JP2000081356A - 圧力変換器 - Google Patents
圧力変換器Info
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- JP2000081356A JP2000081356A JP10268965A JP26896598A JP2000081356A JP 2000081356 A JP2000081356 A JP 2000081356A JP 10268965 A JP10268965 A JP 10268965A JP 26896598 A JP26896598 A JP 26896598A JP 2000081356 A JP2000081356 A JP 2000081356A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 組立工程が簡略化され、設置スペースをあま
り必要とせず、小型化が容易で、使用自由度の高い圧力
変換器を提供する。 【解決手段】 同一方向に少なくとも２つの圧力導入路
を備え他方に開口部を有するハウジングをいくつかの貫
通部を有する基板に一体的に形成し、このハウジング内
の一方の圧力導入路の端面にチップ搭載面を形成し、こ
のチップ搭載面にセンサ素子を搭載した状態の表面高さ
が基板表面高さとほぼ同じになるように構成し、前記ハ
ウジング内の他方の圧力導入路の端面が基板表面高さよ
りも高く、且つ、基板が露出することのないように段差
をもって形成し、この段差及びハウジング内側壁により
囲まれたセンサチップが搭載された領域にポッティング
剤を一様に塗布することにより基板とハウジングとの隙
間を塞ぐとともに、ハウジングの開口部をカバーで覆う
ことによりハウジング内部に気密の圧力室を形成する。
り必要とせず、小型化が容易で、使用自由度の高い圧力
変換器を提供する。 【解決手段】 同一方向に少なくとも２つの圧力導入路
を備え他方に開口部を有するハウジングをいくつかの貫
通部を有する基板に一体的に形成し、このハウジング内
の一方の圧力導入路の端面にチップ搭載面を形成し、こ
のチップ搭載面にセンサ素子を搭載した状態の表面高さ
が基板表面高さとほぼ同じになるように構成し、前記ハ
ウジング内の他方の圧力導入路の端面が基板表面高さよ
りも高く、且つ、基板が露出することのないように段差
をもって形成し、この段差及びハウジング内側壁により
囲まれたセンサチップが搭載された領域にポッティング
剤を一様に塗布することにより基板とハウジングとの隙
間を塞ぐとともに、ハウジングの開口部をカバーで覆う
ことによりハウジング内部に気密の圧力室を形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧力を検知するセ
ンサ素子を搭載した圧力変換器に関し、特に、ハウジン
グと基板とを一体的に形成した圧力変換器に関する。
ンサ素子を搭載した圧力変換器に関し、特に、ハウジン
グと基板とを一体的に形成した圧力変換器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の圧力変換器を、図７ないし図８を
参照して説明する。
参照して説明する。
【０００３】図７は従来の圧力変換器の横断面図であ
り、図８は従来の他の圧力変換器の横断面図である。６
５ａは起歪部の変位を電気的信号に変換し圧力を検知す
るセンサ素子で、ハウジング５５の略中央部に設けたチ
ップ搭載面５９に、接着等の方法により固着されてい
る。チップ搭載面５９の略中央下部には、センサ素子６
５ａの起歪部に空気等の被測定媒体を導入するための圧
力導入路５３ａと、被測定対象のチューブ等（図示せ
ず）を接続するための接続ポート６７ｃが設けられてお
り、これとは逆側のハウジング５５の開口部を、大気と
連通する圧力導入路５３ｂが穿設されたカバー５７ａで
塞ぐことにより、圧力室６１を構成している。ハウジン
グ５５の両側方には、複数の端子７５，７５がインサー
ト成形されており、前記圧力室６１内のセンサ素子６５
ａの表面高さとほぼ同じ高さになるように、各端子７
５，７５の端部が露出して設けられており、センサ素子
６５ａに設けられた各端子（図示せず）と、ワイヤボン
ディング等の方法により電気的に接続されている。一
方、貫通部６９ｃを備え、各種回路パターン（図示せ
ず）が形成された基板６３ｂに、ハウジング５５の側方
から延出した各端子７５，７５の端部が半田付け等の方
法により固着されることによって、基板６３ｂとセンサ
素子６５ａが搭載されたハウジング５５とが電気的・機
械的に接続されている。ここで、図７の圧力変換器５１
ａは、１つの圧力を測定するのに適したもの（以下、一
般測定用という）であり、接続ポート６７ｃを１つしか
備えていないのに対して、図８の圧力変換器５１ｂは、
ハウジング５５上部（正確にはカバー５７ｂ）にもう１
つの接続ポート６７ｄを備えており、各々の接続ポート
６７ｃ，６７ｄに接続された２つの被測定媒体の圧力差
を測定するのに適したもの（以下、差圧測定用という）
であるという違いがある。
り、図８は従来の他の圧力変換器の横断面図である。６
５ａは起歪部の変位を電気的信号に変換し圧力を検知す
るセンサ素子で、ハウジング５５の略中央部に設けたチ
ップ搭載面５９に、接着等の方法により固着されてい
る。チップ搭載面５９の略中央下部には、センサ素子６
５ａの起歪部に空気等の被測定媒体を導入するための圧
力導入路５３ａと、被測定対象のチューブ等（図示せ
ず）を接続するための接続ポート６７ｃが設けられてお
り、これとは逆側のハウジング５５の開口部を、大気と
連通する圧力導入路５３ｂが穿設されたカバー５７ａで
塞ぐことにより、圧力室６１を構成している。ハウジン
グ５５の両側方には、複数の端子７５，７５がインサー
ト成形されており、前記圧力室６１内のセンサ素子６５
ａの表面高さとほぼ同じ高さになるように、各端子７
５，７５の端部が露出して設けられており、センサ素子
６５ａに設けられた各端子（図示せず）と、ワイヤボン
ディング等の方法により電気的に接続されている。一
方、貫通部６９ｃを備え、各種回路パターン（図示せ
ず）が形成された基板６３ｂに、ハウジング５５の側方
から延出した各端子７５，７５の端部が半田付け等の方
法により固着されることによって、基板６３ｂとセンサ
素子６５ａが搭載されたハウジング５５とが電気的・機
械的に接続されている。ここで、図７の圧力変換器５１
ａは、１つの圧力を測定するのに適したもの（以下、一
般測定用という）であり、接続ポート６７ｃを１つしか
備えていないのに対して、図８の圧力変換器５１ｂは、
ハウジング５５上部（正確にはカバー５７ｂ）にもう１
つの接続ポート６７ｄを備えており、各々の接続ポート
６７ｃ，６７ｄに接続された２つの被測定媒体の圧力差
を測定するのに適したもの（以下、差圧測定用という）
であるという違いがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来の圧力変換器では、ハウジングの固着が基板と端子と
の半田付けによりなされていることから、接続ポートに
チューブ等を抜き差しする際に、端子の半田付け部の固
着強度が低く、固着部の剥離を生ずるという問題がある
とともに、センサ素子と端子との接続及び端子と基板と
の接続という２つの工程が必要であり、組立工程が煩雑
になるという問題があった。また、差圧測定用の圧力変
換器の場合には、ハウジングの上方にも接続ポートがあ
ることから、余分な設置スペースが必要で小型化が困難
であるとともに、チューブ等の引き回しが煩雑になると
いう問題があった。
来の圧力変換器では、ハウジングの固着が基板と端子と
の半田付けによりなされていることから、接続ポートに
チューブ等を抜き差しする際に、端子の半田付け部の固
着強度が低く、固着部の剥離を生ずるという問題がある
とともに、センサ素子と端子との接続及び端子と基板と
の接続という２つの工程が必要であり、組立工程が煩雑
になるという問題があった。また、差圧測定用の圧力変
換器の場合には、ハウジングの上方にも接続ポートがあ
ることから、余分な設置スペースが必要で小型化が困難
であるとともに、チューブ等の引き回しが煩雑になると
いう問題があった。
【０００５】本発明は以上のような従来の欠点に鑑み、
これらの欠点を除去するためになされたものであり、組
立工程が簡略化され、設置スペースをあまり必要とせ
ず、小型化が容易で、使用自由度の高い圧力変換器を得
ることを目的としている。
これらの欠点を除去するためになされたものであり、組
立工程が簡略化され、設置スペースをあまり必要とせ
ず、小型化が容易で、使用自由度の高い圧力変換器を得
ることを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は圧力を検知するセンサ素子を搭載した圧力
変換器において、同一方向に少なくとも２つの圧力導入
路を備え他方に開口部を有するハウジングをいくつかの
貫通部を有する基板に一体的に形成し、このハウジング
内の一方の圧力導入路の端面にチップ搭載面を形成し、
このチップ搭載面にセンサ素子を搭載した状態の表面高
さが基板表面高さとほぼ同じになるように構成し、前記
ハウジング内の他方の圧力導入路の端面が基板表面高さ
よりも高く、且つ、基板が露出することのないように段
差をもって形成し、この段差及びハウジング内側壁によ
り囲まれたセンサチップが搭載された領域にポッティン
グ剤を一様に塗布することにより基板とハウジングとの
隙間を塞ぐとともに、ハウジングの開口部をカバーで覆
うことによりハウジング内部に気密の圧力室を形成する
ことにより圧力変換器を構成している。また、圧力を検
知するセンサ素子を搭載した圧力変換器において、同一
方向に少なくとも２つの圧力導入路を備え他方に開口部
を有するハウジングをいくつかの貫通部を有する基板に
一体的に形成し、このハウジング内の一方の圧力導入路
の端面にチップ搭載面を形成し、さらにこのチップ搭載
面の外周に接着剤逃げ部を形成し、このチップ搭載面に
センサ素子を搭載した状態の表面高さが基板表面高さと
ほぼ同じになるように構成し、前記ハウジング内の他方
の圧力導入路の端面が基板表面高さよりも高く、且つ、
基板が露出することのないように段差をもって形成し、
この段差及びハウジング内側壁により囲まれたセンサチ
ップが搭載された領域にポッティング剤を一様に塗布す
ることにより基板とハウジングとの隙間を塞ぐととも
に、ハウジングの開口部をカバーで覆うことによりハウ
ジング内部に気密の圧力室を形成することにより圧力変
換器を構成している。さらに、前記段差をもって形成し
た圧力導入路の近傍にポッティング剤の流れ込みを規制
する防護壁を設けることにより圧力変換器を構成してい
る。
に、本発明は圧力を検知するセンサ素子を搭載した圧力
変換器において、同一方向に少なくとも２つの圧力導入
路を備え他方に開口部を有するハウジングをいくつかの
貫通部を有する基板に一体的に形成し、このハウジング
内の一方の圧力導入路の端面にチップ搭載面を形成し、
このチップ搭載面にセンサ素子を搭載した状態の表面高
さが基板表面高さとほぼ同じになるように構成し、前記
ハウジング内の他方の圧力導入路の端面が基板表面高さ
よりも高く、且つ、基板が露出することのないように段
差をもって形成し、この段差及びハウジング内側壁によ
り囲まれたセンサチップが搭載された領域にポッティン
グ剤を一様に塗布することにより基板とハウジングとの
隙間を塞ぐとともに、ハウジングの開口部をカバーで覆
うことによりハウジング内部に気密の圧力室を形成する
ことにより圧力変換器を構成している。また、圧力を検
知するセンサ素子を搭載した圧力変換器において、同一
方向に少なくとも２つの圧力導入路を備え他方に開口部
を有するハウジングをいくつかの貫通部を有する基板に
一体的に形成し、このハウジング内の一方の圧力導入路
の端面にチップ搭載面を形成し、さらにこのチップ搭載
面の外周に接着剤逃げ部を形成し、このチップ搭載面に
センサ素子を搭載した状態の表面高さが基板表面高さと
ほぼ同じになるように構成し、前記ハウジング内の他方
の圧力導入路の端面が基板表面高さよりも高く、且つ、
基板が露出することのないように段差をもって形成し、
この段差及びハウジング内側壁により囲まれたセンサチ
ップが搭載された領域にポッティング剤を一様に塗布す
ることにより基板とハウジングとの隙間を塞ぐととも
に、ハウジングの開口部をカバーで覆うことによりハウ
ジング内部に気密の圧力室を形成することにより圧力変
換器を構成している。さらに、前記段差をもって形成し
た圧力導入路の近傍にポッティング剤の流れ込みを規制
する防護壁を設けることにより圧力変換器を構成してい
る。
【０００７】
【実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明の実施
の形態を詳細に説明する。
の形態を詳細に説明する。
【０００８】図１は本発明の第１の実施の形態の圧力変
換器の横断面図であり、図２はこの圧力変換器のカバー
を外した状態の平面図である。６３ａは少なくとも２つ
の貫通部６９ａ，６９ｂを有する基板で、この基板６３
ａと後述するハウジング５ａとが、インサート成形ある
いはこれと同等の方法により一体的に形成されている。
前記ハウジング５ａの内部には、ハウジング５ａの下端
部へ向けて２つの圧力導入路３ａ，３ｂが設けられてお
り、この圧力導入路３ａ，３ｂの下端部には各々接続ポ
ート６７ａ，６７ｂが設けられている。一方、ハウジン
グ５ａの上部は大きな開口部を有している。基板６３ａ
の貫通部６９ａに相当する箇所に設けられた圧力導入路
３ａの上側端面には、圧力を検知するセンサ素子６５ａ
を搭載するためのチップ搭載面９が形成されており、セ
ンサ素子６５ａを搭載した状態の表面高さが、基板６３
ａの表面高さとほぼ同じ高さになるように構成されてい
る。また、基板６３ａのもう１つの貫通部６９ｂに相当
する箇所に設けられた圧力導入路３ｂの上側端面である
圧力導入路端面１５ａは、基板６３ａが露出することの
ないように、基板６３ａの表面高さよりも高く、段差を
もって形成されている。そして、チップ搭載面９にセン
サ素子６５ａを搭載し、基板６３ａ上に形成された電極
等（図示せず）とワイヤボンディングを行い、ハウジン
グ内側壁１３ａ，１３ｂ，１３ｃと、圧力導入路端面１
５ａの段差による側壁とにより囲まれたセンサ素子６５
ａが搭載された領域に、ポッティング剤１９を一様に塗
布することにより、基板６３ａとハウジング５ａとの隙
間を塞ぐとともに、前記ハウジング５ａの上部開口部を
カバー７で覆うことにより、ハウジング５ａ内部に気密
の圧力室２１を形成している。
換器の横断面図であり、図２はこの圧力変換器のカバー
を外した状態の平面図である。６３ａは少なくとも２つ
の貫通部６９ａ，６９ｂを有する基板で、この基板６３
ａと後述するハウジング５ａとが、インサート成形ある
いはこれと同等の方法により一体的に形成されている。
前記ハウジング５ａの内部には、ハウジング５ａの下端
部へ向けて２つの圧力導入路３ａ，３ｂが設けられてお
り、この圧力導入路３ａ，３ｂの下端部には各々接続ポ
ート６７ａ，６７ｂが設けられている。一方、ハウジン
グ５ａの上部は大きな開口部を有している。基板６３ａ
の貫通部６９ａに相当する箇所に設けられた圧力導入路
３ａの上側端面には、圧力を検知するセンサ素子６５ａ
を搭載するためのチップ搭載面９が形成されており、セ
ンサ素子６５ａを搭載した状態の表面高さが、基板６３
ａの表面高さとほぼ同じ高さになるように構成されてい
る。また、基板６３ａのもう１つの貫通部６９ｂに相当
する箇所に設けられた圧力導入路３ｂの上側端面である
圧力導入路端面１５ａは、基板６３ａが露出することの
ないように、基板６３ａの表面高さよりも高く、段差を
もって形成されている。そして、チップ搭載面９にセン
サ素子６５ａを搭載し、基板６３ａ上に形成された電極
等（図示せず）とワイヤボンディングを行い、ハウジン
グ内側壁１３ａ，１３ｂ，１３ｃと、圧力導入路端面１
５ａの段差による側壁とにより囲まれたセンサ素子６５
ａが搭載された領域に、ポッティング剤１９を一様に塗
布することにより、基板６３ａとハウジング５ａとの隙
間を塞ぐとともに、前記ハウジング５ａの上部開口部を
カバー７で覆うことにより、ハウジング５ａ内部に気密
の圧力室２１を形成している。
【０００９】このように圧力変換器を構成しているた
め、基板とセンサ素子との電気的接続は、ワイヤボンデ
ィングの１工程で事足りるため、組立工程を簡略化する
ことができる。また、基板とハウジングとが一体的に形
成されているため、その接合強度は非常に高いものであ
り、チューブ等の抜き差しに対しても何等不安を覚える
ことがなくなる。さらに、圧力導入路、接続ポートが、
ハウジングの下部に同一方向に設けられているため、余
分な設置スペースを不要にできるとともに、チューブ等
の引き回しが容易となる。加えて、一般測定用には１つ
の接続ポート６７ａを使用し、差圧測定用には２つの接
続ポート６７ａ及び６７ｂを使用するというように、両
方の測定に使用することができ、使用自由度を高めるこ
とができる。また、ポッティング剤がシール部材を兼ね
ているため、ポッティングと圧力室のシールとを別々に
行う必要がなく、容易に気密の圧力室を形成することが
できる。
め、基板とセンサ素子との電気的接続は、ワイヤボンデ
ィングの１工程で事足りるため、組立工程を簡略化する
ことができる。また、基板とハウジングとが一体的に形
成されているため、その接合強度は非常に高いものであ
り、チューブ等の抜き差しに対しても何等不安を覚える
ことがなくなる。さらに、圧力導入路、接続ポートが、
ハウジングの下部に同一方向に設けられているため、余
分な設置スペースを不要にできるとともに、チューブ等
の引き回しが容易となる。加えて、一般測定用には１つ
の接続ポート６７ａを使用し、差圧測定用には２つの接
続ポート６７ａ及び６７ｂを使用するというように、両
方の測定に使用することができ、使用自由度を高めるこ
とができる。また、ポッティング剤がシール部材を兼ね
ているため、ポッティングと圧力室のシールとを別々に
行う必要がなく、容易に気密の圧力室を形成することが
できる。
【００１０】なお、センサ素子６５ａとしては、ピエゾ
抵抗効果を利用したものや静電容量の変化を利用したも
のが一般に知られており、ここでは説明上、ガラス台座
７１ａを備えたセンサ素子を用いたが、起歪部の変位を
電気的信号に変換するものであれば、これに限定される
ものではない。また、ポッティング剤１９は、センサ素
子６５ａの側面にも充填されるため、粘性の低いものを
使用することが望ましいが、センサ素子６５ａの特性に
悪影響を及ぼさない範囲であれば特に問題はない。ま
た、基板６３ａはこの形状に限定されるものではなく、
任意の形状に形成することができるのはもちろん、基板
６３ａ上に各種増幅回路や制御部、表示部等を任意に形
成することができる。
抵抗効果を利用したものや静電容量の変化を利用したも
のが一般に知られており、ここでは説明上、ガラス台座
７１ａを備えたセンサ素子を用いたが、起歪部の変位を
電気的信号に変換するものであれば、これに限定される
ものではない。また、ポッティング剤１９は、センサ素
子６５ａの側面にも充填されるため、粘性の低いものを
使用することが望ましいが、センサ素子６５ａの特性に
悪影響を及ぼさない範囲であれば特に問題はない。ま
た、基板６３ａはこの形状に限定されるものではなく、
任意の形状に形成することができるのはもちろん、基板
６３ａ上に各種増幅回路や制御部、表示部等を任意に形
成することができる。
【００１１】次に、本発明の他の実施の形態について図
３ないし図６を参照して説明する。なお、本発明の第１
の実施の形態の圧力変換器と同一の構成については同一
の符号を付与することにより、その説明を省略する。
３ないし図６を参照して説明する。なお、本発明の第１
の実施の形態の圧力変換器と同一の構成については同一
の符号を付与することにより、その説明を省略する。
【００１２】図３は本発明の第２の実施の形態の圧力変
換器の横断面図であり、図４はこの圧力変換器のカバー
を外した状態の平面図である。本発明の第１の実施の形
態の圧力変換器と主に異なる点は、チップ搭載面９の外
周に接着剤逃げ部１１を形成したことと、圧力導入路端
面１５ｂの一部にポッティング剤１９の流れ込みを規制
する防護壁１７を形成したことにあり、センサ素子６５
ａをチップ搭載面９に固着する際の余分な接着剤が、こ
の接着剤逃げ部１１に流れ込み、センサ素子６５ａの側
面（正確には台座７１ａの側面）に付着することがない
ため、センサ素子６５ａの特性を劣化させることがない
とともに、防護壁１７により、確実にポッティング剤１
９の流れ込みを阻止することができ、ポッティング剤１
９が誤って圧力導入路３ｂを塞ぐことがなくなる。な
お、ここでは圧力導入路端面１５ｂの高さを、基板６３
ａが露出しない範囲内で低く形成しているが、防護壁１
７の上面がカバー７に当接して、圧力室２１ｂを分断し
ない範囲であれば、第１の実施の形態の圧力変換器の圧
力導入路端面１５ａと同様の高さに形成しても何等問題
はない。
換器の横断面図であり、図４はこの圧力変換器のカバー
を外した状態の平面図である。本発明の第１の実施の形
態の圧力変換器と主に異なる点は、チップ搭載面９の外
周に接着剤逃げ部１１を形成したことと、圧力導入路端
面１５ｂの一部にポッティング剤１９の流れ込みを規制
する防護壁１７を形成したことにあり、センサ素子６５
ａをチップ搭載面９に固着する際の余分な接着剤が、こ
の接着剤逃げ部１１に流れ込み、センサ素子６５ａの側
面（正確には台座７１ａの側面）に付着することがない
ため、センサ素子６５ａの特性を劣化させることがない
とともに、防護壁１７により、確実にポッティング剤１
９の流れ込みを阻止することができ、ポッティング剤１
９が誤って圧力導入路３ｂを塞ぐことがなくなる。な
お、ここでは圧力導入路端面１５ｂの高さを、基板６３
ａが露出しない範囲内で低く形成しているが、防護壁１
７の上面がカバー７に当接して、圧力室２１ｂを分断し
ない範囲であれば、第１の実施の形態の圧力変換器の圧
力導入路端面１５ａと同様の高さに形成しても何等問題
はない。
【００１３】図５は本発明の第３の実施の形態の圧力変
換器の横断面図である。本発明の第１の実施の形態の圧
力変換器と主に異なる点は、接続ポート６７ｂ（図１参
照）を設けていないことにあり、一般測定用にしか使用
しないなど、明らかに接続ポートが不要な場合には、こ
のような構成としてもよいことを示したものである。
換器の横断面図である。本発明の第１の実施の形態の圧
力変換器と主に異なる点は、接続ポート６７ｂ（図１参
照）を設けていないことにあり、一般測定用にしか使用
しないなど、明らかに接続ポートが不要な場合には、こ
のような構成としてもよいことを示したものである。
【００１４】図６は本発明の第４の実施の形態の圧力変
換器の横断面図である。本発明の第１の実施の形態の圧
力変換器と主に異なる点は、台座７１ｂに貫通孔を有せ
ずに、起歪部との間が真空状態で接合されている絶対圧
用のセンサ素子６５ｂを搭載したことにあり、接続ポー
ト６７ｂを使用するということのみで、ハウジング５ｄ
の構成を何等変えることなく、絶対圧の測定専用の圧力
変換器を得ることができることを示したものである。な
お、本発明の第３の実施の形態の圧力変換器で説明した
ように、接続ポート６７ａをなくすこともできる。
換器の横断面図である。本発明の第１の実施の形態の圧
力変換器と主に異なる点は、台座７１ｂに貫通孔を有せ
ずに、起歪部との間が真空状態で接合されている絶対圧
用のセンサ素子６５ｂを搭載したことにあり、接続ポー
ト６７ｂを使用するということのみで、ハウジング５ｄ
の構成を何等変えることなく、絶対圧の測定専用の圧力
変換器を得ることができることを示したものである。な
お、本発明の第３の実施の形態の圧力変換器で説明した
ように、接続ポート６７ａをなくすこともできる。
【発明の効果】以上、詳細に説明したように本発明にあ
っては次に列挙する効果を得ることができる。
っては次に列挙する効果を得ることができる。
【００１５】（１）圧力を検知するセンサ素子を搭載し
た圧力変換器において、同一方向に少なくとも２つの圧
力導入路を備え他方に開口部を有するハウジングをいく
つかの貫通部を有する基板に一体的に形成し、このハウ
ジング内の一方の圧力導入路の端面にチップ搭載面を形
成し、このチップ搭載面にセンサ素子を搭載した状態の
表面高さが基板表面高さとほぼ同じになるように構成
し、前記ハウジング内の他方の圧力導入路の端面が基板
表面高さよりも高く、且つ、基板が露出することのない
ように段差をもって形成し、この段差及びハウジング内
側壁により囲まれたセンサチップが搭載された領域にポ
ッティング剤を一様に塗布することにより基板とハウジ
ングとの隙間を塞ぐとともに、ハウジングの開口部をカ
バーで覆うことによりハウジング内部に気密の圧力室を
形成することにより圧力変換器を構成しているので、基
板とセンサ素子との電気的接続は、ワイヤボンディング
の１工程で事足りるため、組立工程を簡略化することが
できる。また、基板とハウジングとが一体的に形成され
ているため、その接合強度は非常に高いものであり、チ
ューブ等の抜き差しに対しても何等不安を覚えることが
なくなる。さらに、圧力導入路、接続ポートが、ハウジ
ングの下部に同一方向に設けられているため、余分な設
置スペースを不要にできるとともに、チューブ等の引き
回しが容易となる。加えて、一般測定用には１つの接続
ポートを使用し、差圧測定用には２つの接続ポートを使
用するというように、両方の測定に使用することがで
き、使用自由度を高めることができる。また、ポッティ
ング剤がシール部材を兼ねているため、ポッティングと
圧力室のシールとを別々に行う必要がなく、容易に気密
の圧力室を形成することができる。さらに、必要に応じ
て接続ポートをなくすことができ、絶対圧測定用のセン
サ素子を搭載するだけで、絶対圧専用の圧力変換器を得
ることができ、使用自由度をより高めることができる。
た圧力変換器において、同一方向に少なくとも２つの圧
力導入路を備え他方に開口部を有するハウジングをいく
つかの貫通部を有する基板に一体的に形成し、このハウ
ジング内の一方の圧力導入路の端面にチップ搭載面を形
成し、このチップ搭載面にセンサ素子を搭載した状態の
表面高さが基板表面高さとほぼ同じになるように構成
し、前記ハウジング内の他方の圧力導入路の端面が基板
表面高さよりも高く、且つ、基板が露出することのない
ように段差をもって形成し、この段差及びハウジング内
側壁により囲まれたセンサチップが搭載された領域にポ
ッティング剤を一様に塗布することにより基板とハウジ
ングとの隙間を塞ぐとともに、ハウジングの開口部をカ
バーで覆うことによりハウジング内部に気密の圧力室を
形成することにより圧力変換器を構成しているので、基
板とセンサ素子との電気的接続は、ワイヤボンディング
の１工程で事足りるため、組立工程を簡略化することが
できる。また、基板とハウジングとが一体的に形成され
ているため、その接合強度は非常に高いものであり、チ
ューブ等の抜き差しに対しても何等不安を覚えることが
なくなる。さらに、圧力導入路、接続ポートが、ハウジ
ングの下部に同一方向に設けられているため、余分な設
置スペースを不要にできるとともに、チューブ等の引き
回しが容易となる。加えて、一般測定用には１つの接続
ポートを使用し、差圧測定用には２つの接続ポートを使
用するというように、両方の測定に使用することがで
き、使用自由度を高めることができる。また、ポッティ
ング剤がシール部材を兼ねているため、ポッティングと
圧力室のシールとを別々に行う必要がなく、容易に気密
の圧力室を形成することができる。さらに、必要に応じ
て接続ポートをなくすことができ、絶対圧測定用のセン
サ素子を搭載するだけで、絶対圧専用の圧力変換器を得
ることができ、使用自由度をより高めることができる。
【００１６】（２）圧力を検知するセンサ素子を搭載し
た圧力変換器において、同一方向に少なくとも２つの圧
力導入路を備え他方に開口部を有するハウジングをいく
つかの貫通部を有する基板に一体的に形成し、このハウ
ジング内の一方の圧力導入路の端面にチップ搭載面を形
成し、さらにこのチップ搭載面の外周に接着剤逃げ部を
形成し、このチップ搭載面にセンサ素子を搭載した状態
の表面高さが基板表面高さとほぼ同じになるように構成
し、前記ハウジング内の他方の圧力導入路の端面が基板
表面高さよりも高く、且つ、基板が露出することのない
ように段差をもって形成し、この段差及びハウジング内
側壁により囲まれたセンサチップが搭載された領域にポ
ッティング剤を一様に塗布することにより基板とハウジ
ングとの隙間を塞ぐとともに、ハウジングの開口部をカ
バーで覆うことによりハウジング内部に気密の圧力室を
形成することにより圧力変換器を構成しているので、
（１）と同様の効果を得ることができるとともに、セン
サ素子をチップ搭載面に固着する際の余分な接着剤が、
この接着剤逃げ部に流れ込み、センサ素子の側面（正確
には台座の側面）に付着することがなく、センサ素子の
特性が劣化するのを防止することができる。
た圧力変換器において、同一方向に少なくとも２つの圧
力導入路を備え他方に開口部を有するハウジングをいく
つかの貫通部を有する基板に一体的に形成し、このハウ
ジング内の一方の圧力導入路の端面にチップ搭載面を形
成し、さらにこのチップ搭載面の外周に接着剤逃げ部を
形成し、このチップ搭載面にセンサ素子を搭載した状態
の表面高さが基板表面高さとほぼ同じになるように構成
し、前記ハウジング内の他方の圧力導入路の端面が基板
表面高さよりも高く、且つ、基板が露出することのない
ように段差をもって形成し、この段差及びハウジング内
側壁により囲まれたセンサチップが搭載された領域にポ
ッティング剤を一様に塗布することにより基板とハウジ
ングとの隙間を塞ぐとともに、ハウジングの開口部をカ
バーで覆うことによりハウジング内部に気密の圧力室を
形成することにより圧力変換器を構成しているので、
（１）と同様の効果を得ることができるとともに、セン
サ素子をチップ搭載面に固着する際の余分な接着剤が、
この接着剤逃げ部に流れ込み、センサ素子の側面（正確
には台座の側面）に付着することがなく、センサ素子の
特性が劣化するのを防止することができる。
【００１７】（３）前記段差をもって形成した圧力導入
路の近傍にポッティング剤の流れ込みを規制する防護壁
を設けることにより圧力変換器を構成しているので、確
実にポッティング剤の流れ込みを阻止することができ、
ポッティング剤が誤って圧力導入路を塞ぐのを防止する
ことができる。
路の近傍にポッティング剤の流れ込みを規制する防護壁
を設けることにより圧力変換器を構成しているので、確
実にポッティング剤の流れ込みを阻止することができ、
ポッティング剤が誤って圧力導入路を塞ぐのを防止する
ことができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態の圧力変換器の横断
面図。
面図。
【図２】図１のカバーを外した状態の平面図。
【図３】本発明の第２の実施の形態の圧力変換器の横断
面図。
面図。
【図４】図３のカバーを外した状態の平面図。
【図５】本発明の第３の実施の形態の圧力変換器の横断
面図。
面図。
【図６】本発明の第４の実施の形態の圧力変換器の横断
面図。
面図。
【図７】従来の圧力変換器の横断面図。
【図８】従来のもう１つの圧力変換器の横断面図。
１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，５１ａ，５１ｂ：圧力変換
器、３ａ，３ｂ，５３ａ，５３ｂ：圧力導入路、５ａ，
５ｂ，５ｃ，５ｄ，５５：ハウジング、７，５７ａ，５
７ｂ：カバー、９，５９：チップ搭載面、 １
１：接着剤逃げ部、１３ａ，１３ｂ，１３ｃ：ハウジン
グ内側壁、１５ａ，１５ｂ：圧力導入路端面、１７：防
護壁、 １９：ポッティング剤、２１
ａ，２１ｂ，６１：圧力室、 ６３ａ，６３ｂ：基板、
６５ａ，６５ｂ：センサ素子、６７ａ，６７ｂ，６７
ｃ，６７ｄ：接続ポート、６９ａ，６９ｂ，６９ｃ：貫
通部、７１ａ，７１ｂ：台座、 ７５：端子。
器、３ａ，３ｂ，５３ａ，５３ｂ：圧力導入路、５ａ，
５ｂ，５ｃ，５ｄ，５５：ハウジング、７，５７ａ，５
７ｂ：カバー、９，５９：チップ搭載面、 １
１：接着剤逃げ部、１３ａ，１３ｂ，１３ｃ：ハウジン
グ内側壁、１５ａ，１５ｂ：圧力導入路端面、１７：防
護壁、 １９：ポッティング剤、２１
ａ，２１ｂ，６１：圧力室、 ６３ａ，６３ｂ：基板、
６５ａ，６５ｂ：センサ素子、６７ａ，６７ｂ，６７
ｃ，６７ｄ：接続ポート、６９ａ，６９ｂ，６９ｃ：貫
通部、７１ａ，７１ｂ：台座、 ７５：端子。
Claims (3)
- 【請求項１】 圧力を検知するセンサ素子を搭載した圧
力変換器において、同一方向に少なくとも２つの圧力導
入路を備え他方に開口部を有するハウジングをいくつか
の貫通部を有する基板に一体的に形成し、このハウジン
グ内の一方の圧力導入路の端面にチップ搭載面を形成
し、このチップ搭載面にセンサ素子を搭載した状態の表
面高さが基板表面高さとほぼ同じになるように構成し、
前記ハウジング内の他方の圧力導入路の端面が基板表面
高さよりも高く、且つ、基板が露出することのないよう
に段差をもって形成し、この段差及びハウジング内側壁
により囲まれたセンサチップが搭載された領域にポッテ
ィング剤を一様に塗布することにより基板とハウジング
との隙間を塞ぐとともに、ハウジングの開口部をカバー
で覆うことによりハウジング内部に気密の圧力室を形成
したことを特徴とする圧力変換器。 - 【請求項２】 圧力を検知するセンサ素子を搭載した圧
力変換器において、同一方向に少なくとも２つの圧力導
入路を備え他方に開口部を有するハウジングをいくつか
の貫通部を有する基板に一体的に形成し、このハウジン
グ内の一方の圧力導入路の端面にチップ搭載面を形成
し、さらにこのチップ搭載面の外周に接着剤逃げ部を形
成し、このチップ搭載面にセンサ素子を搭載した状態の
表面高さが基板表面高さとほぼ同じになるように構成
し、前記ハウジング内の他方の圧力導入路の端面が基板
表面高さよりも高く、且つ、基板が露出することのない
ように段差をもって形成し、この段差及びハウジング内
側壁により囲まれたセンサチップが搭載された領域にポ
ッティング剤を一様に塗布することにより基板とハウジ
ングとの隙間を塞ぐとともに、ハウジングの開口部をカ
バーで覆うことによりハウジング内部に気密の圧力室を
形成したことを特徴とする圧力変換器。 - 【請求項３】 前記段差をもって形成した圧力導入路の
近傍にポッティング剤の流れ込みを規制する防護壁を設
けたことを特徴とする請求項１または２記載の圧力変換
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26896598A JP4072973B2 (ja) | 1998-09-07 | 1998-09-07 | 圧力変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26896598A JP4072973B2 (ja) | 1998-09-07 | 1998-09-07 | 圧力変換器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000081356A true JP2000081356A (ja) | 2000-03-21 |
| JP4072973B2 JP4072973B2 (ja) | 2008-04-09 |
Family
ID=17465771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26896598A Expired - Lifetime JP4072973B2 (ja) | 1998-09-07 | 1998-09-07 | 圧力変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4072973B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009544028A (ja) * | 2006-07-19 | 2009-12-10 | コンチネンタル オートモーティヴ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 圧力検出装置 |
| US8869623B2 (en) | 2010-12-13 | 2014-10-28 | Panasonic Corporation | Pressure sensor mounting structure |
| KR20140127823A (ko) | 2012-02-16 | 2014-11-04 | 호쿠리쿠 덴키 고교 가부시키가이샤 | 압력 센서 모듈 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016035903A1 (ko) * | 2014-09-03 | 2016-03-10 | (주)코멧네트워크 | 차압센서 |
-
1998
- 1998-09-07 JP JP26896598A patent/JP4072973B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009544028A (ja) * | 2006-07-19 | 2009-12-10 | コンチネンタル オートモーティヴ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 圧力検出装置 |
| US8869623B2 (en) | 2010-12-13 | 2014-10-28 | Panasonic Corporation | Pressure sensor mounting structure |
| KR20140127823A (ko) | 2012-02-16 | 2014-11-04 | 호쿠리쿠 덴키 고교 가부시키가이샤 | 압력 센서 모듈 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4072973B2 (ja) | 2008-04-09 |
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