JP2000159289A - Storing container for semiconductor device - Google Patents

Storing container for semiconductor device

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JP2000159289A
JP2000159289A JP10336234A JP33623498A JP2000159289A JP 2000159289 A JP2000159289 A JP 2000159289A JP 10336234 A JP10336234 A JP 10336234A JP 33623498 A JP33623498 A JP 33623498A JP 2000159289 A JP2000159289 A JP 2000159289A
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JP
Japan
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container
semiconductor device
storage
storage container
container half
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Withdrawn
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JP10336234A
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Japanese (ja)
Inventor
Keiichi Sasamura
計一 笹村
Hideyasu Hashiba
英靖 橋場
Shigeo Suzuki
茂雄 鈴木
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a storing container suitable for storing a semiconductor device which is small in size and compact in high-density state so as to perform a positive protection against the semiconductor device by a simple configuration. SOLUTION: There is provided a storing container for use in storing a semiconductor device 5 having a bump 4 at a storing part 24 formed in each of the container half bodies 22, 23 when a lower container half body 22 and an upper container half body 23 are overlapped from each other. Each of the container half bodies 22, 23 is made of more soft material than that of the bump 4 and then the bump 4 is abutted against the soft material under a state in which the semiconductor device 5 is stored in the storing part 24.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は半導体装置の収納容
器に係り、特に小型化,高密度化された半導体装置を収
納するのに適した半導体装置の収納容器に関する。近
年、半導体装置の高密度化及び小型化は急速な勢いで進
んでおり、CSP,BGA(Ball Grid Array) 等の小型
・微細化された半導体装置が提供されるようになってき
ている。また、半導体装置には高い信頼性が要求されて
おり、半導体装置の製造工程では、高信頼性を実現する
ために各種手段が講じられている。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device storage container, and more particularly to a semiconductor device storage container suitable for storing a miniaturized and high-density semiconductor device. 2. Description of the Related Art In recent years, the density and miniaturization of semiconductor devices have been rapidly progressing, and miniaturized and miniaturized semiconductor devices such as CSP and BGA (Ball Grid Array) have been provided. In addition, high reliability is required for semiconductor devices, and various steps are taken in the semiconductor device manufacturing process in order to achieve high reliability.

【0002】一方、製造された半導体装置は、収納容器
に収納された状態で搬送・出荷される。この搬送途中に
おいては、収納容器に外力が印加され易く、よって搬送
時に印加される外力により半導体装置が損傷してしまう
と、製造段階で高い信頼性を実現しても、結果的に半導
体装置の信頼性が低下してしまう。よって、半導体装置
の信頼性を高めるため、搬送時において半導体装置の損
傷を確実に防止しうる半導体装置の収納容器が望まれて
いる。
On the other hand, manufactured semiconductor devices are transported and shipped in a state of being stored in a storage container. During this transfer, an external force is easily applied to the storage container, and therefore, if the semiconductor device is damaged by the external force applied at the time of transfer, even if high reliability is realized at the manufacturing stage, the semiconductor device will eventually be damaged. Reliability decreases. Therefore, in order to enhance the reliability of the semiconductor device, a semiconductor device storage container that can reliably prevent damage to the semiconductor device during transportation is desired.

【0003】[0003]

【従来の技術】図1乃至図3は、CSP(Chip Size Pac
kage),BGA(Ball Grid Array),LGA(Lead Grid Arr
ay) 等の小型化された半導体装置5を収納する収納容器
1を示している。この収納容器1は硬質樹脂により形成
されたハードケースであり、下部容器半体2と上部容器
半体3とにより構成されている。
2. Description of the Related Art FIGS. 1 to 3 show a CSP (Chip Size Pac).
kage), BGA (Ball Grid Array), LGA (Lead Grid Arr
ay) shows a storage container 1 for storing a miniaturized semiconductor device 5. The storage container 1 is a hard case made of a hard resin, and includes a lower container half 2 and an upper container half 3.

【0004】下部容器半体2は、半導体装置5を収納す
るキャビティ9,半導体装置5の位置決めを行なう下部
位置決めフェンス6等が形成されている。また、上部容
器半体3は、収納状態において半導体装置5の浮きを防
止する押さえ面8,下部位置決めフェンス6と共に半導
体装置5の位置決めを行なう上部位置決めフェンス7等
が形成されている。
The lower container half 2 is provided with a cavity 9 for accommodating the semiconductor device 5, a lower positioning fence 6 for positioning the semiconductor device 5, and the like. The upper container half 3 is provided with a pressing surface 8 for preventing the semiconductor device 5 from floating in the housed state, an upper positioning fence 7 for positioning the semiconductor device 5 together with the lower positioning fence 6, and the like.

【0005】ところで、上記した各パッケージ構造の半
導体装置5は、その実装面側に外部接続端子を有してい
る。図3に示す例では、外部接続端子として半田バンプ
4(以下、単にバンプという)を有した半導体装置5を
示している。このバンプ4は軟質材料である半田により
形成されているため、外力或いは衝撃の印加等により容
易に変形してしまう。
Incidentally, the semiconductor device 5 of each package structure described above has external connection terminals on the mounting surface side. FIG. 3 shows a semiconductor device 5 having solder bumps 4 (hereinafter simply referred to as bumps) as external connection terminals. Since the bumps 4 are formed of a soft material such as solder, the bumps 4 are easily deformed by application of external force or impact.

【0006】このため、従来では半導体装置5を収納容
器1に収納保持させるのに、半導体装置5の実装面のバ
ンプ4が形成された領域の外周領域(図3に矢印Wで示
す領域)を利用し、この外周領域を下部容器本体2に形
成された載置部10上に載置する構造が取られていた。
この構成とすることにより、バンプ4をキャビティ9の
底面から浮かせることができ、よって収納容器1に外力
や衝撃が印加されても、これが直接バンプ4に印加され
ることを防止できる。これにより、バンプ4の変形発生
を防止する構成としていた。
For this reason, conventionally, in order to store and hold the semiconductor device 5 in the storage container 1, the outer peripheral region (the region indicated by the arrow W in FIG. 3) of the region where the bumps 4 are formed on the mounting surface of the semiconductor device 5 is used. Utilizing such a structure, the outer peripheral area is mounted on a mounting portion 10 formed on the lower container body 2.
With this configuration, the bumps 4 can be lifted from the bottom surface of the cavity 9, so that even if an external force or impact is applied to the storage container 1, it can be prevented from being applied directly to the bumps 4. With this configuration, the deformation of the bump 4 is prevented.

【0007】一方、図4及び図5は、半導体装置5のバ
ンプ4に対する外観検査を行なう時の状態を示してい
る。同図に示すように、バンプ4の外観検査を行なうに
は、図3に示す状態から下部容器半体2と上部容器半体
3とが上下逆となるよう収納容器1を反転させ、その上
で下部容器半体2を上部容器半体3から取り外す。これ
により、図4及び図5に示すように半導体装置5のバン
プ4を露出した状態とすることができる。
On the other hand, FIGS. 4 and 5 show a state in which an appearance inspection is performed on the bumps 4 of the semiconductor device 5. As shown in the figure, in order to inspect the appearance of the bumps 4, the storage container 1 is turned over so that the lower container half 2 and the upper container half 3 are turned upside down from the state shown in FIG. The lower container half 2 is removed from the upper container half 3 with. As a result, the bumps 4 of the semiconductor device 5 can be exposed as shown in FIGS.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年の半導
体装置に対する小型化及び高密度化の要求に伴い、半導
体装置のパッケージは小型化し、また配設される外部接
続端子数も増大する傾向にある。このため、半導体装置
5の実装面においてバンプ形成領域が占める領域が増大
し、相対的にバンプ形成領域の外周領域(図3に矢印W
で示す部分)の面積は小さくなる傾向にある。
With the recent demand for miniaturization and high density of semiconductor devices, the packages of the semiconductor devices tend to be miniaturized and the number of external connection terminals provided tends to increase. . For this reason, the area occupied by the bump formation area on the mounting surface of the semiconductor device 5 increases, and the outer peripheral area of the bump formation area (arrow W in FIG. 3) relatively increases.
The area of the portion indicated by) tends to be smaller.

【0009】このため、従来であったならば半導体装置
5を収納容器1に保持するに足る十分な外周領域(W)
を確保できたものが、半導体装置5の小型化,高密度化
に伴い、近年では半導体装置5を収納容器1に保持する
に足る十分な外周領域(W)が確保できなくなってき
た。このため、小型化,高密度化された半導体装置5を
従来構成の収納容器1に収納して搬送等を行なった場
合、小なる外力の印加で半導体装置5の外周領域(W)
が収納容器1の載置部10から離脱してしまうという問
題点が発生した。
For this reason, in the conventional case, the outer peripheral area (W) sufficient to hold the semiconductor device 5 in the storage container 1 is sufficient.
However, in recent years, with the miniaturization and high density of the semiconductor device 5, it has become impossible to secure a sufficient outer peripheral area (W) for holding the semiconductor device 5 in the storage container 1 in recent years. For this reason, when the miniaturized and high-density semiconductor device 5 is housed in the conventional container 1 and transported, the outer peripheral region (W) of the semiconductor device 5 is applied by applying a small external force.
Is detached from the mounting portion 10 of the storage container 1.

【0010】このように外周領域(W)が載置部10か
ら離脱すると、バンプ4は硬質樹脂よりなる下部容器半
体2に衝突してしまい、軟質であるバンプ4に変形,破
損が発生してしまう。このため、従来では搬送時等に印
加される衝撃等によりバンプ4に変形,破損が生じない
よう、図7に示すような梱包処理を行なっていた。具体
的には、先ず緩衝材1が内設された内装袋12に半導体
装置5が収納された収納容器1を装着し、続いてこの内
装袋12を内装箔本体14に収納する。そして、この内
装箔本体14に内装箱用蓋13を装着した上で、外層箱
16に梱包する。この外層箱16にも、衝撃印加を防止
するための緩衝材15が配設されている。
When the outer peripheral region (W) separates from the mounting portion 10 as described above, the bumps 4 collide with the lower container half 2 made of a hard resin, and the soft bumps 4 are deformed or damaged. Would. For this reason, conventionally, a packing process as shown in FIG. 7 has been performed so that the bumps 4 are not deformed or damaged by an impact applied during transportation or the like. Specifically, first, the storage container 1 in which the semiconductor device 5 is stored is mounted in the inner bag 12 in which the cushioning material 1 is provided, and then the inner bag 12 is stored in the inner foil body 14. Then, after attaching the lid 13 for the interior box to the interior foil body 14, it is packed in the outer layer box 16. The outer layer box 16 is also provided with a cushioning material 15 for preventing impact application.

【0011】このように従来では、搬送時等に印加され
る衝撃等からバンプ4を守るために多数の梱包部材11
〜16を必要とし梱包処理が面倒になると共に、これに
起因して製品コストが上昇してしまうという問題点があ
った。更に、図4及び図5を用いて説明した試験時にお
いては、試験時に半導体装置5を保持する上部容器半体
3がいわゆるハードケース構造であったため、例えば試
験者が上部容器半体3に触れた等により、外部振動が上
部容器半体3に印加されると、この振動は直接的に半導
体装置5に印加され、図6に示されるように、半導体装
置5が上部容器半体3から簡単に浮いてしまい、上部位
置決めフェンス7に乗り上げる等により適正な検査を行
なうことができないという問題点があった。
As described above, conventionally, a large number of packing members 11 are used to protect the bumps 4 from impacts applied during transportation or the like.
In addition, there is a problem in that the packaging process becomes complicated, and the product cost increases due to this. Furthermore, in the test described with reference to FIGS. 4 and 5, the upper container half 3 holding the semiconductor device 5 at the time of the test has a so-called hard case structure. For example, when an external vibration is applied to the upper container half 3, the vibration is directly applied to the semiconductor device 5, and the semiconductor device 5 is easily removed from the upper container half 3 as shown in FIG. Therefore, there is a problem that an appropriate inspection cannot be performed due to, for example, riding on the upper positioning fence 7.

【0012】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、簡単な構成で確実に半導体装置を保護しうる半導
体装置の収納容器を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide a semiconductor device storage container that can reliably protect a semiconductor device with a simple configuration.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴と
するものである。請求項1記載の発明は、下部容器半体
と上部容器半体とを積み重ねた際、前記各容器半体内に
形成される収納部に外部接続端子を有した半導体装置を
収納する半導体装置の収納容器であって、前記半導体装
置が前記収納部に収納された状態において、少なくとも
前記収納部の前記外部接続端子と当接する領域を軟質材
料により形成したことを特徴とするものである。
Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, the present invention is characterized by taking the following means. According to the first aspect of the present invention, when the lower container half and the upper container half are stacked, a semiconductor device having an external connection terminal in a storage portion formed in each of the container halves is stored. In a container, when the semiconductor device is stored in the storage portion, at least a region of the storage portion that contacts the external connection terminal is formed of a soft material.

【0014】また、請求項2記載の発明は、前記請求項
1記載の半導体装置の収納容器において、前記下部容器
半体及び前記上部容器半体の全体を、前記外部接続端子
よりも軟質とされた軟質材料により形成したことを特徴
とするものである。また、請求項3記載の発明は、前記
請求項2記載の半導体装置の収納容器において、前記軟
質材料はウレタンであることを特徴とするものである。
According to a second aspect of the present invention, in the storage container of the semiconductor device according to the first aspect, the entire lower container half and the upper container half are softer than the external connection terminals. Characterized by being formed of a soft material. According to a third aspect of the present invention, in the container for a semiconductor device according to the second aspect, the soft material is urethane.

【0015】また、請求項4記載の発明は、前記請求項
1記載の半導体装置の収納容器において、前記下部容器
半体を、外側部分に硬質材料により形成された第1の外
側硬質部と、前記収納部が形成される内側部分に軟質材
料により形成された第1の内側軟質部とにより構成し、
かつ、前記上部容器半体を、外側部分に硬質材料により
形成された第2の外側硬質部と、前記収納部が形成され
る内側部分に軟質材料により形成された第2の内側軟質
部とにより構成したことを特徴とするものである。
According to a fourth aspect of the present invention, in the storage container for a semiconductor device according to the first aspect, the lower container half is formed of a first outer hard portion having an outer portion formed of a hard material; A first inner soft portion formed of a soft material on an inner portion where the storage portion is formed;
Further, the upper container half is formed by a second outer hard portion formed of a hard material on an outer portion, and a second inner soft portion formed of a soft material on an inner portion where the storage portion is formed. It is characterized by having comprised.

【0016】また、請求項5記載の発明は、前記請求項
4記載の半導体装置の収納容器において、前記第1の外
側硬質部と前記第1の内側軟質部を一体成形すると共
に、前記第2の外側硬質部と前記第2の内側軟質部を一
体成形したことを特徴とするものである。
According to a fifth aspect of the present invention, in the semiconductor device container of the fourth aspect, the first outer hard portion and the first inner soft portion are integrally formed and the second outer hard portion is formed integrally with the second inner hard portion. Wherein the outer hard portion and the second inner soft portion are integrally formed.

【0017】また、請求項6記載の発明は、前記請求項
1乃至5のいずれかに記載の半導体装置の収納容器にお
いて、前記収納部における前記上部容器半体と前記下部
容器半体との分離位置が、収納状態における前記半導体
装置の高さ間に設定されていることを特徴とするもので
ある。
According to a sixth aspect of the present invention, in the storage container of the semiconductor device according to any one of the first to fifth aspects, separation of the upper container half and the lower container half in the storage portion. The position is set between the heights of the semiconductor device in the housed state.

【0018】更に、請求項7記載の発明は、前記請求項
1乃至6のいずれかに記載の半導体装置の収納容器にお
いて、前記上部容器半体及び前記下部容器半体を共に下
面に前記収納部の上部収納部半体が形成されると共に上
面に前記収納部の下部収納部半体が形成された容器半体
により構成し、かつ、この容器半体が複数積み重ね可能
な構成としたことを特徴とする半導体装置の収納容器。
Further, according to a seventh aspect of the present invention, in the storage container for a semiconductor device according to any one of the first to sixth aspects, both the upper container half and the lower container half are provided on the lower surface of the storage portion. And a lower container half of the storage unit formed on the upper surface, and a plurality of the container halves can be stacked. Of a semiconductor device.

【0019】上記した各手段は、次のように作用する。
請求項1記載の発明によれば、半導体装置が収納部に収
納された際、半導体装置の外部接続電極は収納部の軟質
材料により形成された領域と当接する構成となる。この
軟質材料は外部接続端子よりも軟質とされているため、
外部接続端子が直接軟質部と当接しても潰れ,傷,及び
破損が発生することはない。よって、小型化され外部接
続端子が狭ピッチ化した半導体装置であっても、確実に
収納容器内に保持(収納)することができる。
Each of the above means operates as follows.
According to the first aspect of the invention, when the semiconductor device is housed in the housing, the external connection electrode of the semiconductor device comes into contact with the region formed of the soft material in the housing. Because this soft material is softer than the external connection terminal,
Even if the external connection terminal directly contacts the soft part, no crushing, scratching or breakage occurs. Therefore, even if the semiconductor device is miniaturized and the external connection terminals have a narrow pitch, the semiconductor device can be reliably held (stored) in the storage container.

【0020】また、外部接続端子を収納部に当接させた
状態で保持できるため、収納部と半導体装置との当接す
る領域、即ち保持を行なう領域を拡げることができる。
これにより、収納容器に外力印加があったような場合で
あっても、半導体装置を確実に保持することができる。
更に、収納容器自体に緩衝効果を持たせることができる
ため、この収納容器を梱包する梱包を簡易化及び小型化
を図ることができる。
Further, since the external connection terminal can be held in a state of being in contact with the housing, the area where the housing and the semiconductor device come into contact, that is, the area for holding can be expanded.
Thus, even when external force is applied to the storage container, the semiconductor device can be reliably held.
Further, since the storage container itself can have a buffering effect, the packaging for packing the storage container can be simplified and downsized.

【0021】また、請求項2及び請求項3記載の発明に
よれば、下部容器半体及び上部容器半体の全体を、外部
接続端子よりも軟質とされた軟質材料(例えば、ウレタ
ン)により形成したことにより、局所的に軟質材料を配
設する構成に比べ、下部容器半体及び上部容器半体を容
易に製造することができる。また、収納部全体が軟質材
料により形成されることとなるため、収納容器により半
導体装置に傷等を付けることを確実に防止することがで
きる。更に、軟質材料は弾性を有しているため、収納部
の内壁は半導体装置に弾性的に圧接し、よってこれによ
っても半導体装置が収納部から離脱することを防止する
ことができる。
According to the second and third aspects of the present invention, the entire lower container half and the upper container half are formed of a soft material (eg, urethane) which is softer than the external connection terminals. By doing so, the lower container half and the upper container half can be easily manufactured as compared with the configuration in which the soft material is locally provided. Further, since the entire storage portion is formed of a soft material, it is possible to reliably prevent the semiconductor device from being damaged by the storage container. Further, since the soft material has elasticity, the inner wall of the storage section is elastically pressed against the semiconductor device, thereby preventing the semiconductor device from being detached from the storage section.

【0022】また、請求項4記載の発明によれば、下部
及び上部容器半体を、硬質材料により形成された第1及
び第2の外側硬質部と、収納部が形成される内側部分に
軟質材料により形成された第1及び第2の内側軟質部と
により構成したことにより、半導体装置と接する第1及
び第2の内側軟質部を軟質材料により形成しても、その
外側に位置する第1及び第2の外側硬質部は硬質材料に
よりなるため、収納容器全体としての剛性を維持するこ
とができる。よって、収納容器を移動させるため把持し
たり、また積み上げたとしても、収納容器に撓みや変形
が発生することはなく、その取り扱い性を向上させるこ
とができる。
According to the fourth aspect of the present invention, the lower and upper container halves are provided with a first and a second outer hard portion formed of a hard material and a soft inner portion formed with a storage portion. Since the first and second inner soft portions formed of the material include the first and second inner soft portions, the first and second inner soft portions that are in contact with the semiconductor device are formed of the soft material even if the first and second inner soft portions are formed of the soft material. Since the second outer hard portion is made of a hard material, the rigidity of the storage container as a whole can be maintained. Therefore, even if the storage container is gripped or moved for stacking, the storage container does not bend or deform, and the handleability can be improved.

【0023】また、請求項5記載の発明によれば、第1
の外側硬質部と第1の内側軟質部を一体成形すると共
に、第2の外側硬質部と第2の内側軟質部を一体成形し
たことにより、各外側硬質部と各内側軟質部を夫々別部
材とする構成に比べて、部品点数の削減及び収納容器を
製造する際の工数低減を図ることができ、収納容器の低
コスト化を図ることができる。
According to the fifth aspect of the present invention, the first
The outer hard portion and the first inner soft portion are integrally formed, and the second outer hard portion and the second inner soft portion are integrally formed, so that each outer hard portion and each inner soft portion are separate members. As compared with the configuration described above, the number of parts can be reduced and the number of steps for manufacturing the storage container can be reduced, and the cost of the storage container can be reduced.

【0024】また、請求項6記載の発明によれば、収納
部における上部容器半体と下部容器半体との分離位置
を、収納状態における半導体装置の高さ間に設定したこ
とにより、例えば半導体装置を外部接続端子が下部容器
半体側に位置するよう収納容器に収納した場合を想定す
ると、上部容器半体を下部容器半体から取り外すことに
より、半導体装置の上面(外部接続端子の形成面と対向
する半体側の面)が露出し、よってラベル検査等の外観
検査を行なうことができる。
According to the sixth aspect of the present invention, the separation position of the upper container half and the lower container half in the storage section is set between the heights of the semiconductor device in the storage state. Assuming that the device is housed in a storage container such that the external connection terminal is located on the lower container half side, the upper container half is removed from the lower container half, so that the upper surface of the semiconductor device (the surface on which the external connection terminal is formed) is removed. The opposing half-side surface) is exposed, so that a visual inspection such as a label inspection can be performed.

【0025】一方、上記収納状態のままで、上部容器半
体と下部容器半体とを反転した上で下部容器半体を上部
容器半体から取り外すと、半導体装置の外部接続端子の
形成面が露出し、よって外部接続端子の検査を行なうこ
とができる。この際、半導体装置は上部容器半体或いは
下部容器半体に形成された収納部に保持されているた
め、各容器半体から離脱するようなことはない。
On the other hand, when the upper container half and the lower container half are inverted and the lower container half is removed from the upper container half in the storage state, the formation surface of the external connection terminals of the semiconductor device is changed. Thus, the external connection terminals can be inspected. At this time, since the semiconductor device is held in the storage portion formed in the upper container half or the lower container half, the semiconductor device is not separated from each container half.

【0026】更に、請求項7記載の発明によれば、上部
容器半体及び下部容器半体を同一形状とされた容器半体
により構成し、この容器本体を下面に収納部の上部収納
部半体が、また上面に収納部の下部収納部半体が形成さ
れた構成とすることにより、この容器半体を積み重ねる
ことにより上下一対の容器半体の間には半導体装置を収
納する収納部が形成される。よって、半導体装置を立体
的に収納することが可能となり、収納効率の向上を図る
ことができる。
According to the seventh aspect of the present invention, the upper container half and the lower container half are constituted by identically shaped container halves. The body is configured such that the lower housing half of the housing is formed on the upper surface. By stacking the container halves, a housing for housing the semiconductor device is provided between the pair of upper and lower container halves. It is formed. Therefore, the semiconductor device can be stored three-dimensionally, and the storage efficiency can be improved.

【0027】[0027]

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面と共に説明する。図8は、本発明の第1実施例で
ある収納容器20を示す断面図である。収納容器20は
半導体装置5を内部に収納するものであり、大略すると
一対の容器半体21により構成されている。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 8 is a sectional view showing the storage container 20 according to the first embodiment of the present invention. The storage container 20 stores the semiconductor device 5 inside, and is generally constituted by a pair of container halves 21.

【0028】尚、以下の説明において、半導体装置5を
挟んで上下に位置する容器半体21をそれぞれ区別して
述べる必要がある場合には、半導体装置5の下部に位置
する容器半体21を下部容器半体22といい、半導体装
置5の上部に位置する容器半体21を上部容器半体23
というものとする。容器半体21は図9に示されるよう
に板状の部材であり、その上面には上部フェンス27に
画成されることにより複数の上部収納部半体26が形成
されており、また下面には下部フェンス28に画成され
ることにより複数の下部収納部半体25が形成されてい
る(下部フェンス28及び下部収納部半体25は、図9
に現れず)。
In the following description, when it is necessary to separately describe the container halves 21 located above and below the semiconductor device 5, the container halves 21 located at the lower part of the semiconductor device 5 will be described below. The container half 21 located at the top of the semiconductor device 5 is called an upper container half 22.
It is assumed that. As shown in FIG. 9, the container half 21 is a plate-like member. On the upper surface thereof, a plurality of upper storage unit halves 26 are formed by being defined by an upper fence 27, and on the lower surface, Are formed in the lower fence 28 to form a plurality of lower storage unit halves 25. The lower fence 28 and the lower storage unit half 25
Does not appear in

【0029】本実施例では、この容器半体21の全体を
軟質材料により形成したことを特徴としている。具体的
には、容器半体21はウレタンを一体成形することによ
り形成されている。また、ウレタンの硬さは、収納容器
20に収納される半導体装置5に形成されたバンプ4の
硬さよりも軟らかいものが選定されている。即ち、容器
半体21は、バンプ4よりも軟質な軟質材料により形成
された構成となっている。
The present embodiment is characterized in that the entire container half 21 is formed of a soft material. Specifically, the container half 21 is formed by integrally molding urethane. Further, the hardness of the urethane is selected to be softer than the hardness of the bumps 4 formed on the semiconductor device 5 stored in the storage container 20. That is, the container half 21 is formed of a soft material softer than the bumps 4.

【0030】上記のように、収納容器20は一対の容器
半体21(下部容器半体22,上部容器半体23)を積
み重ねた形態を基本形態とする。この下部容器半体22
と上部容器半体23とを積み重ねた状態において、下部
容器半体22の上部フェンス27と上部容器半体23の
下部フェンス28は当接し、また下部収納部半体25と
上部収納部半体26は協働して収納部24を形成する。
As described above, the storage container 20 has a basic configuration in which a pair of container halves 21 (a lower container half 22 and an upper container half 23) are stacked. This lower container half 22
The upper fence 27 of the lower container half 22 and the lower fence 28 of the upper container half 23 are in contact with each other in a state in which the lower container 22 and the upper container half 23 are stacked, and the lower storage half 25 and the upper storage half 26 are in contact with each other. Cooperate to form a storage section 24.

【0031】尚、以下の説明において、上部フェンス2
7と下部フェンス28の当接する位置、及び下部収納部
半体25と上部収納部半体26の当接する位置を分離位
置という(図8に矢印Aで示す)。ここで、半導体装置
5の収納容器20内における収納状態に注目すると、本
実施例では半導体装置5のバンプ4が下部容器半体22
に形成された上部収納部半体26の底面に直接当接した
構成となっている。これは、半導体装置5が小型化,高
密度化したことにより、図3に示したような従来の収納
構造を用いることができなくなったことによる。
In the following description, the upper fence 2
The position at which the lower fence 28 and the lower fence 28 abut, and the position at which the lower storage half 25 and the upper storage half 26 abut are referred to as separation positions (indicated by an arrow A in FIG. 8). Here, paying attention to the storage state of the semiconductor device 5 in the storage container 20, in this embodiment, the bumps 4 of the semiconductor device 5 are connected to the lower container half 22.
Is formed so as to directly contact the bottom surface of the upper storage section half 26 formed at the bottom. This is because the conventional storage structure shown in FIG. 3 cannot be used due to the miniaturization and high density of the semiconductor device 5.

【0032】このように、バンプ4を上部収納部半体2
6の底面に直接当接させた場合、バンプ4の潰れ等が問
題となる。しかるに、前記したように下部及び上部容器
半体22,23はバンプ4よりも軟質なウレタンにより
一体的に形成され、従って上部収納部半体26の底面も
ウレタンにより構成されている。よって、本実施例の構
成では、バンプ4は軟質であるウレタンに直接当接した
構成となるため、バンプ4が直接上部収納部半体26の
底面と当接しても、バンプ4に潰れ,傷,及び破損が発
生することはない。従って、小型化,高密度化された半
導体装置5であっても、確実に収納容器20内に保持
(収納)することができる。
As described above, the bump 4 is connected to the upper housing half 2
In the case where the bump 4 is brought into direct contact with the bottom surface, the bump 4 may be crushed. However, as described above, the lower and upper container halves 22, 23 are integrally formed of urethane that is softer than the bump 4, and therefore, the bottom surface of the upper storage unit half 26 is also formed of urethane. Therefore, in the configuration of the present embodiment, the bumps 4 are in direct contact with the soft urethane. Therefore, even if the bumps 4 directly contact the bottom surface of the upper housing half 26, the bumps 4 are crushed and damaged. And no damage occurs. Therefore, even the miniaturized and high-density semiconductor device 5 can be reliably held (stored) in the storage container 20.

【0033】また、バンプ4を収納部24に当接させた
状態で保持できるため、収納部24と半導体装置5との
当接する領域、即ち保持を行なう領域を拡げることがで
きる。これにより、収納容器20に外力印加があったよ
うな場合であっても、半導体装置5を確実に保持するこ
とができる。更に、収納容器20自体に緩衝効果を持た
せることができるため、収納容器20を梱包する際、従
来(図7参照)に比べて梱包の簡易化,小型化を図るこ
とができる。これにより、梱包に要する工数低減及びコ
スト低減を図ることができる。
Further, since the bumps 4 can be held in a state in which the bumps 4 are in contact with the storage section 24, the area where the storage section 24 and the semiconductor device 5 are in contact, that is, the area for holding can be expanded. Accordingly, even when external force is applied to the storage container 20, the semiconductor device 5 can be reliably held. Further, since the storage container 20 itself can have a buffering effect, the packing of the storage container 20 can be simplified and downsized as compared with the conventional case (see FIG. 7). As a result, it is possible to reduce man-hours and cost required for packing.

【0034】また、本実施例では上記のように下部容器
半体22及び上部容器半体23の全体をウレタン(軟質
材料)により形成してる。よって、収納容器に局所的に
軟質材料を配設する構成に比べ、各容器半体22,23
を容易に製造することができる。また、収納部24の全
体が軟質材料により形成されることとなるため、収納容
器20と当接しても半導体装置5に傷等が発生するよう
なことはない。
In this embodiment, the entire lower container half 22 and upper container half 23 are made of urethane (soft material) as described above. Therefore, compared to a configuration in which the soft material is locally provided in the storage container, each of the container halves 22 and 23
Can be easily manufactured. Further, since the entire storage portion 24 is formed of a soft material, even if the storage portion 24 is in contact with the storage container 20, the semiconductor device 5 is not damaged.

【0035】更に、本実施例では同一形状とさたれ一対
の容器半体21(下部容器半体22,上部容器半体2
3)を積み重ねことにり収納容器20を構成している。
よって、上部と下部で各容器半体を別構成とする場合に
くらべ、製造コストの低減を図れると共に、容器半体2
1の管理を容易とすることができる(即ち、上下で区別
して保管する必要はない)。
Further, in this embodiment, a pair of container halves 21 (the lower container halves 22, the upper container
The storage container 20 is constituted by stacking 3).
Therefore, as compared with the case where each of the container halves has a different configuration in the upper part and the lower part, the manufacturing cost can be reduced, and the container halves 2
1 can be easily managed (that is, there is no need to store the upper and lower parts separately).

【0036】また、本実施例では、下部容器半体22と
及び上部容器半体23を同一構成とすると共に、この各
容器本体22,23の下面に下部収納部半体25を、ま
た上面に上部収納部半体26を形成した構成とされてい
る。これにより、容器半体21を積み重ねることによ
り、図12に示されるように、半導体装置5を立体的に
収納することが可能となり、従って半導体装置5の収納
効率の向上を図ることができる。
In this embodiment, the lower container half 22 and the upper container half 23 have the same structure, and the lower housing half 25 is provided on the lower surface of each of the container bodies 22 and 23, and the lower housing half 25 is provided on the upper surface. The upper housing half 26 is formed. Thus, by stacking the container halves 21, as shown in FIG. 12, the semiconductor device 5 can be stored three-dimensionally, and thus the storage efficiency of the semiconductor device 5 can be improved.

【0037】一方、図10及び図11は、半導体装置5
のバンプ4に対する外観検査を行なう時の状態を示して
いる。半導体装置の外観検査としては、半導体装置5の
上面5Aに形成されたラベル検査や、また実装面に形成
されたバンプ4の目視検査(或いは、画像処理により検
査)がある。図8に示す収納状態において、半導体装置
5のラベル検査を行なうには、上部容器半体23を下部
容器半体22から取り外す。
On the other hand, FIG. 10 and FIG.
3 shows a state when an appearance inspection is performed on the bump 4. Examples of the appearance inspection of the semiconductor device include a label inspection formed on the upper surface 5A of the semiconductor device 5 and a visual inspection (or an image processing inspection) of the bump 4 formed on the mounting surface. In the storage state shown in FIG. 8, to perform the label inspection of the semiconductor device 5, the upper container half 23 is removed from the lower container half 22.

【0038】これにより、上部容器半体23は下部容器
半体22から分離されるが、この分離位置Aは、収納状
態における半導体装置5の高さ間(図8に矢印Hで示す
間)に設定されてる。この構成とするとにより、上部容
器半体23を下部容器半体22から取り外すことによ
り、半導体装置5の上面5Aが露出し、よってラベル検
査等の外観検査を行なうことができる。
As a result, the upper container half 23 is separated from the lower container half 22, and this separation position A is located between the heights of the semiconductor device 5 in the housed state (between indicated by arrows H in FIG. 8). It is set. With this configuration, by removing the upper container half 23 from the lower container half 22, the upper surface 5A of the semiconductor device 5 is exposed, so that a visual inspection such as a label inspection can be performed.

【0039】また、バンプ4の外観検査を行なうには、
図8に示す状態から下部容器半体22と上部容器半体2
3とが上下逆となるよう収納容器20を反転させ、その
上で下部容器半体22を上部容器半体23を取り外す。
これにより、図11に示すように半導体装置5のバンプ
4を露出した状態とすることができ、バンプ4の外観検
査を行なうことが可能となる。
In order to inspect the appearance of the bump 4,
From the state shown in FIG. 8, the lower container half 22 and the upper container half 2
3 is turned upside down, the lower container half 22 and the upper container half 23 are removed therefrom.
As a result, the bumps 4 of the semiconductor device 5 can be exposed as shown in FIG. 11, and the appearance of the bumps 4 can be inspected.

【0040】ところで、従来構成の収納容器1では、こ
の外観検査中に試験者が各容器半体2,3に触れる等に
より発生する振動により、半導体装置5が各容器半体
2,3から離脱してしまうおそれがあったことは前述し
た通りである。しかるに、本実施例に係る収納容器20
は、各容器半体22,23が軟質材料(ウレタン)によ
り形成されているため、上記の振動が発生してもこの振
動は各容器半体22,23により吸収される。よって、
上記のような振動が発生しても半導体装置5が各容器半
体22,23から離脱するようなことはなく、検査の信
頼性を向上させることができる。
In the storage container 1 having the conventional configuration, the semiconductor device 5 is detached from the container halves 2 and 3 due to vibration generated when the tester touches the container halves 2 and 3 during the appearance inspection. As described above, there is a possibility that the data may be lost. However, the storage container 20 according to the present embodiment
Since the container halves 22 and 23 are made of a soft material (urethane), even if the above-described vibration occurs, the vibration is absorbed by the container halves 22 and 23. Therefore,
Even if the above-described vibration occurs, the semiconductor device 5 does not separate from each of the container halves 22, 23, and the reliability of the inspection can be improved.

【0041】図13は、本発明の第2実施例である収納
容器30を示している。本実施例に係る収納容器30
も、大略すると下部容器半体32と上部容器半体33と
により構成されている。下部容器半体32は、外側部分
に硬質材料(例えば、硬質樹脂)により形成された第1
の外側硬質部32Aと、収納部34が形成される内側部
分に軟質材料(例えば、ウレタン)により形成された第
1の内側軟質部32Bとにより構成されている。
FIG. 13 shows a storage container 30 according to a second embodiment of the present invention. Storage container 30 according to the present embodiment
Also, it is roughly composed of a lower container half 32 and an upper container half 33. The lower container half 32 has a first portion formed of a hard material (for example, hard resin) on an outer portion.
And a first inner soft portion 32B formed of a soft material (for example, urethane) in an inner portion where the storage portion 34 is formed.

【0042】また、上部容器半体33は、外側部分に硬
質材料((例えば、硬質樹脂)により形成された第2の
外側硬質部33Aと、収納部34が形成される内側部分
に軟質材料(例えば、ウレタン)により形成された第2
の内側軟質部33Bとにより構成されている。更に、第
1の内側軟質部32Bと第2の内側軟質部33Bとの間
には、各内側軟質部32B,33B間に形成される空間
部を半導体装置5の形状に対応するよう画成するフェン
ス部35が設けられている。このフェンス部35の材料
は、各内側軟質部32B,33Bと同様な軟質材料によ
り形成されている。
The upper container half 33 has a second outer hard portion 33A formed of a hard material (for example, hard resin) on the outer portion, and a soft material ( For example, urethane).
And the inner soft portion 33B. Further, a space formed between each of the inner soft portions 32B and 33B is defined between the first inner soft portion 32B and the second inner soft portion 33B so as to correspond to the shape of the semiconductor device 5. A fence 35 is provided. The material of the fence portion 35 is formed of the same soft material as the inner soft portions 32B and 33B.

【0043】尚、本実施例では下部容器半体32を構成
する第1の外側硬質部32Aと、上部容器半体33を構
成する第2の外側硬質部33Aは、兼用された構成とな
っている。また、最上部には、第2の外側硬質部33A
として機能する蓋体31が配設されている。本実施例の
ように下部及び上部容器半体32,33を、外側部分に
位置し硬質材料により形成された第1及び第2の外側硬
質部32A,33Aと、内側部分に位置し軟質材料によ
り形成された第1及び第2の内側軟質部32B,33B
とにより構成したことにより、収納容器30全体として
の剛性を維持することができる。
In this embodiment, the first outer rigid portion 32A constituting the lower container half 32 and the second outer rigid portion 33A constituting the upper container half 33 are configured to be shared. I have. In addition, a second outer hard portion 33A is provided at the top.
A lid 31 functioning as a cover is provided. As in the present embodiment, the lower and upper container halves 32, 33 are made of first and second outer hard portions 32A, 33A formed of a hard material located on the outer portion, and soft materials located on the inner portion. First and second inner soft portions 32B, 33B formed
With this configuration, the rigidity of the storage container 30 as a whole can be maintained.

【0044】よって、収納容器30を移動させるため把
持したり、また積み上げたとしても、収納容器30に撓
みや変形が発生することはなく、その取り扱い性を向上
させることができる。また、本実施例では第1及び第2
の外側硬質部32A,33Aと第1及び第2の内側軟質
部32B,33Bとを別部材とした構成を示したが、第
1の外側硬質部32Aと第1の内側軟質部33Aを一体
成形すると共に、第2の外側硬質部32Bと第2の内側
軟質部33Bを一体成形することも可能である。
Therefore, even if the storage container 30 is gripped or stacked for moving, the storage container 30 is not bent or deformed, and the handling property can be improved. In this embodiment, the first and second
Although the outer hard portions 32A, 33A and the first and second inner soft portions 32B, 33B are shown as separate members, the first outer hard portion 32A and the first inner soft portion 33A are integrally formed. At the same time, the second outer hard part 32B and the second inner soft part 33B can be integrally formed.

【0045】この構成を実現させる具体的な方法として
は、例えば下部容器本体32及び上部容器本体33を樹
脂成形する際、第1の内側軟質部33A及び第2の内側
軟質部33Bとなる部位を発泡させることが考えられ
る。上記構成とすることにより、各外側硬質部32A,
33Aと各内側軟質部32B,33Bを夫々別部材とす
る構成に比べて、部品点数の削減及び収納容器30を製
造する際の工数低減を図ることができ、収納容器30の
低コスト化を図ることができる。
As a specific method for realizing this configuration, for example, when the lower container main body 32 and the upper container main body 33 are molded with resin, the portions that become the first inner soft portion 33A and the second inner soft portion 33B are formed. Foaming is conceivable. With the above configuration, each outer hard portion 32A,
Compared with a configuration in which 33A and each of the inner soft portions 32B and 33B are separate members, the number of parts and the number of steps for manufacturing the storage container 30 can be reduced, and the cost of the storage container 30 can be reduced. be able to.

【0046】図14は、本発明の第3実施例である収納
容器40を示している。本実施例に係る収納容器40
は、下部容器半体42を外側部分に硬質材料(例えば、
硬質樹脂)により形成された第1の外側硬質部42A
と、収納部44が形成される内側部分に軟質材料(例え
ば、ウレタン)により形成された第1の内側軟質部42
Bとにより構成し、上部容器半体43は従来同様な硬質
の樹脂により形成したものである。
FIG. 14 shows a storage container 40 according to a third embodiment of the present invention. Storage container 40 according to the present embodiment
The lower container half 42 is made of a hard material (eg,
First outer hard portion 42A formed of hard resin)
And a first inner soft portion 42 formed of a soft material (for example, urethane) in an inner portion where the storage portion 44 is formed.
B, and the upper container half 43 is formed of the same hard resin as in the prior art.

【0047】下部容器半体42の構成は、前記した第2
実施例と同一構成とされており、また上部容器半体43
にはフェンス部材35を保持するためのフェンス部45
が形成されている。本実施例のように、下部容器半体4
2と上部容器半体43を異なる材料及び異なる構成とし
ても、収納状態において半導体装置5のバンプ4と当接
する部位が軟質材料により形成されていれば、上記した
と同様の効果を実現することができる。
The structure of the lower container half 42 is the same as that of the second container half described above.
It has the same configuration as that of the embodiment, and the upper container half 43
Fence part 45 for holding the fence member 35
Are formed. As in this embodiment, the lower container half 4
2 and the upper container half 43 may be made of a different material and a different structure, and the same effect as described above can be realized if the portion in contact with the bump 4 of the semiconductor device 5 in the housed state is formed of a soft material. it can.

【0048】尚、上記した各実施例では、半導体装置5
として外部接続端子としてバンプ4を有したBGA構造
の装置を例に挙げて説明したが、本発明は他のパッケー
ジ構造の半導体装置を収納する場合にも適用することが
できる。また、上記した各実施例では、軟質材料として
ウレタンを用いた例を挙げたが、軟質材料はウレタンに
限定されるものではなく、半導体装置に設けられた外部
接続端子よりも軟質(軟らかい)ものであれば、他の材
質を用いることも可能である。
In each of the above embodiments, the semiconductor device 5
Although a device having a BGA structure having bumps 4 as external connection terminals has been described as an example, the present invention can also be applied to a case where a semiconductor device having another package structure is housed. Further, in each of the above-described embodiments, the example in which urethane is used as the soft material is described. However, the soft material is not limited to urethane, and is softer (softer) than the external connection terminals provided in the semiconductor device. If so, other materials can be used.

【0049】[0049]

【発明の効果】上述の如く本発明によれば、次に述べる
種々の効果を実現することができる。請求項1記載の発
明によれば、半導体装置の外部接続電極が当接する領域
は外部接続端子よりも軟質とされているため、外部接続
端子が直接軟質領域と当接しても潰れ,傷,及び破損が
発生することはなく、よって小型化され外部接続端子が
狭ピッチ化した半導体装置であっても、確実に収納容器
内に保持(収納)することができる。
According to the present invention as described above, the following various effects can be realized. According to the first aspect of the present invention, since the region of the semiconductor device that contacts the external connection electrode is softer than the external connection terminal, even if the external connection terminal directly contacts the soft region, the semiconductor device is crushed, scratched, and damaged. Even if the semiconductor device is not damaged and is thus miniaturized and the external connection terminals have a narrow pitch, the semiconductor device can be reliably held (stored) in the storage container.

【0050】また、外部接続端子を収納部に当接させた
状態で保持できるため、収納部と半導体装置との当接す
る領域、即ち保持を行なう領域を拡げることができ、収
納容器に外力印加があったような場合であっても、半導
体装置を確実に保持することができる。更に、収納容器
自体に緩衝効果を持たせることができるため、この収納
容器を梱包する梱包を簡易化及び小型化を図ることがで
きる。
Further, since the external connection terminal can be held in contact with the storage portion, the area where the storage portion contacts the semiconductor device, that is, the holding region can be expanded, and external force can be applied to the storage container. Even in such a case, the semiconductor device can be reliably held. Further, since the storage container itself can have a buffering effect, the packaging for packing the storage container can be simplified and downsized.

【0051】また、請求項2及び請求項3記載の発明に
よれば、局所的に軟質材料を配設する構成に比べ、下部
容器半体及び上部容器半体を容易に製造することができ
る。また、収納部全体が軟質材料により形成されること
となるため、収納容器により半導体装置に傷等を付ける
ことを確実に防止することができる。更に、軟質材料は
弾性を有しているため、収納部の内壁は半導体装置に弾
性的に圧接し、よって半導体装置が収納部から離脱する
ことを防止することができる。
According to the second and third aspects of the present invention, the lower container half and the upper container half can be easily manufactured, as compared with a configuration in which the soft material is locally provided. Further, since the entire storage portion is formed of a soft material, it is possible to reliably prevent the semiconductor device from being damaged by the storage container. Further, since the soft material has elasticity, the inner wall of the storage section is elastically pressed against the semiconductor device, thereby preventing the semiconductor device from being detached from the storage section.

【0052】また、請求項4記載の発明によれば、収納
容器全体としての剛性を維持することができ、よって収
納容器を移動させるため把持したり積み上げたとして
も、収納容器に撓みや変形が発生することはなく、その
取り扱い性を向上させることができる。また、請求項5
記載の発明によれば、各外側硬質部と各内側軟質部を夫
々別部材とする構成に比べて、部品点数の削減及び収納
容器を製造する際の工数低減を図ることができ、収納容
器の低コスト化を図ることができる。
According to the fourth aspect of the present invention, the rigidity of the storage container as a whole can be maintained, so that even if the storage container is gripped or stacked for moving, the storage container is not bent or deformed. It does not occur, and the handleability can be improved. Claim 5
According to the described invention, compared to a configuration in which each outer hard portion and each inner soft portion are formed as separate members, it is possible to reduce the number of parts and the number of steps when manufacturing the storage container, and to reduce the number of storage containers. Cost reduction can be achieved.

【0053】また、請求項6記載の発明によれば、半導
体装置を収納容器(上部容器半体,下部容器半体)に収
納した状態を維持しつつ、半導体装置に対し各種試験を
行なうことが可能となり、試験効率の向上を図ることが
できる。また、試験実施中において、半導体装置は上部
容器半体或いは下部容器半体に形成された収納部に保持
されているため、各容器半体から離脱することを防止で
きる。
According to the invention, various tests can be performed on the semiconductor device while maintaining the state where the semiconductor device is stored in the storage container (the upper container half and the lower container half). This makes it possible to improve test efficiency. Further, during the test, the semiconductor device is held in the storage portion formed in the upper container half or the lower container half, so that it is possible to prevent the semiconductor device from being detached from each container half.

【0054】更に、請求項7記載の発明によれば、容器
半体を積み重ねることにより上下一対の容器半体の間に
は半導体装置を収納する収納部が形成され、よって半導
体装置を立体的に収納することが可能となり収納効率の
向上を図ることができる。
According to the seventh aspect of the present invention, a housing portion for housing a semiconductor device is formed between a pair of upper and lower container halves by stacking the container halves. The storage can be performed, and the storage efficiency can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】従来の収納容器の概略構成を示す斜視図であ
る。
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a conventional storage container.

【図2】従来の収納容器の収納部近傍を拡大して示す斜
視図である。
FIG. 2 is an enlarged perspective view showing the vicinity of a storage section of a conventional storage container.

【図3】従来の収納容器の収納部近傍を拡大して示す断
面図である。
FIG. 3 is an enlarged sectional view showing the vicinity of a storage section of a conventional storage container.

【図4】従来の収納容器の問題点を説明するための図で
ある(その1)。
FIG. 4 is a view for explaining a problem of a conventional storage container (part 1).

【図5】従来の収納容器の問題点を説明するための図で
ある(その2)。
FIG. 5 is a view for explaining a problem of a conventional storage container (part 2).

【図6】従来の収納容器の問題点を説明するための図で
ある(その3)。
FIG. 6 is a view for explaining a problem of a conventional storage container (part 3).

【図7】従来の収納容器の問題点を説明するための図で
ある(その4)。
FIG. 7 is a view for explaining a problem of a conventional storage container (part 4).

【図8】本発明の第1実施例である収納容器の断面図で
ある。
FIG. 8 is a sectional view of the storage container according to the first embodiment of the present invention.

【図9】容器半体を示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing a container half.

【図10】収納容器に収納した半導体装置の試験方法を
説明するための図である(その1)。
FIG. 10 is a view for explaining a test method of the semiconductor device stored in the storage container (part 1).

【図11】収納容器に収納した半導体装置の試験方法を
説明するための図である(その2)。
FIG. 11 is a view for explaining a test method of the semiconductor device stored in the storage container (part 2).

【図12】複数の半導体装置を積み重ねた状態で収納す
る場合の収納容器の態様を示す図である。
FIG. 12 is a diagram illustrating an embodiment of a storage container when a plurality of semiconductor devices are stored in a stacked state.

【図13】本発明の第2実施例である収納容器を説明す
るための断面図である。
FIG. 13 is a sectional view illustrating a storage container according to a second embodiment of the present invention.

【図14】本発明の第3実施例である収納容器を説明す
るための断面図である。
FIG. 14 is a sectional view illustrating a storage container according to a third embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

20,30,40 収納容器 21 容器半体 22,32,42 下部容器半体 23,33,43 上部容器半体 24,34,44 収納部 25 下部収納部半体 26 上部収納部半体 27 上部フェンス 28 下部フェンス 32A 第1の外側硬質部 32B 第1の内側軟質部 33A 第2の外側硬質部 33B 第2の内側軟質部 42A 外側硬質部 42B 内側軟質部 20, 30, 40 Storage container 21 Container half 22, 32, 42 Lower container half 23, 33, 43 Upper container half 24, 34, 44 Storage part 25 Lower storage part half 26 Upper storage part half 27 Upper part Fence 28 lower fence 32A first outer hard part 32B first inner soft part 33A second outer hard part 33B second inner soft part 42A outer hard part 42B inner soft part

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 茂雄 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内 Fターム(参考) 3E096 AA09 BA08 BB05 CA14 CB02 DA04 DA17 DB07 DC01 EA02X FA10 FA20 FA23 GA01 5F031 CA13 DA05  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Shigeo Suzuki 4-1-1, Kamiodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Prefecture F-term in Fujitsu Limited (reference) 3E096 AA09 BA08 BB05 CA14 CB02 DA04 DA17 DB07 DC01 EA02X FA10 FA20 FA23 GA01 5F031 CA13 DA05

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 下部容器半体と上部容器半体とを積み重
ねた際、前記各容器半体内に形成される収納部に外部接
続端子を有した半導体装置を収納する半導体装置の収納
容器であって、 前記半導体装置が前記収納部に収納された状態におい
て、少なくとも前記収納部の前記外部接続端子と当接す
る領域を軟質材料により形成したことを特徴とする半導
体装置の収納容器。
1. A storage container for a semiconductor device which stores a semiconductor device having an external connection terminal in a storage portion formed in each of the container halves when the lower container halves and the upper container halves are stacked. In a state where the semiconductor device is housed in the housing, at least a region of the housing that contacts the external connection terminal is formed of a soft material.
【請求項2】 請求項1記載の半導体装置の収納容器に
おいて、 前記下部容器半体及び前記上部容器半体の全体を、前記
外部接続端子よりも軟質とされた軟質材料により形成し
たことを特徴とする半導体装置の収納容器。
2. The storage container for a semiconductor device according to claim 1, wherein the entire lower container half and the upper container half are formed of a soft material softer than the external connection terminals. Of a semiconductor device.
【請求項3】 請求項2記載の半導体装置の収納容器に
おいて、 前記軟質材料はウレタンであることを特徴とする半導体
装置の収納容器。
3. The container for a semiconductor device according to claim 2, wherein said soft material is urethane.
【請求項4】 請求項1記載の半導体装置の収納容器に
おいて、 前記下部容器半体を、外側部分に硬質材料により形成さ
れた第1の外側硬質部と、前記収納部が形成される内側
部分に軟質材料により形成された第1の内側軟質部とに
より構成し、 かつ、前記上部容器半体を、外側部分に硬質材料により
形成された第2の外側硬質部と、前記収納部が形成され
る内側部分に軟質材料により形成された第2の内側軟質
部とにより構成したことを特徴とする半導体装置の収納
容器。
4. The storage container for a semiconductor device according to claim 1, wherein the lower container half is formed of a first outer hard portion formed of a hard material on an outer portion, and an inner portion formed with the storage portion. A first inner soft portion formed of a soft material, and the upper container half is formed with a second outer hard portion formed of a hard material on an outer portion, and the storage portion is formed. And a second inner soft portion formed of a soft material on an inner portion of the semiconductor device.
【請求項5】 請求項4記載の半導体装置の収納容器に
おいて、 前記第1の外側硬質部と前記第1の内側軟質部を一体成
形すると共に、前記第2の外側硬質部と前記第2の内側
軟質部を一体成形したことを特徴とする半導体装置の収
納容器。
5. The storage container for a semiconductor device according to claim 4, wherein the first outer hard portion and the first inner soft portion are integrally formed, and the second outer hard portion and the second outer hard portion are formed integrally. A storage container for a semiconductor device, wherein an inner soft part is integrally formed.
【請求項6】 請求項1乃至5のいずれかに記載の半導
体装置の収納容器において、 前記収納部における前記上部容器半体と前記下部容器半
体との分離位置が、収納状態における前記半導体装置の
高さ間に設定されていることを特徴とする半導体装置の
収納容器。
6. The semiconductor device storage container according to claim 1, wherein a separation position of said upper container half and said lower container half in said storage portion is in a storage state. A storage container for a semiconductor device, wherein the storage container is set between the heights of the semiconductor device.
【請求項7】 請求項1乃至6のいずれかに記載の半導
体装置の収納容器において、 前記上部容器半体と前記下部容器半体とを同一形状とさ
れた下面に前記収納部の上部収納部半体が形成されると
共に、上面に前記収納部の下部収納部半体が形成された
容器半体により構成し、 かつ、該容器半体が複数積み重ね可能な構成としたこと
を特徴とする半導体装置の収納容器。
7. The storage container for a semiconductor device according to claim 1, wherein said upper container half and said lower container half have the same shape on a lower surface thereof, and an upper storage portion of said storage portion. A semiconductor comprising: a half container; a lower container half of the storage unit formed on the upper surface of the container half; and a plurality of the container halves can be stacked. Storage container for the device.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2013254761A (en) * 2012-06-05 2013-12-19 Dainippon Printing Co Ltd Substrate holding member
JP2014003079A (en) * 2012-06-15 2014-01-09 Dainippon Printing Co Ltd Substrate holding member

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JP2013254761A (en) * 2012-06-05 2013-12-19 Dainippon Printing Co Ltd Substrate holding member
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