JP2000061475A - オゾン処理装置 - Google Patents

オゾン処理装置

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JP2000061475A
JP2000061475A JP10238586A JP23858698A JP2000061475A JP 2000061475 A JP2000061475 A JP 2000061475A JP 10238586 A JP10238586 A JP 10238586A JP 23858698 A JP23858698 A JP 23858698A JP 2000061475 A JP2000061475 A JP 2000061475A
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Japan
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water
ozone
treated
cooling water
cooling
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JP10238586A
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Ko Wada
香 和田
Tokuichi Mineo
徳一 峰尾
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Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Publication date
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  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 冷却水の無駄がなく効率のよい冷却ラインを
備えたオゾン処理装置を提供する。 【解決手段】 オゾン発生装置を冷却した後の冷却水
を、被処理水又は処理水に戻すよう構成する。また、被
処理水の一部又は全部をオゾン発生装置の冷却水として
利用するよう構成する。また、オゾン発生装置の冷却水
として利用する被処理水は、フィルタに通水した後に同
冷却水として利用するよう構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はオゾン処理装置に関
し、具体的にはオゾン処理装置の冷却ラインに工夫を施
したものであり、オゾン水製造装置等の各種オゾン処理
装置に適用して有用なものである。
【0002】
【従来の技術】図7は従来のオゾン水製造装置の概略構
成図である。同図に示すオゾン水製造装置1は、冷却水
を電解槽2のオゾン極側セパレータに通水する方式のも
のである。
【0003】詳述すると、水電解式オゾン発生装置の電
解槽2は、図示は省略するが、イオン交換膜を水素極と
オゾン極とで挟むようにして構成された電解セルと、こ
の電解セルを挟むようして配設されたオゾン極側セパレ
ータ及び水素極側セパレータとを備えている。そして、
この電解槽2ではオゾン極側に原料水供給配管3を介し
て原料水(水道水をイオン交換して得たイオン交換水)
が供給されるとともに、オゾン極と水素極との間に電流
を流して原料水を電気分解することにより、オゾン極側
にオゾンと酸素とを発生させ、水素極側に水素を発生さ
せるようになっている。
【0004】オゾン極側で発生したオゾンと酸素は原料
水と分離された後、オゾン排出配管4を介して図示しな
いエジェクタへと流れ、このエジェクタで水道水に混合
される。かくしてオゾン水が製造される。水素極側で発
生した水素は水素排出配管7から排出されて回収され
る。
【0005】そして、このとき冷却水は冷却水供給配管
5を介してオゾン極側セパレータに形成された冷却水路
へと供給され、この冷却水路を流れてオゾン極側セパレ
ータを冷却(ひいては電解セルを冷却)した後、冷却水
排出配管6から排出されて廃棄される。
【0006】図8は従来の他のオゾン水製造装置の概略
構成図である。同図に示すオゾン水製造装置11は、冷
却水を外部の冷却器14に通水する方式のものである。
【0007】詳述すると、水電解式オゾン発生装置の電
解槽12は、図示は省略するが、イオン交換膜を水素極
とオゾン極とで挟むようにして構成された電解セルと、
この電解セルを挟むようして配設されたオゾン極側セパ
レータ及び水素極側セパレータとを備えている。そし
て、この電解槽12ではオゾン極側に原料水供給配管1
5や気水分離器13等を介して原料水(水道水をイオン
交換して得たイオン交換水)が供給されるとともに、オ
ゾン極と水素極との間に電流を流して原料水を電気分解
することにより、オゾン極側にオゾンと酸素とを発生さ
せ、水素極側に水素を発生させるようになっている。
【0008】オゾン極側で発生したオゾンと酸素はガス
リフト効果により原料水とともにオゾン排出配管19を
介して気水分離器13へと流れ、ここで原料水と分離さ
れた後、オゾン排出配管16を介して図示しないエジェ
クタへと流れ、このエジェクタで水道水に混合される。
かくしてオゾン水が製造される。一方、分離された原料
水は配管20を介して冷却器14へと流れ、更に、原料
水戻し配管21を介して電解槽12へと戻される。水素
極側で発生した水素は水素排出配管22から排出されて
回収される。
【0009】そして、このとき冷却水は冷却水供給配管
17を介して冷却器14に供給され、ここで冷却水路1
4aを流れて原料水を冷却(ひいては電解セルを冷却)
した後、冷却水排出管18から排出されて廃棄される。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
オゾン水製造装置1,11では、何れも冷却水が無駄に
廃棄されており、また、このため冷却水の廃棄ラインも
必要であった。
【0011】従って、本発明は上記従来技術に鑑み、冷
却水の無駄がなく効率のよい冷却ラインを備えたオゾン
処理装置を提供すること課題とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する第1
発明のオゾン処理装置は、オゾン発生装置で発生したオ
ゾンを被処理水に混合することによって、この被処理水
をオゾン処理するオゾン処理装置であって、オゾン発生
装置を冷却した後の冷却水を、被処理水に戻すよう構成
したことを特徴とする。
【0013】また、第2発明のオゾン処理装置は、オゾ
ン発生装置で発生したオゾンを被処理水に混合すること
によって、この被処理水をオゾン処理するオゾン処理装
置であって、オゾン発生装置を冷却した後の冷却水を、
オゾン処理された処理水に戻すよう構成したことを特徴
とする。
【0014】また、第3発明のオゾン処理装置は、第1
発明のオゾン処理装置において、被処理水の全部をオゾ
ン発生装置の冷却水として利用するよう構成したことを
特徴とする。
【0015】また、第4発明のオゾン処理装置は、第1
発明のオゾン処理装置において、被処理水の一部をオゾ
ン発生装置の冷却水として利用し、この冷却水を、減圧
手段により減圧した後の被処理水に戻すよう構成したこ
とを特徴とする。
【0016】また、第5発明のオゾン処理装置は、第2
発明のオゾン処理装置において、被処理水の一部をオゾ
ン発生装置の冷却水として利用するよう構成したことを
特徴とする。
【0017】また、第6発明のオゾン処理装置は、第
3、第4または第5発明のオゾン処理装置において、オ
ゾン発生装置の冷却水として利用する被処理水は、フィ
ルタに通水した後に同冷却水として利用するよう構成し
たことを特徴とする。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づき詳細に説明する。
【0019】[実施の形態1]図1は本発明の実施の形
態1に係るオゾン処理装置の構成図、図2は前記オゾン
処理装置に備えた電解槽の構成例を示す断面図である。
【0020】<構成>図1に示すように、本実施の形態
1に係るオゾン処理装置32は、冷却水を電解槽32の
オゾン極側セパレータに通水する方式のものである。即
ち、水電解式オゾン処理装置の電解槽32は図2に示す
ような構成となっている。
【0021】詳述すると、図2に示すように、電解槽3
2は縦型のもであり、縦に設けられたイオン交換膜41
を、陽極であるオゾン極42と陰極である水素極43と
で左右方向から挟むようして、電解セル44が構成され
ている。更に、この電解セル44を左右方向から挟むよ
うにして、オゾン極側セパレータ45と水素極側セパレ
ータ46とがそれぞれ配設されており、これらのオゾン
極側セパレータ45と水素極側セパレータ46との間
(即ちオゾン極42と水素極43との間)には、電源4
7から電圧が印加されるようになっている。なお、図2
中の48はガスケットである。
【0022】また、オゾン極側セパレータ45の右側面
には、タンク49が一体的に取り付けられている。この
タンク49内には、原料水供給配管38を介してノズル
49aから供給された原料水(水道水をイオン交換して
得たイオン交換水)が貯溜されている。更に、タンク4
9の上部には水位検出器(図示せず)を取り付けるため
のノズル49bが設けられており、この水位検出器でタ
ンク49内の水位Lを監視して水位Lが所定値よりも低
下したら、原料水供給配管38を介してタンク49内に
原料水が補給されるようになっている。また、タンク4
9では原料水とガス(O3 +O2 )とを分離して、この
分離したガスを上端部のノズル49cから外部へと排出
することができるようになっている。即ち、タンク49
は原料水を貯溜するとともに、気水分離器としての機能
も有している。
【0023】また、オゾン極側セパレータ45には左右
方向に貫通する複数の孔45aが形成されており、これ
らの孔45aを介して、タンク49内の原料水がオゾン
極42へと供給されとともにオゾン極42で発生したオ
ゾンや酸素がタンク49内へと移動するようになってい
る。そして、更に、オゾン極側セパレータ45には、上
下方向に貫通する複数の冷却水路45bが左右方向の孔
45aと干渉しないように形成されている。一方、水素
極側セパレータ46には左右方向に貫通する複数の孔4
6aが形成されており、水素極46で発生した水素を、
これらの孔46aから水素排出配管39を介して排出
し、回収するようになっている。
【0024】そして、図1に示すように、上記構成の電
解槽32に対し、プール水または水道水等の被処理水の
全部が冷却水として、冷却水供給配管37から、冷却水
供給配管37の途中に設けられたフィルタ40に通水さ
れた後に、供給されるようになっている。この電解槽3
2に供給された冷却水は、オゾン極側セパレータ45の
冷却水路45aを流れてオゾン極側セパレータ45を冷
却し、ひいては電解セル44を冷却する(図2参照)。
【0025】その後、冷却水は冷却水排出配管34を介
してエジェクタ33の上流側に戻される。即ち、オゾン
処理装置を冷却した後の冷却水が被処理水に戻される。
同時に、電解槽32で発生したオゾンもオゾン排出配管
35を介してエジェクタ33へと流れ、このオゾンがエ
ジェクタ33において被処理水(戻された冷却水)に混
合される。オゾンが混合された被処理水(処理水)はエ
ジェクタ出口配管36を介して排出される。
【0026】かくして、被処理水が水道水である場合に
はオゾン水が製造されることになり、被処理水がプール
水等の汚染水である場合にはオゾンによる被処理水中の
有害物質の酸化分解や殺菌等が行われて、被処理水が浄
化されることになる。つまり、オゾン処理装置31は、
具体的に被処理水が何であるかによって、オゾン水製造
装置やプール水処理装置等になる。なお、図1中の
1 、P2 、P3 はそれぞれ電解槽入口圧力、電解槽出
口圧力、エジェクタ出口圧力であり、勿論、その大小関
係はP1 >P2 >P3 である。
【0027】<作用・効果>以上のように、本実施の形
態1に係るオゾン処理装置31によれば、被処理水の全
部を冷却水として利用し、この冷却水を被処理水に戻す
よう構成したことにより、被処理水が冷却水としても有
効に活用され、同時に、冷却水の無駄がなくなるため、
効率のよい冷却ラインを実現することができ、また、冷
却水の廃棄ラインが不要となる。
【0028】しかも、被処理水はフィルタ40に通水し
た後に冷却水として利用するようにしたため、被処理水
中に粗ゴミ等が含まれていても、これらの粗ゴミ等をフ
ィルタ40で除去することができるため、粗ゴミ等によ
ってオゾン極側セパレータ45の冷却水路45bが目詰
まりするのを防止することができる。
【0029】[実施の形態2]図3は本発明の実施の形
態2に係るオゾン処理装置の構成図である。
【0030】<構成>図3に示すように、本実施の形態
2に係るオゾン処理装置61では、冷却水供給配管37
の途中から被処理水供給配管51が分岐されており、被
処理水の一部がオゾン発生装置の冷却水として利用され
るようになっている。
【0031】また、冷却水排出配管34はエジェクタ出
口配管36に接続されている。即ち、冷却水(被処理水
の一部)が、冷却水排出配管34を介して処理水(オゾ
ンを混合した後の被処理水)に戻されるようになってい
る。この場合、電解槽入口圧力P1 、電解槽出口圧力P
2 及びエジェクタ出口圧力P3 の大小関係はP1 >P 2
>P3 であるため、冷却水を処理水に戻すことは可能で
ある。
【0032】また、冷却水を処理水に戻すため、この場
合の被処理水(冷却水)としては水道水等のような清浄
な水が対象となり、このことから、冷却水供給配管32
にはフィルタが設けられていない。従って、オゾン処理
装置61は、具体的にはオゾン水製造装置に適用して有
用なものである。
【0033】なお、上記以外の構成については、上記実
施の形態1のオゾン処理装置31と同様であるため、こ
こでの詳細な説明は省略する。
【0034】<作用・効果>以上のように、本実施の形
態2に係るオゾン処理装置61によれば、被処理水の一
部を冷却水として利用し、この冷却水を処理水に戻すよ
う構成したことにより、被処理水が冷却水としても有効
に活用され、同時に、冷却水の無駄がなくなるため、効
率のよい冷却ラインを実現することができ、また、冷却
水の廃棄ラインが不要となる。
【0035】[実施の形態3]図4は本発明の実施の形
態3に係るオゾン処理装置の構成図である。
【0036】<構成>図4に示すように、本実施の形態
3に係るオゾン処理装置71では、冷却水供給配管37
の途中から被処理水供給配管51が分岐されており、被
処理水の一部がオゾン発生装置の冷却水として利用され
るようになっている。
【0037】また、冷却水排出配管34は、被処理水供
給配管51に設けられた減圧弁52の下流側において被
処理水供給配管51に接続されている。即ち、冷却水
(被処理水の一部)が、減圧弁52により減圧された後
の被処理水に冷却水排出配管34を介して戻されるよう
になっている。
【0038】この場合、減圧弁52によって被処理水が
減圧されることにより、電解槽入口圧力P1 、電解槽出
口圧力P2 、エジェクタ出口圧力P3 及び減圧弁出口圧
力P 4 の大小関係はP1 >P2 >P4 >P3 となるた
め、冷却水を被処理水に戻すことが可能となる。
【0039】このオゾン処理装置71は、冷却水を被処
理水に戻すため、オゾン水製造装置の他、プール水等の
汚染水の浄化を行う各種のオゾン処理装置に適用して有
用なものである。
【0040】なお、上記以外の構成については、上記実
施の形態1のオゾン処理装置31と同様であるため、こ
こでの詳細な説明は省略する。
【0041】<作用・効果>以上のように、本実施の形
態3に係るオゾン処理装置71によれば、被処理水の一
部を冷却水として利用し、この冷却水を被処理水に戻す
よう構成したことにより、被処理水が冷却水としても有
効に活用され、同時に、冷却水の無駄がなくなるため、
効率のよい冷却ラインを実現することができ、また、冷
却水の廃棄ラインが不要となる。
【0042】しかも、被処理水はフィルタ40に通水し
た後に冷却水として利用するようにしたため、被処理水
中の粗ゴミ等が含まれていても、これらの粗ゴミ等をフ
ィルタ40によって除去することができるため、粗ゴミ
等によってオゾン極側セパレータ45の冷却水路45b
が目詰まりするのを防止することができる。
【0043】[実施の形態4]図5は本発明の実施の形
態4に係るオゾン処理装置の構成図、図6は前記オゾン
処理装置に備えた電解槽の構成例を示す断面図である。
【0044】図5に示すように、本実施の形態4に係る
オゾン処理装置81は、冷却水を外部の冷却器84に通
水する方式のものである。
【0045】詳述すると、図6に示すように、水電解式
オゾン発生装置の電解槽82は縦型のもであり、縦に設
けられたイオン交換膜101を、陽極であるオゾン極1
02と陰極である水素極103とで左右方向から挟むよ
うして、電解セル104が構成されている。更に、この
電解セル104を左右方向から挟むようにして、オゾン
極側セパレータ105と水素極側セパレータ106とが
それぞれ配設されており、これらのオゾン極側セパレー
タ105と水素極側セパレータ106との間(即ちオゾ
ン極102と水素極103との間)には、電源107か
ら電圧が印加されるようになっている。
【0046】また、オゾン極側セパレータ105には、
上下に貫通し且つオゾン極102に通じるように原料水
路105aが形成されており、この原料水路105aに
おいて、オゾン極102で発生したオゾンや酸素がガス
リフト効果により(或いはポンプを設けて強制的に循環
させることにより)原料水を伴って上昇する。一方、水
素極側セパレータ106には左右方向に貫通する複数の
孔106aが形成されており、水素極103で発生した
水素を、これらの孔106aから水素排出配管95を介
して排出し、回収するようになっている。
【0047】図5に示すように、電解槽82で発生した
オゾンや酸素はオゾン排出配管89を介して気水分離器
83へと流れ、ここで原料水と分離された後、オゾン排
出配管86を介してエジェクタ92へと流れる。一方、
分離された原料水は配管90を介して冷却器84へと流
れ、更に、原料水戻し配管91を介して電解槽82へと
戻される。なお、図示しない水位検出器で気水分離器8
3内の水位Lを監視し、水位Lが低下したら原料水供給
配管85を介して原料水(水道水をイオン交換して得た
イオン交換水)が補給されるようになっている。
【0048】そして、冷却器84に対し、プール水また
は水道水等の被処理水の全部が冷却水として、冷却水供
給配管87から、冷却水供給配管87の途中に設けられ
たフィルタ94に通水された後に、供給されるようにな
っている。この冷却器84に供給された冷却水は、冷却
水路84aを流れて原料水を冷却し、ひいては電解セル
104を冷却する(図6参照)。
【0049】その後、冷却水は冷却水排出配管88を介
してエジェクタ92の上流側に戻される。即ち、オゾン
処理装置を冷却した後の冷却水が被処理水に戻される。
同時に、オゾンもオゾン排出配管86を介してエジェク
タ92へと流れ、このオゾンがエジェクタ92において
被処理水(戻された冷却水)に混合される。オゾンが混
合された被処理水(処理水)はエジェクタ出口配管93
を介して排出される。
【0050】かくして、被処理水が水道水である場合に
はオゾン水が製造されることになり、被処理水がプール
水等の汚染水である場合にはオゾンによる被処理水中の
有害物質の酸化分解や殺菌等が行われて、被処理水が浄
化されることになる。つまり、オゾン処理装置81は、
具体的に被処理水が何であるかによって、オゾン水製造
装置やプール水処理装置等になる。
【0051】<作用・効果>以上のように、本実施の形
態4に係るオゾン処理装置81によれば、被処理水の全
部を冷却水として利用し、この冷却水を被処理水に戻す
よう構成したことにより、被処理水が冷却水としても有
効に活用され、同時に、冷却水の無駄がなくなるため、
効率のよい冷却ラインを実現することができ、また、冷
却水の廃棄ラインが不要となる。
【0052】しかも、被処理水はフィルタ94に通水し
た後に冷却水として利用するようにしたため、被処理水
中に粗ゴミ等が含まれていても、これらの粗ゴミ等をフ
ィルタ94で除去することができるため、粗ゴミ等によ
って冷却器84の冷却水路84aが目詰まりするのを防
止することができる。
【0053】なお、この実施の形態4のように、冷却水
を外部の冷却器84に通水する方式のものにおいても、
上記実施の形態2又は3と同様に、被処理水の一部を冷
却水として利用し、この冷却水を処理水又は被処理水に
戻すように構成することもできる。この場合には上記実
施の形態2又は3と同様の作用・効果が得られる。
【0054】また、上記実施の形態1、2、3、4で
は、被処理水の一部又は全部をオゾン発生装置の冷却水
として利用する場合について説明したが、被処理水とは
別の水を冷却水として用い、この冷却水を被処理水また
は処理水に戻すようにしてもよい。例えば、水道水を冷
却水として用い、この冷却水をプール水等の被処理水ま
たは処理水に戻すようにしてもよい。この場合にも、被
処理水を冷却水として利用はしないものの、従来のよう
な冷却水を廃棄する装置に比べて、冷却水の無駄がない
効率のよい冷却ラインを実現することができ、また、冷
却水の廃棄ラインが不要となる。
【0055】
【発明の効果】以上、発明の実施の形態と共に具体的に
説明したように、第1発明のオゾン処理装置は、オゾン
発生装置で発生したオゾンを被処理水に混合することに
よって、この被処理水をオゾン処理するオゾン処理装置
であって、オゾン発生装置を冷却した後の冷却水を、被
処理水に戻すよう構成したことを特徴とする。。
【0056】また、第2発明のオゾン処理装置は、オゾ
ン発生装置で発生したオゾンを被処理水に混合すること
によって、この被処理水をオゾン処理するオゾン処理装
置であって、オゾン発生装置を冷却した後の冷却水を、
オゾン処理された処理水に戻すよう構成したことを特徴
とする。
【0057】従って、上記第1または第2発明のオゾン
処理装置によれば、オゾン発生装置を冷却した後の冷却
水を、廃棄することなく被処理水または処理水に戻すた
め、冷却水の無駄がない効率のよい冷却ラインを実現す
ることができ、また、冷却水の廃棄ラインが不要とな
る。
【0058】また、第3発明のオゾン処理装置は、第1
発明のオゾン処理装置において、被処理水の全部をオゾ
ン発生装置の冷却水として利用するよう構成したことを
特徴とする。
【0059】また、第4発明のオゾン処理装置は、第1
発明のオゾン処理装置において、被処理水の一部をオゾ
ン発生装置の冷却水として利用し、この冷却水を、減圧
手段により減圧した後の被処理水に戻すよう構成したこ
とを特徴とする。
【0060】また、第5発明のオゾン処理装置は、第2
発明のオゾン処理装置において、被処理水の一部をオゾ
ン発生装置の冷却水として利用するよう構成したことを
特徴とする。
【0061】従って、上記第3、第4または第5発明の
オゾン処理装置によれば、被処理水の全部または一部を
オゾン発生装置の冷却水として利用し、この冷却水を被
処理水又は処理水に戻すため、被処理水が冷却水として
も有効に活用され、同時に、冷却水の無駄がなくなるた
め、より効率のよい冷却ラインを実現することができ、
また、冷却水の廃棄ラインが不要となる。
【0062】また、第6発明のオゾン処理装置は、第
3、第4または第5発明のオゾン処理装置において、オ
ゾン発生装置の冷却水として利用する被処理水は、フィ
ルタに通水した後に同冷却水として利用するよう構成し
たことを特徴とする。
【0063】従って、この第6発明のオゾン処理装置に
よれば、被処理水はフィルタに通水した後に冷却水とし
て利用するようにしたため、被処理水中に粗ゴミ等が含
まれていても、これらの粗ゴミ等をフィルタによって除
去することができるため、粗ゴミ等によって冷却水路が
目詰まりするのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1に係るオゾン処理装置の
構成図である。
【図2】前記オゾン処理装置に備えた電解槽の構成例を
示す断面図である。
【図3】本発明の実施の形態2に係るオゾン処理装置の
構成図である。
【図4】本発明の実施の形態3に係るオゾン処理装置の
構成図である。
【図5】本発明の実施の形態4に係るオゾン処理装置の
構成図である。
【図6】前記オゾン処理装置に備えた電解槽の構成例を
示す断面図である。
【図7】従来のオゾン水製造装置の概略構成図である。
【図8】従来の他のオゾン水製造装置の概略構成図であ
る。
【符号の説明】
31,61,71,81 オゾン処理装置 32,82 電解槽 33,92 エジェクタ 34,88 冷却水排出配管 35,86,89 オゾン排出配管 36,93 エジェクタ出口配管 37,87 冷却水供給配管 38,85 原料水供給配管 39,95 水素排出配管 40,94 フィルタ 51 被処理水供給配管 90 配管 91 原料水戻し配管

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 オゾン発生装置で発生したオゾンを被処
    理水に混合することによって、この被処理水をオゾン処
    理するオゾン処理装置であって、 オゾン発生装置を冷却した後の冷却水を、被処理水に戻
    すよう構成したことを特徴とするオゾン処理装置。
  2. 【請求項2】 オゾン発生装置で発生したオゾンを被処
    理水に混合することによって、この被処理水をオゾン処
    理するオゾン処理装置であって、 オゾン発生装置を冷却した後の冷却水を、オゾン処理さ
    れた処理水に戻すよう構成したことを特徴とするオゾン
    処理装置。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載するオゾン処理装置にお
    いて、 被処理水の全部をオゾン発生装置の冷却水として利用す
    るよう構成したことを特徴とするオゾン処理装置。
  4. 【請求項4】 請求項1に記載するオゾン処理装置にお
    いて、 被処理水の一部をオゾン発生装置の冷却水として利用
    し、この冷却水を、減圧手段により減圧した後の被処理
    水に戻すよう構成したことを特徴とするオゾン処理装
    置。
  5. 【請求項5】 請求項2に記載するオゾン処理装置にお
    いて、 被処理水の一部をオゾン発生装置の冷却水として利用す
    るよう構成したことを特徴とするオゾン処理装置。
  6. 【請求項6】 請求項3、4または5に記載するオゾン
    処理装置において、 オゾン発生装置の冷却水として利用する被処理水は、フ
    ィルタに通水した後に同冷却水として利用するよう構成
    したことを特徴とするオゾン処理装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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