JP2000131544A - Y分岐光導波路 - Google Patents

Y分岐光導波路

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JP2000131544A
JP2000131544A JP10302197A JP30219798A JP2000131544A JP 2000131544 A JP2000131544 A JP 2000131544A JP 10302197 A JP10302197 A JP 10302197A JP 30219798 A JP30219798 A JP 30219798A JP 2000131544 A JP2000131544 A JP 2000131544A
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Japan
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path
refractive index
optical waveguide
width
branch optical
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JP10302197A
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English (en)
Inventor
Shinnosuke Sawa
新之輔 澤
Tetsuo Yabu
哲郎 薮
Kazuo Imamura
一雄 今村
Kazuhiko Terasawa
一彦 寺澤
Takahide Sudo
恭秀 須藤
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Mitsubishi Cable Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Cable Industries Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 分岐角度を比較的大きく設定しても損失が小
さく、かつ小型化が可能で、しかも製造容易なY分岐光
導波路が得られるようにする。 【解決手段】 基板には、所定の屈折率n0を有するクラ
ッド2と、このクラッド2に囲まれて所定の屈折率n
1(>n0)を有するコア4とが形成され、コア4は、入射
路10がその途中でY字形に2分岐されてそれぞれ出射
路12,12として形成されており、入射路10と出射
路12,12は全て同じ路幅aを有し、また、各出射路
12,12が入射路10から分岐する基端部分の谷中央
に凹状の窪み16が形成され、かつ、基端部分の左右外
側にそれぞれ突起部22,22が外方に張り出して形成
されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、Y分岐光導波路に
係り、特には、分岐角度が大きくても損失(放射光損失
やモード変換損失など)の小さなY分岐の光導波路を容
易に製造するための技術に関する。
【0002】
【従来の技術】光導波路は、周囲を低屈折率の媒質で囲
まれた領域の中を電磁波がその境界面で全反射を繰り返
しながら伝搬する光伝送路であり、SiO2等の基板に低
屈折率の媒質をクラッド、これよりも高屈折率の媒質を
コアとしてそれぞれ形成したものである。
【0003】このような光導波路の素子の一つとして、
コアをその途中でY字形に2分岐し、分岐前のコアを入
射路、分岐後のコアを出射路とした、いわゆるY分岐光
導波路がある。このY分岐光導波路は、光集積回路にお
ける光分岐器、光合波器、スイッチ、変調器等を構成す
る上で最も基本的な回路素子であり、その低損失化と小
型化が強く望まれている。
【0004】この種のY分岐光導波路として、従来、た
とえば図7に示すような各種の構造のものが提案されて
いる。
【0005】図7(a)に示すものは、クラッド(屈折率
n0)で囲まれたコア(屈折率n1)をY字形に単純に所定の
分岐角度θで2分岐したもので、入射路10の路幅aと
分岐後の2つの各出射路12,12の路幅aとが等しく
設定されている(以下、従来例1と称する)。
【0006】図7(b)に示すものは、クラッド(屈折率
n0)で囲まれたコア(屈折率n1)をY字形に2分岐する際
に、入射路10の路幅a1よりも出射路12,12の路幅
a2を狭く(a1>a2)設定するとともに、出射路12,12
が入射路10から分岐する基端部分の谷中央に凹状の窪
み16が形成されている(以下、従来例2と称する)。こ
の構造のものは、たとえば、Z.Weissman et al.“Ve
ry low-loss Y−junction power divider”Opt.Let
t.,vol.14,no.5,pp.293-295,March19
89の文献に記載されている。
【0007】図7(c)に示すものは、クラッド(屈折率
n0)で囲まれたコア(屈折率n1)をY字形に2分岐する際
に、入射路10の路幅を分岐部分において拡幅し、その
拡幅部18から出射路12,12を延出している。その
場合、両出射路12,12は、拡幅部18の外端側から
所定の距離wだけ内側に入り込んだ箇所から引き出さ
れ、それらの各出射路12,12の拡幅部18側の基端
部分は、入射路10と平行して(つまり、分岐角度θ=
0)形成されている(以下、従来例3と称する)。この構
造のものは、たとえば、松浦 他、“新構造Y分岐素子
の低損失化”1994年電子情報通信学会春季大会、C
-330. p4-327の文献に記載されている。
【0008】図7(d)に示すものは、クラッド(屈折率
n0)で囲まれたコアをY字形に2分岐する際に、入射路
10の路幅aと2つの出射路12,12の路幅aとを等し
く設定するとともに、入射路10と各出射路12,12
との節となる部分20の屈折率n2を入射路10および出
射路12,12の屈折率n1と異ならせ(n2<n1)、導波モ
ードと放射モードの変換を利用した、いわゆるアンテナ
結合形の光導波路である。この構造のものは、たとえ
ば、O.Hanaizumi et al.“Wide Y−junction with
low losses in three-dimensional dielectric optical
waveguides,”IEEE J.Quantum Electron.,vo
l.21,no.2,pp.168-173,Feb.1985の文
献に記載されている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図7(a)〜
(d)に示した従来構成のY分岐光導波路は、それぞれ次
の問題がある。
【0010】(1) 図7(a)の従来例1のものは、入射
路10を単純にY字形に小さな分岐角度θでもって分岐
しており、素子の小型化のために分岐角度θを大きく設
定しようとすると、これに伴って損失が増加する。特
に、分岐角度θが1°以上の広角度になると放射光損失
が極めて大きくなる。また、入射路10と出射路12,
12を有するコアは反応性イオンエッチング等の手法に
より形成されるが、上記のような鋭角の部分があると、
その部分が鈍り易くシャープにならないので、損失が増
加したり、損失のばらつきが生じやすく製造が難しいと
いった不都合がある。
【0011】(2) 図7(b)の従来例2のものは、出射
路12,12が入射路10から分岐する基端部分の谷中
央に凹状の窪み16を形成することにより、入射路10
と出射路12,12の波面の整合を高めている。その結
果、入射路10と出射路12,12のとの電磁界分布の
結合効率が高くなって従来例1(同図(a))のものよりも
損失は少なくなるものの、分岐角度θを大きく設定した
場合には、結合効率が劣化して依然として損失が増加す
る。
【0012】しかも、この従来例2のものでは、入射路
10と出射路12,12の各路幅a1,a2が同一でないた
め(a1≠a2)、他の回路を接続するような場合には、取り
扱いが難しくなる。
【0013】(3) 図7(c)の従来例3のものは、入射
路10と出射路12,12との間の拡幅部18で位相の
整合をとり、また、その拡幅部18の出射路12,12
側の終端の距離wの部分で振幅の整合をとっているた
め、結合効率は高くなるが、各出射路12,12の拡幅
部18側の基端部分は、入射路10と平行して(つま
り、分岐角度θ=0)形成されているので、両路12,
12を必要な距離だけ離間させて他の回路素子等を接続
できるようにするためには、出射路12,12の延長部
分を曲げる必要がある。その場合、損失を少なくする上
では、曲げ部分の曲率半径を極めて大きなものとせねば
ならない。そうすると、結果的に、素子全体の寸法が非
常に長くなってしまい、小型化の要求に十分応えられな
い。
【0014】(4) 図7(d)に示す従来例4のものは、
アンテナ結合形のもので、分岐角度θが3°以上の大き
なものでも損失が少ないという利点があるものの、出射
路12,12の谷側が鋭角であり、しかも、3種類の屈
折率n0,n1,n2を使う必要があるため、製造が難しい。
【0015】本発明は、上記の問題点を解決するために
なされたもので、分岐角度を比較的大きく設定しても損
失が小さく、かつ小型化が可能で、しかも製造容易なY
分岐光導波路が得られるようにすることを課題とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するため、基板には、所定の屈折率n0を有するクラ
ッドと、このクラッドに囲まれて所定の屈折率n1(>n0)
を有するコアとが形成され、前記コアは、入射路がその
途中でY字形に2分岐されてそれぞれ出射路として形成
されているY分岐光導波路において、次のようにしてい
る。
【0017】すなわち、本発明では、入射路と出射路と
は全て同じ路幅を有し、また、出射路が入射路から分岐
する基端部分の谷中央に凹状の窪みが形成され、かつ、
前記基端部分の左右外側にそれぞれ突起部が外方に張り
出して形成されている。
【0018】このように、Y分岐の出射路側の基端部分
には、窪みと突起部とが共に形成されているため、結合
効率を高めることが容易で、分岐角度を大きく設定して
も損失を小さくすることができる。なお、窪みの大きさ
や突起部の長さは最適化により決定する。
【0019】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の実施形態に係る
Y分岐光導波路を平面的に見た構造図である。
【0020】この実施形態のY分岐光導波路は、平板状
の基板を有し、この基板に所定の屈折率n0を有するクラ
ッド2と、このクラッド2に囲まれて所定の屈折率n
1(>n0)を有するコア4とが形成されている。つまり、
このY分岐光導波路では、2種類の屈折率n1,n2のみが
用いられている。
【0021】上記のコア4は、入射路10がその途中で
Y字形に所定の分岐角度θでもって2分岐されてそれぞ
れ出射路12,12として形成されており、これらの入
射路10と出射路12,12とは全て同一の路幅aを有
する。
【0022】また、各出射路12,12が入射路10か
ら分岐する基端部分の谷中央に凹状の窪み16が形成さ
れ、かつ、各出射路12,12の基端部分の左右外側に
それぞれ三角形状の突起部22が外方に張り出して形成
されている。
【0023】上記の窪み16は、波面の整合をとるため
のものであり、その窪み16の深さhと幅dのパラメータ
によって波面の傾き具合が決定される。すなわち、窪み
16の屈折率はコア4の屈折率n1よりも低く、クラッド
2の屈折率n0に等しいので、光はコア4の部分よりも速
く伝搬する。したがって、上記のパラメータh,dを適切
な値に設定することにより、波面を分岐後の各出射路1
2,12の延びる方向と垂直となるように傾けることが
できる。
【0024】また、上記の突起部22は、光が分岐され
る前の入射路10における0次モードと分岐された後の
各出射路12,12における0次モードのフィールド分
布の整合を高めるために設けられており、その張り出し
幅wがパラメータとして作用する。
【0025】そして、突起部22の先端と入射路10の
外側を結ぶ傾斜部分の角度αも、分岐後に各出射路1
2,12を伝搬する光の波面が出射路12,12の延び
る方向と垂直になるようにするためのパラメータとして
作用する。
【0026】なお、入射路10の末端から突起部22ま
でに至る長さlは、上記の各パラメータa,θ,w,α,d
が決まれば一義的に定まる。
【0027】このように、この実施形態では、Y分岐さ
れた出射路12側の基端部分に窪み16と突起部22と
を共に形成することにより、分岐角度θを大きく設定し
ても損失を小さくすることができる。なお、結合効率を
最も高めるためのパラメータは最適化により求める。
【0028】なお、この実施形態では、分岐器を前提と
しているが、合波器を構成する場合には、出射路22,
22を入射路とし、入射路10を出射路とすることは勿
論可能である。また、クラッド2とコア4が形成される
基板の材質は、SiO2などの石英系ガラスに限らず、多
成分系ガラスや合成樹脂、誘電体等であってもよい。コ
ア10の伝搬モードは、シングルモードに限らず、マル
チモードであってもよい。
【0029】
【実施例】図1に示した構成のY分岐光導波路は、実際
はx,y,zの各軸方向が有限幅の三次元形状をもつが、
ここではy軸方向の厚みを無限大とした二次元のスラブ
導波路に置き換え、入射路10からTE0モードの光を
入射して各出射路12の互いに十分に離れた位置で分岐
した光を取り出した場合に、そのときの最低損失を与え
る各パラメータn0,n1,θ,a,d,h,w,αについて検
討した。なお、ここでは、クラッド2の屈折率n0を1.
500、θ=αとし、図2のA〜Dで示す各点で表され
る光導波路について検討する。なお、図2の縦軸は導波
路幅a(単位は入力光の真空中での波長)であり、横軸は
コア4の屈折率n1である。
【0030】図2中、A〜D点で表された光導波路にお
いて、分岐角度θを0°〜4°の範囲で変化させた場合
について、それぞれ最小の損失を与えるパラメータθ,
α,h,d,wの最適値について調べた。
【0031】光ビーム伝搬の解析法としては、差分ビー
ム伝搬法を用い、最適化の手法としては共役分配法を用
いた。
【0032】各分岐角度θにおいて、各パラメータα,
h,d,wを最適値に設定したときの損失Lを求めた結果
を表1〜表4、および図3〜図6に示す。
【0033】
【表1】
【0034】
【表2】
【0035】
【表3】
【0036】
【表4】
【0037】なお、表1および図3は図2のA点に、表
2および図4は図2のB点に、表3および図5は図2の
C点に、表4および図6は図2のD点にそれぞれ対応し
た結果である。また、これらの図3ないし図6には、図
7(a)に示した従来例1および図7(d)に示した従来例4
の各構成のものについて、同様に検討した結果を併せて
図示している。
【0038】表1〜表4、および図3〜図6から分かる
ように、図1に示す構成のY分岐光導波路は、分岐角度
θが大きいときでも極めて低損失であることが理解され
る。
【0039】実用上、このY分岐光導波路としての損失
は0.05dB以下であることが望ましいので、かかる観
点から、最低損失を与える各パラメータn0,n1,θ,
a,d,h,w,αは、表1〜表4より、具体的に次のよう
に規定される。
【0040】 n0=1.500、n1=1.503、a=
4λ(λは入力光の真空中での波長)の条件では、θ=α
=1.00〜1.75、d=1.90〜3.86、h=40.
41〜58.34、w=1.18〜2.60 n0=1.500、n1=1.5015、a=6λ(λは入
力光の真空中での波長)の条件では、θ=α=1.00〜
1.25、d=4.64〜5.21、h=110.33〜12
0.49、w=2.85〜3.47 n0=1.500、n1=1.5038、a=4.348λ
(λは入力光の真空中での波長)の条件では、θ=α=
1.00〜2.00、d=1.80〜3.22、h=42.9
8〜53.18、w=1.16〜2.13 n0=1.500、n1=1.5039、a=5.154λ
(λは入力光の真空中での波長)の条件では、θ=α=
1.00〜2.00、d=2.23〜3.01、h=58.2
0〜58.27、w=1.97〜2.14
【0041】
【発明の効果】本発明によれば、分岐角度を大きく設定
しても損失が小さいため小型化を図ることができる。し
かも、屈折率は2種類だけでかつ出射路の基端側の谷部
分が鋭角でないため製造が容易である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係るY分岐光導波路を平面
的に見た構造図
【図2】図1の構成のY分岐光導波路におけるコアの屈
折率と導波路幅との関係を示す特性図
【図3】図2のA点で表された導波路における分岐角度
と損失との関係を示す特性図
【図4】図2のB点で表された導波路における分岐角度
と損失との関係を示す特性図
【図5】図2のC点で表された導波路における分岐角度
と損失との関係を示す特性図
【図6】図2のD点で表された導波路における分岐角度
と損失との関係を示す特性図
【図7】従来の各種のY分岐光導波路を平面的に見て示
す構造図
【符号の説明】
2…クラッド、4…コア、10…入射路、12…出射
路、16…窪み、22…突起部、n0…クラッドの屈折
率、n1…コアの屈折率、θ…分岐角度、a…路幅、α,
d,h…パラメータ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 寺澤 一彦 兵庫県伊丹市池尻4丁目3番地 三菱電線 工業株式会社伊丹製作所内 (72)発明者 須藤 恭秀 兵庫県伊丹市池尻4丁目3番地 三菱電線 工業株式会社伊丹製作所内 Fターム(参考) 2H047 KA03 KA13 LA12 TA01 TA43

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板には、所定の屈折率n0を有するクラ
    ッドと、このクラッドに囲まれて所定の屈折率n1(>n0)
    を有するコアとが形成され、前記コアは、入射路がその
    途中でY字形に2分岐されてそれぞれ出射路として形成
    されているY分岐光導波路において、 前記入射路と出射路とは全て同じ路幅を有し、また、前
    記出射路が入射路から分岐する基端部分の谷中央に凹状
    の窪みが形成され、かつ、前記基端部分の左右外側にそ
    れぞれ突起部が外方に張り出して形成されていることを
    特徴とするY分岐光導波路。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のY分岐光導波路におい
    て、 クラッドの屈折率をn0、コアの屈折率をn1、前記入射路
    と出射路の路幅をa、窪みの幅をd、深さをh、突起部の
    張り出し幅さをw、突起部の先端と入射路の外側とを結
    ぶ傾斜部分の角度をαとしたとき、n0=1.500、n1
    =1.503、a=4λ(λは入力光の真空中での波長)の
    条件において、θ=α=1.00〜1.75、d=1.90
    〜3.86、h=40.41〜58.34、w=1.18〜
    2.60の各値に設定されていることを特徴とするY分
    岐光導波路。
  3. 【請求項3】 請求項1記載のY分岐光導波路におい
    て、 クラッドの屈折率をn0、コアの屈折率をn1、前記入射路
    と出射路の路幅をa、窪みの幅をd、深さをh、突起部の
    張り出し幅さをw、突起部の先端と入射路の外側とを結
    ぶ傾斜部分の角度をαとしたとき、n0=1.500、n1
    =1.5015、a=6λ(λは入力光の真空中での波長)
    の条件において、θ=α=1.00〜1.25、d=4.6
    4〜5.21、h=110.33〜120.49、w=2.8
    5〜3.47の各値に設定されていることを特徴とする
    Y分岐光導波路。
  4. 【請求項4】 請求項1記載のY分岐光導波路におい
    て、 クラッドの屈折率をn0、コアの屈折率をn1、前記入射路
    と出射路の路幅をa、窪みの幅をd、深さをh、突起部の
    張り出し幅さをw、突起部の先端と入射路の外側とを結
    ぶ傾斜部分の角度をαとしたとき、n0=1.500、n1
    =1.5038、a=4.348λ(λは入力光の真空中で
    の波長)の条件において、θ=α=1.00〜2.00、d
    =1.80〜3.22、h=42.98〜53.18、w=
    1.16〜2.13の各値に設定されていることを特徴と
    するY分岐光導波路。
  5. 【請求項5】 請求項1記載のY分岐光導波路におい
    て、 クラッドの屈折率をn0、コアの屈折率をn1、前記入射路
    と出射路の路幅をa、窪みの幅をd、深さをh、突起部の
    張り出し幅さをw、突起部の先端と入射路の外側とを結
    ぶ傾斜部分の角度をαとしたとき、n0=1.500、n1
    =1.5039、a=5.154λ(λは入力光の真空中で
    の波長)の条件において、θ=α=1.00〜2.00、d
    =2.23〜3.01、h=58.20〜58.27、w=
    1.97〜2.14の各値に設定されていることを特徴と
    するY分岐光導波路。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9304370B2 (en) 2012-08-09 2016-04-05 Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. Optical waveguide device

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9304370B2 (en) 2012-08-09 2016-04-05 Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. Optical waveguide device

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