JP2000155029A - 角速度センサ - Google Patents
角速度センサInfo
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Abstract
いて、外部より振動が加わっても、その振動が検出電極
振動体に伝わるのを少なくして角速度センサの出力特性
が劣化するのを未然に防止することができる角速度セン
サを提供することを目的とする。 【解決手段】 基台30と回路基板35との間に間隙3
8を設けた状態で基台30の端子33を回路基板35の
孔37に実装して端子33と孔37とを固着することに
より、外部からの振動が検出電極振動体23に伝わりに
くい構成としたものである。
Description
移動体の姿勢制御やナビゲーションシステム等に用いら
れる角速度センサに関するものである。
特開平8−170917号公報に開示されたものが知ら
れている。
面を参照しながら説明する。図6は従来の角速度センサ
における基台に音叉を固着した状態を示す斜視図、図7
は同角速度センサの側断面図である。
で、この音叉1は一対の柱部2とこの柱部2の端部を接
続する接続部3とで構成されている。そして、前記音叉
1の一対の柱部2のそれぞれの外側面には駆動圧電素子
4が設けられるとともに、この駆動圧電素子4を設けた
側面と同一面状に参照圧電素子5が設けられている。そ
してまた、前記音叉1における前記駆動圧電素子4およ
び参照圧電素子5を設けた側面と異なる側面には一対の
検知圧電素子6を設けている。7は金属製の支持部材
で、この支持部材7は前記音叉1の接続部3の根元を支
持している。8は金属製の基台で、この基台8は前記支
持部材7の下面を上面に固着するとともに、この基台8
には複数の端子挿入孔9を設けており、この端子挿入孔
9に端子10を絶縁物11を介して挿通させ、さらにこ
の端子10は前記音叉1の駆動圧電素子4、参照圧電素
子5および検知圧電素子6と電気的に接続している。1
2は回路基板で、この回路基板12は前記基台8の下方
に設けられるとともに、前記基台8の端子10と電気的
に接続されているリード線13に半田付けによって電気
的に接続され、かつ前記音叉1の検知圧電素子6から角
速度により発生する出力電圧を処理する電子部品14を
上面に設けている。15は支持台で、この支持台15
は、スタットボルト16により前記基台8および回路基
板12を支持している。17は金属製のカバーで、この
カバー17は前記音叉1、基台8および回路基板12を
内側に収容するとともに、前記支持台15を覆ってい
る。
センサについて、次にその動作を説明する。
印加することにより前記音叉1が駆動方向の固有振動数
で駆動方向に速度vで屈曲振動している状態において、
音叉1が音叉1の中心軸まわりに角速度ωで回転する
と、前記音叉1の一対の柱部2にF=2mvωのコリオ
リ力が発生する。このコリオリ力により前記検知圧電素
子6に発生する電荷を前記回路基板12の電子部品14
で増幅し、出力電圧として外部コンピュータ(図示せ
ず)で測定することにより角速度を検出していた。
来の構成では、図7に示すように前記基台8と回路基板
12とをスタットボルト16で支持台15に接続してい
るため、このスタットボルト16を介して外部より振動
が侵入することになり、そしてこの振動は音叉1に加わ
るため、その結果として角速度センサに角速度を付加し
ない状態においても、音叉1の検知圧電素子6に電荷が
発生し、角速度センサの出力特性が劣化してしまうとい
う課題を有していた。
で、角速度センサに角速度を付加しない状態において、
外部より振動が加わっても、その振動が検出電極振動体
に伝わるのを少なくして角速度センサの出力特性が劣化
するのを未然に防止することができる角速度センサを提
供することを目的とするものである。
に本発明の角速度センサは、四面のうちの二面に少なく
とも一対の駆動電極を設けた四角柱状の駆動電極振動体
と、この駆動電極振動体と平行に設けられかつ四面のう
ちの一面に少なくとも一対の検出電極を設けた四角柱状
の検出電極振動体と、前記駆動電極振動体と前記検出電
極振動体との一端を一体に接続する接続部と、この接続
部の根元を支持する支持台と、この支持台の下部を固着
するとともに複数の端子挿入孔を設け、かつこの端子挿
入孔に前記駆動電極あるいは検出電極と電気的に接続さ
れる端子を絶縁物を介して挿通させる金属製の基台と、
この基台の上面を覆う金属製のカバーと、前記基台の下
方に設けられるとともにこの基台の端子を実装する孔を
設け、かつ前記検出電極振動体の検出電極から角速度に
より発生する出力電圧を処理する電子部品を設けた回路
基板とを備え、前記基台と回路基板との間に間隙を設け
た状態で前記基台の端子を回路基板の孔に実装して端子
と孔とを固定したもので、この構成によれば、角速度セ
ンサに角速度を付加しない状態において、外部より振動
が加わっても、その振動が検出電極振動体に伝わるのを
少なくして角速度センサの出力特性が劣化するのを未然
に防止することができるものである。
は、四面のうちの二面に少なくとも一対の駆動電極を設
けた四角柱状の駆動電極振動体と、この駆動電極振動体
と平行に設けられかつ四面のうちの一面に少なくとも一
対の検出電極を設けた四角柱状の検出電極振動体と、前
記駆動電極振動体と前記検出電極振動体との一端を一体
に接続する接続部と、この接続部の根元を支持する支持
台と、この支持台の下部を固着するとともに複数の端子
挿入孔を設け、かつこの端子挿入孔に前記駆動電極ある
いは検出電極と電気的に接続される端子を絶縁物を介し
て挿通させる金属製の基台と、この基台の上面を覆う金
属製のカバーと、前記基台の下方に設けられるとともに
この基台の端子を実装する孔を設け、かつ前記検出電極
振動体の検出電極から角速度により発生する出力電圧を
処理する電子部品を設けた回路基板とを備え、前記基台
と回路基板との間に間隙を設けた状態で前記基台の端子
を回路基板の孔に実装して端子と孔とを固定したもの
で、この構成によれば、基台と回路基板との間に間隙を
設けた状態で前記基台の端子を回路基板の孔に実装して
端子と孔とを固定しているため、前記回路基板と基台と
は細い端子のみにより固定されることになり、これによ
り、角速度センサに角速度を付加しない状態において、
外部より振動が加わっても、その振動は減衰されるた
め、外部からの振動が検出電極振動体に伝わることは少
なくなり、その結果、検出電極振動体に電荷が発生する
ことによる角速度センサの出力特性の劣化を未然に防止
することができるという作用を有するものである。
面に少なくとも一対の駆動電極を設けた四角柱状の駆動
電極振動体と、この駆動電極振動体と平行に設けられか
つ四面のうちの一面に少なくとも一対の検出電極を設け
た四角柱状の検出電極振動体と、前記駆動電極振動体と
前記検出電極振動体との一端を一体に接続する接続部
と、この接続部の根元を支持する支持台と、複数の端子
挿入孔を設け、かつこの端子挿入孔に前記駆動電極ある
いは検出電極と電気的に接続される端子を絶縁物を介し
て挿通させる金属製の基台と、この基台の上面を覆う金
属製のカバーと、前記基台の下方に設けられるとともに
この基台の端子を実装する孔を設け、かつ前記検出電極
振動体の検出電極から角速度により発生する出力電圧を
処理する電子部品を設けた回路基板とを備え、前記支持
台を弾性部材を介して基台に固定したもので、この構成
によれば、支持台を弾性部材を介して基台に固定してい
るため、この弾性部材により、外部から支持台に侵入し
てくる振動をさらに大幅に減衰させることができ、これ
により、外部からの振動が検出電極振動体に伝わりにく
くなるという作用を有するものである。
の基台の端子における基台と回路基板との間の間隙に位
置する部分に振動減衰用の導電体を設けたもので、この
構成によれば、基台の端子における基台と回路基板との
間の間隙に位置する部分に振動減衰用の導電体を設けて
いるため、この振動減衰用の導電体により、外部から端
子を伝わって振動が入ろうとしてもこの振動を大幅に減
衰させることができ、その結果として検出電極振動体に
振動がさらに伝わりにくくなるという作用を有するもの
である。
との間隙に位置して振動減衰体を設けたもので、この構
成によれば、基台と回路基板との間隙に位置して振動減
衰体を設けているため、外部から侵入しようとする振動
を基台と回路基板との間に設けた端子および振動減衰体
により減衰させることができるとともに、振動減衰体に
より基台と回路基板とを強固に固着することができると
いう作用を有するものである。
センサについて、図面を参照しながら説明する。
度センサの分解斜視図、図2は同角速度センサの側断面
図である。
で、この音叉21は四角柱状の駆動電極振動体22と、
この駆動電極振動体22と平行に設けられた四角柱状の
検出電極振動体23と、前記駆動電極振動体22と検出
電極振動体23との一端を一体に接続する接続部24と
により構成されている。前記駆動電極振動体22の4つ
の側面には、それぞれ金からなる駆動電極25を設けて
いる。また、前記検出電極振動体23の表面および裏面
には金からなるモニタ電極26が設けられるとともに、
この検出電極振動体23の内側の側面には金からなるG
ND電極27(図示せず)が設けられ、かつ外側の側面
には金からなる一対の検出電極28が設けられている。
29は直方体形状をなす金属製の支持台で、この支持台
29は前記接続部24の根元を支持している。30は金
属製の基台で、この基台30は前記支持台29の下部を
固着するとともに、複数の端子挿入孔31を設けてお
り、この端子挿入孔31の内側面には絶縁物32を設け
ている。そして、前記基台30の端子挿入孔31に、前
記絶縁物32を介して端子33を挿通している。また、
前記基台30の端子33は前記駆動電極25、検出電極
28、GND電極27およびモニタ電極26とリード線
33aによりそれぞれ電気的に接続されている。34は
金属製のカバーで、このカバー34は前記基台30の上
面を覆うように設けており、このカバー34と基台30
とにより、前記駆動電極振動体22、検出電極振動体2
3および接続部24からなる音叉21を内側に収納して
いる。35は回路基板で、この回路基板35は前記基台
30の下方に設けられるとともに、下面に電子部品36
を設けており、この電子部品36により前記検出電極振
動体23の検出電極28から角速度により発生する出力
電圧を端子33を介して入力し、出力電圧に変換してい
る。また前記回路基板35には孔37を設けており、こ
の孔37に前記端子33を実装し、そして前記基台30
と回路基板35との間に間隙38を設けて、前記端子3
3と回路基板35とを半田付けしている。
態1における角速度センサについて、次に、その組立方
法を説明する。
体23および接続部24とを一体に構成した水晶製の音
叉21を準備する。
面に駆動電極25を、検出電極振動体23の表面および
裏面にモニタ電極26を、前記検出電極振動体23の内
側の側面にGND電極27を、前記検出電極振動体23
の外側面に一対の検出電極28を金を蒸着することによ
りそれぞれ形成する。
固着した後、前記支持台29の下面を基台30の上面に
固着する。
けた基台30の端子挿入孔31に端子33を挿入した
後、この端子33と前記駆動電極25、検出電極28、
GND電極27(図示せず)およびモニタ電極26をそ
れぞれリード線33aを介して半田付けにより電気的に
接続する。
に間隙38を設けて、前記端子33を回路基板35の孔
37に挿入した後、前記回路基板35と端子33とを半
田付けにより電気的に接続する。最後に、前記音叉21
を内側に収納するようにカバー34を基台30に固着す
る。
態1における角速度センサについて、次に、その動作を
説明する。
を印加することにより、前記駆動電極振動体22が駆動
方向の固有振動数で駆動方向に速度vで屈曲振動する。
この屈曲振動は接続部24を介して対向する検出電極振
動体23にも伝わり、そしてこの検出電極振動体23も
駆動方向の固有振動数で駆動方向に速度vで屈曲振動す
る。この駆動電極振動体22および検出電極振動体23
が屈曲振動している状態において、音叉21が音叉21
の長手方向の中心軸周りに角速度ωで回転すると、前記
検出電極振動体23にF=2mvωのコリオリ力が発生
する。このコリオリ力により、前記検出電極振動体23
の検出電極28に発生する電荷を前記端子33を介して
回路基板35の電子部品36により出力電圧に変換し、
相手側のコンピュータ(図示せず)に入力することによ
り、角速度として検出するものである。
て、角速度センサに外部より振動が加わった場合につい
て考える。回路基板35に外部から振動が加わった場
合、本発明の実施の形態1においては、基台30と回路
基板35との間に間隙38を設けた状態で、前記基台3
0の端子33を回路基板35の孔37に実装して端子3
3と孔37とを固定しているため、前記回路基板35と
基台30とは細い端子33のみにより固定されることに
なり、これにより、外部からの振動は減衰されるため、
外部からの振動が音叉21の検出電極振動体23に伝わ
ることは少なくなり、その結果、検出電極振動体23に
電荷が発生することによる角速度センサの出力特性の劣
化を未然に防止することができるという作用効果を有す
るものである。
度センサにおいては、支持台29の下面と基台30の上
面とを直に接続しているが、図3に示す本発明の実施の
形態2のように、支持台29を弾性部材39を介して基
台30に固定してもよいものである。この構成によれ
ば、前記支持台29を弾性部材39を介して基台30に
固定しているため、この弾性部材39により、外部から
支持台29に侵入してくる振動をさらに大幅に減衰させ
ることができ、これにより、外部からの振動が前記音叉
21の検出電極振動体23に伝わりにくくなるという作
用効果を有するものである。
る角速度センサにおいては、音叉21と回路基板35と
を電気的に接続するのに金属のみからなる端子33を設
けた構成について説明したが、図4に示す本発明の実施
の形態3のように、端子33における基台30と回路基
板35との間の間隙に位置する部分に、振動減衰用の導
電ゴムからなる導電体40を設けても良いものである。
この構成によれば、基台30の端子33における基台3
0と回路基板35との間の間隙38に位置する部分に振
動減衰用の導電体40を設けているため、この振動減衰
用の導電体40により、外部から端子33を伝わって振
動が入ろうとしてもこの振動を大幅に減衰させることが
でき、その結果として音叉21の検出電極振動体23に
振動がさらに伝わりにくくなるという作用効果を有する
ものである。
速度センサにおいては、前記基台30と回路基板35と
の間に間隙38を設ける構成としたが、図5に示す本発
明の実施の形態4のように、間隙38の代わりに前記基
台30と回路基板35との間隙38に位置して樹脂から
なる振動減衰体41を設けても良いものである。この構
成によれば、基台30と回路基板35との間隙38に位
置して振動減衰体41を設けているため、外部から侵入
しようとする振動を基台30と回路基板35との間に設
けた端子33および振動減衰体41により減衰させるこ
とができるとともに、振動減衰体41により基台30と
回路基板35とを強固に固着することができるという作
用効果を有するものである。
四面のうちの二面に少なくとも一対の駆動電極を設けた
四角柱状の駆動電極振動体と、この駆動電極振動体と平
行に設けられかつ四面のうちの一面に少なくとも一対の
検出電極を設けた四角柱状の検出電極振動体と、前記駆
動電極振動体と前記検出電極振動体との一端を一体に接
続する接続部と、この接続部の根元を支持する支持台
と、この支持台の下部を固着するとともに複数の端子挿
入孔を設け、かつこの端子挿入孔に前記駆動電極あるい
は検出電極と電気的に接続される端子を絶縁物を介して
挿通させる金属製の基台と、この基台の上面を覆う金属
製のカバーと、前記基台の下方に設けられるとともにこ
の基台の端子を実装する孔を設け、かつ前記検出電極振
動体の検出電極から角速度により発生する出力電圧を処
理する電子部品を設けた回路基板とを備え、前記基台と
回路基板との間に間隙を設けた状態で前記基台の端子を
回路基板の孔に実装して端子と孔とを固定したもので、
この構成によれば、基台と回路基板との間に間隙を設け
た状態で前記基台の端子を回路基板の孔に実装して端子
と孔とを固定しているため、前記回路基板と基台とは細
い端子のみにより固定されることになり、これにより、
角速度センサに角速度を付加しない状態において、外部
より振動が加わっても、その振動は減衰されるため、外
部からの振動が検出電極振動体に伝わることは少なくな
り、その結果、検出電極振動体に電荷が発生することに
よる角速度センサの出力特性の劣化を未然に防止するこ
とができるというすぐれた効果を有するものである。
分解斜視図
分解斜視図
側断面図
側断面図
した状態を示す斜視図
Claims (4)
- 【請求項1】 四面のうちの二面に少なくとも一対の駆
動電極を設けた四角柱状の駆動電極振動体と、この駆動
電極振動体と平行に設けられかつ四面のうちの一面に少
なくとも一対の検出電極を設けた四角柱状の検出電極振
動体と、前記駆動電極振動体と前記検出電極振動体との
一端を一体に接続する接続部と、この接続部の根元を支
持する支持台と、この支持台の下部を固着するとともに
複数の端子挿入孔を設け、かつこの端子挿入孔に前記駆
動電極あるいは検出電極と電気的に接続される端子を絶
縁物を介して挿通させる金属製の基台と、この基台の上
面を覆う金属製のカバーと、前記基台の下方に設けられ
るとともにこの基台の端子を実装する孔を設け、かつ前
記検出電極振動体の検出電極から角速度により発生する
出力電圧を処理する電子部品を設けた回路基板とを備
え、前記基台と回路基板との間に間隙を設けた状態で前
記基台の端子を回路基板の孔に実装して端子と孔とを固
定した角速度センサ。 - 【請求項2】 四面のうちの二面に少なくとも一対の駆
動電極を設けた四角柱状の駆動電極振動体と、この駆動
電極振動体と平行に設けられかつ四面のうちの一面に少
なくとも一対の検出電極を設けた四角柱状の検出電極振
動体と、前記駆動電極振動体と前記検出電極振動体との
一端を一体に接続する接続部と、この接続部の根元を支
持する支持台と、複数の端子挿入孔を設け、かつこの端
子挿入孔に前記駆動電極あるいは検出電極と電気的に接
続される端子を絶縁物を介して挿通させる金属製の基台
と、この基台の上面を覆う金属製のカバーと、前記基台
の下方に設けられるとともにこの基台の端子を実装する
孔を設け、かつ前記検出電極振動体の検出電極から角速
度により発生する出力電圧を処理する電子部品を設けた
回路基板とを備え、前記支持台を弾性部材を介して基台
に固定した角速度センサ。 - 【請求項3】 基台の端子における基台と回路基板との
間の間隙に位置する部分に振動減衰用の導電体を設けた
請求項1記載の角速度センサ。 - 【請求項4】 基台と回路基板との間隙に位置して振動
減衰体を設けた請求項1記載の角速度センサ。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP32903898A JP4304742B2 (ja) | 1998-11-19 | 1998-11-19 | 角速度センサ |
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JP32903898A Expired - Fee Related JP4304742B2 (ja) | 1998-11-19 | 1998-11-19 | 角速度センサ |
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JP (1) | JP4304742B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002195833A (ja) * | 2000-12-27 | 2002-07-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
JP2002267454A (ja) * | 2001-03-12 | 2002-09-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
JP2008008634A (ja) * | 2006-06-27 | 2008-01-17 | Fujitsu Media Device Kk | 角速度センサ |
JP2009219274A (ja) * | 2008-03-11 | 2009-09-24 | Nippon Inter Electronics Corp | パワーモジュール |
-
1998
- 1998-11-19 JP JP32903898A patent/JP4304742B2/ja not_active Expired - Fee Related
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