JP2000093907A - 電解イオン水を使った洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電解イオン水を使った洗浄装置において、電
解槽の電極を切り替える場合に必要な洗浄処理の休止時
間を短く抑える。 【解決手段】 洗浄装置は、電解槽４と、イオン洗浄チ
ャンバー２と、制御部とを備える。電解槽４は、第１電
極９３が配置される第１電極室４ａと、第２電極９４が
配置される第２電極室４ｂとを有する。イオン洗浄チャ
ンバー２は、電解槽４から送られる電解イオン水によっ
て基板Ｗを洗浄する。制御部は、第１電極９３が陽極で
第２電極９４が陰極である状態と、第１電極９３が陰極
で第２電極９４が陽極である状態との切替を行う。ま
た、制御部は、電解イオン水が電解槽４からイオン洗浄
チャンバー２に送られる状態と、電解イオン水が電解槽
４から洗浄チャンバー２に送られない状態との切替を行
う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、洗浄装置、特に、
液晶表示装置用ガラス基板（ＬＣＤ用ガラス基板）、プ
ラズマ表示装置用ガラス基板、半導体ウエハ等を電解イ
オン水によって洗浄する洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、金属汚染を洗浄除去するために
酸性水（電解イオン水の陽イオン水）を用いたり、パー
ティクル等の付着物を洗浄除去するためにアルカリ性水
（電解イオン水の陰イオン水）を用いたりすることが知
られている。例えば、ＬＣＤ用ガラス基板（以下、基板
という。）の製造工程においては基板上のパーティクル
を除去する必要があり、このパーティクルの除去の１つ
の方法として電解イオン水による基板の洗浄方法が知ら
れている。

【０００３】具体例としては、公開特許公報（特開平１
０−１５５０９号）において、基板に陰イオン水を噴射
して基板の洗浄を行う洗浄装置が開示されている。ここ
では、電解槽において電解質が添加された純水を電気分
解して陽イオン水と陰イオン水とを生成し、陰イオン水
をノズルから噴射して基板の洗浄を行っている。この陰
イオン水は、基板の洗浄に使われた後に洗浄ユニットか
ら回収されて電解槽の陰極側に戻され、循環使用されて
いる。なお、電解槽は、イオン隔膜を隔てて、陰極側槽
室と陽極側槽室とに分けられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記のような洗浄装置
を使用すると、単なる水ではなく電解イオン水を基板に
噴射するため、基板の洗浄度が向上する。ここで使用さ
れる電解イオン水は電解槽によって生成されているが、
電解槽において電気分解を長時間行っていると、電解槽
内の電極に純水中の不純物等が付着して電解効率が低下
する。この電極に付いた不純物を取り除くには、電極を
切り替えて、すなわち陽極と陰極とを入れ替えて、不純
物を電極から剥離させることが有効である。

【０００５】しかしながら、電極の極性を切り替えて、
新しく陰極側槽室となった室から洗浄ユニット内の基板
に陰イオン水を供給させると、陰極側槽室となった室に
陽イオン水が残っている状態がしばらくの間続くため、
基板に供給される陰イオン水に陽イオン水が混ざった状
態となってしまう。これによる基板処理の悪化を回避す
るためには、極性を切り替えた後に、洗浄ユニットにお
ける基板処理をしばらくの間休止させて、洗浄ユニット
と陰極側槽室との間を循環する陰イオン水が洗浄処理を
行うことのできるレベルまで回復するのを待たなければ
ならない。この待機時間は循環する液量にもよるが１時
間ほどかかると考えられ、基板の生産効率を大きく低下
させる。

【０００６】このような問題は、陽イオン水を洗浄液と
して使用する洗浄装置においても同様である。本発明の
課題は、電解槽で生成される電解イオン水を使った洗浄
装置において、電解槽の電極の極性を切り替える場合に
必要な被洗浄物の洗浄処理の休止時間を短く抑えること
にある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る洗浄装置
は、電解イオン水を被洗浄物に供給して被洗浄物を洗浄
する洗浄装置であって、電解槽と、洗浄チャンバーと、
制御部とを備えている。電解槽は、第１電極が配置され
る第１電極室と、第２電極が配置される第２電極室とを
有しており、水を電気分解して電解イオン水を生成す
る。洗浄チャンバーは、被洗浄物を収容し、電解槽から
送られる電解イオン水によって被洗浄物を洗浄する。制
御部は、第１電極が陽極で第２電極が陰極である状態
と、第１電極が陰極で第２電極が陽極である状態との切
替を行う。また、制御部は、電解イオン水が電解槽から
洗浄チャンバーに送られる状態と、電解イオン水が電解
槽から洗浄チャンバーに送られない状態との切替を行
う。

【０００８】本装置では、電解槽において電解イオン水
である陽イオン水と陰イオン水とが生成され、これらの
うちのどちらかの電解イオン水が洗浄チャンバーに送ら
れて、洗浄チャンバー内に収容された被洗浄物を洗浄す
る。また、本装置では、制御部によって、電極の極性の
切り替え、すなわち、第１電極が陽極で第２電極が陰極
である状態と第１電極が陰極で第２電極が陽極である状
態との切り替えが行われるので、電極に付着した不純物
を除去することができる。

【０００９】そして、電極の極性の切り替えを行った後
しばらくは電解槽の電極室内が陽イオン水と陰イオン水
とが混じり合った状態となるため、このような劣化した
電解イオン水を洗浄チャンバーに送らないように、制御
部によって電解イオン水が電解槽から洗浄チャンバーに
送られる状態と電解イオン水が電解槽から洗浄チャンバ
ーに送られない状態との切替を行うことができるように
している。このようにしているため、陽イオン水と陰イ
オン水とが混じり合っている状態の電解イオン水を洗浄
チャンバーに送らずに、電極室内の電解イオン水の混じ
り度合いが許容レベルまで回復するのを待つことができ
る。

【００１０】ここでは、上記のように、電極の極性を切
り替えてしばらくの間、洗浄チャンバーに電解イオン水
を送ることを休止して、電解イオン水の混じり度合いの
回復を待つことができる。このように、洗浄チャンバー
に劣化した電解イオン水が送られなくなることにより、
電解槽の電極の極性を切り替える場合に必要な被洗浄物
の洗浄処理の休止時間を短く抑えることができる。

【００１１】請求項２に係る洗浄装置は、請求項１に記
載の洗浄装置であって、第１貯留槽と、第２貯留槽とを
さらに備えている。第１貯留槽は、洗浄チャンバーから
回収された電解イオン水を貯留して、この電解イオン水
を電解槽に戻す。第２貯留槽は、電解槽から送られる電
解イオン水を貯留して、この電解イオン水を電解槽に戻
す。また、制御部は、第１電極室から洗浄チャンバーに
電解イオン水が送られる状態と第１電極室から第２貯留
槽に電解イオン水が送られる状態との切替をさらに行
う。また、制御部は、第２電極室から第２貯留槽に電解
イオン水が送られる状態と第２電極室から洗浄チャンバ
ーに電解イオン水が送られる状態との切替をさらに行
う。また、制御部は、第１貯留槽から第１電極室に電解
イオン水が送られる状態と第１貯留槽から第２電極室に
電解イオン水が送られる状態との切替をさらに行う。ま
た、制御部は、第２貯留槽から第２電極室に電解イオン
水が送られる状態と第２貯留槽から第１電極室に電解イ
オン水が送られる状態との切替をさらに行う。

【００１２】本装置では、電解槽から洗浄チャンバーを
経て第１貯留槽を回って再び電解槽に戻される循環経路
と、電解槽から第２貯留槽を回って再び電解槽に戻され
る循環経路とを、電解イオン水が流れることになる。そ
して、制御部による電解イオン水が流れる経路の切り替
えによって、洗浄チャンバーに劣化した電解イオン水を
送ることなく、すなわち、劣化して陽イオン水と陰イオ
ン水とが混じり合った電解イオン水を第１貯留槽に送る
ことなく、洗浄チャンバーに電解イオン水を送る電極室
内の電解イオン水の混じり度合いを許容レベルまで回復
させることができる。

【００１３】請求項３に係る洗浄装置は、請求項２に記
載の洗浄装置において、制御部は、第１状態から第２状
態へと切り替えて、第１電極が陽極で第２電極が陰極で
ある状態と第１電極が陰極で第２電極が陽極である状態
との切替を行い、所定時間後に第３状態へと切り替え
る。第１状態とは、第１電極室から洗浄チャンバーに電
解イオン水が送られ、第２電極室から第２貯留槽に電解
イオン水が送られ、第１貯留槽から第１電極室に電解イ
オン水が送られ、第２貯留槽から第２電極室に電解イオ
ン水が送られる状態である。第２状態とは、第１電極室
から第２貯留槽に電解イオン水が送られ、第２電極室か
ら第２貯留槽に電解イオン水が送られ、第１貯留槽から
第２電極室に電解イオン水が送られ、第２貯留槽から第
１電極室に電解イオン水が送られる状態である。第３状
態とは、第１電極室から第２貯留槽に電解イオン水が送
られ、第２電極室から洗浄チャンバーに電解イオン水が
送られ、第１貯留槽から第２電極室に電解イオン水が送
られ、第２貯留槽から第１電極室に電解イオン水が送ら
れる状態である。

【００１４】本装置では、例えば陰イオン水によって被
洗浄物を洗浄する場合、まず、第１電極を陰極とし第２
電極を陽極として、第１状態（第１電極室から洗浄チャ
ンバーに陰イオン水が送られ、第２電極室から第２貯留
槽に電解イオン水が送られ、第１貯留槽から第１電極室
に陰イオン水が送られ、第２貯留槽から第２電極室に電
解イオン水が送られる状態）で、洗浄チャンバー内の被
洗浄物に対して、陰極である第１電極がある第１電極室
から送られる陰イオン水によって洗浄を行う。次に、設
定された時間の経過後、あるいは電極に不純物が所定量
付着したと認識した後に、第１電極が陰極で第２電極が
陽極である状態から第１電極が陽極で第２電極が陰極で
ある状態へと切り替え、第２状態（第１電極室から第２
貯留槽に電解イオン水が送られ、第２電極室から第２貯
留槽に電解イオン水が送られ、第１貯留槽から第２電極
室に陰イオン水が送られ、第２貯留槽から第１電極室に
電解イオン水が送られる状態）で、電解槽の第２電極室
内がそれまであった陽イオン水と生成される陰イオン水
とが混じり合っている状態から概ね陰イオン水となる状
態に変化するのを待つ。そして、所定時間後に第２状態
から第３状態（第１電極室から第２貯留槽に陽イオン水
が送られ、第２電極室から洗浄チャンバーに陰イオン水
が送られ、第１貯留槽から第２電極室に陰イオン水が送
られ、第２貯留槽から第１電極室に陽イオン水が送られ
る状態）へと切り替え、陰極である第２電極がある第２
電極から送られる陰イオン水によって被洗浄物の洗浄が
行われる。

【００１５】ここでは、電極に付着する不純物を除去す
るために第１状態から第３状態へと電極の極性を切り替
える間に、洗浄チャンバーに電解イオン水を送る電極室
内の電解イオン水の混じり度合いを許容レベルまで回復
させるように、第２状態を設けている。この第２状態に
おいては、電解槽から洗浄チャンバーへと電解イオン水
を送らずに、電解槽から洗浄チャンバーを通らずに第２
貯留槽を回って再び電解槽に戻される循環経路及び第１
貯留槽から電解槽に戻される経路を使って電解イオン水
を循環させることで、洗浄チャンバー及び第１貯留槽に
陽イオン水と陰イオン水とが混じった状態の劣化した電
解イオン水が流入することを抑えることができる。これ
により、洗浄チャンバー及び第１貯留槽を汚すことな
く、洗浄チャンバーに電解イオン水を送る電極室内の電
解イオン水の混じり度合いを許容レベルまで回復させる
ことができる。このように、洗浄チャンバー及び第１貯
留槽に劣化した電解イオン水が混入しないようにするこ
とで、電解槽の電極の極性を切り替える場合に必要な被
洗浄物の洗浄処理の休止時間を短く抑えることができ
る。

【００１６】なお、ここでは第２状態で所定時間だけ電
解イオン水を循環させることで電極室内の電解イオン水
を許容されるレベルまで回復させているが、第２電極室
内の電解イオン水の純度を計測してこの計測値を基にし
て第２状態から第３状態への移行を行わせてもよい。請
求項４に係る洗浄装置は、請求項３に記載の洗浄装置で
あって、制御部は、さらに、第３状態から第４状態へと
切り替えて、第１電極が陽極で第２電極が陰極である状
態と第１電極が陰極で第２電極が陽極である状態との切
替を行い、所定時間後に第１状態へと切り替える。第４
状態とは、第１電極室から第２貯留槽に電解イオン水が
送られ、第２電極室から第２貯留槽に電解イオン水が送
られ、第１貯留槽から第１電極室に電解イオン水が送ら
れ、第２貯留槽から第２電極室に電解イオン水が送られ
る状態である。

【００１７】本装置では、第１状態から第３状態へと切
り替えて電極に付着した不純物を除去した後に、再び電
極に付着する不純物を取り除くために、第３状態から第
１状態へと戻す制御を行うことができる。そして、第３
状態から第１状態へと状態を戻すときにも、上記第２状
態と同様の役割を果たす第４状態を設けており、ここで
洗浄チャンバーに電解イオン水を送る電極室内の電解イ
オン水の混じり度合いを許容レベルまで回復させること
ができるようにしている。

【００１８】例えば、陰イオン水によって被洗浄物を洗
浄する場合、まず、第３状態（第１電極室から第２貯留
槽に陽イオン水が送られ、第２電極室から洗浄チャンバ
ーに陰イオン水が送られ、第１貯留槽から第２電極室に
陰イオン水が送られ、第２貯留槽から第１電極室に陽イ
オン水が送られる状態）から第４状態（第１電極室から
第２貯留槽に電解イオン水が送られ、第２電極室から第
２貯留槽に電解イオン水が送られ、第１貯留槽から第１
電極室に陰イオン水が送られ、第２貯留槽から第２電極
室に電解イオン水が送られる状態）へと切り替えて、第
１電極が陽極で第２電極が陰極である状態から第１電極
が陰極で第２電極が陽極である状態へと切り替える。そ
して、所定時間後に、この第４状態から第１状態（第１
電極室から洗浄チャンバーに陰イオン水が送られ、第２
電極室から第２貯留槽に電解イオン水が送られ、第１貯
留槽から第１電極室に陰イオン水が送られ、第２貯留槽
から第２電極室に電解イオン水が送られる状態）へと切
り替える。

【００１９】ここでは、制御部によって第１状態と第３
状態との切り替えが繰り返し行わせることにより、第２
状態及び第４状態の間を除いては、連続的に洗浄処理を
行わせることが可能となる。なお、第２状態及び第４状
態においては洗浄チャンバー及び第１貯留槽に劣化した
電解イオン水が混入しないように電解イオン水の流れが
制御されているので、第１状態と第３状態との切り替え
の時間が短くなり、電解槽の電極の極性を切り替える場
合に必要な被洗浄物の洗浄処理の休止時間が短く抑えら
れている。

【００２０】請求項５に係る洗浄装置は、請求項２から
４のいずれかに記載の洗浄装置であって、補充手段をさ
らに備えている。補充手段は、電解槽、第１貯留槽、及
び第２貯留槽のうち少なくとも１つの槽に対して水を補
充する。ここでは、補充手段によって水が補充されるた
め、洗浄処理により循環経路から持ち出されたり蒸発し
たりして電解イオン水が不足することが抑えられる。

【００２１】なお、補充手段は、電解槽から洗浄チャン
バーを経て第１貯留槽を回って再び電解槽に戻される循
環経路と、電解槽から第２貯留槽を回って再び電解槽に
戻される循環経路とに、それぞれ設けられることが望ま
しい。請求項６に係る洗浄装置は、電解イオン水を被洗
浄物に供給して被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、
電解槽と、洗浄チャンバーと、制御部とを備えている。
電解槽は、第１電極が配置される第１電極室と、第２電
極が配置される第２電極室とを有しており、水を電気分
解して電解イオン水を生成する。洗浄チャンバーは、被
洗浄物を収容し、どちらかの電極室（以下、先洗浄液供
給電極室という。）から送られる電解イオン水によって
被洗浄物を洗浄する。制御部は、第１電極が陽極で第２
電極が陰極である状態と第１電極が陰極で第２電極が陽
極である状態とを切り替える時に、先洗浄液供給電極室
から洗浄チャンバーへの電解イオン水の送液を停止さ
せ、所定時間後に先洗浄液供給電極室とは逆の電極室
（以下、後洗浄液供給電極室という。）から洗浄チャン
バーに電解イオン水を送らせる。

【００２２】本装置では、電解槽において電解イオン水
である陽イオン水と陰イオン水とが生成され、これらの
うちのどちらかの電解イオン水が先洗浄液供給電極室か
ら洗浄チャンバーに送られて、洗浄チャンバー内に収容
された被洗浄物を洗浄する。また、本装置では、制御部
によって、電極の極性の切り替え、すなわち、第１電極
が陽極で第２電極が陰極である状態と第１電極が陰極で
第２電極が陽極である状態との切り替えが行われるの
で、電極に付着した不純物を除去することができる。

【００２３】そして、例えば陰イオン水によって洗浄処
理を行う場合、電極の極性の切り替えを行った後、先洗
浄液供給電極室内では陽イオン水が生成されるようにな
り、またしばらくの間は後洗浄液供給電極室内が陽イオ
ン水と陰イオン水とが混じり合った状態となる。このた
め、このような劣化した電解イオン水を洗浄チャンバー
に送らないように、先洗浄液供給電極室から洗浄チャン
バーへの電解イオン水の送液を停止させ、所定時間の間
は後洗浄液供給電極室からの洗浄チャンバーへの電解イ
オン水の送液も行わないようにしている。

【００２４】ここでは、上記のように、電極の極性を切
り替えてしばらくの間は、後洗浄液供給電極室から洗浄
チャンバーに電解イオン水を送らずに、所定時間後に後
洗浄液供給電極室から洗浄チャンバーに電解イオン水を
送るようにしている。このように洗浄チャンバーに劣化
した電解イオン水が送られなくなるため、所定時間の間
に、後洗浄液供給電極室内の電解イオン水の混じり度合
いを回復させることができる。そして、洗浄チャンバー
に劣化した電解イオン水が送られなくなることにより、
電解槽の電極の極性を切り替える場合に必要な被洗浄物
の洗浄処理の休止時間を短く抑えることができる。

【００２５】請求項７に係る洗浄装置は、請求項６に記
載の洗浄装置であって、制御部は、第１電極が陽極で第
２電極が陰極である状態と第１電極が陰極で第２電極が
陽極である状態とを切り替える時に、先洗浄液供給電極
室から洗浄チャンバーへの電解イオン水の送液を停止さ
せるとともに、後洗浄液供給電極室の電解イオン水を洗
浄チャンバーを経由しない経路で所定時間循環させる。

【００２６】ここでは、後洗浄液供給電極室の電解イオ
ン水を洗浄チャンバーを経由しない経路で所定時間循環
させているので、洗浄チャンバーが劣化した電解イオン
水によって汚れることがなくなることに加えて、電極の
極性の切り替え時における後洗浄液供給電極室内の電解
イオン水の混じり度合いの回復に要する時間が短くな
る。これにより、電解槽の電極の極性を切り替える場合
に必要な被洗浄物の洗浄処理の休止時間をより短く抑え
ることができる。

【００２７】請求項８に係る洗浄装置は、電解イオン水
を被洗浄物に供給して被洗浄物を洗浄する洗浄装置であ
って、電解槽と、洗浄チャンバーと、第１循環経路と、
第２循環経路と、制御部とを備えている。電解槽は、第
１電極が配置される第１電極室と、第２電極が配置され
る第２電極室とを有しており、水を電気分解して電解イ
オン水を生成する。洗浄チャンバーは、被洗浄物を収容
し、どちらかの電極室（以下、先洗浄液供給電極室とい
う。）から送られる電解イオン水によって被洗浄物を洗
浄する。第１循環経路は、電解槽の外部に設けられ、洗
浄チャンバーを経由し、電解槽の電解イオン水を循環さ
せる。第２循環経路は、電解槽の外部に設けられ、洗浄
チャンバーを経由せずに、電解槽の電解イオン水を循環
させる。制御部は、第１電極が陽極で第２電極が陰極で
ある状態と第１電極が陰極で第２電極が陽極である状態
とを切り替える時に、第１循環経路による電解イオン水
の循環を休止させ、第１循環経路によって洗浄チャンバ
ーに電解イオン水を送っていた先洗浄液供給電極室の電
解イオン水を第２循環経路によって循環させるように切
り替え、所定時間後に先洗浄液供給電極室とは逆の電極
室（以下、後洗浄液供給電極室という。）から第１循環
経路によって洗浄チャンバーに電解イオン水を送らせ
る。

【００２８】本装置では、電解槽において電解イオン水
である陽イオン水と陰イオン水とが生成され、これらの
うちのどちらかの電解イオン水が先洗浄液供給電極室か
ら洗浄チャンバーに送られて、洗浄チャンバー内に収容
された被洗浄物を洗浄する。また、本装置では、制御部
によって、電極の極性の切り替え、すなわち、第１電極
が陽極で第２電極が陰極である状態と第１電極が陰極で
第２電極が陽極である状態との切り替えが行われるの
で、電極に付着した不純物を除去することができる。

【００２９】また、本装置では、上記のように、電極の
極性を切り替えてから所定時間の間は、第１循環経路に
よる電解イオン水の循環を休止させる。そして、第１循
環経路によって洗浄チャンバーに電解イオン水を送って
いた先洗浄液供給電極室の電解イオン水を第２循環経路
によって循環させるように切り替え、所定時間後に後洗
浄液供給電極室から第１循環経路によって洗浄チャンバ
ーに電解イオン水を送らせる。

【００３０】したがって、例えば陰イオン水によって洗
浄処理を行う場合、電極の極性の切り替えを行った後、
先洗浄液供給電極室内では陽イオン水が生成されるよう
になり、またしばらくの間は後洗浄液供給電極室内が陽
イオン水と陰イオン水とが混じり合った状態となるが、
所定時間の間は第１循環経路による電解槽から洗浄チャ
ンバーへの電解イオン水の送液を行わないため、このよ
うな劣化した電解イオン水が洗浄チャンバーに送られな
い。さらに、この所定時間の間に、第２循環経路等によ
り電解イオン水が循環しながら電解槽内の電解イオン水
（陽イオン水及び陰イオン水）のそれぞれを混じり具合
の少ないものにしていくため、所定時間後に後洗浄液供
給電極室から第１循環経路によって洗浄チャンバーに電
解イオン水が送られるときには、その電解イオン水は洗
浄を行うことのできるレベルまで混じり具合が回復した
ものとなる。

【００３１】このように、洗浄チャンバーに劣化した電
解イオン水が送られないようにするとともに、電解イオ
ン水を循環させながら後洗浄液供給電極室内の電解イオ
ン水の混じり具合を回復させるため、電解槽の電極の極
性を切り替える場合に必要な被洗浄物の洗浄処理の休止
時間が短く抑えられる。

【００３２】

【発明の実施の形態】＜全体構成＞本発明の一実施形態
である洗浄装置を図１に示す。洗浄装置は、ＬＣＤ用の
ガラス基板（以下、基板という。）Ｗを連続枚葉式に洗
浄して基板Ｗに付着したパーティクルを洗浄除去する装
置である。この洗浄装置は、隣接するイオン洗浄チャン
バー（洗浄チャンバー）２及びメガソニック洗浄チャン
バー３と、これらのチャンバー２，３内において基板Ｗ
を概ね水平姿勢で搬送する図示しない搬送ローラとを備
えている。基板Ｗは、イオン洗浄チャンバー２の搬入口
２１から搬入され、搬送ローラによって両チャンバー
２，３内を概ね水平状態で運ばれながら洗浄処理が施さ
れる。洗浄処理を終えた基板Ｗは、メガソニック洗浄チ
ャンバー３の搬出口３１から搬出される。

【００３３】また、イオン洗浄チャンバー２で使用され
る陰イオン水（アルカリ性水）は電解槽４で生成される
が、電解槽４で生成される電解イオン水は第１及び第２
タンク５，６と電解槽４との間で循環される。そして、
本洗浄装置においては、電解槽４の電極の極性が８時間
毎に切り替えられるようにされており、この切替は、図
６に示す電極切替制御部（制御部）１０１によって制御
されている。

【００３４】＜イオン洗浄チャンバー＞イオン洗浄チャ
ンバー２には、搬入口２１から搬送ローラによって基板
Ｗが搬入される。基板Ｗは、イオン洗浄チャンバー２内
を搬送ローラによって運ばれながら、ノズル７２から洗
浄液である陰イオン水の噴射を受ける。これにより、基
板Ｗの表面に付着したパーティクルが浮き上がる。ここ
で使用する陰イオン水（アルカリ性水）は、後述する電
解槽４から供給される。

【００３５】＜メガソニック洗浄チャンバー＞メガソニ
ック洗浄チャンバー３内には複数のノズル３３が配置さ
れており、このノズルが基板Ｗに対して強大な振動加速
度（超音波の周波数領域のもの）が付与された洗浄液を
吹き付ける。搬送ローラにより搬送されてイオン洗浄チ
ャンバー２の搬出口２２からメガソニック洗浄チャンバ
ー３に移された基板Ｗは、このチャンバー３で、上記の
洗浄液をノズル３３により上面及び下面にかけられる。
これにより、イオン洗浄チャンバー２における陰イオン
水の噴射で浮き上がっていたサブミクロンのパーティク
ルが基板Ｗからすみやかに除去される。この後、基板Ｗ
はメガソニック洗浄チャンバー３の搬出口３１から搬出
され、本洗浄装置での処理が終了する。

【００３６】＜電解槽＞電解槽４は、イオン隔膜４ｃに
よって第１電極室４ａと第２電極室４ｂとにほぼ等分さ
れており、電解質が添加された水（以下、電解液とい
う。）が貯留されている。第１電極室４ａには、直流電
源９１の正負の一方の出力端子に接続される第１電極９
３が、第２電極室４ｂには、直流電源９１の正負の他方
の出力端子に接続される第２電極９４が、電解液に浸漬
するように固定されている。第１電極９３及び第２電極
９４と直流電源９１との間には切替器９２が介装されて
おり、この切替器９２が後述する制御部の指令によって
切り替わると、第１電極９３及び第２電極９４の極性が
切り替わる。電解槽４内の電解液に直流電源９１によっ
て電圧を印加すると、一方の電極室には陽イオン水が生
成され、他方の電極室には陰イオン水が生成される。な
お、第１タンク５及び第２タンク６内の電解液には、適
宜電解質が添加される。

【００３７】第１電極室４ａ内の電解イオン水は、第１
送りポンプ４０ａの作動により、第１電極室送り配管４
１ａからイオン洗浄チャンバー２あるいは第２タンク６
へと送られる。第１電極室送り配管４１ａは、第１送り
ポンプ４０ａの下流側において分岐し、一方がイオン洗
浄チャンバー２内のノズル７２につながっている洗浄液
供給配管（第１循環経路）７９に接続される。ここに
は、第１供給バルブ４２ａが介装されている。また、第
１電極室送り配管４１ａの分岐した他方は第２タンク６
につながる循環配管（第２循環経路）６９に接続され、
ここには第１循環バルブ４６ａが介装される。

【００３８】第２電極室４ｂ内の電解イオン水は、第２
送りポンプ４０ｂの作動により、第２電極室送り配管４
１ｂから第２タンク６あるいはイオン洗浄チャンバー２
へと送られる。第２電極室送り配管４１ｂは、第２送り
ポンプ４０ｂの下流側において分岐し、一方が第２タン
ク６につながる循環配管６９に接続される。ここには、
第２循環バルブ４６ｂが介装されている。また、第２電
極室送り配管４１ｂの分岐した他方はイオン洗浄チャン
バー２内のノズル７２につながっている洗浄液供給配管
７９に接続され、ここには第２供給バルブ４２ｂが介装
されている。

【００３９】＜第１，第２タンク＞第１タンク５は、イ
オン洗浄チャンバー２の下部から基板Ｗの洗浄に使用さ
れた陰イオン水を回収して貯留するものであり、電解槽
４よりも容量の大きなタンクである。ノズル７２からイ
オン洗浄チャンバー２内に供給された陰イオン水は、イ
オン洗浄チャンバー２の下部に接続されている回収管２
９を流れて、第１タンク５に流れ落ちる。第１タンク５
には、電解槽４に向かう第１タンク戻し配管５１が接続
されており、この第１タンク戻し配管５１に介装された
第１戻しポンプ５０の作動によって第１タンク５内の陰
イオン水が電解槽４に戻される。第１タンク戻し配管５
１は、第１戻しポンプ５０の下流側において分岐し、一
方が第１電極室４ａにつながっている第１電極室戻し配
管４９ａに接続される。ここには、第１戻しバルブ５４
ａが介装されている。また、第１タンク戻し配管５１の
分岐した他方は第２電極室４ｂにつながっている第２電
極室戻し配管４９ｂに接続され、ここには第２戻しバル
ブ５４ｂが介装される。また、第１タンク５は、純水補
充配管（補充手段）５８から適宜純水の補充を、また図
示しない電解質供給手段から電解質の補充を、それぞれ
受ける。

【００４０】第２タンク６は、電解槽４からの電解イオ
ン水を受け入れ、これを貯留するタンクである。この第
２タンク６には、電解槽４に向かう第２タンク戻し配管
６１が接続されており、この第２タンク戻し配管６１に
介装された第２戻しポンプ６０の作動によって第２タン
ク６内の電解イオン水が電解槽４に戻される。第２タン
ク戻し配管６１は、第２戻しポンプ６０の下流側におい
て分岐し、一方が第２電極室４ｂにつながっている第２
電極室戻し配管４９ｂに接続される。ここには、第２循
環戻しバルブ６４ｂが介装されている。また、第２タン
ク戻し配管６１の分岐した他方は第１電極室４ａにつな
がっている第１電極室戻し配管４９ａに接続され、ここ
には第１循環戻しバルブ６４ａが介装される。また、第
２タンク６は、純水補充配管（補充手段）６８から適宜
純水の補充を、また図示しない電解質供給手段から電解
質の補充を、それぞれ受ける。

【００４１】＜電極切替制御部＞本洗浄装置は、図６に
示す全体制御部（制御部）１００により制御されてい
る。全体制御部１００は、基板Ｗの連続洗浄処理の開
始、終了、休止等の動作を行わせるために、直流電源９
１や、各ポンプ４０ａ，４０ｂ，５０，６０や、搬送ロ
ーラ等に指令を送る。また、本装置では８時間毎に電解
槽４の電極の極性を切り替えるが、この制御を行う電極
切替制御部１０１に対しても指令を送り電極の極性の切
替処理を行わせる。

【００４２】電極切替制御部１０１は、全体制御部１０
０からの指令によって、各バルブ４２ａ，４２ｂ，４６
ａ，４６ｂ，５４ａ，５４ｂ，６４ａ，６４ｂと切替器
９２とに指令を送る。なお、各バルブ４２ａ，４２ｂ，
４６ａ，４６ｂ，５４ａ，５４ｂ，６４ａ，６４ｂは、
自動電磁開閉バルブであり、電極切替制御部１０１から
の信号によって、液を通す「開」の状態と液の流れを遮
断する「閉」の状態とが切り替わるものである。切替器
９２は、直流電源９１の正側の出力端子が第１電極９３
とつながり負側の出力端子が第２電極９４とつながる状
態（図１の点線で示す状態）と、直流電源９１の正側の
出力端子が第２電極９４とつながり負側の出力端子が第
１電極９３とつながる状態（図１の実線で示す状態）と
を切り替えるものである。

【００４３】＜本装置の制御＞次に、電極の極性及び電
解イオン水のフローの変遷について説明する。基板Ｗが
イオン洗浄チャンバー２で連続的に処理されているとき
には、電極の極性及び電解イオン水のフローが、図２に
示す第１状態あるいは図４に示す第３状態となる。例え
ば、現在図２に示す第１状態にあるとして、以下説明を
進める。

【００４４】図２に示す第１状態では、電極切替制御部
１０１の指令により、図７に示すように各バルブ４２
ａ，４２ｂ，４６ａ，４６ｂ，５４ａ，５４ｂ，６４
ａ，６４ｂ及び各電極９３，９４の状態が設定されてい
る。これにより、第１電極９３が陰極、第２電極９４が
陽極となり、電解槽４の第１電極室４ａで生成される陰
イオン水の流れは、図２に示すように、洗浄液供給配管
７９からイオン洗浄チャンバー２に供給され、第１タン
ク５に回収された後に第１電極室４ａに戻される流れと
なる。また、電解槽４の第２電極室４ｂで生成される陽
イオン水の流れは、循環配管６９から第２タンク６に送
られ、ここから第２電極室４ｂに戻される流れとなる。

【００４５】この第１状態では、第１電極室４ａからイ
オン洗浄チャンバー２及び第１タンク５を経由して第１
電極室４ａに戻る経路には陰イオン水が流れ、第２電極
室４ｂから第２タンク６を経由して第２電極室４ｂに戻
る経路には陽イオン水が流れる状態となる。この状態に
おいて、イオン洗浄チャンバー２では、陰イオン水を洗
浄液として使って基板Ｗの洗浄処理が行われる。

【００４６】第１状態がしばらくの間、具体的には８時
間続くと、全体制御部１００は搬送ローラ等に指令を送
り、イオン洗浄チャンバー２への基板Ｗの搬入を休止さ
せる。そして、全体制御部１００は、電極切替制御部１
０１に対して電極９３，９４の極性の切り替え処理を行
うように指令を出す。すると、電極切替制御部１０１は
各バルブ４２ａ，４２ｂ，４６ａ，４６ｂ，５４ａ，５
４ｂ，６４ａ，６４ｂと切替器９２とに指令を送り、図
７に示す第１状態から第２状態へと移行させる。

【００４７】第２状態では、第１電極９３が陽極、第２
電極９４が陰極に変わり、第１電極室４ａ内の電解イオ
ン水の流れは、図３に示すように、循環配管６９から第
２タンク６に送られ、第１電極室４ａに戻される流れと
なる。また、第２電極室４ｂ内の電解イオン水の流れ
は、循環配管６９から第２タンク６に送られ、ここから
第１電極室４ａに戻される流れとなる。このように、第
２状態はどちらの電極室４ａ，４ｂからもイオン洗浄チ
ャンバー２へは電解イオン水が送られない状態となる
が、第１タンク５からは第２電極室４ｂへと陰イオン水
が戻される。したがって、この第２状態が続いている間
は、第１タンク５の液面は下がり続ける。但し、第１タ
ンク５は電解槽４よりも大きいため、後述するように３
０秒程度では第１タンク５内の陰イオン水の減少は５０
％程度になる。

【００４８】この第２状態においては、新たに陰極とな
った第２電極９４が浸漬している第２電極室４ｂにおい
て陰イオン水が生成されるが、第１状態において生成さ
れていた陽イオン水が残留しているため、これが第２タ
ンク６へと流れて行くまでは第２電極室４ｂ内に陰イオ
ン水と陽イオン水とが混じった電解イオン水が存在する
ことになる。しかしながら、第２電極室４ｂ内の電解イ
オン水を第２タンク６に送るとともに第２電極室４ｂに
第１タンク５から陰イオン水を戻しているため、数十秒
から数分後には第２電極室４ｂ内が概ね陽イオン水の混
じっていない陰イオン水で占められる状態となる。

【００４９】ここでは、第２状態を３０秒間続ける。す
なわち、全体制御部１００は、電極切替制御部１０１に
対して、第１状態から第２状態に切り替えるように指令
を発して３０秒が経過した後に、第２状態から以下に示
す第３状態（図７参照）に切り替えるように指令を発す
る。なお、第２状態となってから３０秒が経過すると、
第２電極室４ｂ内が概ね陽イオン水の混じっていない陰
イオン水で占められる状態となっており、また、戻すば
かりで陰イオン水が供給されない第１タンク５の液面は
第１状態のときの約半分に下がっている。そして、第３
状態に切り替えられた後に、全体制御部１００は搬送ロ
ーラ等に指令を送り、イオン洗浄チャンバー２への基板
Ｗの搬入及び基板Ｗの洗浄処理を再開させる。

【００５０】第３状態では、図４に示すように、新たに
陰イオン水で占められるようになり且つ陰極である第２
電極によって陰イオン水が生成される第２電極室４ｂか
ら、イオン洗浄チャンバー２に対して陰イオン水が供給
される。ここでは、第１電極９３が陽極、第２電極９４
が陰極となり、電解槽４の第２電極室４ｂで生成される
陰イオン水の流れは、洗浄液供給配管７９からイオン洗
浄チャンバー２に供給され、第１タンク５に回収された
後に第２電極室４ｂに戻される流れとなる。また、電解
槽４の第１電極室４ａで生成される陽イオン水の流れ
は、循環配管６９から第２タンク６に送られ、ここから
第１電極室４ａに戻される流れとなる。

【００５１】この第３状態では、第２電極室４ｂからイ
オン洗浄チャンバー２及び第１タンク５を経由して第２
電極室４ｂに戻る経路には陰イオン水が流れ、第１電極
室４ａから第２タンク６を経由して第１電極室４ａに戻
る経路には陽イオン水が流れる状態となる。この状態に
おいて、イオン洗浄チャンバー２では、陰イオン水を洗
浄液として使って基板Ｗの洗浄処理が行われる。

【００５２】第３状態がしばらくの間、具体的には８時
間続くと、全体制御部１００は搬送ローラ等に指令を送
り、イオン洗浄チャンバー２への基板Ｗの搬入を休止さ
せる。そして、全体制御部１００は、電極切替制御部１
０１に対して電極９３，９４の極性の切り替え処理を行
うように指令を出す。すると、電極切替制御部１０１は
各バルブ４２ａ，４２ｂ，４６ａ，４６ｂ，５４ａ，５
４ｂ，６４ａ，６４ｂと切替器９２とに指令を送り、図
７に示す第３状態から第４状態へと移行させる。

【００５３】第４状態では、第１電極９３が陰極、第２
電極９４が陽極に変わり、第２電極室４ｂ内の電解イオ
ン水の流れは、図５に示すように、循環配管６９から第
２タンク６に送られ、第２電極室４ｂに戻される流れと
なる。また、第１電極室４ａ内の電解イオン水の流れ
は、循環配管６９から第２タンク６に送られ、ここから
第２電極室４ｂに戻される流れとなる。このように、第
４状態はどちらの電極室４ａ，４ｂからもイオン洗浄チ
ャンバー２へは電解イオン水が送られない状態となる
が、第１タンク５からは第１電極室４ａへと陰イオン水
が戻される。したがって、この第４状態が続いている間
は、第１タンク５の液面は下がり続ける。但し、第１タ
ンク５は電解槽４よりも大きいため、後述するように３
０秒程度では第１タンク５内の陰イオン水の減少は５０
％程度になる。

【００５４】この第４状態においては、新たに陰極とな
った第１電極９３が浸漬している第１電極室４ａにおい
て陰イオン水が生成されるが、第３状態において生成さ
れていた陽イオン水が残留しているため、これが第２タ
ンク６へと流れて行くまでは第１電極室４ａ内に陰イオ
ン水と陽イオン水とが混じった電解イオン水が存在する
ことになる。しかしながら、第１電極室４ａ内の電解イ
オン水を第２タンク６に送るとともに第１電極室４ａに
第１タンク５から陰イオン水を戻しているため、数十秒
から数分後には第１電極室４ａ内が概ね陽イオン水の混
じっていない陰イオン水で占められる状態となる。

【００５５】ここでは、第４状態を３０秒間続ける。す
なわち、全体制御部１００は、電極切替制御部１０１に
対して、第３状態から第４状態に切り替えるように指令
を発して３０秒が経過した後に、第４状態から第１状態
に切り替えるように指令を発する。なお、第４状態とな
ってから３０秒が経過すると、第１電極室４ａ内が概ね
陽イオン水の混じっていない陰イオン水で占められる状
態となっており、また、戻すばかりで陰イオン水が供給
されない第１タンク５の液面は第３状態のときの約半分
に下がっている。そして、第１状態に切り替えられた後
に、全体制御部１００は搬送ローラ等に指令を送り、イ
オン洗浄チャンバー２への基板Ｗの搬入及び基板Ｗの洗
浄処理を再開させる。

【００５６】上記のような、第１状態から第２状態を経
て第３状態に移行し、第３状態から第４状態を経て第１
状態に移行するという制御を繰り返し行えば、第２状態
及び第４状態において約３０秒の休止中断はあるが、イ
オン洗浄チャンバー２における基板Ｗの洗浄処理をほぼ
連続的に行わせることができ、且つ電極９３，９４に不
純物が付着して陰イオン水の生成効率が低下する不具合
を抑えることができる。

【００５７】＜本装置の特徴＞本装置では、電極９３，
９４の極性の切り替え、すなわち、第１電極９３が陽極
で第２電極９４が陰極である状態と第１電極９３が陰極
で第２電極９４が陽極である状態との切り替えが行われ
るので、電極９３，９４に付着した不純物を除去するこ
とができる。

【００５８】そして、電極９３，９４の極性の切り替え
を行った後しばらくは電解槽４の電極室４ａ，４ｂ内が
陽イオン水と陰イオン水とが混じり合った状態となるた
め、このような劣化した電解イオン水をイオン洗浄チャ
ンバー２に送らないように、電解イオン水が電解槽４か
らイオン洗浄チャンバー２に送られる状態（第１及び第
３状態）と電解イオン水が電解槽４からイオン洗浄チャ
ンバー２に送られない状態（第２及び第４状態）との切
替を行うことができるようにしている。このようにして
いるため、陽イオン水と陰イオン水とが混じり合ってい
る状態の電解イオン水をイオン洗浄チャンバー２に送ら
ずに、電極室４ａ，４ｂ内の電解イオン水の混じり度合
いが許容レベルまで回復するのを待たせることができて
いる（第２状態及び第４状態）。

【００５９】これにより、イオン洗浄チャンバー２及び
第１タンク５に劣化した電解イオン水が混入することが
なくなるため、第１タンク５を経由して電解イオン水を
循環させながら電解イオン水の回復を待つ場合に較べ
て、電解イオン水の回復までの時間が短くなる。すなわ
ち、陰イオン水を貯留する第１タンク５に一旦陽イオン
水の混じった電解イオン水が混入すると、この大きな第
１タンク５内を回復させるのに時間がかかるが、ここで
は第１タンク５に陽イオン水が混入することがないよう
に制御されているため、電解イオン水の回復の時間が短
くなっている。

【００６０】また、本装置では、純水補充配管５８，６
８及び電解質供給手段によって第１及び第２タンク５，
６に純水及び電解質が補充されるため、基板Ｗの洗浄処
理により持ち出されたり蒸発したりして電解イオン水が
不足することが抑えられている。なお、第１タンク５，
第２タンク６への補充は、あらかじめ作っておいた電解
液を補充する電解液を供給する電解液供給手段を設ける
ことによってもよい。

【００６１】［他の実施形態］ （Ａ）上記実施形態においては基板Ｗを連続枚葉的に洗
浄する洗浄装置に本発明を適用しているが、本発明は浸
漬方式の洗浄装置についても適用することができる。ま
た、陰イオン水を使って洗浄する装置に限らず、陽イオ
ン水を使って洗浄する装置についても本発明を適用する
ことができる。 （Ｂ）上記実施形態では８時間毎に電極の極性を切り替
えるように制御を行っているが、洗浄する基板Ｗの大き
さや状態、電解槽４の能力や規模等に合わせて、この時
間は適宜設定すればよく、第２状態及び第４状態を続け
る所定時間についても３０秒に限定されるものではな
い。 （Ｃ）上記実施形態では第２状態及び第４状態が続く時
間を所定時間（３０秒）に設定しているが、陰極を有す
る電極室内の電解イオン水のｐＨ値を計測して、この計
測値を基にして第２状態から第３状態及び第４状態から
第１状態への移行を行わせてもよい。

【００６２】

【発明の効果】本発明では、電極の極性を切り替えてし
ばらくの間、洗浄チャンバーに電解イオン水を送ること
を休止させて、電解イオン水の混じり度合いの回復を待
つことができるようにしているため、電解槽の電極の極
性を切り替える場合に必要な被洗浄物の洗浄処理の休止
時間を短く抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態である洗浄装置の概略図。

【図２】電解イオン水の第１状態図（フロー図）。

【図３】電解イオン水の第２状態図（フロー図）。

【図４】電解イオン水の第３状態図（フロー図）。

【図５】電解イオン水の第４状態図（フロー図）。

【図６】制御系統図。

【図７】各バルブ及び電極の状態表。

【符号の説明】

２ イオン洗浄チャンバー（洗浄チャンバー） ４ 電解槽 ４ａ 第１電極室 ４ｂ 第２電極室 ５ 第１タンク ６ 第２タンク ５８ 純水補充配管（補充手段） ６８ 純水補充配管（補充手段） ６９ 循環配管（第２循環経路） ７９ 洗浄液供給配管（第１循環経路） ９１ 直流電源 ９２ 切替器 ９３ 第１電極 ９４ 第２電極 １００ 全体制御部（制御部） １０１ 電極切替制御部（制御部）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 志摩 泰正 滋賀県彦根市高宮町480番地の１ 大日本 スクリーン製造株式会社彦根地区事業所内 (72)発明者 森 誠 滋賀県彦根市高宮町480番地の１ 大日本 スクリーン製造株式会社彦根地区事業所内 Ｆターム(参考） 3B201 AA02 AA03 AB14 AB42 BB02 BB03 BB24 BB32 BB62 BB83 BB93 CB15

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電解イオン水を被洗浄物に供給して前記被
   洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、 第１電極が配置される第１電極室と第２電極が配置され
   る第２電極室とを有し、水を電気分解して電解イオン水
   を生成する電解槽と、 前記被洗浄物を収容し、前記電解槽から送られる電解イ
   オン水によって前記被洗浄物を洗浄する洗浄チャンバー
   と、 前記第１電極が陽極で前記第２電極が陰極である状態と
   前記第１電極が陰極で前記第２電極が陽極である状態と
   の切替、及び電解イオン水が前記電解槽から前記洗浄チ
   ャンバーに送られる状態と電解イオン水が前記電解槽か
   ら前記洗浄チャンバーに送られない状態との切替を行う
   制御部と、を備えた洗浄装置。
2. 【請求項２】前記洗浄チャンバーから回収された電解イ
   オン水を貯留して、これを前記電解槽に戻す第１貯留槽
   と、 前記電解槽から送られる電解イオン水を貯留して、これ
   を前記電解槽に戻す第２貯留槽と、をさらに備え、 前記制御部は、前記第１電極室から前記洗浄チャンバー
   に電解イオン水が送られる状態と前記第１電極室から前
   記第２貯留槽に電解イオン水が送られる状態との切替、
   前記第２電極室から前記第２貯留槽に電解イオン水が送
   られる状態と前記第２電極室から前記洗浄チャンバーに
   電解イオン水が送られる状態との切替、前記第１貯留槽
   から前記第１電極室に電解イオン水が送られる状態と前
   記第１貯留槽から前記第２電極室に電解イオン水が送ら
   れる状態との切替、前記第２貯留槽から前記第２電極室
   に電解イオン水が送られる状態と前記第２貯留槽から前
   記第１電極室に電解イオン水が送られる状態との切替を
   さらに行う、請求項１に記載の洗浄装置。
3. 【請求項３】前記制御部は、前記第１電極室から前記洗
   浄チャンバーに電解イオン水が送られ、前記第２電極室
   から前記第２貯留槽に電解イオン水が送られ、前記第１
   貯留槽から前記第１電極室に電解イオン水が送られ、前
   記第２貯留槽から前記第２電極室に電解イオン水が送ら
   れる第１状態から、 前記第１電極室から前記第２貯留槽に電解イオン水が送
   られ、前記第２電極室から前記第２貯留槽に電解イオン
   水が送られ、前記第１貯留槽から前記第２電極室に電解
   イオン水が送られ、前記第２貯留槽から前記第１電極室
   に電解イオン水が送られる第２状態へと切り替えて、前
   記第１電極が陽極で前記第２電極が陰極である状態と前
   記第１電極が陰極で前記第２電極が陽極である状態との
   切替を行い、 所定時間後に、前記第１電極室から前記第２貯留槽に電
   解イオン水が送られ、前記第２電極室から前記洗浄チャ
   ンバーに電解イオン水が送られ、前記第１貯留槽から前
   記第２電極室に電解イオン水が送られ、前記第２貯留槽
   から前記第１電極室に電解イオン水が送られる第３状態
   へと切り替える、請求項２に記載の洗浄装置。
4. 【請求項４】前記制御部は、さらに、 前記第３状態から、 前記第１電極室から前記第２貯留槽に電解イオン水が送
   られ、前記第２電極室から前記第２貯留槽に電解イオン
   水が送られ、前記第１貯留槽から前記第１電極室に電解
   イオン水が送られ、前記第２貯留槽から前記第２電極室
   に電解イオン水が送られる第４状態へと切り替えて、前
   記第１電極が陽極で前記第２電極が陰極である状態と前
   記第１電極が陰極で前記第２電極が陽極である状態との
   切替を行い、 所定時間後に、前記第１状態へと切り替える、請求項３
   に記載の洗浄装置。
5. 【請求項５】前記電解槽、前記第１貯留槽、及び前記第
   ２貯留槽のうち少なくとも１つの槽に対して水を補充す
   る補充手段をさらに備えた、請求項２から４のいずれか
   に記載の洗浄装置。
6. 【請求項６】電解イオン水を被洗浄物に供給して前記被
   洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、 第１電極が配置される第１電極室と第２電極が配置され
   る第２電極室とを有し、水を電気分解して電解イオン水
   を生成する電解槽と、 前記被洗浄物を収容し、どちらかの電極室から送られる
   電解イオン水によって前記被洗浄物を洗浄する洗浄チャ
   ンバーと、 前記第１電極が陽極で前記第２電極が陰極である状態と
   前記第１電極が陰極で前記第２電極が陽極である状態と
   を切り替える時に、前記電極室から前記洗浄チャンバー
   への電解イオン水の送液を停止させ、所定時間後に前記
   電極室とは逆の電極室から前記洗浄チャンバーに電解イ
   オン水を送らせる制御部と、を備えた洗浄装置。
7. 【請求項７】前記制御部は、前記第１電極が陽極で前記
   第２電極が陰極である状態と前記第１電極が陰極で前記
   第２電極が陽極である状態とを切り替える時に、前記電
   極室から前記洗浄チャンバーへの電解イオン水の送液を
   停止させるとともに、前記電極室とは逆の電極室の電解
   イオン水を前記洗浄チャンバーを経由しない経路で所定
   時間循環させる、請求項６に記載の洗浄装置。
8. 【請求項８】電解イオン水を被洗浄物に供給して前記被
   洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、 第１電極が配置される第１電極室と第２電極が配置され
   る第２電極室とを有し、水を電気分解して電解イオン水
   を生成する電解槽と、 前記被洗浄物を収容し、どちらかの電極室から送られる
   電解イオン水によって前記被洗浄物を洗浄する洗浄チャ
   ンバーと、 前記電解槽の外部に設けられ、前記洗浄チャンバーを経
   由し、前記電解槽の電解イオン水を循環させる第１循環
   経路と、 前記電解槽の外部に設けられ、前記洗浄チャンバーを経
   由せずに、前記電解槽の電解イオン水を循環させる第２
   循環経路と、 前記第１電極が陽極で前記第２電極が陰極である状態と
   前記第１電極が陰極で前記第２電極が陽極である状態と
   を切り替える時に、前記第１循環経路による電解イオン
   水の循環を休止させ、前記第１循環経路によって前記洗
   浄チャンバーに電解イオン水を送っていた前記電極室の
   電解イオン水を前記第２循環経路によって循環させるよ
   うに切り替え、所定時間後に前記電極室とは逆の電極室
   から前記第１循環経路によって前記洗浄チャンバーに電
   解イオン水を送らせる制御部と、を備えた洗浄装置。