JP2000123324A - 磁気ヘッド装置 - Google Patents

磁気ヘッド装置

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JP2000123324A
JP2000123324A JP10313955A JP31395598A JP2000123324A JP 2000123324 A JP2000123324 A JP 2000123324A JP 10313955 A JP10313955 A JP 10313955A JP 31395598 A JP31395598 A JP 31395598A JP 2000123324 A JP2000123324 A JP 2000123324A
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esd
diode
thin
head device
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Takeshi Wada
健 和田
Kenji Inage
健治 稲毛
Kazumasa Shiraishi
一雅 白石
Haruyuki Morita
治幸 森田
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TDK Corp
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    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/33Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
    • G11B5/39Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
    • G11B5/3903Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
    • G11B5/3967Composite structural arrangements of transducers, e.g. inductive write and magnetoresistive read

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ESDによる薄膜磁気ヘッド素子の電磁特性
の劣化を確実に防止することができる磁気ヘッド装置を
提供する。 【解決手段】 少なくとも1つの薄膜磁気ヘッド素子を
有する磁気ヘッドスライダと、磁気ヘッドスライダを先
端部に支持する支持機構と、薄膜磁気ヘッド素子の駆動
回路と、各々が少なくとも1つの薄膜磁気ヘッド素子の
最大出力電圧より大きな導通動作電圧を有しており、少
なくとも1つの薄膜磁気ヘッド素子に接続される端子間
に一方向について少なくとも2つ並列接続されたダイオ
ード素子とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
に用いられる磁気ヘッド装置に関する。
【0002】
【従来の技術】この種の磁気ディスク装置では、磁気ヘ
ッド装置のサスペンションの先端部に取り付けられた磁
気ヘッドスライダを回転する磁気ディスクの表面から浮
上させ、その状態で、この磁気ヘッドスライダに搭載さ
れた薄膜磁気ヘッド素子により磁気ディスクへの記録及
び/又は磁気ディスクからの再生が行われる。
【0003】近年の磁気ディスク装置の大容量化及び高
密度記録化に伴い、薄膜磁気ヘッド素子はより高い読取
り感度を必要としており、これを実現する薄膜磁気ヘッ
ド素子の電流容量は極めて小さい。このため、製造及び
組立工程において磁気ヘッド素子を取り扱う作業員の体
に帯電している静電荷の放電(ESD)による過電流、
測定又は評価工程における不意な過電流がこの磁気ヘッ
ド素子に流れると、薄膜磁気ヘッド素子の特性劣化を招
き、最悪の場合は磁気ヘッド素子の静電破壊をもたらす
可能性がある。
【0004】記録用のインダクティブ素子及び再生用の
磁気抵抗効果(MR)素子を有する複合型磁気ヘッドの
静電破壊防止技術として、特開平7−85422号公報
には、インダクティブ素子とMR素子との間を103〜
109Ωcmの物質で短絡すると共に、MR素子に接続
される一対の端子間に正逆方向にそれぞれ1つのダイオ
ードを接続する技術が開示されている。
【0005】また、同じく複合型磁気ヘッドの静電破壊
防止技術として、特開平7−141636号公報には、
磁気ヘッドの製造及び組立作業時に、この磁気ヘッドと
磁気ディスク装置の電気回路とを電気的に接続するフレ
クシブルプリント基板(FPC)の信号読取端子を短絡
させておき、組立作業終了後の特性測定作業前に短絡個
所をFPCの切断により開放する技術が開示されてい
る。
【0006】さらに、複合型磁気ヘッドの静電破壊防止
技術として、米国特許第5465186号公報には、磁
気ヘッドの製造及び組立作業時に、MR素子の端子間を
リード線により短絡しておき、組立作業中の適当な時期
に、この短絡したリード線に正逆方向にそれぞれ1つの
ダイオードを並列に接続した後、並列接続部のリード線
を切断し、MR素子に上述のダイオードを並列接続した
状態とする技術が開示されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
7−85422号公報に記載された従来の静電破壊防止
技術によると、磁気ヘッドの製造工程において、インダ
クティブ素子とMR素子との間を短絡する抵抗物質を設
ける必要があるため工程が複雑となる。また、一方向に
1つのダイオードしか接続していないため、充分なES
D対策を期待することができない。特に、高感度の巨大
磁気抵抗効果(GMR)を利用した例えばスピンバルブ
MR素子等では、静電破壊が生じる値よりはるかに小さ
いESDによりその磁気特性が変化してしまうが、この
公知技術では、このような磁気特性変化を防止すること
は不可能である。
【0008】また、特開平7−141636号公報に記
載された従来の静電破壊防止技術によると、特性測定作
業後に発生することのあるESD対策を別個に施す必要
がある。
【0009】さらにまた、米国特許第5465186号
公報に記載された従来の静電破壊防止技術によると、短
絡個所を切断して開放するという容易ではない作業を行
う必要がある。加えて、一方向に1つのダイオードしか
接続していないため、充分なESD対策を期待すること
ができない。特に、例えばスピンバルブMR素子等のG
MR素子では、静電破壊が生じる値よりはるかに小さい
ESDによりその磁気特性が変化してしまうが、この公
知技術では、このような磁気特性変化を防止することは
不可能である。
【0010】従って本発明は、従来技術の上述した問題
点を解消するものであり、その目的は、ESDによる薄
膜磁気ヘッド素子の電磁特性の劣化を確実に防止するこ
とができる磁気ヘッド装置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、少なく
とも1つの薄膜磁気ヘッド素子を有する磁気ヘッドスラ
イダと、磁気ヘッドスライダを先端部に支持する支持機
構と、薄膜磁気ヘッド素子の駆動回路と、各々が少なく
とも1つの薄膜磁気ヘッド素子の最大出力電圧より大き
な導通動作電圧を有しており、少なくとも1つの薄膜磁
気ヘッド素子に接続される端子間に一方向について少な
くとも2つ並列接続されたダイオード素子とを備えた磁
気ヘッド装置が提供される。
【0012】一方向について2つ以上のダイオード素子
が、薄膜磁気ヘッド素子に接続される端子間に並列接続
されている。その結果、静電気によって生じた過電流
は、並列接続された2つ以上のダイオード素子に分流し
て流れるため、薄膜磁気ヘッド素子に流れる電流は大幅
に低減し、耐静電特性が飛躍的に向上する。
【0013】各ダイオード素子は、導通動作の応答速度
が1.5nsec以下のダイオード素子であることが好
ましい。
【0014】駆動回路がICチップ内に形成されてお
り、ダイオード素子もICチップ内に設けられているこ
とが好ましい。
【0015】ICチップが、支持機構上に搭載されてい
るか、又は支持機構より伸びる配線基板上に搭載されて
いることも好ましい。
【0016】薄膜磁気ヘッド素子が、MR素子、特にG
MR素子であることが好ましい。GMR素子のピン反転
等の電磁特性変化は、この素子に比較的小さな、例えば
20mA程度の電流が流れても発生する。しかしなが
ら、上述のように、並列接続された2つ以上ダイオード
素子への分流が起こるため、このGMR素子に流れる電
流は非常に小さくなり、その結果、電磁特性の耐ESD
性が大幅に向上する。
【0017】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の一実施形態とし
てGMR素子の一種であるスピンバルブMR素子及びイ
ンダクティブ素子を備えた複合型磁気ヘッド装置の主に
ヘッド部及び駆動回路部の概略構成を示す断面図であ
る。
【0018】同図において、10は磁気ヘッドスライ
ダ、11はスピンバルブMR素子、12はMR素子11
の下部磁気シールド層、13はMR素子11の上部磁気
シールド層を兼用するインダクティブ素子の第1の薄膜
磁気コア層、14はインダクティブ素子の第2の薄膜磁
気コア層、15はインダクティブ素子のコイル、16は
インダクティブ素子用の1対の端子電極、17はMR素
子11用の1対の端子電極、18はMR素子11の両端
及び1対の端子電極17を接続する1対の接続導体、1
9はインダクティブ素子用の1対の端子電極16とMR
素子11用の1対の端子電極17とが接続されている駆
動回路(ヘッドアンプ)をそれぞれ示している。以上の
構成は、一般的な複合型磁気ヘッドの構成と同じである
が、本実施形態では、駆動回路19の手前のMR素子1
1用の1対の端子電極17間に、4つのダイオード素子
20a〜20dが互いに並列に接続されている。実際に
は、駆動回路19及びダイオード素子20a〜20d
は、1つのICチップ21内に組み込まれている。
【0019】ダイオード素子20a及び20bは順方向
が一方の方向となるように接続されており、ダイオード
素子20c及び20dは順方向が他方の方向となるよう
に接続されている。即ち、一方向について2つのダイオ
ード素子が並列接続されている。
【0020】図2は、図1の実施形態における複合型磁
気ヘッド装置の全体を示す平面図である。
【0021】同図において、22は磁気ヘッドスライダ
10を一方の端部に設けられた舌部で担持する可撓性の
フレクシャー、23はフレクシャー22を支持固着する
ロードビーム、24はロードビーム23の基部に設けら
れたベースプレートをそれぞれ示している。
【0022】フレクシャー22上には、シリコン半導体
によるICチップ21が搭載されており、このICチッ
プ21内には、前述のごとく、ヘッドアンプである駆動
回路19と4つのダイオード素子20a〜20dとがI
C化されて一体的に形成されている。ICチップ21の
大きさとしては、単なる一例であるが、1.0mm×
1.0mm×0.25mmである。また、ICチップ2
1の取り付け位置は、耐ESD特性の向上、電磁特性の
向上及び実装における容易性から、このようにサスペン
ション上の磁気ヘッドスライダ10に近い位置としてい
る。
【0023】フレクシャー22上には、さらに、入出力
信号線としてフレクシブルプリント基板(FPC)の形
態による複数のリード導体25が形成されており、これ
らリード導体25の一端はフレクシャー22の先端に設
けられた磁気ヘッドスライダ10の前述の端子電極16
及び17に接続されており、他端はICチップ21を介
して外部回路と接続するための接続パッド26に接続さ
れている。
【0024】周知のように、スピンバルブMR素子は、
2つの強磁性薄膜層を非磁性金属層で磁気的に分離して
サンドイッチ構造とし、その一方の強磁性薄膜層に反強
磁性薄膜層を積層することによってその界面で生じる交
換バイアス磁界をこの一方の強磁性薄膜層(ピンニング
される層、ピンド層)に印加するようにしたものであ
る。交換バイアス磁界を受けるピンド層と受けない他方
の強磁性薄膜層(フリー層)とでは磁化反転する磁界が
異なるので、非磁性金属層を挟むこれら2つの強磁性薄
膜層の磁化の向きが平行、反平行と変化し、これにより
電気抵抗率が大きく変化するので巨大磁気抵抗効果が得
られる。
【0025】スピンバルブMR素子の出力特性等は、非
磁性金属層を挟むこれら2つの強磁性薄膜層(ピンド層
及びフリー層)の磁化のなす角度によって定まる。フリ
ー層の磁化方向は磁気媒体からの磁界の方向に従って容
易に磁化し、一方、ピンド層の磁化方向は反強磁性薄膜
層との交換結合により一方向(ピンニングされる方向、
ピンド方向)に制御される。しかしながら、スピンバル
ブMR素子に何らかの原因で熱及び磁界が印加される
と、このピンド方向の反転(ピン反転)が生じることが
ある。
【0026】例えばESD電流によって発生するジュー
ル熱及び磁界により、ピン反転が発生する可能性があ
る。図3は、スピンバルブMR素子において、ピン反転
が生じるESD電流値のMR素子抵抗値依存性を示すグ
ラフである。MR素子抵抗値が50Ωである場合、MR
素子にHuman Body Modelでの実験で2
0mA以上のESD電流が流れるとピン反転を発生する
ことが分かる。
【0027】そこで、本発明では、このようなスピンバ
ルブMR素子と並列に一方向について複数のダイオード
素子を接続することにより、このMR素子に20mA以
上のESD電流が流れないようにしているのである。
【0028】図4は、MR素子とこれに並列に接続する
ダイオード素子との種々の回路構成を示しており、同図
(A)はMR素子40にダイオード素子を全く接続しな
い場合、同図(B)は従来技術のように一方向について
1つのダイオード素子41を並列接続した場合、同図
(C)は本実施形態のように一方向について2つのダイ
オード素子41及び42を並列接続した場合、同図
(D)は一方向について3つのダイオード素子41〜4
3を並列接続した場合をそれぞれ示している。また、表
1及び図5は、図4の各場合におけるESD電流IESD
とMR素子に実際に流れる電流IMRとの関係を示してい
る。ただし、MR素子の抵抗値が50Ωであり、ダイオ
ード素子の導通時の抵抗が8Ωであるとしている。
【0029】
【表1】
【0030】表1及び図5から分かるように、図4
(A)の場合は、印加されるESD電流IESD がそのま
まMR電流IMRとして流れてしまう。また、図4(B)
の従来技術の場合は、ESD電流IESD が約150mA
を越えるとMR電流IMRが20mAを越えてピン反転が
発生する。
【0031】しかしながら、図4(C)のように一方向
について2つのダイオード素子41及び42を並列接続
した場合は、ESD電流IESD が約270mAを越える
までは、MR電流IMRが20mAを越えることはなく、
従ってESD電流によるピン反転も発生しない。さら
に、図4(D)のように一方向について3つのダイオー
ド素子41〜43を並列接続した場合は、ESD電流I
ESD が約300mAを越えても、MR電流IMRが20m
Aを越えることはなく、従ってESD電流によるピン反
転も発生しない。
【0032】このように、電流の一方の方向について2
つ以上のダイオード素子をMR素子に並列に接続するこ
とにより、耐ESD特性が大幅に向上する。本実施形態
では並列接続するダイオード素子の数が2つであるが、
その数をより増大させればその分MR電流が低減するの
で、耐ESD特性はより向上する。
【0033】並列接続する各ダイオード素子の特性とし
て、その導通動作電圧は、MR素子の最大出力電圧より
大きくする必要がある。MR素子のセンス電流が10m
A、その抵抗値が50Ωであるとすると、ダイオード素
子の導通動作電圧は、少なくとも、50×0.1=0.
5Vより高くなければならない。
【0034】また、ダイオード素子の導通応答速度は、
速ければ速いほどよいが、少なくとも1.5nsec以
下であることが望ましい。図6はHuman Body
ModelによるESD電流の波形を示すグラフであ
り、同図の実線AはそのESD電流自体を示しており、
破線Bはダイオード素子を並列接続した場合である。こ
の破線Bの鋭いピークがリーク電流である。リーク電流
は、ダイオード素子の導通応答速度より速い信号であ
り、ダイオード素子の導通応答速度が速ければ速いほど
小さくなる。従って、ESDモデルの1つであるCDM
(ChargedDevice Model)におい
て、1.5nsecの電流印加でのESD破壊報告が現
在存在すること、及びピン反転がESD破壊よりも小さ
な電流で発生することを考慮すると、ダイオード素子の
導通応答速度は、少なくとも1.5nsec以下である
ことが要求されるのである。
【0035】このような条件を満足するダイオード素子
は、ディスクリート部品としては、種々存在しており
(例えば、東芝製のダイオード1SS362)、これと
同等の特性を有するダイオードをICチップ化すること
によって本実施形態の磁気ヘッド装置を実現することが
できる。
【0036】図7及び図8は、スピンバルブMR素子の
ESD電圧に対する出力電圧特性及びESD電圧に対す
る抵抗変化率ΔRをそれぞれ示すグラフである。これら
の図において、aはMR素子にダイオード素子を全く接
続していない磁気ヘッド装置、b〜dは従来技術のよう
に一方向について1つのダイオード素子を並列接続した
磁気ヘッド装置、e及びfは本実施形態のように一方向
について2つのダイオード素子を並列接続した磁気ヘッ
ド装置の特性をそれぞれ示している。なお、使用したE
SDシミュレータは、擬似Human Body Mo
del(RSIMU=1500Ω、C=100pF)であ
る。
【0037】図7から明かのように、MR素子にダイオ
ード素子を全く接続していない場合a、及び一方向につ
いて1つのダイオード素子を並列接続した場合b〜d
は、比較的低いESD電圧(約70V以下)でMR素子
のピン反転が生じてその出力電圧が反転している。これ
に対して、一方向について2つのダイオード素子を並列
接続した場合e及びfは、それよりかなり高いESD電
圧(約250V程度)となるまでピン反転が生じず、磁
気的なダメージを受けにくくなっている。
【0038】また、図8から明かのように、MR素子に
ダイオード素子を全く接続していない場合a、及び一方
向について1つのダイオード素子を並列接続した場合b
及びcは、比較的低いESD電圧(約400V)でES
D電流によりMR素子の溶解が生じて抵抗値が変わるE
SD破壊が生じている。これに対して、一方向について
2つのダイオード素子を並列接続した場合e及びfは、
ESD電圧が800V以上となってもESD破壊が生じ
ない。
【0039】なお、スピンバルブMR素子のピン反転が
起こる印加エネルギ量は、ESD破壊が起こるエネルギ
量に比して非常に低く(約1/4以下)、従来のESD
破壊防止技術によってスピンバルブMR素子のピン反転
を阻止することは不可能であることに注目すべきであ
る。
【0040】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、スピンバルブMR素子に対して、一方向について2
つのダイオード素子を並列接続しているため、ESD電
流による電磁特性の劣化及びESD破壊を防止すること
ができる。また、これらのダイオード素子を駆動回路と
共にICチップ化しているため、部品点数を増大させる
ことなく、ESD対策を施すことができる。磁気ヘッド
装置の製造及び組立工程において作業員の人体に耐電し
ている静電荷は、磁気ヘッド素子とICチップ等による
ヘッド駆動回路とを接続する導体部分から侵入すること
が多い。従って、上述のダイオード素子を備えたICチ
ップをサスペンション上に搭載することにより、磁気ヘ
ッド素子に近い位置でESD対策が施されることとなる
から、その保護効果がより増大する。
【0041】なお、上述した実施形態は、スピンバルブ
MR素子のESD対策に関するものであるが、本発明
は、その他のGMR素子、トンネル磁気抵抗効果(TM
R)素子、異方性磁気抵抗効果(AMR)素子、さらに
はインダクティブ素子のESD対策に対しても適用可能
である。
【0042】図9は、本発明の他の実施形態における複
合型磁気ヘッド装置の全体を示す平面図である。
【0043】同図に示すように本実施形態では、リード
導体25を有するFPC27がサスペンションの後方ま
で伸長しており、このFPC27上にICチップ21が
搭載されている。即ち、図2の場合には、サスペンショ
ン上にICチップ21が搭載されているが、この実施形
態では、サスペンション上ではないFPC27上に搭載
されている。その他の構成及び作用効果は前述の実施形
態の場合とほぼ同様である。
【0044】以上述べた実施形態は全て本発明を例示的
に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明
は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することがで
きる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均
等範囲によってのみ規定されるものである。
【0045】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、一方向について2つ以上のダイオード素子が、薄膜
磁気ヘッド素子に接続される端子間に並列接続されてい
る。その結果、ESD電流は、並列接続された2つ以上
のダイオード素子に分流して流れるため、薄膜磁気ヘッ
ド素子に流れる電流は大幅に低減し、耐ESD特性が飛
躍的に向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態としてスピンバルブMR素
子及びインダクティブ素子を備えた複合型磁気ヘッド装
置の主にヘッド部及び駆動回路部の概略構成を示す断面
図である。
【図2】図1の実施形態における複合型磁気ヘッド装置
の全体を示す平面図である。
【図3】スピンバルブMR素子において、ピン反転が生
じるESD電流の値のMR素子抵抗値依存性を示すグラ
フである。
【図4】MR素子とこれに並列に接続するダイオード素
子との種々の回路構成を示す回路図である。
【図5】図4の各場合におけるESD電流とMR素子に
実際に流れる電流との関係を示すグラフである。
【図6】Human Body ModelによるES
D電流の波形を示すグラフである。
【図7】スピンバルブMR素子のESD電圧に対する出
力電圧特性を示すグラフである。
【図8】スピンバルブMR素子のESD電圧に対する抵
抗変化率ΔRを示すグラフである。
【図9】本発明の他の実施形態における複合型磁気ヘッ
ド装置の全体を示す平面図である。
【符号の説明】
10 磁気ヘッドスライダ 11、40 スピンバルブMR素子 12 下部磁気シールド層 13 上部磁気シールド層、第1の薄膜磁気コア層 14 第2の薄膜磁気コア層 15 コイル 16、17 端子電極 18 接続導体 19 駆動回路(ヘッドアンプ) 20a〜20d、41、42、43 ダイオード素子 21 ICチップ 22 フレクシャー 23 ロードビーム 24 ベースプレート 25 リード導体 26 接続パッド 27 FPC
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 白石 一雅 東京都中央区日本橋一丁目13番1号ティー ディーケイ株式会社内 (72)発明者 森田 治幸 東京都中央区日本橋一丁目13番1号ティー ディーケイ株式会社内 Fターム(参考) 5D034 BA02 BA17 BB14 BB20 CA07

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも1つの薄膜磁気ヘッド素子を
    有する磁気ヘッドスライダと、該磁気ヘッドスライダを
    先端部に支持する支持機構と、前記薄膜磁気ヘッド素子
    の駆動回路と、各々が前記少なくとも1つの薄膜磁気ヘ
    ッド素子の最大出力電圧より大きな導通動作電圧を有し
    ており、該少なくとも1つの薄膜磁気ヘッド素子に接続
    される端子間に一方向について少なくとも2つ並列接続
    されたダイオード素子とを備えたことを特徴とする磁気
    ヘッド装置。
  2. 【請求項2】 前記各ダイオード素子は、導通動作の応
    答速度が1.5nsec以下のダイオード素子であるこ
    とを特徴とする請求項1に記載の磁気ヘッド装置。
  3. 【請求項3】 前記駆動回路がICチップ内に形成され
    ており、前記ダイオード素子も該ICチップ内に設けら
    れていることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気
    ヘッド装置。
  4. 【請求項4】 前記ICチップが、前記支持機構上に搭
    載されていることを特徴とする請求項3に記載の磁気ヘ
    ッド装置。
  5. 【請求項5】 前記ICチップが、前記支持機構より伸
    びる配線基板上に搭載されていることを特徴とする請求
    項3に記載の磁気ヘッド装置。
  6. 【請求項6】 前記薄膜磁気ヘッド素子が、磁気抵抗効
    果素子であることを特徴とする請求項1から5のいずれ
    か1項に記載の磁気ヘッド装置。
  7. 【請求項7】 前記磁気抵抗効果素子が、巨大磁気抵抗
    効果素子であることを特徴とする請求項6に記載の磁気
    ヘッド装置。
JP10313955A 1998-10-19 1998-10-19 磁気ヘッド装置 Pending JP2000123324A (ja)

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