JP2000074438A - Clean room facility - Google Patents
Clean room facilityInfo
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- JP2000074438A JP2000074438A JP10263993A JP26399398A JP2000074438A JP 2000074438 A JP2000074438 A JP 2000074438A JP 10263993 A JP10263993 A JP 10263993A JP 26399398 A JP26399398 A JP 26399398A JP 2000074438 A JP2000074438 A JP 2000074438A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はクリーンルーム設備
に係り、特に電子産業等の分野で使われるクリーンルー
ム設備に関するもので、詳しくは、部分空間を清浄に保
つ手段を備えたクリーンルーム設備に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a clean room facility, and more particularly to a clean room facility used in the field of the electronics industry and the like, and more particularly, to a clean room facility having means for keeping a partial space clean.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体製造工場では、集積回路の作業工
程において、歩留り，品質および信頼性を高めるため、
雰囲気を無塵化した作業室、即ちクリーンルームが設備
されている。このクリーンルーム設備は、図３に示した
ように、グレーチング床１を有し、クリーンルーム２を
画成する天井３にファンフィルタユニット４が設置され
ている。そして、天井裏空間５から吸引した空気をファ
ンフィルタユニット４によって浄化してクリーンルーム
２内へ噴出させ、該クリーンルーム２内を清浄な雰囲気
に維持する。さらに、クリーンルーム２内の空気はグレ
ーチング床１を経て床下空間６に導かれ、クリーンルー
ム２の側壁７の外側の循環路空間８を経て天井裏空間５
へ循環され、再びファンフィルタユニット４を介してク
リーンルーム２に供給される。2. Description of the Related Art In a semiconductor manufacturing plant, in order to improve the yield, quality and reliability in the working process of an integrated circuit,
A work room in which the atmosphere is made dust-free, that is, a clean room is provided. As shown in FIG. 3, the clean room equipment has a grating floor 1 and a fan filter unit 4 installed on a ceiling 3 defining a clean room 2. Then, the air sucked from the space 5 above the ceiling is purified by the fan filter unit 4 and jetted into the clean room 2 to maintain the clean room 2 in a clean atmosphere. Further, the air in the clean room 2 is guided to the underfloor space 6 through the grating floor 1, and passes through the circulation space 8 outside the side wall 7 of the clean room 2, and the space above the ceiling 5.
To the clean room 2 via the fan filter unit 4 again.
【０００３】このクリーンルーム設備では、クリーンル
ーム２に開口し、循環路空間８へ臨んで装置室９が形成
されており、該装置室９に生産装置１０が設置されてい
る。この装置室９の循環路空間８に臨む側壁９ａには扉
１１が配設されており、生産装置１０のメンテナンスは
扉１１を開けて行われる。[0003] In this clean room facility, an apparatus room 9 is opened to the clean room 2 and faces the circulation path space 8, and a production apparatus 10 is installed in the apparatus room 9. A door 11 is provided on a side wall 9a of the apparatus room 9 facing the circulation path space 8, and maintenance of the production apparatus 10 is performed with the door 11 opened.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、クリーンル
ーム２内のクリーン度はクラス１０程度であるのに対
し、循環路空間８のクリーン度はクラス１０3 〜１０4
程度である。したがって、メンテナンスに際して装置室
９の扉１１を開けると、循環路空間８の空気が流入し、
装置室９内のクリーン度を低下させてしまう。[SUMMARY OF THE INVENTION Incidentally, while the cleanliness of the clean room 2 is about class 10, cleanliness of the circulation path space 8 Class 10 3 to 10 4
It is about. Therefore, when the door 11 of the device room 9 is opened during maintenance, air in the circulation path space 8 flows in,
The degree of cleanness in the device room 9 is reduced.
【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、メンテナンス等における必要な部分的作業空間
を清浄に保つことのできるクリーンルーム設備を提供す
ることを目的とする。The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a clean room facility capable of keeping a required partial work space for maintenance and the like clean.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
する為に、本発明の請求項１のクリーンルーム設備で
は、グレーチング床を有するクリーンルーム設備におい
て、グレーチング床下空間に前記グレーチング床を介し
て上方へ浄化空気を噴出させるファンフィルタユニット
を備えている。According to the present invention, in order to achieve the above object, in a clean room facility according to the first aspect of the present invention, in a clean room facility having a grating floor, a space below the grating floor is raised via the grating floor. And a fan filter unit for ejecting purified air to the air.
【０００７】この発明によれば、グレーチング床下空間
に設置されたファンフィルタユニットによってグレーチ
ング床を介して清浄な空気を供給できるので、グレーチ
ング床上でメンテナンス等に際しての必要な清浄域を確
保することができる。また、本発明の請求項２のクリー
ンルーム設備では、請求項１において、前記ファンフィ
ルタユニットを移動可能に配設している。[0007] According to the present invention, since the clean air can be supplied through the grating floor by the fan filter unit installed in the space under the grating, a clean area necessary for maintenance or the like can be secured on the grating floor. . Further, in the clean room equipment according to claim 2 of the present invention, in claim 1, the fan filter unit is movably disposed.
【０００８】また、本発明の請求項３のクリーンルーム
設備では、請求項２において、前記ファンフィルタユニ
ットをキャスタ付き架台に設置している。上記請求項２
乃至３の発明によれば、ファンフィルタユニットを任意
の場所に移動できるので、グレーチング床上の所望とす
る部分に清浄域を確保することができる。Further, in the clean room equipment according to claim 3 of the present invention, in claim 2, the fan filter unit is installed on a frame with casters. Claim 2
According to the inventions of (3), since the fan filter unit can be moved to an arbitrary place, a clean area can be secured in a desired portion on the grating floor.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明のク
リーンルーム設備の好ましい実施の形態について詳説す
る。図１は、本発明に係るクリーンルーム設備の一実施
の形態を示している。このクリーンルーム設備では、グ
レーチング床２０を有しており、クリーンルーム２２を
画成する天井２４にはファンフィルタユニット２６が設
置されている。そして、天井裏空間２８から吸引した空
気をファンフィルタユニット２６によって浄化してクリ
ーンルーム２２内へ噴出させ、該クリーンルーム２２内
を清浄な雰囲気に維持する。さらに、クリーンルーム２
２内の空気はグレーチング床２０を経て床下空間３０に
導かれ、グレーチング床２０，クリーンルーム２２の側
壁３２の外側の循環路空間３４を経て天井裏空間２８へ
循環され、再びファンフィルタユニット２６を介してク
リーンルーム２２に供給される。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the clean room equipment of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 shows an embodiment of a clean room facility according to the present invention. This clean room equipment has a grating floor 20, and a fan filter unit 26 is installed on a ceiling 24 that defines a clean room 22. Then, the air sucked from the space 28 above the ceiling is purified by the fan filter unit 26 and jetted into the clean room 22 to maintain the clean room 22 in a clean atmosphere. Furthermore, clean room 2
The air in 2 is guided to the underfloor space 30 through the grating floor 20, circulated to the ceiling space 28 through the grating floor 20, the circulation path space 34 outside the side wall 32 of the clean room 22, and again through the fan filter unit 26. And supplied to the clean room 22.
【００１０】このクリーンルーム設備では、クリーンル
ーム２２に開口し、循環路空間３４へ臨んで装置室３６
が形成され、該装置室３６に生産装置３８が設置されて
いる。この装置室３６の循環路空間３４に臨む側壁３６
ａには扉４０が配設されており、生産装置３８のメンテ
ナンスは扉４０を開けて行われる。このクリーンルーム
設備では、さらに床下空間３０にファンフィルタユニッ
ト４２が設置されている。このファンフィルタユニット
４２は、架台４４に載置保持され、該架台４４はキャス
タ４６を備えている。そして、ファンフィルタユニット
４２は、グレーチング床２０の直下に位置され、キャス
タ４６によって任意の場所に移動される。In this clean room facility, the apparatus room 36 opens into the clean room 22 and faces the circulation path space 34.
Is formed, and a production device 38 is installed in the device chamber 36. Side wall 36 facing the circulation path space 34 of the device room 36
A door 40 is provided at a, and maintenance of the production device 38 is performed with the door 40 opened. In this clean room facility, a fan filter unit 42 is further installed in the underfloor space 30. The fan filter unit 42 is mounted and held on a gantry 44, which has casters 46. Then, the fan filter unit 42 is located directly below the grating floor 20 and is moved to an arbitrary place by the casters 46.
【００１１】このように構成されたクリーンルーム設備
では、必要に応じて、例えば生産装置３８のメンテナン
ス等に際しては、架台４４を移動してファンフィルタユ
ニット４２を装置室３６の扉４０の前部下方に位置さ
せ、そこでファンフィルタユニット４２を駆動させる。
すると、床下空間３０の空気（クリーン度１０3 〜１０
4 程度）をクリーン度１０2 程度に浄化してグレーチン
グ床２０上のメンテナンス作業域に噴出させ、該作業域
の雰囲気を清浄にする。In the clean room equipment configured as described above, when necessary, for example, for maintenance of the production equipment 38, the gantry 44 is moved to move the fan filter unit 42 to a position below the front part of the door 40 of the equipment room 36. And the fan filter unit 42 is driven there.
Then, air (cleanliness 10 of the underfloor space 30 3-10
Purify approximately 4) about cleanliness 10 2 is ejected to the maintenance area on grating floor 20, to clean the atmosphere of the work area.
【００１２】図２は、本発明に係るクリーンルーム設備
の変形例を示している。この変形例では、グレーチング
床２０下にレール４８を設置し、該レール４８にファン
フィルタユニット４２を走行自在に係合させている。レ
ール４８は清浄雰囲気を必要とする場所、例えば複数設
置されている装置室３６の各扉４０の前部下方に渡って
設置される。なお、図２において、図１と同一の部分に
は、同一の符号を付して、その説明を省略する。FIG. 2 shows a modification of the clean room equipment according to the present invention. In this modified example, a rail 48 is installed below the grating floor 20, and the fan filter unit 42 is engaged with the rail 48 so as to be able to run freely. The rail 48 is installed in a place requiring a clean atmosphere, for example, under the front lower part of each door 40 of the plurality of equipment rooms 36. In FIG. 2, the same portions as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.
【００１３】この変形例のクリーンルーム設備では、フ
ァンフィルタユニット４２をレール４８によって案内さ
せて走行させるので、ファンフィルタユニット４２の位
置制御が容易になる。なお、上記実施の形態では、ファ
ンフィルタユニット４２で装置室３６の各扉４０の前部
の雰囲気を浄化させているが、その場所は装置室３６の
各扉４０の前部に限定されることなく、他の作業域にも
適用することができることは勿論である。また、上記フ
ァンフィルタユニット４２で使用されるフィルタは、塵
埃除去ばかりでなく、ケミカル成分の除去も行なえるも
のであることが好ましい。In the clean room equipment of this modified example, the fan filter unit 42 is run while being guided by the rail 48, so that the position control of the fan filter unit 42 becomes easy. In the above embodiment, the atmosphere at the front of each door 40 of the device room 36 is purified by the fan filter unit 42, but the place is limited to the front of each door 40 of the device room 36. Needless to say, the present invention can be applied to other work areas. Further, it is preferable that the filter used in the fan filter unit 42 can remove not only dust but also chemical components.
【００１４】[0014]
【発明の効果】以上説明したように、本発明のクリーン
ルーム設備によれば、グレーチング床下空間に設置され
たファンフィルタユニットによってグレーチング床を介
して清浄な空気を供給できるので、グレーチング床上で
メンテナンス等に際しての必要な清浄域を確保すること
ができる。また、装置のメンテナンスの場合には、扉前
面に清浄域を確保できることから、メンテナンス作業の
ための開口（扉）を大きくでき、作業性の向上にも寄与
する。As described above, according to the clean room equipment of the present invention, since the clean air can be supplied through the grating floor by the fan filter unit installed in the space below the grating floor, the maintenance can be performed on the grating floor. The required clean area can be secured. In addition, in the case of maintenance of the apparatus, since a clean area can be secured in front of the door, an opening (door) for maintenance work can be enlarged, which contributes to improvement of workability.
【図１】本発明に係るクリーンルーム設備の一実施の形
態を概念的に示した構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram conceptually showing one embodiment of a clean room facility according to the present invention.
【図２】本発明に係るクリーンルーム設備の変形例を概
念的に示した構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram conceptually showing a modification of the clean room equipment according to the present invention.
【図３】クリーンルーム設備を概念的に示した構成斜視
図である。FIG. 3 is a configuration perspective view conceptually showing a clean room facility.
２０…グレーチング床 ２２…クリーンルーム ２４…天井 ２６…ファンフィルタユニット ２８…天井裏空間 ３０…床下空間 ３２…側壁 ３４…循環路空間 ３６…装置室 ３６ａ…側壁 ３８…生産装置 ４０…扉 ４２…ファンフィルタユニット ４４…架台 ４６…キャスタ ４８…レール 20 ... Grating floor 22 ... Clean room 24 ... Ceiling 26 ... Fan filter unit 28 ... Ceiling space 30 ... Under floor space 32 ... Side wall 34 ... Circulation path space 36 ... Equipment room 36a ... Side wall 38 ... Production equipment 40 ... Door 42 ... Fan filter Unit 44 ... Stand 46 ... Caster 48 ... Rail
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮島 裕二 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日 立プラント建設株式会社内 Ｆターム(参考） 3L058 BF01 BF07 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Yuji Miyajima 1-1-1-14 Uchikanda, Chiyoda-ku, Tokyo F-term (reference) 3L058 BF01 BF07
Claims (3)
備において、グレーチング床下空間に前記グレーチング
床を介して上方へ浄化空気を噴出させるファンフィルタ
ユニットを備えたことを特徴とするクリーンルーム設
備。1. A clean room facility having a grating floor, comprising a fan filter unit for blowing purified air upward into the space below the grating floor via the grating floor.
配設したことを特徴とする請求項１に記載のクリーンル
ーム設備。2. The clean room equipment according to claim 1, wherein said fan filter unit is movably disposed.
き架台に設置したことを特徴とする請求項２に記載のク
リーンルーム設備。3. The clean room equipment according to claim 2, wherein said fan filter unit is installed on a frame with casters.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10263993A JP2000074438A (en) | 1998-09-01 | 1998-09-01 | Clean room facility |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10263993A JP2000074438A (en) | 1998-09-01 | 1998-09-01 | Clean room facility |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000074438A true JP2000074438A (en) | 2000-03-14 |
Family
ID=17397064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10263993A Pending JP2000074438A (en) | 1998-09-01 | 1998-09-01 | Clean room facility |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000074438A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103851715A (en) * | 2012-12-04 | 2014-06-11 | 北京天工创道建筑科技有限公司 | House indoor air treatment system |
| JP2015001320A (en) * | 2013-06-13 | 2015-01-05 | トヨタ自動車株式会社 | Transfer device and production system |
-
1998
- 1998-09-01 JP JP10263993A patent/JP2000074438A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103851715A (en) * | 2012-12-04 | 2014-06-11 | 北京天工创道建筑科技有限公司 | House indoor air treatment system |
| CN103851715B (en) * | 2012-12-04 | 2018-05-15 | 北京天工创道建筑科技有限公司 | A kind of Indoor Residential Ecological air treatment system |
| JP2015001320A (en) * | 2013-06-13 | 2015-01-05 | トヨタ自動車株式会社 | Transfer device and production system |
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