JP2000077847A - Manufacture of multilayered printed wiring board - Google Patents

Manufacture of multilayered printed wiring board

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JP2000077847A
JP2000077847A JP24373198A JP24373198A JP2000077847A JP 2000077847 A JP2000077847 A JP 2000077847A JP 24373198 A JP24373198 A JP 24373198A JP 24373198 A JP24373198 A JP 24373198A JP 2000077847 A JP2000077847 A JP 2000077847A
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JP
Japan
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resin
board
layer
printed wiring
wiring board
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JP24373198A
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Japanese (ja)
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Ikuo Sugawara
郁夫 菅原
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Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
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  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the adhesive property of an inner board and an insulating layer by removing a metal foil and roughening the surface of the exposed board after the etching of a metal-foil applied laminated board and the formation of an inner circuit pattern. SOLUTION: Phenol resin, epoxy resin, unsaturated polyester resin, polyimide resin, polybutadiene resin and polyamide resin and the like are provided as the matrix resin as the single or converted material or the mixed material. These resin vanish is impregnated and dried in the raw fiber material such as woven fabric and unwoven fabric and mat. Thus, the metal-foil applied and laminated board is manufactured by combining these layer. This board is etched to form an inner-layer circuit pattern. Thereafter, the metal foil is removed. The exposed surface of the board is roughened by using potassium permanganate, concentrated sulfric acid, chromic acid and the like.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】木発明は、多層プリント配線
板の製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer printed wiring board.

【0002】[0002]

【従来の技術】多層プリント配線板は、表面導体層を含
めて3層以上に導体層を有するプリント配線板であり、
したがって、内層にも導体パターンすなわち内層回路パ
ターンを有するプリント配線板である。
2. Description of the Related Art A multilayer printed wiring board is a printed wiring board having three or more conductor layers including a surface conductor layer.
Therefore, the printed wiring board has a conductor pattern, that is, an inner circuit pattern also in the inner layer.

【0003】多層プリント配線板の製造方法には、ラミ
ネーション法とビルドアップ法とがある。
There are a lamination method and a build-up method as a method of manufacturing a multilayer printed wiring board.

【0004】ラミネーション法は、金属はく張り積層板
にエッチングを施して内層回路パターンを形成した内層
回路板と金属はくとを構成材とし、各構成材の間に接着
剤シートを挿んで加熱加圧して接着一体化する方法であ
る。両面に内層回路パターンを有する内層回路板1枚の
両面に金属はくを重ねると4層プリント配線板となる。
内層回路板の枚数を増加させることにより、より多層の
プリント配線板とすることができる。
In the lamination method, a metal-laminated laminated board is etched to form an inner-layer circuit pattern, and a metal foil is used as a constituent material. An adhesive sheet is inserted between the constituent materials and heated. This is a method of applying pressure and bonding and integrating. When a metal foil is laminated on both sides of one inner layer circuit board having an inner layer circuit pattern on both sides, a four-layer printed wiring board is obtained.
By increasing the number of inner layer circuit boards, a more multilayer printed wiring board can be obtained.

【0005】ビルドアップ法は、内層から表面層へと導
体層と絶縁層とを順次積み上げていく方法である。金属
はく張り積層板にエッチングを施して内層回路パターン
を形成し、その上に接着剤シートを挿んで(接着剤シー
トを挿む代わりに、液状の接着剤を塗布することもあ
る)金属はくを重ねて加熱加圧して接着一体化し、この
金属はくにエッチングを施して回路パターンを形成す
る。両面金属はく張り積層板を用いて内層回路パターン
を両面に形成し、両面に金属はくを接着一体化し、次い
でエッチングを施して表面の回路パターンを形成するこ
とにより4層プリント配線板が得られる。このようにし
て形成された表面の回路パターンを内層回路パターンと
して、以下同様の工程を繰り返すことにより、さらに多
層化することができる。通常は、絶縁層と導体層を両面
に積み上げて多層化するが、片面側に1層宛積み上げて
多層化することもある。
[0005] The build-up method is a method in which a conductor layer and an insulating layer are sequentially stacked from an inner layer to a surface layer. The metal-clad laminate is etched to form an inner layer circuit pattern, and an adhesive sheet is inserted over it (instead of inserting the adhesive sheet, a liquid adhesive may be applied). The metal foil is heated and pressurized to bond and integrate, and the metal foil is etched to form a circuit pattern. A four-layer printed wiring board is obtained by forming an inner circuit pattern on both sides using a double-sided metal-clad laminate, bonding and integrating metal foils on both sides, and then etching to form a circuit pattern on the surface. Can be By using the circuit pattern on the surface formed as described above as an inner layer circuit pattern and repeating the same steps as described below, further multilayering can be achieved. Normally, an insulating layer and a conductor layer are stacked on both sides to form a multilayer, but there is also a case where one layer is stacked on one side to form a multilayer.

【0006】いずれの方法によるにしても、多層プリン
ト配線板においては、接着剤シートが硬化して形成され
た絶縁層が強固に接着されていることが製品の信頼性か
ら肝要である。そして、接着を強固にするために接着面
を粗化して微細な凹凸を形成する手法が知られている。
Regardless of which method is used, in a multilayer printed wiring board, it is important for the reliability of the product that the insulating layer formed by curing the adhesive sheet is firmly adhered. Then, there is known a method of forming a fine unevenness by roughening the bonding surface in order to strengthen the bonding.

【0007】一方、通常の金属はくは、片面はシャイニ
ー面又は光沢面といわれる平滑な面となっており、他の
面はマット面又は粗化面といわれる微細な凹凸のある面
となっており、例えば、銅はくは、粗化面の表面粗さ
(JIS B 0601に規定される十点平均粗さ、以
下Rzという)が2〜15μmのものが市販され、金属
はく張り積層板(銅張り積層板)の製造に使用されてい
る。
On the other hand, in the case of ordinary metal foil, one surface is a smooth surface called a shiny surface or a glossy surface, and the other surface is a surface having fine irregularities called a matte surface or a roughened surface. For example, copper foil having a surface roughness of a roughened surface (ten-point average roughness defined by JIS B 0601, hereinafter referred to as Rz) of 2 to 15 μm is commercially available, and a metal-clad laminate is provided. (Copper-clad laminates).

【0008】金属はく張り積層板は、熱硬化性樹脂ワニ
スを繊維基材に含浸乾燥して得られるプリプレグ所定枚
数を重ね、これに金属はくを粗化面がプリプレグと接す
るようにして重ねて加熱加圧して製造される。多層プリ
ント配線板の内層回路板の基板面には、金属はくの粗化
面の凹凸が転写されており、エッチングにより金属はく
が除去されて露出した基板面には金属はくの粗化面と同
様の形凹凸が形成されている。このような凹凸がある
と、錨がひっかかるような機械的効果すなわちアンカー
効果を奏することにより接着性がよくなることが知られ
ている。そこで、多層プリント配線板の製造において
は、従来は、金属はく張り積層板にエッチングを施して
内層回路パターンを形成した後、内層回路パターンの導
体層表面のみを粗化するようにしていた。
[0008] The metal-clad laminate is laminated with a predetermined number of prepregs obtained by impregnating and drying a thermosetting resin varnish in a fibrous base material, and then laminating a metal foil so that the roughened surface is in contact with the prepreg. It is manufactured by heating and pressing. The unevenness of the roughened surface of the metal foil is transferred to the substrate surface of the inner layer circuit board of the multilayer printed wiring board, and the metal foil is roughened on the exposed substrate surface after the metal foil is removed by etching. The same shape irregularities as the surface are formed. It is known that the presence of such irregularities provides a mechanical effect, such as anchoring, that is, an anchor effect, thereby improving the adhesiveness. Therefore, in the production of a multilayer printed wiring board, conventionally, a metal-clad laminate is etched to form an inner circuit pattern, and then only the surface of the conductor layer of the inner circuit pattern is roughened.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】近年、プリント配線板
にも薄型化、高密度化を要求されるようになり、これに
伴って金属はくも薄いものが使用されるようになってき
ている。金属はくが薄くなると粗化面の凹凸も小さくな
らざるを得なくなる。このため、基板面に転写される凹
凸も小さくなり、その結果絶縁層と基板との接着性が低
くなるという新たな問題を生ずるようになった。また、
高温高湿の過酷な環境で使用される多層プリント配線板
については、より高い接着性が求められる。本発明は、
かかる課題に応えるものであり、内層基板と絶縁層との
接着性に優れた多層プリント配線板を製造する方法を提
供することを目的とする。
In recent years, printed wiring boards have also been required to be thinner and higher in density, and accordingly, metal spiders have been used. As the metal foil becomes thinner, the roughness of the roughened surface must be reduced. For this reason, the unevenness transferred to the substrate surface is also reduced, resulting in a new problem that the adhesiveness between the insulating layer and the substrate is reduced. Also,
Higher adhesiveness is required for multilayer printed wiring boards used in harsh environments of high temperature and high humidity. The present invention
An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a multilayer printed wiring board having excellent adhesion between an inner layer substrate and an insulating layer.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は、エッチングを
施して内層回路パターンを形成した後、エッチングによ
り金属はくが除去されて露出した基板面(以下基板面と
いう)を粗化する工程を含むことを特徴とする多層プリ
ント配線板の製造方法である。
According to the present invention, there is provided a process of forming an inner layer circuit pattern by etching, and thereafter roughening an exposed substrate surface (hereinafter referred to as a substrate surface) by removing a metal foil by etching. And a method for manufacturing a multilayer printed wiring board.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】最初に内層回路パターンを形成す
るために用いられる金属はく張り積層板としては、従来
公知の金属はく張り積層板を用いることができ、特に制
限はない。例えば、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、不
飽和ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリブタジエ
ン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリフェ
ニレンサルファイド樹脂、ポリフェニレンオキサイド樹
脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、フッソ樹脂など
の単独、変性物、混合物をマトリックス樹脂とし、これ
らの樹脂ワニスを繊維基材に含浸乾燥して得られるプリ
プレグに金属はくを積層一体化して製造される金属はく
張り積層板が挙げられる。繊維基材としてはガラス繊維
の織布、不織布、マット、芳香族ポリアミド繊維の織
布、不織布、マットなどが使用されるがこれに限られる
ものではない。なかでも、プリント配線板として要求さ
れる諸特性、製造の容易さ、コスト、汎用性などの点か
ら、金属はくとして銅はくを用いた銅張積層板、例え
ば、ガラス布基材エポキシ樹脂銅張り積層板を好ましい
ものとして挙げることができる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS As a metal-clad laminate used for forming an inner-layer circuit pattern first, a conventionally known metal-clad laminate can be used, and there is no particular limitation. For example, a phenol resin, an epoxy resin, an unsaturated polyester resin, a polyimide resin, a polybutadiene resin, a polyamide resin, a polysulfone resin, a polyphenylene sulfide resin, a polyphenylene oxide resin, a polybutylene terephthalate resin, a fluorinated resin, etc. As a resin, a metal-clad laminate manufactured by laminating and integrating a metal foil on a prepreg obtained by impregnating and drying a fiber substrate with these resin varnishes is exemplified. As the fiber base material, woven fabric, nonwoven fabric, mat of glass fiber, woven fabric, nonwoven fabric, mat of aromatic polyamide fiber and the like are used, but not limited thereto. Above all, from the viewpoints of various characteristics required for printed wiring boards, ease of manufacture, cost, versatility, etc., copper-clad laminates using copper foil as metal foil, for example, glass cloth base epoxy resin Copper-clad laminates can be mentioned as preferred.

【0012】金属はく張り積層板に内層回路パターンを
形成するためのエッチング法としては、従来公知のエッ
チング法によることができ、特に制限はない。すなわ
ち、例えば、銅張積層板を用いるときは、銅張積層板に
ドライフィルムをラミネートし、所定のパターンを有す
るマスクフィルムを介して露光し、その後現像の工程を
施したのち、塩化第2銅の塩酸酸性溶液に浸漬して不要
の銅はくをエッチングする。
The etching method for forming the inner layer circuit pattern on the metal-clad laminate can be a conventionally known etching method, and is not particularly limited. That is, for example, when a copper-clad laminate is used, a dry film is laminated on the copper-clad laminate, exposed through a mask film having a predetermined pattern, and then subjected to a development process. Unnecessary copper foil is etched by dipping in a hydrochloric acid solution.

【0013】内層回路パターンを形成した後に基板面を
粗化する。基板面を粗化する方法としては、化学剤を使
用する化学粗化と機械的粗化のいずれかを適用すること
ができる。また、これらを併用しても差し支えない。化
学粗化に使用される化学剤としては、過マンガン酸カ
リ、濃硫酸、クロム酸などを主剤とするものが挙げられ
る。また、機械的粗化としては、バフ研磨法、研磨剤を
使用する研磨法などが挙げられる。
After forming the inner layer circuit pattern, the substrate surface is roughened. As a method for roughening the substrate surface, any of chemical roughening using a chemical agent and mechanical roughening can be applied. These may be used in combination. Examples of the chemical agent used for chemical roughening include those mainly containing potassium permanganate, concentrated sulfuric acid, chromic acid and the like. Examples of the mechanical roughening include a buff polishing method and a polishing method using an abrasive.

【0014】基板面は、Rzが5〜20μmとなるよう
に粗化するのが好ましく、10〜15μmとなるように
粗化するのがより好ましい。Rzが5μm未満である
と、凹凸によるアンカー効果が不充分となるため、基板
面と絶縁層との接着性が低下する傾向にある。また、R
zが20μmを超えると凹凸が大きすぎて凹みを埋めら
れないため基板面と絶縁層との接着性が低下する傾向に
ある。
The substrate surface is preferably roughened so that Rz is 5 to 20 μm, more preferably 10 to 15 μm. If Rz is less than 5 μm, the anchor effect due to the unevenness becomes insufficient, and the adhesiveness between the substrate surface and the insulating layer tends to decrease. Also, R
If z exceeds 20 μm, the unevenness is too large to fill the dent, and the adhesion between the substrate surface and the insulating layer tends to decrease.

【0015】基板面を粗化した後、内層回路パターンの
導体層表面を粗化する。ただし、基板面を機械的粗化に
より粗化したときには、内層回路パターンの導体層表面
も同時に粗化されるのでこの工程は不要となる場合もあ
る。内層回路パターンの導体層表面を粗化する方法とし
ては、従来公知の粗化法によることができ、特に制限は
ない。例えば、銅はく張り積層板を用いた内層回路板に
おいては、導体層の表面に、次亜塩素酸ナトリウムのア
ルカリ溶液を用いて酸化処理を施すことにより表面に針
状の銅酸化物層を形成することにより粗化することがで
きる。酸化処理により粗化したままで次の工程に入って
もよく、形成された銅酸化物層を、ホルムアルデヒドや
ジメチルアミンボランのような還元剤で粗化形状を保っ
たまま銅に還元してから次の工程に入ってもよい。
After the substrate surface is roughened, the surface of the conductor layer of the inner circuit pattern is roughened. However, when the substrate surface is roughened by mechanical roughening, the surface of the conductor layer of the inner circuit pattern is also roughened at the same time, so that this step may not be necessary in some cases. A method for roughening the surface of the conductor layer of the inner circuit pattern can be a conventionally known roughening method, and is not particularly limited. For example, in an inner layer circuit board using a copper-clad laminate, a needle-like copper oxide layer is formed on the surface of the conductor layer by subjecting the surface of the conductor layer to an oxidation treatment using an alkaline solution of sodium hypochlorite. By forming, it can be roughened. The next step may be performed as it is roughened by the oxidation treatment, and the formed copper oxide layer is reduced to copper while maintaining the roughened shape with a reducing agent such as formaldehyde or dimethylamine borane. You may enter the next step.

【0016】内層回路板の基板面及び導体層表面を粗化
したのち、金属はくを接着剤を用いて接着一体化する。
After roughening the substrate surface and the conductor layer surface of the inner circuit board, the metal foil is bonded and integrated using an adhesive.

【0017】接着剤としては、従来公知の熱硬化性樹
脂、感光性樹脂などが用いられ、特に制限はない。熱硬
化性樹脂としては、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、メラ
ミン樹脂、ユリア樹脂などが挙げられる。感光性樹脂と
しては、アクリル樹脂、トリプロピレングリコールジア
クリレート、トリメチロールプロパントリアクリレー
ト、ペンタエリスリトールトリクリレート、ポリエチレ
ングリコールジアクリレート、エポキシアクリレート、
一部をアクリル化したフェノールノボラック型エポキシ
樹脂、一部をアクリル化したクレゾールノボラック樹脂
などが挙げられる。
As the adhesive, conventionally known thermosetting resins, photosensitive resins and the like are used, and there is no particular limitation. Examples of the thermosetting resin include an epoxy resin, an acrylic resin, a melamine resin, and a urea resin. As the photosensitive resin, acrylic resin, tripropylene glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, polyethylene glycol diacrylate, epoxy acrylate,
A phenol novolak epoxy resin partially acrylated, a cresol novolak resin partially acrylated, and the like can be given.

【0018】これら樹脂成分及び硬化剤などそれぞれに
必要とされる成分を配合して、接着剤ワニスを調製す
る。そして、接着剤ワニスをそのまま用いて、ディップ
法、カーテンコート法、ロールコート法など公知の方法
で内層回路板に塗布乾燥して金属はくを重ね加熱加圧す
る。又は、キャリヤフィルム上に接着剤ワニスを塗布し
てBステージまで乾燥することにより接着剤フィルム又
はシートを作製し、この接着剤シート又はフィルムを使
用することもできる。この場合には、搬送、切断及び積
層等の工程中において割れや欠落等のトラブルを生じな
いようにするため、フィルム形成能を有する成分、例え
ば高分子量エポキシ重合体を配合しておくのが好まし
い。キャリヤフィルムとして金属はくを用いて金属はく
付き接着剤フィルム又はシートとし、金属はく付きのま
まで、内層回路板に接着一体化することもできる。ま
た、接着剤ワニスを繊維基材に含浸乾燥して得られるプ
リプレグを使用することもできる。ラミネーション法に
おいてはプリプレグが多用されている。
An adhesive varnish is prepared by blending the necessary components such as the resin component and the curing agent. Then, using the adhesive varnish as it is, a known method such as a dipping method, a curtain coating method and a roll coating method is applied to the inner circuit board and dried, and a metal foil is overlaid and heated and pressed. Alternatively, an adhesive film or sheet may be prepared by applying an adhesive varnish on a carrier film and drying to a B stage, and this adhesive sheet or film may be used. In this case, it is preferable that a component having a film forming ability, for example, a high-molecular-weight epoxy polymer is blended in order to prevent troubles such as cracking and chipping during the steps of transporting, cutting and laminating. . It is also possible to use a metal foil as the carrier film to form an adhesive film or sheet with a metal foil, and to bond and integrate it with the inner layer circuit board while keeping the metal foil. Further, a prepreg obtained by impregnating and drying an adhesive varnish on a fiber base material can also be used. In the lamination method, prepreg is frequently used.

【0019】内層回路板に接着剤を介して金属はくを重
ね、加熱加圧して接着剤を硬化させて一体化させるとき
の方法及び条件については、従来公知の方法及び条件に
よることができ、特に制限はない。ラミネーション法に
おいては、この後、エッチングを行って最外層の回路パ
ターンを形成して多層プリント配線板とされる。また、
ビルドアップ法においては、エッチングを行った後、必
要により、さらに基板面の粗化以下の工程を繰り返して
多層化する。
A method and conditions for laminating a metal foil on the inner circuit board via an adhesive, curing the adhesive by heating and pressurizing, and integrating them can be according to conventionally known methods and conditions. There is no particular limitation. In the lamination method, thereafter, etching is performed to form a circuit pattern of the outermost layer, and a multilayer printed wiring board is obtained. Also,
In the build-up method, after performing etching, if necessary, the steps below the roughening of the substrate surface are repeated to form a multilayer.

【0020】[0020]

【実施例】実施例1 ブロム化エポキシ樹脂(油化シェルエポキシ株式会社
製、エピコート5040B80(商品名)を使用)90
重量部、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(ダウケ
ミカル社製、ESCN1273(商品名)を使用)10
重量部、ジシアンジアミド1.5重量部及び2−エチル
−4−メチルイミダゾール0.05重量部をメチルエチ
ルケトン30重量部に溶解してワニスとした。このワニ
スを厚さ100μmのガラス織布(MIL品番2116
タイプ)に含浸し、温度150℃で4分間乾燥してプリ
プレグを作製した。
EXAMPLES Example 1 Brominated epoxy resin (using Epicoat 5040B80 (trade name) manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.) 90
Part by weight, cresol novolak type epoxy resin (using ESCN1273 (trade name) manufactured by Dow Chemical Company) 10
A varnish was prepared by dissolving 1.5 parts by weight of dicyandiamide and 0.05 part by weight of 2-ethyl-4-methylimidazole in 30 parts by weight of methyl ethyl ketone. This varnish was coated with a 100 μm thick glass woven fabric (MIL part number 2116).
Type) and dried at 150 ° C. for 4 minutes to prepare a prepreg.

【0021】作製したプリプレグ2枚を重ね、その両側
に厚さ35μm(銅はく粗化面の表面粗さRz=9.4
μm)の銅はくを、銅はく粗化面がプリプレグに接触す
るようにして重ね、温度170℃、圧力2MPaで10
0分間加熱加圧して両面銅張積層板を作製した。なお、
銅はく粗化面のRzは3.9μm(株式会社東京精密
製、サーフコム(商品名)を使用して測定、以下同様)
であった。
Two prepared prepregs were stacked, and a thickness of 35 μm (a surface roughness Rz of the copper foil roughened surface Rz = 9.4) was formed on both sides thereof.
μm) of copper foil, with the roughened surface of the copper foil in contact with the prepreg, at a temperature of 170 ° C. under a pressure of 2 MPa.
It was heated and pressed for 0 minutes to produce a double-sided copper-clad laminate. In addition,
Rz of the copper-roughened surface is 3.9 μm (measured using Surfcom (trade name), manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd., and so on)
Met.

【0022】作製した両面銅張積層板にエッチングを施
して内層回路板を作製した。作製した内層回路板は、銅
はくがエッチングされて露出した内層回路板の基板面の
Rzが3.9μmであった。
The produced double-sided copper-clad laminate was etched to produce an inner circuit board. In the manufactured inner layer circuit board, Rz of the substrate surface of the inner layer circuit board exposed by etching the copper foil was 3.9 μm.

【0023】次に、作製した内層回路板を、温度85℃
に加温された過マンガン酸カリ系粗化液(シュプレイ社
製、CIRCUPOSIT PROMOTER 330
8(商品名)を使用)に10分間浸漬することにより基
板面を粗化した。次いで、温度85℃に加温された水酸
化ナトリウム15g/l及び次亜塩素酸ナトリウム70
g/lの水溶液に3分間浸漬することにより、導体パタ
ーンの表面の粗化処理を行った。この後、銅はくがエッ
チングされて露出した基板面のRzを測定したところ、
10.9μmであった。
Next, the prepared inner-layer circuit board was heated to a temperature of 85 ° C.
Potassium permanganate-based roughening solution (CIRCUPOSIT PROMOTER 330 manufactured by Spray Co., Ltd.)
8 (product name)) for 10 minutes to roughen the substrate surface. Then, sodium hydroxide 15 g / l and sodium hypochlorite 70 heated to a temperature of 85 ° C.
The surface of the conductor pattern was roughened by immersing in a g / l aqueous solution for 3 minutes. After this, when the copper foil was etched and the Rz of the exposed substrate surface was measured,
It was 10.9 μm.

【0024】分子量500,000の高分子量エポキシ
重合体(日立化成工業株式会社製(商品名なし)を使
用)100重量部、エポキシ当量171.5のビスフェ
ノールA型エポキシ樹脂(大日本インキ化学工業株式会
社製、エピクロン850CRP(商品名)を使用)24
重量部及びイソシアネート15重量部を、N,N−ジメ
チルアセトアミド2重量部に溶解し、粘度8Pa・sの
接着剤ワニスを調製した。この接着剤ワニスをロールコ
ーターにより厚さ18μmの銅はくに、乾燥後の接着剤
層の厚さが100μmとなるように塗布し、温度100
℃で10分間、さらに温度150℃で10分間の加熱し
て銅はく付き接着剤フィルムを作製した。
100 parts by weight of a high molecular weight epoxy polymer having a molecular weight of 500,000 (with no trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) and a bisphenol A type epoxy resin having an epoxy equivalent of 171.5 (Dai Nippon Ink Chemical Industry Co., Ltd.) Company-made, using Epicron 850CRP (trade name)) 24
Parts by weight and 15 parts by weight of isocyanate were dissolved in 2 parts by weight of N, N-dimethylacetamide to prepare an adhesive varnish having a viscosity of 8 Pa · s. This adhesive varnish was applied to a copper foil having a thickness of 18 μm using a roll coater so that the thickness of the adhesive layer after drying was 100 μm, and the temperature was 100 μm.
The film was heated at a temperature of 150 ° C. for 10 minutes and further at a temperature of 150 ° C. for 10 minutes to produce an adhesive adhesive film.

【0025】前記で作製した内層回路板の両面に、銅は
く付き接着剤フィルムの接着剤層が内層回路板と接する
ようにして、銅はく付き接着剤フィルムを重ね、温度1
75℃、圧力4MPaで90分間加熱加圧することによ
り接着剤を硬化させて4層プリント配線板を作製した。
On both sides of the inner circuit board prepared above, the copper-foiled adhesive film was laminated so that the adhesive layer of the copper-foiled adhesive film was in contact with the inner-layer circuit board.
The adhesive was cured by heating and pressing at 75 ° C. and a pressure of 4 MPa for 90 minutes to prepare a four-layer printed wiring board.

【0026】実施例2 両面銅張積層板の製造に使用する銅はくを、粗化面のR
zが9.4μmの銅はくに変更したほかは実施例1と同
様にして両面銅張積層板を作製した。以下実施例1と同
様にして内層回路板を作製し、過マンガン酸カリ系粗化
液による内層回路板の粗化処理の条件を、温度を70℃
に、浸漬時間を5分間に変更して粗化処理を行い、その
後、導体である銅はくパターンに所定の酸化還元処理を
行った。銅はくがエッチングされて露出した内層回路板
の基板面のRzは粗化処理前において9.4μm、粗化
処理後において10.9μmであった。以下実施例1と
同様にして内層回路板を4層プリント配線板を作製し
た。
Example 2 A copper foil used in the production of a double-sided copper-clad laminate was replaced with a roughened surface R
A double-sided copper-clad laminate was produced in the same manner as in Example 1, except that the copper was changed to 9.4 μm. Hereinafter, an inner circuit board was prepared in the same manner as in Example 1, and the conditions for the roughening treatment of the inner circuit board with a potassium permanganate-based roughening solution were set to a temperature of 70 ° C.
Then, the immersion time was changed to 5 minutes to perform a roughening treatment, and thereafter, a predetermined oxidation-reduction treatment was performed on the copper foil pattern as a conductor. Rz of the substrate surface of the inner circuit board exposed by etching the copper foil was 9.4 μm before the roughening treatment and 10.9 μm after the roughening treatment. Thereafter, in the same manner as in Example 1, a four-layer printed wiring board was prepared as an inner circuit board.

【0027】比較例1 過マンガン酸カリ系粗化液による粗化処理行わなかった
ほかは実施例1と同様にして4層プリント配線板を作製
した。
Comparative Example 1 A four-layer printed wiring board was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the roughening treatment with a potassium permanganate-based roughening solution was not performed.

【0028】比較例2 過マンガン酸カリ系粗化液による粗化処理を行わなかっ
たほかは実施例2と同様にして4層プリント配線板を作
製した。
Comparative Example 2 A four-layer printed wiring board was produced in the same manner as in Example 2 except that the roughening treatment with the potassium permanganate-based roughening solution was not performed.

【0029】以上で作製した4層プリント配線板につい
て、接着性を評価するため、基板面と絶縁層との引き剥
がし強さ(以下引き剥がし強さという)、及び、吸湿は
んだ耐熱性(以下耐熱性という)を調べた。その結果を
表1に示す。試験方法は以下の通りとした。
With respect to the four-layer printed wiring board manufactured as described above, the peel strength between the substrate surface and the insulating layer (hereinafter referred to as peel strength) and the heat resistance of the moisture-absorbing solder (hereinafter referred to as the heat resistance) were evaluated in order to evaluate the adhesiveness. Gender). Table 1 shows the results. The test method was as follows.

【0030】引き剥がし強さ 作製した4層プリント配線板から、100×25mmの
試験片を切り出し、接着剤が硬化して形成された絶縁層
が長手方向に幅10mmの帯状に残るようにして接着剤
が硬化して形成された絶縁層を引き剥がした。次に、残
された帯状部の端を引き剥がし、その先端を試験機のつ
かみ具でつかみ、試験片面と垂直方向に引っ張って引き
剥がしたとき、引き剥がすために必要な荷重を測定し
た。
Peeling strength A test piece of 100 × 25 mm was cut out from the prepared four-layer printed wiring board, and bonded so that the insulating layer formed by curing the adhesive was left in a strip shape having a width of 10 mm in the longitudinal direction. The insulating layer formed by curing the agent was peeled off. Next, the end of the remaining band-shaped portion was peeled off, and the tip was grasped with a gripper of a tester, pulled in a direction perpendicular to the surface of the test piece, and the load required for peeling was measured.

【0031】耐熱性 作製した4層プリント配線板から、50×50mmの試
験片を切り出し、この試験片を、温度121℃、気圧2
026hPaのプレッシャークッカーで所定時間吸湿さ
せた後、温度260℃のはんだ槽に20秒間フロートさ
せ、ふくれの有無を目視により観察した。表1におい
て、常態とは試験片を切り出したままの状態で、また、
PCT−n時間(n=1,2,3)とはプレッシャーク
ッカーでn時間吸湿させた後の状態で調べたことを示
し、OKとはふくれが認められなかったもの、NGとは
ふくれが認められたものを示す。
Heat Resistance A test piece of 50 × 50 mm was cut out from the produced four-layer printed wiring board, and the test piece was heated at a temperature of 121 ° C. and a pressure of 2 atmospheres.
After absorbing moisture with a pressure cooker of 026 hPa for a predetermined time, the mixture was floated in a solder bath at a temperature of 260 ° C. for 20 seconds, and the presence or absence of blisters was visually observed. In Table 1, the normal state is a state in which the test piece is cut out,
The PCT-n time (n = 1, 2, 3) indicates that the sample was examined in a state after moisture absorption with a pressure cooker for n hours, and the result was OK for no blistering and NG for blistering. Indicates what was done.

【0032】[0032]

【表1】 [Table 1]

【0033】表1から、実施例1及び2では、それに対
応する比較例1及び2と比較して、引き剥がし強さが大
幅に向上しており、また、耐熱性も極めて良好であるこ
とが示される。
From Table 1, it can be seen that in Examples 1 and 2, the peel strength is greatly improved and the heat resistance is extremely good as compared with Comparative Examples 1 and 2 corresponding thereto. Is shown.

【0034】[0034]

【発明の効果】本発明のによれば、内層回路板と絶縁層
との接着性に優れた多層プリント配線板を製造すること
ができ、多層プリント配線板の信頼性を向上させること
ができる。
According to the present invention, a multilayer printed wiring board having excellent adhesion between the inner circuit board and the insulating layer can be manufactured, and the reliability of the multilayer printed wiring board can be improved.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5E343 AA02 AA13 AA36 BB24 BB67 CC48 DD53 EE37 EE52 GG02 GG04 5E346 AA22 AA32 CC04 CC05 CC08 CC32 DD02 DD12 DD32 EE09 EE13 EE19 EE32 EE38 GG27 GG28 HH40  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 5E343 AA02 AA13 AA36 BB24 BB67 CC48 DD53 EE37 EE52 GG02 GG04 5E346 AA22 AA32 CC04 CC05 CC08 CC32 DD02 DD12 DD32 EE09 EE13 EE19 EE32 EE38 GG27 GG28 HH40

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 エッチングを施して内層回路パターンを
形成した後、エッチングにより金属はくが除去されて露
出した内層回路板の基板面を粗化する工程を含むことを
特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
1. A multilayer printed wiring board comprising a step of forming an inner layer circuit pattern by etching, and then roughening a substrate surface of the exposed inner layer circuit board by removing a metal foil by etching. Manufacturing method.
JP24373198A 1998-08-28 1998-08-28 Manufacture of multilayered printed wiring board Pending JP2000077847A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001329080A (en) * 2000-05-23 2001-11-27 Mitsubishi Gas Chem Co Inc Prepreg, metal clad laminate and use thereof

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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