JP2000153211A

JP2000153211A - スピンコーティング法、スピンコーティング装置、陰極線管の製造方法

Info

Publication number: JP2000153211A
Application number: JP33065098A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Yamamura; 昌大山村
Original assignee: Matsushita Electronics Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1998-11-20
Filing date: 1998-11-20
Publication date: 2000-06-06

Abstract

(57)【要約】【課題】陰極線管のフェースパネルのような、四角形
またはそれに類似した形状の基板上に、基板全体にわた
って均一な膜を形成する。【解決手段】陰極線管１を回転させてフェースパネル
２上に塗料を塗布するスピンコーティング法において、
陰極線管１を回転させるとともに、フェースパネル２に
その中央部から外側に向かう気流１２を発生させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、四角形またはそれ
に類似した形状の基板上にスピンコーティング法により
膜を形成する方法に関し、特に陰極線管や液晶ディスプ
レイ、ＰＤＰなどの画像表示装置の膜形成方法に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】陰極線管等の画像表示装置において、フ
ェースパネル表面の帯電を防止したり、フェースパネル
表面での外光の反射を低減させたりする目的で、フェー
スパネル表面にスピンコーティング法により、帯電防止
膜や反射防止膜を形成することが一般的に行われてい
る。

【０００３】このような膜をフェースパネル表面に形成
するには、図７に示すようなスピンコーティング装置が
用いられる。以下、膜の形成方法について説明する。

【０００４】帯電防止膜の場合には、回転支持台９に設
置した陰極線管１を回転させながら、ＡＴＯ（アンチモ
ンをドープした酸化錫）やＩＴＯ（錫をドープした酸化
インジウム）などの導電性微粒子とバインダーとなるア
ルキルシリケートの加水分解重合体（シリカゾル）をア
ルコールなどの有機溶剤に分散させた塗料を、塗料供給
装置１０よりフェースパネル２の表面に供給し、遠心力
によりフェースパネル２全面に行き渡らせる。塗料は所
望の特性が得られるよう、あらかじめ固形分や溶剤の組
成を調整しておく必要がある。こうして形成した膜を、
その後所定の温度にて焼成することで、所望の特性をも
つ帯電防止膜が得られる。表示画像のコントラストを高
める目的で、前記塗料中に染料や顔料を混合分散させる
こともある。

【０００５】反射防止膜の場合も同様に、回転支持台９
に設置した陰極線管１を回転させながら、ＡＴＯ（アン
チモンをドープした酸化錫）やＩＴＯ（錫をドープした
酸化インジウム）などの導電性微粒子とバインダーとな
るアルキルシリケートの加水分解重合体（シリカゾル）
をアルコールなどの有機溶剤に分散させた塗料を、塗料
供給装置１０よりフェースパネル２の表面に供給して塗
布する。塗料中にシリカゾルを混合しない場合もある。
こうして形成した第一の層を乾燥させた後、さらに陰極
線管１を回転させながら、シリカゾルをアルコールなど
の有機溶剤に分散させた塗料を、塗料供給装置１０より
フェースパネル２の表面に塗布して、第二の層を形成す
る。その後所定の温度にて焼成を行うが、焼成した後に
導電性を持つ第一の層がフェースパネル２よりも屈折率
が高く、シリカよりなる第二の層がフェースパネル２よ
りも屈折率が低く、なおかつ、それぞれの層の光学膜厚
が、反射を低減したい光の波長（通常は５６０〔ｎ
ｍ〕）の１／４になるように、あらかじめ塗料中の固形
分や溶剤の組成を調整したり、スピンコーティング条件
や焼成条件を調整することが必要である。このようにす
れば、所望の特性をもつ帯電防止機能付き反射防止膜が
得られる。また、表示画像のコントラストを高める目的
で、前記塗料中に染料や顔料を混合分散させることもあ
る。

【０００６】さらに第二の層の上に、外観品位を改良し
たり強度を向上させたりする目的で、シリカゾルをアル
コールなどの有機溶剤に分散させた塗料を用いて、スプ
レーコーティング法により第三の層を形成することもあ
る。

【０００７】また、場合によってはＣＶＤ法やスパッタ
リング法によってＩＴＯやＡＴＯからなる導電性を持つ
第一の層を形成した後、スピンコーティング法により第
二の層を形成するなど、さまざまな方法が実施されてい
る。

【０００８】いずれにしてもスピンコーティング法は装
置も簡単であり、安価に製造が可能なので、陰極線管等
の画像表示装置に対して広く使用されている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】陰極線管等の画像表示
装置のフェースパネル表面にスピンコーティング法によ
り、帯電防止膜や反射防止膜を形成する場合には、通常
画像表示装置のフェースパネルは四角形またはそれに類
似した形状をしているため、以下のような問題が発生す
る。

【００１０】図８に示すように、フェースパネル２の四
隅部（コーナー部）はスピンコーティング中に他の部分
よりも大きな空気抵抗７を受けるため、その部分の膜厚
が厚くなり、コーナームラ５が発生する。コーナームラ
５は正常部と反射色が異なるため、目視においても容易
に識別できる。これは外観品位を著しく損なうばかりで
なく、この部分においては所望の帯電防止効果や反射防
止効果が得られないなど、特性面においても正常な部分
よりも劣ることがあるため、望ましいものではない。

【００１１】この問題を解決する目的で、図９および図
１０で示すように、フェースパネル２のコーナー部を風
よけ板４で保護して、フェースパネル２のコーナー部が
受ける空気抵抗７を小さくする方法が提案されている。
このような方法はコーナームラ５の発生を抑えることに
関しては効果的ではあるが、風よけ板４に当たってはね
返った塗料が再びフェースパネル２に付着して、シミ状
の欠点が発生したり、風よけ板４に塗料が付着し、これ
が乾燥すると粉塵の発生源となり、生産性低下の原因と
なったりするという問題がある。

【００１２】このため、特開平７−２４０１４７号公報
では、風よけ板４を上下に駆動させ、塗料供給時には風
よけ板４をフェースパネル２の表面よりも下部に設置
し、塗料供給後に風よけ板４を上昇させ所望の効果の得
られる位置に設置し、なおかつ風よけ板４の駆動時にス
ポンジ（図示せず）により塗料を拭き取ることにより、
風よけ板４に塗料が付着しにくいという方法が提案され
ている。

【００１３】しかしながら、この方法においては、塗料
のはね返りに起因するシミ状の欠点を防ぐことには効果
が得られるが、風よけ板４に塗料が付着することを完全
に防ぐことは不可能であり、スポンジで拭き取った塗料
がやがて乾燥して、そこから粉塵が発生するという同様
の問題がある。また、フェースパネル２の近傍に駆動部
分があると、それが粉塵等の発生原因となりやすいの
で、生産性を考慮した場合、必ずしも有効な方法ではな
い。

【００１４】本発明は上記の課題を解決するためになさ
れたものであり、スピンコーティング法により、生産性
を低下させることなく、フェースパネル表面全体にわた
って均一な膜を形成する方法、および製造装置を提供す
ることを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明のスピンコーティ
ング法は、基板を回転させて前記基板上に塗料を塗布す
るスピンコーティング法において、前記基板を回転させ
るとともに、前記基板の塗料塗布面にその中央部から外
側に向かう気流を発生させるものである（請求項１）。
この方法によれば、基板の回転による気流と、基板の中
央部から外側に向かう気流との合成された気流が基板の
角部に生じるので、基板角部に塗布ムラが生じにくい。
また、風よけ板を設置する必要もない。

【００１６】また、請求項１に記載のスピンコーティン
グ法において、前記基板を外囲器で囲み、前記外囲器
の、前記基板の塗料塗布面と対向する側以外の壁面に設
けた排気用開口から前記外囲器の内部を排気することに
より、前記外囲器の前記基板と対向する側から風を取り
入れ、前記塗料塗布面にその中央部から外側に向かう気
流を発生させるものである（請求項２）。この方法によ
れば、基板の塗料塗布面にその中央部から外側に向かう
気流を容易に発生させることができる。

【００１７】また、請求項１に記載のスピンコーティン
グ法において、前記基板を外囲器で囲むとともに、前記
外囲器の、前記塗料塗布面側を蓋で覆い、前記蓋に設け
た送風用開口から前記外囲器の内部に風を送り込むこと
により、前記塗料塗布面にその中央部から外側に向かう
気流を発生させるものである（請求項３）。この方法に
よれば、基板の塗料塗布面にその中央部から外側に向か
う気流を容易に発生させることができる。

【００１８】また、請求項１に記載のスピンコーティン
グ法において、前記基板は四角形であり、前記基板の角
部における中央から外側に向かう気流の速度をＶａと
し、前記基板角部の回転速度をＶｂとしたときに、Ｖａ／Ｖｂ≧Ｃ（ただし、Ｃは定数）の関係を満たすものである（請求項４）。この方法によ
れば、基板の回転数等を変えても、好ましい気流の速度
を容易に決定することができる。

【００１９】また、請求項４に記載のスピンコーティン
グ法において、前記基板の長辺と短辺の比が４：３であ
り、Ｖａ／Ｖｂ≧０．７の関係を満たすことが好ましい（請求項５）。

【００２０】また、請求項４に記載のスピンコーティン
グ法において、前記基板の長辺と短辺の比が１６：９で
あり、Ｖａ／Ｖｂ≧０．９の関係を満たすことが好ましい（請求項６）。

【００２１】また、請求項４に記載のスピンコーティン
グ法において、前記基板は長辺の長さがＡ、短辺の長さ
がＢの四角形であり、前記基板の角部における中央から
外側に向かう気流の速度をＶａとし、前記基板角部の回
転速度をＶｂとしたときに、Ｖａ／Ｖｂ≧０．５×Ａ／Ｂの関係を満たすものである（請求項７）。この方法によ
れば、基板の形が変わっても、好ましい気流の速度Ｖａ
を容易に決定することができる。

【００２２】また、本発明のスピンコーティング装置
は、基板を支持・回転させる回転支持台と、前記基板上
に塗料を供給する塗料供給装置と、前記基板上にその中
央部から外側に向かう気流を発生させる気流発生装置と
を備えることを特徴とする（請求項８）。この装置によ
れば、基板の塗料塗布面にその中央部から外側に向かう
気流を容易に発生させることができる。

【００２３】また、請求項８に記載のスピンコーティン
グ装置において、前記基板を囲む外囲器と、前記外囲器
の前記基板の塗料塗布面と対向する側以外の壁面に設け
られた排気用開口から前記外囲器の内部を排気する排気
装置とを備え、前記外囲器の前記塗料塗布面と対向する
側から風を取り入れ、前記基板上にその中央部から外側
に向かう気流を発生させるものである（請求項９）。こ
の装置によれば、基板の塗料塗布面にその中央部から外
側に向かう気流を容易に発生させることができる。

【００２４】また、請求項９に記載のスピンコーティン
グ装置において、前記排気用開口が、前記塗料塗布面の
裏面側の壁面に設けられることが好ましい（請求項１
０）。この装置によれば、基板の塗料塗布面にその中央
部から外側に向かう気流を容易に発生させることができ
る。

【００２５】また、請求項９に記載のスピンコーティン
グ装置において、前記排気用開口が、前記塗料塗布面の
側面側で、かつ、前記塗料塗布面よりも裏面寄りに設け
られることが好ましい（請求項１１）。この装置によれ
ば、基板の塗料塗布面にその中央部から外側に向かう気
流を容易に発生させることができる。

【００２６】また、請求項８に記載のスピンコーティン
グ装置において、前記基板を囲む外囲器と、前記外囲器
の前記塗料塗布面に対向する側を覆う蓋と、前記蓋に設
けた送風用開口から前記外囲器の内部に風を送り込む送
風装置とを備え、前記塗料塗布面にその中央部から外側
に向かう気流を発生させることが好ましい（請求項１
２）。この装置によれば、基板の塗料塗布面にその中央
部から外側に向かう気流を容易に発生させることができ
る。

【００２７】また、請求項１２に記載のスピンコーティ
ング装置において、前記送風用開口は、前記塗料塗布面
の最大径よりも小さい径を有し、かつ、前記塗料塗布面
のほぼ中央部に配置されているものである（請求項１
３）。この装置によれば、フェースパネルの表面に発生
する中央から外側へと向かう気流の速度が大きくなるの
で、より小さい排気能力の排気装置を使用することが可
能になる。

【００２８】また、本発明の陰極線管の製造方法は、前
面パネルの外表面に帯電防止膜や反射防止膜等の膜が形
成された陰極線管の製造方法であって、前記フェースパ
ネルを回転させて前記フェースパネル外表面に塗料を塗
布する際に、前記フェースパネルを回転させるととも
に、前記フェースパネルの塗料塗布面にその中央部から
外側に向かう気流を発生させるものである（請求項１
４）。この方法により、陰極線管の表面処理膜を容易に
塗布ムラなく形成することができる。

【００２９】

【発明の実施の形態】（実施の形態１）図１および図２
は、本発明のスピンコーティング装置を示したものであ
る。スピンコーティング装置は、円筒状の壁８（外囲器
に相当）と、陰極線管１を支持しこれを回転させる回転
支持台９と、陰極線管１のフェースパネル２の上部に設
置された塗料供給装置１０からなる。またこの装置の底
面部には排気用開口１１が設けられており、これは送風
ファン等の排気装置（図示せず）に接続されている。排
気用開口１１は、底面に同心円状に設けられるか、また
は所定の間隔を置いて複数個が設けられる。

【００３０】スピンコーティング装置の回転支持台９に
陰極線管１を設置し、排気装置を稼動させると、円筒壁
８内に上から下に向かう気流１２が発生する。この気流
１２は陰極線管１によって直進することを妨げられるの
で、陰極線管１の周囲ではこれに沿った向きの気流とな
る。したがって、図２に示すようにフェースパネル２の
表面（塗料塗布面）には、自ずと中央から外側へと向か
う気流１２が発生する。ここで、フェースパネル２のコ
ーナー部におけるこの気流１２の速度をＶａと表わすこ
ととする。

【００３１】回転支持台９を回転させると陰極線管１が
回転するが、このときのフェースパネル２のコーナー部
の回転速度をＶｂとする。フェースパネル２のコーナー
部は、この回転に伴う空気抵抗７を受ける。当然のこと
ながら、この空気抵抗７は回転速度Ｖｂの大きさに依存
する。

【００３２】このような状態で、ＡＴＯ（アンチモンを
ドープした酸化錫）の微粒子とバインダーとなるアルキ
ルシリケートの加水分解重合体（シリカゾル）をエタノ
ールを主成分とする有機溶剤に分散させた塗料を、塗料
供給装置１０よりフェースパネル２の表面に供給する。
こうして形成した第一の層を乾燥させた後、さらに陰極
線管１を回転させながら、シリカゾルをアルコールなど
の有機溶剤に分散させた塗料を、塗料供給装置１０より
フェースパネル２の表面に塗布して、第二の層を形成す
る。その後焼成を行うと、帯電防止機能付き反射防止膜
が得られる。

【００３３】なお、所望の特性が得られるように、塗料
の組成や焼成条件などを調整する。また、塗料の乾燥を
速めるために、あらかじめフェースパネル２の表面を加
熱しておいてもよい。

【００３４】このような方法および装置を用いて、４：
３型陰極線管（長辺長：短辺長＝４：３）のフェースパ
ネル２表面に、二層からなる帯電防止機能付き反射防止
膜を形成する際に、スピンコーティング装置の下部から
の排気の強さと、陰極線管１の回転数（回転速度）を幾
通りにも変化させて、このとき発生するコーナームラの
発生具合を調べた。その結果、気流１２の速度Ｖａおよ
びフェースパネル２のコーナー部の回転速度Ｖｂとコー
ナームラの発生との間に、一定の関係があることがわか
った。

【００３５】図３は、回転速度Ｖｂを横軸に、気流１２
の風速Ｖａを縦軸にとり、それぞれの回転速度Ｖｂにお
けるコーナームラが発生しない最小の風速を示したもの
である。図３中の直線ａよりも左上の領域では、コーナ
ームラが発生せず、直線ａよりも右下の領域ではコーナ
ームラが発生することを示している。すなわち、フェー
スパネル２のコーナー部における中央部から外側部へと
向かう気流１２の速度Ｖａが、スピンコーティング時に
おけるフェースパネル２のコーナー部における回転速度
Ｖｂの０．７倍以上であれば、コーナームラが発生しな
い。

【００３６】同様の実験を１６：９型陰極線管（長辺
長：短辺長＝１６：９）を用いて実施したところ、図３
中の直線ｂで示すように、フェースパネルのコーナー部
における中央部から外側部へと向かう気流１２の速度Ｖ
ａが、スピンコーティング時におけるフェースパネル２
のコーナー部における回転速度Ｖｂの０．９倍以上であ
れば、コーナームラが発生しないことが明らかになっ
た。

【００３７】したがって、４：３型陰極線管の場合にお
いてコーナームラが発生しない条件は、Ｖａ/Ｖｂ≧０．７で表わされ、１６：９型陰極線管の場合では、Ｖａ/Ｖｂ≧０．９の条件を満たすとき、コーナームラは発生しない。

【００３８】４：３型陰極線管と１６：９型陰極線管
で、上記条件式が異なるのは、これらの間で長辺長と短
辺長の比が異なるからである。すなわち、長辺の長さを
Ａ、短辺の長さをＢとしとき、４：３型陰極線管では、Ａ/Ｂ≒１．３となるのに対して、１６：９型陰極線管では、Ａ/Ｂ≒１．８となる。４：３型陰極線管と１６：９型陰極線管におけ
る、コーナームラが発生しない上記条件式の右辺の値の
差違は、上記Ａ/Ｂの差違にほかならない。

【００３９】このことを考慮して実験より導かれた条件
式をまとめると、コーナームラが発生しない条件は、い
ずれの場合においてもＶａ/Ｖｂ≧０．５×Ａ／Ｂで表わすことができる。

【００４０】このような関係が成り立つのは、以下の理
由によるものと考えられる。図４（ａ）に示すように、
中央から外部への気流を発生させないとき、スピンコー
ティング中にフェースパネル２のコーナー部は回転に伴
う空気抵抗７を受ける。このときスピンコーティング時
の塗料の流れ方や乾燥の仕方が、この空気抵抗７の影響
を受けることにより、この部分が厚膜化しコーナームラ
が発生する。

【００４１】図４（ｂ）に示すように、スピンコーティ
ング時に中央から外側に向かう気流１２を発生させる
と、フェースパネル２のコーナー部が受ける気流１３
は、中央から外側に向かう気流１２と、回転に伴う空気
抵抗７のベクトル和で表わすことができる。図４（ｃ）
に示すように、中央から外側に向かう気流１２の大きさ
が大きくなるか、あるいは空気抵抗７の大きさが小さく
なるほど、フェースパネル２のコーナー部が受ける気流
１３は、フェースパネル２の回転の法線方向へと向いて
いく。このような気流は塗料の流れの妨げにはならない
ので、コーナームラの発生要因にはならない。

【００４２】図４（ｂ）のように気流１３の向きがフェ
ースパネル２の辺と平行となる条件を考察してみると、
図４（ｂ）において空気抵抗７を表わすベクトルと、気
流１２を表わすベクトルを、それぞれ四角形の短辺、長
辺とみなしたとき、その四角形がフェースパネル２と相
似形となる場合である。

【００４３】このようなことから、本発明の関係式が、
気流の大きさ、基板の回転速度、基板の寸法の関係式に
なっていることが説明できるものと考える。

【００４４】本発明を、対角寸法４４〔ｃｍ〕の４：３
型陰極線管に適用する場合の一例を示す。排気能力が８
〔ｍ³／ｍｉｎ〕の排気装置を使う場合において、排気
用開口１１の開口面積は５００〔ｃｍ²〕程度が好まし
い。また、フェースパネルの回転数は１００〔ｒｐｍ〕
程度が好ましく、このときコーナー部の回転速度Ｖｂが
約２．３〔ｍ／ｓｅｃ〕、気流の速度Ｖａが約１．８
〔ｍ／ｓｅｃ〕になる。

【００４５】（実施の形態２）実施の形態１ではスピン
コーティング装置の底面部に排気装置に接続された排気
用開口を設けたが、本実施の形態では図５に示すよう
に、フェースパネル２とほぼ同じ高さの位置の壁面に排
気用開口１１を設けている。この排気用開口１１から排
気装置（図示せず）によって壁面内部を排気することに
より、フェースパネル２の表面に中央から外側へと向か
う気流１２を発生させることができる。

【００４６】排気用開口１１は、側面に帯状に設けられ
るか、または所定の間隔を置いて複数個が設けられる。
対角寸法４０〔ｃｍ〕の１６：９型陰極線管に適用する
場合の一例を示す。排気用開口の位置は、フェースパネ
ル２のコーナー部を基準として５〔ｃｍ〕下の位置に、
幅３〔ｃｍ〕、開口面積５００〔ｃｍ²〕で設けるのが
好ましい。また、排気装置の排気能力は８〔ｍ³／ｍｉ
ｎ〕、フェースパネルの回転数は１００〔ｒｐｍ〕であ
り、このときコーナー部の回転速度Ｖｂが約２．１〔ｍ
／ｓｅｃ〕、気流の速度Ｖａが約２．０〔ｍ／ｓｅｃ〕
になる。

【００４７】なお、排気用開口１１は、上記実施例より
もさらに下側の壁面に設けてもよい。また、回転支持台
９に排気用開口１１を設けてもよい。

【００４８】（実施の形態３）図６で示すようにスピン
コーティング装置の円筒壁８上に、中央部分に送風用開
口１５を設けた上蓋１４を設置した。このような装置を
用いると、実施の形態１と同じ排気量であっても、フェ
ースパネル２の表面に発生する中央から外側へと向かう
気流の速度Ｖａは、実施の形態１の場合よりも速くな
る。したがって本発明の効果をより効率よく得ることが
できる。

【００４９】対角寸法４４〔ｃｍ〕の４：３型陰極線管
に適用する場合の一例を示す。送風用開口は直径３０
〔ｃｍ〕の円とする。また、排気装置の排気能力は４
〔ｍ³／ｍｉｎ〕、フェースパネルの回転数は１２０
〔ｒｐｍ〕であり、このときコーナー部の回転速度Ｖｂ
が約２．８〔ｍ／ｓｅｃ〕、気流の速度Ｖａが約２．２
〔ｍ／ｓｅｃ〕になる。

【００５０】なお、実施の形態２に対しても、中央部分
に送風用開口１５を設けた上蓋１４を設置すれば同様の
効果が得られる。

【００５１】以上、本発明について陰極線管を例にとっ
て説明したが、陰極線管以外の液晶ディスプレイやＰＤ
Ｐなどの画像表示装置、あるいはまた、スピンコーティ
ング法により、四角形またはそれに類似した形状の基板
上に膜を形成するもの全てについて幅広く適用できるこ
とを付け加えておく。

【００５２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のスピンコ
ーティング法およびスピンコーティング装置によれば、
陰極線管のフェースパネルのような、四角形またはそれ
に類似した形状の基板上に、基板全体にわたって均一な
膜を形成することができる。また、本発明のスピンコー
ティング装置内には粉塵の発生源が存在しないので、生
産性を低下させることもなく、工業的にも有効な手段を
提供するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のスピンコーティング装置の側面図

【図２】同じく本発明のスピンコーティング装置の平面
図

【図３】コーナームラが発生しない基板の回転速度と風
速との関係を示す図

【図４】コーナームラの発生原理を説明する図

【図５】本発明のスピンコーティング装置の第２の実施
形態を示す側面図

【図６】本発明のスピンコーティング装置の第３の実施
形態を示す側面図

【図７】従来のスピンコーティング装置の側面図

【図８】コーナームラの説明図

【図９】従来の風よけ板を備えるスピンコーティング装
置の側面図

【図１０】同じく風よけ板を備えるスピンコーティング
装置の上面図

【符号の説明】

１陰極線管２フェースパネル５コーナームラ６基板の回転方向７空気抵抗８円筒状壁（外囲器）９回転支持台１０塗料供給装置１１排気用開口１２気流１３気流１４上蓋１５送風用開口

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板を回転させて前記基板上に塗料を塗
布するスピンコーティング法において、前記基板を回転
させるとともに、前記基板の塗料塗布面にその中央部か
ら外側に向かう気流を発生させることを特徴とするスピ
ンコーティング法。
【請求項２】前記基板を外囲器で囲み、前記外囲器
の、前記基板の塗料塗布面と対向する側以外の壁面に設
けた排気用開口から前記外囲器の内部を排気することに
より、前記外囲器の前記基板と対向する側から風を取り
入れ、前記塗料塗布面にその中央部から外側に向かう気
流を発生させるものである、請求項１に記載のスピンコ
ーティング法。
【請求項３】前記基板を外囲器で囲むとともに、前記
外囲器の、前記塗料塗布面側を蓋で覆い、前記蓋に設け
た送風用開口から前記外囲器の内部に風を送り込むこと
により、前記塗料塗布面にその中央部から外側に向かう
気流を発生させるものである、請求項１に記載のスピン
コーティング法。
【請求項４】前記基板は四角形であり、前記基板の角
部における中央から外側に向かう気流の速度をＶａと
し、前記基板角部の回転速度をＶｂとしたときに、Ｖａ
／Ｖｂ≧Ｃ（ただし、Ｃは定数）の関係を満たす、請
求項１に記載のスピンコーティング法。
【請求項５】前記基板の長辺と短辺の比が４：３であ
り、Ｖａ／Ｖｂ≧０．７の関係を満たす、請求項４に記載のスピンコーティング
法。
【請求項６】前記基板の長辺と短辺の比が１６：９で
あり、Ｖａ／Ｖｂ≧０．９の関係を満たす、請求項４に記載のスピンコーティング
法。
【請求項７】前記基板は長辺の長さがＡ、短辺の長さ
がＢの四角形であり、前記基板の角部における中央から
外側に向かう気流の速度をＶａとし、前記基板角部の回
転速度をＶｂとしたときに、Ｖａ／Ｖｂ≧０．５×Ａ／Ｂの関係を満たす、請求項４に記載のスピンコーティング
法。
【請求項８】基板を支持・回転させる回転支持台と、
前記基板上に塗料を供給する塗料供給装置と、前記基板
上にその中央部から外側に向かう気流を発生させる気流
発生装置とを備えることを特徴とするスピンコーティン
グ装置。
【請求項９】前記基板を囲む外囲器と、前記外囲器の
前記基板の塗料塗布面と対向する側以外の壁面に設けら
れた排気用開口から前記外囲器の内部を排気する排気装
置とを備え、前記外囲器の前記塗料塗布面と対向する側
から風を取り入れ、前記基板上にその中央部から外側に
向かう気流を発生させるものである、請求項８に記載の
スピンコーティング装置。
【請求項１０】前記排気用開口が、前記塗料塗布面の
裏面側の壁面に設けられたものである、請求項９に記載
のスピンコーティング装置。
【請求項１１】前記排気用開口が、前記塗料塗布面の
側面側で、かつ、前記塗料塗布面よりも裏面寄りに設け
られたものである、請求項９に記載のスピンコーティン
グ装置。
【請求項１２】前記基板を囲む外囲器と、前記外囲器
の前記塗料塗布面に対向する側を覆う蓋と、前記蓋に設
けた送風用開口から前記外囲器の内部に風を送り込む送
風装置とを備え、前記塗料塗布面にその中央部から外側
に向かう気流を発生させるものである、請求項８に記載
のスピンコーティング装置。
【請求項１３】前記送風用開口は、前記塗料塗布面の
最大径よりも小さい径を有し、かつ、前記塗料塗布面の
ほぼ中央部に配置されているものである、請求項１２に
記載のスピンコーティング装置。
【請求項１４】フェースパネルの外表面に帯電防止膜
や反射防止膜等の膜が形成された陰極線管の製造方法で
あって、前記フェースパネルを回転させて前記フェースパネル外
表面に塗料を塗布する際に、前記フェースパネルを回転
させるとともに、前記フェースパネルの塗料塗布面にそ
の中央部から外側に向かう気流を発生させることを特徴
とする陰極線管の製造方法。