JP2000137181A - マルチビーム走査光学装置 - Google Patents

マルチビーム走査光学装置

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JP2000137181A
JP2000137181A JP10312920A JP31292098A JP2000137181A JP 2000137181 A JP2000137181 A JP 2000137181A JP 10312920 A JP10312920 A JP 10312920A JP 31292098 A JP31292098 A JP 31292098A JP 2000137181 A JP2000137181 A JP 2000137181A
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scanning
lens
scanning direction
light
sub
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JP10312920A
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English (en)
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Makoto Kamioka
誠 上岡
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来のマルチビーム走査光学系ではビーム間
を調整するナイフエッジ後にあるフォトセンサーを受光
面積の大きいものを使用し、センサー部のスペース、セ
ンサーの選択余地が少ない。またナイフエッジ部でのビ
ーム径をピッチ調整に適したサイズに変えることができ
ないという問題がある。 【解決手段】 センサー部11への光路、ビームスプリ
ッタ4とフォトセンサー12の光路に集光レンズ51を
設けることで、フォトセンサー12を省スペース化し、
また集光レンズ51によってナイフエッジ13での副走
査方向のビーム径を調整に最適なサイズに調整する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ビーム走査するこ
とで画像を形成する電子写真装置等のビーム走査装置に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来から、ビーム走査光学系は電子写真
プロセスおける画像書き込みとして用いられ、コンピュ
ータやファクシミリの出力装置であるレーザビームプリ
ンタ、レーザFAX等に搭載されている。最近では高
速、高解像度をさらに上げるため、複数のビームによる
走査光学装置への要求が高まりつつある。
【0003】以下に、従来のマルチビームを走査するマ
ルチビーム走査光学装置について説明する。
【0004】図7は従来のマルチビーム走査光学装置の
説明図である。図7において、1a、1bは第一光源、
第二光源、2a、2bは光源からのビームを概平行光と
するコリメータレンズ、3a、3bは副走査方向にビー
ムを絞り込むシリンドリカルレンズ、4は2つ光源から
のビームの光軸を合わせるためのビームスプリッタ、5
はビームを偏向する偏向器、6は偏向器5の偏向面、7
は偏向されたビームを被走査面上に結像させる走査レン
ズ系、8はビームを被走査面に導くためのミラー、9は
各ビームの同期を検出する同期検出器、10は被走査
面、11は偏向面6と光学的に等価な位置に設けられた
センサー部、12はフォトセンサー、13はナイフエッ
ジ、14はシリンドリカルレンズ3aを副走査方向に移
動させる光路補正機構、15は光路補正機構14を駆動
させる光路補正駆動回路、16はハウジング、17は光
源1aからのビーム、18は光源1bのビーム、19は
光源1aの駆動回路、20は光源1bの駆動回路、21
はフォトセンサー12の基板である。
【0005】以上のように構成されたマルチビーム走査
光学装置について以下にその動作を説明する。
【0006】各光源1a、1bからのビームはコリメー
タレンズ2a、2bによって概平行光に整形される。整
形された各々のビームはシリンドリカルレンズ3a、3
bによって副走査方向のみ集光され、ビームスプリッタ
4によって光軸を合せ、偏向器5の偏向面6に照射させ
る。偏向面6に照射されたビームは偏向器5によって偏
向され、走査レンズ系7により被走査面10で集光、等
速で走査する。毎回走査されるビームの同期は被走査面
10の画像領域を走査する前の位置にある同期検出器9
をビームが通過することで検出し、同期検出後、所定の
タイミングで被走査面10を画像データに応じたビーム
照射を行う。ビーム照射される被走査面10は副走査方
向に移動するため、被走査面10上に2次元の画像デー
タに対応したビーム照射像を得ることになる。マルチビ
ーム走査光学装置は走査するビームが2つのビームで行
うため、1のビームで走査する場合に比べ、分解像度、
あるいは印字速度を向上することができる。
【0007】このようなマルチビーム走査光学装置での
重要な課題は走査される2つのビームピッチ(副走査方
向のビーム間隔)を精度良く合わせることである。
【0008】図8は、従来のマルチビーム走査光学装置
における走査例の説明図であり、(a)はビームピッチ
が所定値に合されている場合の画像、(b)は合わされ
ていない場合の画像を表わしている。図8(b)のよう
にビームピッチが合っていないと、ビームの走査毎にラ
イン間隔の狭い部分と広い部分が表れ、画像を著しく劣
化させていることがわかる。このようなマルチビーム走
査光学装置でのビームピッチを組立時に所定値に合わせ
て固定できれば良い訳であるが、実際は、経時変化、環
境変化等によってビームピッチを長期に亘って精度良く
保つことは難しい。そのため、ビームピッチを何らかの
調整手段によって印字開始前に合わせる方法が用いられ
ている。
【0009】次に、このビームピッチ合わせについて説
明する。図7に示すように、ビームピッチ合わせは、光
路補正機構14が設けられていない第二光源1bのビー
ムを基準に第一光源1aのビームを所定のビームピッチ
に合せるような調整を行う。先ず、第二光源1bのビー
ムを照射させ、ビームスプリッタ4によって偏向面6と
は別の方向(センサー部11への方向)に出射されるビ
ームを用いてビームの位置を検出する。ナイフエッジ1
3は光学的に偏向面6と等価な位置に設けられており、
ナイフエッジ13のエッジ部は所定の副走査方向の位置
に設定されている。従って、第二光源1bからにビーム
はこのナイフエッジ13によってビームの一部が遮ら
れ、フォトセンサー12に入射する光量を変化させる。
【0010】この時のナイフエッジ13とビームの位置
関係を図9に示す。図9の横軸はナイフエッジ13を原
点にとったビームまでの距離を示している。ナイフエッ
ジ13に遮断される方向をマイナス、その反対の方向を
プラスとしている。また縦軸はビームの各位置における
光量に比例するセンサー出力を表わしている。(a)位
置にビームがある場合、ビームはナイフエッジ13に遮
られるので、センサー出力はPaとなり、(b)、
(c)位置にビームがある場合はそれぞれ、Pb,Pc
のセンサー出力を示す。ナイフエッジ13にビームが近
接すると、ナイフエッジ13との距離によってセンサー
出力が急激に変化するため、数十μm間隔のビーム位置
を精度良く検出することができる。センサー出力の距離
による出力曲線はナイフエッジ13での副走査方向のビ
ーム径によって決定される。このようにセンサー出力か
らビームがナイフエッジ13とどの程度離れた距離にあ
るかを検出することが可能となる。
【0011】図10(a)は従来のマルチビーム走査光
学装置のビームピッチに関係する部分のみ取り出した図
であり、図10(b)はセンサー部11のナイフエッジ
13でのビーム形状を表している。図10からわかるよ
うに、ナイフエッジ13でのビーム形状は副走査方向に
はシリンドリカルレンズ3a、3bで集光された線状で
ある。これは偏向器5の面倒れを補正するためで、副走
査方向に対して偏向面6と被走査面10を光学的に共役
関係をとる必要があり、副走査方向を点光源に近い構成
とするためである。このような理由で偏向面6及び偏向
面6と光学的に等価な位置にあるナイフエッジ13での
ビーム形状は横長なビームとなっている。
【0012】ナイフエッジ13に対する第二光源1bの
位置を検出した後、第二光源1bの照射をやめ、第一光
源1aの照射を行う。第一光源1aのビームがナイフエ
ッジ13によって遮られる光量によって第二光源1bの
副走査位置を検出し、光路補正機構14によってシリン
ドリカルレンズ3aの位置を副走査方向に移動させる。
ビームはシリンドリカルレンズ3aの副走査方向の移動
に伴って偏向面でのビーム位置を変えていく。
【0013】例えば、図9で第二光源1bからのビーム
がaの位置にあった場合、第一光源1aビームをシリン
ドリカルレンズ3aによって移動させ、センサー出力が
Pcとなる点で止めれば、ビームピッチは偏向面6でL
の距離で調整されたことになる。ビームピッチに応じた
ビーム移動の制御は、センサー出力Pbよりセンサー出
力が低い時をLレベル、高い時をHレベルとし、光路補
正機構14によってシリンドリカルレンズ3aを副走査
方向に移動させる。センサー出力がHの場合はLレベル
になる方へシリンドリカルレンズ3aを、またHレベル
の場合はLレベルになる方向にシリンドリカルレンズ3
aを移動させ、レベル変化を生じた点で停止する方法が
ある。Pcレベルの設定には、光学装置を組む際にビー
ムピッチが所定の間隔になるように可変ボリューム等を
調整しておけばよい。一度Pcを設定しておけば、ビー
ム照射前、あるいは定期的にピッチ合わせを実効するこ
とで、長期に亘ってビームピッチの精度を保つことがで
きる。
【0014】以上のような調整を行うことで、2つのビ
ームピッチ精度の良いマルチビーム走査光学装置で提供
することができる。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成ではナイフエッジ13でのビーム形状が主走査
方向に長い形状となっていたため、ビームのすべての光
量をフォトセンサー12に照射するには受光面の大きな
ものを用いる必要があり、汎用のフォトセンサー12で
の選択余地は少ない。また、組立によるフォトセンサー
12への光路バラツキやフォトセンサー12の取付位置
バラツキがあるので、フォトセンサー12へビームの光
量を全て入射することは難しい。更に、ナイフエッジ1
3での副走査方向のビーム径によってピッチ補正できる
範囲が決定されるため、合わせるビームピッチ値によっ
てはピッチ補正可能な範囲を越え、ピッチ補正を精度良
くできないという問題を有していた。
【0016】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、受光面の小さいセンサーを使用でき、省スペース
化、センサーのS/N比の向上、部品、センサー等の取
付精度の緩和、ピッチ調整範囲の最適化が可能なマルチ
ビーム走査光学装置を提供することを目的としている。
【0017】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、ビームピッチ調整に用いるフォトセンサ
ーの受光面にビームが照射するようビームスプリッタと
フォトセンサーの光路にレンズを設けたことにより、小
さな受光面のフォトセンサーでも光量をほとんど照射で
き、S/N比を向上し、また組立時でのセンサー部への
光路ズレも小さくできる。
【0018】また、レンズとして主走査方向のみ集光さ
せるシリンドリカルレンズを用いることで、副走査方向
のビーム径(パワー分布)はシリンドリカルレンズのな
い状態とほぼ同じであり、副走査方向のピッチを精度良
く検出できる。
【0019】また、主副走査方向に集光させるレンズを
用いることで、ナイフエッジでビームピッチを調整でき
る範囲を適切なものに設定することができる。
【0020】また、主走査方向を集光させるシリンドリ
カルレンズを光軸中心に回転させることで、ナイフエッ
ジでのビームピッチ調整に適した副走査方向のビーム径
に簡単に調整することができる。
【0021】また、センサー部のナイフエッジを副走査
方向に移動できる構成することでビームピッチに適した
ナイフエッジの位置調整が容易となる。
【0022】
【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、2つの光源と、前記2つの光源を独立に駆動する駆
動回路と、前記2つの光源を概平行光に整形する各々の
コリメータレンズと、前記コリメータレンズから出射す
るビームを副走査方向(偏向器の回転軸方向)のみ集光
させるシリンドリカルレンズと、前記2つの光源から出
射されるビームの光軸を概略一致させるビームスプリッ
タと、前記ビームスプリッタから出射されたビームの前
記シリンドリカルレンズの集光点近傍に偏向面を有する
偏向器と、前記偏向器で偏向されたビームを被走査面で
走査させる走査レンズ系と、各々のビームの同期を検出
する同期検出器と、前記光源と前記偏向器の間に設けら
れた前記2つの光源のうち少なくとも1つのビームを副
走査方向に移動させる光路補正機構と、前記ビームスプ
リッタから前記偏向面とは別な方向に出射されるビーム
の前記偏向面と光学的に等価な位置に設けられたナイフ
エッジを有するセンサー部と、前記ビームスプリッタと
前記センサー部の間に設けられた集光レンズと、前記セ
ンサー部の出力により前記光路補正機構を制御する光路
制御回路部を有することを特徴とするマルチビーム走査
光学装置であり、センサー部へのビームを絞ることで受
光面の小さなセンサー使用を可能とし省スペース化、組
立でのセンサー部への光路ズレの低減、センサーのS/
Nのアップを図る作用を有する。
【0023】本発明の請求項2に記載の発明は前記集光
レンズが主走査方向を集光するシリンドリカルレンズで
あることを特徴とする請求項1に記載のマルチビーム走
査光学装置であり、請求項1の作用に加え、主走査方向
のビームのみを絞ることでナイフエッジ部の副走査方向
のビーム径を変えずにフォトセンサーへ照射する光量を
増加させる作用を有する。
【0024】本発明の請求項3に記載の発明は前記集光
レンズが主走査副及び走査方向に集光するレンズである
ことを特徴とする請求項1に記載のマルチビーム走査光
学装置であって、請求項2の作用に加えてナイフエッジ
部での副走査方向のビーム径を最適化することで、ナイ
フエッジを用いた位置検出範囲を最適化するし、また小
さな受光面積のフォトセンサーを使用できる作用を有す
る。
【0025】本発明の請求項4に記載の発明は前記集光
レンズが主走査方向を集光するシリンドリカルレンズで
あって、光軸を中心に回転可能であることを特徴とする
請求項1に記載のマルチビーム走査光学装置であって、
ピッチ調整を行う際、副走査方向のビーム径をわずか変
化させ、ピッチ調整に適した副走査方向のビーム径に合
せる作用を有する。
【0026】本発明の請求項5に記載の発明は前記ナイ
フエッジを副走査方向に移動できる構成であることを特
徴とする請求項1から4に記載のマルチビーム走査光学
装置であって、挿入したレンズによってナイフエッジの
基準位置とセンサーへのビームの位置にズレを生じた場
合、ナイフエッジの副走査方向の補正を行う作用を有す
る。
【0027】以下、本発明の一実施の形態に係るマルチ
ビーム走査光学装置について説明する。
【0028】図1は本発明の一実施の形態に係るマルチ
ビーム走査光学装置の構成図であり、本装置のビームピ
ッチに関する部分の構成を示している。従来の技術と異
なる点は、ビームスプリッタとフォトセンサーの間に集
光レンズを設けたことである。図1の51は集光レン
ズ、52はフォトセンサーの受光面である。マルチビー
ム走査光学装置の動作は従来の技術と同様であるため、
説明を省略し、集光レンズ51を用いた場合のピッチ調
整について以下に説明を行う。各光源1a、1bから射
出されたビームはビームスプリッタ4を通過後、集光レ
ンズ51によってビームが主走査方向に絞られる。集光
レンズ51にシリンドリカルレンズを用いた場合、主走
査方向のみビームを絞ることができる。よって、図1の
ようにセンサー部11で従来線状の形状であったもの
が、小さな円形に近いビームに整形される。このように
ビームを小さくすることで、受光面積が小さいフォトセ
ンサー12でも光源からのビームの殆どを受光すること
ができる。また、集光レンズ51にてビームの光路は光
軸方向に補正されるため、組立時によるフォトセンサー
12への光路バラツキを抑えることになり、作業性の向
上が図られる。
【0029】更に、ビームの殆どを受光できるので、図
2に示すような受光光量のバラツキによるセンサー出力
曲線が生じることなく、一定のセンサー出力曲線を得る
ことができる。図2はフォトセンサー12にビームが全
部入射できる位置に調整された場合(b)とフォトセン
サー12にビームが全て入射できない場合(a、c)で
のナイフエッジ13とセンサー出力曲線の違いを示して
いる。このようにセンサー出力曲線が一定であれば、セ
ンサー出力回路での定数設定、ならびに調整の作業性、
光学装置の不良確認作業を向上できる。また、集光レン
ズ51の設置位置はビームスプリッタ4とナイフエッジ
13間、ナイフエッジ13とフォトセンサー12間の2
通りが考えられるが、どちらでも良い。前者の場合は、
ナイフエッジ13とフォトセンサー12のスペースを小
さくとることと、ナイフエッジ13での副走査方向のビ
ーム径を変えられる事ができる。後者の場合は、ナイフ
エッジ13でのビームは偏向面6と全く同じ条件でピッ
チ合せを行える。どちらを選択するかはマルチビーム走
査光学装置レイアウト、ビームピッチ仕様によって決定
すればよい。
【0030】ここで、偏向面6でのビーム径について簡
単に説明する。従来の技術の欄で述べたように、偏向器
5の面倒れを緩和するため、走査レンズ系7は偏向面6
と被走査面10が副走査方向に対して光学的に共役関係
になるように設計されている。この関係を図3に示す。
走査レンズ系7の副走査方向の倍率をM、被走査面10
での副走査方向のビーム径をWとすると、偏向面6での
ビーム径W0はW0=W/Mとなる。従って被走査面1
0の副走査方向のビーム径が決定すれば、偏向面6での
ビーム径も決定される。ナイフエッジ13を用いてビー
ムの副走査方向を検出するには、偏向面6での副走査方
向のビームによって精度良く検出できる範囲が左右され
る。図4は偏向面6でのビーム径によってビーム位置と
センサー出力曲線の変化を示している。B1、B2,B
3(B1<B2<B3)はナイフエッジ13でのビーム
径を意味し、順にビーム径が大きくなっている。ビーム
径がB1のように小さければ、ナイフエッジで13のビ
ームの位置に対するセンサー出力曲線はカーブが急とな
り、ビーム位置に対する感度は高くなる代わりに、ビー
ム位置の検出範囲は狭い。反対にナイフエッジ13での
ビーム径がB3のように大きければ、ナイフエッジ13
でのビームの位置に対するセンサー出力曲線は緩やかに
なり、ビーム位置に対する感度は低くなる代わりに、ビ
ームの位置検出の範囲は広い。
【0031】例えば、図4で第二光源1bのビーム位置
がPos1であり、2つのビームピッチをL(第一光源
1aのビームをPos2に合せる)にする場合について
考えてみる。この時、ナイフエッジ13でのビーム径と
してはB1ではビーム位置に関する感度は全体的に高い
が、Pos2の位置で感度は緩やかになっている。B3
でビーム位置に関する感度は低下しているが、Pos2
の位置ではB1より大きな傾きを持つ。B2ではさらに
Pos2でビーム位置に関する傾きが大きいことからB
2のビーム径がビーム位置検出に適していることにな
る。
【0032】このように、ビームピッチを合わせるには
ナイフエッジ13での副走査方向のビーム径を最適な径
にすることが望ましいこととなる。従来のマルチ走査光
学装置では偏向面6とナイフエッジ13でのビーム径は
同じであるため、ビームピッチとビーム径の関係によっ
てはビームの位置検出を精度良く行うことができないこ
とが有り得る。このような場合には、ナイフエッジ13
のビーム径を位置検出に適した形状に変えるために、主
走査、副走査方向に集光する集光レンズ51をビームス
プリッタ4とナイフエッジ13の間に設け、ビーム位置
検出に適したビーム形成することが必要である。
【0033】このことにより、ナイフエッジ13でのビ
ーム形状を最適化でき、組立、調整に適した主走査方向
のビーム径とビームピッチ精度の高めるために適した副
走査方向のビーム径を得ることができる。
【0034】図5は集光レンズ51にシリンドリカルレ
ンズを用いる方法を示している。請求項1、2で記載し
たように主走査方向のビームを絞り込むために設けたシ
リンドリカルレンズを光軸中心に回転させることによっ
て、ビーム形状は図5のa、b、cのように変化してい
く。シリンドリカルレンズが回転されない時は主走査方
向のみ、ビームを絞るパワーが働いている。これをシリ
ンドリカルレンズの光軸に対し回転をさせることで、主
走査、副走査方向のレンズのパワーを僅かづつ変えるこ
とができる。
【0035】従って、シリンドリカルレンズを回転し、
ビームピッチ調整に適した副走査方向のビームに調整す
るか、或いはシリンドリカルレンズを予め回転させた状
態で取付くようにすることで、主、副走査方向にパワー
の有る集光レンズ51を用いた効果を得ることができ
る。
【0036】ナイフエッジ13の位置は光学的に基準位
置に設けられているが、光学系の組立によるバラツキ、
部品精度、または上記したように挿入した集光レンズ5
1等の影響で設けられたナイフエッジ13の位置ではビ
ーム位置を検出できない場合が発生する。例えば、第二
光源1bからのビームがナイフエッジ13によって完全
に遮断されたり、反対にほとんどのビームを透過するよ
うな場合は、ビームの位置を検出することはできない。
そのような場合にナイフエッジ13を副走査方向に移動
させる機構を設け、ナイフエッジ13がビームの位置検
出を行える位置に調整しなければならない。
【0037】図6はナイフエッジを移動させる機構例を
示したものである。51はベース、52はシャフトA、
53はシャフトB、54はウオームホイール、55はウ
オームギア、56はステッピングモータ、57はナイフ
エッジホルダーである。ステッピングモータの回転によ
ってウオームギア55がウオームホイール54を回転さ
せ、シャフトA52が回転しシャフトA52の下部のネ
ジ部によってナイフエッジホルダーのシャフトB53に
沿って上下(副走査)方向に移動させる。この機構は光
路補正機構14と同様なものである。第二光源1bのビ
ームは光路補正を行わないため、ナイフエッジ13をこ
のビームの光量が所定値になるようにフォトセンサーか
らの出力を基に調整を行う。制御例としては従来の技術
でビーム位置を調整したと同じ方法で行うことができ
る。ナイフエッジ13を徐々に副走査方向に移動させ、
フォトセンサー出力があるレベルに達した時点で停止さ
せる。
【0038】このような機構を設ける利点は、基準とな
る第二光源1bのビームとナイフエッジとの距離を常に
一定保つことができるため、第一光源1aのビームを合
せるためのフォトセンサー出力(図9でのPc)を一定
にできることである。また、このような機構を設けず、
組立時のみナイフエッジ13を調整し、ナイフエッジ1
3を固定させる簡素な構成でもよい。例えば、ナイフエ
ッジ13を板バネで構成し、ネジにてナイフエッジ13
の副走査方向の高さを調整するものでも構わない。
【0039】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、2つの
ビームを同時に走査する走査光学系での大きな問題であ
る副走査方向のビームピッチを調整するナイフエッジで
のビームを調整しやすいビームに整形できるため、調整
精度、フォトセンサーの省スペース化、センサー出力の
S/N比向上、組立性向したマルチビーム走査光学装置
を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態に係るマルチビーム走査
光学装置の構成図
【図2】ナイフエッジとビーム位置によるセンサー出力
曲線図
【図3】偏向面と被走査面との光学関係図
【図4】ナイフエッジとビームの位置関係を示す図
【図5】本発明の一実施の形態による集光レンズの説明
【図6】ナイフエッジを移動させる機構例を示す図
【図7】従来のマルチビーム走査光学装置の説明図
【図8】従来のマルチビーム走査光学装置における走査
例の説明図
【図9】ビーム径とビーム位置検出範囲図
【図10】従来のマルチビーム走査光学装置の説明図
【符号の説明】
1a 第一光源 1b 第二光源 2a,2b コリメータレンズ 3a,3b シリンドリカルレンズ 4 ビームスプリッタ 5 偏向器 6 偏向面 7 走査レンズ系 11 センサー部 12 フォトセンサー 13 ナイフエッジ 14 光路補正機構 51 集光レンズ

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】2つの光源と、前記2つの光源を独立に駆
    動する駆動回路と、前記2つの光源を概平行光に整形す
    る各々のコリメータレンズと、前記コリメータレンズか
    ら出射するビームを副走査方向(偏向器の回転軸方向)
    のみ集光させるシリンドリカルレンズと、前記2つの光
    源から出射されるビームの光軸を概略一致させるビーム
    スプリッタと、前記ビームスプリッタから出射されたビ
    ームの前記シリンドリカルレンズの集光点近傍に偏向面
    を有する偏向器と、前記偏向器で偏向されたビームを被
    走査面で走査させる走査レンズ系と、各々のビームの同
    期を検出する同期検出器と、前記光源と前記偏向器の間
    に設けられた前記2つの光源のうち少なくとも1つのビ
    ームを副走査方向に移動させる光路補正機構と、前記ビ
    ームスプリッタから前記偏向面とは別な方向に出射され
    るビームの前記偏向面と光学的に等価な位置に設けられ
    たナイフエッジを有するセンサー部と、前記ビームスプ
    リッタと前記センサー部の間に設けられた集光レンズ
    と、前記センサー部の出力により前記光路補正機構を制
    御する光路制御回路部を有することを特徴とするマルチ
    ビーム走査光学装置。
  2. 【請求項2】前記集光レンズは主走査方向を集光するシ
    リンドリカルレンズであることを特徴とする請求項1に
    記載のマルチビーム走査光学装置。
  3. 【請求項3】前記集光レンズは主走査副及び走査方向に
    集光するレンズであることを特徴とする請求項1に記載
    のマルチビーム走査光学装置。
  4. 【請求項4】前記集光レンズは主走査方向を集光するシ
    リンドリカルレンズであって、光軸を中心に回転可能で
    あることを特徴とする請求項1に記載のマルチビーム走
    査光学装置。
  5. 【請求項5】前記ナイフエッジは副走査方向に移動でき
    る構成であることを特徴とする請求項1から4に記載の
    マルチビーム走査光学装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110411337A (zh) * 2018-04-28 2019-11-05 中国科学院沈阳自动化研究所 一种基于psd的多光束同步二维位置检测方法
CN110411337B (zh) * 2018-04-28 2021-01-05 中国科学院沈阳自动化研究所 一种基于psd的多光束同步二维位置检测方法

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