JP2000160201A5 - - Google Patents
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Description
微粉末は、いずれも金属片に対して薄膜層状で用いるもので、治具上あるいは多数配置した治具の凹部内に５μｍ〜５０μｍの層状になるように敷いて金属片を載せるか、あるいは金属片の表面に微粉末を５μｍ〜５０μｍの層状に付着させる。微粉末の層厚みが５μｍ未満では、粉末による治具からの離脱性の向上効果にバラツキが発生し、また５０μｍを超えると通常の製法で得られた線材表面に付着させることが困難となり、また熱伝導性が極端に低下するため冷却温度が遅くなり、金属ボール表面の状態が悪化するため、５μｍ〜５０μｍ厚みの層状で使用するとよい。
微粉末の使用方法としては、治具上に層状になるように敷いてから、例えば振動フィーダーなどで金属片を振り込み載置したり、振動フィーダーなどで金属片を供給する途中または振り込み前に微粉末を給粉して表面に層状に付着させるなどの方法を採用することができる。また、平板治具上に上記微粉末を層状配置してから振り込み用の貫通孔を設けた治具板を載せ、金属片を該貫通孔に振り込み微粉末上に載置する方法も採用できる。
この発明において、熱処理用治具には、溶融金属との濡れ性が低い材料が望ましく、カーボン製、アルミナや炭化ケイ素等のセラミックス製、表面に酸化被膜を形成してなる耐熱鋼製等の使用が好ましいが、さらに、上記微粉末で用いたＢＮ、ＡｌＮ、Ｃの単体又は複合材の焼結体を使用すると、金属片に対して濡れ性が低く、熱伝導性が良好で金属ボールの離脱が容易となる利点がある。
また、焼結のためのＢＮ／ＡｌＮ複合材の粒度は、２μｍ〜５０μｍが好ましく、熱伝導率が１０００℃で１５Ｗ／ｍ以上、１２００℃で３０Ｗ／ｍ以上となるように焼結条件を選定することが望ましい。また、密度は２．６〜２．８ｇ／ｃｍ３、曲げ強度は６０〜８０ＭＰａ程度が好ましい。
【００２２】
【実施例】
実施例１
球径０．２５ｍｍ及び０．７５ｍｍのＣｕボールを作製するため、所定間隔で凹部を配置したカーボン治具を用い、粒径７〜１０μｍのＢＮ粉末を治具の凹部表面上に５μｍ〜５０μｍの層状に敷き、Ｃｕ片をそれぞれ凹部内に振り込みし、１００％Ｎ２雰囲気で１１００℃、５分間加熱溶融させて、その後冷却、治具と分離して超音波洗浄し、Ｃｕボールを得た。
【実施例】
実施例１
球径０．２５ｍｍ及び０．７５ｍｍのＣｕボールを作製するため、所定間隔で凹部を配置したカーボン治具を用い、粒径７〜１０μｍのＢＮ粉末を治具の凹部表面上に５μｍ〜５０μｍの層状に敷き、Ｃｕ片をそれぞれ凹部内に振り込みし、１００％Ｎ２雰囲気で１１００℃、５分間加熱溶融させて、その後冷却、治具と分離して超音波洗浄し、Ｃｕボールを得た。
実施例２
球径０．２５ｍｍ及び０．７５ｍｍのＣｕボールを作製するため、所定間隔で凹部を配置したカーボン治具を用い、粒径７〜１０μｍのＣ粉末を治具の凹部表面上に５μｍ〜５０μｍの層状に敷き、Ｃｕ片をそれぞれ凹部内に振り込みし、１００％Ｎ２雰囲気で１１００℃、５分間加熱溶融させて、その後冷却、治具と分離して超音波洗浄し、Ｃｕボールを得た。
球径０．２５ｍｍ及び０．７５ｍｍのＣｕボールを作製するため、所定間隔で凹部を配置したカーボン治具を用い、粒径７〜１０μｍのＣ粉末を治具の凹部表面上に５μｍ〜５０μｍの層状に敷き、Ｃｕ片をそれぞれ凹部内に振り込みし、１００％Ｎ２雰囲気で１１００℃、５分間加熱溶融させて、その後冷却、治具と分離して超音波洗浄し、Ｃｕボールを得た。
実施例３
球径０．２５ｍｍ及び０．７５ｍｍのＣｕボールを作製するため、所定間隔で凹部を配置したＢＮ／ＡｌＮ焼結体治具（ＢＮ／ＡｌＮ＝４：６）を用い、粒径７〜１０μｍのＡｌＮ粉末を治具の凹部表面上に５μｍ〜５０μｍの層状に敷き、Ｃｕ片をそれぞれ凹部内に振り込みし、１００％Ｎ２雰囲気で１１００℃、５分間加熱溶融させて、その後冷却、治具と分離して超音波洗浄し、Ｃｕボールを得た。
球径０．２５ｍｍ及び０．７５ｍｍのＣｕボールを作製するため、所定間隔で凹部を配置したＢＮ／ＡｌＮ焼結体治具（ＢＮ／ＡｌＮ＝４：６）を用い、粒径７〜１０μｍのＡｌＮ粉末を治具の凹部表面上に５μｍ〜５０μｍの層状に敷き、Ｃｕ片をそれぞれ凹部内に振り込みし、１００％Ｎ２雰囲気で１１００℃、５分間加熱溶融させて、その後冷却、治具と分離して超音波洗浄し、Ｃｕボールを得た。
実施例４
球径０．２５ｍｍ及び０．７５ｍｍのＡｌボールを作製するため、所定間隔で凹部を配置したＢＮ／ＡｌＮ焼結体治具（ＢＮ／ＡｌＮ＝４：６）を用い、粒径７〜１０μｍのＢＮ粉末を治具の凹部表面上に５μｍ〜５０μｍの層状に敷き、Ａｌ片をそれぞれ凹部内に振り込みし、真空中で１１００℃、５分間加熱溶融させて、その後冷却、治具と分離して超音波洗浄し、Ａｌボールを得た。
球径０．２５ｍｍ及び０．７５ｍｍのＡｌボールを作製するため、所定間隔で凹部を配置したＢＮ／ＡｌＮ焼結体治具（ＢＮ／ＡｌＮ＝４：６）を用い、粒径７〜１０μｍのＢＮ粉末を治具の凹部表面上に５μｍ〜５０μｍの層状に敷き、Ａｌ片をそれぞれ凹部内に振り込みし、真空中で１１００℃、５分間加熱溶融させて、その後冷却、治具と分離して超音波洗浄し、Ａｌボールを得た。
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