液晶表
示装置の製造方法であって、前記第１の基板上にスイッ
チング素子を形成する工程と、該スイッチング素子を含
む全面を覆った平坦化絶縁膜を形成する工程と、該平坦
化膜上に、該平坦化絶縁膜に設けたコンタクトホールを
介して前記スイッチング素子に接続させた透明導電性材
料から成る表示電極を形成する工程と、前記第２の基板
上に前記表示領域に対応した領域に開口部を有するマス
クを配置した後、銀から成る反射膜を堆積して前記開口
部に反射膜を形成する工程と、該反射膜上にカラーフィ
ルタ、該カラーフィルタを保護する保護膜、透明導電性
材料から成る対向電極及び配向膜を積層形成する工程と
を備えたものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】本発明の反射型液晶表示装置につ
いて、以下に説明する。
いて、以下に説明する。
【００１８】図１に本発明の反射型液晶表示装置の断面
図を示す。
図を示す。
【００１９】同図に示すように、本実施の形態の場合、
石英ガラス、無アルカリガラス等の透明基板からなる一
方の絶縁性基板１０上にＣｒ、Ｍｏ等の高融点金属から
なるゲート電極１１の形成から平坦化絶縁膜１７の形成
までは従来の構造と同じであるので説明を省略する。
石英ガラス、無アルカリガラス等の透明基板からなる一
方の絶縁性基板１０上にＣｒ、Ｍｏ等の高融点金属から
なるゲート電極１１の形成から平坦化絶縁膜１７の形成
までは従来の構造と同じであるので説明を省略する。
【００２０】平坦化絶縁膜１７上に、多結晶シリコン膜
からなる能動層１３のソース１３ｓに接続されたＩＴＯ
（Indium Thin Oxide）等の透明導電性材料から成る表
示電極５０を形成する。その上にはポリイミド等からな
り液晶２１を配向させる配向膜２０が形成されている。
こうして、ＴＦＴ基板１０が完成する。またＴＦＴ基板
１０の液晶２１を配置しない側、即ち観察者１０１側に
は絶縁性基板１０側から順に、位相差板４１、偏光板４
２を積層して設ける。
からなる能動層１３のソース１３ｓに接続されたＩＴＯ
（Indium Thin Oxide）等の透明導電性材料から成る表
示電極５０を形成する。その上にはポリイミド等からな
り液晶２１を配向させる配向膜２０が形成されている。
こうして、ＴＦＴ基板１０が完成する。またＴＦＴ基板
１０の液晶２１を配置しない側、即ち観察者１０１側に
は絶縁性基板１０側から順に、位相差板４１、偏光板４
２を積層して設ける。
【００２１】他方の対向電極基板３０は、石英ガラス、
無アルカリガラス等の絶縁性基板からなっており、液晶
２１を配置する側には、対向電極基板３０側から順に、
銀からなる反射膜５１、Ｒ、Ｇ、Ｂを呈する各色及び遮
光機能を有するブラックマトリックス３２を備えたカラ
ーフィルタ３３、そのカラーフィルタ３３を保護するア
クリル樹脂等から成る保護膜３４を設ける。その保護膜
３４の上には各表示電極５０に対向した透明導電性材
料、例えばＩＴＯからなる対向電極３５が全面に設けら
れている。更にその全面にはポリイミドから成る配向膜
３６が形成されている。
無アルカリガラス等の絶縁性基板からなっており、液晶
２１を配置する側には、対向電極基板３０側から順に、
銀からなる反射膜５１、Ｒ、Ｇ、Ｂを呈する各色及び遮
光機能を有するブラックマトリックス３２を備えたカラ
ーフィルタ３３、そのカラーフィルタ３３を保護するア
クリル樹脂等から成る保護膜３４を設ける。その保護膜
３４の上には各表示電極５０に対向した透明導電性材
料、例えばＩＴＯからなる対向電極３５が全面に設けら
れている。更にその全面にはポリイミドから成る配向膜
３６が形成されている。
【００２２】こうして作製された絶縁性基板１０及び対
向電極基板３０の周辺を接着性シール材にて接着し、そ
の接着によって形成された間隙に液晶２１、例えばＴＮ
液晶を充填して反射型液晶表示装置が完成する。
向電極基板３０の周辺を接着性シール材にて接着し、そ
の接着によって形成された間隙に液晶２１、例えばＴＮ
液晶を充填して反射型液晶表示装置が完成する。
【００２３】上述の反射型液晶表示装置を観察する際の
光の進み方を説明する。
光の進み方を説明する。
【００２４】外部から入射される自然光１００は、図１
中に実線矢印で示すように、観察者１０１側から入射
し、偏光板４２、位相差板４１を透過して、１５ＴＦＴ
基板１０、ゲート絶縁膜１２、層間絶縁膜１５、平坦化
絶縁膜１７、透明電極５０及び配向膜２０を透過して液
晶２１に到達する。更に対向電極基板３０上の配向膜３
６、対向電極３５、保護膜３４及びカラーフィルタ３３
を透過した後、銀からなる反射膜５１にて反射され、入
射した方向とは逆の方向に進み、ＴＦＴ基板１０側の観
察者１０１の目に到達する。
中に実線矢印で示すように、観察者１０１側から入射
し、偏光板４２、位相差板４１を透過して、１５ＴＦＴ
基板１０、ゲート絶縁膜１２、層間絶縁膜１５、平坦化
絶縁膜１７、透明電極５０及び配向膜２０を透過して液
晶２１に到達する。更に対向電極基板３０上の配向膜３
６、対向電極３５、保護膜３４及びカラーフィルタ３３
を透過した後、銀からなる反射膜５１にて反射され、入
射した方向とは逆の方向に進み、ＴＦＴ基板１０側の観
察者１０１の目に到達する。
【００２５】ここで、対向電極基板３０側に設けた反射
膜５１について説明する。
膜５１について説明する。
【００２６】反射膜５１は銀から成っている。
【００２７】絶縁性基板である対向電極基板３０上に、
スパッタ法により銀を成膜する。このとき、ステンレス
等からなり、銀を成膜する形状に応じた開口部を有する
メタルマスクを銀のスパッタの前に対向電極基板３０上
に載置しておく。その後スパッタを行って銀を成膜す
る。反射膜５１として用いる銀は他の材料に比べて非常
に光り反射率が良いため、入射した光をほとんど反射す
るため光のロスが無く極めて明るい表示を得ることがで
きる。
スパッタ法により銀を成膜する。このとき、ステンレス
等からなり、銀を成膜する形状に応じた開口部を有する
メタルマスクを銀のスパッタの前に対向電極基板３０上
に載置しておく。その後スパッタを行って銀を成膜す
る。反射膜５１として用いる銀は他の材料に比べて非常
に光り反射率が良いため、入射した光をほとんど反射す
るため光のロスが無く極めて明るい表示を得ることがで
きる。
【００２８】ここで、マスクに設けた開口部は、反射型
液晶表示装置の周辺の接着性シール材によって作られた
領域内に対応した位置に形成されており、少なくとも表
示領域と同じ大きさの形状である。即ち、接着性シール
材の内側全面に反射膜を設ける。従って、銀からなる反
射膜５１の形状は、図２に示すように、接着性シール材
５２によって囲まれる領域内にある表示領域３５全面に
形成した形状となる。
液晶表示装置の周辺の接着性シール材によって作られた
領域内に対応した位置に形成されており、少なくとも表
示領域と同じ大きさの形状である。即ち、接着性シール
材の内側全面に反射膜を設ける。従って、銀からなる反
射膜５１の形状は、図２に示すように、接着性シール材
５２によって囲まれる領域内にある表示領域３５全面に
形成した形状となる。
【００２９】図２においては、接着性シール材５５にて
囲まれた反射膜５１の形状は概ね長方形である。
囲まれた反射膜５１の形状は概ね長方形である。
【００３０】このように、表示領域３５に対応した大き
さの反射膜５１を備えていることから、従来のようにＴ
ＦＴ基板１０上に形成する反射表示電極１９の形状のよ
うに各表示電極ごとの微細な島化を必要としない。その
ため、表示領域周辺の反射膜が不要な領域は銀をスパッ
タする際に、その領域を覆ったマスク、例えばステンレ
ス等の金属から成るいわゆるメタルマスクにて覆ってお
くことにより、反射膜が形成されないので、後にエッチ
ングによって除去する必要なはい。
さの反射膜５１を備えていることから、従来のようにＴ
ＦＴ基板１０上に形成する反射表示電極１９の形状のよ
うに各表示電極ごとの微細な島化を必要としない。その
ため、表示領域周辺の反射膜が不要な領域は銀をスパッ
タする際に、その領域を覆ったマスク、例えばステンレ
ス等の金属から成るいわゆるメタルマスクにて覆ってお
くことにより、反射膜が形成されないので、後にエッチ
ングによって除去する必要なはい。
【００３１】こうして、メタルマスクを用いて銀から成
る反射膜を形成することができるため、銀のエッチング
を行う必要がなくなる。従ってエッチングによって発生
する銀が含まれたエッチャントを回収するための新たな
設備等を設ける必要がなくなる。
る反射膜を形成することができるため、銀のエッチング
を行う必要がなくなる。従ってエッチングによって発生
する銀が含まれたエッチャントを回収するための新たな
設備等を設ける必要がなくなる。
【００３２】また、銀の反射膜５１の上にはカラーフィ
ルタ３３を設けるため、そのカラーフィルタ３３が銀の
表面に酸化膜が生じることを防止するための保護膜とな
る。また、カラーフィルタ３３が保護膜としての役目を
成すため、反射膜表面の酸化による光反射率の低下を防
止できるとともに、新たに保護膜を形成する必要がない
ので工程の増大を防止でき、更に保護膜を新たに設けな
いので保護膜増加による反射膜における光反射率の低下
を招くことが無くなる。
ルタ３３を設けるため、そのカラーフィルタ３３が銀の
表面に酸化膜が生じることを防止するための保護膜とな
る。また、カラーフィルタ３３が保護膜としての役目を
成すため、反射膜表面の酸化による光反射率の低下を防
止できるとともに、新たに保護膜を形成する必要がない
ので工程の増大を防止でき、更に保護膜を新たに設けな
いので保護膜増加による反射膜における光反射率の低下
を招くことが無くなる。
【００３３】
【発明の効果】本発明によれば、工程が増大せず、また
銀をエッチングすることなく高反射率の反射膜を備えた
反射型液晶表示装置を得ることができる。
銀をエッチングすることなく高反射率の反射膜を備えた
反射型液晶表示装置を得ることができる。
【図１】本発明の反射型液晶表示装置の断面図である。
【図２】本発明の反射型液晶表示装置の平面図である。
【図３】従来の反射型液晶表示装置の断面図である。
１０ ＴＦＴ基板 １３ 能動層 ２１ 液晶 ２２ 層間絶縁膜 ２６ 平坦化絶縁膜 １９、５０ 反射表示電極 ３０ 対向電極基板 ３５ 表示領域 ４３ 拡散層 ５１ 反射膜 ５２ 接着性シール材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H089 LA41 RA05 TA09 TA12 TA17 2H091 FA02Y FA14Y FB08 FC02 FD05 FD06 FD14 GA01 GA13 HA07 LA12 2H092 JA26 JA27 JA36 JA40 JA44 JA46 JA47 JB04 JB07 JB16 JB52 JB58 KA04 KA18 KB13 MA05 MA21 NA27 PA04 PA08 PA12 QA07
Claims (2)
- 【請求項１】 表示領域を有し、互いに対向して配置さ
れた第１及び第２の基板間に液晶を充填して成る反射型
液晶表示装置であって、 前記第１の基板にはスイッチング素子、該スイッチング
素子に接続された透明導電性材料からなる表示電極を備
え、前記第２の基板には前記表示領域に対応した領域に
銀から成る反射膜を備えており、該反射膜上にカラーフ
ィルタ、該カラーフィルタを保護する保護膜及び透明導
電性材料からなる対向電極を積層して備えていることを
特徴とする反射型液晶表示装置。 - 【請求項２】 表示領域を有し、互いに対向して配置さ
れた第１及び第２の基板間に液晶を充填して成る反射型
液晶表示装置の製造方法であって、 前記第１の基板上にスイッチング素子を形成する工程
と、該スイッチング素子を含む全面を覆った平坦化絶縁
膜を形成する工程と、該平坦化膜上に、該平坦化絶縁膜
に設けたコンタクトホールを介して前記スイッチング素
子に接続させた透明導電性材料から成る表示電極を形成
する工程と、前記第２の基板上に前記表示領域に対応し
た領域に開口部を有するマスクを配置した後、銀から成
る反射膜を堆積して前記開口部に反射膜を形成する工程
と、該反射膜上にカラーフィルタ、該カラーフィルタを
保護する保護膜、透明導電性材料から成る対向電極及び
配向膜を積層形成する工程とを備えたことを特徴とする
反射型液晶表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10335870A JP2000162589A (ja) | 1998-11-26 | 1998-11-26 | 反射型液晶表示装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10335870A JP2000162589A (ja) | 1998-11-26 | 1998-11-26 | 反射型液晶表示装置及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000162589A true JP2000162589A (ja) | 2000-06-16 |
Family
ID=18293309
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10335870A Pending JP2000162589A (ja) | 1998-11-26 | 1998-11-26 | 反射型液晶表示装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000162589A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6784956B2 (en) | 2000-07-21 | 2004-08-31 | Hitachi, Ltd. | Reflective type liquid crystal display device |
| US6897923B2 (en) | 2001-05-28 | 2005-05-24 | Hitachi, Ltd. | Reflective-type liquid crystal display device including resin layer with fine particles |
| US9735185B1 (en) * | 2016-06-10 | 2017-08-15 | Essential Products, Inc. | Hollowed electronic display |
-
1998
- 1998-11-26 JP JP10335870A patent/JP2000162589A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6784956B2 (en) | 2000-07-21 | 2004-08-31 | Hitachi, Ltd. | Reflective type liquid crystal display device |
| US6952246B2 (en) | 2000-07-21 | 2005-10-04 | Hitachi, Ltd. | Reflective type liquid crystal display device |
| US6897923B2 (en) | 2001-05-28 | 2005-05-24 | Hitachi, Ltd. | Reflective-type liquid crystal display device including resin layer with fine particles |
| US9735185B1 (en) * | 2016-06-10 | 2017-08-15 | Essential Products, Inc. | Hollowed electronic display |
| US9881943B2 (en) | 2016-06-10 | 2018-01-30 | Essential Products, Inc. | Hollowed electronic display |
| US10068931B2 (en) | 2016-06-10 | 2018-09-04 | Essential Products, Inc. | Hollowed electronic display |
| US10332920B2 (en) | 2016-06-10 | 2019-06-25 | Essential Products, Inc. | Hollowed electronic display |
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