JP2000089006A - 固体光学素子マウントセル - Google Patents
固体光学素子マウントセルInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 固体光学素子を長期間にわたりダメージや劣
化なく用いることができ、さらに固体光学素子の温度コ
ントロールが精密に、かつ応答性良く行える固体光学素
子マウントセルを提供する。 【解決手段】 固体光学素子７を筐体２内に密封して温
度制御を行なう固体光学素子マウントセルにおいて、筐
体２内に設置された固体光学素子７の、対向する両面
に、各々固体光学素子７の温度をコントロールする温度
調整素子３を設置する。
化なく用いることができ、さらに固体光学素子の温度コ
ントロールが精密に、かつ応答性良く行える固体光学素
子マウントセルを提供する。 【解決手段】 固体光学素子７を筐体２内に密封して温
度制御を行なう固体光学素子マウントセルにおいて、筐
体２内に設置された固体光学素子７の、対向する両面
に、各々固体光学素子７の温度をコントロールする温度
調整素子３を設置する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、レーザ装置に用
いられる固体光学素子を長期間にわたりダメージや劣化
なく、一定の温度に保って用いるための固体光学素子マ
ウントセルに関するものである。
いられる固体光学素子を長期間にわたりダメージや劣化
なく、一定の温度に保って用いるための固体光学素子マ
ウントセルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】波長変換素子、レーザ活性媒質等の固体
光学素子がダメージを受ける主な原因の一つとして、固
体光学素子表面にゴミが付着することが挙げられる。ま
た、固体素子によっては空気中の湿気によって劣化がお
こるものもある。このような性質を持つ固体光学素子を
長期にわたり、ダメージや劣化なく用いるため、固体光
学素子をマウントセルの中に密封して、外界のごみや湿
気を遮断した環境で用いることが一般に行われてきた。
光学素子がダメージを受ける主な原因の一つとして、固
体光学素子表面にゴミが付着することが挙げられる。ま
た、固体素子によっては空気中の湿気によって劣化がお
こるものもある。このような性質を持つ固体光学素子を
長期にわたり、ダメージや劣化なく用いるため、固体光
学素子をマウントセルの中に密封して、外界のごみや湿
気を遮断した環境で用いることが一般に行われてきた。
【０００３】また、波長変換素子等の固体光学素子の中
には微小な温度変化によってその光学特性が大きく変わ
るものがあり、そのような固体光学素子をごみや湿気か
ら保護しつつ、一定の温度に保って使用するためには、
温度調整用装置のついた固体光学素子マウントセルを用
いる必要があった。
には微小な温度変化によってその光学特性が大きく変わ
るものがあり、そのような固体光学素子をごみや湿気か
ら保護しつつ、一定の温度に保って使用するためには、
温度調整用装置のついた固体光学素子マウントセルを用
いる必要があった。
【０００４】図９は、例えば特開平６−３０１４２６号
公報に示された従来のレーザ用固体光学素子マウントセ
ルを示す構成図である。図９において、２はセルの筐
体、７は固体光学素子、３は熱電冷却素子である。
公報に示された従来のレーザ用固体光学素子マウントセ
ルを示す構成図である。図９において、２はセルの筐
体、７は固体光学素子、３は熱電冷却素子である。
【０００５】図９のように構成された固体光学素子マウ
ントセルにおいては、固体光学素子７は筐体２とともに
熱電冷却素子３上に熱的に接触しており、熱電冷却素子
３によって温度コントロールされる。
ントセルにおいては、固体光学素子７は筐体２とともに
熱電冷却素子３上に熱的に接触しており、熱電冷却素子
３によって温度コントロールされる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の固体光学素子マ
ウントセルは上記のように構成されており、固体光学素
子だけでなく、固体光学素子を含む筐体全体を熱電冷却
素子の上に装着しているため、固体光学素子を温度コン
トロールして、所定の性能を発揮させるためには、固体
光学素子だけでなく、筐体全体を温度コントロールする
必要が生じる。従って、熱電冷却素子がコントロールし
なければならない対象の熱容量は、必要以上に大きなも
のとなっていた。
ウントセルは上記のように構成されており、固体光学素
子だけでなく、固体光学素子を含む筐体全体を熱電冷却
素子の上に装着しているため、固体光学素子を温度コン
トロールして、所定の性能を発揮させるためには、固体
光学素子だけでなく、筐体全体を温度コントロールする
必要が生じる。従って、熱電冷却素子がコントロールし
なければならない対象の熱容量は、必要以上に大きなも
のとなっていた。
【０００７】また、たとえば、レーザ共振器内部に波長
変換素子を挿入し、共振器内のレーザビームを波長変換
して、波長変換レーザビームを発生する波長変換レーザ
装置を構成する場合に、図９に示すような従来の固体光
学素子マウントセルに上記波長変換素子を密封した場
合、固体光学素子マウントセルの熱容量が大きかった
り、セルを構成する部品の中に熱伝導率が低い材料でで
きたものが含まれていた場合等には、熱電素子を用いて
筐体全体の温度をコントロールしようとすると固体光学
素子を含むマウントセル全体が熱平衡状態に達するまで
に時間がかかるという欠点があった。
変換素子を挿入し、共振器内のレーザビームを波長変換
して、波長変換レーザビームを発生する波長変換レーザ
装置を構成する場合に、図９に示すような従来の固体光
学素子マウントセルに上記波長変換素子を密封した場
合、固体光学素子マウントセルの熱容量が大きかった
り、セルを構成する部品の中に熱伝導率が低い材料でで
きたものが含まれていた場合等には、熱電素子を用いて
筐体全体の温度をコントロールしようとすると固体光学
素子を含むマウントセル全体が熱平衡状態に達するまで
に時間がかかるという欠点があった。
【０００８】共振器内部に挿入された波長変換素子の温
度コントロールが十分でない状態でレーザ装置を運転し
ようとした場合、波長変換素子は所定温度範囲内に入ら
ないと位相整合条件を満たさない場合があり、波長変換
効率が低くなり、共振器内部の基本波レーザパワーを高
調波レーザパワーとして消費できない。このため、一時
的に共振器内部の基本波強度が非常に高い状態となり、
波長変換素子等の光学素子にダメージを生じる場合があ
った。
度コントロールが十分でない状態でレーザ装置を運転し
ようとした場合、波長変換素子は所定温度範囲内に入ら
ないと位相整合条件を満たさない場合があり、波長変換
効率が低くなり、共振器内部の基本波レーザパワーを高
調波レーザパワーとして消費できない。このため、一時
的に共振器内部の基本波強度が非常に高い状態となり、
波長変換素子等の光学素子にダメージを生じる場合があ
った。
【０００９】また、波長変換素子のアライメントを行う
際、波長変換素子の角度を少し動かして、レーザ出力を
モニタし、出力が上がった場合には位相整合条件が合う
方向に波長変換素子を動かしていると判断し、同じ方向
へ波長変換素子を動かし、出力が下がった場合には、位
相整合条件がずれる方向に波長変換素子が動いたと判断
し、逆方向に波長変換素子を動かすという操作を繰り返
して、共振器と波長変換素子をアライメントするが、上
記のような固体光学素子マウントセルを波長変換素子の
保持に用いた場合には、波長変換素子を動かした際に、
波長変換素子の熱分布が定常状態に落ち着くまでに時間
がかかってしまう場合があり、作業を複雑にしていた。
際、波長変換素子の角度を少し動かして、レーザ出力を
モニタし、出力が上がった場合には位相整合条件が合う
方向に波長変換素子を動かしていると判断し、同じ方向
へ波長変換素子を動かし、出力が下がった場合には、位
相整合条件がずれる方向に波長変換素子が動いたと判断
し、逆方向に波長変換素子を動かすという操作を繰り返
して、共振器と波長変換素子をアライメントするが、上
記のような固体光学素子マウントセルを波長変換素子の
保持に用いた場合には、波長変換素子を動かした際に、
波長変換素子の熱分布が定常状態に落ち着くまでに時間
がかかってしまう場合があり、作業を複雑にしていた。
【００１０】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたものであり、固体光学素子を長期間にわ
たりダメージや劣化なく用いることができ、さらに固体
光学素子の温度コントロールが精密に、かつ応答性良く
行える固体光学素子マウントセルを提供することを目的
とする。
ためになされたものであり、固体光学素子を長期間にわ
たりダメージや劣化なく用いることができ、さらに固体
光学素子の温度コントロールが精密に、かつ応答性良く
行える固体光学素子マウントセルを提供することを目的
とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明の第１の構成に
よる固体光学素子マウントセルは、固体光学素子を筐体
内に密封して構成された固体光学素子マウントセルにお
いて、上記筐体内に上記固体光学素子の温度をコントロ
ールする温度調整素子を設置したものである。
よる固体光学素子マウントセルは、固体光学素子を筐体
内に密封して構成された固体光学素子マウントセルにお
いて、上記筐体内に上記固体光学素子の温度をコントロ
ールする温度調整素子を設置したものである。
【００１２】この発明の第２の構成による固体光学素子
マウントセルは、第１の構成において、固体光学素子の
対向する両面に各々温度調整素子を設けたものである。
マウントセルは、第１の構成において、固体光学素子の
対向する両面に各々温度調整素子を設けたものである。
【００１３】この発明の第３の構成による固体光学素子
マウントセルは、第１または第２の構成において、筐体
に冷媒の流路を設けたものである。
マウントセルは、第１または第２の構成において、筐体
に冷媒の流路を設けたものである。
【００１４】この発明の第４の構成による固体光学素子
マウントセルは、第１または第２の構成において、筐体
にヒータを設けたものである。
マウントセルは、第１または第２の構成において、筐体
にヒータを設けたものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】実施の形態１．図１および図２は
この発明の実施の形態１による固体光学素子マウントセ
ルの構造を示す構成図であり、図１は固体光学素子マウ
ントセルの縦断面図、図２（ａ）は固体光学素子マウン
トセルフタ、図２（ｂ）は固体光学素子マウントセルの
横断面図である。図１、２において、１は固体光学素子
マウントセルの押さえフタ、２は固体光学素子マウント
セル筐体、３はペルチェ素子等を用いた熱電冷却素子、
４はＯリング、５はフタの押さえねじ、６は所定の波長
に対して全透過となるようにコーティングを施された光
学窓、７は温度コントロールを要する固体光学素子、８
は銅等の熱伝導率の高い材料でできた固体光学素子保持
具、９は固体光学素子保持具８の中に埋め込まれ、固体
光学素子保持具８の温度をモニタするサーミスタ等の温
度測定装置、１２は熱電冷却素子３の廃熱側に基準温度
を与える熱溜である。
この発明の実施の形態１による固体光学素子マウントセ
ルの構造を示す構成図であり、図１は固体光学素子マウ
ントセルの縦断面図、図２（ａ）は固体光学素子マウン
トセルフタ、図２（ｂ）は固体光学素子マウントセルの
横断面図である。図１、２において、１は固体光学素子
マウントセルの押さえフタ、２は固体光学素子マウント
セル筐体、３はペルチェ素子等を用いた熱電冷却素子、
４はＯリング、５はフタの押さえねじ、６は所定の波長
に対して全透過となるようにコーティングを施された光
学窓、７は温度コントロールを要する固体光学素子、８
は銅等の熱伝導率の高い材料でできた固体光学素子保持
具、９は固体光学素子保持具８の中に埋め込まれ、固体
光学素子保持具８の温度をモニタするサーミスタ等の温
度測定装置、１２は熱電冷却素子３の廃熱側に基準温度
を与える熱溜である。
【００１６】図１、２において、固体光学素子７は上下
面が各々固体光学素子保持具８に接しており、固体光学
素子保持具８は熱電冷却素子３にそれぞれ接している。
また、熱電冷却素子３は固体光学素子マウントセル筐体
２に接触している。固体光学素子７と固体光学素子保持
具８との間、固体光学素子保持具８と熱電冷却素子３の
間、および熱電冷却素子３と筐体２との間は、両者の接
触面を光学研磨し、熱伝導性の良い接着剤等を塗って固
定したり、熱伝導グリースを塗る等の両者の間の熱伝導
を良くするための手段がとられている。固体光学素子マ
ウントセル筐体２はＯリング４を介して、光学窓６、お
よびフタ１により密封され、固体光学素子７は外界のご
みや湿気から保護される。なお、図中には記されていな
いが、温度測定装置９、および熱電冷却素子３はセルの
外部にある温度コントローラに接続されている。
面が各々固体光学素子保持具８に接しており、固体光学
素子保持具８は熱電冷却素子３にそれぞれ接している。
また、熱電冷却素子３は固体光学素子マウントセル筐体
２に接触している。固体光学素子７と固体光学素子保持
具８との間、固体光学素子保持具８と熱電冷却素子３の
間、および熱電冷却素子３と筐体２との間は、両者の接
触面を光学研磨し、熱伝導性の良い接着剤等を塗って固
定したり、熱伝導グリースを塗る等の両者の間の熱伝導
を良くするための手段がとられている。固体光学素子マ
ウントセル筐体２はＯリング４を介して、光学窓６、お
よびフタ１により密封され、固体光学素子７は外界のご
みや湿気から保護される。なお、図中には記されていな
いが、温度測定装置９、および熱電冷却素子３はセルの
外部にある温度コントローラに接続されている。
【００１７】以上のように構成された固体光学素子マウ
ントセルにおいては、以下に述べるように、固体光学素
子７の温度がコントロールされる。即ち、固体光学素子
保持具８の温度は、温度測定装置９でモニタされる。固
体光学素子保持具８は熱伝導性の高い材料で構成されて
おり、温度測定装置９は固体光学素子７の近くに設置さ
れているため、温度測定装置９でモニタされた温度の絶
対値や温度の変動は、固体光学素子７の、固体光学素子
保持具８に接している面の表面部とほぼ同じとみなすこ
とができる。温度測定装置９でモニタされた温度を元
に、熱電冷却素子３への電流がコントロールされ、結果
として、固体光学素子７の温度がコントロールされる。
また、図１、２に示した装置の筐体２は熱溜１２に接す
るように構成されており、セル全体を室温に影響されな
い温度に保つことができる。さらに、図１、２に示した
ような、固体光学素子７の対向する両面を２つの熱電冷
却素子で冷却する構成は、片面のみを冷却する構成に比
べて光学素子内の温度の均一性を著しく高め、また、均
一な温度に収束する時間を著しく短縮することができ
る。
ントセルにおいては、以下に述べるように、固体光学素
子７の温度がコントロールされる。即ち、固体光学素子
保持具８の温度は、温度測定装置９でモニタされる。固
体光学素子保持具８は熱伝導性の高い材料で構成されて
おり、温度測定装置９は固体光学素子７の近くに設置さ
れているため、温度測定装置９でモニタされた温度の絶
対値や温度の変動は、固体光学素子７の、固体光学素子
保持具８に接している面の表面部とほぼ同じとみなすこ
とができる。温度測定装置９でモニタされた温度を元
に、熱電冷却素子３への電流がコントロールされ、結果
として、固体光学素子７の温度がコントロールされる。
また、図１、２に示した装置の筐体２は熱溜１２に接す
るように構成されており、セル全体を室温に影響されな
い温度に保つことができる。さらに、図１、２に示した
ような、固体光学素子７の対向する両面を２つの熱電冷
却素子で冷却する構成は、片面のみを冷却する構成に比
べて光学素子内の温度の均一性を著しく高め、また、均
一な温度に収束する時間を著しく短縮することができ
る。
【００１８】また、固体光学素子７として、波長変換素
子やレーザ活性媒質等の角度、位置を微妙に変えて調整
する必要のある光学素子を用いる場合は、図１、２に示
した固体光学素子マウントセルの筐体２を角度と位置の
微調節可能なゴニオメータ付きステージやホルダに装着
して、角度と位置の微調整を行えるよう構成することも
できる。
子やレーザ活性媒質等の角度、位置を微妙に変えて調整
する必要のある光学素子を用いる場合は、図１、２に示
した固体光学素子マウントセルの筐体２を角度と位置の
微調節可能なゴニオメータ付きステージやホルダに装着
して、角度と位置の微調整を行えるよう構成することも
できる。
【００１９】なお、図１、２には固体光学素子を光学窓
６を用いて密封しただけの場合について示したが、必要
に応じて、セル筐体の密封度を向上させ、筐体内を真空
ポンプで引いたり、窒素ガス等の不活性ガスや乾燥空気
等でパージして固体光学素子を封入しても良い。
６を用いて密封しただけの場合について示したが、必要
に応じて、セル筐体の密封度を向上させ、筐体内を真空
ポンプで引いたり、窒素ガス等の不活性ガスや乾燥空気
等でパージして固体光学素子を封入しても良い。
【００２０】また、図１、２には示さなかったが、固体
光学素子が空気中の湿気によって劣化を起こしやすい性
質を持つ場合、固体光学素子マウントセル筐体内とつな
がれた乾燥剤を入れた別室を設けて、筐体内を乾燥した
雰囲気に保つようにしてもよい。
光学素子が空気中の湿気によって劣化を起こしやすい性
質を持つ場合、固体光学素子マウントセル筐体内とつな
がれた乾燥剤を入れた別室を設けて、筐体内を乾燥した
雰囲気に保つようにしてもよい。
【００２１】また、図１、２には単に固体光学素子７が
保持具８に接している状態のみを示したが、保持具と固
体光学素子の一部だけが接している状況を避け、固体光
学素子と保持具の接触面全体が均一に保持具に接するよ
うに、あるいは、つねに一定の圧力で保持具を固体光学
素子に押し付けるように、ばねをとりつけて押さえる構
造としても良い。
保持具８に接している状態のみを示したが、保持具と固
体光学素子の一部だけが接している状況を避け、固体光
学素子と保持具の接触面全体が均一に保持具に接するよ
うに、あるいは、つねに一定の圧力で保持具を固体光学
素子に押し付けるように、ばねをとりつけて押さえる構
造としても良い。
【００２２】図１、２のように構成された本実施の形態
１の固体光学素子マウントセルにおいては、熱電冷却素
子が温度コントロールをする対象が、固体光学素子と固
体光学素子保持具だけであるため、従来例において示し
た、マウントセル全体を温度コントロールする場合に比
べて、温度コントロールする対象の熱容量を小さくする
ことができる。
１の固体光学素子マウントセルにおいては、熱電冷却素
子が温度コントロールをする対象が、固体光学素子と固
体光学素子保持具だけであるため、従来例において示し
た、マウントセル全体を温度コントロールする場合に比
べて、温度コントロールする対象の熱容量を小さくする
ことができる。
【００２３】また、マウントセル内の空気や、光学窓、
Ｏリングといった比較的熱伝導率が低く、熱平衡状態に
達するのに時間のかかる原因となるものを温度コントロ
ールする対象から除くことができる。その結果として、
固体光学素子が熱平衡状態に達するまでに要する時間を
短縮することができ、固体光学素子および、固体光学素
子を含むレーザ装置全体のアライメントを容易に短時間
で行うことができるようになる。
Ｏリングといった比較的熱伝導率が低く、熱平衡状態に
達するのに時間のかかる原因となるものを温度コントロ
ールする対象から除くことができる。その結果として、
固体光学素子が熱平衡状態に達するまでに要する時間を
短縮することができ、固体光学素子および、固体光学素
子を含むレーザ装置全体のアライメントを容易に短時間
で行うことができるようになる。
【００２４】実施の形態２．図３および図４はこの発明
の実施の形態２による固体光学素子マウントセルの構造
を示す構成図であり、図３は固体光学素子マウントセル
の縦断面図、図４（ａ）は固体光学素子マウントセルフ
タ、図４（ｂ）は固体光学素子マウントセルの横断面
図、図４（ｃ）は上面図である。図３、４において、１
０は筐体２に設けられた所定温度に保たれた液体を流す
ための流路である。
の実施の形態２による固体光学素子マウントセルの構造
を示す構成図であり、図３は固体光学素子マウントセル
の縦断面図、図４（ａ）は固体光学素子マウントセルフ
タ、図４（ｂ）は固体光学素子マウントセルの横断面
図、図４（ｃ）は上面図である。図３、４において、１
０は筐体２に設けられた所定温度に保たれた液体を流す
ための流路である。
【００２５】図３、４のように構成された固体光学素子
マウントセルにおいては、筐体２内に、所定温度に保た
れた液体を流すための流路１０を設けたことにより、別
の熱溜を用意して、筐体に接するよう装置を構成しなく
ても固体光学素子７を室温に影響されない温度に保つこ
とができる。
マウントセルにおいては、筐体２内に、所定温度に保た
れた液体を流すための流路１０を設けたことにより、別
の熱溜を用意して、筐体に接するよう装置を構成しなく
ても固体光学素子７を室温に影響されない温度に保つこ
とができる。
【００２６】実施の形態３．図５および図６はこの発明
の実施の形態３による固体光学素子マウントセルの構造
を示す構成図であり、図５は固体光学素子マウントセル
の縦断面図、図６（ａ）は固体光学素子マウントセルフ
タ、図６（ｂ）は固体光学素子マウントセルの横断面
図、図６（ｃ）は上面図である。図５、６において、１
１は筐体内に装着されたヒータである。
の実施の形態３による固体光学素子マウントセルの構造
を示す構成図であり、図５は固体光学素子マウントセル
の縦断面図、図６（ａ）は固体光学素子マウントセルフ
タ、図６（ｂ）は固体光学素子マウントセルの横断面
図、図６（ｃ）は上面図である。図５、６において、１
１は筐体内に装着されたヒータである。
【００２７】図５、６のように構成された固体光学素子
マウントセルにおいては、筐体２内に、ヒータを内蔵し
ているため、別の熱溜を用意して、筐体に接するよう装
置を構成しなくとも固体光学素子７を室温に影響されな
い温度に保つことができる。
マウントセルにおいては、筐体２内に、ヒータを内蔵し
ているため、別の熱溜を用意して、筐体に接するよう装
置を構成しなくとも固体光学素子７を室温に影響されな
い温度に保つことができる。
【００２８】実施の形態４．図７および図８はこの発明
の実施の形態４による固体光学素子マウントセルの構造
を示す構成図であり、図７は固体光学素子マウントセル
の縦断面図、図８（ａ）は固体光学素子マウントセルフ
タ、図８（ｂ）は固体光学素子マウントセルの横断面図
である。図７、８において、３、３ａは熱電冷却素子で
ある。
の実施の形態４による固体光学素子マウントセルの構造
を示す構成図であり、図７は固体光学素子マウントセル
の縦断面図、図８（ａ）は固体光学素子マウントセルフ
タ、図８（ｂ）は固体光学素子マウントセルの横断面図
である。図７、８において、３、３ａは熱電冷却素子で
ある。
【００２９】図７、８のように構成された固体光学素子
マウントセルにおいては、筐体２外に装着された熱電冷
却素子３ａと熱溜１２とによって、筐体全体の温度がコ
ントロールされ、さらに筐体内に装着された熱電冷却素
子３によって固体光学素子７が温度コントロールされる
ため、精密な温度コントロールができる。また、１段の
熱電冷却素子３を用いた場合に比べて、より熱溜１２か
ら離れた温度に固体光学素子７を保つことができる。
マウントセルにおいては、筐体２外に装着された熱電冷
却素子３ａと熱溜１２とによって、筐体全体の温度がコ
ントロールされ、さらに筐体内に装着された熱電冷却素
子３によって固体光学素子７が温度コントロールされる
ため、精密な温度コントロールができる。また、１段の
熱電冷却素子３を用いた場合に比べて、より熱溜１２か
ら離れた温度に固体光学素子７を保つことができる。
【００３０】なお、図７、８のように構成された固体光
学素子マウントセルにおいて、筐体２にも温度測定装置
を装着することによって、筐体２の温度をモニタし、そ
れによって、筐体２の温度をコントロールするように熱
電冷却素子３ａへの電流をコントロールしてもよい。
学素子マウントセルにおいて、筐体２にも温度測定装置
を装着することによって、筐体２の温度をモニタし、そ
れによって、筐体２の温度をコントロールするように熱
電冷却素子３ａへの電流をコントロールしてもよい。
【００３１】また、図７、８には２段重ねに熱電冷却素
子を用い、固体光学素子を温度コントロールする場合に
ついて示したが、熱電冷却素子は３段以上、幾段用いて
もよい。
子を用い、固体光学素子を温度コントロールする場合に
ついて示したが、熱電冷却素子は３段以上、幾段用いて
もよい。
【００３２】
【発明の効果】この発明の第１の構成に係る固体光学素
子マウントセルは、筐体内に固体光学素子の温度をコン
トロールする温度調整素子を設置したので、温度コント
ロールする対象の熱容量を少なくすることができ、少な
い熱容量の温度調整素子を用いても温度コントロールす
ることを可能にする。また、熱容量が少ないのに加え、
熱伝導率の小さい材料を温度コントロールする対象のな
かから取り除くことができるため、熱平衡状態に達する
までの時間を短くすることを可能にする。
子マウントセルは、筐体内に固体光学素子の温度をコン
トロールする温度調整素子を設置したので、温度コント
ロールする対象の熱容量を少なくすることができ、少な
い熱容量の温度調整素子を用いても温度コントロールす
ることを可能にする。また、熱容量が少ないのに加え、
熱伝導率の小さい材料を温度コントロールする対象のな
かから取り除くことができるため、熱平衡状態に達する
までの時間を短くすることを可能にする。
【００３３】この発明の第２の構成に係る固体光学素子
マウントセルは、第１の構成において、固体光学素子の
対向する両面に各々温度調整素子を設けたので、光学素
子内の温度の均一性を著しく高め、また、均一な温度に
収束する時間を著しく短縮することができる。
マウントセルは、第１の構成において、固体光学素子の
対向する両面に各々温度調整素子を設けたので、光学素
子内の温度の均一性を著しく高め、また、均一な温度に
収束する時間を著しく短縮することができる。
【００３４】この発明の第３の構成に係る固体光学素子
マウントセルは、第１または第２の構成において、マウ
ントセルの筐体そのものに冷媒の流路を設けたので、固
体光学素子を室温に影響されない一定温度に保つことが
容易となる。
マウントセルは、第１または第２の構成において、マウ
ントセルの筐体そのものに冷媒の流路を設けたので、固
体光学素子を室温に影響されない一定温度に保つことが
容易となる。
【００３５】この発明の第４の構成に係る固体光学素子
マウントセルは、第１または第２の構成において、マウ
ントセルの筐体そのものにヒータを設けたので、固体光
学素子を室温に影響されない一定温度に保つことが容易
となる。
マウントセルは、第１または第２の構成において、マウ
ントセルの筐体そのものにヒータを設けたので、固体光
学素子を室温に影響されない一定温度に保つことが容易
となる。
【図１】 本発明の実施の形態１による固体光学素子マ
ウントセルを示す構成図である。
ウントセルを示す構成図である。
【図２】 本発明の実施の形態１による固体光学素子マ
ウントセルを示す構成図である。
ウントセルを示す構成図である。
【図３】 本発明の実施の形態２による固体光学素子マ
ウントセルを示す構成図である。
ウントセルを示す構成図である。
【図４】 本発明の実施の形態２による固体光学素子マ
ウントセルを示す構成図である。
ウントセルを示す構成図である。
【図５】 本発明の実施の形態３による固体光学素子マ
ウントセルを示す構成図である。
ウントセルを示す構成図である。
【図６】 本発明の実施の形態３による固体光学素子マ
ウントセルを示す構成図である。
ウントセルを示す構成図である。
【図７】 本発明の実施の形態４による固体光学素子マ
ウントセルを示す構成図である。
ウントセルを示す構成図である。
【図８】 本発明の実施の形態４による固体光学素子マ
ウントセルを示す構成図である。
ウントセルを示す構成図である。
【図９】 従来の固体光学素子マウントセルを示す構成
図である。
図である。
１ 固体光学素子マウントセルフタ、２ 固体光学素子
マウントセル筐体、３，３ａ 熱電冷却素子、４ Ｏリ
ング、５ フタ押さえねじ、６ 光学窓、７固体光学素
子、８ 固体光学素子保持具、９ 温度測定装置、１０
冷媒流路、１１ ヒータ、１２ 熱溜。
マウントセル筐体、３，３ａ 熱電冷却素子、４ Ｏリ
ング、５ フタ押さえねじ、６ 光学窓、７固体光学素
子、８ 固体光学素子保持具、９ 温度測定装置、１０
冷媒流路、１１ ヒータ、１２ 熱溜。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岩城 邦明 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 2H042 AA06 AA16 AA21 DB13 2K002 AB12 AB27 EA22 GA03 GA10 HA20 5F072 JJ05 JJ06 KK24
Claims (4)
- 【請求項１】 固体光学素子を筐体内に密封して温度制
御を行なう固体光学素子マウントセルにおいて、上記筐
体内に上記固体光学素子の温度をコントロールする温度
調整素子を設置したことを特徴とする固体光学素子マウ
ントセル。 - 【請求項２】 固体光学素子の対向する両面に各々温度
調整素子を設けたことを特徴とする請求項１記載の固体
光学素子マウントセル。 - 【請求項３】 筐体に冷媒の流路を設けたことを特徴と
する請求項１または２記載の固体光学素子マウントセ
ル。 - 【請求項４】 筐体にヒータを設けたことを特徴とする
請求項１または２記載の固体光学素子マウントセル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25851698A JP3750366B2 (ja) | 1998-09-11 | 1998-09-11 | 固体光学素子マウントセル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25851698A JP3750366B2 (ja) | 1998-09-11 | 1998-09-11 | 固体光学素子マウントセル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000089006A true JP2000089006A (ja) | 2000-03-31 |
| JP3750366B2 JP3750366B2 (ja) | 2006-03-01 |
Family
ID=17321305
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25851698A Expired - Fee Related JP3750366B2 (ja) | 1998-09-11 | 1998-09-11 | 固体光学素子マウントセル |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3750366B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1998
- 1998-09-11 JP JP25851698A patent/JP3750366B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP7103942B2 (ja) | 2015-10-05 | 2022-07-20 | キュービテック，インコーポレイテッド | バイフォトンの調整可能な光源 |
| US11586092B2 (en) | 2015-10-05 | 2023-02-21 | Qubitekk, Inc. | Tunable source bi-photons |
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|---|---|
| JP3750366B2 (ja) | 2006-03-01 |
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