JP2000146448A - Continuous heat treatment method, and heat treatment furnace - Google Patents

Continuous heat treatment method, and heat treatment furnace

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JP2000146448A
JP2000146448A JP10327486A JP32748698A JP2000146448A JP 2000146448 A JP2000146448 A JP 2000146448A JP 10327486 A JP10327486 A JP 10327486A JP 32748698 A JP32748698 A JP 32748698A JP 2000146448 A JP2000146448 A JP 2000146448A
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JP
Japan
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transport mechanism
heat treatment
section
transport
speed
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JP10327486A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Hashimoto
弘之 橋本
Gyoka Do
暁華 童
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JTEKT Thermo Systems Corp
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Koyo Thermo Systems Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a continuous heat treatment method which does not degrade the quality of a work, is not affected by the size of the work, and can reduce the consumption of an atmospheric gas. SOLUTION: The inside of an introduction side purge part 4 in which a work W is introduced is gas-purged or evacuated in a condition where a connection port of an inlet of the introduction side purge part 4 to a heat treatment part 3 is closed, the connection port is opened, and the work W introduced in the heat treatment part 3 is heat-treated while the work is carried. Before the work W is discharged from the heat treatment part 3 to the discharge side purge part, the inside of the discharge side purge part is gas-purged or evacuated in a condition where the connection port and an outlet of the discharge side purge part are closed. Then, the work W is discharged outside from the discharge side purge part. The carrying speed of the work W in the introduction side purge part 4 and the discharge side purge part is higher than that during the heat treatment in the heat treatment part 3, and reduced before the heat treatment in the heat treatment part 3, while it is increased after the heat treatment.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、被処理材を連続的
に搬送しつつ熱処理する連続熱処理方法と、その方法の
実施に供することのできる連続熱処理炉に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a continuous heat treatment method in which a material to be treated is continuously conveyed and heat treated, and a continuous heat treatment furnace capable of performing the method.

【0002】[0002]

【従来の技術】被処理材を連続的に搬送しつつ熱処理す
る連続熱処理炉においては、熱処理部内における酸素濃
度の変動防止のために水素ガス等の雰囲気ガスが導入さ
れる。その雰囲気ガスは高価であることから、熱処理部
の出入口に雰囲気ガスカーテンや、ステンレス線やステ
ンレス箔等のカーテンが設けられ、消費量の節約が図ら
れている。
2. Description of the Related Art In a continuous heat treatment furnace for performing heat treatment while continuously transporting a material to be treated, an atmosphere gas such as hydrogen gas is introduced in order to prevent a change in oxygen concentration in a heat treatment part. Since the atmosphere gas is expensive, an atmosphere gas curtain or a curtain such as a stainless wire or a stainless steel foil is provided at the entrance and exit of the heat treatment unit to reduce consumption.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、出入口の開口
寸法が大きくなると雰囲気ガス消費量が増大する。特
に、雰囲気ガスカーテンを設けた場合、被処理材の高さ
が高い場合は雰囲気ガスの消費量が増大する。また、ス
テンレス線やステンレス箔等のカーテンは、被処理材に
接触して品質を悪化させる。また、被処理材の搬送速度
は熱処理を行うため低速であることから、被処理材の出
入りに要する時間が長くなり、雰囲気ガスの消費量が増
大する。
However, as the size of the opening of the entrance increases, the amount of gas consumed in the atmosphere increases. In particular, when the atmosphere gas curtain is provided, and when the material to be processed is high, the consumption of the atmosphere gas increases. Further, curtains such as stainless steel wires and stainless steel foils are in contact with the material to be treated and deteriorate the quality. In addition, since the transfer speed of the material to be processed is low because the heat treatment is performed, the time required for the material to be processed in and out increases, and the consumption of the atmosphere gas increases.

【0004】本発明は、上記問題を解決することのでき
る連続熱処理方法および熱処理炉を提供することを目的
とする。
An object of the present invention is to provide a continuous heat treatment method and a heat treatment furnace that can solve the above-mentioned problems.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明方法は、導入側パ
ージ部に導入された被処理材を、雰囲気ガスが導入され
る熱処理部を経て排出側パージ部から排出するまで、連
続的に搬送しつつ熱処理する方法であって、被処理材を
導入側パージ部内に導入し、その被処理材が導入された
導入側パージ部内を、その導入側パージ部の入口と熱処
理部との接続口とを閉鎖した状態で、ガスパージまたは
真空パージし、次に、その導入側パージ部と熱処理部と
の接続口を開いて熱処理部内に被処理材を導入し、その
熱処理部内に導入された被処理材を搬送しつつ熱処理
し、その熱処理部から排出側パージ部に被処理材を排出
する前に、その排出側パージ部内を、その排出側パージ
部の出口と熱処理部との接続口とを閉鎖した状態で、ガ
スパージまたは真空パージし、次に、その熱処理部と排
出側パージ部との接続口を開いて排出側パージ部内に被
処理材を排出し、次に、その被処理材を排出側パージ部
から外部に排出するに際して、被処理材の導入側パージ
部内と排出側パージ部内での搬送速度を、熱処理部内の
熱処理領域における搬送速度よりも高速とし、その熱処
理部内において、被処理材の搬送速度を熱処理領域に至
る前に減速すると共に熱処理領域を過ぎた後に増速する
ことを特徴とする。
According to the method of the present invention, the material to be treated introduced into the introduction side purge section is continuously conveyed until it is discharged from the discharge side purge section through the heat treatment section into which the atmospheric gas is introduced. A method of performing a heat treatment while introducing a material to be treated into the introduction-side purge portion, and introducing the inside of the introduction-side purge portion into which the material to be treated is introduced, with the inlet of the introduction-side purge portion and the connection port between the heat treatment portion and In a state where is closed, gas purge or vacuum purge is performed, then the connection port between the introduction side purge section and the heat treatment section is opened to introduce the material to be treated into the heat treatment section, and the material introduced into the heat treatment section Before discharging the material to be processed from the heat-treating section to the discharge-side purge section, the inside of the discharge-side purge section was closed with the outlet of the discharge-side purge section and the connection port with the heat-treating section. Gas purge or vacuum in condition Next, the connection port between the heat treatment section and the discharge side purge section is opened to discharge the material to be processed into the discharge side purge section, and then the material to be processed is discharged from the discharge side purge section to the outside. In carrying out the process, the transfer speed of the material to be processed in the introduction side purge section and the discharge side purge section is set to be higher than the transfer speed in the heat treatment area in the heat treatment section. It is characterized by decelerating before reaching and increasing speed after passing the heat treatment region.

【0006】本発明方法によれば、被処理材を導入側パ
ージ部内に導入する時、導入側パージ部と熱処理部との
接続口を閉鎖することで、熱処理部への外気の拡散は防
止される。その被処理材が導入された導入側パージ部内
をガスパージまたは真空パージする時、その導入側パー
ジ部の入口と熱処理部との接続口とを閉鎖することで、
熱処理部への外気の拡散は防止される。そのガスパージ
または真空パージ後に、導入側パージ部と熱処理部との
接続口から熱処理部内に被処理材が導入されるので、熱
処理部内への外気拡散が防止され、熱処理部内の酸素濃
度変動が防止される。また、排出側パージ部に被処理材
を排出する前に、排出側パージ部内をガスパージまたは
真空パージする時、その排出側パージ部の出口と熱処理
部との接続口とを閉鎖することで、熱処理部への外気の
拡散は防止される。そのガスパージまたは真空パージ後
に、排出側パージ部と熱処理部との接続口から排出側パ
ージ部内に被処理材が排出されるので、熱処理部内への
外気拡散が防止され、熱処理部内の酸素濃度変動が防止
される。被処理材を排出側パージ部から外部に排出する
時、排出側パージ部と熱処理部との接続口を閉鎖するこ
とで、熱処理部への外気の拡散は防止される。被処理材
の導入側パージ部内と排出側パージ部内での搬送速度
を、熱処理部内での熱処理領域における搬送速度よりも
高速とし、その熱処理部内において、被処理材の搬送速
度を熱処理領域に至る前に減速すると共に熱処理領域を
過ぎた後に増速する、被処理材の導入側パージ部から熱
処理部への導入時と、熱処理部から排出側パージ部への
排出時において、熱処理領域におけるよりも搬送速度を
高速にし、熱処理部への外気の拡散をより防止でき、さ
らに、本体内からの熱の逃げを防止すると共にスループ
ットを向上できる。
According to the method of the present invention, when the material to be treated is introduced into the introduction-side purge section, the connection between the introduction-side purge section and the heat treatment section is closed, whereby the diffusion of outside air into the heat treatment section is prevented. You. When performing gas purging or vacuum purging inside the introduction-side purge section into which the material to be treated has been introduced, by closing the inlet of the introduction-side purge section and the connection port with the heat treatment section,
Diffusion of outside air to the heat treatment part is prevented. After the gas purge or the vacuum purge, the material to be treated is introduced into the heat treatment section from the connection port between the introduction-side purge section and the heat treatment section, so that outside air diffusion into the heat treatment section is prevented, and the oxygen concentration fluctuation in the heat treatment section is prevented. You. In addition, when the material to be treated is discharged to the discharge-side purge section before gas purging or vacuum-purging the discharge-side purge section, the outlet of the discharge-side purge section and the connection port with the heat-treating section are closed, so that the heat-treatment The diffusion of outside air to the part is prevented. After the gas purge or the vacuum purge, the material to be treated is discharged into the discharge side purge section from the connection port between the discharge side purge section and the heat treatment section, so that the outside air is prevented from diffusing into the heat treatment section, and the oxygen concentration fluctuation in the heat treatment section is reduced. Is prevented. When the material to be treated is discharged from the discharge-side purge section to the outside, the connection between the discharge-side purge section and the heat treatment section is closed, whereby diffusion of outside air to the heat treatment section is prevented. The transfer speed of the material to be processed in the introduction side purge section and the discharge side purge section is set to be higher than the transfer speed in the heat treatment area in the heat treatment section. During the introduction of the material to be treated from the introduction side purge section to the heat treatment section and the discharge from the heat treatment section to the discharge side purge section, the material is transported more than in the heat treatment area. By increasing the speed, it is possible to further prevent the diffusion of the outside air to the heat treatment section, and further to prevent the escape of heat from inside the main body and improve the throughput.

【0007】本発明の連続熱処理炉は、雰囲気ガスが導
入される熱処理部と、その熱処理部に接続される導入側
パージ部と、その熱処理部に接続される排出側パージ部
と、その導入側パージ部の入口、その導入側パージ部と
熱処理部との接続口、その熱処理部と排出側パージ部と
の接続口、および排出側パージ部の出口の開閉手段と、
その導入側パージ部内を、ガスパージまたは真空パージ
する手段と、その排出側パージ部内を、ガスパージまた
は真空パージする手段と、その導入側パージ部内におい
て被処理材を搬送する第1搬送機構と、その熱処理部内
の導入側において前記第1搬送機構から受渡された被処
理材を搬送する第2搬送機構と、その熱処理部内の導入
側と排出側との間の熱処理領域において前記第2搬送機
構から受渡された被処理材を搬送する第3搬送機構と、
その熱処理部内の排出側において前記第3搬送機構から
受渡された被処理材を搬送する第4搬送機構と、その排
出側パージ部内において前記第4搬送機構から受渡され
た被処理材を搬送する第5搬送機構とを備える。前記第
1、第5搬送機構の搬送速度は前記第3搬送機構の搬送
速度よりも高速とされ、前記第2搬送機構の搬送速度
は、前記第1搬送機構から被処理材を受渡される時は前
記第3搬送機構に被処理材を受渡す時よりも高速とさ
れ、前記第4搬送機構の搬送速度は、前記第3搬送機構
から被処理材を受渡される時は前記第5搬送機構に被処
理材を受渡す時よりも低速とされる。本発明の連続熱処
理炉によれば本発明方法を実施できる。
[0007] The continuous heat treatment furnace of the present invention comprises a heat treatment section to which an atmospheric gas is introduced, an introduction side purge section connected to the heat treatment section, a discharge side purge section connected to the heat treatment section, and an introduction side purge section. Opening and closing means of an inlet of the purge unit, a connection port between the introduction side purge unit and the heat treatment unit, a connection port between the heat treatment unit and the discharge side purge unit, and an outlet of the discharge side purge unit,
Means for purging gas or vacuum in the introduction-side purge section, means for purging gas or vacuum in the discharge-side purge section, a first transport mechanism for transporting the material to be processed in the introduction-side purge section, A second transport mechanism that transports the material to be processed delivered from the first transport mechanism on the introduction side in the unit, and a second transport mechanism that is delivered from the second transport mechanism in a heat treatment region between the introduction side and the discharge side in the heat treatment unit. A third transport mechanism for transporting the processed material,
A fourth transport mechanism for transporting the workpiece transferred from the third transport mechanism on the discharge side in the heat treatment section, and a fourth transport mechanism for transporting the workpiece transferred from the fourth transport mechanism in the discharge-side purge section. 5 transport mechanism. The transport speeds of the first and fifth transport mechanisms are set to be higher than the transport speed of the third transport mechanism, and the transport speed of the second transport mechanism is determined when the workpiece is transferred from the first transport mechanism. Is set to be faster than when the material to be processed is delivered to the third transport mechanism, and the transport speed of the fourth transport mechanism is set to be higher when the material to be processed is delivered from the third transport mechanism. At a lower speed than when the material is delivered. According to the continuous heat treatment furnace of the present invention, the method of the present invention can be performed.

【0008】本発明の連続熱処理炉において、被処理材
の第1搬送機構から第2搬送機構への受渡し時に、その
第2搬送機構の搬送速度は第1搬送機構の搬送速度に同
期され、被処理材の第2搬送機構から第3搬送機構への
受渡し時に、その第2搬送機構の搬送速度は第3搬送機
構の搬送速度に同期され、被処理材の第3搬送機構から
第4搬送機構への受渡し時に、その第4搬送機構の搬送
速度は第3搬送機構の搬送速度に同期され、被処理材の
第4搬送機構から第5搬送機構への受渡し時に、その第
4搬送機構の搬送速度は第5搬送機構の搬送速度に同期
されるのが好ましい。これにより被処理材を円滑に搬送
できる。
In the continuous heat treatment furnace of the present invention, when the material to be processed is transferred from the first transport mechanism to the second transport mechanism, the transport speed of the second transport mechanism is synchronized with the transport speed of the first transport mechanism, and When the processing material is transferred from the second transport mechanism to the third transport mechanism, the transport speed of the second transport mechanism is synchronized with the transport speed of the third transport mechanism, and the third transport mechanism transfers the workpiece from the third transport mechanism to the fourth transport mechanism. When the workpiece is transferred from the fourth transport mechanism to the fifth transport mechanism, the transport speed of the fourth transport mechanism is synchronized with the transport speed of the third transport mechanism. The speed is preferably synchronized with the transport speed of the fifth transport mechanism. This allows the material to be processed to be smoothly transported.

【0009】前記第1、第3、第5搬送機構は、周回駆
動される無端体により被処理材を搬送するコンベヤによ
り構成され、前記第2、第4搬送機構は、搬送方向の間
隔をおいて並列する複数のローラーにより被処理材を搬
送するコンベヤにより構成され、その第2搬送機構にお
ける複数のローラーは、低速回転駆動されるものと高速
回転駆動されるものとを有し、その低速回転駆動される
ローラーは高速回転駆動されるローラーよりも第3搬送
機構寄りに配置され、その第4搬送機構における複数の
ローラーは、低速回転駆動されるものと高速回転駆動さ
れるものとを有し、その低速回転駆動されるローラーは
高速回転駆動されるローラーよりも第3搬送機構寄りに
配置されるのが好ましい。この構成によれば、被処理材
を第1搬送機構から第2搬送機構に高速回転駆動される
ローラーを介して受渡し、次に低速回転駆動されるロー
ラーを介して第3搬送機構に受渡し、次に第3搬送機構
から第4搬送機構に低速回転駆動されるローラーを介し
て受渡し、次に高速回転駆動されるローラーを介して第
5搬送機構に受渡すことができる。これにより、各搬送
機構間での被処理材の受渡しを円滑に行うことができ
る。しかも、複数の被処理材の熱処理を行う場合に、前
方の被処理材を第2搬送機構から第3搬送機構に受渡す
と同時に、後方の被処理材を第1搬送機構から第2搬送
機構に受渡し、また、前方の被処理材を第4搬送機構か
ら第5搬送機構に受渡すと同時に、後方の被処理材を第
3搬送機構から第4搬送機構に受渡すことが可能にな
り、搬送効率を向上できる。その第1、第5搬送機構を
チェーンコンベヤにより構成し、第3搬送機構をメッシ
ュベルトコンベヤにより構成することで、製造コストの
低減を図ることができる。
The first, third, and fifth transport mechanisms are constituted by conveyors for transporting the material to be processed by an endless body that is driven to rotate, and the second and fourth transport mechanisms are spaced apart in the transport direction. And a plurality of rollers in the second transport mechanism, the plurality of rollers being driven at a low speed and the one being driven at a high speed. The driven roller is disposed closer to the third transport mechanism than the high-speed rotationally driven roller, and the plurality of rollers in the fourth transport mechanism include a low-speed rotationally driven roller and a high-speed rotationally driven roller. It is preferable that the roller driven at low speed be disposed closer to the third transport mechanism than the roller driven at high speed. According to this configuration, the material to be processed is transferred from the first transfer mechanism to the second transfer mechanism via the roller driven at high speed, then transferred to the third transfer mechanism via the roller driven at low speed, and Can be transferred from the third transfer mechanism to the fourth transfer mechanism via a roller driven at a low speed, and then transferred to the fifth transfer mechanism via a roller driven at a high speed. Thereby, delivery of the to-be-processed material between each conveyance mechanism can be performed smoothly. In addition, when performing heat treatment on a plurality of workpieces, the front workpiece is delivered from the second transport mechanism to the third transport mechanism, and the rear workpiece is transported from the first transport mechanism to the second transport mechanism. At the same time, the front material to be processed is transferred from the fourth transport mechanism to the fifth transport mechanism, and simultaneously, the rear material to be processed is transferred from the third transport mechanism to the fourth transport mechanism. Transport efficiency can be improved. By configuring the first and fifth transport mechanisms by a chain conveyor and configuring the third transport mechanism by a mesh belt conveyor, it is possible to reduce manufacturing costs.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】図1、図2に示すメッシュベルト
式連続熱処理炉1は、支持台2により支持される熱処理
部3、この熱処理部3に接続される導入側パージ部4お
よび排出側パージ部6、搬送装置7を備える。この熱処
理炉1により、その導入側パージ部4に導入された被処
理材Wを、雰囲気ガスが導入される熱処理部3を経て排
出側パージ部6ら排出されるまで、図において左方から
右方に連続的に搬送しつつ熱処理する。なお、本実施形
態では、被処理材Wはトレイにセットされた状態で搬送
される。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A mesh belt type continuous heat treatment furnace 1 shown in FIGS. 1 and 2 has a heat treatment section 3 supported by a support 2, an introduction side purge section 4 connected to the heat treatment section 3, and a discharge side. A purge unit 6 and a transfer device 7 are provided. In the drawing, the material W introduced into the introduction-side purge section 4 is discharged from the discharge-side purge section 6 through the heat treatment section 3 into which the atmospheric gas is introduced until the material W introduced into the introduction-side purge section 4 is discharged from left to right in FIG. And heat-treating it while continuously transporting it. In the present embodiment, the processing target material W is conveyed while being set on a tray.

【0011】その熱処理部3は、筒状の本体10と、こ
の本体10を囲むヒーター11および冷却体12を有す
る。その本体10は、導入部10aと、この導入部10
aにベローズ10bを介して接続されるマッフル10c
と、このマッフル10cに接続される排出部10dとか
ら構成される。その本体10内に窒素、水素等の雰囲気
ガスが、内部酸素濃度を一定に保持するため、例えばマ
ッフル10cから導入部10aと排出部10dとに向か
うガス流が生じるように適宜導入される。これにより、
そのマッフル10c内の酸素濃度は例えば10ppm以
下に保持される。そのマッフル10c内で被処理材Wは
搬送されつつヒーター11により加熱され、冷却体12
により冷却されることで熱処理され、そのマッフル10
cの熱変形はベローズ10bにより吸収される。その導
入部10aと排出部10dに雰囲気ガスの排気口10
f、10gが設けられる。
The heat treatment section 3 has a cylindrical main body 10 and a heater 11 and a cooling body 12 surrounding the main body 10. The main body 10 includes an introduction portion 10a and the introduction portion 10a.
A muffle 10c connected to a through a bellows 10b
And a discharge unit 10d connected to the muffle 10c. Atmospheric gases such as nitrogen and hydrogen are appropriately introduced into the main body 10 so as to generate a gas flow from the muffle 10c to the inlet 10a and the outlet 10d, for example, in order to keep the internal oxygen concentration constant. This allows
The oxygen concentration in the muffle 10c is kept, for example, at 10 ppm or less. The workpiece W is heated by the heater 11 while being conveyed in the muffle 10c,
The muffle 10
The thermal deformation of c is absorbed by the bellows 10b. The atmosphere gas exhaust port 10 is provided in the introduction portion 10a and the discharge portion 10d.
f, 10 g are provided.

【0012】その導入側パージ部4の入口の開閉用第1
扉15、その導入側パージ部4と熱処理部3との接続口
の開閉用第2扉16、その熱処理部3と排出側パージ部
との接続口の開閉用第3扉17、および排出側パージ部
の出口の開閉用第4扉18が設けられている。各扉1
5、16、17、18は、本実施形態ではエアシリンダ
15a、16a、17a、18aにより開閉される。
A first opening / closing first opening of the inlet of the inlet side purge section 4 is provided.
Door 15, a second door 16 for opening and closing a connection port between the introduction side purge section 4 and the heat treatment section 3, a third door 17 for opening and closing a connection port between the heat treatment section 3 and the discharge side purge section, and a discharge side purge. A fourth door 18 for opening and closing the outlet of the section is provided. Each door 1
In the present embodiment, 5, 16, 17, 18 are opened and closed by air cylinders 15a, 16a, 17a, 18a.

【0013】その導入側パージ部4はボックス状の筐体
4aを有し、その筐体4aにガス導入口4bとガス排出
口4cとが形成されている。そのガス導入口4bから筐
体4a内に、雰囲気ガスと同種のガスや他の不活性ガス
をパージガスとして導入すると共に、導入側パージ部4
内のガスをガス排出口4cから排出することで、ガスパ
ージを行うことができる。また、そのガス排出口4cに
接続される真空ポンプにより筐体4aから内部ガスを吸
引して排気し、そのガス導入口4bから雰囲気ガスと同
種のガスや他の不活性ガスを導入して復圧することで、
真空パージを行うことができる。
The inlet-side purge section 4 has a box-shaped housing 4a, in which a gas inlet 4b and a gas outlet 4c are formed. A gas of the same type as the atmospheric gas or another inert gas is introduced as a purge gas into the housing 4a from the gas introduction port 4b, and the introduction side purge unit 4
Gas purge can be performed by discharging the gas inside from the gas discharge port 4c. Further, the internal gas is sucked and exhausted from the housing 4a by a vacuum pump connected to the gas outlet 4c, and a gas of the same kind as the atmospheric gas or another inert gas is introduced from the gas inlet 4b to recover the gas. By pressing
A vacuum purge can be performed.

【0014】その排出側パージ部6はボックス状の筐体
6aを有し、その筐体6aにガス導入口6bとガス排出
口6cとが形成されている。そのガス導入口6bから筐
体6a内に、雰囲気ガスと同種のガスや他の不活性ガス
をパージガスとして導入すると共に、排出側パージ部6
内のガスをガス排出口6cから排出することで、ガスパ
ージを行うことができる。また、そのガス排出口6cに
接続される真空ポンプにより筐体6aから内部ガスを吸
引して排気し、そのガス導入口6bから雰囲気ガスと同
種のガスや他の不活性ガスを導入して復圧することで、
真空パージを行うことができる。
The discharge-side purge section 6 has a box-shaped housing 6a, and a gas inlet 6b and a gas outlet 6c are formed in the housing 6a. A gas of the same kind as the atmospheric gas or another inert gas is introduced as a purge gas into the housing 6a from the gas inlet 6b, and the discharge side purge unit 6
Gas purge can be performed by discharging the gas inside from the gas discharge port 6c. Further, the internal gas is sucked and exhausted from the housing 6a by a vacuum pump connected to the gas outlet 6c, and a gas of the same type as the atmospheric gas or another inert gas is introduced from the gas inlet 6b to recover the gas. By pressing
A vacuum purge can be performed.

【0015】その搬送装置7は、その導入側パージ部4
内において被処理材Wを搬送する第1搬送機構21と、
その熱処理部3の本体10の導入側において第1搬送機
構21から受渡された被処理材Wを搬送する第2搬送機
構22と、その熱処理部3の本体10の導入側と排出側
との間の熱処理領域において第2搬送機構22から受渡
された被処理材Wを搬送する第3搬送機構23と、その
熱処理部3の本体10の排出側において第3搬送機構2
3から受渡された被処理材Wを搬送する第4搬送機構2
4と、その排出側パージ部6内において第4搬送機構2
4から受渡された被処理材Wを搬送する第5搬送機構2
5とを備える。
The transfer device 7 includes an introduction-side purge unit 4.
A first transport mechanism 21 for transporting the workpiece W in the inside,
Between the second transport mechanism 22 for transporting the workpiece W transferred from the first transport mechanism 21 on the introduction side of the main body 10 of the heat treatment unit 3 and the introduction side and discharge side of the main body 10 of the heat treatment unit 3 And a third transport mechanism 23 for transporting the workpiece W delivered from the second transport mechanism 22 in the heat treatment area of the main body 10 on the discharge side of the main body 10 of the heat treatment unit 3.
The fourth transport mechanism 2 that transports the material to be processed W delivered from 3
4 and a fourth transport mechanism 2 in the discharge side purge section 6 thereof.
Fifth transport mechanism 2 for transporting the workpiece W delivered from 4
5 is provided.

【0016】その第1搬送機構21は、横軸回りに周回
駆動される無端体の外周上面により被処理材Wを搬送す
るコンベヤにより構成される。本実施形態では無端体と
してチェーン21aを用いるチェーンコンベヤが用いら
れている。この第1搬送機構21は、支持台2により支
持される第1巻き掛け駆動機構21bによって駆動され
る。
The first transport mechanism 21 is constituted by a conveyor for transporting the workpiece W by the upper surface of the endless body driven to rotate around the horizontal axis. In this embodiment, a chain conveyor using a chain 21a as an endless body is used. The first transport mechanism 21 is driven by a first winding drive mechanism 21b supported by the support table 2.

【0017】その第2搬送機構22は、搬送方向の間隔
をおいて並列する4本の横軸回りに回転するローラーに
より被処理材Wを搬送するローラーコンベヤにより構成
される。その4本のローラーの中で、第1搬送機構21
側の2本のローラー22aは自由回転するものとされ、
第3搬送機構23側の2本のローラー22b、22cは
支持台2により支持される第2、第3巻き掛け駆動機構
22d、22eによって駆動される。その第2巻き掛け
駆動機構22dは、モータ出力回転を第1搬送機構21
側の回転駆動ローラ22bにクラッチを介して増速して
伝達し、第3巻き掛け駆動機構22eモータは、出力回
転を第3搬送機構23側の回転駆動ローラ22cにクラ
ッチを介して減速して伝達する。これにより、その回転
駆動される2本のローラー22b、22cの一方は低速
回転駆動され、他方は高速回転駆動され、低速回転駆動
されるローラー22cは高速回転駆動されるローラー2
2bよりも第3搬送機構23寄りに配置される。
The second transport mechanism 22 is constituted by a roller conveyor which transports the workpiece W by four rollers rotating around a horizontal axis arranged in parallel at intervals in the transport direction. Among the four rollers, the first transport mechanism 21
The two rollers 22a on the side rotate freely,
The two rollers 22b and 22c on the third transport mechanism 23 side are driven by second and third winding drive mechanisms 22d and 22e supported by the support table 2. The second winding drive mechanism 22d transmits the motor output rotation to the first transport mechanism 21d.
The third winding drive mechanism 22e motor decelerates the output rotation to the third transport mechanism 23 side rotational drive roller 22c via the clutch, and transmits the output to the third rotational drive roller 22b via the clutch. introduce. As a result, one of the two rollers 22b and 22c driven to rotate is driven to rotate at low speed, the other is driven to rotate at high speed, and the roller 22c driven at low speed is driven by the roller 2c driven at high speed.
It is arranged closer to the third transport mechanism 23 than 2b.

【0018】その第3搬送機構23は、横軸回りに周回
駆動される無端体の外周上面により、被処理材Wを熱処
理に適した速度で搬送するコンベヤにより構成される。
本実施形態では無端体としてメッシュベルト23aを用
いるメッシュベルトコンベヤが用いられている。そのメ
ッシュベルト23aは、熱処理部3の本体10内に配置
される駆動ローラ23c、従動ローラ23d、およびフ
リーローラー23e、23fに巻き掛けられ、その駆動
ローラ23cは支持台2により支持される駆動機構23
bによって駆動される。そのメッシュベルト23aの一
部は、上記排気口10f、10gを介して本体10の外
部に位置するものとされている。
The third transport mechanism 23 is constituted by a conveyor for transporting the workpiece W at a speed suitable for the heat treatment by the outer peripheral upper surface of the endless body driven to rotate around the horizontal axis.
In the present embodiment, a mesh belt conveyor using a mesh belt 23a as an endless body is used. The mesh belt 23a is wound around a driving roller 23c, a driven roller 23d, and free rollers 23e and 23f arranged in the main body 10 of the heat treatment unit 3, and the driving roller 23c is supported by the support base 2 23
b. A part of the mesh belt 23a is located outside the main body 10 through the exhaust ports 10f and 10g.

【0019】その第4搬送機構24は、搬送方向の間隔
をおいて並列する4本の横軸回りに回転するローラーに
より被処理材Wを搬送するローラーコンベヤにより構成
される。その4本のローラーの中で、第3搬送機構23
側から1本目と3本目のローラー24aは自由回転する
ものとされ、残りの2本のローラー24b、24cは支
持台2により支持される第4、第5巻き掛け駆動機構2
4d、24eによって駆動される。その第4巻き掛け駆
動機構24dは、モータ出力回転を第5搬送機構25側
の回転駆動ローラ24bにクラッチを介して増速して伝
達し、第5巻き掛け駆動機構24eは、モータ出力回転
を第3搬送機構23側の回転駆動ローラ24cにクラッ
チを介して減速して伝達する。これにより、その回転駆
動される2本のローラー24b、24cの一方は低速回
転駆動され、他方は高速回転駆動され、低速回転駆動さ
れるローラー24cは高速回転駆動されるローラー24
bよりも第3搬送機構23寄りに配置される。
The fourth transport mechanism 24 is composed of a roller conveyor that transports the workpiece W by four rollers rotating around four horizontal axes arranged in parallel at intervals in the transport direction. Among the four rollers, the third transport mechanism 23
The first and third rollers 24a from the side are free to rotate, and the remaining two rollers 24b and 24c are the fourth and fifth winding drive mechanisms 2 supported by the support base 2.
4d and 24e. The fourth winding drive mechanism 24d transmits the motor output rotation to the rotation drive roller 24b on the fifth transport mechanism 25 side at an increased speed via a clutch, and the fifth winding drive mechanism 24e reduces the motor output rotation. The transmission is performed at a reduced speed via a clutch to the rotation drive roller 24c on the third transport mechanism 23 side. Thereby, one of the two rollers 24b and 24c driven to rotate is driven to rotate at a low speed, the other is driven to rotate at a high speed, and the roller 24c driven at a low speed is driven by the roller 24c driven at a high speed.
It is arranged closer to the third transport mechanism 23 than b.

【0020】その第5搬送機構25は、横軸回りに周回
駆動される無端体の外周上面により被処理材Wを搬送す
るコンベヤにより構成される。本実施形態では無端体と
してチェーン25aを用いるチェーンコンベヤが用いら
れている。この第5搬送機構25は、支持台2により支
持される第6巻き掛け駆動機構25bによって駆動され
る。
The fifth transport mechanism 25 is constituted by a conveyor which transports the material to be processed W by the upper peripheral surface of the endless body which is driven to rotate around the horizontal axis. In this embodiment, a chain conveyor using a chain 25a is used as an endless body. The fifth transport mechanism 25 is driven by a sixth winding drive mechanism 25b supported by the support table 2.

【0021】その第1搬送機構21と第5搬送機構25
の搬送速度は、第3搬送機構23の搬送速度よりも高速
とされている。その第2搬送機構22の搬送速度は、第
1搬送機構21から被処理材Wを受渡される時は第3搬
送機構23に被処理材Wを受渡す時よりも高速とされて
いる。その第4搬送機構24の搬送速度は、第3搬送機
構23から被処理材Wを受渡される時は第5搬送機構2
5に被処理材Wを受渡す時よりも低速とされている。
The first transport mechanism 21 and the fifth transport mechanism 25
Is higher than the transport speed of the third transport mechanism 23. The transport speed of the second transport mechanism 22 is higher when the workpiece W is delivered from the first transport mechanism 21 than when the workpiece W is delivered to the third transport mechanism 23. When the workpiece W is transferred from the third transport mechanism 23, the transport speed of the fourth transport mechanism 24 is set to the fifth transport mechanism 2.
5 is lower than when the workpiece W is delivered.

【0022】その第1搬送機構21から第2搬送機構2
2への被処理材Wの受渡し当初は、被処理材Wは第2搬
送機構22の自由回転するローラー22aにより搬送さ
れ、しかる後に第2巻き掛け駆動機構22dからの回転
伝達により高速回転駆動されるローラー22bにより搬
送される。その第1搬送機構21による搬送速度と高速
回転駆動されるローラー22bによる搬送速度は等しく
されている。この受渡しの完了前には、低速回転駆動さ
れるローラー22cが自由回転するように、そのローラ
ー22cへの第3巻き掛け駆動機構22eからの回転伝
達は切断される。その被処理材Wの第1搬送機構21か
ら第2搬送機構22への受渡し完了後であって、第2搬
送機構22から第3搬送機構23への受渡し前に、高速
回転駆動されるローラー22bが自由回転するように、
そのローラー22bへの第2巻き掛け駆動機構22dか
らの回転伝達は切断され、第3巻き掛け駆動機構22e
からの回転伝達により低速回転駆動されるローラー22
cにより被処理材Wは搬送される。しかる後に、第2搬
送機構22から第3搬送機構23へ被処理材Wが受渡さ
れる。これにより、被処理材Wの第1搬送機構21から
第2搬送機構22への受渡し時に、その第2搬送機構2
2の搬送速度は第1搬送機構21の搬送速度に同期さ
れ、被処理材Wの第2搬送機構22から第3搬送機構2
3への受渡し時に、その第2搬送機構22の搬送速度は
第3搬送機構23の搬送速度に同期される。
From the first transport mechanism 21 to the second transport mechanism 2
2, the workpiece W is transported by the freely rotating roller 22a of the second transport mechanism 22, and then is driven to rotate at a high speed by the rotation transmission from the second winding drive mechanism 22d. Rollers 22b. The transport speed of the first transport mechanism 21 is made equal to the transport speed of the roller 22b driven at high speed. Before the completion of the delivery, the rotation transmission from the third winding drive mechanism 22e to the roller 22c is cut off so that the roller 22c driven at a low speed rotates freely. After the delivery of the workpiece W from the first transport mechanism 21 to the second transport mechanism 22 is completed, and before the delivery from the second transport mechanism 22 to the third transport mechanism 23, the roller 22b that is driven to rotate at a high speed is To rotate freely,
The rotation transmission from the second winding drive mechanism 22d to the roller 22b is cut off, and the third winding drive mechanism 22e is cut off.
22 driven at low speed by rotation transmission from the roller 22
The workpiece W is conveyed by c. Thereafter, the workpiece W is delivered from the second transport mechanism 22 to the third transport mechanism 23. Thus, when the workpiece W is transferred from the first transport mechanism 21 to the second transport mechanism 22, the second transport mechanism 2
2 is synchronized with the transport speed of the first transport mechanism 21, and the transport speed of the workpiece W is changed from the second transport mechanism 22 to the third transport mechanism 2.
3, the transfer speed of the second transfer mechanism 22 is synchronized with the transfer speed of the third transfer mechanism 23.

【0023】その第3搬送機構23から第4搬送機構2
4への被処理材Wの受渡し当初は、被処理材Wは第4搬
送機構24の自由回転するローラー24aによる搬送さ
れ、しかる後に第5巻き掛け駆動機構24eからの回転
伝達により低速回転駆動されるローラー24cにより搬
送される。その第3搬送機構23による搬送速度と低速
回転駆動されるローラー24cによる搬送速度は等しく
されている。この受渡しの完了前には、高速回転駆動さ
れるローラー24bが自由回転するように、そのローラ
ー24bへの第4巻き掛け駆動機構24dからの回転伝
達は切断される。その被処理材Wの第3搬送機構23か
ら第4搬送機構24への受渡し完了後であって、第4搬
送機構24から第5搬送機構25への受渡し前に、低速
回転駆動されるローラー24cが自由回転するように、
そのローラー24cへの第5巻き掛け駆動機構24eか
らの回転伝達は切断され、第4巻き掛け駆動機構24d
からの回転伝達により高速回転駆動されるローラー24
bにより被処理材Wは搬送される。しかる後に、第4搬
送機構24から第5搬送機構25へ被処理材Wが受渡さ
れる。これにより、被処理材Wの第3搬送機構23から
第4搬送機構24への受渡し時に、その第4搬送機構2
4の搬送速度は第3搬送機構23の搬送速度に同期さ
れ、被処理材Wの第4搬送機構24から第5搬送機構2
5への受渡し時に、その第4搬送機構24の搬送速度は
第5搬送機構25の搬送速度に同期される。
From the third transport mechanism 23 to the fourth transport mechanism 2
At the beginning of the transfer of the workpiece W to the workpiece 4, the workpiece W is transported by the freely rotating roller 24a of the fourth transport mechanism 24, and then is driven to rotate at a low speed by the rotation transmission from the fifth winding drive mechanism 24e. Rollers 24c. The transport speed of the third transport mechanism 23 is made equal to the transport speed of the roller 24c driven at low speed. Before the completion of the delivery, the rotation transmission from the fourth winding drive mechanism 24d to the roller 24b is cut so that the roller 24b driven at high speed rotates freely. After the delivery of the workpiece W from the third transport mechanism 23 to the fourth transport mechanism 24 is completed, and before the delivery from the fourth transport mechanism 24 to the fifth transport mechanism 25, the roller 24c that is driven to rotate at a low speed is provided. To rotate freely,
The rotation transmission from the fifth winding driving mechanism 24e to the roller 24c is cut off, and the fourth winding driving mechanism 24d is cut off.
24 driven at high speed by rotation transmission from the roller 24
The workpiece W is transported by b. Thereafter, the workpiece W is delivered from the fourth transport mechanism 24 to the fifth transport mechanism 25. Thus, when the workpiece W is transferred from the third transport mechanism 23 to the fourth transport mechanism 24, the fourth transport mechanism 2
4 is synchronized with the transport speed of the third transport mechanism 23, and the fourth transport mechanism 24 of the workpiece W is moved from the fifth transport mechanism 2 to the fifth transport mechanism 2.
5, the transfer speed of the fourth transfer mechanism 24 is synchronized with the transfer speed of the fifth transfer mechanism 25.

【0024】上記構成により熱処理を行うには、先ず被
処理材Wを導入側パージ部4に導入する。この導入は第
1搬送機構21と同一の搬送速度のコンベヤ等により行
うのが好ましい。次に、その被処理材Wが導入された導
入側パージ部4内を、その導入側パージ部4の入口と熱
処理部3との接続口とを第1、第2扉15、16により
閉鎖した状態で、ガスパージまたは真空パージする。次
に、その導入側パージ部4と熱処理部3との接続口を開
き、第1搬送機構21から第2搬送機構22に搬送速度
が同期された状態で被処理材Wを受渡すことで、熱処理
部3内に被処理材Wを導入する。その熱処理部3内に導
入された被処理材Wを、第2搬送機構22から第3搬送
機構23に搬送速度が同期された状態で受渡し、その第
3搬送機構23により第1搬送機構21よりも低速で搬
送しつつ熱処理する。その第3搬送機構23から第4搬
送機構24に搬送速度が同期された状態で受渡された被
処理材Wを、熱処理部3から排出側パージ部6に排出す
る前に、その排出側パージ部6内を、その排出側パージ
部6の出口と熱処理部3との接続口とを第3、第4扉1
7、18により閉鎖した状態で、ガスパージまたは真空
パージする。次に、その熱処理部3と排出側パージ部6
との接続口を開き、第4搬送機構24から第5搬送機構
25に搬送速度が同期された状態で被処理材Wを受渡す
ことで、排出側パージ部6内に被処理材Wを排出する。
次に、排出側パージ部6と熱処理部3との接続口を閉鎖
した状態で、被処理材Wを第5搬送機構25により第3
搬送機構23よりも高速で排出側パージ部6から排出す
る。なお、第2搬送機構22、第4搬送機構24の速度
変更タイミングの制御や各扉15、16、17、18の
開閉タイミングの制御は、公知の制御機構を用いて行え
ばよく、例えばセンサにより検出した被処理材Wの位置
に応じて速度変更や開閉を行えばよい。
To perform the heat treatment with the above configuration, first, the material to be treated W is introduced into the introduction-side purge section 4. This introduction is preferably performed by a conveyor or the like having the same transfer speed as the first transfer mechanism 21. Next, the inside of the introduction-side purge section 4 into which the material to be treated W has been introduced, the entrance of the introduction-side purge section 4 and the connection port with the heat treatment section 3 are closed by the first and second doors 15 and 16. In this state, gas purge or vacuum purge is performed. Next, by opening the connection port between the introduction-side purge unit 4 and the heat treatment unit 3, the workpiece W is delivered from the first transport mechanism 21 to the second transport mechanism 22 with the transport speed synchronized. The workpiece W is introduced into the heat treatment unit 3. The workpiece W introduced into the heat treatment unit 3 is transferred from the second transport mechanism 22 to the third transport mechanism 23 in a state where the transport speed is synchronized, and the third transport mechanism 23 transfers the workpiece W from the first transport mechanism 21. Is also heat-treated while being transported at a low speed. Before discharging the workpiece W delivered from the third transport mechanism 23 to the fourth transport mechanism 24 in a state where the transport speed is synchronized with the fourth transport mechanism 24, the discharge side purge unit 6, the outlet of the discharge side purge section 6 and the connection port with the heat treatment section 3 are connected to the third and fourth doors 1.
In the state closed by 7 and 18, gas purge or vacuum purge is performed. Next, the heat treatment section 3 and the discharge side purge section 6
Is opened, and the workpiece W is delivered from the fourth transport mechanism 24 to the fifth transport mechanism 25 in a state where the transport speed is synchronized, thereby discharging the workpiece W into the discharge-side purge unit 6. I do.
Next, in a state where the connection port between the discharge side purge unit 6 and the heat treatment unit 3 is closed, the processing target material W is transported by the fifth transport mechanism 25 to the third position.
It is discharged from the discharge side purge unit 6 at a higher speed than the transport mechanism 23. Note that the control of the speed change timing of the second transport mechanism 22 and the fourth transport mechanism 24 and the control of the opening / closing timing of each of the doors 15, 16, 17, and 18 may be performed using a known control mechanism. The speed may be changed or opened / closed according to the detected position of the workpiece W.

【0025】上記構成によれば、被処理材Wを導入側パ
ージ部4内に導入する時、導入側パージ部4と熱処理部
3との接続口は閉鎖されるので、熱処理部への外気の拡
散は防止される。その被処理材Wが導入された導入側パ
ージ部4内をガスパージまたは真空パージする時、その
導入側パージ部4の入口と熱処理部3との接続口とは閉
鎖されるので、熱処理部3への外気の拡散は防止され
る。そのガスパージまたは真空パージ後に、導入側パー
ジ部4と熱処理部3との接続口から熱処理部3内に被処
理材Wが導入されるので、熱処理部3内への外気拡散が
防止され、熱処理部3内の酸素濃度変動が防止される。
また、排出側パージ部6に被処理材Wを排出する前に、
排出側パージ部6内をガスパージまたは真空パージする
時、その排出側パージ部6の出口と熱処理部3との接続
口とは閉鎖されるので、熱処理部3への外気の拡散は防
止される。そのガスパージまたは真空パージ後に、排出
側パージ部6と熱処理部3との接続口から排出側パージ
部6内に被処理材Wが排出されるので、熱処理部3内へ
の外気拡散が防止され、熱処理部3内の酸素濃度変動が
防止される。被処理材Wを排出側パージ部6から外部に
排出する時、排出側パージ部6と熱処理部3との接続口
は閉鎖されるので、熱処理部3への外気の拡散は防止さ
れる。被処理材Wの導入側パージ部4内と排出側パージ
部6内での搬送速度を、熱処理部3内の熱処理時領域に
おける搬送速度よりも高速とし、その熱処理部3内にお
いて、被処理材Wの搬送速度を熱処理領域に至る前に減
速すると共に熱処理領域を過ぎた後に増速するので、被
処理材Wの導入側パージ部4から熱処理部3への導入時
と、熱処理部3から排出側パージ部6への排出時におい
て、その熱処理領域におけるよりも搬送速度を高速に
し、熱処理部3への外気の拡散をより防止でき、これに
より雰囲気ガスの消費量を低減できる。例えば、メッシ
ュベルト23aの幅を400mm、熱処理部3に導入可
能な被処理材Wの有効高さを250mmとした場合、パ
ージ部4、6を設置しない場合は50〜60m3 /hの
雰囲気ガスが消費されるのに対して、各パージ部4、6
においてガスパージを行った場合、その消費量を21m
3 /hに低減でき、真空パージを行った場合、その消費
量を16m3 /hに低減できた。また、各搬送機構2
1、22、23、24、25間で被処理材Wを搬送速度
を同期した状態で受渡すので、被処理材Wを円滑に搬送
できる。また、被処理材Wを第1搬送機構21から第2
搬送機構22に高速回転駆動されるローラーを介して受
渡し、次に低速回転駆動されるローラーを介して第3搬
送機構23に受渡し、次に第3搬送機構23から第4搬
送機構24に低速回転駆動されるローラーを介して受渡
し、次に高速回転駆動されるローラーを介して第5搬送
機構25に受渡すことができる。これにより、各搬送機
構間での被処理材Wの受渡しを円滑に行うことができる
だけでなく、複数の被処理材Wの熱処理を行う場合に、
前方の被処理材Wを第2搬送機構22から第3搬送機構
23に受渡すと同時に、後方の被処理材Wを第1搬送機
構21から第2搬送機構22に受渡し、また、前方の被
処理材Wを第4搬送機構24から第5搬送機構25に受
渡すと同時に、後方の被処理材Wを第3搬送機構23か
ら第4搬送機構24に受渡すことが可能になり、搬送効
率を向上できる。
According to the above configuration, when the workpiece W is introduced into the introduction-side purge section 4, the connection port between the introduction-side purge section 4 and the heat treatment section 3 is closed. Spreading is prevented. When the inside of the introduction side purge section 4 into which the material to be treated W is introduced is subjected to gas purging or vacuum purging, the inlet of the introduction side purge section 4 and the connection port with the heat treatment section 3 are closed. Of the outside air is prevented. After the gas purge or the vacuum purge, the material to be treated W is introduced into the heat treatment section 3 from the connection port between the introduction side purge section 4 and the heat treatment section 3, so that the diffusion of outside air into the heat treatment section 3 is prevented. The fluctuation of the oxygen concentration in 3 is prevented.
Before discharging the workpiece W to the discharge-side purge unit 6,
When the inside of the discharge side purge section 6 is subjected to gas purge or vacuum purge, the outlet of the discharge side purge section 6 and the connection port with the heat treatment section 3 are closed, so that the diffusion of outside air to the heat treatment section 3 is prevented. After the gas purge or the vacuum purge, the workpiece W is discharged into the discharge-side purge unit 6 from the connection port between the discharge-side purge unit 6 and the heat-treating unit 3, so that the outside air is prevented from diffusing into the heat-treating unit 3. Oxygen concentration fluctuation in the heat treatment unit 3 is prevented. When the material to be treated W is discharged from the discharge-side purge section 6 to the outside, the connection port between the discharge-side purge section 6 and the heat treatment section 3 is closed, so that diffusion of outside air to the heat treatment section 3 is prevented. The transport speed of the workpiece W in the introduction-side purge unit 4 and the discharge-side purge unit 6 is set to be higher than the transport speed in the heat treatment area in the heat treatment unit 3. Since the transport speed of W is reduced before reaching the heat treatment region and increased after passing through the heat treatment region, the material W is introduced into the heat treatment unit 3 from the introduction side purge unit 4 and discharged from the heat treatment unit 3. At the time of discharge to the side purge section 6, the transfer speed is made higher than that in the heat treatment area, and the diffusion of the outside air to the heat treatment section 3 can be further prevented, whereby the consumption of the atmosphere gas can be reduced. For example, when the width of the mesh belt 23a is 400 mm, the effective height of the workpiece W that can be introduced into the heat treatment unit 3 is 250 mm, and when the purge units 4 and 6 are not provided, the atmosphere gas is 50 to 60 m 3 / h. Is consumed, while the purge units 4 and 6
When the gas purge was performed in
3 / h, and when vacuum purging was performed, the consumption was reduced to 16 m 3 / h. Each transport mechanism 2
Since the workpiece W is transferred between 1, 22, 23, 24, and 25 in a state where the transport speed is synchronized, the workpiece W can be transported smoothly. Further, the workpiece W is transferred from the first transport mechanism 21 to the second
Transfer to the transport mechanism 22 via a roller driven at a high speed, then deliver to a third transport mechanism 23 via a roller driven at a low speed, and then rotate from the third transport mechanism 23 to a fourth transport mechanism 24 at a low speed. It can be delivered via a driven roller and then delivered to the fifth transport mechanism 25 via a roller driven at high speed. Thereby, not only can the delivery of the workpiece W between the transport mechanisms be performed smoothly, but also when performing the heat treatment of a plurality of workpieces W,
At the same time as the front workpiece W is delivered from the second transport mechanism 22 to the third transport mechanism 23, the rear workpiece W is delivered from the first transport mechanism 21 to the second transport mechanism 22. At the same time as transferring the processing material W from the fourth transport mechanism 24 to the fifth transport mechanism 25, it is possible to transfer the material to be processed W from the third transport mechanism 23 to the fourth transport mechanism 24, thereby improving the transport efficiency. Can be improved.

【0026】なお、本発明は上記実施形態に限定されな
い。例えば、熱処理部やパージ部等の形態は特に限定さ
れない。また、第2、第4搬送機構のローラーコンベヤ
として高速回転駆動されるローラと低速回転駆動される
ローラとを有するものを示したが、同一ローラの駆動速
度を高速と低速との間で切り換えるようにしてもよい。
また、上記実施形態においては第1、第5搬送機構の種
類としてチェーンコンベヤを示し、第2、第4搬送機構
としてローラーコンベヤを示したが、各搬送機構の種類
はこれに限定されるものではない。さらに、上記実施形
態においては第1搬送機構と第5搬送機構とを共にチェ
ーンコンベヤとしたが互いに異なる種類の搬送機構とし
てもよく、第2搬送機構と第4搬送機構とを共にローラ
ーコンベヤとしたが互いに異なる種類の搬送機構として
もよい。
The present invention is not limited to the above embodiment. For example, the form of the heat treatment section or the purge section is not particularly limited. In addition, although the roller conveyors of the second and fourth transport mechanisms have a roller driven at a high speed and a roller driven at a low speed, the driving speed of the same roller is switched between a high speed and a low speed. It may be.
In the above embodiment, a chain conveyor is shown as the first and fifth transport mechanisms, and a roller conveyor is shown as the second and fourth transport mechanisms. However, the types of each transport mechanism are not limited to this. Absent. Furthermore, in the above embodiment, the first and fifth transport mechanisms are both chain conveyors, but may be different types of transport mechanisms. Both the second transport mechanism and the fourth transport mechanism may be roller conveyors. May be different types of transport mechanisms.

【0027】[0027]

【発明の効果】本発明によれば、被処理材の品質を悪化
させることなく、被処理材の大きさに影響されることな
く、雰囲気ガス消費量を低減でき、熱効率とスループッ
トを向上でき、しかも被処理材を効率良く円滑に搬送で
きる連続熱処理方法および熱処理炉を提供できる。
According to the present invention, the consumption of the atmosphere gas can be reduced, the thermal efficiency and the throughput can be improved without deteriorating the quality of the material to be treated and without being affected by the size of the material to be treated. Moreover, it is possible to provide a continuous heat treatment method and a heat treatment furnace capable of efficiently and smoothly transporting the material to be treated.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施形態の連続熱処理炉の導入側の側
断面図
FIG. 1 is a sectional side view of an introduction side of a continuous heat treatment furnace according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施形態の連続熱処理炉の排出側の側
断面図
FIG. 2 is a sectional side view of the discharge side of the continuous heat treatment furnace according to the embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

3 熱処理部 4 導入側パージ部 6 排出側パージ部 15、16、17、18 扉 21 第1搬送機構 22 第2搬送機構 23 第3搬送機構 24 第4搬送機構 25 第5搬送機構 Reference Signs List 3 heat treatment section 4 introduction side purge section 6 discharge side purge section 15, 16, 17, 18 door 21 first transport mechanism 22 second transport mechanism 23 third transport mechanism 24 fourth transport mechanism 25 fifth transport mechanism

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 導入側パージ部に導入された被処理材
を、雰囲気ガスが導入される熱処理部を経て排出側パー
ジ部から排出するまで、連続的に搬送しつつ熱処理する
方法であって、 被処理材を導入側パージ部内に導入し、 その被処理材が導入された導入側パージ部内を、その導
入側パージ部の入口と熱処理部との接続口とを閉鎖した
状態で、ガスパージまたは真空パージし、 次に、その導入側パージ部と熱処理部との接続口を開い
て熱処理部内に被処理材を導入し、 その熱処理部内に導入された被処理材を搬送しつつ熱処
理し、 その熱処理部から排出側パージ部に被処理材を排出する
前に、その排出側パージ部内を、その排出側パージ部の
出口と熱処理部との接続口とを閉鎖した状態で、ガスパ
ージまたは真空パージし、 次に、その熱処理部と排出側パージ部との接続口を開い
て排出側パージ部内に被処理材を排出し、 次に、その被処理材を排出側パージ部から排出するに際
して、 被処理材の導入側パージ部内と排出側パージ部内での搬
送速度を、熱処理部内の熱処理領域における搬送速度よ
りも高速とし、 その熱処理部内において、被処理材の搬送速度を熱処理
領域に至る前に減速すると共に熱処理領域を過ぎた後に
増速する連続熱処理方法。
1. A method of performing a heat treatment while continuously transporting a material to be treated introduced into an introduction-side purge section through a heat treatment section into which an atmospheric gas is introduced and discharging it from a discharge-side purge section. The material to be treated is introduced into the introduction-side purge section, and the inside of the introduction-side purge section into which the material to be treated has been introduced is purged with a gas purge or vacuum while closing the inlet of the introduction-side purge section and the connection port with the heat treatment section. Next, the connection between the introduction side purge section and the heat treatment section is opened, and the material to be treated is introduced into the heat treatment section. The material introduced into the heat treatment section is subjected to heat treatment while being conveyed. Before discharging the material to be processed to the discharge-side purge section from the section, the inside of the discharge-side purge section, with the outlet of the discharge-side purge section and the connection port with the heat treatment section closed, gas purge or vacuum purge, Next, the heat treatment Opening the connection port between the discharge section and the discharge side purge section to discharge the material to be processed into the discharge side purge section, and then discharging the material to be processed from the discharge side purge section, the inside of the introduction side purge section of the material to be processed is discharged. The transfer speed in the purge section on the discharge side is set higher than the transfer speed in the heat treatment area in the heat treatment section, and in the heat treatment section, the transfer speed of the material to be treated is reduced before reaching the heat treatment area and the heat treatment area is passed. A continuous heat treatment method that increases speed later.
【請求項2】 雰囲気ガスが導入される熱処理部と、 その熱処理部に接続される導入側パージ部と、 その熱処理部に接続される排出側パージ部と、 その導入側パージ部の入口、その導入側パージ部と熱処
理部との接続口、その熱処理部と排出側パージ部との接
続口、および排出側パージ部の出口の開閉手段と、 その導入側パージ部内を、ガスパージまたは真空パージ
する手段と、 その排出側パージ部内を、ガスパージまたは真空パージ
する手段と、 その導入側パージ部内において被処理材を搬送する第1
搬送機構と、 その熱処理部内の導入側において前記第1搬送機構から
受渡された被処理材を搬送する第2搬送機構と、 その熱処理部内の導入側と排出側との間の熱処理領域に
おいて前記第2搬送機構から受渡された被処理材を搬送
する第3搬送機構と、 その熱処理部内の排出側において前記第3搬送機構から
受渡された被処理材を搬送する第4搬送機構と、 その排出側パージ部内において前記第4搬送機構から受
渡された被処理材を搬送する第5搬送機構とを備え、 前記第1、第5搬送機構の搬送速度は前記第3搬送機構
の搬送速度よりも高速とされ、 前記第2搬送機構の搬送速度は、前記第1搬送機構から
被処理材を受渡される時は前記第3搬送機構に被処理材
を受渡す時よりも高速とされ、 前記第4搬送機構の搬送速度は、前記第3搬送機構から
被処理材を受渡される時は前記第5搬送機構に被処理材
を受渡す時よりも低速とされることを特徴とする連続熱
処理炉。
2. A heat treatment section to which an atmosphere gas is introduced, an introduction purge section connected to the heat treatment section, a discharge purge section connected to the heat treatment section, an inlet of the introduction side purge section, A connection port between the introduction-side purge section and the heat-treatment section, a connection port between the heat-treatment section and the discharge-side purge section, and an opening / closing means for an outlet of the discharge-side purge section, and a means for purging the inside of the introduction-side purge section with a gas purge or vacuum. Means for purging the inside of the discharge-side purge section with a gas purge or vacuum, and a first means for transporting the material to be processed in the introduction-side purge section.
A transport mechanism, a second transport mechanism for transporting the workpiece transferred from the first transport mechanism on the introduction side in the heat treatment unit, and a second transport mechanism in the heat treatment area between the introduction side and the discharge side in the heat treatment unit. A third transport mechanism for transporting the workpiece transferred from the second transport mechanism, a fourth transport mechanism for transporting the workpiece delivered from the third transport mechanism at a discharge side in the heat treatment unit, and a discharge side thereof And a fifth transport mechanism for transporting the workpiece transferred from the fourth transport mechanism in the purge section, wherein the transport speeds of the first and fifth transport mechanisms are higher than the transport speed of the third transport mechanism. The transport speed of the second transport mechanism is higher when the workpiece is delivered from the first transport mechanism than when the workpiece is delivered to the third transport mechanism. The transport speed of the mechanism is the third A continuous heat treatment furnace, wherein the speed of the material to be processed is transferred at a lower speed when the material to be processed is delivered from the transport mechanism than when the material to be processed is delivered to the fifth transport mechanism.
【請求項3】 被処理材の第1搬送機構から第2搬送機
構への受渡し時に、その第2搬送機構の搬送速度は第1
搬送機構の搬送速度に同期され、 被処理材の第2搬送機構から第3搬送機構への受渡し時
に、その第2搬送機構の搬送速度は第3搬送機構の搬送
速度に同期され、 被処理材の第3搬送機構から第4搬送機構への受渡し時
に、その第4搬送機構の搬送速度は第3搬送機構の搬送
速度に同期され、 被処理材の第4搬送機構から第5搬送機構への受渡し時
に、その第4搬送機構の搬送速度は第5搬送機構の搬送
速度に同期される請求項2に記載の連続熱処理炉。
3. When the material to be processed is transferred from the first transport mechanism to the second transport mechanism, the transport speed of the second transport mechanism is equal to the first speed.
When the workpiece is transferred from the second transport mechanism to the third transport mechanism, the transport speed of the second transport mechanism is synchronized with the transport speed of the third transport mechanism, and is synchronized with the transport speed of the transport mechanism. At the time of delivery from the third transport mechanism to the fourth transport mechanism, the transport speed of the fourth transport mechanism is synchronized with the transport speed of the third transport mechanism, and the material to be processed is transferred from the fourth transport mechanism to the fifth transport mechanism. 3. The continuous heat treatment furnace according to claim 2, wherein the transfer speed of the fourth transfer mechanism is synchronized with the transfer speed of the fifth transfer mechanism at the time of delivery.
【請求項4】 前記第1、第3、第5搬送機構は、周回
駆動される無端体により被処理材を搬送するコンベヤに
より構成され、 前記第2、第4搬送機構は、搬送方向の間隔をおいて並
列する複数のローラーにより被処理材を搬送するコンベ
ヤにより構成され、 その第2搬送機構における複数のローラーは、低速回転
駆動されるものと高速回転駆動されるものとを有し、そ
の低速回転駆動されるローラーは高速回転駆動されるロ
ーラーよりも第3搬送機構寄りに配置され、 その第4搬送機構における複数のローラーは、低速回転
駆動されるものと高速回転駆動されるものとを有し、そ
の低速回転駆動されるローラーは高速回転駆動されるロ
ーラーよりも第3搬送機構寄りに配置される請求項2ま
たは3に記載の連続熱処理炉。
4. The first, third, and fifth transport mechanisms are configured by a conveyor that transports a material to be processed by an endless body that is driven to rotate, and the second and fourth transport mechanisms are spaced apart in a transport direction. A plurality of rollers in the second transport mechanism have a low-speed rotational drive and a high-speed rotational drive, and the second transport mechanism has a plurality of rollers that transport the material to be processed by a plurality of parallel rollers. The roller driven at a low speed is disposed closer to the third transport mechanism than the roller driven at a high speed. The plurality of rollers in the fourth transport mechanism are divided into a roller driven at a low speed and a roller driven at a high speed. 4. The continuous heat treatment furnace according to claim 2, wherein the roller driven at a low speed is disposed closer to the third transport mechanism than the roller driven at a high speed. 5.
【請求項5】 前記第1、第5搬送機構はチェーンコン
ベヤにより構成され、第3搬送機構はメッシュベルトコ
ンベヤにより構成される請求項4に記載の連続熱処理
炉。
5. The continuous heat treatment furnace according to claim 4, wherein the first and fifth transport mechanisms are constituted by a chain conveyor, and the third transport mechanism is constituted by a mesh belt conveyor.
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