JP2000128564A - 光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ母材の製造方法Info
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- JP2000128564A JP2000128564A JP30622898A JP30622898A JP2000128564A JP 2000128564 A JP2000128564 A JP 2000128564A JP 30622898 A JP30622898 A JP 30622898A JP 30622898 A JP30622898 A JP 30622898A JP 2000128564 A JP2000128564 A JP 2000128564A
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
- C03B37/0146—Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 排気室内で生じる圧力変動を防止し、塩素ガ
ス等の雰囲気ガスの外部への流出を防止する。 【解決手段】 多孔質母材を脱水・焼結させる脱水・焼
結工程において、支持杆２が挿入される挿入口１０と支
持杆との隙間から流入する空気の流入流量を、雰囲気ガ
スの供給流量に対し少なくとも１０倍以上となるよう調
整する。
ス等の雰囲気ガスの外部への流出を防止する。 【解決手段】 多孔質母材を脱水・焼結させる脱水・焼
結工程において、支持杆２が挿入される挿入口１０と支
持杆との隙間から流入する空気の流入流量を、雰囲気ガ
スの供給流量に対し少なくとも１０倍以上となるよう調
整する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、多孔質母材中の水
分等を除去し、かつ、透明ガラス化する脱水・焼結工程
における光ファイバ母材の製造方法に関する。
分等を除去し、かつ、透明ガラス化する脱水・焼結工程
における光ファイバ母材の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、この種の光ファイバ母材の製
造方法の脱水・焼結工程で使用される脱水焼結炉とし
て、マッフル管の上部に配設されこのマッフル管に連通
した排気室を備えたものが知られている（例えば、特開
平２−２１２３２５号公報参照）。このものでは、マッ
フル管内に多孔質母材を内挿させ、この多孔質母材から
上方に延びる支持杆が上記排気室の上部に設けられた挿
入孔を貫通して外部上方に突出するようになっている。
上記排気室にはこの排気室内部のガスを吸引する吸引装
置が接続されるようになっており、この吸引装置によっ
て上記排気室内のガスを吸引することにより、上記マッ
フル管内の負圧を所定値に維持するようにしている。こ
こで、上記支持杆は回転させる必要があり、このため、
上記挿入孔と支持杆との間には所定の隙間が存在してい
る。このため、上記公報に記載された脱水焼結炉では、
上記挿入孔から流入した外部の空気が上記マッフル管内
に流入することを防止するために、上記支持杆に対しス
リーブを外挿して、上記の隙間が極力小さくなるように
している。
造方法の脱水・焼結工程で使用される脱水焼結炉とし
て、マッフル管の上部に配設されこのマッフル管に連通
した排気室を備えたものが知られている（例えば、特開
平２−２１２３２５号公報参照）。このものでは、マッ
フル管内に多孔質母材を内挿させ、この多孔質母材から
上方に延びる支持杆が上記排気室の上部に設けられた挿
入孔を貫通して外部上方に突出するようになっている。
上記排気室にはこの排気室内部のガスを吸引する吸引装
置が接続されるようになっており、この吸引装置によっ
て上記排気室内のガスを吸引することにより、上記マッ
フル管内の負圧を所定値に維持するようにしている。こ
こで、上記支持杆は回転させる必要があり、このため、
上記挿入孔と支持杆との間には所定の隙間が存在してい
る。このため、上記公報に記載された脱水焼結炉では、
上記挿入孔から流入した外部の空気が上記マッフル管内
に流入することを防止するために、上記支持杆に対しス
リーブを外挿して、上記の隙間が極力小さくなるように
している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記マッフ
ル管内に供給される雰囲気ガスとしては多孔質母材を脱
水させる塩素ガスが用いられており、この塩素ガスをそ
のまま外部に流出させないようにする必要がある。
ル管内に供給される雰囲気ガスとしては多孔質母材を脱
水させる塩素ガスが用いられており、この塩素ガスをそ
のまま外部に流出させないようにする必要がある。
【０００４】また、上記の吸引装置は、上記塩素ガスを
十分に吸引することが可能な程度の吸引力を有している
が、上記マッフル管の内圧は数ｍｍＨ2Ｏの負圧に設定
することが望ましく、このため、例えば上記吸引装置が
あまり大きな吸引力でもってガスを吸引すると、上記の
数ｍｍＨ2Ｏの負圧に設定することが不可能となってし
まう。このため、上記吸引装置と排気室とを連結する排
気管に絞りを設け、この絞りにより吸引流量を絞ること
によって、上記マッフル管内の負圧の値を調節するよう
にしている。
十分に吸引することが可能な程度の吸引力を有している
が、上記マッフル管の内圧は数ｍｍＨ2Ｏの負圧に設定
することが望ましく、このため、例えば上記吸引装置が
あまり大きな吸引力でもってガスを吸引すると、上記の
数ｍｍＨ2Ｏの負圧に設定することが不可能となってし
まう。このため、上記吸引装置と排気室とを連結する排
気管に絞りを設け、この絞りにより吸引流量を絞ること
によって、上記マッフル管内の負圧の値を調節するよう
にしている。
【０００５】ところが、上記のような吸引装置には特有
の作動の揺らぎ（作動揺らぎ）があり、この作動揺らぎ
によって吸引流量に揺らぎ（流量変動）が生じてしま
う。この流量変動の変動は、上記のように吸引流量を絞
った場合にはその平均吸引流量に対して遙かに大きい割
合となってしまい、この流動変動が上記排気室内に伝搬
して負圧状態の排気室内に圧力変動を生じさせてしま
う。このように排気室内に圧力変動が生じてしまうと上
記塩素ガス等が上記挿入口と支持杆との間の隙間から外
部に漏れてしまうことになるという不都合がある。
の作動の揺らぎ（作動揺らぎ）があり、この作動揺らぎ
によって吸引流量に揺らぎ（流量変動）が生じてしま
う。この流量変動の変動は、上記のように吸引流量を絞
った場合にはその平均吸引流量に対して遙かに大きい割
合となってしまい、この流動変動が上記排気室内に伝搬
して負圧状態の排気室内に圧力変動を生じさせてしま
う。このように排気室内に圧力変動が生じてしまうと上
記塩素ガス等が上記挿入口と支持杆との間の隙間から外
部に漏れてしまうことになるという不都合がある。
【０００６】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであり、その目的とするところは、排気室内で生
じる圧力変動を防止し、塩素ガス等の雰囲気ガスの外部
への流出を防止することにある。
たものであり、その目的とするところは、排気室内で生
じる圧力変動を防止し、塩素ガス等の雰囲気ガスの外部
への流出を防止することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者は、吸引装置に
より吸引されるガスには、マッフル管内に供給される雰
囲気ガスと、挿入口と支持杆との間の隙間から流入する
空気とがあり、この雰囲気ガスと空気との流量比が、上
記排気室内の圧力変動と相関関係があることを見いだし
た、そして、この点に着目して実験を繰り返した結果、
上記流量比が所定値以上であれば上記の圧力変動が生じ
ないことを確認し、本発明を完成するに至ったものであ
る。
より吸引されるガスには、マッフル管内に供給される雰
囲気ガスと、挿入口と支持杆との間の隙間から流入する
空気とがあり、この雰囲気ガスと空気との流量比が、上
記排気室内の圧力変動と相関関係があることを見いだし
た、そして、この点に着目して実験を繰り返した結果、
上記流量比が所定値以上であれば上記の圧力変動が生じ
ないことを確認し、本発明を完成するに至ったものであ
る。
【０００８】以下本願の発明を具体的に説明すると、本
発明は、多孔質母材を保持する支持杆と、上記多孔質母
材が内挿されるマッフル管と、上記マッフル管と互いに
連通した排気室と、上記マッフル管に接続され、このマ
ッフル管内に雰囲気ガスを供給する供給装置と、上記排
気室に接続され、この排気室内のガスを吸引する吸引装
置とを用い、上記支持杆を上記排気室に開口した挿入孔
に対し内外方向に貫通させて上記多孔質母材を上記マッ
フル管内に内挿した状態で、上記雰囲気ガスをマッフル
管内に供給しながら上記吸引装置を作動させて上記マッ
フル管内を所定の負圧状態に維持しつつ上記多孔質母材
を加熱することにより脱水・焼結する光ファイバ母材の
製造方法を前提としている。この方法において、上記吸
引装置による吸引により上記挿入口と支持杆との間の隙
間を通して外部から上記排気室内に流入する空気の流入
流量を、上記雰囲気ガスの供給流量に対し少なくとも１
０倍以上になるように調整することを特定事項とするも
のである。
発明は、多孔質母材を保持する支持杆と、上記多孔質母
材が内挿されるマッフル管と、上記マッフル管と互いに
連通した排気室と、上記マッフル管に接続され、このマ
ッフル管内に雰囲気ガスを供給する供給装置と、上記排
気室に接続され、この排気室内のガスを吸引する吸引装
置とを用い、上記支持杆を上記排気室に開口した挿入孔
に対し内外方向に貫通させて上記多孔質母材を上記マッ
フル管内に内挿した状態で、上記雰囲気ガスをマッフル
管内に供給しながら上記吸引装置を作動させて上記マッ
フル管内を所定の負圧状態に維持しつつ上記多孔質母材
を加熱することにより脱水・焼結する光ファイバ母材の
製造方法を前提としている。この方法において、上記吸
引装置による吸引により上記挿入口と支持杆との間の隙
間を通して外部から上記排気室内に流入する空気の流入
流量を、上記雰囲気ガスの供給流量に対し少なくとも１
０倍以上になるように調整することを特定事項とするも
のである。
【０００９】この場合、供給装置からはマッフル管内の
雰囲気を形成するのに必要な程度の雰囲気ガスが供給さ
れ、かつ、この雰囲気ガスの供給流量に対し挿入口と支
持杆との隙間から流入する空気の流入流量を少なくとも
１０倍以上とするため、吸引装置により吸引される吸引
流量は比較的大きくなる。このため、吸引装置の作動揺
らぎに起因する吸引流量の変動が起こったとしても、そ
の平均吸引流量に対する変動の割合が小さくなり、上記
流量変動自体が吸収されるようになる。そして、たとえ
上記排気室内に流量変動が伝搬したとしても、上記のよ
うに平均吸引流量に対し変動の割合が小さく、挿入口と
支持杆との隙間から流入する多量の流入流量によって上
記変動が吸収され上記排気室内の圧力変動が可及的に小
さくなる。その結果、上記挿入口と支持杆との隙間を通
しての気体の移動は外部から排気室内への空気の流入の
みに維持され、これにより、上記排気室内の雰囲気ガス
が上記挿入孔から外部に漏れることが確実に防止あるい
は抑制されると考えられる。また、上記挿入口と支持杆
との隙間から流入した空気は、上記吸引装置により全て
吸引されるため、マッフル管内に流入することは防止さ
れる。
雰囲気を形成するのに必要な程度の雰囲気ガスが供給さ
れ、かつ、この雰囲気ガスの供給流量に対し挿入口と支
持杆との隙間から流入する空気の流入流量を少なくとも
１０倍以上とするため、吸引装置により吸引される吸引
流量は比較的大きくなる。このため、吸引装置の作動揺
らぎに起因する吸引流量の変動が起こったとしても、そ
の平均吸引流量に対する変動の割合が小さくなり、上記
流量変動自体が吸収されるようになる。そして、たとえ
上記排気室内に流量変動が伝搬したとしても、上記のよ
うに平均吸引流量に対し変動の割合が小さく、挿入口と
支持杆との隙間から流入する多量の流入流量によって上
記変動が吸収され上記排気室内の圧力変動が可及的に小
さくなる。その結果、上記挿入口と支持杆との隙間を通
しての気体の移動は外部から排気室内への空気の流入の
みに維持され、これにより、上記排気室内の雰囲気ガス
が上記挿入孔から外部に漏れることが確実に防止あるい
は抑制されると考えられる。また、上記挿入口と支持杆
との隙間から流入した空気は、上記吸引装置により全て
吸引されるため、マッフル管内に流入することは防止さ
れる。
【００１０】上記の流入流量と供給流量との比率は、吸
引装置、または、マッフル管内の設定負圧によって好ま
しい数値が変わるものであるが、少なくとも１０以上で
あれば、吸引装置等の如何に拘わらず排気室の圧力変動
は防止あるいは抑制される。そして、この比率が大きい
ほど上記作動揺らぎに起因する流量変動の割合が平均流
量に対して小さくなるため、作用・効果の程度は増大す
る。
引装置、または、マッフル管内の設定負圧によって好ま
しい数値が変わるものであるが、少なくとも１０以上で
あれば、吸引装置等の如何に拘わらず排気室の圧力変動
は防止あるいは抑制される。そして、この比率が大きい
ほど上記作動揺らぎに起因する流量変動の割合が平均流
量に対して小さくなるため、作用・効果の程度は増大す
る。
【００１１】上記の比率としては、１５〜２０、すなわ
ち流入流量が供給流量に対し１０〜２０倍であれば、検
出し得る程度の量の雰囲気ガスの漏れが防止され、上記
比率が２０以上、例えば３０であれば雰囲気ガスの漏れ
は、完全に防止される。
ち流入流量が供給流量に対し１０〜２０倍であれば、検
出し得る程度の量の雰囲気ガスの漏れが防止され、上記
比率が２０以上、例えば３０であれば雰囲気ガスの漏れ
は、完全に防止される。
【００１２】また、上記流入流量と供給流量との比率を
調整するには、吸引装置による吸引流量と、挿入孔の内
径との一方もしくは双方を調整することにより行うよう
にすればよい。すなわち、例えば吸引流量を大きくし、
かつ、挿入孔の内径を大きくすれば、上記挿入口と支持
杆との隙間より大量の空気が流入するようになり、上記
流入流量と供給流量との比率の調整が容易に実現可能と
なり、確実に所定値に調整することが可能になる。ま
た、上記吸引流量のみを大きくするようにしてもよく、
逆に挿入孔の内径のみを大きくするようにしてもよい。
いずれの場合でも、上記挿入口と支持杆との隙間より大
量の空気が流入するようになり、上記流入流量と供給流
量との比率の調整が容易に実現可能となり、確実に所定
値に調整することが可能になる。
調整するには、吸引装置による吸引流量と、挿入孔の内
径との一方もしくは双方を調整することにより行うよう
にすればよい。すなわち、例えば吸引流量を大きくし、
かつ、挿入孔の内径を大きくすれば、上記挿入口と支持
杆との隙間より大量の空気が流入するようになり、上記
流入流量と供給流量との比率の調整が容易に実現可能と
なり、確実に所定値に調整することが可能になる。ま
た、上記吸引流量のみを大きくするようにしてもよく、
逆に挿入孔の内径のみを大きくするようにしてもよい。
いずれの場合でも、上記挿入口と支持杆との隙間より大
量の空気が流入するようになり、上記流入流量と供給流
量との比率の調整が容易に実現可能となり、確実に所定
値に調整することが可能になる。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１または請
求項２記載の発明における光ファイバ母材の製造方法に
よれば、排気室内の圧力変動の発生を防止することがで
き、雰囲気ガスが挿入口と支持杆との間の隙間から外部
に漏れることを確実に防止もしくは抑制することができ
る。
求項２記載の発明における光ファイバ母材の製造方法に
よれば、排気室内の圧力変動の発生を防止することがで
き、雰囲気ガスが挿入口と支持杆との間の隙間から外部
に漏れることを確実に防止もしくは抑制することができ
る。
【００１４】請求項３記載の発明によれば、上記請求項
１または請求項２記載の発明による効果に加えて、流入
流量と供給流量との比率の調整を容易に実現することが
でき、確実に所定値に調整することができる。
１または請求項２記載の発明による効果に加えて、流入
流量と供給流量との比率の調整を容易に実現することが
でき、確実に所定値に調整することができる。
【００１５】
【実施例】図１は、本発明に係る脱水焼結炉を示してお
り、この脱水焼結炉は以下のように構成されている。
り、この脱水焼結炉は以下のように構成されている。
【００１６】１は、出発材の表面に酸水素火炎により発
生した石英系ガラス微粒子を堆積させるＶＡＤ法により
形成された多孔質母材であり、２は、上記多孔質母材１
を保持する支持杆２である。この支持杆２は上記多孔質
母材１の上端から上側に突出し上方に延びるようになっ
ている。
生した石英系ガラス微粒子を堆積させるＶＡＤ法により
形成された多孔質母材であり、２は、上記多孔質母材１
を保持する支持杆２である。この支持杆２は上記多孔質
母材１の上端から上側に突出し上方に延びるようになっ
ている。
【００１７】３は、上記多孔質母材１が内挿される石英
等により形成されたマッフル管３であり、このマッフル
管３の下端には、雰囲気ガス吸入口４が開口し、その先
には塩素ガス及びヘリウムガスといった雰囲気ガスを供
給する雰囲気ガス供給装置５が接続されている。一方、
上記マッフル管３の上部には、このマッフル管３に対し
連通した排気室６が配設されており、この配設室６の側
壁部には、吸引管７が接続され、その先には上記排気室
６内のガスを吸引する吸引装置としての排気処理装置８
が接続されている。この排気処理装置８は、上記塩素ガ
ス等を処理した後に外部に排出するようになっている。
また、上記排気室６の上部開口には、半円状の平板であ
る一対の蓋体９が載置されて、この排気室６の上部開口
を封止するようになっている。そして、上記一対の蓋体
９を相対向させて上記排気室６の上部開口に載置したと
きにその中心位置に円形の挿入孔１０が形成されるよう
上記各蓋体９には、半円状の切り欠きが形成されてい
る。さらに、上記排気室６の上記吸引管７が接続された
側壁部に相対向した側壁部には、この排気室６内の負圧
を測定する負圧モニタ１３が取り付けられている。
等により形成されたマッフル管３であり、このマッフル
管３の下端には、雰囲気ガス吸入口４が開口し、その先
には塩素ガス及びヘリウムガスといった雰囲気ガスを供
給する雰囲気ガス供給装置５が接続されている。一方、
上記マッフル管３の上部には、このマッフル管３に対し
連通した排気室６が配設されており、この配設室６の側
壁部には、吸引管７が接続され、その先には上記排気室
６内のガスを吸引する吸引装置としての排気処理装置８
が接続されている。この排気処理装置８は、上記塩素ガ
ス等を処理した後に外部に排出するようになっている。
また、上記排気室６の上部開口には、半円状の平板であ
る一対の蓋体９が載置されて、この排気室６の上部開口
を封止するようになっている。そして、上記一対の蓋体
９を相対向させて上記排気室６の上部開口に載置したと
きにその中心位置に円形の挿入孔１０が形成されるよう
上記各蓋体９には、半円状の切り欠きが形成されてい
る。さらに、上記排気室６の上記吸引管７が接続された
側壁部に相対向した側壁部には、この排気室６内の負圧
を測定する負圧モニタ１３が取り付けられている。
【００１８】上記吸引管７には、上記排気処理装置８に
よる吸引流量を調節する絞り１１が取り付けられ、ま
た、この吸引管７内の流速を検出する流速計が備えられ
ている。
よる吸引流量を調節する絞り１１が取り付けられ、ま
た、この吸引管７内の流速を検出する流速計が備えられ
ている。
【００１９】そして、上記マッフル管３の外周囲には、
上記多孔質母材１を加熱するヒータ１４が配設されてい
る。
上記多孔質母材１を加熱するヒータ１４が配設されてい
る。
【００２０】つぎに、この脱水焼結炉において、供給さ
れる雰囲気ガス（同図の実線の矢印参照）の供給流量を
一定とし挿入口１０と支持杆２との隙間から流入する空
気（同図の一点鎖線の矢印参照）の流入流量と、排気処
理装置８により吸引されるガスの吸引流量との比率を変
えた場合の実験結果について説明する。
れる雰囲気ガス（同図の実線の矢印参照）の供給流量を
一定とし挿入口１０と支持杆２との隙間から流入する空
気（同図の一点鎖線の矢印参照）の流入流量と、排気処
理装置８により吸引されるガスの吸引流量との比率を変
えた場合の実験結果について説明する。
【００２１】多孔質母材１は、ＶＡＤ法によりガラス微
粒子を堆積させて外径１４０ｍｍ、平行部長さ４００ｍ
ｍに形成したものを用いた。そして、上記マッフル管３
は内径１７０ｍｍのものを用い、上記支持杆２が上記排
気室６の挿入孔１０を内外方向に貫通して上記多孔質母
材１が上記マッフル管３内に内挿された状態にした。こ
の状態で、雰囲気ガスであるヘリウムを１０リットル／
分、及び、塩素ガスを０．５リットル／分の供給流量で
上記マッフル管３内に供給し、上記ヒータ１４により１
６５０℃に加熱した状態で上記多孔質母材１を１００ｍ
ｍ／時で降下させて上記多孔質母材１を脱水・焼結して
透明ガラス化させた。また、上記吸引管７の内径は４３
ｍｍで、支持杆２の外径は３０ｍｍのものを用いた。
粒子を堆積させて外径１４０ｍｍ、平行部長さ４００ｍ
ｍに形成したものを用いた。そして、上記マッフル管３
は内径１７０ｍｍのものを用い、上記支持杆２が上記排
気室６の挿入孔１０を内外方向に貫通して上記多孔質母
材１が上記マッフル管３内に内挿された状態にした。こ
の状態で、雰囲気ガスであるヘリウムを１０リットル／
分、及び、塩素ガスを０．５リットル／分の供給流量で
上記マッフル管３内に供給し、上記ヒータ１４により１
６５０℃に加熱した状態で上記多孔質母材１を１００ｍ
ｍ／時で降下させて上記多孔質母材１を脱水・焼結して
透明ガラス化させた。また、上記吸引管７の内径は４３
ｍｍで、支持杆２の外径は３０ｍｍのものを用いた。
【００２２】なお、上記挿入孔１０から流入する空気の
流入流量は、上記吸引管７に備えられた流速計１２によ
り検出された流速と、吸引管７の断面積とにより吸引流
量を計算し、この吸引流量から雰囲気ガスの供給流量を
差し引けば求められる。
流入流量は、上記吸引管７に備えられた流速計１２によ
り検出された流速と、吸引管７の断面積とにより吸引流
量を計算し、この吸引流量から雰囲気ガスの供給流量を
差し引けば求められる。
【００２３】まず、挿入口の内径を３３ｍｍとし、吸引
管７の絞り１１を絞ることにより、吸引流速が０．７ｍ
／秒となるようにした。この場合、挿入孔１０より流入
する空気の流入流量は、雰囲気ガスの供給流量に対し
４．８倍であった。このとき、上記排気室６内の圧力変
動は、０〜０．８ｍｍＨ2Ｏであり、この圧力変動によ
る塩素ガスの挿入孔１０と支持杆２との隙間からの漏れ
が検出された。
管７の絞り１１を絞ることにより、吸引流速が０．７ｍ
／秒となるようにした。この場合、挿入孔１０より流入
する空気の流入流量は、雰囲気ガスの供給流量に対し
４．８倍であった。このとき、上記排気室６内の圧力変
動は、０〜０．８ｍｍＨ2Ｏであり、この圧力変動によ
る塩素ガスの挿入孔１０と支持杆２との隙間からの漏れ
が検出された。
【００２４】一方、上記挿入孔１０の内径を４０ｍｍと
し、吸引管７に設けられた絞り１１により吸引流速が
２．５ｍ／秒となるようにした。この場合、挿入孔１０
より流入する空気の流入流量は、雰囲気ガスの供給流量
に対し１９．７倍であった。このとき、上記排気室６内
の圧力変動は、０．２〜０．３ｍｍＨ2Ｏであり、圧力
変動が極めて小さく、塩素ガスの上記挿入孔１０と支持
杆２との隙間からの漏れは検出されなかった。
し、吸引管７に設けられた絞り１１により吸引流速が
２．５ｍ／秒となるようにした。この場合、挿入孔１０
より流入する空気の流入流量は、雰囲気ガスの供給流量
に対し１９．７倍であった。このとき、上記排気室６内
の圧力変動は、０．２〜０．３ｍｍＨ2Ｏであり、圧力
変動が極めて小さく、塩素ガスの上記挿入孔１０と支持
杆２との隙間からの漏れは検出されなかった。
【００２５】また、挿入孔１０と支持杆２との隙間より
流入する空気の流入流量を、雰囲気ガスの供給流量に対
し３０倍とした場合にも、上記排気室６内の圧力変動が
著しく防止され、塩素ガスの挿入孔１０と支持杆２との
隙間からの漏れは検出されなかった。
流入する空気の流入流量を、雰囲気ガスの供給流量に対
し３０倍とした場合にも、上記排気室６内の圧力変動が
著しく防止され、塩素ガスの挿入孔１０と支持杆２との
隙間からの漏れは検出されなかった。
【００２６】なお、上記の塩素ガスの漏れが検出されな
かった条件において得られた光ファイバ母材をファイバ
化しその特性を評価したところ、従来の方法により得ら
れた光ファイバと比較して遜色がなかった。
かった条件において得られた光ファイバ母材をファイバ
化しその特性を評価したところ、従来の方法により得ら
れた光ファイバと比較して遜色がなかった。
【図１】脱水焼結炉を示す断面説明図である。
１ 多孔質母材 ２ 支持杆 ３ マッフル管 ５ 供給装置 ６ 排気室 ８ 排気処理装置（吸引装置） １０ 挿入孔
Claims (3)
- 【請求項１】 多孔質母材を保持する支持杆と、上記多
孔質母材が内挿されるマッフル管と、上記マッフル管と
互いに連通した排気室と、上記マッフル管に接続され、
このマッフル管内に雰囲気ガスを供給する供給装置と、
上記排気室に接続され、この排気室内のガスを吸引する
吸引装置とを用い、上記支持杆を上記排気室に開口した
挿入孔に対し内外方向に貫通させて上記多孔質母材を上
記マッフル管内に内挿した状態で、上記雰囲気ガスをマ
ッフル管内に供給しながら上記吸引装置を作動させて上
記マッフル管内を所定の負圧状態に維持しつつ上記多孔
質母材を加熱することにより脱水・焼結する光ファイバ
母材の製造方法において、 上記吸引装置による吸引により上記挿入口と支持杆との
間の隙間を通して外部から上記排気室内に流入する空気
の流入流量を、上記雰囲気ガスの供給流量に対し少なく
とも１０倍以上になるように調整することを特徴とする
光ファイバ母材の製造方法。 - 【請求項２】 請求項１において、 空気の流入流量を、雰囲気ガスの供給流量に対し１５倍
以上になるように調整することを特徴とする光ファイバ
母材の製造方法。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２において、 空気の流入流量の調整を、吸引装置による吸引流量と挿
入孔の内径との一方もしくは双方を調整することにより
行うようにすることを特徴とする光ファイバ母材の製造
方法。
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