JP2000111310A - 平行度測定装置 - Google Patents
平行度測定装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被対象物を載置する台と、被対象物を加圧す
る加圧部材の平行度を簡易に精度よく測定して調整する
こと。 【解決手段】 被加圧物を載せる載置台１０６に載せら
れると共に、Ｘ，Ｙ軸の少なくとも三点の座標位置が示
されている移動可能な可搬台１０２と、この可搬台１０
２の三点に載せられると共に、Ｚ軸方向の圧力を受ける
ことにより、この圧力値に基いて出力値が変化する複数
のロードセル１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのＺ軸方向
を加圧する加圧部材１０７と、可搬台１０２のＸ，Ｙ軸
の座標位置を認識する座標位置認識手段のＸ，Ｙ軸の座
標位置及び、ロードセル１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃ
の出力値に基づいて加圧部材１０７と載置台１０６との
傾きを演算するＣＰＵ２０５とを備えたものである。
る加圧部材の平行度を簡易に精度よく測定して調整する
こと。 【解決手段】 被加圧物を載せる載置台１０６に載せら
れると共に、Ｘ，Ｙ軸の少なくとも三点の座標位置が示
されている移動可能な可搬台１０２と、この可搬台１０
２の三点に載せられると共に、Ｚ軸方向の圧力を受ける
ことにより、この圧力値に基いて出力値が変化する複数
のロードセル１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのＺ軸方向
を加圧する加圧部材１０７と、可搬台１０２のＸ，Ｙ軸
の座標位置を認識する座標位置認識手段のＸ，Ｙ軸の座
標位置及び、ロードセル１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃ
の出力値に基づいて加圧部材１０７と載置台１０６との
傾きを演算するＣＰＵ２０５とを備えたものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、被対象物を固定
するステージと被対象物を加圧するヘッドとの平行度を
測定して、この測定結果に基づいて調整する平行度測定
装置に関するものである。
するステージと被対象物を加圧するヘッドとの平行度を
測定して、この測定結果に基づいて調整する平行度測定
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の平行度測定装置を特開平９−４９
７０２号公報に開示された図５及び図６によって説明す
る。図５において、長方形の板状の固定ブロック１の四
隅には、４本の押しボルト２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄがね
じ込まれ、各押しボルト２ａ〜２ｄの先端には、ツール
固定ブロック１２の上面に当接されている。各押しボル
ト２ａ〜２ｄの先端部側の側面には、歪ゲージ３ａ〜３
ｄが貼付されている。
７０２号公報に開示された図５及び図６によって説明す
る。図５において、長方形の板状の固定ブロック１の四
隅には、４本の押しボルト２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄがね
じ込まれ、各押しボルト２ａ〜２ｄの先端には、ツール
固定ブロック１２の上面に当接されている。各押しボル
ト２ａ〜２ｄの先端部側の側面には、歪ゲージ３ａ〜３
ｄが貼付されている。
【０００３】図６において、制御部は歪ゲージ３ａ〜３
ｄがホイートストーンブリッジに接続され、端子Ａ，Ｂ
間には直流電源が接続され、端子Ｃ，Ｄ間には電流Ｉｇ
が出力されてアンプ２２により増幅された後、Ａ／Ｄ変
換器２３でデジタル値に変換されて、このデジタル値が
表示部２４に表示される。
ｄがホイートストーンブリッジに接続され、端子Ａ，Ｂ
間には直流電源が接続され、端子Ｃ，Ｄ間には電流Ｉｇ
が出力されてアンプ２２により増幅された後、Ａ／Ｄ変
換器２３でデジタル値に変換されて、このデジタル値が
表示部２４に表示される。
【０００４】上記のように構成された平行度測定装置の
動作を図５及び図６によって説明する。まず、加圧部材
１３が載置台１１に当接し、４本の各押しボルト２ａ〜
２ｄに均等に圧力が加わる。各歪ゲージ３ａ〜３ｄの歪
度合いが均等なので、ブリッジの出力電流Ｉｇは０とな
り、表示部２４には、「０Ａ（平行である旨の表示）」
が表示される。
動作を図５及び図６によって説明する。まず、加圧部材
１３が載置台１１に当接し、４本の各押しボルト２ａ〜
２ｄに均等に圧力が加わる。各歪ゲージ３ａ〜３ｄの歪
度合いが均等なので、ブリッジの出力電流Ｉｇは０とな
り、表示部２４には、「０Ａ（平行である旨の表示）」
が表示される。
【０００５】一方、加圧された結果、加圧部材１３と載
置台１１とが平行でなくなった場合には、各歪ゲージ３
ａ〜３ｄの歪度合いが不均等となるので、ブリッジに出
力電流Ｉｇが流れ、表示部２４には、電流値（不平行の
度合）と電流の方行が表示される。かかる電流値と電流
の方向を作業者が確認し、各押しボルト２ａ〜２ｄを回
転調整して表示部２４の表示が０Ａになるようにして平
行度を調整する。
置台１１とが平行でなくなった場合には、各歪ゲージ３
ａ〜３ｄの歪度合いが不均等となるので、ブリッジに出
力電流Ｉｇが流れ、表示部２４には、電流値（不平行の
度合）と電流の方行が表示される。かかる電流値と電流
の方向を作業者が確認し、各押しボルト２ａ〜２ｄを回
転調整して表示部２４の表示が０Ａになるようにして平
行度を調整する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように構成された平行度測定装置では、４つの歪ゲージ
３ａ〜３ｄを備えたホイートストーンブリッジの出力電
流値により各押しボルト２ａ〜２ｄ間の相対的な平行度
を測定しており、各部のズレ量の絶対値が測定できない
ために、表示部２４の表示を作業者が見て、各押しボル
ト２ａ〜２ｄを適当に螺子込んだり、戻したりして平行
度を表示部２４で確認し、電流値が０Ａにならなけれ
ば、再度、各押しボルト２ａ〜２ｄを適当に螺子込んだ
り、戻したりする、所謂カットアンドトライを繰り返さ
なければ平行度が得られず、平行度の調整が煩雑である
という問題点があった。
ように構成された平行度測定装置では、４つの歪ゲージ
３ａ〜３ｄを備えたホイートストーンブリッジの出力電
流値により各押しボルト２ａ〜２ｄ間の相対的な平行度
を測定しており、各部のズレ量の絶対値が測定できない
ために、表示部２４の表示を作業者が見て、各押しボル
ト２ａ〜２ｄを適当に螺子込んだり、戻したりして平行
度を表示部２４で確認し、電流値が０Ａにならなけれ
ば、再度、各押しボルト２ａ〜２ｄを適当に螺子込んだ
り、戻したりする、所謂カットアンドトライを繰り返さ
なければ平行度が得られず、平行度の調整が煩雑である
という問題点があった。
【０００７】この発明は、かかる問題点を解決するため
になされたもので、被対象物を載置する台と、被対象物
を加圧する加圧部材の平行度を簡易に精度よく測定して
調整する平行度測定装置を提供することを目的としてい
る。
になされたもので、被対象物を載置する台と、被対象物
を加圧する加圧部材の平行度を簡易に精度よく測定して
調整する平行度測定装置を提供することを目的としてい
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】第１の発明の平行度測定
装置は、被加圧物を載せる載置台と、この載置台に載せ
られると共に、Ｘ，Ｙ軸の少なくとも三点の座標位置が
示されている移動可能な可搬台と、この可搬台の上記三
点に載せられると共に、Ｚ軸方向の圧力を受けることに
より、この圧力値に基いて出力値が変化する複数の圧力
検出手段と、この圧力検出手段のＺ軸方向を加圧する加
圧部材と、上記可搬台のＸ，Ｙ軸の上記座標位置を認識
する座標位置認識手段と、この座標位置認識手段のＸ，
Ｙ軸の座標位置及び、上記圧力検出手段の出力値に基づ
いて上記加圧部材と上記載置台との傾きを演算する演算
手段と、を備えたことを特徴とするものである。
装置は、被加圧物を載せる載置台と、この載置台に載せ
られると共に、Ｘ，Ｙ軸の少なくとも三点の座標位置が
示されている移動可能な可搬台と、この可搬台の上記三
点に載せられると共に、Ｚ軸方向の圧力を受けることに
より、この圧力値に基いて出力値が変化する複数の圧力
検出手段と、この圧力検出手段のＺ軸方向を加圧する加
圧部材と、上記可搬台のＸ，Ｙ軸の上記座標位置を認識
する座標位置認識手段と、この座標位置認識手段のＸ，
Ｙ軸の座標位置及び、上記圧力検出手段の出力値に基づ
いて上記加圧部材と上記載置台との傾きを演算する演算
手段と、を備えたことを特徴とするものである。
【０００９】第２の発明の平行度測定装置は、被加圧物
を載せると共に、Ｘ，Ｙ軸の少なくとも三点の座標位置
が示されている載置台と、この載置台の上記三点に載せ
られると共に、Ｚ軸方向の圧力を受けることにより、こ
の圧力値に基いて出力値が変化する複数の圧力検出手段
と、この圧力検出手段のＺ軸方向を加圧する加圧部材
と、上記載置台のＸ，Ｙ軸の上記座標位置を認識する座
標位置認識手段と、この座標位置認識手段のＸ，Ｙ軸の
座標位置及び、上記圧力検出手段の出力値に基づいて上
記加圧部材と上記載置台との傾きを演算する演算手段と
を備えたことを特徴とするものである。
を載せると共に、Ｘ，Ｙ軸の少なくとも三点の座標位置
が示されている載置台と、この載置台の上記三点に載せ
られると共に、Ｚ軸方向の圧力を受けることにより、こ
の圧力値に基いて出力値が変化する複数の圧力検出手段
と、この圧力検出手段のＺ軸方向を加圧する加圧部材
と、上記載置台のＸ，Ｙ軸の上記座標位置を認識する座
標位置認識手段と、この座標位置認識手段のＸ，Ｙ軸の
座標位置及び、上記圧力検出手段の出力値に基づいて上
記加圧部材と上記載置台との傾きを演算する演算手段と
を備えたことを特徴とするものである。
【００１０】第３の発明の平行度測定装置は、演算手段
の演算値に基いた表示をさせる表示手段とを備えたこと
を特徴とするものである。
の演算値に基いた表示をさせる表示手段とを備えたこと
を特徴とするものである。
【００１１】第４の発明の平行度測定装置は、複数の圧
力検出手段のＺ軸方向の高さを、載置台の天面から一定
値に加工する一定値加工手段と、を備えたことを特徴と
するものである。
力検出手段のＺ軸方向の高さを、載置台の天面から一定
値に加工する一定値加工手段と、を備えたことを特徴と
するものである。
【００１２】第５の発明の平行度測定装置は、可搬台の
回転を阻止する回転阻止手段とを備えたことを特徴とす
るものである。
回転を阻止する回転阻止手段とを備えたことを特徴とす
るものである。
【００１３】第６の発明の平行度測定装置の可搬台は、
圧力検出手段を係合させる凹部を有することを特徴とす
るものである。
圧力検出手段を係合させる凹部を有することを特徴とす
るものである。
【００１４】第７の発明の平行度測定装置は、演算手段
によって求められた傾き値に基いて載置台又は加圧部材
の傾きを変化させるＸ，Ｙ軸調整機構と、を備えたこと
を特徴とするものである。
によって求められた傾き値に基いて載置台又は加圧部材
の傾きを変化させるＸ，Ｙ軸調整機構と、を備えたこと
を特徴とするものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】実施の形態１．この発明の一実施
の形態を図１及び図２によって説明する。図１はこの発
明の実施の形態を示す平行度測定装置の正面図である。
図１及び図２において、加圧部材としてのヘッド１０７
と、載置台としてのステージ１０６との平行度測定装置
は、ヘッド１０７により加圧される例えば三つのロード
セル１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃを載せる非直線上に
存在する３つの円柱状の凹部１０２ａを設けた移動可能
な固定治具（可搬台）１０２がステージ１０６に載置さ
れている。なお、ロードセル１０１ａ〜１０１ｃの数は
三つ以上であれば良い。
の形態を図１及び図２によって説明する。図１はこの発
明の実施の形態を示す平行度測定装置の正面図である。
図１及び図２において、加圧部材としてのヘッド１０７
と、載置台としてのステージ１０６との平行度測定装置
は、ヘッド１０７により加圧される例えば三つのロード
セル１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃを載せる非直線上に
存在する３つの円柱状の凹部１０２ａを設けた移動可能
な固定治具（可搬台）１０２がステージ１０６に載置さ
れている。なお、ロードセル１０１ａ〜１０１ｃの数は
三つ以上であれば良い。
【００１６】圧力検出手段としてのロードセル１０１
ａ，１０１ｂ，１０１ｃは、図に示すようなヘッド１０
７のＺ軸方向の加圧力に応じた出力電圧（出力値）を示
す特性を有しており、固定治具１０２の凹部１０２ａの
Ｘ，Ｙ座標位置が順に、x1，y1と、x2，y2と、x3、y3と
予め計測されている。
ａ，１０１ｂ，１０１ｃは、図に示すようなヘッド１０
７のＺ軸方向の加圧力に応じた出力電圧（出力値）を示
す特性を有しており、固定治具１０２の凹部１０２ａの
Ｘ，Ｙ座標位置が順に、x1，y1と、x2，y2と、x3、y3と
予め計測されている。
【００１７】制御部２００は、各ロードセル１０１ａ，
１０１ｂ，１０１ｃの出力電圧を増幅する増幅器２０１
と、座標位置などを入力するキーボード２０２と、キー
ボード２０２から入力された座標値を記憶された座標位
置認識手段としてのＲＡＭ２０３と、下記演算式などが
記憶されたＲＯＭ２０４と、ロードセル１０１ａ〜１０
１ｃの測定したデータと、ＲＡＭ２０３に記憶された
Ｘ，Ｙ座標値からステージ１０６とヘッド１０７の傾き
を演算せしめる演算手段としてのＣＰＵ２０５と、この
ＣＰＵ２０５の演算結果を表示する表示手段としての液
晶ディスプレイ２０８である。
１０１ｂ，１０１ｃの出力電圧を増幅する増幅器２０１
と、座標位置などを入力するキーボード２０２と、キー
ボード２０２から入力された座標値を記憶された座標位
置認識手段としてのＲＡＭ２０３と、下記演算式などが
記憶されたＲＯＭ２０４と、ロードセル１０１ａ〜１０
１ｃの測定したデータと、ＲＡＭ２０３に記憶された
Ｘ，Ｙ座標値からステージ１０６とヘッド１０７の傾き
を演算せしめる演算手段としてのＣＰＵ２０５と、この
ＣＰＵ２０５の演算結果を表示する表示手段としての液
晶ディスプレイ２０８である。
【００１８】調整機構３００は、ヘッド１０７を傾むけ
てステージ１０６との平行度を調整するもので、Ｘ軸方
向の傾きを調整するＸ軸機構３１１ｘと、ｙ軸方向の傾
きを調整するＹ軸機構３１１ｙとを備えており、モータ
３１２ｘによりＸ軸機構３１１ｘが動作し、モータ３１
１ｙによりＹ軸機構３１１ｙが動作するように構成され
ている。勿論、ステージ１０６を傾けて平行度を調整す
る機構でも良い。
てステージ１０６との平行度を調整するもので、Ｘ軸方
向の傾きを調整するＸ軸機構３１１ｘと、ｙ軸方向の傾
きを調整するＹ軸機構３１１ｙとを備えており、モータ
３１２ｘによりＸ軸機構３１１ｘが動作し、モータ３１
１ｙによりＹ軸機構３１１ｙが動作するように構成され
ている。勿論、ステージ１０６を傾けて平行度を調整す
る機構でも良い。
【００１９】次に、上記のように構成された平行度測定
装置の動作を図１〜図３よって説明する。まず、ロード
セル１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃの固定治具１０２の
凹部１０２ａに係合して固定し、基準台１１５の凹状の
基準板１１５ａの上に固定治具１０２を載せ、基準板１
１５ａの上端に天板１１５ｂを載せる。なお、基準板１
１５ａの天面と天板１１５ｂの底面との平行は確保され
ている。
装置の動作を図１〜図３よって説明する。まず、ロード
セル１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃの固定治具１０２の
凹部１０２ａに係合して固定し、基準台１１５の凹状の
基準板１１５ａの上に固定治具１０２を載せ、基準板１
１５ａの上端に天板１１５ｂを載せる。なお、基準板１
１５ａの天面と天板１１５ｂの底面との平行は確保され
ている。
【００２０】各ロードセル１０１ａ〜１０１ｃのＺ軸方
向の基準点の調整（校正）は、各ロードセル１０１ａ〜
１０１ｃの先端が天板１１５ｂに当接することにより行
う。同様に、Ｘ，Ｙ軸方向の基準点の調整（校正）は、
固定治具１０２の回転を一軸方向で、阻止する板状の回
転阻止部材１０９を固定治具１０２の側面に当接する。
なお、回転阻止部材１０９は、ピン状のもので、固定治
具１０２の回転を２軸拘束しても良い。
向の基準点の調整（校正）は、各ロードセル１０１ａ〜
１０１ｃの先端が天板１１５ｂに当接することにより行
う。同様に、Ｘ，Ｙ軸方向の基準点の調整（校正）は、
固定治具１０２の回転を一軸方向で、阻止する板状の回
転阻止部材１０９を固定治具１０２の側面に当接する。
なお、回転阻止部材１０９は、ピン状のもので、固定治
具１０２の回転を２軸拘束しても良い。
【００２１】ロードセル１０１ａ〜１０１ｃ有する固定
治具１０２をステージ１０６の所定の位置に位置決めす
る。ロードセル１０１ａ〜１０１ｃの予め計測しておい
たそれぞれのＸ，Ｙの座標位置Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３を、順
に、x1，y1と、x2，y2と、x3、y3とをキーボード２０２
から入力してＲＡＭ２０３に記憶する。
治具１０２をステージ１０６の所定の位置に位置決めす
る。ロードセル１０１ａ〜１０１ｃの予め計測しておい
たそれぞれのＸ，Ｙの座標位置Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３を、順
に、x1，y1と、x2，y2と、x3、y3とをキーボード２０２
から入力してＲＡＭ２０３に記憶する。
【００２２】ヘッド１０７を下降して、ロードセル１０
１ａ〜１０１ｃの天面を加圧する。ロードセル１０１ａ
〜１０１ｃの各出力電圧を増幅器２０１で増幅して、Ｃ
ＰＵ２０５は該出力電圧値をＺ軸方向の変位量Ｚ１，Ｚ
２，Ｚ３に変換する。ＣＰＵは各座標値Ｐ１〜Ｐ３と、
Ｚ軸方向の変位量Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３とに基いて下記の手
順によりステージ１０６とヘッド１０７の平行度、すな
わち、Ｘ，Ｙ軸の傾きΘx，Θｙを演算する。
１ａ〜１０１ｃの天面を加圧する。ロードセル１０１ａ
〜１０１ｃの各出力電圧を増幅器２０１で増幅して、Ｃ
ＰＵ２０５は該出力電圧値をＺ軸方向の変位量Ｚ１，Ｚ
２，Ｚ３に変換する。ＣＰＵは各座標値Ｐ１〜Ｐ３と、
Ｚ軸方向の変位量Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３とに基いて下記の手
順によりステージ１０６とヘッド１０７の平行度、すな
わち、Ｘ，Ｙ軸の傾きΘx，Θｙを演算する。
【００２３】ステージ１０６を基準として、ロードセル
１０１ａ〜１０１ｃで測定したヘッド１０７の平面を下
記（１）式とすると、 ａX＋bY＋cZ＝１・・・・（１） ロードセル１０１ａ〜１０１ｃの各座標値Ｐ１〜Ｐ３は
それぞれ下記（２）〜（４）式となる。 P1＝（x１，y１，z１）・・・（２） P2＝（x２，y２，z２）・・・（３） P3＝（x３，y３，z３）・・・（４） この（２）〜（４）式を上記（１）式に代入すると、下
記（５）式となる。 ａ：ｂ：ｃ＝(y１−y２)(z３−z１)−(y３−y１)(z１−z２) ：(x３−x１)(z１−z２)−(x１−x２)(z３−z１) ：(x１−x２)(y３−y１)−(x３−x１)(y１−y２)・・・（５） よって、ステージ１０６に対するヘッド１０７の傾き
は、それぞれＸ軸、Ｙ軸周りに、下記（６），（７）式
となる。 Θx=ｔａｎ-1（ｂ／ｃ）・・・（６） Θy=ｔａｎ-1（ａ／ｃ）・・・（７）
１０１ａ〜１０１ｃで測定したヘッド１０７の平面を下
記（１）式とすると、 ａX＋bY＋cZ＝１・・・・（１） ロードセル１０１ａ〜１０１ｃの各座標値Ｐ１〜Ｐ３は
それぞれ下記（２）〜（４）式となる。 P1＝（x１，y１，z１）・・・（２） P2＝（x２，y２，z２）・・・（３） P3＝（x３，y３，z３）・・・（４） この（２）〜（４）式を上記（１）式に代入すると、下
記（５）式となる。 ａ：ｂ：ｃ＝(y１−y２)(z３−z１)−(y３−y１)(z１−z２) ：(x３−x１)(z１−z２)−(x１−x２)(z３−z１) ：(x１−x２)(y３−y１)−(x３−x１)(y１−y２)・・・（５） よって、ステージ１０６に対するヘッド１０７の傾き
は、それぞれＸ軸、Ｙ軸周りに、下記（６），（７）式
となる。 Θx=ｔａｎ-1（ｂ／ｃ）・・・（６） Θy=ｔａｎ-1（ａ／ｃ）・・・（７）
【００２４】かかる傾きΘx，Θyを液晶ディスプレイ２
０８に表示する。この表示を作業者などが目視すること
によりヘッド１０７とステージ１０６の平行度が絶対値
で確認できるから、平行度の調整が容易になる。次に、
ＣＰＵ２０５は傾きΘx，Θyの値が許容範囲内か判断す
る。許容範囲外の場合には、傾きΘx，Θyの値に基いて
モータ３１２ｘ，３１２ｙを回転し、回転機構３００の
Ｘ軸機構３１１ｘ，Ｙ軸駆動機構３１１ｙを駆動してヘ
ッド１０７を移動して該許容範囲内に傾きを調整し、載
置台１０６から固定治具１０２を取り外す。一方、許容
範囲内の場合には、回転機構３００を動作することな
く、固定治具１０２を取り外す。
０８に表示する。この表示を作業者などが目視すること
によりヘッド１０７とステージ１０６の平行度が絶対値
で確認できるから、平行度の調整が容易になる。次に、
ＣＰＵ２０５は傾きΘx，Θyの値が許容範囲内か判断す
る。許容範囲外の場合には、傾きΘx，Θyの値に基いて
モータ３１２ｘ，３１２ｙを回転し、回転機構３００の
Ｘ軸機構３１１ｘ，Ｙ軸駆動機構３１１ｙを駆動してヘ
ッド１０７を移動して該許容範囲内に傾きを調整し、載
置台１０６から固定治具１０２を取り外す。一方、許容
範囲内の場合には、回転機構３００を動作することな
く、固定治具１０２を取り外す。
【００２５】なお、上記実施の形態では、固定治具１０
２の上にロードセル１０１ａ〜１０１ｃを載せたが、直
接ロードセル１０１ａ〜１０１ｃをＸ，Ｙ座標値が予め
測定されているステージ１０６の上に載せても良い。か
かる場合、ステージ１０６に凹部を設け、該凹部にロー
ドセル１０１ａ〜１０１ｃの外周を係合させても良い。
２の上にロードセル１０１ａ〜１０１ｃを載せたが、直
接ロードセル１０１ａ〜１０１ｃをＸ，Ｙ座標値が予め
測定されているステージ１０６の上に載せても良い。か
かる場合、ステージ１０６に凹部を設け、該凹部にロー
ドセル１０１ａ〜１０１ｃの外周を係合させても良い。
【００２６】また、Ｚ軸方向の校正は、固定治具１０２
の底面を基準にロードセル１０１ａ〜１０１ｃの先端ま
での距離が互いに一定になるように、ロードセル１０１
ａ〜１０１ｃの天面を研磨加工しても良い。また、固定
治具１０２の底面に対して側面、上面が精度よく加工さ
れておれば、上記基準面として、固定治具１０２の側面
又は天面を用いても良い。
の底面を基準にロードセル１０１ａ〜１０１ｃの先端ま
での距離が互いに一定になるように、ロードセル１０１
ａ〜１０１ｃの天面を研磨加工しても良い。また、固定
治具１０２の底面に対して側面、上面が精度よく加工さ
れておれば、上記基準面として、固定治具１０２の側面
又は天面を用いても良い。
【００２７】
【発明の効果】第1の発明によれば、被加圧物を載せる
載置台と、この載置台に載せられると共に、Ｘ，Ｙ軸の
少なくとも三点の座標位置が示されている移動可能な可
搬台と、この可搬台の上記三点に載せられると共に、Ｚ
軸方向の圧力を受けることにより、この圧力値に基いて
出力値が変化する複数の圧力検出手段と、この圧力検出
手段のＺ軸方向を加圧する加圧部材と、上記可搬台の
Ｘ，Ｙ軸の上記座標位置を認識する座標位置認識手段
と、この座標位置認識手段のＸ，Ｙ軸の座標位置及び、
上記圧力検出手段の出力値に基づいて上記加圧部材と上
記載置台との傾きを演算する演算手段とを備えたので、
簡易に載置台と加圧部材の傾きの絶対値を求めることが
できるから、平行度の調整が容易になり、しかも、圧力
検出手段を有する可搬台が移動可能であるため、他の載
置台と加圧部材との平行度の測定も容易であるという効
果がある。
載置台と、この載置台に載せられると共に、Ｘ，Ｙ軸の
少なくとも三点の座標位置が示されている移動可能な可
搬台と、この可搬台の上記三点に載せられると共に、Ｚ
軸方向の圧力を受けることにより、この圧力値に基いて
出力値が変化する複数の圧力検出手段と、この圧力検出
手段のＺ軸方向を加圧する加圧部材と、上記可搬台の
Ｘ，Ｙ軸の上記座標位置を認識する座標位置認識手段
と、この座標位置認識手段のＸ，Ｙ軸の座標位置及び、
上記圧力検出手段の出力値に基づいて上記加圧部材と上
記載置台との傾きを演算する演算手段とを備えたので、
簡易に載置台と加圧部材の傾きの絶対値を求めることが
できるから、平行度の調整が容易になり、しかも、圧力
検出手段を有する可搬台が移動可能であるため、他の載
置台と加圧部材との平行度の測定も容易であるという効
果がある。
【００２８】第２の発明によれば、被加圧物を載せると
共に、Ｘ，Ｙ軸の少なくとも三点の座標位置が示されて
いる載置台と、この載置台の上記三点に載せられると共
に、Ｚ軸方向の圧力を受けることにより、この圧力値に
基いて出力値が変化する複数の圧力検出手段と、この圧
力検出手段のＺ軸方向を加圧する加圧部材と、上記載置
台のＸ，Ｙ軸の上記座標位置を認識する座標位置認識手
段と、この座標位置認識手段のＸ，Ｙ軸の座標位置及
び、上記圧力検出手段の出力値に基づいて上記加圧部材
と上記載置台との傾きを演算する演算手段とを備えたの
で、簡易に載置台と加圧部材の傾きの絶対値を求めるこ
とができるから、平行度の調整が容易になるという効果
がある。
共に、Ｘ，Ｙ軸の少なくとも三点の座標位置が示されて
いる載置台と、この載置台の上記三点に載せられると共
に、Ｚ軸方向の圧力を受けることにより、この圧力値に
基いて出力値が変化する複数の圧力検出手段と、この圧
力検出手段のＺ軸方向を加圧する加圧部材と、上記載置
台のＸ，Ｙ軸の上記座標位置を認識する座標位置認識手
段と、この座標位置認識手段のＸ，Ｙ軸の座標位置及
び、上記圧力検出手段の出力値に基づいて上記加圧部材
と上記載置台との傾きを演算する演算手段とを備えたの
で、簡易に載置台と加圧部材の傾きの絶対値を求めるこ
とができるから、平行度の調整が容易になるという効果
がある。
【００２９】第３の発明によれば、第１又は第２の発明
の効果に加え、演算手段の演算値に基いた表示をさせる
表示手段を備えたので、作業者などが表示手段の表示を
読み取ることにより載置台と加圧部材の傾きを容易に確
認できるという効果がある。
の効果に加え、演算手段の演算値に基いた表示をさせる
表示手段を備えたので、作業者などが表示手段の表示を
読み取ることにより載置台と加圧部材の傾きを容易に確
認できるという効果がある。
【００３０】第４の発明によれば、第１又は第２の発明
の効果に加え、複数の圧力検出手段のＺ軸方向の高さ
を、載置台の天面から一定値に加工する一定値加工手段
を備えたので、Ｚ軸方向の校正作業が不要にできるとい
う効果がある。
の効果に加え、複数の圧力検出手段のＺ軸方向の高さ
を、載置台の天面から一定値に加工する一定値加工手段
を備えたので、Ｚ軸方向の校正作業が不要にできるとい
う効果がある。
【００３１】第５の発明によれば、第１又は第２の発明
の効果に加え、可搬台の回転を阻止する回転阻止手段と
を備えたので、Ｘ，Ｙ座標の移動を阻止して精度良く載
置台と加圧部材の傾きを求めることができるという効果
がある。
の効果に加え、可搬台の回転を阻止する回転阻止手段と
を備えたので、Ｘ，Ｙ座標の移動を阻止して精度良く載
置台と加圧部材の傾きを求めることができるという効果
がある。
【００３２】第６の発明によれば、第１の発明の効果に
加え、可搬台は、圧力検出手段を係合させる凹部を有す
るので、圧力検出手段が可搬台から移動しにくくなり、
精度良く載置台と加圧部材の傾きを求めることができる
という効果がある。
加え、可搬台は、圧力検出手段を係合させる凹部を有す
るので、圧力検出手段が可搬台から移動しにくくなり、
精度良く載置台と加圧部材の傾きを求めることができる
という効果がある。
【００３３】第７の発明によれば、第１又は第２の発明
の効果に加え、演算手段によって求められた傾き値に基
いて載置台又は加圧部材の傾きを変化させるＸ，Ｙ軸調
整機構としたので、載置台と加圧部材との傾きを所望値
内にできるという効果がある。
の効果に加え、演算手段によって求められた傾き値に基
いて載置台又は加圧部材の傾きを変化させるＸ，Ｙ軸調
整機構としたので、載置台と加圧部材との傾きを所望値
内にできるという効果がある。
【図１】 この発明の実施形態による平行度測定装置を
示す正面図である。
示す正面図である。
【図２】 この発明の実施形態によるステージとヘッド
との傾きを補正する補正機構を設けた平行度測定装置を
示す正面図である。
との傾きを補正する補正機構を設けた平行度測定装置を
示す正面図である。
【図３】 図１のロードセルのＺ軸方向及びＸ，Ｙ軸方
向の校正を示すロードセルの位置を示す正面図である。
向の校正を示すロードセルの位置を示す正面図である。
【図４】 図１に示すロードセルの入出力特性を示す曲
線図である。
線図である。
【図５】 従来の平行度測定装置を示す要部斜視図及び
要部平面図である。
要部平面図である。
【図６】 図５に示す制御系のブロック図である。
１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃ ロードセル（圧力検出
手段）、１０２ 固定治具（可搬台）、１０２ａ 凹
部、１０６ ステージ（載置台）、１０７ ヘッド（加
圧部材）、３００ Ｘ，Ｙ軸調整機構。
手段）、１０２ 固定治具（可搬台）、１０２ａ 凹
部、１０６ ステージ（載置台）、１０７ ヘッド（加
圧部材）、３００ Ｘ，Ｙ軸調整機構。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 永井 清春 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 岡村 将光 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 大賀 琢也 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 2F063 AA37 AA41 CA11 CB03 DA15 DD04 EC00 ZA01 ZA03
Claims (7)
- 【請求項１】 被加圧物を載せる載置台と、 この載置台に載せられると共に、Ｘ，Ｙ軸の少なくとも
三点の座標位置が示されている移動可能な可搬台と、 この可搬台の上記三点に載せられると共に、Ｚ軸方向の
圧力を受けることにより、この圧力値に基いて出力値が
変化する複数の圧力検出手段と、 この圧力検出手段のＺ軸方向を加圧する加圧部材と、 上記可搬台のＸ，Ｙ軸の上記座標位置を認識する座標位
置認識手段と、 この座標位置認識手段のＸ，Ｙ軸の座標位置及び、上記
圧力検出手段の出力値に基づいて上記加圧部材と上記載
置台との傾きを演算する演算手段と、 を備えたことを特徴とする平行度測定装置。 - 【請求項２】 被加圧物を載せると共に、Ｘ，Ｙ軸の少
なくとも三点の座標位置が示されている載置台と、 この載置台の上記三点に載せられると共に、Ｚ軸方向の
圧力を受けることにより、この圧力値に基いて出力値が
変化する複数の圧力検出手段と、 この圧力検出手段のＺ軸方向を加圧する加圧部材と、 上記載置台のＸ，Ｙ軸の上記座標位置を認識する座標位
置認識手段と、 この座標位置認識手段のＸ，Ｙ軸の座標位置及び、上記
圧力検出手段の出力値に基づいて上記加圧部材と上記載
置台との傾きを演算する演算手段と、 を備えたことを特徴とする平行度測定装置。 - 【請求項３】 上記演算手段の演算値に基いた表示をさ
せる表示手段と、 を備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載
の平行度測定装置。 - 【請求項４】 上記複数の圧力検出手段のＺ軸方向の高
さを、上記載置台の天面から一定値に加工する一定値加
工手段と、 を備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載
の平行度測定装置。 - 【請求項５】 上記可搬台の回転を阻止する回転阻止手
段と、 を備えたことを特徴とする請求項１に記載の平行度測定
装置。 - 【請求項６】 上記可搬台は、上記圧力検出手段を係合
させる凹部を有することを特徴とする請求項１に記載の
平行度測定装置。 - 【請求項７】 上記演算手段によって求められた傾き値
に基いて上記載置台又は上記加圧部材の傾きを変化させ
るＸ，Ｙ軸調整機構と、 を備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載
の平行度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10282104A JP2000111310A (ja) | 1998-10-05 | 1998-10-05 | 平行度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10282104A JP2000111310A (ja) | 1998-10-05 | 1998-10-05 | 平行度測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000111310A true JP2000111310A (ja) | 2000-04-18 |
Family
ID=17648188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10282104A Pending JP2000111310A (ja) | 1998-10-05 | 1998-10-05 | 平行度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000111310A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007046552A1 (ja) * | 2005-10-20 | 2007-04-26 | Takahashi Keisei Corporation | 上下定盤面平行度測定用ボード、上下定盤面平行度測定システムおよび上下定盤面間距離調整方法 |
| CN113776486A (zh) * | 2021-09-10 | 2021-12-10 | 广州国显科技有限公司 | 平行度测量装置及平行度测量方法 |
| CN114364940A (zh) * | 2020-07-30 | 2022-04-15 | 株式会社新川 | 安装装置以及安装装置中的平行度检测方法 |
-
1998
- 1998-10-05 JP JP10282104A patent/JP2000111310A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007046552A1 (ja) * | 2005-10-20 | 2007-04-26 | Takahashi Keisei Corporation | 上下定盤面平行度測定用ボード、上下定盤面平行度測定システムおよび上下定盤面間距離調整方法 |
| CN114364940A (zh) * | 2020-07-30 | 2022-04-15 | 株式会社新川 | 安装装置以及安装装置中的平行度检测方法 |
| CN113776486A (zh) * | 2021-09-10 | 2021-12-10 | 广州国显科技有限公司 | 平行度测量装置及平行度测量方法 |
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