JP2000065610A - 流量センサの異常検出方法及び異常検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 流量センサの異常を、そのセンサの出力状態
に基づいて判定することができ、特別な検出センサや検
出回路を不要にすることができ、また、流量センサの異
常を容易かつ確実に認識すること。 【解決手段】 一対のセンサ２１，２２の少なくとも一
方の所定時間中の発振数が１である状態が所定回数連続
して確認された場合に、流量センサの断線異常と判断す
るように構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流路の上流側およ
び下流側にそれぞれ配設される一対のセンサから成り、
流量に応じて変わる前記一対のセンサの各発振周波数に
より流量を算出するようにした流量センサの異常検出方
法及びその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の流量センサとしては、可動電極で
あるダイアフラムと固定電極との間の変位量が差圧に比
例し、その差圧から流量を算出するようにした差圧式流
量センサが知られている。

【０００３】また、熱線をホイートストンブリッジの一
辺に挿入し、流体によって熱線が冷却されると、熱線の
抵抗が変化し、その抵抗の変化を検出することによって
流速を測定する流速センサが知られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の技術では、流量センサあるいは流速センサが
一つしか流路に設置されておらず、一つのセンサの出力
状態に基づき、そのセンサが異常であるか否かを明確に
判定することができないという問題点があった。

【０００５】本発明は、このような従来の技術の問題点
に着目してなされたもので、流量センサの異常を、その
センサの出力状態に基づいて判定することができ、特別
な検出センサや検出回路を不要にすることができ、ま
た、流量センサの異常を容易かつ確実に認識することを
目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
めになされた請求項１に記載の発明は、流路の上流側お
よび下流側にそれぞれ配設される一対の温度センサ２
１，２２から成り、流量に応じて変わる前記一対の温度
センサ２１，２２の各発振周波数により流量を算出する
ようにした流量センサの異常検出方法であって、前記一
対の温度センサ２１，２２の少なくとも一方の所定時間
中の発振数が１である場合に、流量センサの異常判定プ
ログラムを実行し、前記流量センサの異常判定プログラ
ムにおいて、前記一対の温度センサ２１，２２の少なく
とも一方の所定時間中の発振数が１であることを所定回
数連続して確認した場合に前記一方のセンサの断線異常
と判定するようにした。

【０００７】請求項１に記載の発明によれば、流路の上
流側と下流側とにそれぞれ配設される一対の温度センサ
２１，２２は、流量に応じてその発振周波数が変化す
る。一対の温度センサ２１，２２の発振周波数の差と流
量との関係は予め求められているから、発振周波数の差
により流量が算出される。

【０００８】流量センサが断線している場合に、流量の
算出を行ったとき、一対の温度センサ２１，２２の少な
くとも一方の所定時間中の発振数が１になる。このと
き、流量センサの異常判定プログラムを実行して、その
プログラムにおいて、一対の温度センサ２１，２２の少
なくとも一方の所定時間中の発振数が１である状態が所
定回数連続して確認された場合に、センサの断線異常と
判断される。すなわち、流量センサの異常を検出するた
めの検出センサや検出回路を必要としない。

【０００９】かかる課題を解決するためになされた請求
項２に記載の発明は、流路に配されるヒータ１０と、流
路の上流側および下流側にそれぞれ配設される一対の温
度センサ２１，２２とから成り、該一対の温度センサ２
１，２２の各発振周波数が温度で変わることにより流量
を算出して成る流量センサの異常検出方法であって、前
記一対の温度センサ２１，２２の少なくとも一方の所定
時間中の発振数が１である場合に、流量センサの異常判
定プログラムを実行し、前記流量センサの異常判定プロ
グラムにおいて、前記一対の温度センサ２１，２２の少
なくとも一方の所定時間中の発振数が１であることを所
定回数連続して確認した場合に前記一方の温度センサの
断線異常と判定するようにした。

【００１０】請求項２に記載の発明によれば、流路中の
ヒータ１０の熱により、ヒータ１０から離れるほどに温
度が低く、また、ヒータ１０の上流側と下流側とでは、
ヒータ１０からの距離が同じであっても下流側の方が温
度が高い。また、ヒータ１０周りの温度は、流体の流量
によっても変化する。流路の上流側と下流側とにそれぞ
れ配設される一対の温度センサ２１，２２は、その位置
の温度に応じた周波数でそれぞれ発振し、一対の温度セ
ンサ２１，２２の発振周波数の差と流量との関係は予め
求められているから、発振周波数の差により流量が算出
される。

【００１１】流量センサが断線している場合に、流量の
算出を行ったとき、一対の温度センサ２１，２２の少な
くとも一方の所定時間中の発振数が１になる。このと
き、流量センサの異常判定プログラムを実行して、その
プログラムにおいて、一対の温度センサ２１，２２の少
なくとも一方の所定時間中の発振数が１である状態が所
定回数連続して確認された場合に、流量センサの異常と
判断される。すなわち、流量センサの異常を検出するた
めの検出センサや検出回路を必要としない。

【００１２】かかる課題を解決するためになされた請求
項３に記載の発明は、流路に低流量センサおよび高流量
センサ３１をそれぞれ配設し、前記低流量センサは、流
路の上流側および下流側にそれぞれ配設される一対の温
度センサ２１，２２から成り、流量に応じて変わる前記
一対の温度センサ２１，２２の各発振周波数により流量
を算出し、前記高流量センサ３１は同じく流路に設けら
れたフルイディック素子による流体の振動を検出するこ
とにより流量を算出して成る流量センサの異常検出方法
であって、前記一対の温度センサ２１，２２の発振周波
数に基づいて算出される算出流量が、前記高流量センサ
３１が流体の振動を検出可能な流量である場合に、流量
センサの異常判定プログラムを実行し、前記流量センサ
の異常判定プログラムにおいて、前記高流量センサ３１
が流体の振動を検出していないことが所定回数連続して
確認された場合に前記高流量センサ３１の異常と判定す
るようにした。

【００１３】請求項３に記載の発明によれば、一対の温
度センサ２１，２２の各発振周波数から流量が算出され
る。その算出流量が、高流量センサ３１が流体の振動を
検出可能な場合に、流量センサの異常判定プログラムが
実行される。このプログラムにおいて、高流量センサ３
１が流体の振動を検出していないことが所定回数連続し
て確認された場合に高流量センサ３１の異常と判定され
る。

【００１４】かかる課題を解決するためになされた請求
項４に記載の発明は、流路に低流量センサおよび高流量
センサ３１をそれぞれ配設し、前記低流量センサは、流
路に配されるヒータ１０と、流路の上流側および下流側
にそれぞれ配設される一対の温度センサ２１，２２とか
ら成り、該一対の温度センサ２１，２２の各発振周波数
が温度で変わることにより流量を算出し、前記高流量セ
ンサ３１は同じく流路に設けられたフルイディック素子
による流体の振動を検出することにより流量を算出して
成る流量センサの異常検出方法であって、前記一対の温
度センサ２１，２２の各発振周波数に基づいて算出され
る算出流量が、前記高流量センサ３１が流体の振動を検
出可能な流量である場合に、流量センサの異常判定プロ
グラムを実行し、前記流量センサの異常判定プログラム
において、前記高流量センサ３１が流体の振動を検出し
ていないことが所定回数連続して確認された場合に前記
高流量センサ３１の異常と判定するようにした。

【００１５】請求項４に記載の発明によれば、低流量セ
ンサの一対の温度センサ２１，２２の各発振周波数の差
から流量が算出される。その算出流量が、高流量センサ
３１が流体の振動を検出可能な場合に、流量センサの異
常判定プログラムが実行される。このプログラムにおい
て、高流量センサ３１が流体の振動を検出していないこ
とが所定回数連続して確認された場合に、高流量センサ
３１の断線などが発生し、高流量センサ３１の異常と判
定される。

【００１６】かかる課題を解決するためになされた請求
項５に記載の発明は、流路に低流量センサおよび高流量
センサ３１をそれぞれ配設し、前記低流量センサは、流
路に配されるヒータ１０と、流路の上流側および下流側
にそれぞれ配設される一対の温度センサ２１，２２とか
ら成り、該一対の温度センサ２１，２２の各発振周波数
が温度で変わることにより流量を算出し、前記高流量セ
ンサ３１は同じく流路に設けられたフルイディック素子
による流体の振動を検出することにより流量を算出して
成る流量センサの異常検出方法であって、前記一対の温
度センサ２１，２２の発振周波数の差が無く、かつ、前
記高流量センサ３１が流体の振動を検出している場合
に、流量センサの異常判定プログラムを実行し、前記流
量センサの異常判定プログラムにおいて、前記一対の温
度センサ２１，２２の発振周波数の差が無いことを所定
回数連続して確認した場合に前記低流量センサのヒータ
１０の断線異常と判定するようにした。

【００１７】請求項５に記載の発明によれば、一対の温
度センサ２１，２２の発振周波数の差が無い場合には、
一般に流量が無いが、このとき、高流量センサ３１が流
体の振動を検出している場合には、流量センサの異常判
定プログラムを実行する。このプログラムにおいて、一
対の温度センサ２１，２２の発振周波数の差が無いこと
を所定回数連続して確認した場合に、低流量センサのヒ
ータ１０の断線に起因して、一対の温度センサ２１，２
２の各発振周波数の差がないものとし、ヒータ１０の断
線異常と判定する。

【００１８】かかる課題を解決するためになされた請求
項６に記載の発明は、流路に低流量センサおよび高流量
センサ３１をそれぞれ配設し、前記低流量センサは、流
路に配されるヒータ１０と、流路の上流側および下流側
にそれぞれ配設される一対の温度センサ２１，２２とか
ら成り、該一対の温度センサ２１，２２の各発振周波数
が温度で変わることにより流量を算出し、前記高流量セ
ンサ３１は同じく流路に設けられたフルイディック素子
による流体の振動を検出することにより流量を算出して
成る流量センサの異常検出方法であって、前記下流側の
温度センサ２２の発振周波数と標準値との差が所定値で
あり、かつ、前記高流量センサ３１が流体の振動を検出
していない場合に、流量センサの異常判定プログラムを
実行し、前記流量センサの異常判定プログラムにおい
て、前記下流側の温度センサ２２の発振周波数と標準値
との差が所定値であることを所定回数連続して確認した
場合に前記下流側の温度センサ２２の断線異常と判定す
るようにした。

【００１９】請求項６に記載の発明によれば、下流側の
温度センサ２２の発振周波数と標準値との差が所定値で
あり、その所定値の流量であれば、高流量センサ３１が
流体の振動を検出すべき場合には、流量センサの異常判
定プログラムを実行する。このプログラムにおいて、高
流量センサ３１が流体の振動を検出していないで、下流
側の温度センサ２２の発振周波数と標準値との差が所定
値であることを所定回数連続して確認した場合に、下流
側の温度センサ２２の断線異常と判定する。

【００２０】かかる課題を解決するためになされた請求
項７に記載の発明は、請求項１乃至請求項６の発明にお
いて、前記流量センサの異常状態がそれぞれ判定された
場合に、該各々の異常状態を表示するようにした。

【００２１】請求項７に記載の発明によれば、温度セン
サ２１，２２，高流量センサ３１の異常状態がそれぞれ
判定された場合には、各々の異常状態が表示される。そ
れにより、温度センサ２１，２２，高流量センサ３１の
各異常状態を外部から明確に認識することができ、温度
センサ２１，２２，高流量センサ３１の各異常に的確に
対処することができる。

【００２２】かかる課題を解決するためになされた請求
項８に記載の発明は、流路に低流量センサおよび高流量
センサ３１をそれぞれ配設し、前記低流量センサは、流
路に配されるヒータ１０と、流路の上流側および下流側
にそれぞれ配設される一対の温度センサ２１，２２とか
ら成り、該一対の温度センサ２１，２２の各発振周波数
が温度で変わることにより流量を算出し、前記高流量セ
ンサ３１は同じく流路に設けられたフルイディック素子
による流体の振動を検出することにより流量を算出して
成る流量センサの異常検出装置であって、センサ異常判
断回路４１と表示手段５０とを備え、前記センサ異常判
断回路４１は、前記一対の温度センサ２１，２２の各発
振周波数に基づいて算出される算出流量が、前記高流量
センサ３１が流体の振動を検出可能な流量である場合
に、流量センサの異常判定プログラムを実行し、前記流
量センサの異常判定プログラムにおいて、前記高流量セ
ンサ３１が流体の振動を検出していないことが所定回数
連続して確認された場合に前記高流量センサの異常と判
定し、前記一対の温度センサ２１，２２の発振周波数の
差が無く、かつ、前記高流量センサ３１が流体の振動を
検出している場合に、流量センサの異常判定プログラム
を実行し、前記流量センサの異常判定プログラムにおい
て、前記一対の温度センサ２１，２２の発振周波数の差
が無いことを所定回数連続して確認した場合に前記低流
量センサのヒータ１０の断線異常と判定し、前記下流側
の温度センサ２２の発振周波数と標準値との差が所定値
であり、かつ、前記高流量センサ３１が流体の振動を検
出していない場合に、流量センサの異常判定プログラム
を実行し、前記流量センサの異常判定プログラムにおい
て、前記下流側の温度センサ２２の発振周波数と標準値
との差が所定値であることを所定回数連続して確認した
場合に前記下流側の温度センサ２２の断線異常と判定
し、前記表示手段５０は、前記各異常状態がそれぞれ判
定された場合に、該各異常状態を表示するようにした。

【００２３】請求項８に記載の発明によれば、温度セン
サ２１，２２の各発振周波数、標準値および、高流量セ
ンサ３１の流体振動検出の有無に基づいて、低流量セン
サの異常あるいは、高流量センサ３１の異常を、特別な
検出手段を用いないで、的確に検出することができる。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づき本発明の一実
施形態を説明する。各図は本発明の一実施形態を示して
いる。図１〜図３に示すように、流路には低流量センサ
および高流量センサ３１がそれぞれ配設されている。

【００２５】低流量センサは、流路に配されるヒータ１
０と、流路の上流側および下流側にそれぞれ配設される
一対の温度センサ２１，２２とから成る。各温度センサ
２１，２２は、例えば、ＮＱＲ温度センサ(nuclear qua
dripole resonance temperature sensor)や水晶温度セ
ンサ(quartz temperature sensor)などのように、ヒー
タ１０から伝わる熱の温度によってその発振周波数が変
化する現象を利用したセンサである。

【００２６】ＮＱＲ型の温度センサ２１，２２には発振
器２５が接続されている。発振器２５の発振周波数によ
り温度センサ２１，２２の発振回路２３，２４から発振
周波数が発生し、周波数カウンタ２６が発振周波数を計
数し、演算器２７で換算することにより流量が算出され
る。

【００２７】図１および図３〜図５に示すように、高流
量センサ３１は同じく流路に設けられたフルイディック
素子を使用したフルイディック流量計である。フルイデ
ィック素子により流量に比例した周波数をもつ流体振動
が発生し、流体振動は一対の導圧孔Ａ，Ｂからそれぞれ
圧力センサに導かれる。フルイディック発振検出回路
は、前記流体振動による圧力変化を静電容量の変化に変
換し、さらにパルスに波形整形する（Ｃ−Ｖ変換〜波形
整形）。波形整形された出力信号が演算処理され、それ
により流量を算出することができる。導圧孔Ａ，Ｂに係
る圧力変動および、波形整形された出力信号を図５にそ
れぞれ示す。

【００２８】センサ異常判断回路４１は、一対の温度セ
ンサ２１，２２の発振回路２３，２４からの各発振周波
数および、高流量センサ３１の発振状態に基づいて、流
量センサの異常判断プログラムを実行する。

【００２９】表示手段５０は、センサ異常判断回路４１
の判断結果を表示する。表示素子としては、ＣＲＴ(cat
hode ray tube)、プラズマディスプレイパネルまたは、
液晶(liquid crystal)、ＥＬ(electro luminescence)あ
るいは、ＬＥＤ(light emitting diode)などのパネルが
使用される。

【００３０】次に、図６〜図８に示すフローチャートに
基づき本実施形態の作用を説明する。流路中のヒータ１
０の熱は、ヒータ１０周りの温度センサ２１，２２に伝
わる。ヒータ１０周りの温度は、流体の流量によっても
変化する。ヒータ１０を間に上流側の温度センサ２１の
発振回路２３および、下流側の温度センサ２２の発振回
路２４は、その位置の温度に応じた周波数でそれぞれ発
振する。

【００３１】図６に示すように、センサ異常判断回路４
１は、上流側の温度センサ２１の発振回路２３あるいは
下流側の温度センサ２２の発振回路２４の所定時間中の
発振数Ｐ１，Ｐ２を検出し（ステップＳ１０１）、各発
振数Ｐ１，Ｐ２が「１」であるか否かを判断し（ステッ
プＳ１０２）、各発振数Ｐ１，Ｐ２が共に「１」でない
場合に、各発振数の差（Ｐ２−Ｐ１）から、流量を演算
する（ステップＳ１０３）。

【００３２】一方、発振数が「１」である場合に、低流
量センサの異常の疑い有りとして、連続回数ｎに「１」
を加算する（ステップＳ１０４）。ステップＳ１０５に
おいて、連続回数ｎが所定回数Ｎであるかを判断し、連
続回数ｎが所定回数Ｎでなければ、ステップＳ１０１に
戻り、連続回数ｎが所定回数Ｎであれば、センサ異常判
断回路４１が低流量センサが異常（断線）であると判断
し、表示手段５０が低流量センサの異常を表示する（ス
テップＳ１０６〜Ｓ１０７）。

【００３３】図７に示すように、センサ異常判断回路４
１が高流量センサ３１の発振の有無を判断し（ステップ
Ｓ２０１）、高流量センサ３１の発振が無ければ、低流
量センサの上流側の温度センサ２１の発振回路２３およ
び下流側の温度センサ２２の発振回路２４の発振周波数
Ｐ１，Ｐ２を検出し（ステップＳ２０２）、発振周波数
Ｐ２が例えば３３８０Ｈｚ、発振周波数Ｐ１が１２８０
Ｈｚで両者の差、すなわちＰ２−Ｐ１＝２１００である
かを判断し（ステップＳ２０３）、Ｐ２−Ｐ１＝２１０
０でなければ、各温度センサ２１，２２の発振回路２
３，２４の各発振周波数Ｐ１，Ｐ２から低流量を演算す
る（ステップＳ２０４）。Ｐ２−Ｐ１＝２１００であれ
ば、低流量センサの異常の疑い有りとし、連続回数ｎに
「１」を加算する（ステップＳ２０５）。

【００３４】一方、ステップＳ２０１において、高流量
センサ３１の発振が有れば、その発振に基づく出力信号
から高流量を演算する（ステップＳ２０６）。次に、低
流量センサの各温度センサ２１，２２の発振回路２３，
２４の発振周波数Ｐ１，Ｐ２をそれぞれ検出し（ステッ
プＳ２０７）、各発振周波数が所定範囲内、すなわち、
Ｐ２−Ｐ１＝０±３０〜５０であるかを判断し（ステッ
プＳ２０８）、Ｐ２−Ｐ１＝０±３０〜５０でなけれ
ば、流量が算出される（ステップＳ２０９）。Ｐ２−Ｐ
１＝０±３０〜５０であれば、低流量センサの異常の疑
い有りとし、連続回数ｎに「１」を加算する（ステップ
Ｓ２０５）。

【００３５】次に、連続回数ｎが所定回数Ｎであるかを
判断し（ステップＳ２１０）、連続回数ｎが所定回数Ｎ
に満たなければ、ステップＳ２０１に戻って、高流量セ
ンサ３１の発振の有無を判断し、ステップＳ２０２〜Ｓ
２０３あるいは、ステップＳ２０６〜Ｓ２０８を繰り返
す。連続回数ｎが所定回数Ｎになると、センサ異常判断
回路４１は低流量センサが異常（下流側の温度センサ２
２の断線あるいは、ヒータ１０の断線）であると判断し
（ステップＳ２１１）、表示手段５０が低流量センサの
異常を表示する（ステップＳ２１２）。

【００３６】図８に示すように、低流量センサの温度セ
ンサ２１，２２の発振回路２３，２４の各発振周波数に
基づいて、１００リットル／ｈ以上の流量が検出される
と（ステップＳ３０１）、高流量センサ３１の発振の有
無が判断され（ステップＳ３０２）、高流量センサ３１
の発振が有れば、流量が算出される（ステップＳ３０
３）。

【００３７】高流量センサ３１の発振が無ければ、高流
量センサ３１の異常の疑い有りとされ、連続回数ｎに
「１」が加算される（ステップＳ３０４）。次に、連続
回数ｎが所定回数Ｎであるかを判断し（ステップＳ３０
５）、連続回数ｎが所定回数Ｎに満たなければ、ステッ
プＳ３０１に戻る。

【００３８】連続回数ｎが所定回数Ｎであれば、センサ
異常判断回路４１は、高流量センサ３１が異常であると
判断し（ステップＳ３０６）、表示手段５０は、高流量
センサ３１の異常を表示する（ステップＳ３０７）。

【００３９】なお、前記実施形態においては、低流量セ
ンサが温度センサ２１，２２を有して成るものを示した
が、これに限らず、流路の上流側と下流側とに流量に応
じて発振数が変わる一対のセンサ、例えば超音波式流量
センサなどを配して成るものであってもよい。

【００４０】

【発明の効果】上述のように請求項１に記載の発明によ
れば、一対のセンサの少なくとも一方の所定時間中の発
振数が１である状態が所定回数連続して確認された場合
に、流量センサの断線異常と判断するようにしたので、
流量センサの異常を検出するための特別な検出センサや
検出回路が不要になる。

【００４１】請求項２に記載の発明によれば、一対の温
度センサの少なくとも一方の所定時間中の発振数が１で
ある状態が所定回数連続して確認された場合に、流量セ
ンサの異常と判断するようにしたので、温度センサの断
線異常を検出するための特別な検出センサや検出回路が
不要になる。

【００４２】請求項３に記載の発明によれば、一対のセ
ンサの各発振周波数から算出される算出流量が、高流量
センサが流体の振動を検出可能な場合に、高流量センサ
が流体の振動を検出していないことが所定回数連続して
確認された場合に高流量センサの異常と判定するように
したので、高流量センサの異常を検出するための特別な
検出センサや検出回路が不要になる。

【００４３】請求項４に記載の発明によれば、低流量セ
ンサの一対の温度センサの各発振周波数の差から流量が
算出される算出流量が、高流量センサが流体の振動を検
出可能な場合に、高流量センサが流体の振動を検出して
いないことが所定回数連続して確認された場合に、高流
量センサの異常と判定されるようにしたので、高流量セ
ンサの異常を検出するための特別な検出センサや検出回
路が不要になる。

【００４４】請求項５に記載の発明によれば、一対の温
度センサの発振周波数の差が無く、高流量センサが流体
の振動を検出している場合に、一対の温度センサの発振
周波数の差が無いことを所定回数連続して確認した場合
に、低流量センサのヒータの断線異常と判定するように
したので、低流量センサの異常を検出するための特別な
検出センサや検出回路が不要になる。

【００４５】請求項６に記載の発明によれば、下流側の
温度センサの発振周波数と標準値との差が所定値であ
り、その所定値の流量であれば、高流量センサが流体の
振動を検出すべき場合に、高流量センサが流体の振動を
検出していないで、下流側の温度センサの発振周波数と
標準値との差が所定値であることを所定回数連続して確
認した場合に、下流側の温度センサの断線異常と判定す
るようにしたので、低流量センサの異常を検出するため
の特別な検出センサや検出回路が不要になる。

【００４６】請求項７に記載の発明によれば、流量セン
サの異常状態がそれぞれ判定された場合に、各々の異常
状態を表示するようにしたので、各々の異常状態を容易
にかつ確実に認識することができる。

【００４７】請求項８に記載の発明によれば、温度セン
サの各発振周波数、標準値および、高流量センサの流体
振動検出の有無に基づいて、低流量センサの異常あるい
は、高流量センサの異常が、センサ異常判断回路および
表示手段により、特別な検出手段を用いないで、容易か
つ確実に認識することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係るセンサ異常検出回路
のブロック図である。

【図２】本発明の一実施形態に係る低流量センサの配置
図である。

【図３】本発明の一実施形態に係る低流量センサおよび
高流量センサの配置図である。

【図４】本発明の一実施形態に係る高流量センサのブロ
ック図である。

【図５】本発明の一実施形態に係る高流量センサが検出
する流体振動および出力信号の波形図である。

【図６】本発明の一実施形態に係るセンサ異常判断にお
けるフローチャートである。

【図７】本発明の一実施形態に係るセンサ異常判断にお
けるフローチャートである。

【図８】本発明の一実施形態に係るセンサ異常判断にお
けるフローチャートである。

【符号の説明】

１０…ヒータ ２１…上流側の温度センサ ２２…下流側の温度センサ ２３，２４…発振回路 ２５…発振器 ２６…周波数カウンタ ２７…演算器 ３１…高流量センサ ４１…センサ異常判断回路 ５０…表示手段

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流路の上流側および下流側にそれぞれ配
   設される一対のセンサから成り、流量に応じて変わる前
   記一対のセンサの各発振周波数により流量を算出するよ
   うにした流量センサの異常検出方法であって、 前記一対のセンサの少なくとも一方の所定時間中の発振
   数が１である場合に、流量センサの異常判定プログラム
   を実行し、 前記流量センサの異常判定プログラムにおいて、前記一
   対のセンサの少なくとも一方の所定時間中の発振数が１
   であることを所定回数連続して確認した場合に前記一方
   のセンサの断線異常と判定することを特徴とする流量セ
   ンサの異常検出方法。
2. 【請求項２】 流路に配されるヒータと、流路の上流側
   および下流側にそれぞれ配設される一対の温度センサと
   から成り、該一対の温度センサの各発振周波数が温度で
   変わることにより流量を算出して成る流量センサの異常
   検出方法であって、 前記一対の温度センサの少なくとも一方の所定時間中の
   発振数が１である場合に、流量センサの異常判定プログ
   ラムを実行し、 前記流量センサの異常判定プログラムにおいて、前記一
   対の温度センサの少なくとも一方の所定時間中の発振数
   が１であることを所定回数連続して確認した場合に前記
   一方の温度センサの断線異常と判定することを特徴とす
   る流量センサの異常検出方法。
3. 【請求項３】 流路に低流量センサおよび高流量センサ
   をそれぞれ配設し、前記低流量センサは、流路の上流側
   および下流側にそれぞれ配設される一対のセンサから成
   り、流量に応じて変わる前記一対のセンサの各発振周波
   数により流量を算出し、前記高流量センサは同じく流路
   に設けられたフルイディック素子による流体の振動を検
   出することにより流量を算出して成る流量センサの異常
   検出方法であって、 前記一対のセンサの各発振周波数に基づいて算出される
   算出流量が、前記高流量センサが流体の振動を検出可能
   な流量である場合に、流量センサの異常判定プログラム
   を実行し、 前記流量センサの異常判定プログラムにおいて、前記高
   流量センサが流体の振動を検出していないことが所定回
   数連続して確認された場合に前記高流量センサの異常と
   判定することを特徴とする流量センサの異常検出方法。
4. 【請求項４】 流路に低流量センサおよび高流量センサ
   をそれぞれ配設し、前記低流量センサは、流路に配され
   るヒータと、流路の上流側および下流側にそれぞれ配設
   される一対の温度センサとから成り、該一対の温度セン
   サの各発振周波数が温度で変わることにより流量を算出
   し、前記高流量センサは同じく流路に設けられたフルイ
   ディック素子による流体の振動を検出することにより流
   量を算出して成る流量センサの異常検出方法であって、 前記一対の温度センサの各発振周波数に基づいて算出さ
   れる算出流量が、前記高流量センサが流体の振動を検出
   可能な流量である場合に、流量センサの異常判定プログ
   ラムを実行し、 前記流量センサの異常判定プログラムにおいて、前記高
   流量センサが流体の振動を検出していないことが所定回
   数連続して確認された場合に前記高流量センサの異常と
   判定することを特徴とする流量センサの異常検出方法。
5. 【請求項５】 流路に低流量センサおよび高流量センサ
   をそれぞれ配設し、前記低流量センサは、流路に配され
   るヒータと、流路の上流側および下流側にそれぞれ配設
   される一対の温度センサとから成り、該一対の温度セン
   サの各発振周波数が温度で変わることにより流量を算出
   し、前記高流量センサは同じく流路に設けられたフルイ
   ディック素子による流体の振動を検出することにより流
   量を算出して成る流量センサの異常検出方法であって、 前記一対の温度センサの発振周波数の差が無く、かつ、
   前記高流量センサが流体の振動を検出している場合に、
   流量センサの異常判定プログラムを実行し、 前記流量センサの異常判定プログラムにおいて、前記一
   対の温度センサの発振周波数の差が無いことを所定回数
   連続して確認した場合に前記低流量センサのヒータの断
   線異常と判定することを特徴とする流量センサの異常検
   出方法。
6. 【請求項６】 流路に低流量センサおよび高流量センサ
   をそれぞれ配設し、前記低流量センサは、流路に配され
   るヒータと、流路の上流側および下流側にそれぞれ配設
   される一対の温度センサとから成り、該一対の温度セン
   サの各発振周波数が温度で変わることにより流量を算出
   し、前記高流量センサは同じく流路に設けられたフルイ
   ディック素子による流体の振動を検出することにより流
   量を算出して成る流量センサの異常検出方法であって、 前記下流側の温度センサの発振周波数と標準値との差が
   所定値であり、かつ、前記高流量センサが流体の振動を
   検出していない場合に、流量センサの異常判定プログラ
   ムを実行し、 前記流量センサの異常判定プログラムにおいて、前記下
   流側の温度センサの発振周波数と標準値との差が所定値
   であることを所定回数連続して確認した場合に前記下流
   側の温度センサの断線異常と判定することを特徴とする
   流量センサの異常検出方法。
7. 【請求項７】 前記流量センサの異常状態がそれぞれ判
   定された場合に、該各々の異常状態を表示するようにし
   たことを特徴とする請求項１、２、３、４、５または６
   に記載の流量センサの異常検出方法。
8. 【請求項８】 流路に低流量センサおよび高流量センサ
   をそれぞれ配設し、前記低流量センサは、流路に配され
   るヒータと、流路の上流側および下流側にそれぞれ配設
   される一対の温度センサとから成り、該一対の温度セン
   サの各発振周波数が温度で変わることにより流量を算出
   し、前記高流量センサは同じく流路に設けられたフルイ
   ディック素子による流体の振動を検出することにより流
   量を算出して成る流量センサの異常検出装置であって、 センサ異常判断回路と表示手段とを備え、 前記センサ異常判断回路は、前記一対の温度センサの各
   発振周波数に基づいて算出される算出流量が、前記高流
   量センサが流体の振動を検出可能な流量である場合に、
   流量センサの異常判定プログラムを実行し、前記流量セ
   ンサの異常判定プログラムにおいて、前記高流量センサ
   が流体の振動を検出していないことが所定回数連続して
   確認された場合に前記高流量センサの異常と判定し、 前記一対の温度センサの発振周波数の差が無く、かつ、
   前記高流量センサが流体の振動を検出している場合に、
   流量センサの異常判定プログラムを実行し、前記流量セ
   ンサの異常判定プログラムにおいて、前記一対の温度セ
   ンサの発振周波数の差が無いことを所定回数連続して確
   認した場合に前記低流量センサのヒータの断線異常と判
   定し、 前記下流側の温度センサの発振周波数と標準値との差が
   所定値であり、かつ、前記高流量センサが流体の振動を
   検出していない場合に、流量センサの異常判定プログラ
   ムを実行し、前記流量センサの異常判定プログラムにお
   いて、前記下流側の温度センサの発振周波数と標準値と
   の差が所定値であることを所定回数連続して確認した場
   合に前記下流側の温度センサの断線異常と判定し、 前記表示手段は、前記各異常状態がそれぞれ判定された
   場合に、該各異常状態を表示することを特徴とする流量
   センサの異常検出装置。