JP2000042919A - Superprecise grinding method and device - Google Patents

Superprecise grinding method and device

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JP2000042919A
JP2000042919A JP10225288A JP22528898A JP2000042919A JP 2000042919 A JP2000042919 A JP 2000042919A JP 10225288 A JP10225288 A JP 10225288A JP 22528898 A JP22528898 A JP 22528898A JP 2000042919 A JP2000042919 A JP 2000042919A
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truing
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide superprecise grinding technique for realizing highly efficient and acurate grinding working, in superprecise grinding working utilizing electrolysis in-process dressing. SOLUTION: In a grinding device using a metal bond grinding wheel as a grinding wheel 4, and performing electrolysis dressing during grinding working, a machining allowance grinding surface 4b is formed on the inlet side of a workpiece by truing, and also a finishing working surface 4c is formed on an outlet side. Successively feeding the workpiece W is started in a condition for producing an oxide coat (e) by electrolysis dressing. Consequently highly efficient grinding can be performed to the workpiece W with the coat (e) separated in the surface 4b, while highly accurate grinding can be performed by residual oxide coat (e) in the surface 4c.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は超精密研削方法お
よび研削装置に関し、さらに詳細には、電解インプロセ
スドレッシングを利用した超砥粒砥石による研削技術に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultra-precision grinding method and a grinding apparatus, and more particularly to a grinding technique using a super-abrasive grindstone utilizing electrolytic in-process dressing.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、先端精密加工技術の一つとして、
超砥粒砥石を用いた超精密研削技術が注目され、特にメ
タル系結合材料(メタルボンド)によりダイヤモンド砥
粒を結合してなるダイヤモンド砥石は、セラミック等の
硬脆材料を研削加工する場合に最適な砥石として好適に
使用されている。
2. Description of the Related Art In recent years, as one of the advanced precision processing techniques,
Attention has been paid to ultra-precision grinding technology using super-abrasive grindstones. Particularly, diamond grindstones that combine diamond abrasive grains with a metal-based bonding material (metal bond) are ideal for grinding hard and brittle materials such as ceramics. It is suitably used as a simple whetstone.

【0003】ところで、このような超砥粒砥石のツルー
イング(truing)・ドレッシング(dressing)は、従来の一
般的な機械的ツルーイング・ドレッシング技術では困難
であるとともに、その作業に長時間を要するという問題
があった。
[0003] The truing and dressing of such a superabrasive grindstone is difficult with conventional general mechanical truing and dressing techniques, and the work takes a long time. was there.

【0004】そのため、最近では、この種の超砥粒砥石
が導電性を有することに着目して、放電ツルーイングや
電解ドレッシングといった電気的ツルーイング・ドレッ
シング技術が適用される例が増えてきている。
[0004] For this reason, recently, an electric truing and dressing technique such as discharge truing and electrolytic dressing has been increasingly applied, focusing on the fact that this kind of superabrasive grindstone has conductivity.

【0005】すなわち、放電ツルーイングとは、放電作
用を利用してツルーイングを行うもので、メタルボンド
砥石のツルーイングに一般に適用されている。この放電
ツルーイングは、メタルボンド・ダイヤモンド砥石から
なる砥石車を備えたセンタレス研削盤を例にとれば、砥
石車を(+)極とするとともに、この砥石車の砥石表面
(円筒研削面)に対向して一定間隔をもって設けられた
金属円盤からなる放電ツルアー(放電ツルーイング電
極)を(−)極とし、上記砥石車と放電ツルアーを所定
の速度で回転させながら、これらに正負の電圧をそれぞ
れ印加することにより、両極間の放電作用によって上記
砥石表面のメタルボンド部分を溶解除去して、研削面に
おける砥粒の突出状態を成形維持させるものである。
[0005] That is, the discharge truing is to perform truing using a discharge action, and is generally applied to the truing of a metal bond grindstone. In the case of a centerless grinding machine equipped with a grinding wheel made of a metal-bonded diamond grinding wheel, this discharge truing has a grinding wheel with a (+) pole and faces the grinding wheel surface (cylindrical grinding surface) of the grinding wheel. The discharge truer (discharge truer electrode) composed of a metal disk provided at regular intervals is used as a negative electrode, and positive and negative voltages are applied to these wheels while rotating the grinding wheel and the discharge truer at a predetermined speed. Thus, the metal bond portion on the surface of the grinding wheel is dissolved and removed by the discharge action between the two electrodes, so that the protruding state of the abrasive grains on the grinding surface is formed and maintained.

【0006】一方、電解ドレッシングは、電解作用を利
用してドレッシングを行うもので、やはりメタルボンド
砥石のドレッシングに一般に適用されている。この電解
ドレッシングとして代表的なものが電解インプロセスド
レッシング(Electrolytic In-process Dressing:EL
ID)と呼ばれる技術で、上記と同様、メタルボンド・
ダイヤモンド砥石からなる砥石車を備えたセンタレス研
削盤を例にとれば、砥石車を(+)極とするとともに、
この砥石車の砥石表面(円筒研削面)に対向して一定間
隔をもって設けられたドレッシング電極を(−)極と
し、ワークの研削加工中において、これらの間隙にクー
ラント(電解液)を供給しながら直流電流を流すことに
より、電解作用によって上記研削面のメタルボンド部分
を溶出させている。
[0006] On the other hand, the electrolytic dressing, which performs dressing using an electrolytic action, is also generally applied to dressing of a metal bond grindstone. A typical example of this electrolytic dressing is Electrolytic In-process Dressing (EL).
ID), a metal bond
Taking a centerless grinder equipped with a grinding wheel made of diamond grinding wheels as an example, the grinding wheel has a (+) pole,
Dressing electrodes provided at regular intervals opposite to the grinding wheel surface (cylindrical grinding surface) of the grinding wheel are used as (-) poles, and a coolant (electrolyte) is supplied to these gaps during grinding of the workpiece. By flowing a direct current, the metal bond portion on the ground surface is eluted by the electrolytic action.

【0007】この電解ドレッシングの際の具体的なメカ
ニズムを図6に示す。図6(a) は、(+)極とされたメ
タルボンド砥石aの砥石表面が磨耗した状態を示してお
り、この砥石表面と(−)極とされたドレッシング電極
bの電極面との間隙にクーラント(電解液)が供給され
ながら直流電流が流される。すると、その電解作用によ
って、まず、上記砥石表面のメタルボンドc中のメタル
成分(鉄)dが溶出してイオン化し、砥石表面にチップ
ポケットが形成された後(図6(b))、この砥石車表面上
にメタル成分dの酸化被膜eが形成される(図6(c))。
そして、この酸化被膜eによって、砥石表面における砥
粒fの突出状態が維持されるとともに、その砥粒保持に
酸化被膜eによって弾力性が付与され、その結果、高精
度の研削加工が実現されている。
FIG. 6 shows a specific mechanism during the electrolytic dressing. FIG. 6 (a) shows a state in which the grinding wheel surface of the metal bond grinding wheel a having the (+) pole is worn, and the gap between the grinding wheel surface and the electrode surface of the dressing electrode b having the (-) pole. A DC current is supplied while a coolant (electrolyte) is supplied to the battery. Then, by the electrolytic action, first, the metal component (iron) d in the metal bond c on the grinding wheel surface elutes and ionizes, and a chip pocket is formed on the grinding wheel surface (FIG. 6 (b)). An oxide film e of the metal component d is formed on the surface of the grinding wheel (FIG. 6C).
The oxide film e maintains the protruding state of the abrasive grains f on the grindstone surface, and the oxide film e imparts elasticity to the holding of the abrasive grains. As a result, highly accurate grinding is realized. I have.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の技術、殊にELID研削では以下に述べるよ
うな問題点があり、さらなる改良が要望されていた。
However, such conventional techniques, particularly ELID grinding, have the following problems, and further improvements have been demanded.

【0009】すなわち、従来のELID研削においては
メタルボンド砥石のツルーイングの困難性から、ツルー
イング後の砥石表面の形状は図5(a) に示すように、比
較的容易にツルーイングが可能な平面(ストレート)形
状とされている。
That is, in the conventional ELID grinding, due to the difficulty of truing of a metal bond grindstone, the shape of the grindstone surface after truing is relatively flat as shown in FIG. ) Shape.

【0010】そのため、このように砥石表面が平面とさ
れた研削砥石を用いてスルフィード研削やトラバース研
削による高能率の研削加工を行なおうとすると、工作物
Wに切り込みを与えるのにともなって、図5(b) に示す
ように、工作物Wが進行するのにつれて砥石表面に形成
された柔らかな酸化被膜eは削り採られて剥離され、工
作物Wが砥石表面を通過した時点で砥石表面の酸化被膜
eが全部除去されてしまっていた(図5(c) )。
[0010] For this reason, if it is attempted to perform high-efficiency grinding by sulfeed grinding or traverse grinding using a grinding wheel having a flat grinding wheel surface as described above, a notch is given to the workpiece W, As shown in FIG. 5 (b), as the work W progresses, the soft oxide film e formed on the grindstone surface is scraped and peeled off, and when the work W passes through the grindstone surface, Was completely removed (FIG. 5 (c)).

【0011】つまり、このように従来のELID研削で
高能率の研削加工を行なおうとすると、砥石表面の酸化
被膜eは、工作物Wの通過により完全に脱落してしま
い、弾力性をもって砥粒を保持することにより高精度研
削を実現するというELID研削の利点を享受し得ない
という問題があった。
In other words, when a high-efficiency grinding process is performed by the conventional ELID grinding, the oxide film e on the surface of the grinding wheel is completely removed by the passage of the workpiece W, and the abrasive grains have elasticity. However, there is a problem in that the advantage of ELID grinding that high precision grinding is realized by holding the above can not be enjoyed.

【0012】本発明はかかる従来の問題点に鑑みてなさ
れたものであって、その目的とするところは、主とし
て、電解インプロセスドレッシングを利用した超精密研
削加工において、高能率でしかも高精度な研削加工を実
現し得る超精密研削技術を提供することにある。
The present invention has been made in view of such a conventional problem, and has as its object to mainly provide a high-efficiency and high-precision grinding in ultra-precision grinding using electrolytic in-process dressing. An object of the present invention is to provide an ultra-precision grinding technology capable of realizing a grinding process.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の超精密研削方法は、研削砥石として、導電
性メタルボンドにより砥粒が結合されてなる導電性メタ
ルボンド砥石を用い、導電性メタルボンド砥石の砥石表
面に対して電解ドレッシングを施す研削装置において、
上記電解ドレッシングに先立って、上記研削砥石に対し
て、所定形状の取代研削部を形成させるとともに、所定
形状の仕上加工部を形成させるツルーイングを行なうこ
とを特徴とする。
In order to achieve the above object, the ultra-precision grinding method of the present invention uses a conductive metal bond grindstone in which abrasive grains are bonded by a conductive metal bond as a grinding wheel. In a grinding machine that performs electrolytic dressing on the grindstone surface of a neutral metal bond grindstone,
Prior to the electrolytic dressing, truing is performed on the grinding wheel so as to form a machining allowance grinding portion having a predetermined shape and a finishing portion having a predetermined shape.

【0014】また、本発明の超精密研削装置は、研削砥
石として、導電性メタルボンドにより砥粒が結合されて
なる導電性メタルボンド砥石を用い、導電性メタルボン
ド砥石の砥石表面に対して電解ドレッシングを施す研削
装置において、上記研削装置がツルーイング装置を備
え、このツルーイング装置により、上記研削砥石の砥石
表面のうち工作物の入口側に工作物の取代を研削するた
めのテーパ面が形成されるとともに、工作物の出口側に
上記電解ドレッシングによる仕上加工を行なうためのテ
ーパ面が形成されることを特徴とする。
Further, the ultra-precision grinding device of the present invention uses a conductive metal bond grindstone in which abrasive grains are bonded by a conductive metal bond as a grinding wheel, and performs electrolysis on the grindstone surface of the conductive metal bond grindstone. In a grinding device for performing dressing, the grinding device includes a truing device, and the truing device forms a tapered surface for grinding a machining allowance of a workpiece on an entrance side of the workpiece on a grinding wheel surface of the grinding wheel. In addition, a tapered surface for performing finishing by the electrolytic dressing is formed on the outlet side of the workpiece.

【0015】本発明においては、電解ドレッシングを行
なう研削装置の研削砥石として、高能率の研削を行い得
るメタルボンド砥石が用いられる。そして、まず砥石表
面のツルーイングにより、該砥石表面のうち、工作物の
入口側に工作物の取代を研削するためのテーパ面(取代
研削部)を形成するとともに、工作物の出口側にも上記
電解ドレッシングにより砥石表面に形成される酸化被膜
によって仕上加工が行なえるようにテーパ面(仕上加工
用部)を形成させる(図2(a) 参照)。
In the present invention, a metal bond grindstone capable of performing highly efficient grinding is used as a grindstone of a grinder for performing electrolytic dressing. First, by truing the surface of the grindstone, a tapered surface (grinding portion) for grinding a machining allowance of the workpiece is formed on the entrance side of the workpiece on the surface of the grindstone, and the above-mentioned is also formed on the exit side of the workpiece. A tapered surface (finish portion) is formed so that the finish process can be performed by an oxide film formed on the surface of the grindstone by electrolytic dressing (see FIG. 2A).

【0016】次に、電解ドレッシングを行ない、砥石表
面に酸化被膜を形成させ(図2(b)参照)、この状態で
上記研削砥石の入口側から工作物を送り込む。これによ
り、工作物が上記入口側に形成された取代研削用のテー
パ面と接触を開始し、その結果、工作物の送り込みが進
むにしたがって上記取代加工用のテーパ面に形成された
酸化被膜が剥離される一方、剥離後に現れたメタルボン
ド部分により工作物に対して高能率の研削が行われる
(図2(c) 参照)。
Next, electrolytic dressing is performed to form an oxide film on the grindstone surface (see FIG. 2 (b)). In this state, a workpiece is fed from the inlet side of the grinding wheel. As a result, the workpiece starts to contact with the tapered surface for machining of the cut formed on the entrance side, and as a result, the oxide film formed on the tapered surface for machining of the cut as the feeding of the workpiece progresses. On the other hand, the workpiece is subjected to highly efficient grinding by the metal bond portion appearing after the peeling (see FIG. 2 (c)).

【0017】そして、さらに研削加工が進み、工作物が
この取代研削用のテーパ面を通過すると、今度は、上記
研削砥石の出口側に設けられた仕上げ加工用のテーパ面
を通過するが、その際、ここに形成されるテーパ面を、
上記取代研削用のテーパ面とは反対の傾きをもって形成
するとともに、この傾きを酸化被膜による仕上加工が可
能な傾きに設定しておくことで、この仕上げ加工用のテ
ーパ面の酸化被膜は、工作物の通過により除去されるこ
となく、通過する工作物に対して仕上げ加工が行われる
(図2(d) 参照)。
Then, when the grinding further proceeds, and the workpiece passes through the tapered surface for the off-set grinding, it passes through the tapered surface for finishing provided on the outlet side of the grinding wheel. At this time, the tapered surface formed here,
By forming the taper with an inclination opposite to that of the taper surface for the above-mentioned grinding for grinding, and setting this inclination to an inclination capable of finishing with an oxide film, the oxide film on the taper surface for the finishing process can be machined. Finishing is performed on the passing workpiece without being removed by the passing of the workpiece (see FIG. 2 (d)).

【0018】この結果、取代研削用のテーパ面で高能率
の研削加工が行われるとともに、それに続く仕上げ加工
用のテーパ面では、弾力性のある酸化被膜によって高精
度の研削加工が行われ、高能率かつ高精度の二つの条件
を満たした研削加工が実現される。
As a result, high-efficiency grinding is performed on the tapered surface for take-off grinding, and high-precision grinding is performed on the subsequent tapered surface for finishing by using an elastic oxide film. Grinding that satisfies the two conditions of efficiency and high accuracy is realized.

【0019】なお、上記説明において、工作物の入口側
とはスルー研削の場合において研削砥石に工作物が投入
される側を意味し、また、工作物の出口側とは、同様に
工作物が研削砥石から排出される側を意味する。したが
って、トラバース研削のように、研削砥石および工作物
のいずれか一方ないしは双方が移動して研削を行う場合
には、研削砥石において研削加工が開始される側を入口
側とし、この入口側と反対位置にある砥石部分が出口側
とされる。
In the above description, the inlet side of the workpiece means the side where the workpiece is put into the grinding wheel in the case of through grinding, and the outlet side of the workpiece similarly means the workpiece. Means the side discharged from the grinding wheel. Therefore, when one or both of the grinding wheel and the workpiece move and perform grinding as in traverse grinding, the side of the grinding wheel where grinding is started is defined as the inlet side, and the opposite side to the inlet side is used. The whetstone portion at the position is the exit side.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0021】本発明に係る超精密研削装置の一実施形態
を図1に示す。この研削装置1は具体的にはセンタレス
研削盤であって、ドレッシング装置として電解ドレッシ
ング装置2を備えるとともに、ツルーイング装置として
放電ツルーイング装置3を備えてなる。
FIG. 1 shows an embodiment of the ultra-precision grinding apparatus according to the present invention. The grinding device 1 is specifically a centerless grinding machine, which includes an electrolytic dressing device 2 as a dressing device and a discharge truing device 3 as a truing device.

【0022】センタレス研削盤としての基本構成は従来
周知のものと同様であり、砥石車4、調整車5およびブ
レード6などを主要部として構成されており、図示の実
施形態においては、工作物Wが調整車5とブレード6に
より回転支持されるとともに、砥石車4と調整車5の間
を軸方向へ通し送りされながら研削されるスルー研削方
式とされている。
The basic structure of the centerless grinding machine is the same as that of a conventional well-known grinding machine. The centerless grinding machine mainly includes a grinding wheel 4, an adjusting wheel 5, a blade 6, and the like. Is rotatably supported by the adjusting wheel 5 and the blade 6, and is ground while being passed through between the grinding wheel 4 and the adjusting wheel 5 in the axial direction.

【0023】上記砥石車4は、導電性メタルボンドによ
り砥粒が結合されてなる導電性メタルボンド砥石からな
り、その砥石表面4aが略円筒状の円筒研削面とされて
いる。砥粒としては、微小なダイヤモンド砥粒やCBN
(キュービックボロンナイトライド)砥粒等のいわゆる
超砥粒が使用される。
The grinding wheel 4 is made of a conductive metal bond whetstone in which abrasive grains are bonded by a conductive metal bond, and the whetstone surface 4a is a substantially cylindrical cylindrical grinding surface. As abrasive grains, fine diamond abrasive grains or CBN
(Cubic boron nitride) So-called superabrasives such as abrasives are used.

【0024】上記砥石車4は、具体的には図示しない
が、砥石軸7を介して図外の砥石車基台に回転可能に支
持されるとともに、動力伝達機構を介して回転駆動源に
連係されている。また、砥石車4は給電体8を介して電
源9の(+)極に電気的に接続されている。
Although not specifically shown, the grinding wheel 4 is rotatably supported on a grinding wheel base (not shown) via a grinding wheel shaft 7 and is linked to a rotary drive source via a power transmission mechanism. Have been. The grinding wheel 4 is electrically connected to a (+) pole of a power supply 9 via a power supply 8.

【0025】電解ドレッシング装置2は、ドレッシング
電極10が、砥石車4の研削位置つまり工作物Wの回転
支持位置から外れた位置(図示のものにおいては砥石車
4の上側位置)に配置されてなるとともに、図示しない
が、電解液供給用ノズルが砥石車4の研削面4aとドレ
ッシング電極10の環状電極面10a間に臨んで設けら
れてなる。そして、このドレッシング電極10には給電
体11が接続され、この給電体11が上記電源9の
(−)極に電気的に接続されている。
In the electrolytic dressing apparatus 2, the dressing electrode 10 is arranged at a position deviating from a grinding position of the grinding wheel 4, that is, a rotational support position of the workpiece W (an upper position of the grinding wheel 4 in the illustrated case). In addition, although not shown, an electrolytic solution supply nozzle is provided between the grinding surface 4a of the grinding wheel 4 and the annular electrode surface 10a of the dressing electrode 10. A power supply 11 is connected to the dressing electrode 10, and the power supply 11 is electrically connected to the (−) pole of the power supply 9.

【0026】放電ツルーイング装置3は、放電ツルーイ
ング電極31が砥石車4に対して調整車5の反対側に配
置されてなる。換言すれば、放電ツルーイング装置3
は、電解ドレッシング装置2に対して、砥石車4の回転
方向上流側に配置されている。
The discharge truing device 3 has a discharge truing electrode 31 disposed on the opposite side of the adjusting wheel 5 with respect to the grinding wheel 4. In other words, the discharge truing device 3
Is disposed on the upstream side in the rotation direction of the grinding wheel 4 with respect to the electrolytic dressing apparatus 2.

【0027】この放電ツルーイング電極31は、具体的
には幅狭の小円盤状とされており、その外周面部分が、
砥石車4の研削面4aに対向する円筒状電極面31aと
されている。
The discharge truing electrode 31 is specifically in the form of a small disk having a narrow width, and its outer peripheral surface portion is
The cylindrical electrode surface 31a is opposed to the grinding surface 4a of the grinding wheel 4.

【0028】放電ツルーイング電極31は、具体的には
図示しないが、上記砥石軸7と平行に配された放電ツル
ーイング電極軸を介して、放電ツルーイング電極基台に
回転可能に支持されるとともに、動力伝達機構を介して
回転駆動源に連係されている。これにより、放電ツルー
イング電極31は、その電極面31aが、砥石車4の研
削面4aと平行となるように対向配置した状態で回転駆
動される。
Although not specifically shown, the discharge truing electrode 31 is rotatably supported on the discharge truing electrode base via a discharge truing electrode shaft arranged in parallel with the grinding wheel shaft 7 and has a power source. It is linked to a rotary drive source via a transmission mechanism. As a result, the discharge truing electrode 31 is driven to rotate in a state where the electrode surface 31a is opposed to the grinding surface 4a of the grinding wheel 4 so as to be parallel to the grinding surface 4a.

【0029】また、放電ツルーイング電極31は、上記
砥石車4の砥石軸7と平行な方向(矢符方向)へスライ
ド可能とされるとともに、スライド駆動源に連係されて
なり、砥石車4の研削面4aに沿って砥石軸7方向へト
ラバース移動する。
The discharge truing electrode 31 is slidable in a direction (arrow direction) parallel to the grinding wheel shaft 7 of the grinding wheel 4, and is linked to a slide drive source to grind the grinding wheel 4. The traverse moves in the direction of the grinding wheel axis 7 along the surface 4a.

【0030】この放電ツルーイング電極31は、上記電
解ドレッシング電極10と共に、電極切替え用の放電・
電解切替ユニット(切替操作部)12を介して、電源9
に電気的に接続されている。具体的には、放電ツルーイ
ング電極31は、給電体32を介して放電・電解切替ユ
ニット12へ電気的に接続され、この放電・電解切替ユ
ニット12が電源9の(−)極に電気的に接続されて、
(−)極の放電ツルーイング電極とされている。したが
って、放電・電解切替ユニット12を手動または自動で
切替え操作することにより、放電ツルーイング電極31
と電解ドレッシング装置10が選択的に切替えられる。
The discharge truing electrode 31 is used together with the electrolytic dressing electrode 10 to discharge and switch electrodes.
A power supply 9 is supplied via an electrolysis switching unit (switching operation unit) 12.
Is electrically connected to Specifically, the discharge truing electrode 31 is electrically connected to the discharge / electrolysis switching unit 12 via the power supply 32, and the discharge / electrolysis switching unit 12 is electrically connected to the (−) pole of the power supply 9. Being
The negative electrode is a discharge truing electrode. Therefore, by manually or automatically switching the discharge / electrolysis switching unit 12, the discharge truing electrode 31 is switched.
And the electrolytic dressing apparatus 10 are selectively switched.

【0031】しかして、以上のように構成されたセンタ
レス研削盤においては、工作物Wが、ブレード6と回転
駆動される調整車5によりセンタレスで回転支持されな
がら、工作物表面に回転駆動される砥石車4の砥石表面
4aによる研削加工が施されるとともに、この研削加工
中に、ドレッシング装置2により、上記研削面4aの性
状に応じた電解ドレッシングがインプロセスで随時行わ
れる。
In the centerless grinding machine configured as described above, the workpiece W is driven to rotate on the surface of the workpiece while being center-rotated and supported by the adjusting wheel 5 driven to rotate by the blade 6. Grinding is performed by the grinding wheel surface 4a of the grinding wheel 4, and during this grinding, the dressing device 2 performs in-process electrolytic dressing according to the properties of the grinding surface 4a as needed.

【0032】この電解ドレッシングにおいては、図示し
ない電解液供給用ノズルにより、電解用クーラントが研
削面4aとドレッシング電極10の環状電極面10aと
の間に供給されるとともに、砥石車4とドレッシング電
極10に直流電流が流される。すると、その電解作用に
よって、上記研削面4aの導電性のメタル成分が溶出さ
れて、研削面4aにおける目詰まりがインプロセスで除
去され、砥粒の突出状態が回復・維持されることとな
る。
In this electrolytic dressing, an electrolytic solution supply nozzle (not shown) supplies an electrolytic coolant between the grinding surface 4a and the annular electrode surface 10a of the dressing electrode 10, and the grinding wheel 4 and the dressing electrode 10 DC current is supplied to the Then, due to the electrolytic action, the conductive metal component on the grinding surface 4a is eluted, the clogging on the grinding surface 4a is removed in-process, and the projected state of the abrasive grains is recovered and maintained.

【0033】この場合、上述した図6(b) に示すよう
に、上記電解作用によってメタルボンドc中のメタル成
分がイオン化してクーラント中に溶出し、その結果、上
記研削面4aは、砥粒fが弾力性をもった酸化被膜eに
よって保持された状態となる(図6(c))。
In this case, as shown in FIG. 6 (b), the metal component in the metal bond c is ionized by the electrolytic action and elutes into the coolant. As a result, the ground surface 4a f is held by the elastic oxide film e (FIG. 6C).

【0034】これにより、研削面4aでは、砥粒の十分
な突出し量が得られるとともに、酸化被膜eの弾性によ
り砥粒fは弾力性をもって保持されるため、工作物Wの
表面にスクラッチ等を生じることなく、高い研削加工精
度(面粗さ)を得ることができる。
As a result, a sufficient amount of abrasive grains can be obtained on the grinding surface 4a, and the abrasive grains f are held elastically by the elasticity of the oxide film e. High grinding accuracy (surface roughness) can be obtained without occurrence.

【0035】ところで、本発明の研削装置1では、この
ような研削加工に先立って、放電ツルーイング装置3に
よる放電ツルーイングにより、上記研削面4aが所定形
状にツールイングされる。
By the way, in the grinding apparatus 1 of the present invention, prior to such grinding, the ground surface 4a is tooled into a predetermined shape by the discharge truing by the discharge truing apparatus 3.

【0036】すなわち、ここでの放電ツルーイングは、
上述した電解ドレッシングが行なわれる研削面4aのう
ち、工作物Wが砥石車4と調整車5との間に投入される
側(つまり、工作物の入口側)に、工作物Wの取代を研
削するための取代研削面(取代研削部)4bが形成され
るとともに、工作物Wの排出側(出口側)には工作物W
に仕上げ加工を施すための仕上加工面(仕上加工部)4
cが形成される。
That is, the discharge truing here is:
Of the grinding surface 4a on which the above-mentioned electrolytic dressing is performed, the work W is ground between the grinding wheel 4 and the adjusting wheel 5 (that is, the work entrance side). Grinding surface (cutting grinding portion) 4b for forming the workpiece W is formed on the discharge side (exit side) of the workpiece W.
Finishing surface (finishing part) 4 for applying finishing to the surface
c is formed.

【0037】具体的には、放電ツルーイング電極31
を、上記砥石車4の砥石軸7と平行な方向(矢符方向)
にスライドさせながら放電ツルーイングを行い、研削面
4aが図2(a) に示すような形状となるようにする。
Specifically, the discharge truing electrode 31
In the direction parallel to the grinding wheel axis 7 of the grinding wheel 4 (the direction of the arrow).
Then, discharge truing is performed while sliding the workpiece so that the ground surface 4a has a shape as shown in FIG. 2 (a).

【0038】つまり、放電ツルーイングにより、工作物
の入口側には、上記取代研削面4bとして工作物Wの取
代分Lに相当する傾斜を有するテーパ面を形成するとと
もに、この取代研削面4bに連続して、工作物Wの出口
側に向かって上記取代研削面4bとは反対向きのゆるや
かな傾斜を有するテーパ面が仕上加工面4cとして形成
される。これは後述するように、電解ドレッシングによ
り取代研削面4bに形成される酸化被膜eは、研削加工
時に工作物Wによって剥離されることを前提とするが、
仕上加工面4cに形成させる酸化被膜eは工作物Wが通
過した際にも一部残留するようにするためである。した
がって、取代研削面4bの傾きは、上述したように工作
物Wの取代に応じて決定されるのに対し、仕上加工面4
cの傾きは酸化被膜eが残留する程度の極めて小さなも
のとされる。
That is, by discharge truing, a tapered surface having an inclination corresponding to the allowance L of the workpiece W is formed on the inlet side of the workpiece as the replacement grinding surface 4b, and the tapered surface is continuously connected to the replacement grinding surface 4b. As a result, a tapered surface having a gentle inclination in the direction opposite to the above-mentioned stock removal grinding surface 4b toward the exit side of the workpiece W is formed as the finish processing surface 4c. As described later, this is based on the premise that the oxide film e formed on the replacement grinding surface 4b by electrolytic dressing is peeled off by the workpiece W during grinding.
This is because the oxide film e formed on the finish processing surface 4c partially remains even when the workpiece W passes. Therefore, the inclination of the machining surface 4b is determined according to the machining allowance of the workpiece W as described above, while the finishing surface 4b is determined.
The inclination of c is extremely small such that the oxide film e remains.

【0039】そして、本実施形態では、上記ツルーイン
グによりこの仕上加工面4cと連続して、傾斜がさらに
急勾配となるように工作物排出用のテーパ面4dが形成
される。これは従来のスパークアウトゾーンに対応した
ものである。なお、ここで図2(a) は、上記取代研削面
4bと仕上加工面4cと工作物排出用の部位4dの形状
を理解するために強調して描いた説明図である。
In the present embodiment, a tapered surface 4d for discharging the workpiece is formed by the truing so as to be continuous with the finishing surface 4c so that the inclination becomes steeper. This corresponds to the conventional spark-out zone. Here, FIG. 2 (a) is an explanatory drawing emphasized for understanding the shapes of the above-mentioned stock removal grinding surface 4b, finish processing surface 4c, and part 4d for discharging the workpiece.

【0040】この放電ツルーイングは、砥石車4の研削
面4aの性状に応じて、研削加工中または研削加工停止
中に随時実行され、具体的には、放電ツルーイング電極
31が、研削面4aに対して回転しながらトラバース移
動されるとともに、砥石車4と放電ツルーイング電極3
1に直流電流が流されて、これにより、上記研削面4a
の導電性結合材料部分が放電作用で溶融除去されて、チ
ップポケットが形成され、研削面4aにおける砥粒の突
出し量が揃えられる。
This discharge truing is performed at any time during the grinding process or while the grinding process is stopped, depending on the properties of the grinding surface 4a of the grinding wheel 4. Specifically, the discharge truing electrode 31 is applied to the grinding surface 4a. While being traversed while rotating, the grinding wheel 4 and the discharge truing electrode 3
1, a DC current is applied to the ground surface 4a.
Is melted and removed by the discharge action to form chip pockets, and the protrusion amount of abrasive grains on the grinding surface 4a is made uniform.

【0041】なおこの場合、電極面31aと研削面4a
との間の放電領域への冷却水等の侵入を防止するため、
この放電領域には図示しない冷却エアノズルから冷却空
気が噴射供給される。
In this case, the electrode surface 31a and the ground surface 4a
To prevent intrusion of cooling water etc. into the discharge area between
Cooling air is supplied from a cooling air nozzle (not shown) to this discharge area.

【0042】そして、上述した放電ツルーイングが完了
すると、続いて、放電・電解切替ユニット12により、
放電ツルーイング電極31から電解ドレッシング電極1
0が作動するように切替え操作されて、上述した電解ド
レッシング装置2による電解ドレッシングがインプロセ
スで実行される。
When the discharge truing is completed, the discharge / electrolysis switching unit 12 subsequently operates
From the discharge truing electrode 31 to the electrolytic dressing electrode 1
0 is operated so as to operate, and the above-described electrolytic dressing by the electrolytic dressing apparatus 2 is performed in-process.

【0043】しかして、以上のように、電解ドレッシン
グに先立って、ツルーイングにより研削面4aに所定の
テーパ面4b〜4dが形成され、この状態でインプロセ
ス電解ドレッシングを行なうことにより、本発明では、
工作物Wが以下のように高能率かつ高精度で加工され
る。
As described above, before the electrolytic dressing, the predetermined tapered surfaces 4b to 4d are formed on the ground surface 4a by truing. In this state, by performing in-process electrolytic dressing, the present invention provides:
The workpiece W is processed with high efficiency and high precision as described below.

【0044】その際の加工プロセスを図2に示す。ま
ず、上記放電ツルーイングにより研削面4aが上述した
所定形状にツルーイングされ(図2(a) 参照)、この状
態で電解ドレッシングが行なわれると、研削面4aの前
面にわたって酸化被膜eが形成される(図2(b) 参
照)。
FIG. 2 shows the working process at that time. First, the ground surface 4a is trued into the above-described predetermined shape by the discharge truing (see FIG. 2 (a)). When electrolytic dressing is performed in this state, an oxide film e is formed over the front surface of the ground surface 4a (see FIG. 2A). (See FIG. 2 (b)).

【0045】そして、工作物Wが矢符方向に送り込まれ
ると、工作物Wの角部が上記取代研削面4bと接触を開
始し、工作物Wが進むにしたがって取代研削面4bに形
成された酸化被膜eを剥離させると同時に、この取代研
削面4bによって取代分が研削される。その際、酸化被
膜eが脱落した後の取代研削面4bでは、砥粒が保持力
の強いメタルボンドにより保持れさているので、この取
代研削面4bによって高能率の研削加工が実現される
(図2(c) 参照)。
When the workpiece W is fed in the direction of the arrow, the corners of the workpiece W start to contact the above-described grinding surface 4b, and are formed on the grinding surface 4b as the workpiece W advances. At the same time as the oxide film e is peeled off, the allowance is ground by the allowance grinding surface 4b. At this time, since the abrasive grains are held by the metal bond having a strong holding force on the replacement grinding surface 4b after the oxide film e has fallen, highly efficient grinding is realized by the replacement grinding surface 4b (FIG. 2 (c)).

【0046】一方、取代研削面4bによて取代分が研削
された工作物Wは、工作物Wの進行にしたがって、続く
仕上加工面4cに到達する。仕上加工面4cでは、上記
取代研削面4bと同様に酸化被膜eが工作物Wによって
剥離されるが、ここではテーパ面が上記取代研削面4b
とは反対向きにゆるやかに形成されているので、酸化被
膜eの最上層部分のみが剥離されるに止まり、仕上加工
面4c上には酸化被膜eの一部が残留することとなる
(図3参照)。
On the other hand, the workpiece W, of which the machining allowance has been ground by the machining ground surface 4b, reaches the subsequent finishing machined surface 4c as the workpiece W advances. On the finishing surface 4c, the oxide film e is peeled off by the workpiece W in the same manner as the above-mentioned machining surface 4b, but here, the tapered surface is formed by the machining surface 4b.
Since only the uppermost layer of the oxide film e is peeled off, a part of the oxide film e remains on the finishing surface 4c (FIG. 3). reference).

【0047】そのため、工作物Wがこの仕上加工面4c
を通過する際には、酸化被膜eによって弾力性をもって
保持された砥粒により高精度の研削加工が実現される。
つまり、上記取代研削面4bで高能率の研削加工が施さ
れた工作物Wは、この仕上加工面4cにおいて、残留す
る酸化被膜eによって遊離砥粒的に保持された砥粒によ
り高精度の研削加工が施される。また、その際、残留す
る酸化被膜eによって研削砥石のメタルボント部分が直
接工作物Wに接触することがないので、工作物Wの表面
に引っかき傷等をつけることもなく、いわゆる鏡面研削
が可能となる。
Therefore, the workpiece W is moved to the finishing surface 4c.
When passing through, high-precision grinding is realized by the abrasive grains held elastically by the oxide film e.
In other words, the workpiece W that has been subjected to high-efficiency grinding on the stock removal grinding surface 4b has high precision grinding on the finishing surface 4c by the abrasive grains held as loose abrasive grains by the remaining oxide film e. Processing is performed. Further, at this time, since the metal bond portion of the grinding wheel does not directly contact the workpiece W due to the remaining oxide film e, so-called mirror grinding can be performed without scratching the surface of the workpiece W. Become.

【0048】そして、仕上加工が施された工作物Wは、
上記仕上加工面4cに連続して設けられた工作物排出用
のテーパ面4dの部分に至って外部に排出される。
Then, the finished workpiece W is
The workpiece is discharged to the outside through the tapered surface 4d for discharging the workpiece, which is provided continuously to the finishing surface 4c.

【0049】このように、本発明によれば、放電ツルー
イングによって研削面4aを取代研削用の強い傾斜のテ
ーパ面と、それに連続して反対向きに設けられる仕上加
工用の緩やかなテーパ面とによって、メタルボンド砥石
の利点である高能率の研削と、ELID研削による高精
度の研削の二つの効果を同時に奏するものである。
As described above, according to the present invention, the grinding surface 4a is replaced by the discharge truing by using a tapered surface having a strong inclination for grinding and a gentle taper surface for finishing which is provided continuously in the opposite direction. In addition, two effects of high-efficiency grinding, which is an advantage of a metal bond grinding wheel, and high-precision grinding by ELID grinding are simultaneously exhibited.

【0050】なお、上述した実施形態は、あくまでも本
発明の好適な実施態様を示すものであって、本発明はこ
れに限定されることなく、その範囲内で種々設計変更可
能である。
The above-described embodiment merely shows a preferred embodiment of the present invention, and the present invention is not limited to this, and various design changes can be made within the scope.

【0051】例えば、上述した実施形態は、本発明を図
4(a) に示すようなスルフィード方式のセンタレス研削
盤に適用した場合を示したが、本発明は円筒研削盤や平
面研削盤などの他の研削方式の研削盤にも適用すること
ができる。
For example, the above-described embodiment shows a case where the present invention is applied to a through-feed type centerless grinder as shown in FIG. 4 (a). It can also be applied to grinding machines of other grinding methods.

【0052】つまり、図4(b) に円筒研削盤に適用した
場合、図4(c) に平面研削盤に適用した場合、図4(d)
に両頭平面研削盤に適用した場合の概略構成の一例をそ
れぞれ示す。これらの場合において、いずれも上記取代
研削面4bは、工作物Wが砥石に送り込まれる入口側に
設けられるとともに、この入口側と反対側に仕上加工面
4cが設けられる。なお、これらの図示例では、工作物
Wが移動する場合を示したが、もちろん砥石側を動かし
て切り込みを加える構成とすることも可能である。
In other words, when applied to a cylindrical grinding machine in FIG. 4B, and when applied to a surface grinding machine in FIG.
1 shows an example of a schematic configuration when applied to a double-sided surface grinder. In any of these cases, the above-mentioned machining surface 4b is provided on the entrance side where the workpiece W is fed into the grindstone, and the finishing surface 4c is provided on the side opposite to the entrance side. Note that, in these illustrated examples, the case where the workpiece W moves is shown, but it is of course possible to adopt a configuration in which a cut is made by moving the grindstone side.

【0053】また、上記実施形態では、ツルーイング装
置として放電ツルーイング装置を示したが、もちろん機
械的なツルーイング装置によりツルーイングを行なう構
成とすることも可能である。さらに、上記実施形態では
研削加工中に電解ドレッシングを行なう構成を示した
が、電解ドレッシングを研削加工に先立って行なわせる
ことも可能である。
In the above-described embodiment, the discharge truing device is shown as the truing device. However, it is needless to say that the truing can be performed by a mechanical truing device. Further, in the above-described embodiment, the configuration in which the electrolytic dressing is performed during the grinding is shown. However, the electrolytic dressing may be performed prior to the grinding.

【0054】[0054]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
電解ドレッシングを利用した超精密研削加工において、
研削砥石として、導電性メタルボンドにより砥粒が結合
されてなる導電性メタルボンド砥石を用い、導電性メタ
ルボンド砥石の砥石表面に対して電解ドレッシングを施
す研削装置において、電解ドレッシングに先立って、研
削砥石に対して、所定形状の取代研削部を形成させると
ともに、所定形状の仕上加工部を形成させるツルーイン
グを行なうようにしたから、高能率でしかも高精度の研
削加工を行なうことができる。
As described in detail above, according to the present invention,
In ultra-precision grinding using electrolytic dressing,
As a grinding whetstone, using a conductive metal bond whetstone in which abrasive grains are bonded by a conductive metal bond, in a grinding device that performs electrolytic dressing on the whetstone surface of the conductive metal bond whetstone, grinding prior to electrolytic dressing Since the grinding wheel is formed with a predetermined grinding portion having a predetermined shape and a truing is performed to form a finishing portion having a predetermined shape, highly efficient and highly accurate grinding can be performed.

【0055】具体的には、砥石表面のうち、工作物の入
口側に工作物の取代を研削するためのテーパ面を形成す
るとともに、工作物の出口側に上記電解ドレッシングに
よる仕上加工を行なうためのテーパ面が形成されるよう
にしたので、工作物の送り込みにより研削砥石の入口側
で酸化被膜が剥離にともなう高能率研削加工が行なわ
れ、さらに仕上加工用のテーパ面では残留酸化酸化被膜
によって高精度の仕上げ研削加工が施される。
More specifically, of the grindstone surface, a tapered surface for grinding the machining allowance of the workpiece is formed at the entrance side of the workpiece, and the finish processing by the electrolytic dressing is performed at the exit side of the workpiece. As the tapered surface of the grinding wheel is formed, high-efficiency grinding is performed on the inlet side of the grinding wheel due to peeling of the oxide film by feeding in the workpiece, and the residual oxide film is formed on the tapered surface for finish processing. High-precision finish grinding is performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る一実施形態であるセンタレス研削
盤の概略構成を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a centerless grinding machine according to an embodiment of the present invention.

【図2】同センタレス研削盤におけるツルーイング形
状、および電解ドレッシング工程、ならびに研削過程を
示す拡大模式図である。
FIG. 2 is an enlarged schematic diagram showing a truing shape, an electrolytic dressing process, and a grinding process in the centerless grinding machine.

【図3】同センタレス研削盤の研削過程における砥石表
面の酸化被膜の状態を示す拡大模式図であり、図2(d)
に対応するものである。
FIG. 3 is an enlarged schematic view showing a state of an oxide film on a grinding wheel surface in a grinding process of the centerless grinding machine, and FIG. 2 (d).
It corresponds to.

【図4】本発明を他の形式の研削盤に適用した場合の概
略構成を説明する説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram illustrating a schematic configuration when the present invention is applied to another type of grinding machine.

【図5】従来のELID研削における研削過程を示す図
2に対応する拡大模式図である。
FIG. 5 is an enlarged schematic view corresponding to FIG. 2, showing a grinding process in conventional ELID grinding.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 研削装置 2 電解ドレッシング装置 3 放電ツルーイング装置 4 砥石車 4a 砥石車の研削面(砥石表面) 4b 取代研削面(取代研削部) 4c 仕上加工面(仕上加工部) 4d 工作物排出用のテーパ面 5 調整車 6 ブレード 8 給電体 9 電源 10 ドレッシング電極 10a ドレッシング電極の環状電極面 11 給電体 31 放電ツルーイング電極 31a 放電ツルーイング電極の円筒状電極面 32 給電体 12 放電・電解切替ユニット(切替操作
部) W 工作物
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Grinding device 2 Electrolytic dressing device 3 Discharge truing device 4 Grinding wheel 4a Grinding surface of grinding wheel (grinding wheel surface) 4b Grinding grinding surface (grinding grinding portion) 4c Finish processing surface (finish processing portion) 4d Tapered surface for discharging workpiece Reference Signs List 5 adjustment wheel 6 blade 8 power supply 9 power supply 10 dressing electrode 10a annular electrode surface of dressing electrode 11 power supply 31 discharge truing electrode 31a cylindrical electrode surface of discharge truing electrode 32 power supply 12 discharge / electrolysis switching unit (switching operation unit) W Workpiece

─────────────────────────────────────────────────────
────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成10年10月26日(1998.10.
26)
[Submission date] October 26, 1998 (1998.10.
26)

【手続補正1】[Procedure amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】図面の簡単な説明[Correction target item name] Brief description of drawings

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る一実施形態であるセンタレス研削
盤の概略構成を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a centerless grinding machine according to an embodiment of the present invention.

【図2】同センタレス研削盤におけるツルーイング形
状、および電解ドレッシング工程、ならびに研削過程を
示す拡大模式図である。
FIG. 2 is an enlarged schematic diagram showing a truing shape, an electrolytic dressing process, and a grinding process in the centerless grinding machine.

【図3】同センタレス研削盤の研削過程における砥石表
面の酸化被膜の状態を示す拡大模式図であり、図2
(d)に対応するものである。
FIG. 3 is an enlarged schematic view showing a state of an oxide film on a grindstone surface in a grinding process of the centerless grinder;
This corresponds to (d).

【図4】本発明を他の形式の研削盤に適用した場合の概
略構成を説明する説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram illustrating a schematic configuration when the present invention is applied to another type of grinding machine.

【図5】従来のELID研削における研削過程を示す図
2に対応する拡大模式図である。
FIG. 5 is an enlarged schematic view corresponding to FIG. 2, showing a grinding process in conventional ELID grinding.

【図6】電解ドレッシングにおけるドレッシングのメカ
ニズムを説明する説明図である。
FIG. 6 is an explanatory diagram illustrating a dressing mechanism in electrolytic dressing.

【符号の説明】 1 研削装置 2 電解ドレッシング装置 3 放電ツルーイング装置 4 砥石車 4a 砥石車の研削面(砥石表面) 4b 取代研削面(取代研削部) 4c 仕上加工面(仕上加工部) 4d 工作物排出用のテーパ面 5 調整車 6 ブレード 8 給電体 9 電源 10 ドレッシング電極 10a ドレッシング電極の環状電極面 11 給電体 31 放電ツルーイング電極 31a 放電ツルーイング電極の円筒状電極面 32 給電体 12 放電・電解切替ユニット(切替操作
部) W 工作物
[Description of Signs] 1 Grinding device 2 Electrolytic dressing device 3 Electric discharge truing device 4 Grinding wheel 4a Grinding surface of grinding wheel (grinding wheel surface) 4b Grinding grinding surface (grinding grinding part) 4c Finishing work surface (finish working part) 4d Workpiece Tapered surface for discharge 5 Conditioning wheel 6 Blade 8 Power supply 9 Power supply 10 Dressing electrode 10a Annular electrode surface of dressing electrode 11 Power supply 31 Discharge truing electrode 31a Cylindrical electrode surface of discharge truing electrode 32 Power supply 12 Discharge / electrolysis switching unit (Switch operation part) W Workpiece

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 研削砥石として、導電性メタルボンドに
より砥粒が結合されてなる導電性メタルボンド砥石を用
い、導電性メタルボンド砥石の砥石表面に対して電解ド
レッシングを施す研削装置において、 前記電解ドレッシングに先立って、前記研削砥石に対し
て、所定形状の取代研削部を形成させるとともに、所定
形状の仕上加工部を形成させるツルーイングを行なうこ
とを特徴とする超精密研削方法。
1. A grinding apparatus for performing electrolytic dressing on a grindstone surface of a conductive metal bond grindstone using a conductive metal bond grindstone having abrasive grains bonded by a conductive metal bond as a grinding grindstone, An ultra-precision grinding method characterized by performing a truing process to form a pre-set grinding portion having a predetermined shape and a finishing portion having a predetermined shape on the grinding wheel prior to dressing.
【請求項2】 前記ツルーイングを研削砥石の研削加工
停止中に施すことを特徴とする請求項1に記載の超精密
研削方法。
2. The ultra-precision grinding method according to claim 1, wherein the truing is performed while the grinding of the grinding wheel is stopped.
【請求項3】 前記電解ドレッシングを研削砥石の研削
加工中に施すことを特徴とする請求項1に記載の超精密
研削方法。
3. The ultra-precision grinding method according to claim 1, wherein said electrolytic dressing is performed during grinding of a grinding wheel.
【請求項4】 研削砥石として、導電性メタルボンドに
より砥粒が結合されてなる導電性メタルボンド砥石を用
い、導電性メタルボンド砥石の砥石表面に対して電解ド
レッシングを施す研削装置において、 前記研削装置がツルーイング装置を備え、このツルーイ
ング装置により、前記研削砥石の砥石表面のうち工作物
の入口側に工作物の取代を研削するためのテーパ面が形
成されるとともに、工作物の出口側に上記電解ドレッシ
ングによる仕上加工を行なうためのテーパ面が形成され
ることを特徴とする研削装置。
4. A grinding apparatus for performing electrolytic dressing on a surface of a conductive metal bond grindstone using a conductive metal bond grindstone having abrasive grains bonded by a conductive metal bond as the grinding grindstone, The apparatus is provided with a truing device, and by this truing device, a tapered surface for grinding a machining allowance of a workpiece is formed on an inlet side of a workpiece on the grinding wheel surface of the grinding wheel, and the above-described truing device is provided on an outlet side of the workpiece. A grinding apparatus characterized by forming a tapered surface for performing finishing by electrolytic dressing.
【請求項5】 前記仕上加工用のテーパ面に連続して、
工作物の出口側にさらに工作物排出用のテーパ面が形成
されることを特徴とする請求項4に記載の研削装置。
5. A continuation of the finishing taper surface,
5. The grinding device according to claim 4, wherein a tapered surface for discharging the workpiece is further formed on the outlet side of the workpiece.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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