JP2000044053A - 防塵装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 摺動部から発生する塵埃の飛散を防止する防
塵装置を提供すること。 【解決手段】 防塵装置１は、レール１２上を摺動移動
するブロック１１に装着され、カバー体３とファン５と
フィルター７から構成されている。カバー体３は走行体
に装着するための開口部３１を有しレール１２とブロッ
ク１１との摺動部を覆うように開口部３１の両側に腕部
３２が形成されている。両腕部３２を接続する元部３３
にはフィルター７を介してファン５が取り付けられ、腕
部３２と元部３３は中空状に形成されて吸引通路３７を
形成している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、走行体と走行体
と摺動可能に係合する固定部材との間から発生する塵埃
を吸引する防塵装置に関し、特にクリーンルーム内に配
設される搬送装置に装着される防塵装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体のウェハや液晶基板とし
て使用されるガラス基板等の薄型基板は特に塵埃を嫌う
ため、その加工や搬送する作業はクリーンルーム内で行
なわれる。特に上記の基板を搬送する搬送装置あるいは
搬送ロボットには、基板を搬送するための駆動機構が配
設され、駆動機構には直線移動するとともに摺動運動す
る機構が多く含まれている。例えば、搬送ロボットを基
板を収納するカセットと基板を加工する処理装置間を移
動させたり、搬送ロボットに装着され基板を保持して搬
送するハンドを直線的に水平移動あるいは上下移動させ
たりする装置には、ラックとピニオンによる移動機構や
ボールねじを使用したり、あるいはベアリングを使用し
て直線的に移動する直動システム等が使用され、いずれ
も摺動作用を行なう機構を含んでいる。

【０００３】ボールねじはねじ軸とナット間でボールが
転動するように構成され、ナットに被搬送物を取りつけ
ねじ軸を回転することによって被搬送物を直線的に移動
するようにしている。そしてボールねじによる直線移動
は、ねじ軸の回転トルクを小さくするとともに高精度の
移動を可能にしている。また、直動システムは、直線状
に形成されたレール体にブロック体をボールあるいはロ
ーラ等の転動体を介して移動可能に係合させ、ブロック
体に被搬送物を取り付けてブロック体を移動させる。こ
の直動システムは、一般的にリニアガイドやボールスプ
ラインとして各種の機械に取り付けられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の直線的
に移動する機構は、いずれも機械的な摺動部（転動部を
含む）を有して構成されているため摺動部において塵埃
が発生する。また、ボールねじや直動システムにおいて
は摩擦抵抗が小さくなっているにもかかわらず塵埃の発
生が皆無ではない。僅かに発生する塵埃が基板に付着す
ることは、特に精度を要する基板の品質を低下させるお
それがある。従って、摺動部においては、発生する塵埃
が外部に飛散することを防止する防塵対策の検討が強く
要望されていた。

【０００５】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、特に摺動作用を行なう部分から発生するごみや塵
埃の飛散を防止できる防塵装置を提供することを目的と
する。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明にかかわる防塵
装置では、上記の課題を解決するために以下のように構
成するものである。即ち、走行体と、前記走行体と摺動
可能に係合する固定部材とが配置され、前記走行体また
は前記固定部材に装着される防塵装置であって、前記走
行体と前記固定部材との摺動部を覆設し内部に吸引通路
を有するカバー体と、前記カバー体に装着される吸引装
置と、を有して構成され、前記走行体の走行中に前記走
行体と前記固定部材との摺動部で発生する塵埃を吸引す
るように構成されることを特徴とするものである。

【０００７】またこの防塵装置は、クリーンルーム内に
基板を搬送する搬送装置が配置され、前記搬送装置を移
動するための走行体と、前記走行体と摺動可能に係合す
る固定部材とが配置され、前記走行体または前記固定部
材に装着される防塵装置であって、前記走行体と前記固
定部材との摺動部を覆設し内部に吸引通路を有するカバ
ー体と、前記カバー体に装着される吸引装置と、を有し
て構成され、前記走行体の走行中に前記走行体と前記固
定部材との摺動部で発生する塵埃を吸引することによっ
て前記基板への塵埃の付着を防止するものである。

【０００８】またこの防塵装置は、走行路を有するベー
スと、前記ベースの走行路に対して移動可能に配設され
る複数の移動テーブルと、有して構成されるとともに、
複数の移動テーブルが上方に配置されるほど長ストロー
クで移動するように駆動される搬送装置に装着される防
塵装置であって、前記ベース及び少なくとも１個の移動
テーブルの端部に装着され吸引通路を有するカバー体
と、前記カバー体に装着される吸引装置と、を有して構
成され、各移動テーブルの移動中、前記ベースと直上の
移動テーブル間及び隣接する移動テーブル間で発生する
塵埃を吸引するように構成されることを特徴とするもの
である。

【０００９】また好ましくは、前記カバー体と前記ファ
ンとの間にフィルタが配設されることを特徴とするもの
であればよい。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面に基づいて説明する。

【００１１】本発明の防塵装置は、走行体と走行体と摺
動可能に係合する固定部材とを有して摺動体に装着する
ものであり、被搬送物を載置させて移動する走行体ある
いは固定部材のいずれかに走行路を覆うように取り付け
て発生する塵埃を吸引させるものである。以下の説明で
は、特に直線移動する機構について説明する。

【００１２】第１の形態の防塵装置はリニアガイドを構
成する摺動体に装着される。図１に示すように、走行体
は平面視矩形に形成されたリニアガイド１０のブロック
１１、固定部材は長尺状に形成されたレール１２であ
る。ブロック１０はレール１２に係合ガイドされてレー
ル１２上を走行しブロック１１の上面に被搬送物を載置
させて直線的に移動する。

【００１３】防塵装置１は、被搬送物に干渉しない位置
に配置され、図１に示すように、ブロック１１の走行方
向に対して直交方向に取り付けられるカバー体３とカバ
ー体３の下部に取り付けられるファン５とを有して構成
される。カバー体３は中空部を有し、図２に示すよう
に、平面視一方に開口部３１を有するとともに、開口部
３１の走行方向における前後方向に形成される２個の腕
部３２・３２と、両腕部３２・３２を連結する元部３３
とを有してコ字形に形成され、開口部３１がブロック１
１に走行方向に対して直交する側から係合される。

【００１４】また、図３に示すように、両腕部３２・３
２の上面は開口部３１側からそれぞれ前端部・後端部側
に向かって下傾斜するように形成されるとともに下面は
開口されてレール１２の直上に配置されている。元部３
３は両腕部３２・３２との接続部を除いてブロック１１
の側面に係合する位置に位置決め壁部３４を有し、上面
が開口部３１から横端部側に向かって下傾斜するように
形成されるとともに下面は底壁３５が形成されている。
図４に示すように、底壁３５の略中央部には孔３６が形
成され孔３６に係合するようにファン５が取り付けられ
る。これにより、カバー体３には腕部３２・３２内と元
部３３内とに摺動部からファン５に通じる吸引通路３７
が形成されることになる。

【００１５】カバー体３の元部３３下面側に取り付けら
れるファン５は、カバー体３の空間部３７から吸引して
下方に向かって排出できるように横向きに取り付けられ
るとともに、カバー体３とファン５との間にはフィルタ
ー７が取り付けられ、吸引される塵埃を外部に排出しな
いようにしている。

【００１６】上記のように構成された防塵装置１は、ブ
ロック１１の走行とともにファン５が作動され、ブロッ
ク１１の走行中に、ブロック１１とレール１２との摺動
により発生する塵埃をカバー体３の吸引通路３７を介し
て吸引する。吸引された塵埃はフィルター７によって堰
き止められ空気のみを外部に排出することになる。

【００１７】なお、リニアガイド１０は、一般的には外
部駆動のものが使用されているが、駆動部が内蔵された
ものも提供され、防塵装置１は上記形態と同様に取り付
けることができる。しかも駆動部が内蔵されたリニアガ
イドは摺動部が多く防塵効果を大にすることができる。

【００１８】第２の形態の防塵装置４０は、ボールねじ
１４を構成する摺動体に装着され、図５に示すように、
本形態の走行体はボールねじ１４のナット１５であり、
固定部材は回転するねじ軸１６である。さらに、ナット
１５に被搬送物を載置するブラケット１７が装着されて
いる。ボールねじ１４は、ねじ軸１６を回転することに
よってナット１５が直線的に移動されるため、ナット１
５とねじ軸１６の間で摺動による塵埃が発生する。防塵
装置４０は、ブラケット１７の上下方向からそれぞれ取
り付けられねじ軸１６を上下両側から覆設するカバー体
４１・４１と下方（上方でもよい）のカバー体４１に取
り付けられるファン４５とを有している。カバー体４１
・４１は一方が開口された箱状に形成され、上側のカバ
ー体４１にはブラケット１７に干渉する部分に切欠部を
有するとともにねじ軸１６に干渉する部分にも円弧状の
切欠部を形成している。両カバー体４１・４１はそれぞ
れ合わせ面４２で一体的に取り付けることによって内部
に空間部（吸引通路）４３を形成している。

【００１９】下側のカバー体４１には略中央部に孔４４
が形成されフィルタ４７を介してファン４５が取り付け
られる。

【００２０】この防塵装置４０をナット１５（ブラケッ
ト１７）に装着することによりナット１５（ブラケット
１７）の走行とともにファン４５が作動され、ナット１
５とねじ軸１６の摺動作用により発生する塵埃をファン
４５で吸引することができる。吸引した塵埃は吸引通路
４３を通ってフィルタ４７で堰き止められ空気のみが外
部に排出される。

【００２１】上記形態の防塵装置１、４０は、走行中に
発生する塵埃を吸引するために、摺動部を覆設するカバ
ー体と、カバー体に形成される吸引通路と、塵埃を吸引
するためのファンが配置されるものであるが、それらの
配置状態や形状は、上記に限るものではなく摺動体（リ
ニアガイド１０またはボールねじ１４）の各種のタイプ
によって、被搬送物の取付位置を考慮して都度設計され
るものである。

【００２２】上記の防塵装置１または４０を装着した摺
動体は、例えば、ウェハやガラス基板を搬送するロボッ
トの移動機構部に適用される。図６に示すように、図示
しないクリーンルーム内に、基板Ｗが収納されたカセッ
トＣと、基板Ｗを加工する処理装置Ｓと、カセットＣと
処理装置Ｓ間を移動するロボットＲと、が設置されてい
る。ロボットＲは設置されたカセットＣと処理装置Ｓに
平行に配置された２本のリニアガイド１０上をボールね
じ１４の駆動によりカセットＣと処理装置Ｓ間を移動す
る。２本のリニアガイド１０の摺動部には上述の防塵装
置１がそれぞれ装着され、ボールねじ１４の摺動部には
上述の防塵装置４０が装着され、走行中に発生する塵埃
を吸引してクリーンルーム内に飛散するのを防止してい
る。防塵装置１の構成は図１〜４に示すものと同様であ
り、防塵装置４０の構成は図５に示すものと同様であ
る。

【００２３】図７〜８は、本出願人による特開平８−１
１３３３８号、または特開平９−１５６７４３号に示す
搬送装置に装着する第３の形態の防塵装置を示してい
る。

【００２４】この搬送装置５０は下部のベース５１と３
個の移動テーブル５２（５２Ａ・５２Ｂ・５２Ｃ）が上
下方向に配置され、上段に配置される移動テーブル５２
ほどその移動ストロークが大きくなるように構成されて
いる。この搬送装置５０では、各移動テーブル５２は搬
送装置内に配置される駆動装置によって直線方向に移動
され、ベース５１及び各移動テーブル５２間が摺動作用
しそのために塵埃の発生するおそれを生じる。

【００２５】防塵装置６０はベース５１及び最上段の移
動テーブル５２Ｃを除く他の移動テーブル５２の移動側
端面に装着され、図８に示すように、一方の側面がベー
ス５１あるいは移動テーブル５２の端面に取り付けられ
るとともに上方が開口された箱状に形成されたカバー体
６１とカバー体６１の底面に取り付けられるファン６５
と、を有している。カバー体６１の中空部は吸引通路６
３が形成され底面にファン取り付け孔６４が形成されて
いる。そしてファン取り付け孔６４にフィルター６７を
介してファン６５が取り付けられる。

【００２６】従って、移動テーブル５２がベース５１に
対して、または上段の移動テーブル５２が直下の移動テ
ーブル５２に対して移動すると同時にそれぞれのファン
６５が作動され、それぞれの摺動面から発生する塵埃を
吸引通路６３を介して吸引する。吸引された塵埃はフィ
ルター６７に堰き止められ空気のみが外部に排出され
る。なお、この形態における防塵装置６０は、ベース５
１または各移動テーブル５２の一方の端面に装着するよ
うにしたが、各移動テーブル５２が左右両方向に移動す
るものであれば、それぞれの両端面に装着するようにし
てもよい。

【００２７】なお、本発明の防塵装置は上記形態に限ら
ず、ラック・ピニオン機構でも応用することができ、さ
らに摺動作用によって塵埃を発生するもの機構にすべて
応用できるものであり、吸引通路を有するカバー体とカ
バー体に装着するファンの構成を備えるものであれば、
その配置状態や形状は都度設計すればよい。

【００２８】

【発明の効果】本発明によれば、防塵装置は、走行体
と、前記走行体と摺動可能に係合する固定部材とが配置
され、前記走行体または前記固定部材に装着されるもの
であって、前記走行体と前記固定部材との摺動部を覆設
し内部に吸引通路を有するカバー体と、前記カバー体に
装着される吸引装置と、を有して構成され、前記走行体
の走行中に前記走行体と前記固定部材との摺動部で発生
する塵埃を吸引するように構成されている。従って、摺
動によって発生する塵埃は防塵装置に吸引され外部への
飛散を防止することができる。

【００２９】また、本発明による防塵装置は、クリーン
ルーム内に基板を搬送する搬送装置が配置され、前記搬
送装置を移動するための走行体と、前記走行体と摺動可
能に係合する固定部材とが配置され、前記走行体または
前記固定部材に装着されるものであって、前記走行体と
前記固定部材との摺動部を覆設し内部に吸引通路を有す
るカバー体と、前記カバー体に装着される吸引装置と、
を有して構成され、前記走行体の走行中に前記走行体と
前記固定部材との摺動部で発生する塵埃を吸引すること
によって前記基板への塵埃の付着を防止するように構成
されている。そのため、摺動によって発生した塵埃を基
板をクリーンルーム内に飛散させず、塵埃の付着しない
を基板を搬送することが可能となる。

【００３０】さらに本発明による防塵装置は、走行路を
有するベースと、前記ベースの走行路に対して移動可能
に配設される複数の移動テーブルと、有して構成される
とともに、複数の移動テーブルが上方に配置されるほど
長ストロークで移動するように駆動される搬送装置に装
着されるものであって、前記ベース及び少なくとも１個
の移動テーブルの端部に装着され吸引通路を有するカバ
ー体と、前記カバー体に装着される吸引装置と、を有し
て構成され、各移動テーブルの移動中、前記ベースと直
上の移動テーブル間及び隣接する移動テーブル間で発生
する塵埃を吸引するように構成される。そのため、塵埃
は防塵装置に吸収され搬送装置の外部に飛散するのを防
止できる。

【００３１】さらに、前記カバー体と前記ファンとの間
にフィルタが配設されていれば、フィルターで塵埃を堰
き止められるので塵埃の外部への飛散を防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の形態による防塵装置を示す下方
斜視図

【図２】同平面図

【図３】図２におけるIII −III 断面図

【図４】図２におけるIV−IV断面図

【図５】本発明の第２の形態による防塵装置を示す分解
斜視図

【図６】本発明の防塵装置を搬送ロボットの移動機構に
応用した形態を示す平面図

【図７】本発明の第３の防塵装置を示す簡略正面図

【図８】図７における要部拡大図

【符号の説明】

１、４０、５０…防塵装置 ３、４１、６１…カバー体 ５、４５、６５…ファン（吸引装置） ７、４７、６７…フィルター １０…リニアガイド １４…ボールねじ ３７、４３、６３…吸引通路 ５０…搬送装置 ５１…ベース ５２…移動テーブル

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 走行体と、前記走行体と摺動可能に係合
   する固定部材とが配置され、前記走行体または前記固定
   部材に装着される防塵装置であって、 前記走行体と前記固定部材との摺動部を覆設し内部に吸
   引通路を有するカバー体と、前記カバー体に装着される
   吸引装置と、を有して構成され、 前記走行体の走行中に前記走行体と前記固定部材との摺
   動部で発生する塵埃を吸引するように構成されることを
   特徴とする防塵装置。
2. 【請求項２】 クリーンルーム内に基板を搬送する搬送
   装置が配置され、前記搬送装置を移動するための走行体
   と、前記走行体と摺動可能に係合する固定部材とが配置
   され、前記走行体または前記固定部材に装着される防塵
   装置であって、 前記走行体と前記固定部材との摺動部を覆設し内部に吸
   引通路を有するカバー体と、前記カバー体に装着される
   吸引装置と、を有して構成され、 前記走行体の走行中に前記走行体と前記固定部材との摺
   動部で発生する塵埃を吸引することによって前記基板へ
   の塵埃の付着を防止することを特徴とする防塵装置。
3. 【請求項３】 走行路を有するベースと、前記ベースの
   走行路に対して移動可能に配設される複数の移動テーブ
   ルと、有して構成されるとともに、複数の移動テーブル
   が上方に配置されるほど長ストロークで移動するように
   駆動される搬送装置に装着される防塵装置であって、 前記ベース及び少なくとも１個の移動テーブルの端部に
   装着され吸引通路を有するカバー体と、前記カバー体に
   装着される吸引装置と、を有して構成され、 各移動テーブルの移動中、前記ベースと直上の移動テー
   ブル間及び隣接する移動テーブル間で発生する塵埃を吸
   引するように構成されることを特徴とする防塵装置。
4. 【請求項４】 前記カバー体と前記ファンとの間にフィ
   ルタが配設されることを特徴とする請求項１，２または
   ３記載の防塵装置。