JP2000048744A - Ｘ線イメージ管およびその製造方法 - Google Patents
Ｘ線イメージ管およびその製造方法Info
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- JP2000048744A JP2000048744A JP24642496A JP24642496A JP2000048744A JP 2000048744 A JP2000048744 A JP 2000048744A JP 24642496 A JP24642496 A JP 24642496A JP 24642496 A JP24642496 A JP 24642496A JP 2000048744 A JP2000048744 A JP 2000048744A
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 解像力の低下を少なくしたＸ線イメージ管を
提供すること。 【解決手段】 Ｘ線像を電子像に変換する入力スクリー
ン１３を有する入力部と、この入力部で変換された電子
像を可視像に変換する出力部１５と、入力部および出力
部が設けられた真空外囲器１１とを具備したＸ線イメー
ジ管において、入力スクリーン１３が形成される入力基
板１２面が粒状の研磨剤で研磨されている。
提供すること。 【解決手段】 Ｘ線像を電子像に変換する入力スクリー
ン１３を有する入力部と、この入力部で変換された電子
像を可視像に変換する出力部１５と、入力部および出力
部が設けられた真空外囲器１１とを具備したＸ線イメー
ジ管において、入力スクリーン１３が形成される入力基
板１２面が粒状の研磨剤で研磨されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、解像度を向上させ
たＸ線イメージ管およびその製造方法に関する。
たＸ線イメージ管およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線イメージ管はＸ線像を可視像に変換
する電子管で、医療用診断装置などいろいろな分野に利
用されている。このようなＸ線イメージ管は、Ｘ線像を
電子像に変換する入力部や、電子像を可視像に変換する
出力部などを真空外囲器内に配置した構造となってい
る。入力部は、入力基板と入力基板上に形成された入力
スクリーンから構成され、入力基板には、通常、Ｘ線透
過率のよいアルミニウムまたはアルミニウム合金（以
下、単にアルミニウムという。）などの金属が使用され
ている。
する電子管で、医療用診断装置などいろいろな分野に利
用されている。このようなＸ線イメージ管は、Ｘ線像を
電子像に変換する入力部や、電子像を可視像に変換する
出力部などを真空外囲器内に配置した構造となってい
る。入力部は、入力基板と入力基板上に形成された入力
スクリーンから構成され、入力基板には、通常、Ｘ線透
過率のよいアルミニウムまたはアルミニウム合金（以
下、単にアルミニウムという。）などの金属が使用され
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】入力部を構成する入力
基板としてアルミニウムを用いる場合、アルミニウムの
板材をプレスなどで曲面に加工している。このとき、プ
レスによって入力基板面に鋭い凹凸が発生し、凹凸部分
に異物が付着することがある。このように異物が付着し
た入力基板面に入力スクリーンを形成すると、これらの
異物が、Ｘ線イメージ管で生成される画像にしみなどを
発生する原因になる。
基板としてアルミニウムを用いる場合、アルミニウムの
板材をプレスなどで曲面に加工している。このとき、プ
レスによって入力基板面に鋭い凹凸が発生し、凹凸部分
に異物が付着することがある。このように異物が付着し
た入力基板面に入力スクリーンを形成すると、これらの
異物が、Ｘ線イメージ管で生成される画像にしみなどを
発生する原因になる。
【０００４】したがって、このようなしみが発生しない
ように入力スクリーンを形成する前に、プレス加工され
た入力基板をあらかじめエッチング処理し、入力基板に
付着した異物などを除去している。しかし、エッチング
処理を行うと、入力基板の表面がさらに荒れ、凹凸がよ
り深くそして鋭くなってしまう。
ように入力スクリーンを形成する前に、プレス加工され
た入力基板をあらかじめエッチング処理し、入力基板に
付着した異物などを除去している。しかし、エッチング
処理を行うと、入力基板の表面がさらに荒れ、凹凸がよ
り深くそして鋭くなってしまう。
【０００５】ここで、従来のＸ線イメージ管の入力部の
構造について図５で説明する。図５は入力部の一部を抜
き出して示した断面図で、符号４１は入力基板で、入力
基板４１の表面はエッチング処理などによって鋭い凹凸
になっている。この表面粗さは０．５〜２．０μｍ程度
の範囲になっている。また、入力基板４１面に、外部か
ら入力するＸ線像を電子像に変換する入力スクリーン４
２が形成されている。入力スクリーン４２は、Ｘ線像を
光像に変換する蛍光層４２Ａや、保護層４２Ｂ、そして
光像を電子像に変換する光電層４２Ｃなどから構成さ
れ、蛍光層４２Ａは微細な多数の柱状結晶のピラ−Ｐで
形成されている。
構造について図５で説明する。図５は入力部の一部を抜
き出して示した断面図で、符号４１は入力基板で、入力
基板４１の表面はエッチング処理などによって鋭い凹凸
になっている。この表面粗さは０．５〜２．０μｍ程度
の範囲になっている。また、入力基板４１面に、外部か
ら入力するＸ線像を電子像に変換する入力スクリーン４
２が形成されている。入力スクリーン４２は、Ｘ線像を
光像に変換する蛍光層４２Ａや、保護層４２Ｂ、そして
光像を電子像に変換する光電層４２Ｃなどから構成さ
れ、蛍光層４２Ａは微細な多数の柱状結晶のピラ−Ｐで
形成されている。
【０００６】このような構造の入力部に、入力基板４１
を通してＸ線が入射すると、入力スクリーン４２の蛍光
層４２ＡでＸ線は光に変換される。蛍光層４２Ａで変換
された光の一部は入力基板４１面に到達し、入力基板４
１面の鋭い凹凸で矢印Ｙのように乱反射する。このと
き、一部の光は同じピラ−Ｐ内を図の上方に進むが、一
部は横方向に位置する他のピラ−Ｐに入射し、Ｘ線イメ
ージ管の解像力を低下させる。
を通してＸ線が入射すると、入力スクリーン４２の蛍光
層４２ＡでＸ線は光に変換される。蛍光層４２Ａで変換
された光の一部は入力基板４１面に到達し、入力基板４
１面の鋭い凹凸で矢印Ｙのように乱反射する。このと
き、一部の光は同じピラ−Ｐ内を図の上方に進むが、一
部は横方向に位置する他のピラ−Ｐに入射し、Ｘ線イメ
ージ管の解像力を低下させる。
【０００７】本発明は、上記した欠点を解決するもの
で、解像力の低下を少なくしたＸ線イメージ管を提供す
ることを目的とする。
で、解像力の低下を少なくしたＸ線イメージ管を提供す
ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、アルミニウム
またはアルミニウム合金からなる入力基板と、この入力
基板面上に付着されたＸ線像を電子像に変換する入力ス
クリーンと、この入力スクリーンで変換された前記電子
像を出力像に変換する出力部とを具備したＸ線イメージ
管において、前記入力スクリーンが形成される前記入力
基板面が粒状の研磨剤で研磨されこの面上に前記入力ス
クリーンが設けられている。
またはアルミニウム合金からなる入力基板と、この入力
基板面上に付着されたＸ線像を電子像に変換する入力ス
クリーンと、この入力スクリーンで変換された前記電子
像を出力像に変換する出力部とを具備したＸ線イメージ
管において、前記入力スクリーンが形成される前記入力
基板面が粒状の研磨剤で研磨されこの面上に前記入力ス
クリーンが設けられている。
【０００９】また、本発明のＸ線イメージ管の製造方法
は、プレスで板材を曲面に加工して入力基板を形成する
工程と、曲面に加工された前記入力基板の凹面側に研磨
剤を載せ、かつ、前記入力基板を運動させて前記入力基
板面を研磨する工程と、研磨された前記入力基板面上に
Ｘ線像を電子像に変換する入力スクリーンを形成する工
程とを備えている。
は、プレスで板材を曲面に加工して入力基板を形成する
工程と、曲面に加工された前記入力基板の凹面側に研磨
剤を載せ、かつ、前記入力基板を運動させて前記入力基
板面を研磨する工程と、研磨された前記入力基板面上に
Ｘ線像を電子像に変換する入力スクリーンを形成する工
程とを備えている。
【００１０】また、研磨剤が、入力基板材料よりもビッ
カース硬度が高い金属またはセラミックス製の微小球状
のボールとなっている。
カース硬度が高い金属またはセラミックス製の微小球状
のボールとなっている。
【００１１】上記した構成によれば、入力スクリーンが
形成される入力基板面が粒状の研磨剤で研磨されてい
る。このとき、研磨剤の研磨で鋭い凹凸がなくなり、入
力基板面はある周期性を持ったなめらかで高低差の少な
い凹凸面になっている。このため、入力基板面における
光の乱反射が少なくなり、解像力の低下が防止される。
また、この場合、入力基板面のなめらかな凹面が凹面鏡
のように作用する。このため、入力基板面を平坦な鏡面
に研磨した構造（特開平４−１５４０３２号公報参照）
に比較し、同じ凹面に位置する近接した同一のピラー集
団内に反射光が集まる集光率が高くなる。このような働
きによっても解像力の低下が抑制される。なお、この発
明では、入力基板面の研磨に、入力基板の材料よりもビ
ッカース硬度の高い金属またはセラミックスの微小粒状
のボールを使用する。具体的には、例えばステンレス鋼
やジルコニア・セラミックスのボールで、平均粒径は
０．１ｍｍ〜数ｍｍの範囲、例えば０．５ｍｍであり、
微小球状である。このような微小ボールの使用により、
周期性を持つなめらかで高低差の少ない凹凸面を形成で
きる。このとき、入力基板として使用される例えばアル
ミニウムの板材には、図６で示すように研磨前にはその
表面にロールすじが形成されているが、このようなロー
ルすじもボールによる研磨で少なくなる。このようにロ
ールすじによる凹凸の粗さがなくなるため、構造ノイズ
が減少する。
形成される入力基板面が粒状の研磨剤で研磨されてい
る。このとき、研磨剤の研磨で鋭い凹凸がなくなり、入
力基板面はある周期性を持ったなめらかで高低差の少な
い凹凸面になっている。このため、入力基板面における
光の乱反射が少なくなり、解像力の低下が防止される。
また、この場合、入力基板面のなめらかな凹面が凹面鏡
のように作用する。このため、入力基板面を平坦な鏡面
に研磨した構造（特開平４−１５４０３２号公報参照）
に比較し、同じ凹面に位置する近接した同一のピラー集
団内に反射光が集まる集光率が高くなる。このような働
きによっても解像力の低下が抑制される。なお、この発
明では、入力基板面の研磨に、入力基板の材料よりもビ
ッカース硬度の高い金属またはセラミックスの微小粒状
のボールを使用する。具体的には、例えばステンレス鋼
やジルコニア・セラミックスのボールで、平均粒径は
０．１ｍｍ〜数ｍｍの範囲、例えば０．５ｍｍであり、
微小球状である。このような微小ボールの使用により、
周期性を持つなめらかで高低差の少ない凹凸面を形成で
きる。このとき、入力基板として使用される例えばアル
ミニウムの板材には、図６で示すように研磨前にはその
表面にロールすじが形成されているが、このようなロー
ルすじもボールによる研磨で少なくなる。このようにロ
ールすじによる凹凸の粗さがなくなるため、構造ノイズ
が減少する。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の実施形態について図１を
参照して説明する。符号１１はＸ線イメージ管を構成す
る真空外囲器で、真空外囲器１１の前面は入力窓１２に
なっている。入力窓１２の内面には、入射するＸ線像を
電子像に変換する入力スクリーン１３が形成されてい
る。また、真空外囲器１１の側壁部分に沿って、電子像
を加速、集束する複数の電極１４ａ〜１４ｃが配置され
ている。そして、真空外囲器１１の後部には、電子像を
可視像に変換する出力部１５が設けられている。
参照して説明する。符号１１はＸ線イメージ管を構成す
る真空外囲器で、真空外囲器１１の前面は入力窓１２に
なっている。入力窓１２の内面には、入射するＸ線像を
電子像に変換する入力スクリーン１３が形成されてい
る。また、真空外囲器１１の側壁部分に沿って、電子像
を加速、集束する複数の電極１４ａ〜１４ｃが配置され
ている。そして、真空外囲器１１の後部には、電子像を
可視像に変換する出力部１５が設けられている。
【００１３】次に、入力窓１２部分に入力スクリーン１
３が形成された入力部の構造について図２を参照して説
明する。図２は入力部の一部を抜き出して示した断面図
で、この実施形態の場合、入力窓１２は、入力スクリー
ン１３を形成するための入力基板として利用されてい
る。そして、入力窓１２は、例えばアルミニウムなどの
板材を曲面にプレス加工し、その後、エッチング処理
し、さらに、後で説明するように表面が研磨されてい
る。このような加工や処理で、入力窓１２の表面は、周
期性を持つなめらかで高低差の少ない凹凸面となってい
る。また、入力スクリーン１３は、Ｘ線像を光像に変換
する蛍光層１３Ａや、保護層１３Ｂ、そして光像を電子
像に変換する光電層１３Ｃなどから構成され、蛍光層１
３Ａは微細な多数の柱状結晶のピラ−Ｐで形成されてい
る。
３が形成された入力部の構造について図２を参照して説
明する。図２は入力部の一部を抜き出して示した断面図
で、この実施形態の場合、入力窓１２は、入力スクリー
ン１３を形成するための入力基板として利用されてい
る。そして、入力窓１２は、例えばアルミニウムなどの
板材を曲面にプレス加工し、その後、エッチング処理
し、さらに、後で説明するように表面が研磨されてい
る。このような加工や処理で、入力窓１２の表面は、周
期性を持つなめらかで高低差の少ない凹凸面となってい
る。また、入力スクリーン１３は、Ｘ線像を光像に変換
する蛍光層１３Ａや、保護層１３Ｂ、そして光像を電子
像に変換する光電層１３Ｃなどから構成され、蛍光層１
３Ａは微細な多数の柱状結晶のピラ−Ｐで形成されてい
る。
【００１４】この場合、入力窓１２の凹凸平均ピッチは
５０〜１５０μｍの範囲で、平均深さは０．５〜１．０
μｍの範囲となっている。また、ピラーＰの径は１０μ
ｍ程度で、１つの凹部に形成される複数のピラーＰを１
つのピラー集団とすると、例えば表面の凹凸のピッチが
１００μｍの場合、１つのピラー集団は約１００本のピ
ラーＰで構成される。
５０〜１５０μｍの範囲で、平均深さは０．５〜１．０
μｍの範囲となっている。また、ピラーＰの径は１０μ
ｍ程度で、１つの凹部に形成される複数のピラーＰを１
つのピラー集団とすると、例えば表面の凹凸のピッチが
１００μｍの場合、１つのピラー集団は約１００本のピ
ラーＰで構成される。
【００１５】上記した構成の入力部にＸ線が入射する
と、Ｘ線は入力窓１２を透過し、蛍光層１３Ａで光に変
換される。そして、蛍光層１３Ａで変換された光の一部
は入力窓１２の表面に達し、矢印Ｙのように反射され
る。このとき、入力窓１２の面は周期性を持ったなめら
かな凹凸面に形成されているため、入力窓１２表面の凹
部は凹面鏡のように作用する。このため、入力窓１２表
面における不規則な反射が少なくなり、矢印Ｙで示した
ように共通の凹部に形成された同じ集団のピラーＰに入
射する。この結果、解像度の低下が抑えられ、また、低
域における空間周波数特性が向上し、鮮鋭度の良い画像
が得られる。
と、Ｘ線は入力窓１２を透過し、蛍光層１３Ａで光に変
換される。そして、蛍光層１３Ａで変換された光の一部
は入力窓１２の表面に達し、矢印Ｙのように反射され
る。このとき、入力窓１２の面は周期性を持ったなめら
かな凹凸面に形成されているため、入力窓１２表面の凹
部は凹面鏡のように作用する。このため、入力窓１２表
面における不規則な反射が少なくなり、矢印Ｙで示した
ように共通の凹部に形成された同じ集団のピラーＰに入
射する。この結果、解像度の低下が抑えられ、また、低
域における空間周波数特性が向上し、鮮鋭度の良い画像
が得られる。
【００１６】ここで、入力窓１２の研磨方法について図
３を参照して説明する。符号１２は入力基板で、例え
ば、Ｘ線イメージ管を構成する真空外囲器の入力窓部分
である。入力基板１２は、アルミニウムなどの板材を曲
面にプレス加工し、その後、エッチング処理したもの
で、入力基板の凹面側に表面研磨用の多数のボール３１
が載せられている。ボール３１は平均直径が０．５ｍｍ
程度の大きさで粒状をしている。なお、入力基板１２は
回転軸３２によって研磨装置３３に結合され、研磨装置
３３は駆動装置３４に接続されている。
３を参照して説明する。符号１２は入力基板で、例え
ば、Ｘ線イメージ管を構成する真空外囲器の入力窓部分
である。入力基板１２は、アルミニウムなどの板材を曲
面にプレス加工し、その後、エッチング処理したもの
で、入力基板の凹面側に表面研磨用の多数のボール３１
が載せられている。ボール３１は平均直径が０．５ｍｍ
程度の大きさで粒状をしている。なお、入力基板１２は
回転軸３２によって研磨装置３３に結合され、研磨装置
３３は駆動装置３４に接続されている。
【００１７】上記した構成において、駆動装置３４は研
磨装置３３を矢印Ｙ方向に往復運動させ、同時に、回転
軸３２を回転させ入力基板１２に回転運動を行わせてい
る。この運動で入力基板１２面とボール３１が擦れ、入
力基板１２面が研磨される。研磨された入力基板１２面
は図４に示すように、周期性を持ったなめらかで高低差
の少ない凹凸面に形成されている。また、図４から分か
るように、アルミニウムの板材そのものが持つ入力基板
１２面のロールすじの凹凸も減少している。
磨装置３３を矢印Ｙ方向に往復運動させ、同時に、回転
軸３２を回転させ入力基板１２に回転運動を行わせてい
る。この運動で入力基板１２面とボール３１が擦れ、入
力基板１２面が研磨される。研磨された入力基板１２面
は図４に示すように、周期性を持ったなめらかで高低差
の少ない凹凸面に形成されている。また、図４から分か
るように、アルミニウムの板材そのものが持つ入力基板
１２面のロールすじの凹凸も減少している。
【００１８】なお、上記した実施の形態では、真空外囲
器の前面に位置する入力窓部分に入力部を直接形成して
いる。しかし、入力窓とは別に独立した入力基板に入力
スクリーンを形成し、このような構造の入力部を真空外
囲器内の入力窓の近くに配置する構成にすることもでき
る。また、入力基板面を研磨する際、入力基板に一方向
の往復運動と回転運動とを与えているが、そのいずれか
一方の運動を与えて研磨することもできる。また、往復
運動や回転運動に限るものでなく、ボールが入力基板面
に擦れるような動きであれば任意の運動を与えることが
できる。
器の前面に位置する入力窓部分に入力部を直接形成して
いる。しかし、入力窓とは別に独立した入力基板に入力
スクリーンを形成し、このような構造の入力部を真空外
囲器内の入力窓の近くに配置する構成にすることもでき
る。また、入力基板面を研磨する際、入力基板に一方向
の往復運動と回転運動とを与えているが、そのいずれか
一方の運動を与えて研磨することもできる。また、往復
運動や回転運動に限るものでなく、ボールが入力基板面
に擦れるような動きであれば任意の運動を与えることが
できる。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、解像力の低下を防止し
たＸ線イメージ管を実現できる。
たＸ線イメージ管を実現できる。
【図１】本発明の実施の形態を示す概略の断面図であ
る。
る。
【図２】本発明の実施形態における入力部の概略の断面
図である。
図である。
【図３】本発明の実施形態における入力基板の研磨方法
を説明する図である。
を説明する図である。
【図４】本発明の入力基板面の構造を顕微鏡写真により
表した図である。
表した図である。
【図５】従来例における入力部の概略の断面図である。
【図６】従来例の入力基板面の構造を顕微鏡写真により
表した図である。
表した図である。
１１…真空外囲器 １２…入力窓 １３…入力スクリーン １３Ａ…蛍光層 １３Ｂ…保護層 １３Ｃ…光電層 １４ａ〜１４ｃ…電極 １５…出力部 ３１…ボール ３２…回転軸 ３３…研磨装置 ３４…駆動装置 Ｐ…ピラー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 関島 義信 神奈川県川崎市川崎区日進町７番地１ 東 芝電子エンジニアリング株式会社内 Ｆターム(参考） 2G088 FF02 GG20 JJ10 KK32 5C028 KK15 5C037 GG05 GH03 GH19
Claims (3)
- 【請求項１】 アルミニウムまたはアルミニウム合金か
らなる入力基板と、この入力基板面上に付着されたＸ線
像を電子像に変換する入力スクリーンと、この入力スク
リーンで変換された前記電子像を出力像に変換する出力
部とを具備したＸ線イメージ管において、前記入力スク
リーンが形成される前記入力基板面が粒状の研磨剤で研
磨されこの面上に前記入力スクリーンが設けられている
ことを特徴とするＸ線イメージ管。 - 【請求項２】 プレスで板材を曲面に加工して入力基板
を形成する工程と、曲面に加工された前記入力基板の凹
面側に研磨剤を載せ、かつ、前記入力基板を運動させて
前記入力基板面を研磨する工程と、研磨された前記入力
基板面上にＸ線像を電子像に変換する入力スクリーンを
形成する工程とを備えるＸ線イメージ管の製造方法。 - 【請求項３】 研磨剤が、入力基板材料よりもビッカー
ス硬度が高い金属またはセラミックス製の微小球状のボ
ールであることを特徴とする請求項２記載のＸ線イメー
ジ管の製造方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24642496A JP2000048744A (ja) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | Ｘ線イメージ管およびその製造方法 |
| DE69726252T DE69726252T2 (de) | 1996-09-18 | 1997-09-18 | Röntgenbildröhre und herstellungsverfahren für dieselbe |
| PCT/JP1997/003298 WO1998012731A1 (fr) | 1996-09-18 | 1997-09-18 | Tube a image radiologique et son procede de fabrication |
| CN97191267A CN1104026C (zh) | 1996-09-18 | 1997-09-18 | X射线图像管及其制造方法 |
| US09/068,453 US6169360B1 (en) | 1996-09-18 | 1997-09-18 | X-ray image intensifier and method for manufacturing thereof |
| EP97940412A EP0869533B1 (en) | 1996-09-18 | 1997-09-18 | X-ray image tube and method for manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24642496A JP2000048744A (ja) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | Ｘ線イメージ管およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000048744A true JP2000048744A (ja) | 2000-02-18 |
Family
ID=17148282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24642496A Pending JP2000048744A (ja) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | Ｘ線イメージ管およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000048744A (ja) |
-
1996
- 1996-09-18 JP JP24642496A patent/JP2000048744A/ja active Pending
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