JP2000161924A - 非接触式板厚測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 設置容易で誤動作がなく、板材３の厚さを正
確に測定可能な非接触式板厚測定装置を提供する。 【解決手段】 非接触式板厚測定装置１は、レーザ光源
５と、受光部６と、感度調整部７と、感度検出部８と、
検出制御部９と、データ処理部１０と、を備える。レー
ザ光源５は、板材３の端面に向けその厚さ方向に走査し
ながらレーザ光を出射する。受光部６は、上記端面で反
射した反射光を受光し、電気信号に変換する。感度調整
部７は、上記電気信号を増幅する。又、感度検出部８
は、上記感度調整部７の感度を最適化する。検出制御部
９は、感度調整部７にて得られた信号を、閾値を基準と
して２値化し、パルス波形を生成する。データ処理部１
０は、このパルス波形のうちで、閾値以上のデータが得
られる走査時間に基づいて板材３の厚さを割り出す。更
に、表示部１４に表示させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、非接触式の板厚
測定装置に関し、更に詳しくは、レーザ光を用いた板厚
測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】板金加工工程や半導体製造工程では、加
工処理される板材料或いは各種ウエハ等が複数枚重なり
合って搬送される所謂重送を防止する必要がある。この
ため、従来から各種の板厚測定装置が上記重送防止のた
めに利用されている。このような搬送される材料の厚さ
を検出して重送状態の判別を行う装置としては、搬送さ
れる材料を一対の端子によって挟み込み、これら一対の
端子間の距離に基づいて当該材料の厚さを検出し、この
厚さに基づいて重送の判別を行う接触方式と、透過光や
超音波等の測定波を用いて当該材料の厚さを検出し、こ
の厚さに基づいて重送の判別を行う非接触方式と、が知
られている。

【０００３】上記非接触方式のうち、上記透過光を用い
たものは、図７（Ａ）に示すように、発光部１０１と受
光部１０２とを、測定対象物である板材１００をはさん
で正対させ、透過光の存在しない距離から上記板材１０
０の厚さを割り出すことにより、重送の有無を判別す
る。又、上記超音波等を用いたものは、図７（Ｂ）に示
すように、一対の変位測定器１０３、１０４を、測定対
象物である板材１００をはさんで正対させることで構成
する。尚、予め変位測定器１０３、１０４間の距離Ｌ０
を測定しておく。重送の有無を判別すべく、上記板材１
００の厚さを測定する場合、各変位測定器１０３、１０
４から板材１００の表面までの距離Ｌ１、Ｌ２を測定
し、上記距離Ｌ０から距離Ｌ１、Ｌ２を減算（Ｌ０−Ｌ
１−Ｌ２）する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た各方式においては、それぞれ次のような不都合が存在
する。先ず、上記接触方式の場合、構成が複雑になって
しまい、製造コストが嵩んでしまう。

【０００５】次に、上記非接触方式のうちで、図７
（Ａ）に示した透過光を利用するものの場合には、発光
部１０１と受光部１０２とを正対させるとともに一直線
状に配置しなければ、誤動作を生じてしまうため、これ
ら発光部１０１と受光部１０２との設置位置に制約を受
ける場合がある。又、発光部１０１と受光部１０２とが
離れているために、他の反射物が存在すると誤検知を起
こしてしまう。例えば、上記板材１００の撓みやうねり
更には揺れがあった場合、これら撓みやうねり更には揺
れが反射物として作用し、正確な板厚を測定することが
できない。

【０００６】最後に、上記非接触方式のうちで、図７
（Ｂ）に示した超音波等を利用するものの場合には、板
材１００の厚さ方向両側（図７（Ｂ）の上下両側）に、
それぞれ変位測定器１０３、１０４を設ける必要がある
ため、製造コスト上昇を招く。しかも、上記透過光を利
用した方式と同様、対象物である板材１００をはさみこ
んだ状態で各変位測定器１０３、１０４を設置しなけれ
ばならず、設置条件に制約を受ける。

【０００７】この発明に係る非接触式板厚測定装置は、
上述のような不都合を何れも解消すべく創案されたもの
で、その目的は、設置の容易性及び自由度が高く、しか
も誤動作がなく、測定対象物の厚さを正確に測定するこ
とが可能な非接触式板厚測定装置を提供することにあ
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この発明に係る非接触式
板厚測定装置は、請求項１に記載したように、板状の測
定対象物の厚さを検知して上記測定対象物が重送されて
いるか否かを判別するための非接触式板厚測定装置に関
する。この請求項１に記載した非接触式板厚測定装置に
おいては、上記測定対象物の端面に向け、その厚さ方向
に走査しながらレーザ光を出射するレーザ光源と、上記
端面で反射した上記レーザ光の反射光を受光し、その光
の強度に対応した電気信号に変換する受光部と、この受
光部で得られた電気信号を増幅する感度調整部と、この
感度調整部の感度を、上記受光部で受光した反射光の強
度に応じて調整する感度検出部と、上記感度調整部にて
得られた信号を、閾値を基準として２値化し、パルス波
形を生成する検出制御部と、入力側に上記検出制御部を
接続するとともに、出力側に、上記レーザ光源の駆動部
及びレーザ光の走査駆動部並びに表示部を接続したデー
タ処理部と、を備えている。上記レーザ光源と上記受光
部とは、例えば一体型のものを採用する。そして、上記
データ処理部は、上記検出制御部によって得られたパル
ス波形に対応する走査時間に基づいて上記測定対象物の
厚さを割り出し、この厚さ若しくはこの厚さに基づいて
判別される重送の有無を上記表示部によって表示させ
る。

【０００９】上述のように構成される請求項１に記載し
た非接触式板厚測定装置を用いて、測定対象物の厚さを
測定し、この測定対象物が重送されているか否かを判断
する際の作用は、次のとおりである。すなわち、レーザ
光源を駆動し、レーザ光源から上記測定対象物の端面に
向け、レーザ光を出射する。この際、上記レーザ光は、
上記走査駆動部によって上記端面のその厚さ方向に亙っ
て走査する。そして、レーザ光は上記端面で反射する。
この反射光を上記受光部が受光し、その光の強さに対応
した電気信号に変換する。次いで、この受光部で得られ
た電気信号を感度調整部によって増幅する。尚、感度検
出部が、上記感度調整部の感度を、上記受光部で受光し
た反射光の強度に応じて調整する。そして、上記検出制
御部が、上記感度調整部を介して得られた電気信号を、
閾値を基準として２値化し、パルス波形を生成する。す
なわち、上記電気信号を、上記閾値を基準としてＬＯＷ
レベルとＨＩＧＨレベルとに分け、これに基づいたパル
ス波形を生成する。このパルス波形に係るデータは、上
記データ処理部に送られ、上記パルス波形に対応する走
査時間に基づいて上記測定対象物の厚さが割り出され
る。そして、得られた測定対象物の厚さを上記表示部に
よって表示させる。この結果、上記表示部を目視するこ
とにより、測定対象物が重送されているか否かが判別さ
れる。尚、上記データ処理部に判別手段を設け、上記厚
さに基づいて重送の有無を自動的に判別し、上記表示部
に重送の有無を表示させたり、他の外部機器に出力する
こともできる。

【００１０】尚、上記請求項１に記載した非接触式板厚
測定装置においては、測定対象物の厚さ方向にレーザ光
を走査して得られる反射光に応じた電気信号を、閾値を
基準として、実際の端面からの反射光と非測定対象物か
らの反射光に対応した信号と区別することができる。更
に、上記感度検出部により、最大強度の信号が最適にな
るように、上記感度調整部の感度を自動調整しているた
め、測定すべき測定対象物で反射した反射光に感度を合
わせることができる。このため、非測定物で反射した反
射光を相対的に小さくすることができる。これにより、
実際の測定対象物の厚さを正確に割り出すことができ
る。又、測定対象物の厚さ方向に走査すれば反射光に対
応した電気信号が得られるため、その走査範囲を調整す
るのみで測定対象物との間の位置関係を容易に設定でき
る。このため、設置に関する制約を受けにくい。

【００１１】尚、請求項２に記載したように、上述した
構成に以下の構成を付加することができる。すなわち、
上記データ処理部に、上記測定対象物の１枚分の厚さに
相当する走査時間若しくはこの走査時間に基づいて割り
出される厚さを予め登録しておく。そして、上記データ
処理部は、この予め登録した走査時間若しくは厚さと、
上記パルス波形に対応する走査時間若しくは厚さと、を
比較し、該パルス波形に対応する走査時間若しくは厚さ
が、上記予め登録された走査時間若しくは厚さ以上の場
合に、当該測定対象物は重送された状態であると判別す
る機能を設けておく。このように構成することにより、
簡単且つ迅速に重送状態の判別が行える。

【００１２】更に、上記走査駆動部として請求項３に記
載したように、コイルの振動に基づいて駆動する反射鏡
を設けた構成を採用することができる。すなわち、コイ
ルに通電することに伴う振動によって反射鏡を回動さ
せ、この反射鏡で上記レーザ光を測定対象物に向けて反
射させることにより、該測定対象物の厚さ方向に亙り、
レーザ光を走査させる構成とする。そして、上記データ
処理部は、上記コイルの振動に基づくタイミング信号に
よって前記パルス波形の基準位置を決定するものとした
構成を採用することができる。すなわち、反射鏡で反射
されたレーザ光が測定対象物の一端縁で反射した時点に
おけるコイルの振動状態（振動数）に基づく信号によ
り、走査時間の始点を定めるとともに、反射鏡で反射さ
れたレーザ光が測定対象物の他端縁で反射した時点にお
けるコイルの振動状態（振動数）に基づく信号により、
走査時間の終点を定める構成とする。このような構成を
備えることにより、レーザ光の走査と同時に厚さの割り
出しを行うことが可能になる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態例
を図面を参照しつつ説明する。図１は、本形態例に係る
非接触式板厚測定装置（以下、単に板厚測定装置と称す
る。）１の使用状態を示す斜視図である。上記板厚測定
装置１は、筐体１Ａ内に後述する板厚判別制御部４（図
２参照）を構成する部材が収められており、搬送ベルト
等の搬送手段２によって搬送される測定対象物である板
材３の端面３ａ近傍に対向させて用いられる。上記板厚
測定装置１は、板材３に対面する側に形成されている窓
部（図示せず）から、図中、一点鎖線で示すようにレー
ザ光を出射でき、更に、板厚判別制御部４によって割り
出された板厚及び重送判別結果が、筐体１Ａに形成され
ている開口１Ｃに位置する表示部１４を見ることができ
るようになっている。尚、図１で符号２０は電源コー
ド、符号１Ｂは各種外機器を接続するための入出力用端
子である。この入出力用端子には、その一端を外機器に
接続したケーブル（図示せず）の他端部が接続される。

【００１４】図２は、板厚判別制御部４の構成を説明す
るためのブロック図である。同図において板厚判別制御
部４は、レーザ光源５、受光部をなす受光素子６、感度
調整部７、感度検出部８、検出制御部９、及びデータ処
理部１０を主要部として備えている。以下、各構成につ
いて説明する。

【００１５】レーザ光源５は、周知構造の半導体レーザ
が用いられている。このレーザ光源５は、レーザ発振を
行うための閾値電流の制御及び発振波長の制御を行う、
駆動部を構成するレーザ発信器５Ａによって駆動制御さ
れる。レーザ光源５の近傍には、レーザ光を板材３の厚
さ方向（図２の上下方向）に走査する走査駆動部１１が
設けられている。この走査駆動部１１は、レーザ光源５
からのレーザ光を板材３に向け導くための複数の反射鏡
１２ａ、１２ｂを備えており、そのうちの板材３に向け
出射側に位置する反射鏡１２ｂは、図示しない走査駆動
部をなすコイルによって板材３の厚さ方向に亙って回動
するようになっている。上記コイルは、振動コントロー
ラ１３と電気的に接続されて駆動されるようになってお
り、上記データ処理部１０において板材３からの反射光
が受光された時点からの走査タイミングを出力すること
ができる。この場合の走査タイミングとは、反射光が受
光されている間の走査時間に対応している。本形態例の
場合、上記走査駆動部１１は、走査速度を１００回／秒
程度とできるため、板材３が撓む等して揺れた場合でも
測定値の誤差は小さい。又、本形態例の構成において
は、走査範囲を広く取れるため、本板厚測定装置１と板
材３との位置関係の自由度が大きい。

【００１６】受光部６は、周知構造の受光素子を用いた
光電変換素子で構成されており、受光した反射光の強さ
に応じた電気信号に変換する。そして、感度調整部７を
構成するアンプに、この電気信号を出力する。尚、符号
６Ａは、上記反射光をレーザ波長領域を通過させるフィ
ルタを示している。上記感度調整部７を構成するアンプ
は感度検出部８に接続されており、更に感度検出部８は
検出制御部９を構成する２値化波形部を介してデータ処
理部１０に接続されている。上記受光部６は、受光した
反射光の強さに対応した電気信号に変換する。上記感度
調整部７は、受光部６からの電気信号を増幅して感度検
出部８に出力する。この感度検出部８は、感度調整部７
によって増幅された信号の強度（受光部６で受光した光
の強度に相関する）に応じて上記感度調整部７の感度
を、最大強度の信号が最適になるように調整する。この
ような感度検出部８としては、従来から知られているオ
ートゲインコントローラを利用することができる。更
に、検出制御部９は、上記感度調整部７を介して得られ
た信号を、ＬＯＷレベルとＨＩＧＨレベルとに分ける
（２値化する）。このために、検出制御部９において
は、先ず、この２値化のための閾値を設定する。この後
に、該閾値を基準としてその閾値以上の信号データをパ
ルス波形処理して、そのパルス波形の出力時間をデータ
処理部１０に出力する。上記感度検出部８を設けること
により、板厚測定装置１に近い板材３の強い反射光に感
度を合わせるので、非測定物の反射光を相対的に小さく
することができる。これにより、測定すべき板材３のパ
ルス波形を得ることができる。

【００１７】データ処理部１０は、その主要部がマイク
ロコンピュータ（ＭＰＵ）により構成されている。この
データ処理部１０の入力側には、図示しないＩ／Ｏイン
ターフェースを介して上記検出制御部９が接続され、そ
の出力側にはレーザ発信器５Ａ、振動コントローラ１３
及び表示部１４が接続されている。又、このデータ処理
部１０では、検出制御部９において２値化された信号デ
ータが入力される時間、すなわち閾値以上の信号が入力
されている走査時間を検知し、その走査時間から板材３
の厚さを割り出す演算処理が行われる。つまり、データ
処理部１０には、予め、走査時間に対応する板厚データ
が登録されており、板材３からの反射光に対応した光信
号が検出制御部９において２値化されて入力される時間
と比較して板厚を割り出すようになっている。このた
め、データ処理部１０の入力側には、板厚に対応する数
値を入力するための図しないテンキー等の入力装置、或
いは外機器が接続されている。

【００１８】従って、図３及び図４に示すように、受光
された反射光に応じた電気信号が受光部６にて出力され
る（図３（Ａ）、図４（Ａ）参照）と、感度調整部７に
よってその信号が増幅されて信号レベルを増大される
（図３（Ｂ）、図４（Ｂ）参照）。そして、感度検出部
８にて設定された閾値を基準として２値化された信号が
（図３（Ｃ）、図４（Ｃ）参照）データ処理部１０に入
力されることにより、データ処理部１０では、その入力
タイミングを振動コントローラ１３からの信号により割
り出し、その走査時間に対応する板厚に関するデータを
読み取り、筐体１Ａの開口部１Ｃ（図１参照）に露呈し
ている表示ディスプレイ等の表示部１４により表示す
る。

【００１９】一方、データ処理部１０では、テンキーや
入力用の機器等といった各種入力用外機器によって入力
された板厚数値に対応する走査時間を基に、この入力さ
れた板厚数値に対応する走査時間と、２値化された電気
信号の走査時間と、を比較し、重送状態を判別するよう
になっている。すなわち、テンキーによって入力された
板厚数値に対応した走査時間を比較基準とすることによ
り、その比較基準と一致する走査時間であれば正常な搬
送が行われているとし、比較基準以上の走査時間である
場合には、重送状態であると判別して表示部１４により
警告表示する。尚、上記「比較基準と一致する」とは、
両者が完全に一致することを指すわけではなく、ほぼ一
致（予め定められた範囲内で一致）することを指す。

【００２０】ところで、上記受光部６に入射する反射光
の強度は、強い場合と弱い場合とがある。それぞれの場
合において、上記構成各部材は上述したように作用して
走査時間を算出し、重送状態にあるか否かを判別する。
すなわち、反射光が弱い場合には図３に示すように、反
射光が強い場合には図４に示すように、それぞれ作用し
て上記２値化データを得る。尚、本形態例においては、
感度調整を行う感度検出部８を設けているため、種々の
測定状態時においても最適な感度が得られる。尚、上記
板厚判別制御部４を構成するレーザ光源５、受光部６等
の構成各部材を一体化した装置が市販されている。本形
態例においては、このような市販されている装置に、必
要な部材及び回路を適宜付設して構成することができ
る。

【００２１】上述のように構成される本形態例に係る非
接触式板厚測定装置におけるデータ処理部１０の動作
を、図５に示す示すフローチャートにより説明する。
尚、図５は受光部６からの電気信号が２値化処理されて
データ処理部１０に入力された時点を対象として作用を
説明するものである。同図において、２値化データがデ
ータ処理部１０に入力されると（ＳＴ１）、入力された
２値化データを読み取る（ＳＴ２）。この場合に、２値
化データのうちで、閾値以上のレベルの信号が入力され
ると、その入力開始タイミングに対応して振動コントロ
ーラ１３からの信号により走査時間が計測される。次い
で、ステップＳＴ１で入力された信号データの入力が終
了したかどうかが判別され（ＳＴ３）、終了した場合に
は、この信号データが表わす走査時間が、予め登録され
ている走査時間との比較検索によって割り出される（Ｓ
Ｔ４）。

【００２２】一方、走査時間が予め登録されている時間
と比較され（ＳＴ５）、２値化データの走査時間の方が
登録されている時間よりも長い場合には、板厚の表示と
共に重送であることを判別して警告表示する（ＳＴ
６）。又、ステップＳＴ５において走査時間と登録時間
とが一致している場合には、板厚の表示を行う（ＳＴ
７）。

【００２３】本形態例の場合、図２に示すように測定対
象物である板材３以外の非測定物１５が近くに存在して
いる場合でも、図３、図４の記載から明らかなように、
その非測定物１５からの反射光が除外されるので、誤判
定を起こすことなく正確に測定対象物である板材３の厚
さを割り出すことができる。又、本形態例の場合、走査
駆動部１１として反射鏡１２ａ、１２ｂをコイルの振動
に基づいて回動させるため、簡易な構成で済む。更に、
レーザ光を用いるため、照明や自然光の影響を受け難
い。しかも、レーザ光は光の拡散がないため、測定対象
物までの距離を大きく（例えば、１００ｍｍ乃至４００
ｍｍ）とれる。又、板材３の厚さをより正確に測定した
い場合、上記感度検出部８を設けていることにより、当
該板厚測定装置１と板材３との距離を近づければ良い。

【００２４】尚、上記板材３の切断面が一様でない等の
場合、上記レーザ光源５から出射したレーザ光の一部が
反射されなかったり、受光部６に到達しないことも考え
られる。例えば、板材３の中間部で上記レーザ光が反射
されなかった場合、図６に示すように、生成されたパル
ス波形の一部（中間部）が途切れ、あたかも２個の板材
が存在するかのような波形となってしまう。すなわち、
実際には図６にＤで現される板厚を有するにも拘わら
ず、それぞれＤ１、Ｄ２の板厚を有する板材があるかの
ような検出がなされてしまう。

【００２５】本形態例においては、このような場合、上
記データ処理部１０に、寸法Ｄ１、Ｄ２、Ｄの相対的な
大きさを勘案し、各寸法Ｄ１、Ｄ２が、板厚に相当する
か、或いは別の物体の外乱であるかを判定させる機能を
備えることもできる。このような機能は、予め上記デー
タ処理部１０に記憶させた、従来から知られた補正プロ
グラムにより達成できる。そして、このデータ処理部１
０が、図６で真の板厚は、Ｄ１＋Ｄ２よりも少し大きい
Ｄである旨を判定した場合には、この板厚Ｄを真の値と
して採用する。この後、重送の有無を判別し、表示部１
４に表示させる際の作用は、上述したとおりである。

【００２６】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、測定対象
物の厚さ方向にレーザ光を走査して得られる反射光に応
じた電気信号を、閾値を基準として実際の端面からの反
射光と非測定物からの反射光に対応した信号とに区別す
ることができる。しかも、得られた電気信号に応じたデ
ータの感度調整を自動的に行って実際の測定対象物の厚
さを正確に割り出すことができる。更に、可動部として
は走査部のみであり、しかも、測定対象物と離れた位置
に設置した状態で走査が行えるので、当該測定装置の設
置位置に制約を受けにくいばかりでなく簡単な構造とす
ることが可能になる。

【００２７】請求項２記載の発明によれば、データ処理
部にて予め登録されている測定対象物の厚さに係るデー
タ（走査時間若しくは厚さ）と、閾値を基準として２値
化されてなるパルス波形データと、を比較することによ
り重送状態の判別が行える。これにより、重送状態の判
別を容易且つ精度良く行うことができる。

【００２８】請求項３記載の発明によれば、受光された
時点でのタイミングからの計時により測定対象物の厚さ
を割り出せるので、機構を簡単にして精度良く板厚の測
定が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の一形態例を示す非接触式測定
装置の使用状態を示す斜視図である。

【図２】図１に示した非接触式測定装置の板厚判別制御
部の構成を説明するためのブロック図である。

【図３】図２に示した板厚判別制御部での処理を説明す
るための状態図であり、（Ａ）は感度調整前を、（Ｂ）
は感度調整後を、（Ｃ）は２値化処理後の状態をそれぞ
れ示している。

【図４】図２に示した板厚判別制御部での処理に関し、
反射光が図３に示す場合よりも強い状態を説明する図で
あり、（Ａ）は感度調整前を、（Ｂ）は感度調整後を、
（Ｃ）は２値化処理後の状態をそれぞれ示している。

【図５】データ処理部の作用を示すフローチャートであ
る。

【図６】レーザ光の一部が反射されなかった際のパルス
波形を示す状態図である。

【図７】従来の非接触方式の構造を示しており、（Ａ）
は透過光を利用した構成を、（Ｂ）は超音波を利用した
構成を、それぞれ示している。

【符号の説明】

１ 非接触式板厚測定装置 ３ 板材 ３ａ 端面 ４ 板厚判別制御部 ５ レーザ光源 ５ａ レーザ発振器 ６ａ 光フィルタ ６ 受光部 ７ 感度調整部 ８ 感度検出部 ９ 検出制御部 １０ データ処理部 １１ 走査駆動部 １２ａ、１２ｂ 反射鏡 １４ 表示部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA30 BB01 BB15 CC06 CC19 FF41 GG06 HH04 LL13 LL22 LL62 MM16 NN02 NN06 NN08 NN13 PP15 QQ04 QQ25 RR06 SS11

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 板状の測定対象物の厚さを検知して重送
   を判別する非接触板厚測定装置であって、 上記測定対象物の端面に向け、その厚さ方向に走査しな
   がらレーザ光を出射するレーザ光源と、上記端面で反射
   した上記レーザ光の反射光を受光し、その光の強さに対
   応した電気信号に変換する受光部と、この受光部で得ら
   れた電気信号を増幅する感度調整部と、この感度調整部
   の感度を、上記受光部で受光した反射光の強度に応じて
   調整する感度検出部と、上記感度調整部にて得られた信
   号を、閾値を基準として２値化し、パルス波形を生成す
   る検出制御部と、入力側に上記検出制御部を接続すると
   ともに、出力側に、上記レーザ光源の駆動部及びレーザ
   光の走査駆動部並びに表示部を接続したデータ処理部
   と、を備え、 上記データ処理部は、上記検出制御部によって得られた
   パルス波形に対応する走査時間に基づいて上記測定対象
   物の厚さを割り出し、この厚さ若しくはこの厚さに基づ
   いて判別される重送の有無を上記表示部によって表示さ
   せるものであることを特徴とする、非接触式板厚測定装
   置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の非接触式板厚測定装置に
   おいて、 前記データ処理部は、前記パルス波形に対応する走査時
   間若しくはこの走査時間に基づいて割り出される厚さ
   と、予め登録された、前記測定対象物１枚分の厚さに相
   当する走査時間若しくはこの走査時間に基づいて割り出
   される厚さと、を比較し、該パルス波形に対応する走査
   時間若しくは厚さが、上記予め登録された走査時間若し
   くは厚さ以上の場合に、当該測定対象物は重送された状
   態であると判別することを特徴とする、非接触式板厚測
   定装置。
3. 【請求項３】 請求項１若しくは請求項２記載の非接触
   式板厚測定装置において、 前記走査駆動部は、コイルの振動に基づいて駆動する反
   射鏡を備え、前記データ処理部は、上記走査駆動部の上
   記コイルの振動に基づくタイミング信号によって前記パ
   ルス波形の基準位置を決定するものであることを特徴と
   する、非接触式板厚測定装置。