JP2000100374A - Ｉｃｐ−ｍｓ分析装置 - Google Patents
Ｉｃｐ−ｍｓ分析装置Info
- Publication number
- JP2000100374A JP2000100374A JP10269153A JP26915398A JP2000100374A JP 2000100374 A JP2000100374 A JP 2000100374A JP 10269153 A JP10269153 A JP 10269153A JP 26915398 A JP26915398 A JP 26915398A JP 2000100374 A JP2000100374 A JP 2000100374A
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- carrier gas
- sample
- plasma
- chamber
- carrier
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 測定元素に応じてキャリアガスの分子イオン
の妨害による分析下限の悪化が生じない最適なキャリア
ガスを選択する。 【解決手段】 キャリアガスボンベ１ａ、ならびに１ｂ
の各々に接続されているスプレーチェンバ２ａ、２ｂに
内蔵されているネブライザ１４ａ、１４ｂでキャリアガ
スが噴射され、同じく各ネブライザに導かれている溶液
試料１３が霧吹きの原理で霧化され、異なったキャリア
ガスによる試料エアロゾルが作られる。これらの試料エ
アロゾルはキャリアガスと共にチェンバ切り換えバルブ
３に導かれ、このチェンバ切り換えバルブ３は測定元素
に応じてキャリアガスを選択し、スプレーチェンバ２ａ
または２ｂのいずれかの試料エアロゾル＋キャリアガス
をプラズマトーチ４へ導入する。そしてプラズマトーチ
４では他のクーラントガス、プラズマガスとともに測定
元素に適したプラズマ炎９が得られ、試料のイオン化、
そして質量分析が行われる。
の妨害による分析下限の悪化が生じない最適なキャリア
ガスを選択する。 【解決手段】 キャリアガスボンベ１ａ、ならびに１ｂ
の各々に接続されているスプレーチェンバ２ａ、２ｂに
内蔵されているネブライザ１４ａ、１４ｂでキャリアガ
スが噴射され、同じく各ネブライザに導かれている溶液
試料１３が霧吹きの原理で霧化され、異なったキャリア
ガスによる試料エアロゾルが作られる。これらの試料エ
アロゾルはキャリアガスと共にチェンバ切り換えバルブ
３に導かれ、このチェンバ切り換えバルブ３は測定元素
に応じてキャリアガスを選択し、スプレーチェンバ２ａ
または２ｂのいずれかの試料エアロゾル＋キャリアガス
をプラズマトーチ４へ導入する。そしてプラズマトーチ
４では他のクーラントガス、プラズマガスとともに測定
元素に適したプラズマ炎９が得られ、試料のイオン化、
そして質量分析が行われる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料をＩＣＰによ
りイオン化して質量分析を行うＩＣＰ−ＭＳ分析装置に
関する。
りイオン化して質量分析を行うＩＣＰ−ＭＳ分析装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】誘導結合プラズマ質量分析法（ＩＣＰ−
ＭＳ）は多くの元素について超微量レベルの分析ができ
ること、同位体比の測定ができることから安定同位体を
使った同位体希釈質量分析が可能である、等の特徴をも
ち近年その利用範囲が拡大しつつある。
ＭＳ）は多くの元素について超微量レベルの分析ができ
ること、同位体比の測定ができることから安定同位体を
使った同位体希釈質量分析が可能である、等の特徴をも
ち近年その利用範囲が拡大しつつある。
【０００３】従来からＩＣＰ−ＭＳ分析装置として図２
に示す構成のものがある。このＩＣＰ−ＭＳ分析装置で
は、溶液試料１３がキャリアガスボンベ１からのキャリ
アガス（例えばアルゴンガス）のスプレーチェンバ２内
への送入によって吸引され、ネブライザ１４で霧化され
た試料エアロゾルがキャリアガスと共にプラズマトーチ
４内に導入される。プラズマトーチ４ではその先端部外
周に設置した誘導コイル６に高周波電源８およびマッチ
ングボックス７によって高周波電力をかけることによっ
て放電が行われキャリアガスによるプラズマ炎９が得ら
れる。この高温プラズマによって霧化された試料はイオ
ン化され、生成されたイオンが質量分析装置１５のイオ
ン導入部１０の差圧排気、イオンレンズの働きによって
試料イオンは四重極マスアナライザ１１に取り入れられ
質量分離が行われる。そして質量分離をおこなった試料
中の特定元素をエレクトロンマルチプライアといったイ
オン検出器１２で検出する。
に示す構成のものがある。このＩＣＰ−ＭＳ分析装置で
は、溶液試料１３がキャリアガスボンベ１からのキャリ
アガス（例えばアルゴンガス）のスプレーチェンバ２内
への送入によって吸引され、ネブライザ１４で霧化され
た試料エアロゾルがキャリアガスと共にプラズマトーチ
４内に導入される。プラズマトーチ４ではその先端部外
周に設置した誘導コイル６に高周波電源８およびマッチ
ングボックス７によって高周波電力をかけることによっ
て放電が行われキャリアガスによるプラズマ炎９が得ら
れる。この高温プラズマによって霧化された試料はイオ
ン化され、生成されたイオンが質量分析装置１５のイオ
ン導入部１０の差圧排気、イオンレンズの働きによって
試料イオンは四重極マスアナライザ１１に取り入れられ
質量分離が行われる。そして質量分離をおこなった試料
中の特定元素をエレクトロンマルチプライアといったイ
オン検出器１２で検出する。
【０００４】ところで、前述のキャリアガスはスプレー
チェンバ２内のネブライザ１４で吸い上げた溶液試料を
エアロゾルとしてプラズマ炎９内に導入するためのガス
であってキャリアガスは試料の導入効率およびプラズマ
の安定化に影響し、その結果、測定感度や精度に最も大
きい効果をもつ。従来法ではこのキャリアガスとして希
ガスが用いられてきた。希ガス元素は化学的にきわめて
不活性で、元素相互また他元素と容易に化合せず安定で
ある。希ガスの中でもアルゴンガスは放電が容易で比較
的放電維持に大きな電力を要せず、また地球上における
存在比が大きいことによりキャリアガスとして用いられ
ている。
チェンバ２内のネブライザ１４で吸い上げた溶液試料を
エアロゾルとしてプラズマ炎９内に導入するためのガス
であってキャリアガスは試料の導入効率およびプラズマ
の安定化に影響し、その結果、測定感度や精度に最も大
きい効果をもつ。従来法ではこのキャリアガスとして希
ガスが用いられてきた。希ガス元素は化学的にきわめて
不活性で、元素相互また他元素と容易に化合せず安定で
ある。希ガスの中でもアルゴンガスは放電が容易で比較
的放電維持に大きな電力を要せず、また地球上における
存在比が大きいことによりキャリアガスとして用いられ
ている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来のＩＣＰ−ＭＳ分
析装置は以上のように構成されているが、特に質量分析
部分に四重極マスアナライザを用いている通常のＩＣＰ
−ＭＳ分析装置ではその分解能の限界から、測定イオン
スペクトルと質量対電荷比が同じ値をもつ同重体や分子
イオン、多価イオンによるスペクトルとが重なり合って
検出限界の低下を来し、質量分析では同位体の数が限ら
れ測定スペクトル選択の自由度も少ないこともあって問
題となってきた。即ち、アルゴンガスをキャリアガスと
して使用すると、アルゴン分子による高周波アルゴンプ
ラズマを生成させることになるため、たとえばＣａやＦ
ｅ等の元素の質量分析を行う際にはアルゴンに起因する
Ａｒ：４０、ＡｒＯ：５６の分子イオンによるスペクト
ルはＣａ：４０やＦｅ：５６の元素のイオンと質量が近
く、スペクトルが重なり合い、分子イオンによるスペク
トルが妨害となって目的のＣａやＦｅのスペクトルの定
量・定性を正確に行うことができず、結果としてＣａや
Ｆｅの微量測定に限界を与えていた。
析装置は以上のように構成されているが、特に質量分析
部分に四重極マスアナライザを用いている通常のＩＣＰ
−ＭＳ分析装置ではその分解能の限界から、測定イオン
スペクトルと質量対電荷比が同じ値をもつ同重体や分子
イオン、多価イオンによるスペクトルとが重なり合って
検出限界の低下を来し、質量分析では同位体の数が限ら
れ測定スペクトル選択の自由度も少ないこともあって問
題となってきた。即ち、アルゴンガスをキャリアガスと
して使用すると、アルゴン分子による高周波アルゴンプ
ラズマを生成させることになるため、たとえばＣａやＦ
ｅ等の元素の質量分析を行う際にはアルゴンに起因する
Ａｒ：４０、ＡｒＯ：５６の分子イオンによるスペクト
ルはＣａ：４０やＦｅ：５６の元素のイオンと質量が近
く、スペクトルが重なり合い、分子イオンによるスペク
トルが妨害となって目的のＣａやＦｅのスペクトルの定
量・定性を正確に行うことができず、結果としてＣａや
Ｆｅの微量測定に限界を与えていた。
【０００６】このために、たとえばＣａやＦｅ等の元素
の質量分析には妨害イオンを含まない最適なキャリアガ
スとして窒素ガスを用いることが考えられるが、このよ
うに分析すべき元素に応じて用いるキャリアガスを選択
し、その都度キャリアガスボンベを交換するのは甚だ面
倒な作業であった。また、当然のことながら分析中に分
析元素に応じてキャリアガスを切り換えることも不可能
であった。
の質量分析には妨害イオンを含まない最適なキャリアガ
スとして窒素ガスを用いることが考えられるが、このよ
うに分析すべき元素に応じて用いるキャリアガスを選択
し、その都度キャリアガスボンベを交換するのは甚だ面
倒な作業であった。また、当然のことながら分析中に分
析元素に応じてキャリアガスを切り換えることも不可能
であった。
【０００７】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、キャリアガスボンベを交換することな
く、しかも分析中にあっても分析元素に最適なキャリア
ガスを選択できるＩＣＰ−ＭＳ分析装置を提供すること
を目的とする。
たものであって、キャリアガスボンベを交換することな
く、しかも分析中にあっても分析元素に最適なキャリア
ガスを選択できるＩＣＰ−ＭＳ分析装置を提供すること
を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明のＩＣＰ−ＭＳ分析装置は、特定のキャリア
ガスが送入されるスプレーチェンバを複数個設け、各々
のスプレーチェンバをチェンバ切り換えバルブを介して
プラズマトーチと接続したものである。これによって複
数個のスプレーチェンバとそれらのスプレーチェンバか
らプラズマトーチへ試料エアロゾルとキャリアガスの導
入を切り換えるチェンバ切り換えバルブは協働して、分
析元素に最適なキャリアガスを選択できる。
め、本発明のＩＣＰ−ＭＳ分析装置は、特定のキャリア
ガスが送入されるスプレーチェンバを複数個設け、各々
のスプレーチェンバをチェンバ切り換えバルブを介して
プラズマトーチと接続したものである。これによって複
数個のスプレーチェンバとそれらのスプレーチェンバか
らプラズマトーチへ試料エアロゾルとキャリアガスの導
入を切り換えるチェンバ切り換えバルブは協働して、分
析元素に最適なキャリアガスを選択できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明のＩＣＰ−ＭＳ分析
装置の一実施例を図１により説明する。図１において、
１ａはスプレーチェンバ２ａ用のキャリアガスボンベで
あって例えばアルゴンガスが貯蔵されており、１ｂは他
のスプレーチェンバ２ｂ用のキャリアガスボンベであっ
て例えば窒素ガスが貯蔵されている。そして各々のスプ
レーチェンバ２ａ、２ｂに内蔵するネブライザ１４ａ、
１４ｂにキャリアガスを供給する。３はプラズマトーチ
４とスプレーチェンバ２ａ、２ｂとの接続を選択できる
チェンバ切り換えバルブである。４は放電によりプラズ
マ炎９を点灯する放電管プラズマトーチであり、構造は
同軸三重管となっており、外側より順にクーラントガ
ス、プラズマガスが流され、それらはガスコントローラ
５で制御される。プラズマトーチ４の先端部外周には誘
導コイル６が配設され、高周波電源８およびマッチング
ボックス７により高周波電力がかけられる。質量分析装
置１５本体はイオン導入部１０、四重極マスアナライザ
１１そしてイオン検出器１２からなる。なお１３は測定
される溶液試料であってスプレーチェンバ２ａ、２ｂに
内蔵する各々のネブライザ１４ａ、１４ｂに接続されて
いる。
装置の一実施例を図１により説明する。図１において、
１ａはスプレーチェンバ２ａ用のキャリアガスボンベで
あって例えばアルゴンガスが貯蔵されており、１ｂは他
のスプレーチェンバ２ｂ用のキャリアガスボンベであっ
て例えば窒素ガスが貯蔵されている。そして各々のスプ
レーチェンバ２ａ、２ｂに内蔵するネブライザ１４ａ、
１４ｂにキャリアガスを供給する。３はプラズマトーチ
４とスプレーチェンバ２ａ、２ｂとの接続を選択できる
チェンバ切り換えバルブである。４は放電によりプラズ
マ炎９を点灯する放電管プラズマトーチであり、構造は
同軸三重管となっており、外側より順にクーラントガ
ス、プラズマガスが流され、それらはガスコントローラ
５で制御される。プラズマトーチ４の先端部外周には誘
導コイル６が配設され、高周波電源８およびマッチング
ボックス７により高周波電力がかけられる。質量分析装
置１５本体はイオン導入部１０、四重極マスアナライザ
１１そしてイオン検出器１２からなる。なお１３は測定
される溶液試料であってスプレーチェンバ２ａ、２ｂに
内蔵する各々のネブライザ１４ａ、１４ｂに接続されて
いる。
【００１０】次に、図１のＩＣＰ−ＭＳ分析装置の動作
を説明する。キャリアガスボンベ１ａ、ならびに１ｂの
各々に接続されているスプレーチェンバ２ａ、２ｂに内
蔵されているネブライザ１４ａ、１４ｂでキャリアガス
が噴射され、同じく各ネブライザ１４ａ、１４ｂに導か
れている溶液試料１３が霧吹きの原理で霧化され、異な
ったキャリアガスによる試料エアロゾルが作られる。こ
れらの試料エアロゾルはキャリアガスと共にチェンバ切
り換えバルブ３に導かれ、このチェンバ切り換えバルブ
３は測定対象元素に応じてキャリアガスを選択し、スプ
レーチェンバ２ａまたは２ｂのいずれかの試料エアロゾ
ル＋キャリアガスをプラズマトーチ４へ導入する。そし
てプラズマトーチ４では他のクーラントガス、プラズマ
ガスとともに測定対象元素に適したプラズマ炎９が誘導
コイル６、マッチングボックス７、そして高周波電源８
による高周波電磁界によって得られ、試料のイオン化が
行われる。なお、質量分析装置１５における動作は従来
と同様である。
を説明する。キャリアガスボンベ１ａ、ならびに１ｂの
各々に接続されているスプレーチェンバ２ａ、２ｂに内
蔵されているネブライザ１４ａ、１４ｂでキャリアガス
が噴射され、同じく各ネブライザ１４ａ、１４ｂに導か
れている溶液試料１３が霧吹きの原理で霧化され、異な
ったキャリアガスによる試料エアロゾルが作られる。こ
れらの試料エアロゾルはキャリアガスと共にチェンバ切
り換えバルブ３に導かれ、このチェンバ切り換えバルブ
３は測定対象元素に応じてキャリアガスを選択し、スプ
レーチェンバ２ａまたは２ｂのいずれかの試料エアロゾ
ル＋キャリアガスをプラズマトーチ４へ導入する。そし
てプラズマトーチ４では他のクーラントガス、プラズマ
ガスとともに測定対象元素に適したプラズマ炎９が誘導
コイル６、マッチングボックス７、そして高周波電源８
による高周波電磁界によって得られ、試料のイオン化が
行われる。なお、質量分析装置１５における動作は従来
と同様である。
【００１１】プラズマを点灯したままでキャリアガス種
を切り換えようとするとき、単にチェンバ切り換えバル
ブ３を切り換えただけではプラズマは消灯、または不安
定となってしまう。プラズマを点灯したままでキャリア
ガスの変更をスムーズに移行させるためには、誘導コイ
ル６に高周波電力を供給する高周波電源８と誘導コイル
６との間に介装され、両者のインピーダンスを整合する
ためのマッチングボックス７において、誘導コイル６に
直列に接続されたコンデンサ（図示せず）の容量と、並
列に接続されたコンデンサ（図示せず）の容量とを共に
最適容量値に自動プログラム調整を行うことによって、
誘導コイル６に供給する高周波電力を局所的に集束させ
たり供給効率を向上させてプラズマの点灯を確実に維持
し、かつ安定にすることができる。またさらには、プラ
ズマトーチ４に接続供給される各ガス供給路、すなわち
クーラントガス供給路、プラズマガス供給路、そしてチ
ェンバ切り換えバルブ３から接続されている試料エアロ
ゾル＋キャリアガス供給路１６のそれぞれの途中に電磁
マスフローを配設し、これらをガスコントローラ５によ
って制御し、たとえばキャリアガスの流量変化に応じて
プラズマガスの流量を増減させるなど、すべてのガス供
給量が最適となるよう自動プログラム調整を行うことに
よってキャリアガス種の変更に際してもプラズマの点灯
は確実に保たれかつ安定となる。
を切り換えようとするとき、単にチェンバ切り換えバル
ブ３を切り換えただけではプラズマは消灯、または不安
定となってしまう。プラズマを点灯したままでキャリア
ガスの変更をスムーズに移行させるためには、誘導コイ
ル６に高周波電力を供給する高周波電源８と誘導コイル
６との間に介装され、両者のインピーダンスを整合する
ためのマッチングボックス７において、誘導コイル６に
直列に接続されたコンデンサ（図示せず）の容量と、並
列に接続されたコンデンサ（図示せず）の容量とを共に
最適容量値に自動プログラム調整を行うことによって、
誘導コイル６に供給する高周波電力を局所的に集束させ
たり供給効率を向上させてプラズマの点灯を確実に維持
し、かつ安定にすることができる。またさらには、プラ
ズマトーチ４に接続供給される各ガス供給路、すなわち
クーラントガス供給路、プラズマガス供給路、そしてチ
ェンバ切り換えバルブ３から接続されている試料エアロ
ゾル＋キャリアガス供給路１６のそれぞれの途中に電磁
マスフローを配設し、これらをガスコントローラ５によ
って制御し、たとえばキャリアガスの流量変化に応じて
プラズマガスの流量を増減させるなど、すべてのガス供
給量が最適となるよう自動プログラム調整を行うことに
よってキャリアガス種の変更に際してもプラズマの点灯
は確実に保たれかつ安定となる。
【００１２】
【発明の効果】本発明のＩＣＰ−ＭＳ分析装置は前記の
ように構成されており、試料を霧化するスプレーチェン
バを複数個備えると共に、それぞれに異なるキャリアガ
スを導入し、これらスプレーチェンバとプラズマトーチ
をチェンバ切り換えバルブで切り換えて測定元素に応じ
て用いるキャリアガスを選択できるようにしたので、例
えばＡｒ、ＡｒＯなどの分子イオンが妨害となるＣａや
Ｆｅ元素を分析する場合キャリアガスをアルゴンガスか
ら窒素ガスに切り換えることによって分析下限を向上さ
せることができる。
ように構成されており、試料を霧化するスプレーチェン
バを複数個備えると共に、それぞれに異なるキャリアガ
スを導入し、これらスプレーチェンバとプラズマトーチ
をチェンバ切り換えバルブで切り換えて測定元素に応じ
て用いるキャリアガスを選択できるようにしたので、例
えばＡｒ、ＡｒＯなどの分子イオンが妨害となるＣａや
Ｆｅ元素を分析する場合キャリアガスをアルゴンガスか
ら窒素ガスに切り換えることによって分析下限を向上さ
せることができる。
【図１】 本発明のＩＣＰ−ＭＳ分析装置の一実施例を
示す図である。
示す図である。
【図２】 従来のＩＣＰ−ＭＳ分析装置を示す図であ
る。
る。
１ａ…キャリアガスボンベ １ｂ…キャリアガスボンベ ２ａ…スプレーチェンバ ２ｂ…スプレーチェンバ ３……チェンバ切り換えバルブ ４……プラズマトーチ ６……誘導コイル ９……プラズマ炎
Claims (1)
- 【請求項１】 分析用溶液試料をキャリアガスと共にス
プレーチェンバ内に送入してネブライザで霧化し、霧化
された試料をプラズマトーチに導入してイオン化させる
とともに質量分析装置によって試料の質量スペクトルを
測定するＩＣＰ−ＭＳ分析装置において、特定のキャリ
アガスが送入されるスプレーチェンバを複数個設け、各
々のスプレーチェンバをチェンバ切り換えバルブを介し
てプラズマトーチと接続したことを特徴とするＩＣＰ−
ＭＳ分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10269153A JP2000100374A (ja) | 1998-09-24 | 1998-09-24 | Ｉｃｐ−ｍｓ分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10269153A JP2000100374A (ja) | 1998-09-24 | 1998-09-24 | Ｉｃｐ−ｍｓ分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000100374A true JP2000100374A (ja) | 2000-04-07 |
Family
ID=17468425
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10269153A Pending JP2000100374A (ja) | 1998-09-24 | 1998-09-24 | Ｉｃｐ−ｍｓ分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000100374A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6485689B1 (en) * | 1999-09-06 | 2002-11-26 | Hitachi, Ltd. | Analytical apparatus using nebulizer |
| JP2006066312A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Yokogawa Analytical Systems Inc | Ｉｃｐ分析用試料導入装置及び方法 |
| DE102008006598A1 (de) * | 2008-01-30 | 2009-08-06 | Gesellschaft zur Förderung der Analytischen Wissenschaften e.V. | Verfahren zur Probennahme einer sich über einer Flüssigkeit bildenden Gasphase sowie Vorrichtung zur Durchführung eines solchen Verfahrens |
| JP6048552B1 (ja) * | 2015-08-21 | 2016-12-21 | 株式会社 イアス | オンライン移送した分析試料の分析システム |
| US9865443B2 (en) | 2016-03-04 | 2018-01-09 | Shimadzu Corporation | Mass analysis method and inductively coupled plasma mass spectrometer |
| WO2018055707A1 (ja) | 2016-09-21 | 2018-03-29 | 株式会社島津製作所 | 質量分析装置 |
| CN108760958A (zh) * | 2018-07-02 | 2018-11-06 | 东华理工大学 | 自吸式自动进样的光催化反应在线检测系统 |
-
1998
- 1998-09-24 JP JP10269153A patent/JP2000100374A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US6485689B1 (en) * | 1999-09-06 | 2002-11-26 | Hitachi, Ltd. | Analytical apparatus using nebulizer |
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| KR101931463B1 (ko) | 2015-08-21 | 2018-12-20 | 가부시키가이샤 이아스 | 온라인 이송된 분석 시료의 분석 시스템 |
| JP6048552B1 (ja) * | 2015-08-21 | 2016-12-21 | 株式会社 イアス | オンライン移送した分析試料の分析システム |
| WO2017033796A1 (ja) * | 2015-08-21 | 2017-03-02 | 株式会社 イアス | オンライン移送した分析試料の分析システム |
| CN107209124A (zh) * | 2015-08-21 | 2017-09-26 | 埃耶士株式会社 | 在线移送的分析样品的分析系统 |
| CN107209124B (zh) * | 2015-08-21 | 2019-11-22 | 埃耶士株式会社 | 在线移送的分析样品的分析系统 |
| US10024801B2 (en) | 2015-08-21 | 2018-07-17 | Ias Inc. | Analysis system for online-transferred analysis sample |
| US9865443B2 (en) | 2016-03-04 | 2018-01-09 | Shimadzu Corporation | Mass analysis method and inductively coupled plasma mass spectrometer |
| WO2018055707A1 (ja) | 2016-09-21 | 2018-03-29 | 株式会社島津製作所 | 質量分析装置 |
| US10593535B2 (en) | 2016-09-21 | 2020-03-17 | Shimadzu Corporation | Mass spectrometer |
| CN108760958A (zh) * | 2018-07-02 | 2018-11-06 | 东华理工大学 | 自吸式自动进样的光催化反应在线检测系统 |
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