JP2000146903A

JP2000146903A - 酸素濃度検出素子の検査装置

Info

Publication number: JP2000146903A
Application number: JP10321986A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiko Tsunoda; 一彦角田; Hiroyoshi Nakakane; 弘喜中金; Hiroshi Araki; 博司荒木; Yuji Koyama; 裕二小山
Original assignee: Unisia Jecs Corp
Current assignee: Hitachi Unisia Automotive Ltd
Priority date: 1998-11-12
Filing date: 1998-11-12
Publication date: 2000-05-26

Abstract

(57)【要約】【課題】マスタ素子の測定値を必要に応じて更新する
ことにより、検査対象素子の特性検査を行うときの温度
変化等を補償し、信頼性の向上を図る。【解決手段】検査対象素子１５、マスタ素子２４をジ
ルコニアチューブ１により構成し、これらの内側電極
２、外側電極３間の静電容量等を測定器２８、プローブ
２０〜２２，２６，２７により測定する。そして、制御
装置３０は、マスタ素子２４の測定値等を用いて複数の
検査対象素子１５が設計上の規格に対応しているか否か
を順次検査する。また、制御装置３０は、この検査の間
に切換リレー２９を切換えてマスタ素子２４の静電容量
を測定し、その測定値等を一定の時間毎に更新する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば自動車の排
気ガス中の酸素濃度を検出するジルコニアチューブ等の
特性を検査するのに好適に用いられる酸素濃度検出素子
の検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ジルコニアチューブ等の酸素濃
度検出素子は、例えば酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂ ）等
のセラミックス材料により有底筒状に形成され、自動車
の排気ガス中の酸素濃度を検出する酸素センサ等の検出
部を構成するものである。また、ジルコニアチューブの
内面側、外面側には白金等からなる内側電極、外側電極
が設けられている。

【０００３】そして、ジルコニアチューブは、外面側が
エンジンの排気ガスにされされると、この排気ガスとジ
ルコニアチューブ内の空気との酸素濃度差に応じて内側
電極、外側電極間に起電力が生じ、この起電力を検出信
号としてエンジン制御用のコントロールユニット等に出
力することにより、排気ガス中の酸素濃度を検出する構
成となっている。

【０００４】このため、酸素センサの製造ライン等で
は、専用の検査装置を用いてジルコニアチューブの特性
を検査し、エンジン制御に悪影響を与えるようなジルコ
ニアチューブを不良品として選別し、酸素センサの信頼
性を高めるようにしている。

【０００５】そして、この種の従来技術によるジルコニ
アチューブの検査装置は、内側電極と外側電極との間で
静電容量、抵抗値等を測定し、これらの測定値を予め定
められた設計上の基準値と比較することにより、例えば
内側電極、外側電極の断線、出力特性の不良等を検出す
るものである。

【０００６】この場合、ジルコニアチューブの測定値に
は、検査装置の測定精度のばらつきや、その設置環境等
により生じる製造ライン固有の測定誤差が含まれ易い。
このため、従来技術では、検査時の基準となるジルコニ
アチューブを予め用意し、このジルコニアチューブの静
電容量等を温度、湿度等が調整された精密測定室と製造
ラインの検査装置の両方で測定すると共に、これらの測
定値を比較することによって製造ライン固有の測定誤差
を算出する。

【０００７】これにより、ジルコニアチューブを検査す
るときには、予め算出しておいた測定誤差の算出値を用
いてジルコニアチューブの測定値を補正し、補正後の測
定値と設計上の基準値とを比較することにより、ジルコ
ニアチューブの不良品を検出するようにしている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来技術では、基準となるジルコニアチューブの静電容量
等を精密測定室と製造ラインの両方で測定し、これらの
測定値を用いて製造ライン固有の測定誤差を予め算出し
ておくことにより、この測定誤差の分だけジルコニアチ
ューブの測定値を補正する構成としている。

【０００９】この場合、基準となるジルコニアチューブ
を精密測定室と製造ラインの両方で測定する作業は、例
えばジルコニアチューブや検査装置の仕様変更、あるい
は生産設備の変更、調整等を行ったときに１回だけ行わ
れることが多く、これらの変更、調整等を行わない限り
は、前回算出した測定誤差の算出値を用いて検査時の測
定値を補正し続けているのが現状である。

【００１０】しかし、製造ラインでは、例えば季節、天
候、時刻等に応じて検査装置の周囲で気温、湿度等が変
化するため、ジルコニアチューブの温度が変化したり、
その周囲に付着する微小な水分量が変動したりすると、
検査装置による測定値が悪影響を受けることがあり、特
に静電容量の測定値には誤差が生じ易くなる。

【００１１】このため、従来技術では、基準となるジル
コニアチューブを用いて製造ライン固有の誤差を補正し
ているにも拘らず、温度、湿度等の変化によりジルコニ
アチューブの測定値に生じる誤差分を補正することがで
きず、これによって特性検査を安定して行うことが難し
くなり、特性検査の信頼性が低下するという問題があ
る。

【００１２】本発明は上述した従来技術の問題点に鑑み
なされたもので、本発明の目的は、酸素濃度検出素子の
測定作業を高い精度で行うことができ、その特性を効率
よく正確に検査できると共に、信頼性を向上できるよう
にした酸素濃度検出素子の検査装置を提供することにあ
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために請求項１の発明は、一対の電極を有する酸素濃度
検出素子の特性を検査するため前記各電極間の静電容量
を測定してなる酸素濃度検出素子の検査装置に適用され
る。

【００１４】そして、請求項１の発明が採用する構成の
特徴は、前記酸素濃度検出素子を検査対象素子として位
置決めする検査用治具と、該検査用治具により位置決め
された検査対象素子の静電容量を測定するため該検査対
象素子の電極間に接続される第１の測定具と、前記検査
用治具と近い位置に設けられ、静電容量の基準を予め満
たした酸素濃度検出素子をマスタ素子として位置決めす
るマスタ用治具と、該マスタ用治具に位置決めされたマ
スタ素子の静電容量を測定するため該マスタ素子の電極
間に接続される第２の測定具と、前記第１の測定具を用
いて前記検査対象素子の静電容量を測定し、前記第２の
測定具を用いて前記マスタ素子の静電容量を測定する容
量測定手段と、該容量測定手段で測定した検査対象素子
とマスタ素子との静電容量を比較し、検査対象素子の特
性を判別する特性判別手段とから構成したことにある。

【００１５】このように構成することにより、容量測定
手段は第１の測定具を用いて検査対象素子の静電容量を
測定できると共に、第２の測定具を用いて検査対象素子
と近い位置にあるマスタ素子の静電容量を測定できる。
そして、特性判別手段は、マスタ素子の測定値を用いて
検査対象素子の測定値を補正でき、この補正後の測定値
と予め定められた設計上の規格値とを比較することによ
り、検査対象素子の特性を判別することができる。

【００１６】また、請求項２の発明では、前記第１，第
２の測定具と前記容量測定手段との間には測定切換手段
を設け、該測定切換手段は前記第１の測定具を用いた静
電容量の測定値と前記第２の測定具を用いた静電容量の
測定とを選択的に切換える構成としている。

【００１７】これにより、容量測定手段は複数の検査対
象素子の静電容量を順次測定しつつ、この測定動作の間
に測定切換手段によってマスタ素子の静電容量を測定で
きる。この結果、マスタ素子の測定値を必要に応じて更
新でき、例えば検査装置の周囲で気温、湿度等が変化す
る場合でも、これに伴って検出対象素子の測定値に生じ
る測定誤差を補償することができる。

【００１８】さらに、請求項３の発明では、前記検査対
象素子、マスタ素子を構成する酸素濃度検出素子は内側
電極と外側電極とを有するジルコニアチューブからな
り、前記容量測定手段は該ジルコニアチューブの内側電
極と外側電極との間で静電容量を測定する構成としてい
る。

【００１９】これにより、ジルコニアチューブからなる
検査対象素子の内側電極と外側電極との間で静電容量を
測定でき、この静電容量の測定値とマスタ素子の測定値
とを用いて検査対象素子の特性検査を行うことができ
る。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態による
酸素濃度検出素子の検査装置を、自動車用エンジン等に
用いる酸素センサのジルコニアチューブに適用する場合
を例に挙げ、図１ないし図４を参照して詳細に説明す
る。

【００２１】１は酸素センサの検出部を構成する酸素濃
度検出素子としてのジルコニアチューブで、該ジルコニ
アチューブ１は、例えば酸化ジルコニウム等のセラミッ
クス材料により有底筒状に形成され、その内面側には、
白金、ジルコニア等の混合物からなる内側電極２が設け
られている。また、ジルコニアチューブ１の外面側に
は、内側電極２とほぼ同様に構成された外側電極３と、
該外側電極３を覆う白金等の触媒層４と、これらの外側
電極３と触媒層４とを保護する多孔質材料等の保護層５
とが設けられている。

【００２２】そして、ジルコニアチューブ１の外面側に
自動車用エンジン等の排気ガスが接触し、この排気ガス
とジルコニアチューブ１内の大気との間で酸素濃度の差
が生じると、内側電極２と外側電極３との間には酸素濃
度の差に応じた起電力が発生し、この起電力は検出信号
として外部に出力される構成となっている。

【００２３】１１は本実施の形態によるジルコニアチュ
ーブ１の検査装置で、該検査装置１１は、図２ないし図
４に示す如く、基台１２と、該基台１２上に回転可能に
設けられた回転テーブル１３と、後述の検査用測定台１
４、マスタ用測定台２３、プローブ２０，２１，２２，
２６，２７、測定器２８、切換リレー２９、制御装置３
０等とから構成されている。

【００２４】１４，１４，…は回転テーブル１３上に検
査用治具として設けられた例えば４個の検査用測定台１
４，１４，…で、該各検査用測定台１４には、図１に示
す如く、検査対象素子１５を着脱可能に挿嵌する取付穴
１４Ａと、検査対象素子１５とプローブ２１とを接続す
る導電性部材１４Ｂとが設けられている。

【００２５】ここで、検査対象素子１５とは、図４に示
す如く、酸素センサのケーシング（図示せず）等に組付
けられるジルコニアチューブ１であり、後述の如く検査
装置１１を用いて静電容量、抵抗値等を測定することに
より、その特性検査が行われるものである。

【００２６】そして、検査対象素子１５は、外部から基
台１２上に搬送された後に、基台１２上に設けられた供
給アーム１６を用いて図１に示す如く検査用測定台１４
の取付穴１４Ａ内に下向きに挿嵌され、この状態でプロ
ーブ２０〜２２等を用いて内側電極２、外側電極３間の
静電容量と抵抗値とが測定される。また、検査対象素子
１５は、基台１２上に設けられた排出アーム１７を用い
て静電容量等の測定後に検査用測定台１４から引抜か
れ、その測定結果に応じて収容ボックス１８または廃棄
ボックス（図示せず）等に収容される。

【００２７】１９はガイドレール１９Ａを介して基台１
２上に設けられた測定アームで、該測定アーム１９は、
図２および図３に示す如く検査用測定台１４に対応して
配置され、制御装置３０からの駆動信号により上，下方
向に駆動されるものである。

【００２８】２０，２１，２２は検査対象素子１５を測
定するため測定アーム１９に設けられた第１の測定具と
してのプローブで、該プローブ２０〜２２は、図１、図
３に示す如く上，下方向に延びる細径の金属ロッド等に
よって構成されている。

【００２９】ここで、検査対象素子１５の静電容量、抵
抗値を測定するときには、測定アーム１９を検査用測定
台１４に向けて下向きに駆動し、プローブ２０，２２を
検査対象素子１５の内側電極２に接触させると共に、プ
ローブ２１を検査用測定台１４の導電性部材１４Ｂを介
して検査対象素子１５の外側電極３に接続する。そし
て、内側電極２、外側電極３間の静電容量は例えばプロ
ーブ２０，２１を用いて測定され、両者間の抵抗値はプ
ローブ２０，２２を用いて測定される。

【００３０】２３は基台１２上に支柱２３Ａを介して設
けられたマスタ用治具としてのマスタ用測定台で、該マ
スタ用測定台２３は検査用測定台１４とほぼ同様に構成
され、図４中のマスタ素子２４を着脱可能に挿嵌する取
付穴（図示せず）等が設けられている。

【００３１】ここで、マスタ素子２４とは、各検査対象
素子１５を検査するときの基準となる素子として予め用
意されたジルコニアチューブ１であり、その内側電極
２、外側電極３間の静電容量は図２に示すプローブ２
６，２７等を用いて検査対象素子１５とほぼ同様の方法
で一定の時間毎に測定されると共に、このときの測定値
等を用いて検査対象素子１５の測定値を補正する構成と
なっている。

【００３２】２５は測定アーム１９とほぼ同様に構成さ
れた他の測定アームで、該測定アーム２５はマスタ用測
定台２３に対応して基台１２上に配設され、制御装置３
０からの駆動信号によりガイドレール２５Ａに沿って
上，下方向に駆動されるものである。

【００３３】２６，２７はプローブ２０，２１とほぼ同
様に構成された第２の測定具としてのプローブで、該プ
ローブ２６，２７は、図２に示す如く測定アーム２５に
設けられ、マスタ素子２４の内側電極２、外側電極３間
で静電容量を測定する構成となっている。

【００３４】２８はジルコニアチューブ１の静電容量、
抵抗値を測定する容量測定手段としての測定器で、該測
定器２８は、図４に示す如く、容量測定部２８Ａと、抵
抗測定部２８Ｂとから構成されている。

【００３５】そして、容量測定部２８Ａは、一方の測定
端子が切換リレー２９を介してプローブ２０，２６と接
続され、他方の測定端子が切換リレー２９を介してプロ
ーブ２１，２７と接続され、切換リレー２９の切換によ
ってこれらの端子間でプローブ２０，２１間の静電容量
またはプローブ２６，２７間の静電容量を測定する。

【００３６】また、抵抗測定部２８Ｂは、一方の測定端
子がプローブ２２と接続され、他方の測定端子が切換リ
レー２９を介してプローブ２０，２６と接続され、切換
リレー２９の切換によってプローブ２０，２２間の抵抗
値を測定するものである。

【００３７】２９はプローブ２０，２１，２６，２７と
測定器２８との間に設けられた測定切換手段としての切
換リレーで、該切換リレー２９は制御装置３０からの駆
動信号によって駆動され、測定器２８の測定対象となる
素子を検査対象素子１５またはマスタ素子２４に切換え
るものである。

【００３８】３０は検査対象素子１５の特性を判別する
特性判別手段としての制御装置で、該制御装置３０の入
力側には測定器２８が接続され、出力側には、切換リレ
ー２９と、シーケンサ等からなる駆動部３１と、判定結
果を表示する表示器３２等とが接続されている。この場
合、駆動部３１は回転テーブル１３、供給アーム１６、
排出アーム１７、測定アーム１９，２５等を連係して駆
動するものである。

【００３９】また、制御装置３０には記憶部３０Ａ、タ
イマ（図示せず）等が設けられ、記憶部３０Ａには、検
査対象素子１５の設計上の規格値である静電容量の基準
値ＣS と、抵抗値の基準値ＲS とが予め記憶されると共
に、後述の如く精密測定室等で測定したマスタ素子２４
の静電容量の測定値Ｃ0 も入力して記憶される。

【００４０】そして、制御装置３０は駆動部３１を用い
て回転テーブル１３、供給アーム１６、排出アーム１
７、測定アーム１９，２５を駆動しつつ、測定器２８等
により複数の検査対象素子１５の静電容量を測定値Ｃと
して順次測定する共に、これらの抵抗値を測定値Ｒとし
て測定する。

【００４１】また、この測定動作の間には、制御装置３
０が切換リレー２９を駆動することにより、例えば２時
間程度の一定の時間毎にマスタ素子２４の静電容量を測
定し、このときの測定値Ｃ1 を記憶部３０Ａ内に記憶す
る。

【００４２】さらに、検査対象素子１５の特性判別を行
うときには、検査装置１１によるマスタ素子２４の測定
値Ｃ1 （マスタ測定値）と、精密測定室でのマスタ素子
２４の測定値Ｃ0 （マスタ基準値）とを用いてマスタ補
正値ΔＣを下記数１のように演算する。

【００４３】

【数１】ΔＣ＝Ｃ1 −Ｃ0

【００４４】次に、このマスタ補正値ΔＣと、検査対象
素子１５の静電容量の測定値Ｃとを用いて、補正後測定
値Ｃ′を下記数２の式のように演算する。

【００４５】

【数２】Ｃ′＝Ｃ−ΔＣ

【００４６】この結果、検査対象素子１５の補正後測定
値Ｃ′は、実際の測定値Ｃを検査装置１１の精度ばらつ
きや周囲の気温、湿度等の変化により生じる測定誤差で
あるマスタ補正値ΔＣの分だけ補正した値となる。

【００４７】そして、制御装置３０は、検査対象素子１
５の測定値Ｒと設計上の基準値ＲSとを比較すると共
に、その補正後測定値Ｃ′と基準値ＣS とを比較するこ
とにより、検査対象素子１５が内側電極２、外側電極３
間の静電容量と抵抗値に関して設計上の規格を満たす合
格品であるか否かの判定を行うものである。

【００４８】本実施の形態によるジルコニアチューブ１
の検査装置１１は上述の如き構成を有するもので、次に
その作動について説明する。

【００４９】まず、検査対象素子１５の検査を始める前
には、マスタ素子２４の静電容量を温度、湿度等が調整
された精密測定室等で高精度に測定し、このときの測定
値Ｃ0 は作業者等により制御装置３０に入力されて記憶
部３０Ａに記憶される。

【００５０】次に、マスタ素子２４をマスタ用測定台２
３にセットし、検査装置１１を作動させると、制御装置
３０により切換リレー２９がマスタ素子２４側に切換え
られ、測定器２８、プローブ２６，２７等によりマスタ
素子２４の静電容量が測定値Ｃ1 として測定された後
に、切換リレー２９は検査対象素子１５側に切換えられ
る。

【００５１】次に、回転テーブル１３が回転すると、図
３中の上側に移動する検査用測定台１４には供給アーム
１６を用いて検査対象素子１５が順次供給され、この検
査対象素子１５が右側へと移動したときには、測定器２
８、プローブ２０〜２２等を用いて検査対象素子１５の
静電容量、抵抗値が測定値Ｃ、測定値Ｒとして測定され
る。

【００５２】このとき、制御装置３０は、前記数１およ
び数２の式により静電容量の補正後測定値Ｃ′を演算
し、この補正後測定値Ｃ′と設計上の基準値ＣS とを比
較すると共に、抵抗値の測定値Ｒと基準値ＲS とを比較
する。

【００５３】そして、補正後測定値Ｃ′が基準値ＣS に
対応した大きさであり、かつ測定値Ｒが基準値ＲS に対
応した大きさであると判定した場合には、その検査対象
素子１５を合格品として排出アーム１７により左側の検
査用測定台１４から収容ボックス１８に収容する。ま
た、補正後測定値Ｃ′、測定値Ｒのうち少なくとも一方
が基準値ＣS ，ＲS と大きく異なる場合には、その検査
対象素子１５を不良品として廃棄ボックスに廃棄する。

【００５４】そして、各検査対象素子１５の特性検査中
には、例えば２時間毎に切換リレー２９がマスタ素子２
４側に切換えられ、その静電容量が新たに測定されて測
定値Ｃ1 が更新された後に、切換リレー２９が検査対象
素子１５側に戻される。

【００５５】この結果、複数の検査対象素子１５に対し
て特性検査を行いつつ、２時間程度の間隔で繰返し更新
されるマスタ素子２４の測定値Ｃ1 等を用いて検査対象
素子１５の測定値Ｃに含まれる測定誤差等をマスタ補正
値ΔＣとして正確に補正でき、静電容量の補正後測定値
Ｃ′を高精度に算出できると共に、気温、湿度等の変化
による影響を確実に補償することができる。

【００５６】かくして、本実施の形態では、検査装置１
１を、プローブ２０〜２２を設けた測定アーム１９と、
プローブ２６，２７を設けた測定アーム２５と、測定器
２８と、切換リレー２９と、制御装置３０等とから構成
したので、測定器２８によりプローブ２０〜２２を用い
て複数の検出用素子１５の静電容量、抵抗値を順次測定
できると共に、この測定動作の間にはプローブ２６，２
７を用いてマスタ素子２４の静電容量を一定の時間毎に
測定することができる。

【００５７】これにより、マスタ素子２４の測定値Ｃ0
，Ｃ1 等を用いて検査対象素子１５の測定値Ｃに含ま
れる測定誤差等をマスタ補正値ΔＣとして正確に補正で
き、検査装置１１の測定精度のばらつきだけでなく、周
囲の気温、湿度等の変化による影響を高い精度で補償す
ることができる。従って、ジルコニアチューブ１の特性
検査を効率よく正確に行うことができ、その信頼性を向
上させることができる。

【００５８】なお、前記実施の形態では、マスタ素子２
４の静電容量の測定値を一定の時間毎に更新する構成と
したが、本発明はこれに限らず、例えば検査装置１１に
温度センサ、湿度センサ等を設け、これらのセンサによ
り検出した気温、湿度の検出値が大きく変化したときに
マスタ素子２４の測定値を更新する構成としてもよい。

【００５９】また、前記実施の形態では、マスタ素子２
４の静電容量の測定値等を用いて検査対象素子１５の静
電容量の測定値を補正する構成としたが、本発明はこれ
に限らず、マスタ素子２４の抵抗値を測定し、この測定
値を用いて検査対象素子１５の抵抗値の測定値も補正す
る構成としてもよい。

【００６０】さらに、前記実施の形態では、酸素濃度検
出素子としてジルコニアチューブ１を例に挙げて述べた
が、本発明はこれに限らず、例えば酸化チタニウム（Ｔ
ｉＯ ₂ ）等のセラミックス材料からなる他の酸素濃度検
出素子に対しても適用し得るものである。

【００６１】

【発明の効果】以上詳述した通り、請求項１の発明によ
れば、酸素濃度素子の検査装置を、検査用治具、マスタ
用治具、第１，第２の測定具、容量測定手段および特性
判別手段によって構成したので、容量測定手段により第
１の測定具を用いて複数の検出用素子の静電容量を測定
でき、この測定動作の間には第２の測定具によりマスタ
素子の静電容量を必要に応じて測定することができる。
これにより、例えばマスタ素子の測定値等を用いて検出
用素子の測定値に含まれる誤差等を補正しつつ検査対象
素子の特性を検査でき、検査装置の測定精度のばらつき
だけでなく、周囲の気温、湿度等の変化による影響を高
い精度で補償することができる。従って、酸素濃度検出
素子の特性検査を効率よく正確に行うことができ、信頼
性を向上させることができる。

【００６２】また、請求項２の発明によれば、第１，第
２の測定具と容量測定手段との間に測定切換手段を設け
る構成としたので、複数の検査対象素子に対して特性検
査を行いつつ、マスタ素子の特性値を必要に応じて更新
でき、例えば気温、湿度等の変化による影響を確実に補
償できると共に、特性検査を精度を高めることができ
る。

【００６３】さらに、請求項３の発明によれば、酸素濃
度検出素子をジルコニアチューブにより構成したので、
そのマスタ素子の測定値等を用いて検出用素子の測定値
に含まれる誤差等を補正でき、ジルコニアチューブの特
性検査を正確に行うことができると共に、その信頼性を
向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態による検査装置を用いるジ
ルコニアチューブの断面図である。

【図２】ジルコニアチューブの検査装置を示す正面図で
ある。

【図３】図２に示す検査装置の平面図である。

【図４】ジルコニアチューブの検査装置を示す回路構成
図である。

【符号の説明】

１ジルコニアチューブ（酸素濃度検出素子）２内側電極３外側電極１１検査装置１４検査用測定台（検査用治具）１５検査対象素子２０，２１，２２プローブ（第１の測定具）２３マスタ用測定台（マスタ用治具）２４マスタ素子２６，２７プローブ（第２の測定具）２８測定器（容量測定手段）２９切換リレー（測定切換手段）３０制御装置（特性判別手段）

フロントページの続き (72)発明者荒木博司神奈川県厚木市恩名1370番地株式会社ユニシアジェックス内 (72)発明者小山裕二神奈川県厚木市恩名1370番地株式会社ユニシアジェックス内Ｆターム(参考） 2G004 BB01 BL18 BL20 BM07 2G060 AA03 AE19 AE40 AF10 AF13 KA01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一対の電極を有する酸素濃度検出素子の
特性を検査するため前記各電極間の静電容量を測定して
なる酸素濃度検出素子の検査装置において、前記酸素濃度検出素子を検査対象素子として位置決めす
る検査用治具と、該検査用治具により位置決めされた検査対象素子の静電
容量を測定するため該検査対象素子の電極間に接続され
る第１の測定具と、前記検査用治具と近い位置に設けられ、静電容量の基準
を予め満たした酸素濃度検出素子をマスタ素子として位
置決めするマスタ用治具と、該マスタ用治具に位置決めされた前記マスタ素子の静電
容量を測定するため該マスタ素子の電極間に接続される
第２の測定具と、前記第１の測定具を用いて前記検査対象素子の静電容量
を測定し、前記第２の測定具を用いて前記マスタ素子の
静電容量を測定する容量測定手段と、該容量測定手段で測定した前記検査対象素子とマスタ素
子との静電容量を比較し、前記検査対象素子の特性を判
別する特性判別手段とから構成したことを特徴とする酸
素濃度検出素子の検査装置。
【請求項２】前記第１，第２の測定具と前記容量測定
手段との間には測定切換手段を設け、該測定切換手段は
前記第１の測定具を用いた静電容量の測定値と前記第２
の測定具を用いた静電容量の測定とを選択的に切換える
構成としてなる請求項１に記載の酸素濃度検出素子の検
査装置。
【請求項３】前記検査対象素子、マスタ素子を構成す
る酸素濃度検出素子は内側電極と外側電極とを有するジ
ルコニアチューブからなり、前記容量測定手段は該ジル
コニアチューブの内側電極と外側電極との間で静電容量
を測定する構成としてなる請求項１または２に記載の酸
素濃度検出素子の検査装置。