JP2000057585A - 対物レンズの取付位置モニタ装置および対物レンズの取付位置調整方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 対物レンズの傾きを高い精度で傾き調整でき
る調整装置を簡便に構築することは困難である。 【解決手段】 レーザ１からの光はビームスプリッタ２
を経て集束レンズ３に至る。集束レンズ３は、集束ビー
ムを対物レンズ２０に照射する。対物レンズ２０の周辺
部分で反射された光はビームスプリッタ２で９０゜偏光
され４分割センサ４に入射する。４分割センサ４に入射
した光は電気信号に変換され演算回路５に入力される。
集束光学系からの光が対物レンズ２０の水平な周辺部分
にランディングしている場合には、４分割センサ４の全
体に強度の強い光が入射する。その状態で、演算回路５
は、４分割センサ４を構成する各センサａ，ｂ，ｃ，ｄ
の出力にもとづいて、対物レンズホルダ２１の傾きの方
向と程度を認識できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク装置に
おいて、対物レンズの光ヘッドに対する取り付け傾きを
調整するために使用される対物レンズ傾きモニタ装置お
よび対物レンズの取付位置調整方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】光ディスク装置において、対物レンズの
性能として、光ディスクに照射される集束ビームのスポ
ット径を小さくして回折現象を用いて光ディスク上の記
録マークを検出する必要から、回折限界性能が要求され
る。例えば、対物レンズアクチュエータ（対物レンズホ
ルダ）に対物レンズを取り付ける際に取り付け傾きが生
ずると、対物レンズに対して光軸傾きが生ずるので、コ
マ収差や非点収差等の波面収差が大きな値になる。その
結果、集束ビームを回折限界まで絞り込むことができな
くなる。また、開口数が大きくなると波面収差の増加量
ΔＷも大きくなるので、開口数が大きいほど、対物レン
ズの傾き調整を厳密に行わなくてはならない。

【０００３】回折限界性能満足されないと、十分なビッ
トエラーレート（ＢＥＲ）が確保される記録再生を行う
ことができない。相変化光ディスク装置において、ＢＥ
Ｒを３×（１０の（−５）乗）以下にしたい場合には、
例えば、対物レンズの傾きを±０．１度以下にする必要
がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】対物レンズの傾きを±
０．１度以下に調整するには、０．０１度程度のオーダ
で傾き調整を行うことができる調整装置を用いることが
望ましい。しかし、そのような高い精度で傾き調整でき
る調整装置を簡便に構築することは困難である。

【０００５】そこで、本発明は、簡易な構成によって、
高い精度で対物レンズの取り付け傾きを調整することが
できる対物レンズ傾きモニタ装置および対物レンズ傾き
調整方法を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明による対物レンズ
傾きモニタ装置は、集束ビームを対物レンズに照射する
集束光学系と、集束ビームの照射位置を対物レンズの周
辺部分に位置合わせする集束ビーム位置調整手段と、対
物レンズの周辺部分からの反射光にもとづいて対物レン
ズの傾きを示す情報を出力する傾きモニタ手段とを備え
たものである。

【０００７】対物レンズ傾きモニタ装置は、２系統の集
束光学系を備え、傾きモニタ手段が、各反射光にもとづ
く対物レンズの傾きを示す各情報の平均値を出力するよ
うに構成されていてもよい。また、２系統の集束光学系
が、対物レンズの中心から周辺に向かう方向で９０゜異
なる位置に設置されている構成であってもよい。

【０００８】対物レンズ傾きモニタ装置は、集束ビーム
位置調整手段が、対物レンズを含む光ヘッドを載置する
Ｘ−Ｙステージと、対物レンズの周辺部分からの反射光
を受光する４分割センサと、４分割センサの出力にもと
づいて集束ビーム照射位置の対物レンズ周辺部分からの
ずれを示す情報を出力するずれ量出力手段とを含む構成
であってもよい。

【０００９】対物レンズ傾きモニタ装置は、傾きモニタ
手段が、対物レンズの周辺部分からの反射光を受光する
４分割センサと、４分割センサの出力にもとづいて対物
レンズの傾きを示す情報を出力する傾き情報出力手段と
を含む構成であってもよい。

【００１０】本発明による対物レンズの取付位置調整方
法は、集束ビームを対物レンズの周辺部分に照射し、対
物レンズの周辺部分からの反射光を受光し、受光した光
にもとづいて対物レンズの傾きを示す情報を得て、得ら
れた情報に応じて対物レンズホルダの傾きを調整するよ
うに構成される。

【００１１】対物レンズの取付位置調整方法は、集束ビ
ームを対物レンズの周辺部分に照射する際に、対物レン
ズの中心から周辺に向かう方向で９０゜異なる位置に集
束ビームを照射し、受光した光にもとづいて対物レンズ
の傾きを示す情報を得る際に、各反射光を受光した光に
よる信号の平均値にもとづいて対物レンズの傾きを示す
情報を得るように構成されていてもよい。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は、本発明による対物レンズ
傾きモニタ装置の第１の実施の形態を光ヘッドとともに
示すブロック図である。図１に示すように、調整対象の
光ヘッドはＸ−Ｙステージ３０に載置される。対物レン
ズ傾きモニタ装置において、レーザ１からの光はビーム
スプリッタ２を経て集束レンズ３に至る。集束レンズ３
は、集束ビームを対物レンズ２０の周辺部分に照射す
る。対物レンズ２０の周辺部分で反射された光はビーム
スプリッタ２で９０゜偏光され４分割センサ４に入射す
る。４分割センサ４に入射した光は電気信号に変換され
演算回路５に入力される。以下、レーザ１、ビームスプ
リッタ２および集束レンズ３を集束光学系という。

【００１３】図２は、光ヘッド部分を示す斜視図であ
る。光ヘッドにおいて、対物レンズ２０を保持する対物
レンズホルダ２１は、ワイヤ２５によって移動可能に構
成されている。対物レンズホルダ２１は、固定部材２３
を介して光学系２４に固定される。光学系２４には、光
ディスクへの照射光の光源となるレーザやミラー等が収
納されている。光ディスク駆動装置の稼働時には、対物
レンズホルダ２１は、トラッキングコイルおよびフォー
カスコイル（図示せず）によって、各矢印方向に運動す
る。

【００１４】次に、動作について説明する。ガラスモー
ルドまたはプラスチックモールドによる対物レンズ２０
を保持する対物レンズホルダ２１に光学系２４に対する
傾きがあると、対物レンズ２０から光ディスクに光が垂
直に照射されない。そのような場合に、波面収差が大き
な値になることはすでに述べた。対物レンズ２０の周辺
部分には、型成形の都合上および取り付けの都合上、
０．１〜０．２ｍｍ程度の幅の水平部分が存在する。本
発明によれば、その部分を利用して、対物レンズホルダ
２１の傾き調整を行うことができる。

【００１５】まず、Ｘ−ＹステージをＸ方向またはＹ方
向に移動させながら、集束光学系からの光を、対物レン
ズ２０の水平な周辺部分にランディングさせる。集束光
学系からの光が対物レンズ２０の周辺部分にランディン
グしている場合には、４分割センサ４には、例えば、図
３（Ａ）または図３（Ｃ）に示すように、対物レンズ２
０からの反射光が入射する。なお、図３（Ａ）は対物レ
ンズホルダ２１に傾きがない場合、図３（Ｃ）は対物レ
ンズホルダ２１に傾きがある場合の例である。集束光学
系からの光が対物レンズ２０の周辺部分にランディング
していない場合には、対物レンズ２０の湾曲部分で集束
ビームが反射されたり、反射光が入射しなかったりする
ので、例えば、図３（Ｂ）に示すように、４分割センサ
４には、反射光はほとんど入射しない。

【００１６】よって、対物レンズホルダ２１に傾きがあ
ってもなくても、集束光学系からの光が対物レンズ２０
の周辺部分にランディングしている場合には、４分割セ
ンサ４の全体に強度の強い光が入射する。演算回路５
は、４分割センサ４を構成する各センサａ，ｂ，ｃ，ｄ
の出力を加算し、加算値が大きな値を示す場合には、ラ
ンディングしていると判断できる。また、加算値が小さ
な値を示す場合には、ランディングしていないと判断で
きる。さらに、各センサａ，ｂ，ｃ，ｄの出力の大小関
係に応じて、集束光学系からの光が対物レンズ２０の周
辺部分にランディングするには、Ｘ−Ｙステージ３０を
どの方向に移動させればよいかわかる。

【００１７】そこで、演算回路５は、Ｘ−Ｙステージ３
０をどの方向に移動させるべきかを示す信号を出力す
る。その信号に応じて、Ｘ−Ｙステージ３０は、自動的
にまたは人手によって移動させられる。

【００１８】集束光学系からの光が対物レンズ２０の周
辺部分にランディングすると、すなわち、各センサａ，
ｂ，ｃ，ｄの出力の加算値が大きな値を示すと、演算回
路５は、４分割センサ４を構成する各センサａ，ｂ，
ｃ，ｄの出力にもとづいて、対物レンズホルダ２１の傾
きの方向と程度を認識できる。例えば、［（ａ出力＋ｂ
出力）−（ｃ出力＋ｄ出力）］と［（ａ出力＋ｄ出力）
−（ｂ出力＋ｃ出力）］とがともに０であるならば、傾
きはないと判断できる。

【００１９】また、いずれかが０でなければ、対物レン
ズホルダ２１は、光ディスクの半径方向または接線方向
に傾いていると判断でき、いずれも０でなければ、半径
方向および接線方向に傾いていると判断できる。ここ
で、集束光学系と対物レンズ２０との位置関係によって
異なるが、例えば、［（ａ出力＋ｂ出力）−（ｃ出力＋
ｄ出力）］が光ディスクの半径方向の傾きに対応し、
［（ａ出力＋ｄ出力）−（ｂ出力＋ｃ出力）］が光ディ
スクの接線方向の傾きに対応する。

【００２０】演算回路５を、傾きの方向と程度を出力す
るように構成すれば、その出力に従って固定部材２３の
取り付け調整を行うことによって、対物レンズホルダ２
１の傾きを調整することができる。すなわち、演算回路
５が傾き無しに応じた出力を行うように、対物レンズホ
ルダ２０および光学系２４を固定している固定部材２３
の取り付け調整を行う。演算回路５が傾き無しに応じた
出力を行ったということは、固定部材２３の取り付け調
整の結果、対物レンズホルダ２１の傾きがなくなったこ
とを意味する。なお、図２には示されていないが、固定
部材２３には、調整のためのねじ等が設けられている。

【００２１】以上のように、この実施の形態では、４分
割センサ４の出力にもとづいて、集束光学系からの光が
対物レンズ２０の周辺部分にランディングするようにＸ
−Ｙステージ３０の位置調整を行う。集束ビームが対物
レンズ２０の周辺部分にランディングしたら、４分割セ
ンサ４の出力にもとづいて、対物レンズホルダ２０の傾
きの程度が検出される。そして、検出結果に応じて、対
物レンズホルダ２０の傾き調整が行われる。この方法に
よれば、対物レンズ２０の傾き調整を±０．０１度程度
の精度で行うことができ、一般的な厚さ０．６ｍｍの光
ディスクおよび開口数０．６の対物レンズ２０に対して
十分な傾き調整を行うことができる。

【００２２】図４は、本発明の第２の実施の形態を示す
ブロック図である。この実施の形態では、２つの集束光
学系が用いられる。両者は、それぞれ、集束ビームが対
物レンズ２０の周辺にランディング可能な位置に設置さ
れる。第２の集束光学系を構成するレーザ１Ｂ、ビーム
スプリッタ２Ｂおよび集束レンズ３Ｂ、４分割センサ４
Ｂならびに演算回路５Ｂは、第１の集束光学系を構成す
るレーザ１、ビームスプリッタ２および集束レンズ３、
４分割センサ４ならびに演算回路５と同様に動作する。

【００２３】この実施の形態では、２つの演算回路５，
５Ｂの出力が、平均回路６に入力される。平均回路６
は、２つの演算回路５，５Ｂの出力の平均をとって、Ｘ
−Ｙステージ３０をどの方向に移動させるべきかを示す
信号、および、対物レンズホルダ２０の傾きの方向と程
度を示す信号を出力する。よって、平均回路６の出力に
もとづいて、集束光学系からの光の対物レンズ２０の周
辺部分へのランディング処理と、対物レンズ２０の傾き
調整とを行うことができる。

【００２４】従って、この実施の形態では、２つの調整
モニタ系（レーザ１，１Ｂ〜演算回路５，５Ｂまで）が
出力する傾きの平均値にもとづいて対物レンズ２０の傾
き調整を行うことができる。２箇所における傾きの値に
もとづいて調整が行われるので、調整の精度が向上す
る。

【００２５】図５は、本発明の第３の実施の形態を示す
ブロック図である。第２の実施の形態では２つの集束光
学系が設けられていたが、図６に示すように、２つの集
束光学系を、対物レンズ２０の周辺において、対物レン
ズ２０の中心から周辺に向かう方向で９０゜異なる位置
に設置してもよい。２つの集束光学系をそのような位置
関係に設定すれば、別地点における対物レンズホルダ２
１の光ディスクの半径方向または接線方向の傾きを検出
でき、検出された平均値にもとづいて傾き調整を行うこ
とができる。よって、調整の精度がさらに向上する。な
お、動作については、第２の実施の形態の場合と同様で
ある。

【００２６】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、対物レン
ズ傾きモニタ装置を、集束ビームの照射位置を対物レン
ズの周辺部分に位置合わせする集束ビーム位置調整手段
と、対物レンズの周辺部分からの反射光にもとづいて対
物レンズの傾きを示す情報を出力する傾きモニタ手段と
を備えた構成にしたので、高い精度で対物レンズの取り
付け傾きを調整することができる効果がある。

【００２７】２系統の集束光学系を備え、傾きモニタ手
段が、各反射光にもとづく対物レンズの傾きを示す各情
報の平均値を出力するように構成されている場合には、
より高い精度で対物レンズの傾き調整を行うことができ
る。また、２系統の集束光学系が、対物レンズの中心か
ら周辺に向かう方向で９０゜異なる位置に設置されてい
る場合には、さらに高い精度で対物レンズの傾き調整を
行うことができる。

【００２８】集束ビーム位置調整手段が、対物レンズを
含む光ヘッドを載置するＸ−Ｙステージと、対物レンズ
の周辺部分からの反射光を受光する４分割センサと、４
分割センサの出力にもとづいて集束ビーム照射位置の対
物レンズ周辺部分からのずれを示す情報を出力するずれ
量出力手段とを含むように構成されている場合には、簡
単な構成によって、集束ビームを所望の位置にランディ
ングさせることができる。

【００２９】傾きモニタ手段が、対物レンズの周辺部分
からの反射光を受光する４分割センサと、４分割センサ
の出力にもとづいて対物レンズの傾きを示す情報を出力
する傾き情報出力手段とを含むように構成されている場
合には、簡単な構成によって、対物レンズの取り付け傾
きの程度を知ることができる。

【００３０】本発明によれば、対物レンズの取付位置調
整方法が、集束ビームを対物レンズの周辺部分に照射
し、対物レンズの周辺部分からの反射光を受光し、受光
した光にもとづいて対物レンズの傾きを示す情報を得
て、得られた情報に応じて対物レンズホルダの傾きを調
整するように構成されているので、高い精度で対物レン
ズの取り付け傾きを調整することができる効果がある。

【００３１】集束ビームを対物レンズの周辺部分に照射
する際に、対物レンズの中心から周辺に向かう方向で９
０゜異なる位置に集束ビームを照射し、受光した光にも
とづいて対物レンズの傾きを示す情報を得る際に、各反
射光を受光した光による信号の平均値にもとづいて対物
レンズの傾きを示す情報を得るように構成されている場
合には、さらに高い精度で対物レンズの傾き調整を行う
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施の形態を示すブロック図
である。

【図２】 光ヘッド部分を示す斜視図である。

【図３】 ４分割センサの入射光の例を示す説明図であ
る。

【図４】 本発明の第２の実施の形態を示すブロック図
である。

【図５】 本発明の第３の実施の形態を示すブロック図
である。

【図６】 ２つの集束光学系の位置関係を示す説明図で
ある。

【符号の説明】

１，１Ｂ レーザ（集束光学系） ２，２Ｂ ビームスプリッタ（集束光学系） ３，３Ｂ 集束レンズ（集束光学系） ４，４Ｂ ４分割センサ（集束ビーム位置調整手段、傾
きモニタ手段） ５，５Ｂ 演算回路（集束ビーム位置調整手段、傾きモ
ニタ手段、傾き情報出力手段、ずれ量出力手段） ６ 平均回路（集束ビーム位置調整手段、傾きモニタ
手段、傾き情報出力手段、ずれ量出力手段） ２０ 対物レンズ ２１ 対物レンズホルダ ２３ 固定部材 ２４ 光学系 ２５ ワイヤ ３０ Ｘ−Ｙステージ（集束ビーム位置調整手段）

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１１年８月５日（１９９９．８．５）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００３

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００３】回折限界性能が満足されないと、十分なビ
ットエラーレート（ＢＥＲ）が確保される記録再生を行
うことができない。相変化光ディスク装置において、Ｂ
ＥＲを３×（１０の（−５）乗）以下にしたい場合に
は、例えば、対物レンズの傾きを±０．１度以下にする
必要がある。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００６

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明による対物レンズ
傾きモニタ装置は、集束ビームを対物レンズに照射する
２系統の集束光学系と、集束ビームの照射位置を対物レ
ンズにおける周辺部分に位置合わせする集束ビーム位置
調整手段と、対物レンズの周辺部分からの反射光にもと
づいて対物レンズの傾きを示す情報を出力する傾きモニ
タ手段とを備え、２系統の集束光学系が、対物レンズの
中心から周辺に向かう方向で９０゜異なる位置に設置さ
れているものである。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００７

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００７】対物レンズ傾きモニタ装置は、傾きモニタ
手段が、各反射光にもとづく対物レンズの傾きを示す各
情報の平均値を出力するように構成されていてもよい。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１０】本発明による対物レンズの取付位置調整方
法は、集束ビームを対物レンズにおける周辺部分に照射
し、対物レンズの周辺部分からの反射光を受光し、受光
した光にもとづいて対物レンズの傾きを示す情報を得
て、得られた情報に応じて対物レンズホルダの傾きを調
整するように構成され、集束ビームを対物レンズの周辺
部分に照射する際に、対物レンズの中心から周辺に向か
う方向で９０゜異なる位置に集束ビームを照射し、受光
した光にもとづいて対物レンズの傾きを示す情報を得る
際に、各反射光を受光した光による信号の平均値にもと
づいて対物レンズの傾きを示す情報を得るように構成さ
れる。

【手続補正６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１１

【補正方法】削除

【手続補正７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１２

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は、本発明による対物レンズ
傾きモニタ装置の第１の実施の形態を光ヘッドとともに
示すブロック図である。図１に示すように、調整対象の
光ヘッドはＸ−Ｙステージ３０に載置される。対物レン
ズ傾きモニタ装置において、レーザ１からの光はビーム
スプリッタ２を経て集束レンズ３に至る。集束レンズ３
は、集束ビームを対物レンズ２０の周辺部分に照射す
る。対物レンズ２０の周辺部分で反射された光はビーム
スプリッタ２で９０゜偏向され４分割センサ４に入射す
る。４分割センサ４に入射した光は電気信号に変換され
演算回路５に入力される。以下、レーザ１、ビームスプ
リッタ２および集束レンズ３を集束光学系という。

【手続補正８】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２６】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、対物レン
ズ傾きモニタ装置を、集束ビームの照射位置を対物レン
ズにおける周辺部分に位置合わせする集束ビーム位置調
整手段と、対物レンズの周辺部分からの反射光にもとづ
いて対物レンズの傾きを示す情報を出力する傾きモニタ
手段とを備え、集束ビームを対物レンズに照射する２系
統の集束光学系が、対物レンズの中心から周辺に向かう
方向で９０゜異なる位置に設置されている構成にしたの
で、高い精度で対物レンズの取り付け傾きを調整するこ
とができる効果がある。

【手続補正９】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２７

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２７】傾きモニタ手段が、各反射光にもとづく対
物レンズの傾きを示す各情報の平均値を出力するように
構成されている場合には、より高い精度で対物レンズの
傾き調整を行うことができる。

【手続補正１０】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３０】本発明によれば、対物レンズの取付位置調
整方法が、集束ビームを対物レンズにおける周辺部分に
照射する際に、対物レンズの中心から周辺に向かう方向
で９０゜異なる位置に集束ビームを照射し、受光した光
にもとづいて対物レンズの傾きを示す情報を得る際に、
各反射光を受光した光による信号の平均値にもとづいて
対物レンズの傾きを示す情報を得るように構成されてい
るので、高い精度で対物レンズの取り付け傾きを調整す
ることができる効果がある。

【手続補正１１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３１

【補正方法】削除

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光ディスク装置における対物レンズの傾
   き調整を行う際に用いられる対物レンズの取付位置モニ
   タ装置であって、 集束ビームを対物レンズに照射する集束光学系と、 前記集束ビームの照射位置を対物レンズの周辺部分に位
   置合わせする集束ビーム位置調整手段と、 対物レンズの周辺部分からの反射光にもとづいて対物レ
   ンズの傾きを示す情報を出力する傾きモニタ手段とを備
   えたことを特徴とする対物レンズの取付位置モニタ装
   置。
2. 【請求項２】 ２系統の集束光学系を備え、 傾きモニタ手段は、各反射光にもとづく対物レンズの傾
   きを示す各情報の平均値を出力する請求項１記載の対物
   レンズの取付位置モニタ装置。
3. 【請求項３】 ２系統の集束光学系は、対物レンズの中
   心から周辺に向かう方向で９０゜異なる位置に設置され
   ている請求項２記載の対物レンズの取付位置モニタ装
   置。
4. 【請求項４】 集束ビーム位置調整手段は、 対物レンズを含む光ヘッドを載置するＸ−Ｙステージ
   と、 対物レンズの周辺部分からの反射光を受光する４分割セ
   ンサと、 前記４分割センサの出力にもとづいて集束ビーム照射位
   置の対物レンズ周辺部分からのずれを示す情報を出力す
   るずれ量出力手段とを含む請求項１、２または３記載の
   対物レンズの取付位置モニタ装置。
5. 【請求項５】 傾きモニタ手段は、 対物レンズの周辺部分からの反射光を受光する４分割セ
   ンサと、 前記４分割センサの出力にもとづいて対物レンズの傾き
   を示す情報を出力する傾き情報出力手段とを含む請求項
   １、２、３または４記載の対物レンズの取付位置モニタ
   装置。
6. 【請求項６】 光ディスク装置における対物レンズの傾
   き調整を行う対物レンズの取付位置調整方法において、 集束ビームを対物レンズの周辺部分に照射し、 対物レンズの周辺部分からの反射光を受光し、 受光した光にもとづいて対物レンズの傾きを示す情報を
   得て、 得られた情報に応じて対物レンズホルダの傾きを調整す
   ることを特徴とする対物レンズの取付位置調整方法。
7. 【請求項７】 集束ビームを対物レンズの周辺部分に照
   射する際に、対物レンズの中心から周辺に向かう方向で
   ９０゜異なる位置に集束ビームを照射し、 各反射光を受光した光による信号の平均値にもとづいて
   対物レンズの傾きを示す情報を得る請求項６記載の対物
   レンズの取付位置調整方法。