JP2000057959A

JP2000057959A - 荷電粒子発生装置

Info

Publication number: JP2000057959A
Application number: JP22789398A
Authority: JP
Inventors: Kenichi Saito; 賢一斎藤
Original assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 1998-08-12
Filing date: 1998-08-12
Publication date: 2000-02-25

Abstract

(57)【要約】【課題】電子などの荷電粒子によるビームをより安定
して放出できるようにする．【解決手段】碍子１０５の固有抵抗ρ（Ωｍ）を、Ｓ
Ｖ^２／（１０Ｌ）≦ρ≦ＳＶ／（１０ＬＩ）で表される
範囲とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、電子ビーム露光
装置，走査型電子顕微鏡等に搭載する電子銃などの荷電
粒子を発生させる荷電粒子発生装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来の荷電粒子発生装置の一例として、
文献（K.Saito,J.Kato,N.Shimazu,andA.Shimizu,“A 1O
OkV Electron Gun for the X-Ray Mask Writer,EB-X2",
Proc.SPlE2858,p.2(1996)）に掲載されている電子銃を
図２に示す。この電子銃は、電子ビーム露光装置、走査
型電子顕微鏡等の電子銃として用いられている。その構
成について説明すると、まず、電子が放出されるエミッ
タ２０１を備えている。また、エミッタ２０１より電子
を引き出すための引き出し電極２０２を備えている。ま
た、引き出し電極２０２により引き出された電子の進行
方向に、その電子を加速するための陽極２０３が配置さ
れている。加えて、エミッタ２０１側面からの電子の放
出を抑えるためのウエネルト電極２０４を備えている。

【０００３】また、引き出し電極２０２と陽極２０３と
は、碍子２０５により絶縁分離されて固定配置されてい
る。また、引き出し電極２０２の電子が通り抜ける経路
には、ビーム制限アパーチャ２０６が設けられている。
また、陽極２０３の電子が通り抜ける経路には、クロス
オーバ制限アパーチャ２０７が設けられている。そし
て、引き出し電極２０２内部とその周囲とに磁界アライ
ナ２０８が筒状に設けられ、陽極２０３の電子通過領域
には、やはり筒状に静電アライナ２０９が配置されてい
る。

【０００４】この電子銃の動作について説明すると、ま
ず、エミッタ２０１の電位を基準にし、引き出し電極２
０２には１０ｋＶ，陽極２０３には１００ｋＶ，ウエネ
ルト電極２０４には約−１ｋＶの電圧を印加する。この
ことにより、エミッタ２０１から放出された電子は、引
き出し電極２０２により１０ｋＶに加速され、ビーム制
限アパーチャ２０６に到達する。ビーム制限アパーチャ
２０６には、直径３００μｍの円形の穴が開いている。
この穴を通過した電子が、陽極２０３によって１００ｋ
Ｖに加速され、クロスオーバ制限アパーチャ２０７に到
達する。クロスオーバ制限アパーチャ２０７には、直径
５０μｍの円形の穴が開いており、この穴を通過した電
子が電子銃外に出て、所期の目的に利用される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の荷電粒子発生装置では、例えば、クロスオーバ制限
アパーチャ２０７には電子が衝突するが、これにより、
クロスオーバ制限アパーチャ２０７から２次電子（後方
散乱電子を含む広義の２次電子）が発生する。図３は、
引き出し電極２０２−陽極２０３間の一部領域を拡大し
た断面図である。エミッタから放出された電子ビーム３
０１が、例えば、クロスオーバ制限アパーチャ２０７に
衝突することにより、クロスオーバ制限アパーチャ２０
７から２次電子が発生する。その２次電子は、軌跡３０
２のような軌道を通り、碍子２０５に衝突する。この衝
突により、碍子２０５から２次電子３０３が放出され、
碍子２０５の表面には正電荷３０４が形成される。

【０００６】碍子２０５は絶縁体で形成されているた
め、正電荷３０４は碍子２０５の表面に留まり続ける。
そして、その溜まっていく正電荷３０４の存在により、
碍子２０５付近の電位分布が変化し、これにともなって
クロスオーバ制限アパーチャ２０７から発生した２次電
子は、軌跡３０５のような軌道を通るようになる。これ
により、碍子２０５の表面において、正電荷３０４の位
置より上方の領域で、２次電子３０６および正電荷３０
７が生成されるようになる。また、エミッタから放出さ
れた電子ビームは、ビーム制限アパーチャにも衝突し、
ビーム制限アパーチャからも２次電子は発生する。この
２次電子は、例えば、図示していないが、ウエネルト電
極を支持して絶縁分離している碍子にも衝突することに
なる。そして、上述と同様であり、その碍子にも正電荷
が生成されることになる。

【０００７】このような原理で、正電荷が蓄積される碍
子２０５の表面領域が、時間とともに上方に拡大してい
く。そして、その正電荷の蓄積される領域が、引き出し
電極２０２，碍子２０５，および，真空領域３０８中に
おける接合点３０９に近づいてくると、接合点３０９に
かかる電界が増大する。この電界がある値を越えると、
電界放出現象により接合点３０９から電子が放出され、
碍子２０５の沿面放電を引き起こす。同様に、ウエネル
ト電極など、他の電極間を絶縁分離している碍子におい
ても、その沿面放電が引き起こされる。従来の荷電粒子
発生装置においては、その沿面放電により発生した多量
のイオンや電子が碍子に衝突し、これにより碍子表面や
碍子内部からガスが放出され、エミッタ付近の真空度が
劣化し、電子銃のビーム放出特性が不安定になるという
問題があった。

【０００８】この発明は、以上のような問題点を解消す
るためになされたものであり、電子などの荷電粒子によ
るビームをより安定して放出できるようにすることを目
的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明の荷電粒子発生
装置は、荷電粒子を放出するエミッタと、エミッタから
放出された荷電粒子を加速するための複数の電極と、電
極間を絶縁分離するための碍子とを備え、碍子が絶縁分
離している２つの電極間の方向の長さをＬメートル，碍
子の２つの電極間方向に垂直な面の断面積をＳ平方メー
トル，碍子の２つの電極間の電位差をＶボルト，碍子に
衝突してくる荷電粒子による電流をＩアンペア，また，
碍子の発熱量の上限をａワットとしたとき、碍子の固有
抵抗は、ＳＶ² ／（ａＬ）以上かつＳＶ／（１０ＬＩ）
以下であるようにした。以上のように構成したので、碍
子が接触している電極から碍子表面に電子が供給される
ようになる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下この発明の実施の形態を図を
参照して説明する。図１（ａ）は、この発明の実施の形
態における荷電粒子発生装置の一部構成を示す断面図で
ある。ここでは、電子銃を例にとり説明する。この実施
の形態１における電子銃は、電子ビーム露光装置，走査
型電子顕微鏡等に用いられている。その構成について説
明すると、まず、熱電子放出型のエミッタ１０１を備え
ている。また、一部がそのエミッタ１０１周囲を覆うよ
うに配置され、エミッタ１０１より電子を引き出すため
の筒状に形成された引き出し電極１０２を備えている。
また、中央部に電子が通過する孔が形成され、引き出し
電極１０２により引き出された電子を加速するための陽
極１０３を備えている。また、エミッタ１０１周囲を囲
うように配置され、エミッタ１０１側面からの熱電子を
カットするためのウエネルト電極１０４を備えている。

【００１１】また、引き出し電極１０２と陽極１０３と
は、碍子１０５により絶縁分離されて固定配置されてい
る。この碍子１０５は、引き出し電極１０２と陽極１０
３方向の長さＬ＝０．２ｍ、内直径０．１ｍ、外直径
０．１２ｍの円筒形状とした。この場合、碍子１０５の
断面積Ｓは３４５×１０^-3ｍ² となる。そして、この実
施の形態では、碍子１０５を、固有抵抗が１．０×１０
⁸ Ωｍであるアルミナで構成するようにした。また、引
き出し電極１０２の電子が通り抜ける経路には、ビーム
制限アパーチャ１０６が設けられている。このビーム制
限アパーチャ１０６により、まだあまり加速されていな
い電子の中より、電子ビームとして使用するもの以外の
余分な電子を取り除き、引き出し電極１０２に取り込む
ようにしている。

【００１２】また、陽極１０３の電子が通り抜ける経路
には、クロスオーバ制限アパーチャ１０７が設けられて
いる。そして、引き出し電極１０２内部とその周囲と
に、磁力線により電子の流れを制御する磁界アライナ１
０８が設けられている。この磁界アライナ１０８の一部
は、引き出し電極１０２内部に配置され、他の一部が、
この電子銃を格納している容器の外壁１１０の内壁面に
配置されている。また、陽極１０３の電子通過領域に
は、電界により電子の流れを制御する静電アライナ１０
９が、筒状に配置されている。

【００１３】以上の構成において、エミッタ１０１の電
位を基準にし、引き出し電極１０２には１０ｋＶ，陽極
１０３には１００ｋＶ，ウエネルト電極１０４には約−
１ｋＶの電圧を印加する。このことにより、エミッタ１
０１から放出された電子は、引き出し電極１０２により
１０ｋＶに加速され、ビーム制限アパーチャ１０６に到
達する。ビーム制限アパーチャ１０６には、直径３００
μｍの円形の穴が開いている。この穴を通過した電子
が、陽極１０３によって１００ｋＶに加速され、クロス
オーバ制限アパーチャ１０７に到達する。クロスオーバ
制限アパーチャ１０７は、厚さ２００μｍ程度のモリブ
デンからなる円板であり、中央部に直径５０μｍの円形
の穴が開いている。この穴を通過した電子が電子銃の外
に出て、ビーム電流２００μＡ程度の電子ビーム１１０
として所期の目的に利用される。

【００１４】以上示したように、この実施の形態では、
碍子１０５を半導電性の物質で形成するようにした。こ
のようにすることで、荷電粒子発生装置内で発生した２
次電子が碍子に衝突したことにより、結果として発生す
る碍子の沿面放電を防ぐことができる。これは、この実
施の形態では、碍子の固有抵抗をある程度下げたので、
電子が碍子中をある程度移動できるようになり、隣接し
た電極から十分な電子を供給できるからである。

【００１５】前述したように、放出された電子の量を制
限するビーム制限アパーチャ１０６やクロスオーバ制限
アパーチャ１０７には電子が衝突することになるので、
これらから２次電子（後方散乱電子を含む広義の２次電
子）が発生する。その２次電子は、例えば、碍子１０５
に衝突し、この衝突により、碍子１０５から２次電子が
放出され、碍子１０５の表面には正電荷が形成される。
そして、結果として碍子１０５に沿面放電を引き起こ
す。ここで、アルミナなどを用いた通常の碍子の２次電
子放出比は、最大でも１０であるので、碍子に衝突する
２次電子の電流をＩとし素電荷をｅとすると、最大で毎
秒（１０Ｉ）／ｅ個の正電荷が碍子表面に形成されるこ
とになる。

【００１６】従って、沿面放電を防ぐためには、その正
電荷を打ち消すよう、隣接した電極からその数以上の電
子を碍子に対して供給する必要がある。すなわち、碍子
に隣接する電極から碍子に流れる電流をＩ₀ とすると、
Ｉ₀ ／ｅ≧（１０Ｉ）／ｅすなわちＩ₀ ≧１０Ｉとなっ
ている必要がある。一方、碍子の電極間方向の長さをＬ
（ｍ），碍子の断面積をＳ（ｍ² ），碍子の両端（電極
間）にかかる電圧をＶ（Ｖ），碍子に入射する２次電子
の電流をＩ（Ａ），碍子の固有抵抗をρ（Ω）とする
と、Ｉ₀ ＝Ｖ／Ｒ＝ＳＶ／（ρＬ）である。従って、碍
子に発生した正電荷をうち消すためには、ＳＶ／（ρ
Ｌ）≧１０Ｉすなわち、ρ≦ＳＶ／（１０ＬＩ）・・・
（１）となっている必要がある。

【００１７】また、碍子の固有抵抗が小さすぎると、碍
子に流れる電流が大きくなり、碍子が発熱する。この発
熱により、碍子からガスが放出され、新たな放電の原因
になる。このため、例えば、碍子の発熱は１０ワット以
下に抑える必要がある。なお、この碍子の発熱量の許容
値は、荷電粒子発生装置の形態により変化する。ここ
で、碍子の両端の抵抗Ｒ＝ρＬ／Ｓなので、碍子の発熱
量は、発熱量Ｗ＝Ｉ₀ Ｖ＝Ｖ² ／Ｒ＝ＳＶ² ／（ρＬ）
となる。すなわち、碍子の固有抵抗ρと碍子の発熱量Ｗ
との関係は、ρ＝Ｖ² Ｓ／（ＷＬ）となる。従って、碍
子の発熱量を、例えば１０ワット以下に抑えるために
は、ρ≧ＳＶ² ／（ＷＬ）・・・（２）となっている必
要がある。

【００１８】以上の式（１）と式（２）より、電子銃の
ビーム放出特性を安定にするためには、碍子の固有抵抗
ρ（Ωｍ）は、次の（３）式で表される範囲にある必要
がある。ただし、以下の式（３）では、碍子の発熱量を
１０ワット以下に抑える必要があるものとしている。ＳＶ²／（１０Ｌ）≦ρ≦ＳＶ／（１ＯＬＩ）・・・（３）この実施の形態ではこの点に着目し、固有抵抗が式
（３）の範囲にある物質で碍子を形成することにより、
沿面放電の発生を抑え、安定な荷電粒子の放出特性を実
現するものである。なお、碍子の発熱量の上限をａワッ
トとすれば、碍子の固有抵抗ρは以下の式（４）で示さ
れる範囲にあればよい。ＳＶ²／（ａＬ）≦ρ≦ＳＶ／（１０ＬＩ）・・・（４）

【００１９】前述したように、この実施の形態における
電子銃に用いた碍子１０５は、電極間方向の長さＬ＝
０．２ｍ、内直径０．１ｍ、外直径０．１２ｍの円筒形
状であり、碍子１０５の断面積Ｓは３４５×１０^-3ｍ²
である。また、碍子１０５の電位差は９０ｋＶであり、
そして、ビーム電流の約０．５％程度にあたる１μＡの
２次電子が、クロスオーバ制限アパーチャ１０７で反射
し、軌跡１１１の軌道で碍子１０５に衝突してくる。こ
れらの値を式（３）に代入すると、碍子１０５の固有抵
抗は、次式で示す範囲となっていればよい。１．４×１０⁷Ωｍ≦ρ≦１．６×１０⁸Ωｍ・・・（５）そして、この実施の形態では、この式（５）を満足する
ように、固有抵抗が１．０×１０⁸ Ωｍであるアルミナ
で碍子１０５を構成するようにした。

【００２０】図１（ａ）に示すように、エミッタ１０１
から放出された電子ビーム１１０がクロスオーバ制限ア
パーチャ１０７に衝突することにより、クロスオーバ制
限アパーチャ１０７から２次電子が発生する。そして、
この２次電子は軌跡１１１の軌道を通って、碍子１０５
に衝突する。この衝突により、２次電子１１２が碍子１
０５から放出され、碍子１０５の表面には正電荷１１３
が形成される。この実施の形態では、引き出し電極１０
２から陽極１０３に向かって、１秒間に２．８×１０¹⁶
個／ｍ² の電子が碍子１０５中を移動している。その中
の一部の電子１１４が正電荷１１３に引き寄せられ、正
電荷１１３の作る電界を打ち消す。このため、正電荷が
蓄積される碍子１０５の表面領域は、上方に拡大してい
かない。

【００２１】これにより、引き出し電極１０２、碍子１
０５、および真空領域１２１側の接合点１２２にかかる
電界は、沿面放電を引き起こす値より十分小さい値を維
持しつづける。以上述べてきたように、この実施の形態
では、碍子１０５を半導電性の物質で形成することによ
り、電子銃内で発生した２次電子が碍子１０５に衝突し
た際に生じる正電荷１１３を、その碍子１０５に隣接す
る引き出し電極１０２から供給される電子１１４により
打ち消すので、碍子１０５の沿面放電を防ぐことができ
る。これにより、安定な電子ビーム放出特性を実現する
ことができる。

【００２２】ところで、荷電粒子発生装置としては、上
述した熱電子放出型に限らず、図１（ｂ）に模式的に示
す電界放出型の電子銃もある。この電子銃は、エミッタ
１２１が碍子１２２を介して電極１２３に支えられてい
る。また、引き出し電極１２４は、碍子１２５により電
極１２３と絶縁分離されている。そして、電子は、引き
出し電極１２４のビーム制限アパーチャ１２６を通過し
ていく。このような、電界放出型の電子銃では、ウエネ
ルト電極は用いていない。

【００２３】このような電子銃においても、ビーム制限
アパーチャ１２６に電子が衝突することで２次電子が発
生し、この２次電子が、碍子１２２や碍子１２５に衝突
することになる。そして、その結果、沿面放電を引き起
こすことになる。しかし、碍子１２２，１２５に、前述
したように、式（４）を満たす固有抵抗値をもつ材料を
用いれば、その沿面放電の発生を防ぐことができる。こ
のように、碍子の個数が２個以上の場合でも本発明は成
り立つ。

【００２４】なお、上記実施の形態では、碍子をアルミ
ナで構成するようにしたが、これに限るものではなく、
式（４）を満たす固有抵抗を持つ物質であれば、アルミ
ナ以外の物質で碍子を形成してもよいことはいうまでも
ない。また、上記実施の形態では、エミッタから放出さ
れる荷電粒子が電子の場合を例にとって説明してきた
が、カリウムイオン等、電子以外の荷電粒子の場合でも
本発明は成り立つ。例えば、前述したエミッタをイオン
源に置き換えれば、電子以外の荷電粒子を発生する装置
となる。このイオン中の場合においても、アパーチャや
電極などに荷電粒子（イオン）が衝突すれば、荷電粒子
の衝突によってエネルギーを受けて、それらの内部にあ
る電子が外部に放出されることで、２次電子が発生す
る。そして、その２次電子が碍子に衝突することで、や
はり沿面放電が発生する。しかし、碍子に、式（４）を
満たす固有抵抗を持つ物質を用いれば、沿面放電の発生
を防ぐことができる。

【００２５】

【発明の効果】以上説明したように、この発明では、荷
電粒子を放出するエミッタと、エミッタから放出された
荷電粒子を加速するための複数の電極と、電極間を絶縁
分離するための碍子とを備え、碍子が絶縁分離している
２つの電極間の方向の長さをＬメートル，碍子の２つの
電極間方向に垂直な面の断面積をＳ平方メートル，碍子
の２つの電極間の電位差をＶボルト，碍子に衝突してく
る荷電粒子による電流をＩアンペア，また，碍子の発熱
量の上限をａワットとしたとき、碍子の固有抵抗は、Ｓ
Ｖ² ／（ａＬ）以上かつＳＶ／（１０ＬＩ）以下である
ようにした。

【００２６】以上のように構成したので、碍子表面に隣
接している電極から電子が供給されるようになる。従っ
て、碍子表面に２次電子が衝突したことなどにより発生
する正電荷の電界を、その供給される電子によりうち消
すことができるようになる。この結果、この発明によれ
ば、碍子表面に発生する正電荷の電界による沿面放電を
抑制できるので、電子などの荷電粒子によるビームをよ
り安定して放出できるようになるという効果を有してい
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態における荷電粒子発生
装置の一部構成を示す断面図である。

【図２】従来よりある荷電粒子発生装置である電子銃
の構成を示す断面図である。

【図３】図２の電子銃の一部を拡大して示す断面図で
ある。

【符号の説明】

１０１…エミッタ、１０２…引き出し電極、１０３…陽
極、１０４…ウエネルト電極、１０５…碍子、１０６…
ビーム制限アパーチャ、１０７…クロスオーバ制限アパ
ーチャ、１０８…磁界アライナ、１０９…静電アライ
ナ、１１０…電子ビーム、１１１…軌跡、１１２…２次
電子、１１３…正電荷、１１４…電子、１２１…真空領
域、１２２…接合点。

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１０年８月１４日（１９９８．８．１
４）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１８】以上の式（１）と式（２）より、電子銃の
ビーム放出特性を安定にするためには、碍子の固有抵抗
ρ（Ωｍ）は、次の（３）式で表される範囲にある必要
がある。ただし、以下の式（３）では、碍子の発熱量を
１０ワット以下に抑える必要があるものとしている。ＳＶ^２／（１０Ｌ）≦ρ≦ＳＶ／（１０ＬＩ）・・・（３）この実施の形態ではこの点に着目し、固有抵抗が式
（３）の範囲にある物質で碍子を形成することにより、
沿面放電の発生を抑え、安定な荷電粒子の放出特性を実
現するものである。なお、碍子の発熱量の上限をａワッ
トとすれば、碍子の固有抵抗ρは以下の式（４）で示さ
れる範囲にあればよい。ＳＶ^２／（ａＬ）≦ρ≦ＳＶ／（１０ＬＩ）・・・（４）

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２１】これにより、引き出し電極１０２、碍子１
０５、および真空領域１１５側の接合点１１６にかかる
電界は、沿面放電を引き起こす値より十分小さい値を維
持しつづける。以上述べてきたように、この実施の形態
では、碍子１０５を半導電性の物質で形成することによ
り、電子銃内で発生した２次電子が碍子１０５に衝突し
た際に生じる正電荷１１３を、その碍子１０５に隣接す
る引き出し電極１０２から供給される電子１１４により
打ち消すので、碍子１０５の沿面放電を防ぐことができ
る。これにより、安定な電子ビーム放出特性を実現する
ことができる。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２４】なお、上記実施の形態では、碍子をアルミ
ナで構成するようにしたが、これに限るものではなく、
式（４）を満たす固有抵抗を持つ物質であれば、アルミ
ナ以外の物質で碍子を形成してもよいことはいうまでも
ない。また、上記実施の形態では、エミッタから放出さ
れる荷電粒子が電子の場合を例にとって説明してきた
が、ガリウムイオン等、電子以外の荷電粒子の場合でも
本発明は成り立つ。例えば、前述したエミッタをイオン
源に置き換えれば、電子以外の荷電粒子を発生する装置
となる。このイオン銃の場合においても、アパーチャや
電極などに荷電粒子（イオン）が衝突すれば、荷電粒子
の衝突によってエネルギーを受けて、それらの内部にあ
る電子が外部に放出されることで、２次電子が発生す
る。そして、その２次電子が碍子に衝突することで、や
はり沿面放電が発生する。しかし、碍子に、式（４）を
満たす固有抵抗を持つ物質を用いれば、沿面放電の発生
を防ぐことができる。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図面の簡単な説明

【補正方法】変更

【補正内容】

【図面の簡単な説明】

【符号の説明】１０１…エミッタ、１０２…引き出し電極、１０３…陽
極、１０４…ウエネルト電極、１０５…碍子、１０６…
ビーム制限アパーチャ、１０７…クロスオーバ制限アパ
ーチャ、１０８…磁界アライナ、１０９…静電アライ
ナ、１１０…電子ビーム、１１１…軌跡、１１２…２次
電子、１１３…正電荷、１１４…電子、１１５…真空領
域、１１６…接合点。

【手続補正６】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】荷電粒子を放出するエミッタと、前記エミッタから放出された前記荷電粒子を加速するた
めの複数の電極と、前記電極間を絶縁分離するための碍子とを備え、前記碍子が絶縁分離している２つの電極間の方向の長さ
をＬメートル，前記碍子の前記２つの電極間方向に垂直
な面の断面積をＳ平方メートル，前記碍子の前記２つの
電極間の電位差をＶボルト，前記碍子に衝突してくる荷
電粒子による電流をＩアンペア，また，前記碍子の発熱
量の上限をａワットとしたとき、前記碍子の固有抵抗は、ＳＶ² ／（ａＬ）以上かつＳＶ
／（１０ＬＩ）以下であることを特徴とする荷電粒子発
生装置。