JP2000071126A - 放電表面処理方法および放電表面処理装置 - Google Patents
放電表面処理方法および放電表面処理装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 導電性物質表面に良質な硬質表面処理層を形
成する。 【解決手段】 改質材料、あるいは改質材料の元となる
電極と被処理材である金属との間に電圧を印加して放電
を発生させることにより、該導電性材料表面に改質層を
形成する。
成する。 【解決手段】 改質材料、あるいは改質材料の元となる
電極と被処理材である金属との間に電圧を印加して放電
を発生させることにより、該導電性材料表面に改質層を
形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、改質材料あるいは
改質材料の元となる電極と被処理材である導電性物質と
の間に放電を発生させることにより、被処理材表面に改
質層を形成する放電表面処理方法および放電表面処理装
置に関するものである。
改質材料の元となる電極と被処理材である導電性物質と
の間に放電を発生させることにより、被処理材表面に改
質層を形成する放電表面処理方法および放電表面処理装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液中放電によって金属材料等の表面をコ
ーティングして、耐食性，耐摩耗性を与える技術は既に
特許出願され公知となっている。その技術の骨子は次の
とおりである。ＷＣとＣｏの粉末を混合して圧縮成形し
た混合圧縮粉体電極で液中放電を行うことにより、この
混合粉体電極を構成している電極材料を被処理材（ワー
ク）に堆積させる。この後、別の電極（例えば、銅電
極，グラファイト電極）によって、再溶融放電加工を行
い、より高い硬度と高い密着力を得る方法である。
ーティングして、耐食性，耐摩耗性を与える技術は既に
特許出願され公知となっている。その技術の骨子は次の
とおりである。ＷＣとＣｏの粉末を混合して圧縮成形し
た混合圧縮粉体電極で液中放電を行うことにより、この
混合粉体電極を構成している電極材料を被処理材（ワー
ク）に堆積させる。この後、別の電極（例えば、銅電
極，グラファイト電極）によって、再溶融放電加工を行
い、より高い硬度と高い密着力を得る方法である。
【０００３】以下、従来技術について、図９を用いて説
明する。ＷＣーＣｏ（タングステンカーバイドーコバル
ト）の混合圧粉体電極１７を用いて、被処理材１（母材
Ｓ５０Ｃ）に液中放電加工を行い堆積させる（１次加
工）、１９は堆積した電極材料の被覆層である。次い
で、銅電極のようなそれほど消耗しない電極１８によっ
て再溶融加工（２次加工）を行う。１次加工の堆積のま
までは、組織は硬度もＨｖ＝１４１０程度であり、また
空洞も多かったが、２次加工の再溶融加工によって被覆
層１９の空洞が無くなり、硬度もＨｖ＝１７５９０と向
上している。
明する。ＷＣーＣｏ（タングステンカーバイドーコバル
ト）の混合圧粉体電極１７を用いて、被処理材１（母材
Ｓ５０Ｃ）に液中放電加工を行い堆積させる（１次加
工）、１９は堆積した電極材料の被覆層である。次い
で、銅電極のようなそれほど消耗しない電極１８によっ
て再溶融加工（２次加工）を行う。１次加工の堆積のま
までは、組織は硬度もＨｖ＝１４１０程度であり、また
空洞も多かったが、２次加工の再溶融加工によって被覆
層１９の空洞が無くなり、硬度もＨｖ＝１７５９０と向
上している。
【０００４】この方法では、被処理面の硬度を向上させ
る一方で、その面粗さは約１０μｍになる。これは生成
被膜自体の面粗さの限界であり、これよりも面粗さを得
ることは困難である。また、２次加工における被膜の再
溶融が不完全な場合、被処理材の形状精度を低下させる
ことなく被膜処理することは困難であった。
る一方で、その面粗さは約１０μｍになる。これは生成
被膜自体の面粗さの限界であり、これよりも面粗さを得
ることは困難である。また、２次加工における被膜の再
溶融が不完全な場合、被処理材の形状精度を低下させる
ことなく被膜処理することは困難であった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の放電表面処理方
法は、上記のように被処理材の形状や生成被膜厚さの限
界により、均質な改質層が得られないという問題があっ
た。
法は、上記のように被処理材の形状や生成被膜厚さの限
界により、均質な改質層が得られないという問題があっ
た。
【０００６】本発明は、上記のような課題を解消するた
めになされたもので、被処理材の形状や生成する被膜面
粗さに関係なく、良好な改質層を形成することができる
放電表面処理方法および放電表面処理装置を提供するこ
とを目的とする。
めになされたもので、被処理材の形状や生成する被膜面
粗さに関係なく、良好な改質層を形成することができる
放電表面処理方法および放電表面処理装置を提供するこ
とを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明の第１の構成で
ある放電表面処理方法は、改質材料あるいは改質材料の
元となる材料からなる電極と被処理材である導電性物質
との間に電圧を印加して放電を発生させることにより該
被処理材の表面に改質層を形成し、その後、研削あるい
は研磨という整形処理を行うものである。
ある放電表面処理方法は、改質材料あるいは改質材料の
元となる材料からなる電極と被処理材である導電性物質
との間に電圧を印加して放電を発生させることにより該
被処理材の表面に改質層を形成し、その後、研削あるい
は研磨という整形処理を行うものである。
【０００８】また、この発明の第２の構成である放電表
面処理装置は、改質材料あるいは改質材料の元となる材
料からなる電極と被処理材である導電性物質との間に電
圧を印加して放電を発生させることにより該被処理材の
表面に改質層を形成した後、被膜の研削あるいは研磨処
理を行い改質被膜を形成する放電表面処理装置におい
て、改質材料あるいは改質材料の元となる材料からなる
電極を保持する電極保持装置と、研削あるいは研磨処理
用の研削・研磨装置（整形装置）とを備えたものであ
る。
面処理装置は、改質材料あるいは改質材料の元となる材
料からなる電極と被処理材である導電性物質との間に電
圧を印加して放電を発生させることにより該被処理材の
表面に改質層を形成した後、被膜の研削あるいは研磨処
理を行い改質被膜を形成する放電表面処理装置におい
て、改質材料あるいは改質材料の元となる材料からなる
電極を保持する電極保持装置と、研削あるいは研磨処理
用の研削・研磨装置（整形装置）とを備えたものであ
る。
【０００９】また、この発明の第３の構成である放電表
面処理方法は、改質材料あるいは改質材料の元となる材
料からなる電極と被処理材である導電性物質との間に電
圧を印加して放電を発生させることにより該被処理材の
表面に改質層を形成し、その後、整形処理を繰返し行う
ことにより、緻密な改質層を得るものである。
面処理方法は、改質材料あるいは改質材料の元となる材
料からなる電極と被処理材である導電性物質との間に電
圧を印加して放電を発生させることにより該被処理材の
表面に改質層を形成し、その後、整形処理を繰返し行う
ことにより、緻密な改質層を得るものである。
【００１０】また、この発明の第４の構成である放電表
面処理方法は、改質材料あるいは改質材料の元となる材
料からなる電極と被処理材である導電性物質との間に電
圧を印加して放電を発生させることにより該導電性物質
表面に仕上げ寸法より厚めに改質層を形成し、その後、
整形処理を行うものである。
面処理方法は、改質材料あるいは改質材料の元となる材
料からなる電極と被処理材である導電性物質との間に電
圧を印加して放電を発生させることにより該導電性物質
表面に仕上げ寸法より厚めに改質層を形成し、その後、
整形処理を行うものである。
【００１１】また、この発明の第５の構成である放電表
面処理方法は、改質材料あるいは改質材料の元となる材
料からなる電極と被処理材である導電性物質との間に電
圧を印加して放電を発生させることにより、該導電性物
質表面の摩耗部分や欠陥部分び対して重点的に改質層を
形成した後、整形処理などにより、その余分な改質層を
除去するものである。
面処理方法は、改質材料あるいは改質材料の元となる材
料からなる電極と被処理材である導電性物質との間に電
圧を印加して放電を発生させることにより、該導電性物
質表面の摩耗部分や欠陥部分び対して重点的に改質層を
形成した後、整形処理などにより、その余分な改質層を
除去するものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】実施の形態１．図１および図２は
この発明の実施の形態１である放電表面処理方法を示
す。図において、１は導電性物質よりなる被処理材であ
る。２は例えば水素化チタンバナジウムカーバイド，グ
ラファイトなどが混合された圧粉体電極であり、この電
極は改質材料あるいは改質材料の元となる材料により構
成されている。最初の工程として、放電加工液中で、混
合圧粉体電極２と被処理材１の表面との間で放電加工を
行う（図１（Ａ）（Ｂ））。２２は放電加工により被処
理材１に堆積した電極材料物質の被覆層（改質層とい
う）である。この改質層２２は混合圧粉体電極２を構成
する改質材料あるいは改質材料の元となる材料と被処理
材とが瞬時に溶融凝固することにより構成される。この
改質層には被処理材の表面上から中へ厚さ数ミクロンの
深さにまで達する拡散層２３が形成されている。すなわ
ち、母材である被処理材１の上面にはＴｉＣ層として、
被処理材１の下面にはＴｉＣ等が拡散した層として形成
される。
この発明の実施の形態１である放電表面処理方法を示
す。図において、１は導電性物質よりなる被処理材であ
る。２は例えば水素化チタンバナジウムカーバイド，グ
ラファイトなどが混合された圧粉体電極であり、この電
極は改質材料あるいは改質材料の元となる材料により構
成されている。最初の工程として、放電加工液中で、混
合圧粉体電極２と被処理材１の表面との間で放電加工を
行う（図１（Ａ）（Ｂ））。２２は放電加工により被処
理材１に堆積した電極材料物質の被覆層（改質層とい
う）である。この改質層２２は混合圧粉体電極２を構成
する改質材料あるいは改質材料の元となる材料と被処理
材とが瞬時に溶融凝固することにより構成される。この
改質層には被処理材の表面上から中へ厚さ数ミクロンの
深さにまで達する拡散層２３が形成されている。すなわ
ち、母材である被処理材１の上面にはＴｉＣ層として、
被処理材１の下面にはＴｉＣ等が拡散した層として形成
される。
【００１３】図２（Ａ）に示すように、被処理材の表面
上には所定厚さの層となっており、拡散層２２を含む改
質層２３が形成されている。混合圧粉体電極２による放
電表面処理方法の次の工程として、図２（Ａ）に示すよ
うに、被処理材１の表面に形成された改質層２２を研削
工具２１等により整形（研削または研磨）することによ
り、改質層２２の面粗さを改善する。
上には所定厚さの層となっており、拡散層２２を含む改
質層２３が形成されている。混合圧粉体電極２による放
電表面処理方法の次の工程として、図２（Ａ）に示すよ
うに、被処理材１の表面に形成された改質層２２を研削
工具２１等により整形（研削または研磨）することによ
り、改質層２２の面粗さを改善する。
【００１４】改質層２２を研削すると、図２（Ｂ）に示
すように、その表面に形成された拡散層２３が現れると
この拡散層２３のため、硬度，耐摩耗性，耐食性などの
特性が処理前に比べて大きく向上する。しかも、面粗さ
が良好で、厚さの均一な改質層を得ることができる。１
μｍＲmax 以下という高精度な表面を形成することがで
きる。
すように、その表面に形成された拡散層２３が現れると
この拡散層２３のため、硬度，耐摩耗性，耐食性などの
特性が処理前に比べて大きく向上する。しかも、面粗さ
が良好で、厚さの均一な改質層を得ることができる。１
μｍＲmax 以下という高精度な表面を形成することがで
きる。
【００１５】この発明の放電表面処理方法は、切削工
具，プレス金型の切れ刃，ジグ，その他処理後の形状精
度が要求される被処理材に有効である。
具，プレス金型の切れ刃，ジグ，その他処理後の形状精
度が要求される被処理材に有効である。
【００１６】実施の形態２．図３はこの発明の実施の形
態２である放電表面処理装置を示す構成図である。図に
おいて、１は例えばエンドミル（被処理材）、２は上述
した混合圧粉体電極であり、ＴｉＨ2 （水素化チタン
系）で構成されている。３はエンドミル１を保持する保
持装置、４はモータ７に連結された回転軸５を介して保
持装置４を回転させると共にＺ軸駆動機構８により矢印
Ｚ方向にスライドさせるＺ軸駆動装置、６は混合圧粉体
電極２を保持する電極保持装置であり加工槽１１内に載
置されている。１２は加工槽１１内にみたされた放電加
工液であり、上記エンドミル１，混合圧粉体電極２はこ
の放電加工液中に配置されている。１３はエンドミル１
と混合圧粉体電極２との間に放電を発生させるための電
源装置である。
態２である放電表面処理装置を示す構成図である。図に
おいて、１は例えばエンドミル（被処理材）、２は上述
した混合圧粉体電極であり、ＴｉＨ2 （水素化チタン
系）で構成されている。３はエンドミル１を保持する保
持装置、４はモータ７に連結された回転軸５を介して保
持装置４を回転させると共にＺ軸駆動機構８により矢印
Ｚ方向にスライドさせるＺ軸駆動装置、６は混合圧粉体
電極２を保持する電極保持装置であり加工槽１１内に載
置されている。１２は加工槽１１内にみたされた放電加
工液であり、上記エンドミル１，混合圧粉体電極２はこ
の放電加工液中に配置されている。１３はエンドミル１
と混合圧粉体電極２との間に放電を発生させるための電
源装置である。
【００１７】なお、上記加工槽１１はＸおよびＹテーブ
ル１０１，１０２に載置され、各々Ｘ軸駆動機構９，Ｙ
軸駆動機構１０により、Ｘ軸およびＹ軸の方向に移動
し、加工槽１１を介して、保持装置６がＸ軸およびＹ軸
方向に移動可能である。１４は制御装置であり、エンド
ミル１の刃先の長さ，リード角，工具径に関する刃先の
軌跡移動に関する数値データを記憶するメモリ，ＣＰＵ
を備え、エンドミル１の刃先が電極に沿って動くようエ
ンドミル１を制御する。１６はエンドミル１と混合圧粉
体電極２との間の極間距離を検出する極間検出回路であ
り、極間距離の検出信号を制御装置１４へ送る。制御装
置１４は上記検出信号を受け、ＸおよびＹテーブル１０
１，１０２を移動させる制御信号をＸおよびＹ軸駆動機
構９，１０へ送り、エンドミル１と混合圧粉体電極２と
の間の極間距離を所定置に制御する。２０は整形装置と
しての研削装置であり、研削工具２１を備え、加工槽１
１内に載置されているため、Ｘ軸およびＹ軸駆動機構１
０１，１０２により、Ｘ軸，Ｙ軸方向に移動可能であ
る。更に、研削装置２０は、内蔵されている駆動機構に
よって直交するｘ，ｙ，ｚの３軸回りに回転する構造を
有している。
ル１０１，１０２に載置され、各々Ｘ軸駆動機構９，Ｙ
軸駆動機構１０により、Ｘ軸およびＹ軸の方向に移動
し、加工槽１１を介して、保持装置６がＸ軸およびＹ軸
方向に移動可能である。１４は制御装置であり、エンド
ミル１の刃先の長さ，リード角，工具径に関する刃先の
軌跡移動に関する数値データを記憶するメモリ，ＣＰＵ
を備え、エンドミル１の刃先が電極に沿って動くようエ
ンドミル１を制御する。１６はエンドミル１と混合圧粉
体電極２との間の極間距離を検出する極間検出回路であ
り、極間距離の検出信号を制御装置１４へ送る。制御装
置１４は上記検出信号を受け、ＸおよびＹテーブル１０
１，１０２を移動させる制御信号をＸおよびＹ軸駆動機
構９，１０へ送り、エンドミル１と混合圧粉体電極２と
の間の極間距離を所定置に制御する。２０は整形装置と
しての研削装置であり、研削工具２１を備え、加工槽１
１内に載置されているため、Ｘ軸およびＹ軸駆動機構１
０１，１０２により、Ｘ軸，Ｙ軸方向に移動可能であ
る。更に、研削装置２０は、内蔵されている駆動機構に
よって直交するｘ，ｙ，ｚの３軸回りに回転する構造を
有している。
【００１８】次に、以上のように構成された放電表面処
理装置の動作について説明する。混合圧粉体電極２を固
定した状態で、Ｚ軸駆動装置４およびＺ軸駆動機構８に
よってエンドミル１の刃先の先端が混合圧粉体電極２に
対し、所定の放電間隙となるようエンドミル１をＺ方向
にスライドおよびＺ方向の軸を中心に回転させることに
より、エンドミル１の位置を制御する。その後、放電加
工液中において、エンドミル１と混合圧粉体電極２との
間に電源装置１３より電力を供給して両者間に放電を発
生させる。この時、制御装置１４からＺ軸駆動装置４，
Ｚ軸駆動機構８に対し、エンドミル１の刃先を混合圧粉
対電極２に沿って移動させるための指令信号（刃先の軌
跡移動を指令する）を送ると共にＸ軸駆動機構９，Ｙ軸
駆動機構１０に対し、エンドミル１と混合圧粉体電極２
との間の極間距離を所定値に維持するため、極間制御信
号が送られる。制御装置１４からの上記指令信号を受け
たＺ軸駆動装置４およびＺ軸駆動機構８により、刃先が
混合圧粉体電極２に沿うようにエンドミル１を移動させ
る。そして、制御装置１４からの上記極間制御信号を受
けたＸ軸駆動機構９およびＹ軸駆動機構１０により、Ｘ
テーブル１０１，Ｙテ−ブル１０２をＸおよびＹ方向に
移動させることによって混合圧粉体電極２とエンドミル
１との極間距離を調整して一定に維持しながら上記放電
を行う。
理装置の動作について説明する。混合圧粉体電極２を固
定した状態で、Ｚ軸駆動装置４およびＺ軸駆動機構８に
よってエンドミル１の刃先の先端が混合圧粉体電極２に
対し、所定の放電間隙となるようエンドミル１をＺ方向
にスライドおよびＺ方向の軸を中心に回転させることに
より、エンドミル１の位置を制御する。その後、放電加
工液中において、エンドミル１と混合圧粉体電極２との
間に電源装置１３より電力を供給して両者間に放電を発
生させる。この時、制御装置１４からＺ軸駆動装置４，
Ｚ軸駆動機構８に対し、エンドミル１の刃先を混合圧粉
対電極２に沿って移動させるための指令信号（刃先の軌
跡移動を指令する）を送ると共にＸ軸駆動機構９，Ｙ軸
駆動機構１０に対し、エンドミル１と混合圧粉体電極２
との間の極間距離を所定値に維持するため、極間制御信
号が送られる。制御装置１４からの上記指令信号を受け
たＺ軸駆動装置４およびＺ軸駆動機構８により、刃先が
混合圧粉体電極２に沿うようにエンドミル１を移動させ
る。そして、制御装置１４からの上記極間制御信号を受
けたＸ軸駆動機構９およびＹ軸駆動機構１０により、Ｘ
テーブル１０１，Ｙテ−ブル１０２をＸおよびＹ方向に
移動させることによって混合圧粉体電極２とエンドミル
１との極間距離を調整して一定に維持しながら上記放電
を行う。
【００１９】このような制御によってエンドミル１の刃
先部分にのみ図１（Ｂ）に示すような改質層を形成する
ことができる。すなわち、この放電により、図１（Ａ）
のように混合圧粉体電極２が消耗し、この混合圧粉体電
極２の成分であるＴｉＣを中心とした改質層をエンドミ
ル１表面の刃先に形成することができる。この改質層は
図１（Ａ），図２（Ａ）に示すものと同じ構造である。
この場合の電極はＴｉＨ2 （水素化チタン）系の混合圧
粉体電極だけでなく、ソリッドのＴｉ電極でもよい。
先部分にのみ図１（Ｂ）に示すような改質層を形成する
ことができる。すなわち、この放電により、図１（Ａ）
のように混合圧粉体電極２が消耗し、この混合圧粉体電
極２の成分であるＴｉＣを中心とした改質層をエンドミ
ル１表面の刃先に形成することができる。この改質層は
図１（Ａ），図２（Ａ）に示すものと同じ構造である。
この場合の電極はＴｉＨ2 （水素化チタン）系の混合圧
粉体電極だけでなく、ソリッドのＴｉ電極でもよい。
【００２０】エンドミル１とＴｉＨ2 （水素化チタン）
系の混合圧粉体電極２との間の放電でエンドミル１表面
に形成された改質層は、ＴｉＣ（炭化チタン）が主成分
となる。これは、放電加工液１２が油であるため、放電
の熱で分解した油の成分のＣ（炭素）と電極中のＴｉが
熱により化学反応を起こしてＴｉＣとなるためである。
エンドミル１とＴｉＨ2 （水素化チタン）系の混合圧粉
体電極２との間の放電により、混合圧粉体電極２が消耗
して、被処理材であるエンドミル１の表面に対して付着
する。この時、改質層とエンドミル１との界面において
改質物質の主成分であるＴｉＣ（炭化チタン）と被処理
材とが混合して再凝固した層が形成される。改質層は図
２（Ａ）に示すように、エンドミル１の表面より上面に
はＴｉＣの層として、エンドミル１の表面より下面には
母材内部にＴｉＣが拡散した層として形成される。Ｔｉ
Ｃは非常に硬質（ビッカース硬度２０００〜３０００）
であり、改質層として良質のものである。Ｔｉ以外にも
炭化物が硬質の物質であるＶ（バナジウム），Ｎｂ（ニ
オブ），Ｔａ（タンタル）等を成分とする電極を使用し
ても同様の効果がえられる。
系の混合圧粉体電極２との間の放電でエンドミル１表面
に形成された改質層は、ＴｉＣ（炭化チタン）が主成分
となる。これは、放電加工液１２が油であるため、放電
の熱で分解した油の成分のＣ（炭素）と電極中のＴｉが
熱により化学反応を起こしてＴｉＣとなるためである。
エンドミル１とＴｉＨ2 （水素化チタン）系の混合圧粉
体電極２との間の放電により、混合圧粉体電極２が消耗
して、被処理材であるエンドミル１の表面に対して付着
する。この時、改質層とエンドミル１との界面において
改質物質の主成分であるＴｉＣ（炭化チタン）と被処理
材とが混合して再凝固した層が形成される。改質層は図
２（Ａ）に示すように、エンドミル１の表面より上面に
はＴｉＣの層として、エンドミル１の表面より下面には
母材内部にＴｉＣが拡散した層として形成される。Ｔｉ
Ｃは非常に硬質（ビッカース硬度２０００〜３０００）
であり、改質層として良質のものである。Ｔｉ以外にも
炭化物が硬質の物質であるＶ（バナジウム），Ｎｂ（ニ
オブ），Ｔａ（タンタル）等を成分とする電極を使用し
ても同様の効果がえられる。
【００２１】次に、加工層１１内の放電加工液を除去し
た後、ＴｉＣを主成分とする改質層を形成したエンドミ
ル１に整形処理としての研削処理を行う。研削工具２１
は、例えば、ダイヤモンド砥粒，ＣＢＮ，アルミナ質，
炭化珪素質の物質などからなる砥石であり、研削装置２
０により保持されて回転する。エンドミル１を固定して
おき、Ｘテーブル１０１，Ｙテーブル１０２をＸ軸駆動
機構９，Ｙ軸駆動機構１０によりＸ軸，Ｙ軸方向にそれ
ぞれ所定距離だけスライドさせると共に、研削装置２０
により、研削工具２１の回転面をエンドミル１の改質層
の形成面に接触させながら、Ｚ軸駆動機構８と回転軸駆
動装置４によりエンドミルを主軸５の回りに回転させな
がらＺ方向にスライドさせることにより、改質層の表面
が研削される。エンドミル１の表面上に形成された改質
層の部分が研削により除去され、エンドミル１の表面か
ら深さ約５μｍの厚さに形成された拡散層の部分が残さ
れた状態となる。従って、図２（Ｂ）と同様にエンドミ
ル１の表面は非常に硬質の拡散層により形成することが
できる。
た後、ＴｉＣを主成分とする改質層を形成したエンドミ
ル１に整形処理としての研削処理を行う。研削工具２１
は、例えば、ダイヤモンド砥粒，ＣＢＮ，アルミナ質，
炭化珪素質の物質などからなる砥石であり、研削装置２
０により保持されて回転する。エンドミル１を固定して
おき、Ｘテーブル１０１，Ｙテーブル１０２をＸ軸駆動
機構９，Ｙ軸駆動機構１０によりＸ軸，Ｙ軸方向にそれ
ぞれ所定距離だけスライドさせると共に、研削装置２０
により、研削工具２１の回転面をエンドミル１の改質層
の形成面に接触させながら、Ｚ軸駆動機構８と回転軸駆
動装置４によりエンドミルを主軸５の回りに回転させな
がらＺ方向にスライドさせることにより、改質層の表面
が研削される。エンドミル１の表面上に形成された改質
層の部分が研削により除去され、エンドミル１の表面か
ら深さ約５μｍの厚さに形成された拡散層の部分が残さ
れた状態となる。従って、図２（Ｂ）と同様にエンドミ
ル１の表面は非常に硬質の拡散層により形成することが
できる。
【００２２】すなわち、エンドミル１の表面から５μｍ
の深さの領域では、電極に使用されている材料と、エン
ドミル１を構成している材料とが瞬時に溶融凝固するこ
とにより、拡散層が形成されている。改質層２３硬度は
深さ方向に傾斜特性を有している。そのため、エンドミ
ル１と改質層２３の界面付近の硬度勾配が小さくなるの
で改質層２３の密着度が高く、砥石回転軸をワーク表面
に対して、平衡に移動させる動作を行い、砥石を回転さ
せながらワーク表面方向へ回転軸を送り込むことで、被
膜を徐々に研削する。
の深さの領域では、電極に使用されている材料と、エン
ドミル１を構成している材料とが瞬時に溶融凝固するこ
とにより、拡散層が形成されている。改質層２３硬度は
深さ方向に傾斜特性を有している。そのため、エンドミ
ル１と改質層２３の界面付近の硬度勾配が小さくなるの
で改質層２３の密着度が高く、砥石回転軸をワーク表面
に対して、平衡に移動させる動作を行い、砥石を回転さ
せながらワーク表面方向へ回転軸を送り込むことで、被
膜を徐々に研削する。
【００２３】本実施の形態による放電表面処理方法にお
いては、形成された改質層の面粗さを改善するために改
質層の整形処理として研削・研磨を行う。これにより、
改質層の面粗さを向上させ、改質層の面粗さを向上さ
せ、摺動部における摩耗抵抗を軽減させることができ
る。
いては、形成された改質層の面粗さを改善するために改
質層の整形処理として研削・研磨を行う。これにより、
改質層の面粗さを向上させ、改質層の面粗さを向上さ
せ、摺動部における摩耗抵抗を軽減させることができ
る。
【００２４】実施の形態３．図４はこの発明の実施の形
態３である放電表面処理装置を示す構成図である。研削
装置２１は図３に示すように加工槽１１内に設置する必
要はなく、図４に示すように加工槽１１の外に設置して
もよい。
態３である放電表面処理装置を示す構成図である。研削
装置２１は図３に示すように加工槽１１内に設置する必
要はなく、図４に示すように加工槽１１の外に設置して
もよい。
【００２５】以下、図４により実施の形態３である放電
表面処理装置について具体的に説明する。図において、
１〜１４，１ｂ，２０，２１，１０１，１０２は図３と
同一の構成であるが、Ｘテーブル１０１上には加工槽１
１と研削装置２０が載置され、加工槽１１内に混合圧粉
体電極２を保持する電極保持装置６が配置されている構
成は図１と同一であり、エンドミル１の刃先に改質層を
上述した実施の形態２と同様にして形成することができ
る。
表面処理装置について具体的に説明する。図において、
１〜１４，１ｂ，２０，２１，１０１，１０２は図３と
同一の構成であるが、Ｘテーブル１０１上には加工槽１
１と研削装置２０が載置され、加工槽１１内に混合圧粉
体電極２を保持する電極保持装置６が配置されている構
成は図１と同一であり、エンドミル１の刃先に改質層を
上述した実施の形態２と同様にして形成することができ
る。
【００２６】エンドミル１の刃先に改質層を形成した
後、保持装置３およびＺ軸回転駆動装置４と共にコンド
ミル１を図中矢印で示すように研削装置２０の研削工具
２１に対向する位置まで移動させる。以後、研削工具２
１により、エンドミル１の刃先部分の改質層を上述した
実施の形態２と同様に整形処理して研削する。
後、保持装置３およびＺ軸回転駆動装置４と共にコンド
ミル１を図中矢印で示すように研削装置２０の研削工具
２１に対向する位置まで移動させる。以後、研削工具２
１により、エンドミル１の刃先部分の改質層を上述した
実施の形態２と同様に整形処理して研削する。
【００２７】この構成によれば、研削装置２０を加工槽
１１の外側に配置したことにより図３の構成に比べて、
研削屑による加工液の汚れや、砥石（研削工具）の回転
による加工液の飛散をなくすことができるという効果が
ある。
１１の外側に配置したことにより図３の構成に比べて、
研削屑による加工液の汚れや、砥石（研削工具）の回転
による加工液の飛散をなくすことができるという効果が
ある。
【００２８】実施の形態４．図５はこの発明の実施の形
態４である放電表面処理装置を示す構成図である。図に
おいて、１〜１４，１６，２０，２１，１０１，１０２
は図３尾呼び図４と同一の構成である。研削装置２０が
加工槽１１の外側にある点は図４の構成と同じである
が、図４では研削装置２０が直接Ｘテーブル１０１およ
びＹテーブル１１０２上に載置されているのに対し、図
５では加工槽１１の外壁Ｐに取り付けられている点で相
違しているのみである。このような構成において、図
３，図４の放電表面処理装置と同じ動さによってエンド
ミル１の刃先に図１と同様の改質層を形成することがで
きる。
態４である放電表面処理装置を示す構成図である。図に
おいて、１〜１４，１６，２０，２１，１０１，１０２
は図３尾呼び図４と同一の構成である。研削装置２０が
加工槽１１の外側にある点は図４の構成と同じである
が、図４では研削装置２０が直接Ｘテーブル１０１およ
びＹテーブル１１０２上に載置されているのに対し、図
５では加工槽１１の外壁Ｐに取り付けられている点で相
違しているのみである。このような構成において、図
３，図４の放電表面処理装置と同じ動さによってエンド
ミル１の刃先に図１と同様の改質層を形成することがで
きる。
【００２９】エンドミル１の刃先に改質層を形成した
後、保持装置３およびＺ軸回転駆動装置４と共にエンド
ミル１を図中の矢印方向へ移動させ、エンドミル１の刃
先を研削工具２１により研削できる位置で停止させる。
この後、研削工具２１によりエンドミル１の刃先に形成
された改質層を実施の形態２と同様にして形成処理とし
て研削する。
後、保持装置３およびＺ軸回転駆動装置４と共にエンド
ミル１を図中の矢印方向へ移動させ、エンドミル１の刃
先を研削工具２１により研削できる位置で停止させる。
この後、研削工具２１によりエンドミル１の刃先に形成
された改質層を実施の形態２と同様にして形成処理とし
て研削する。
【００３０】この構成によれば、研削装置２０を加工槽
１１の外側に配置したことにより、図３の構成に比べ
て、研削屑による加工液の汚れや、砥石（研削工具）の
回転による加工液の飛散を阻止することができる。
１１の外側に配置したことにより、図３の構成に比べ
て、研削屑による加工液の汚れや、砥石（研削工具）の
回転による加工液の飛散を阻止することができる。
【００３１】実施の形態５．図６はこの発明の実施の形
態５である放電表面処理方法を示す工程図である。図６
（Ａ）は被処理材１上に、実施の形態１で述べた方法、
すなわち図１（Ａ）に示す方法により改質層２２が形成
された状態を示す。この改質層２２を仕上げ厚さ寸法ｔ
より厚く形成しておく。その後、図６（Ｂ）に示すよう
に、複数回の研削により余分な改質層２２を除去して図
６９（Ｃ）に示すように所望の厚さｔの改質層２２に仕
上げる。この実施の形態による放電表面処理法によれ
ば、面粗さの良好な膜厚を厚く形成することができると
共に厚さ精度が良好な改質層２２を得ることができる。
態５である放電表面処理方法を示す工程図である。図６
（Ａ）は被処理材１上に、実施の形態１で述べた方法、
すなわち図１（Ａ）に示す方法により改質層２２が形成
された状態を示す。この改質層２２を仕上げ厚さ寸法ｔ
より厚く形成しておく。その後、図６（Ｂ）に示すよう
に、複数回の研削により余分な改質層２２を除去して図
６９（Ｃ）に示すように所望の厚さｔの改質層２２に仕
上げる。この実施の形態による放電表面処理法によれ
ば、面粗さの良好な膜厚を厚く形成することができると
共に厚さ精度が良好な改質層２２を得ることができる。
【００３２】また、被処理材１と改質層２２との界面数
μｍの領域では、混合圧粉体電極として使用した改質材
料あるいは改質材料の元となる材料である例えば水素化
チタンと被加工材料との溶融凝固が瞬時に行われ、一種
の拡散層２３が形成されている。すなわち、被処理材１
の上面にはＴｉＣ層として、被処理材１の下面にはＴｉ
Ｃ等が拡散した層として形成される。そのため、生成厚
さｔ以上に改質層２２を研削してもその材料表面に形成
された拡散層２３が形成されているため硬度，耐摩耗
性，耐食性などが放電表面処理以前より大きく向上して
いる。
μｍの領域では、混合圧粉体電極として使用した改質材
料あるいは改質材料の元となる材料である例えば水素化
チタンと被加工材料との溶融凝固が瞬時に行われ、一種
の拡散層２３が形成されている。すなわち、被処理材１
の上面にはＴｉＣ層として、被処理材１の下面にはＴｉ
Ｃ等が拡散した層として形成される。そのため、生成厚
さｔ以上に改質層２２を研削してもその材料表面に形成
された拡散層２３が形成されているため硬度，耐摩耗
性，耐食性などが放電表面処理以前より大きく向上して
いる。
【００３３】したがって、研削・研磨により面粗さが良
好であり、かつ、改質層厚さが均一な放電表面処理面を
得ることができ、形状精度の高い被処理材を得ることが
できる。
好であり、かつ、改質層厚さが均一な放電表面処理面を
得ることができ、形状精度の高い被処理材を得ることが
できる。
【００３４】本放電表面処理方法によると、被加工材に
改質層の厚さを均一、かつ、高精度に形成することがで
きる。この工程は、切削工具，エンドミルの他に金型，
ジグ，その他工具に対しても適用でき、同様の効果を得
ることができる。
改質層の厚さを均一、かつ、高精度に形成することがで
きる。この工程は、切削工具，エンドミルの他に金型，
ジグ，その他工具に対しても適用でき、同様の効果を得
ることができる。
【００３５】実施の形態６．図７はこの発明の実施の形
態６である放電表面処理方法を示す工程図である。この
放電表面処理方法では、改質層の形成工程と研削工程に
おいて、これらの工程を交互に繰返しながら改質層を形
成する。図７（Ａ）は改質層２２を被処理材１上に形成
する工程であり、図１（Ａ）の工程と同じである。図７
（Ｂ）は被処理材１上に形成された改質層２２を研削装
置２１により所定厚さになるように一部除去する研削工
程であり、図１（Ｂ）と同じである。図７（Ａ）に示す
改質層２２の形成工程において、ポーラスな状態や厚さ
が不均一な改質層が形成された場合、その改質層を一定
量研削する。これにより、改質層の厚さや面性状が均一
な状態に修正されるため、図７（Ｃ）に示す第２層目の
改質層２４を安定して形成することができる。
態６である放電表面処理方法を示す工程図である。この
放電表面処理方法では、改質層の形成工程と研削工程に
おいて、これらの工程を交互に繰返しながら改質層を形
成する。図７（Ａ）は改質層２２を被処理材１上に形成
する工程であり、図１（Ａ）の工程と同じである。図７
（Ｂ）は被処理材１上に形成された改質層２２を研削装
置２１により所定厚さになるように一部除去する研削工
程であり、図１（Ｂ）と同じである。図７（Ａ）に示す
改質層２２の形成工程において、ポーラスな状態や厚さ
が不均一な改質層が形成された場合、その改質層を一定
量研削する。これにより、改質層の厚さや面性状が均一
な状態に修正されるため、図７（Ｃ）に示す第２層目の
改質層２４を安定して形成することができる。
【００３６】この後、図７（Ｄ）のように研削工具２１
により、改質層２４の表面を研削し所定厚さに形成す
る。さらに、改質層の形成と研削の工程を２回繰り返す
ことにより、４層の改質層２２，２４，２５，２６を密
着性の高い緻密な層として積層することができる。
により、改質層２４の表面を研削し所定厚さに形成す
る。さらに、改質層の形成と研削の工程を２回繰り返す
ことにより、４層の改質層２２，２４，２５，２６を密
着性の高い緻密な層として積層することができる。
【００３７】この実施の形態６である放電表面処理方法
によると、被加工材に改質層の厚さを均一、かつ、高精
度に形成することができ、緻密な改質層を厚く形成する
ことができる。この実施の形態である放電表面処理方法
は、切削工具，エンドミルの他に金型，ジグ，その他工
具に対しても適用でき、同様の効果を得ることができ
る。
によると、被加工材に改質層の厚さを均一、かつ、高精
度に形成することができ、緻密な改質層を厚く形成する
ことができる。この実施の形態である放電表面処理方法
は、切削工具，エンドミルの他に金型，ジグ，その他工
具に対しても適用でき、同様の効果を得ることができ
る。
【００３８】実施の形態７．図８はこの発明の実施の形
態７である放電表面処理方法を示す工程図である。被処
理材１として寿命に達した、もしくは、欠損した被処理
材を使用する。このような被処理材としては、例えば切
削工具や金型などが挙げられる。この実施の形態におい
て、図８（Ａ）に示すように被処理材１の摩耗部分ある
いは欠損部分３０に対して重点的に上述した例えば図１
（Ａ）に示すような放電表面処理を行い、図８（Ｂ）に
示すように被処理材１の表面から盛り上がる程度に厚く
改質層２２を形成する。この時、改質層２２の下側には
図２（Ａ）に示された実施の形態１等の場合と同様に拡
散層２３が形成される。この拡散層２３の存在により改
質層と被処理材の密着性が向上している。この後、図８
（Ｃ）に示すように、被処理材１の摩耗もしくは欠損前
の形状になるように研削工具などによって改質層２２の
うち被処理材１の表面上に突出して形成された部分を除
去する。
態７である放電表面処理方法を示す工程図である。被処
理材１として寿命に達した、もしくは、欠損した被処理
材を使用する。このような被処理材としては、例えば切
削工具や金型などが挙げられる。この実施の形態におい
て、図８（Ａ）に示すように被処理材１の摩耗部分ある
いは欠損部分３０に対して重点的に上述した例えば図１
（Ａ）に示すような放電表面処理を行い、図８（Ｂ）に
示すように被処理材１の表面から盛り上がる程度に厚く
改質層２２を形成する。この時、改質層２２の下側には
図２（Ａ）に示された実施の形態１等の場合と同様に拡
散層２３が形成される。この拡散層２３の存在により改
質層と被処理材の密着性が向上している。この後、図８
（Ｃ）に示すように、被処理材１の摩耗もしくは欠損前
の形状になるように研削工具などによって改質層２２の
うち被処理材１の表面上に突出して形成された部分を除
去する。
【００３９】この実施の形態の放電表面処理方法によ
り、例えば、被処理材１が切削工具である場合、その切
れ刃を再生・修復でき、再利用ができるようになる。こ
の実施の形態の放電表面処理方法は、切削工具の他に金
型，ジグ，その他工具に対しても適用でき、同様の効果
を得ることができる。
り、例えば、被処理材１が切削工具である場合、その切
れ刃を再生・修復でき、再利用ができるようになる。こ
の実施の形態の放電表面処理方法は、切削工具の他に金
型，ジグ，その他工具に対しても適用でき、同様の効果
を得ることができる。
【００４０】
【発明の効果】この発明の第１の構成である放電表面処
理方法によれば、改質材料あるいは改質材料の元となる
材料からなる電極と被処理材である導電性物質との間に
電圧を印加して放電を発生させることにより該被処理材
の表面に改質層を形成し、その後、改質層をを整形する
ので、膜厚さの精度の高い、面粗さの良好な被膜層（改
質層）を形成することができる。
理方法によれば、改質材料あるいは改質材料の元となる
材料からなる電極と被処理材である導電性物質との間に
電圧を印加して放電を発生させることにより該被処理材
の表面に改質層を形成し、その後、改質層をを整形する
ので、膜厚さの精度の高い、面粗さの良好な被膜層（改
質層）を形成することができる。
【００４１】また、この発明の第２の構成である放電表
面処理装置によれば、改質材料あるいは改質材料の元と
なる材料からなる電極と被処理材である導電性物質との
間に電圧を印加して放電を発生させることにより該被処
理材の表面に改質層を形成し、その後、改質層をを整形
する放電表面処理装置において、改質材料あるいは改質
材料の元となる材料からなる電極を保持する電極保持装
置と、研削あるいは研磨処理用の整形装置とを備えたの
で、膜厚さの精度の高い、面粗さの良好な改質層を形成
することができる。
面処理装置によれば、改質材料あるいは改質材料の元と
なる材料からなる電極と被処理材である導電性物質との
間に電圧を印加して放電を発生させることにより該被処
理材の表面に改質層を形成し、その後、改質層をを整形
する放電表面処理装置において、改質材料あるいは改質
材料の元となる材料からなる電極を保持する電極保持装
置と、研削あるいは研磨処理用の整形装置とを備えたの
で、膜厚さの精度の高い、面粗さの良好な改質層を形成
することができる。
【００４２】また、この発明の第３の構成である放電表
面処理方法によれば、改質材料あるいは改質材料の元と
なる材料からなる電極と被処理材である導電性物質との
間に電圧を印加して放電を発生させることにより該被処
理材の表面に改質層を形成する放電表面処理方法におい
て、改質層を所望の厚さ以上に形成した後、整形によっ
て厚さの均一な改質層を得るようにしたので、被処理材
の表面に厚さの均一かつ高精度な改質膜を形成すること
ができる。
面処理方法によれば、改質材料あるいは改質材料の元と
なる材料からなる電極と被処理材である導電性物質との
間に電圧を印加して放電を発生させることにより該被処
理材の表面に改質層を形成する放電表面処理方法におい
て、改質層を所望の厚さ以上に形成した後、整形によっ
て厚さの均一な改質層を得るようにしたので、被処理材
の表面に厚さの均一かつ高精度な改質膜を形成すること
ができる。
【００４３】また、この発明の第４の構成である放電表
面処理方法によれば、改質材料あるいは改質材料の元と
なる材料からなる電極と被処理材である導電性物質との
間に電圧を印加して放電を発生させることにより該被処
理材の表面に改質層を形成する放電表面処理方法におい
て、該被処理材表面に改質層を形成する工程とその改質
層を整形する工程を交互に繰り返すことにより改質膜を
形成するので、被処理材の表面に厚さの均一かつ高精度
な改質膜を形成することができる。
面処理方法によれば、改質材料あるいは改質材料の元と
なる材料からなる電極と被処理材である導電性物質との
間に電圧を印加して放電を発生させることにより該被処
理材の表面に改質層を形成する放電表面処理方法におい
て、該被処理材表面に改質層を形成する工程とその改質
層を整形する工程を交互に繰り返すことにより改質膜を
形成するので、被処理材の表面に厚さの均一かつ高精度
な改質膜を形成することができる。
【００４４】また、この発明の第５の構成である放電表
面処理方法によれば、改質材料あるいは改質材料の元と
なる材料からなる電極と被処理材である導電性物質との
間に電圧を印加して放電を発生させることにより該被処
理材の表面に改質層を形成する放電表面処理方法におい
て、欠損の存在する被処理材の欠損部分に改質層を形成
した後、余分な改質層を除去することにより被処理材の
欠損を補修するようにしたので、被処理材の欠損部を再
生，修復することができる。
面処理方法によれば、改質材料あるいは改質材料の元と
なる材料からなる電極と被処理材である導電性物質との
間に電圧を印加して放電を発生させることにより該被処
理材の表面に改質層を形成する放電表面処理方法におい
て、欠損の存在する被処理材の欠損部分に改質層を形成
した後、余分な改質層を除去することにより被処理材の
欠損を補修するようにしたので、被処理材の欠損部を再
生，修復することができる。
【図１】 この発明の実施の形態１である放電表面処理
方法を示す工程図である。
方法を示す工程図である。
【図２】 この発明の実施の形態１である放電表面処理
方法を示す工程図である。
方法を示す工程図である。
【図３】 この発明の実施の形態２である放電表面処理
装置を示す構成図である。
装置を示す構成図である。
【図４】 この発明の実施の形態３である放電表面処理
装置を示す構成図である。
装置を示す構成図である。
【図５】 この発明の実施の形態３である放電表面処理
装置を示す構成図である。
装置を示す構成図である。
【図６】 この発明の実施の形態５である放電表面処理
方法を示す工程図である。
方法を示す工程図である。
【図７】 この発明の実施の形態６である放電表面処理
方法を示す工程図である。
方法を示す工程図である。
【図８】 この発明の実施の形態７である放電表面処理
方法を示す工程図である。
方法を示す工程図である。
【図９】 従来の放電表面処理方法を示す工程図であ
る。
る。
１ 被処理材、２ 混合圧粉体電極、３ 電極保持装
置、４ 主軸、５ 回転軸、８ Ｚ軸駆動機構、９ Ｘ
軸駆動機構、１０ Ｙ軸駆動機構、１１ 加工槽、１２
放電加工液、１３ 電源装置、１４ 制御回路、１６
極間検出回路、２０ 研削装置、２１ 研削工具、２
２ 改質層、２３ 拡散層、１０１ Ｘテーブル、１０
２ Ｙテーブル。
置、４ 主軸、５ 回転軸、８ Ｚ軸駆動機構、９ Ｘ
軸駆動機構、１０ Ｙ軸駆動機構、１１ 加工槽、１２
放電加工液、１３ 電源装置、１４ 制御回路、１６
極間検出回路、２０ 研削装置、２１ 研削工具、２
２ 改質層、２３ 拡散層、１０１ Ｘテーブル、１０
２ Ｙテーブル。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１０年１１月１１日（１９９８．１１．
１１）
１１）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図５】 この発明の実施の形態４である放電表面処理
装置を示す構成図である。
装置を示す構成図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 後藤 昭弘 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 3C059 AA01 AB01 HA03 4K044 BA18 BB01 BC01 BC02 CA12 CA36 CA67
Claims (5)
- 【請求項１】 改質材料あるいは改質材料の元となる材
料からなる電極と被処理材である導電性物質との間に電
圧を印加して放電を発生させることにより該被処理材の
表面に改質層を形成し、その後、改質層を整形すること
を特徴とする放電表面処理方法。 - 【請求項２】 改質材料あるいは改質材料の元となる材
料からなる電極と被処理材である導電性物質との間に電
圧を印加して放電を発生させることにより該被処理材の
表面に改質層を形成し、その後、改質層を整形する放電
表面処理装置において、改質材料あるいは改質材料の元
となる材料からなる電極を保持する電極保持装置と、研
削あるいは研磨処理用の整形装置とを備えたことを特徴
とする放電表面処理装置。 - 【請求項３】 改質材料あるいは改質材料の元となる材
料からなる電極と被処理材である導電性物質との間に電
圧を印加して放電を発生させることにより該被処理材の
表面に改質層を形成する放電表面処理方法において、改
質層を所望の厚さ以上に形成した後、整形によって厚さ
の均一な改質層を得ることを特徴とする放電表面処理方
法。 - 【請求項４】 改質材料あるいは改質材料の元となる材
料からなる電極と被処理材である導電性物質との間に電
圧を印加して放電を発生させることにより該被処理材の
表面に改質層を形成する放電表面処理方法において、該
被処理材表面に改質層を形成する工程とその改質層を整
形する工程を交互に繰り返すことにより改質膜を形成す
ることを特徴とする放電表面処理方法。 - 【請求項５】 改質材料あるいは改質材料の元となる材
料からなる電極と被処理材である導電性物質との間に電
圧を印加して放電を発生させることにより該被処理材の
表面に改質層を形成する放電表面処理方法において、欠
損の存在する被処理材の欠損部分に改質層を形成した
後、余分な改質層を除去することにより被処理材の欠損
を補修することを特徴とする放電表面処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10241894A JP2000071126A (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | 放電表面処理方法および放電表面処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10241894A JP2000071126A (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | 放電表面処理方法および放電表面処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000071126A true JP2000071126A (ja) | 2000-03-07 |
Family
ID=17081145
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10241894A Pending JP2000071126A (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | 放電表面処理方法および放電表面処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000071126A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006095767A1 (ja) * | 2005-03-09 | 2006-09-14 | Ihi Corporation | 治具 |
| WO2007043102A1 (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | 放電表面処理用電極及び放電表面処理方法並びに被膜 |
| JP2008238124A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Fujifilm Corp | 塗布ヘッド、塗布ヘッドの製造方法、及び塗布装置 |
| US7713361B2 (en) | 2003-06-11 | 2010-05-11 | Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. | Metal product producing method, metal product, metal component connecting method, and connection structure |
| US7723636B2 (en) | 2003-06-11 | 2010-05-25 | Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. | Method for repairing machine part, method for forming restored machine part, method for manufacturing machine part, gas turbine engine, electric discharge machine, method for repairing turbine component, and method for forming restored turbine component |
-
1998
- 1998-08-27 JP JP10241894A patent/JP2000071126A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7713361B2 (en) | 2003-06-11 | 2010-05-11 | Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. | Metal product producing method, metal product, metal component connecting method, and connection structure |
| US7723636B2 (en) | 2003-06-11 | 2010-05-25 | Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. | Method for repairing machine part, method for forming restored machine part, method for manufacturing machine part, gas turbine engine, electric discharge machine, method for repairing turbine component, and method for forming restored turbine component |
| JP2011094235A (ja) * | 2003-06-11 | 2011-05-12 | Ihi Corp | 金属部品の接合方法、及び接合構造体 |
| WO2006095767A1 (ja) * | 2005-03-09 | 2006-09-14 | Ihi Corporation | 治具 |
| EP1867436A1 (en) * | 2005-03-09 | 2007-12-19 | IHI Corporation | Jig |
| JPWO2006095767A1 (ja) * | 2005-03-09 | 2008-08-14 | 株式会社Ihi | 治具 |
| CN101146652B (zh) * | 2005-03-09 | 2010-04-21 | 株式会社Ihi | 夹具 |
| EP1867436A4 (en) * | 2005-03-09 | 2011-02-23 | Ihi Corp | MOUNTING |
| US8128078B2 (en) | 2005-03-09 | 2012-03-06 | Ihi Corporation | Jig |
| JP4929156B2 (ja) * | 2005-03-09 | 2012-05-09 | 株式会社Ｉｈｉ | 治具 |
| WO2007043102A1 (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | 放電表面処理用電極及び放電表面処理方法並びに被膜 |
| JP2008238124A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Fujifilm Corp | 塗布ヘッド、塗布ヘッドの製造方法、及び塗布装置 |
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