JPH11262860A - Extremely precise grinding method and device - Google Patents

Extremely precise grinding method and device

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JPH11262860A
JPH11262860A JP8818798A JP8818798A JPH11262860A JP H11262860 A JPH11262860 A JP H11262860A JP 8818798 A JP8818798 A JP 8818798A JP 8818798 A JP8818798 A JP 8818798A JP H11262860 A JPH11262860 A JP H11262860A
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JP
Japan
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grinding
grinding wheel
conductive
dressing
grindstone
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JP8818798A
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Japanese (ja)
Inventor
Katsuji Yashiki
克二 谷舗
Hirohisa Yamada
裕久 山田
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JTEKT Machine Systems Corp
Original Assignee
Koyo Machine Industries Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide extremely precise grinding work using electrolytic dressing resulting in high finishing precision, a shorter dressing cycle time and less demand of consuming power by satisfying the profile precision of a grinding wheel surface required for precise grinding while maintaining the cutting capability and elasticity of the grinding wheel surface. SOLUTION: A conductive resin bond grinding wheel formed with abrasive grains combined through conductive resin bond is used as a conductive grinding wheel constituting a grinding wheel 2 and electrolytic dressing is applied to the grinding wheel surface 2a of the grinding wheel 2 during grinding work for a workpiece W with the grinding wheel 2. With the electrolysis of the electrolytic dressing, only conductive material is dissolved in resin bond and abrasive grains and resin are left on the grinding wheel surface 2a, without requiring the production of an oxide film as in ELID grinding.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は超精密研削方法お
よび研削装置に関し、さらに詳細には、電解ドレッシン
グを利用した超砥粒砥石による研削技術に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultra-precision grinding method and a grinding apparatus, and more particularly to a grinding technique using a super-abrasive grindstone utilizing electrolytic dressing.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、先端精密加工技術の一つとして、
超砥粒砥石を用いた超精密研削技術が注目され、特にレ
ジン系やメタル系結合材料によりダイヤモンド砥粒が結
合されてなるダイヤモンド砥石は、セラミック等の硬脆
材料を研削加工する場合に最適な砥石として使用されて
いる。
2. Description of the Related Art In recent years, as one of the advanced precision processing techniques,
Attention has been paid to ultra-precision grinding technology using super-abrasive grindstones.Particularly, diamond grindstones in which diamond abrasive grains are bonded by resin-based or metal-based bonding materials are ideal for grinding hard and brittle materials such as ceramics. Used as a whetstone.

【0003】ところで、この種の超砥粒砥石のツルーイ
ング(truing)・ドレッシング(dressing)は、従来の一般
的な機械的ツルーイング・ドレッシング技術では困難で
あるとともに、その作業に長時間を要するという問題が
あった。
The truing and dressing of this type of superabrasive grindstone is difficult with conventional general mechanical truing and dressing techniques, and requires a long time for the operation. was there.

【0004】この点に関して、この種の超砥粒砥石の多
くが導電性レジンボンドやメタルボンド等の導電性結合
材料を用いた導電性砥石であることに着目して、最近で
は、放電ツルーイングや電解ドレッシングといった電気
的ツルーイング・ドレッシング技術が超砥粒砥石のツル
ーイング・ドレッシングに適用される例が増えてきてい
る。
In this regard, attention has been paid to the fact that most of these types of superabrasive grindstones are conductive grindstones using a conductive bonding material such as a conductive resin bond or a metal bond. An example in which an electric truing and dressing technique such as electrolytic dressing is applied to truing and dressing of a superabrasive grindstone is increasing.

【0005】放電ツルーイングは、放電作用を利用した
ツルーイングを行うもので、メタルボンド砥石のツルー
イングに一般に適用されている。この放電ツルーイング
は、メタルボンド・ダイヤモンド砥石からなる砥石車を
備えたセンタレス研削盤を例にとれば、砥石車を(+)
極とするとともに、この砥石車の砥石表面(円筒研削
面)に対向して一定間隔をもって設けられた金属円盤か
らなる放電ツルアー(放電ツルーイング電極)を(−)
極とし、上記砥石車と放電ツルアーを所定の速度で回転
させながら、これらに正負の電圧をそれぞれ印加するこ
とにより、両極間の放電作用によって上記砥石表面のメ
タルボンド部分を溶解除去して、研削面における砥粒の
突出状態を成形維持するようにされている。
[0005] Discharge truing performs truing using a discharge action, and is generally applied to truing of a metal bond grindstone. In the case of a centerless grinder equipped with a grinding wheel made of a metal bond and a diamond grinding wheel, this discharge truing is performed by using a grinding wheel (+).
A discharge truer (discharge truing electrode) composed of a metal disk provided at regular intervals in opposition to the grinding wheel surface (cylindrical grinding surface) of the grinding wheel as a pole.
By applying positive and negative voltages to the electrodes while rotating the grinding wheel and the discharge tool at a predetermined speed, the metal bond portion on the surface of the grinding wheel is dissolved and removed by the discharge action between the electrodes, and the grinding is performed. The protruding state of the abrasive grains on the surface is formed and maintained.

【0006】一方、電解ドレッシングは、電解作用を利
用してドレッシングを行うもので、やはりメタルボンド
砥石のドレッシングに一般に適用されている。この電解
ドレッシングとして代表的なものが電解インプロセスド
レッシング(Electrolytic In-process Dressing:EL
ID)と呼ばれる技術で、上記と同様、メタルボンド・
ダイヤモンド砥石からなる砥石車を備えたセンタレス研
削盤を例にとれば、砥石車を(+)極とするとともに、
この砥石車の砥石表面(円筒研削面)に対向して一定間
隔をもって設けられたドレッシング電極を(−)極と
し、ワークの研削加工中において、これらの間隙にクー
ラント(電解液)を供給しながら直流電流を流すことに
より、電解作用によって上記研削面のメタルボンド部分
を溶出して、研削面における砥粒の突出状態を維持する
ようにされている。
[0006] On the other hand, the electrolytic dressing, which performs dressing using an electrolytic action, is also generally applied to dressing of a metal bond grindstone. A typical example of this electrolytic dressing is Electrolytic In-process Dressing (EL).
ID), a metal bond
Taking a centerless grinder equipped with a grinding wheel made of diamond grinding wheels as an example, the grinding wheel has a (+) pole,
Dressing electrodes provided at regular intervals opposite to the grinding wheel surface (cylindrical grinding surface) of the grinding wheel are used as (-) poles, and a coolant (electrolyte) is supplied to these gaps during grinding of the workpiece. When a direct current is passed, the metal bond portion of the ground surface is eluted by the electrolytic action, so that the abrasive grains protrude from the ground surface.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の放電ツルーイングや電解ドレッシングでは、
それぞれ以下に述べるような問題点があり、超精密研削
技術の所期の効果を十分に発揮し得ず、さらなる改良が
要望されていた。
However, in such conventional discharge truing and electrolytic dressing,
Each has the following problems, and the desired effect of the ultra-precision grinding technique cannot be sufficiently exerted, so that further improvement has been demanded.

【0008】すなわち、前者の放電ツルーイングにおい
ては、砥石車の砥石表面のプロファイル精度を超精密研
削に要求される程度まで向上させることができなかっ
た。
That is, in the former discharge truing, the profile accuracy of the grinding wheel surface of the grinding wheel cannot be improved to a level required for ultra-precision grinding.

【0009】具体的には、超砥粒砥石からなる砥石車を
用いた超精密研削には、砥石車の真円度や真直度等の確
保と共に、砥粒先端を精密に揃える必要があるところ、
放電ツルーイングでは、砥石の結合材料を放電作用で溶
融除去するとともに、砥石車の回転による振れ取りを行
うという方法が採られているため、砥粒先端を所要の精
度に揃えること等が難しく、砥石表面を所要のプロファ
イル精度に創成することは困難である。
Specifically, in ultra-precision grinding using a grinding wheel made of a super-abrasive grinding wheel, it is necessary to ensure the roundness and straightness of the grinding wheel and to precisely align the tips of the abrasive grains. ,
In electric discharge truing, a method is used in which the bonding material of the grinding stone is melted and removed by the discharge action, and the grinding wheel is rotated to remove the material. It is difficult to create a surface with the required profile accuracy.

【0010】しかも、砥石表面には結合材料によりほと
んど保持されていない砥粒も多く存在して、砥石表面が
不安定な状態にあり、この不安定な状態のままで研削加
工すると工作物表面にスクラッチ(引っかき傷)を生じ
て、精密研削としての高い仕上げ精度を得ることができ
ない。
Moreover, there are many abrasive grains which are hardly held by the bonding material on the surface of the grinding wheel, and the surface of the grinding wheel is in an unstable state. Scratch (scratch) occurs, and high finishing accuracy as precision grinding cannot be obtained.

【0011】また、後者の電解ドレッシングにおいて
は、以下のような理由でセンタレス研削加工のような高
能率加工には適用が困難であった。
Further, in the latter electrolytic dressing, it has been difficult to apply it to high-efficiency machining such as centerless grinding for the following reasons.

【0012】(1) 従来の電解ドレッシングでは、センタ
レス研削のような高能率加工において砥石磨耗が激し
く、これがため、電解ドレシングの頻度が大きくて、ラ
ンニングコストが高くつく。
(1) In the conventional electrolytic dressing, in a high-efficiency machining such as centerless grinding, the grinding wheel is severely worn, and therefore, the frequency of the electrolytic dressing is large and the running cost is high.

【0013】つまり、従来の電解ドレッシングの具体的
なメカニズムは、図4を参照して、(+)極とされたメ
タルボンド砥石aの砥石表面が磨耗した状態で(図4
(a))、この砥石表面と(−)極とされたドレッシング電
極bの電極面との間隙にクーラント(電解液)が供給さ
れながら直流電流が流される。すると、その電解作用に
よって、まず、上記砥石表面のメタルボンドc中のメタ
ル成分(鉄)dが溶出してイオン化し、砥石表面にチッ
プポケットが形成された後(図4(b))、この砥石車表面
上にメタル成分dの酸化被膜eが形成される(図4
(c))。そして、この酸化被膜eによって、砥石表面にお
ける砥粒fの突出状態が維持されるとともに、その砥粒
保持に弾力性が付与されることとなる。
That is, the specific mechanism of the conventional electrolytic dressing is shown in FIG. 4 in a state where the surface of the metal bond grinding wheel a having the (+) pole is worn (see FIG. 4).
(a)), a DC current flows while a coolant (electrolyte) is supplied to a gap between the surface of the grinding wheel and the electrode surface of the dressing electrode b which is a (-) pole. Then, by the electrolytic action, first, the metal component (iron) d in the metal bond c on the surface of the grinding wheel is eluted and ionized, and a chip pocket is formed on the surface of the grinding wheel (FIG. 4 (b)). An oxide film e of a metal component d is formed on the surface of the grinding wheel.
(c)). The oxide film e maintains the projected state of the abrasive grains f on the surface of the grindstone and imparts elasticity to the holding of the abrasive grains.

【0014】しかしながら、このように砥石表面に酸化
被膜eが生成される構成では、センタレス研削のような
高能率加工においては、砥石磨耗が激しくて、酸化皮膜
eが短時間で脱落し消失してしまう。これがため、電解
ドレシングを頻繁に行う必要があり、ランニングコスト
の上昇を招いている。
However, in such a configuration in which the oxide film e is formed on the surface of the grindstone, in high-efficiency processing such as centerless grinding, the grindstone is severely worn, and the oxide film e falls off and disappears in a short time. I will. For this reason, it is necessary to frequently perform electrolytic dressing, resulting in an increase in running cost.

【0015】(2) 1回あたりの電解ドレッシングのサイ
クルタイムが比較的長いことから、センタレス研削盤の
ように幅広砥石を用いる場合には、このドレッシングサ
イクルタイムが特に長く、研削サイクルタイムの短縮化
に支障をきたして、所期の高能率加工ができないばかり
か、ELID研削においては精密研削としての高い仕上
げ精度を安定して得ることができない。
(2) Since the cycle time of electrolytic dressing per cycle is relatively long, when a wide grindstone is used as in a centerless grinding machine, the dressing cycle time is particularly long, and the grinding cycle time is reduced. As a result, not only the desired high-efficiency machining cannot be performed, but also high finishing accuracy as precision grinding cannot be stably obtained in ELID grinding.

【0016】(3) 上記のようなドレッシングサイクルタ
イムの長さに起因して、幅広砥石の場合は、砥石表面全
体にわたって均一なドレッシング効果が得られず、砥石
表面を所要のプロファイル精度に創成し維持することが
困難である。
(3) Due to the length of the dressing cycle time as described above, in the case of a wide whetstone, a uniform dressing effect cannot be obtained over the entire whetstone surface, and the whetstone surface is formed with a required profile accuracy. Difficult to maintain.

【0017】(4) 電解ドレッシングにおいては比較的大
きな電流を流す必要があり、特に幅広砥石の電解ドレッ
シングには大電流が必要で、電源装置が大形で高価であ
り、上記サイクルタイムの長さとも相まって、電気代も
嵩んで、ランニングコストの大幅な上昇を招く。
(4) In the electrolytic dressing, a relatively large current needs to be passed. Particularly, a large current is required for the electrolytic dressing of a wide grinding wheel, and the power supply device is large and expensive. In addition, the electricity bill increases, leading to a significant increase in running costs.

【0018】本発明はかかる従来の問題点に鑑みてなさ
れたものであって、その目的とするところは、電解ドレ
ッシングを利用した超精密研削加工において、砥石表面
の切れ味と弾性を確保しつつ、精密研削に要求される砥
石表面のプロファイル精度を満足させて、高い仕上げ精
度を得ることができ、しかも、ドレッシングサイクルタ
イムの短縮化と消費電力の低減化を図ることができる超
精密研削技術を提供することにある。
The present invention has been made in view of such a conventional problem, and an object of the present invention is to provide an ultra-precision grinding process using electrolytic dressing while ensuring the sharpness and elasticity of the grinding wheel surface. Provide ultra-precision grinding technology that satisfies the profile accuracy of the grinding wheel surface required for precision grinding, achieves high finishing accuracy, and can reduce dressing cycle time and power consumption. Is to do.

【0019】[0019]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の超精密研削方法は、電解ドレッシングを利
用した導電性砥石による研削方法であって、上記導電性
砥石として、導電性レジンボンドにより砥粒が結合され
てなる導電性レジンボンド砥石を用いるとともに、この
導電性レジンボンド砥石による工作物の研削加工中に、
導電性レジンボンド砥石の砥石表面に対して電解ドレッ
シングを施すようにしたことを特徴とする。
In order to achieve the above object, an ultra-precision grinding method according to the present invention is a grinding method using a conductive grindstone using electrolytic dressing, wherein a conductive resin bond is used as the conductive grindstone. Along with using a conductive resin bond whetstone in which the abrasive grains are combined, during the grinding of the workpiece with this conductive resin bond whetstone,
It is characterized in that electrolytic dressing is performed on the grindstone surface of the conductive resin bond grindstone.

【0020】また、本発明の超精密研削装置は、上記研
削方法を実施するためのセンタレス方式の研削装置であ
って、砥石車を構成する導電性砥石は、導電性レジンボ
ンドにより砥粒が結合されてなるとともに、上記砥石車
の砥石表面に対向して電解ドレッシング電極が設けられ
てなることを特徴とする。
The ultra-precision grinding apparatus of the present invention is a centerless grinding apparatus for carrying out the above-mentioned grinding method, wherein a conductive grinding wheel constituting a grinding wheel has abrasive grains bonded by a conductive resin bond. And an electrolytic dressing electrode is provided facing the surface of the grinding wheel of the grinding wheel.

【0021】本発明においては、導電性砥石として、電
解作用による酸化皮膜生成を必要としない導電物質を含
有した導電性レジンボンドにより砥粒が結合されてなる
導電性レジンボンド砥石を用いるとともに、この導電性
レジンボンド砥石の砥石表面に対向して電解ドレッシン
グ電極を設ける。
In the present invention, a conductive resin bond grindstone formed by bonding abrasive grains with a conductive resin bond containing a conductive material that does not require the formation of an oxide film by an electrolytic action is used as the conductive grindstone. An electrolytic dressing electrode is provided to face the grindstone surface of the conductive resin bond grindstone.

【0022】そして、導電性レジンボンド砥石による工
作物の研削加工中において、導電性レジンボンド砥石の
砥石表面と電解ドレッシングの電極面との間隙にクーラ
ント(電解液)を供給しながら直流電流を流すことによ
り、電解作用によって上記研削面の導電性のメタル成分
を溶出して、砥石表面における目詰まりがインプロセス
で除去され、砥粒の突出状態が回復される。
During the grinding of the workpiece with the conductive resin-bonded grindstone, a DC current is supplied while supplying a coolant (electrolyte) to a gap between the grindstone surface of the conductive resin-bonded grindstone and the electrode surface of the electrolytic dressing. As a result, the conductive metal component on the grinding surface is eluted by the electrolytic action, the clogging on the grinding wheel surface is removed in-process, and the projected state of the abrasive grains is recovered.

【0023】この場合、レジンボンドに含有される導電
物質としては、銅やタングステン等の金属材料が用いら
れている。このため、上記電解作用によって、レジンボ
ンド中の導電物質(メタル成分)のみが溶解して、上記
砥石表面には砥粒とレジンのみが残り、ELID研削に
おけるような酸化皮膜を生成する必要はなく、砥粒の十
分な突出し量が得られるとともに、レジンホンド自体の
弾性により砥粒の保持状態にも弾力性がある。
In this case, as the conductive material contained in the resin bond, a metal material such as copper or tungsten is used. For this reason, only the conductive substance (metal component) in the resin bond is dissolved by the electrolytic action, and only the abrasive grains and the resin remain on the surface of the grinding stone, and there is no need to form an oxide film as in ELID grinding. In addition, a sufficient protrusion amount of the abrasive grains can be obtained, and the elasticity of the resin itself has elasticity in the holding state of the abrasive grains.

【0024】この結果、研削能率を上げかつ研削加工精
度(面粗さ)を向上させるための必要条件、つまり砥
粒の突出し量が十分あること、および砥粒を保持する
ボンド(酸化皮膜も含む)の弾力性があること、の二つ
の条件が同時に満たされることとなる。
As a result, the necessary conditions for increasing the grinding efficiency and improving the grinding accuracy (surface roughness), that is, the sufficient amount of protrusion of the abrasive grains, and the bond (including the oxide film) holding the abrasive grains ), The two conditions of resilience are simultaneously satisfied.

【0025】また、酸化皮膜を生成する必要がないの
で、幅広砥石でも省電力で電解ドレッシングでき、電解
ドレッシング時間もELID研削に比べて短縮される。
Further, since it is not necessary to form an oxide film, electrolytic dressing can be performed even with a wide whetstone with low power consumption, and the electrolytic dressing time can be shortened as compared with ELID grinding.

【0026】[0026]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0027】実施形態1 本発明に係る超精密研削装置が図1に示されている。こ
の研削装置は具体的にはセンタレス研削盤であって、ド
レッシング装置として電解ドレッシング装置1を備えて
なる。
Embodiment 1 FIG. 1 shows an ultra-precision grinding apparatus according to the present invention. This grinding device is specifically a centerless grinding machine, and includes an electrolytic dressing device 1 as a dressing device.

【0028】センタレス研削盤としての基本構成は従来
周知のものと同様であり、砥石車2、調整車3およびブ
レード4などを主要部として構成されており、図示の実
施形態においては、工作物Wが調整車3とブレード4に
より回転支持されるとともに、砥石車2と調整車3の間
を軸方向へ通し送りされながら研削されるスルー研削方
式とされている。
The basic configuration of the centerless grinding machine is the same as that of a conventional well-known grinding machine. The centerless grinding machine mainly includes a grinding wheel 2, an adjusting wheel 3, a blade 4, and the like. Is rotatably supported by the adjusting wheel 3 and the blade 4, and is ground while being passed through between the grinding wheel 2 and the adjusting wheel 3 in the axial direction.

【0029】上記砥石車2は、導電性結合材料により砥
粒が結合されてなる導電性砥石からなり、その砥石表面
2aが円筒研削面とされている。砥粒としては、微小な
ダイヤモンド砥粒やCBN(キュービックボロンナイト
ライド)砥粒等のいわゆる超砥粒が使用されるととも
に、導電性結合材料としては、導電物質を含有した導電
性レジンボンドが使用され、好適には銅(Cu)やタン
グステン(W)あるいはこれらの混合物が導電物質とし
て含有されている。図示の実施形態においては、微小な
ダイヤモンド砥粒が導電性レジンボンドにより結合され
てなる導電性砥石車2とされている。
The grinding wheel 2 is made of a conductive grinding wheel in which abrasive grains are bonded by a conductive bonding material, and the grinding wheel surface 2a is a cylindrical grinding surface. So-called super-abrasive grains such as fine diamond abrasive grains and CBN (cubic boron nitride) abrasive grains are used as the abrasive grains, and a conductive resin bond containing a conductive substance is used as the conductive bonding material. Preferably, copper (Cu), tungsten (W), or a mixture thereof is contained as a conductive material. In the illustrated embodiment, the conductive grinding wheel 2 is formed by bonding fine diamond abrasive grains by a conductive resin bond.

【0030】上記砥石車2は、具体的には図示しない
が、砥石軸5を介して図外の砥石車基台に回転可能に支
持されるとともに、動力伝達機構を介して回転駆動源に
連係されている。また、砥石車2は給電体10を介して
電源11の(+)極に電気的に接続されている。
Although not specifically shown, the grinding wheel 2 is rotatably supported on a grinding wheel base (not shown) via a grinding wheel shaft 5 and is linked to a rotary drive source via a power transmission mechanism. Have been. Further, the grinding wheel 2 is electrically connected to the (+) pole of the power supply 11 via the power supply 10.

【0031】電解ドレッシング装置1は、ドレッシング
電極15が、砥石車2の研削位置つまり工作物Wの回転
支持位置から外れた位置(図示のものにおいては砥石車
2の上側位置)に配置されてなるとともに、図示しない
が、電解液供給用ノズルが砥石車2の研削面2aとドレ
ッシング電極15の環状電極面15a間に臨んで設けら
れてなる。
In the electrolytic dressing apparatus 1, the dressing electrode 15 is arranged at a position deviating from a grinding position of the grinding wheel 2, that is, a rotational support position of the workpiece W (an upper position of the grinding wheel 2 in the drawing). At the same time, although not shown, an electrolytic solution supply nozzle is provided between the grinding surface 2a of the grinding wheel 2 and the annular electrode surface 15a of the dressing electrode 15.

【0032】電解ドレッシング電極15は具体的にはマ
ルチ電極の形態とされている。図示の実施形態において
は、砥石車2の研削面2aの軸方向に整列配置された複
数の小電極16、16,…(図示のものにおいては5
つ)から電解ドレッシング電極15が構成されている。
The electrolytic dressing electrode 15 is specifically in the form of a multi-electrode. In the illustrated embodiment, a plurality of small electrodes 16, 16,... (5 in the illustrated case) are arranged in the axial direction of the grinding surface 2 a of the grinding wheel 2.
) To form an electrolytic dressing electrode 15.

【0033】各小電極16は、砥石車2の研削面2aに
対向する環状の電極面16aを備え、これら電極16,
16,…の電極面16a,16a,…により、電解ドレ
ッシング電極15の環状電極面15aが形成されてい
る。
Each of the small electrodes 16 has an annular electrode surface 16 a facing the grinding surface 2 a of the grinding wheel 2.
The annular electrode surface 15a of the electrolytic dressing electrode 15 is formed by the electrode surfaces 16a, 16a,.

【0034】ドレッシング電極15を構成する各小電極
16,16,…は、それぞれ給電体17からプログラマ
ブル電極切替ユニット18を介して、上記電源11の
(−)極に電気的に接続されている。
Each of the small electrodes 16, 16,... Constituting the dressing electrode 15 is electrically connected to a (-) pole of the power supply 11 from a power supply 17 via a programmable electrode switching unit 18.

【0035】このように、ドレッシング電極15が複数
の小電極16、16,…からなるマルチ電極の形態とさ
れているのは、小型電源で幅広の研削面2aを電解する
ための工夫であり、砥石幅の狭い砥石車を電解する場合
には単電極の形態とされる。
The reason why the dressing electrode 15 is in the form of a multi-electrode composed of a plurality of small electrodes 16, 16,... Is to devise a technique for electrolyzing the wide ground surface 2a with a small power source. When a grinding wheel having a narrow grinding wheel width is electrolyzed, a single electrode is used.

【0036】しかして、以上のように構成されたセンタ
レス研削盤において、工作物Wが、ブレード4と回転駆
動される調整車3によりセンタレスで回転支持されなが
ら、工作物表面に回転駆動される砥石車2の砥石表面2
aによる研削加工が施されるとともに、この研削加工中
に、ドレッシング装置1により、上記研削面2aの性状
に応じた電解ドレッシングがインプロセスで随時行われ
る。
In the centerless grinding machine constructed as described above, the workpiece W is rotatably driven on the surface of the workpiece while the workpiece W is rotatably supported centerlessly by the adjusting wheel 3 driven to rotate by the blade 4. Wheel 2 of wheel 2
a, and during the grinding, the dressing apparatus 1 performs in-process electrolytic dressing according to the properties of the ground surface 2a as needed.

【0037】この電解ドレッシングにおいては、図示し
ない電解液供給用ノズルにより、電解用クーラントが研
削面2aとドレッシング電極15の環状電極面15aと
の間に供給されるとともに、砥石車2とドレッシング電
極15に直流電流が流される。すると、その電解作用に
よって、上記研削面2aの導電性のメタル成分が溶出さ
れて、研削面2aにおける目詰まりがインプロセスで除
去され、砥粒の突出状態が回復・維持されることとな
る。
In this electrolytic dressing, an electrolytic solution supply nozzle (not shown) supplies an electrolytic coolant between the grinding surface 2a and the annular electrode surface 15a of the dressing electrode 15, and also supplies the grinding wheel 2 and the dressing electrode 15 DC current is supplied to the Then, due to the electrolytic action, the conductive metal component on the grinding surface 2a is eluted, the clogging on the grinding surface 2a is removed in-process, and the projected state of the abrasive grains is recovered and maintained.

【0038】この場合、レジンボンドに含有される導電
物質が銅やタングステン等の金属材料が用いられている
ため、図2に示すように、上記電解作用によって、レジ
ンボンドC中の導電物質Aのみが溶出してイオン化し、
上記研削面2aにはチップポケットが形成されて、砥粒
BとレジンCのみが残り(図(b))、ELID研削におけ
るような酸化皮膜(図4(c) 参照)の生成は必要としな
い。
In this case, since the conductive material contained in the resin bond is a metal material such as copper or tungsten, only the conductive material A in the resin bond C is formed by the electrolytic action as shown in FIG. Elutes and ionizes,
Chip pockets are formed on the ground surface 2a, leaving only the abrasive grains B and the resin C (FIG. 4B), and do not require the formation of an oxide film (see FIG. 4C) as in ELID grinding. .

【0039】したがって、研削面2aにおける砥粒の十
分な突出し量が得られ、かつ、レジンホンド自体の弾性
により砥粒は弾力性をもって保持されることとなり、セ
ンタレス研削加工の特長である研削能率を損なうことな
く、工作物Wの表面にスクラッチも生じず、高い研削加
工精度(面粗さ)が確保され得る。
Accordingly, a sufficient amount of the abrasive grains protruding from the grinding surface 2a is obtained, and the abrasive grains are held elastically by the elasticity of the resin itself, thereby impairing the grinding efficiency which is a feature of the centerless grinding. Also, no scratch occurs on the surface of the workpiece W, and high grinding accuracy (surface roughness) can be secured.

【0040】また、研削面2aには酸化皮膜が生成され
ないので、図示の実施形態のような幅広砥石車2でも、
省電力で電解ドレッシングを実行することができ、電解
ドレッシング時間も従来のELID研削(図4参照)に
比べて格段に短縮される。
Further, since no oxide film is formed on the grinding surface 2a, even with the wide grinding wheel 2 as in the illustrated embodiment,
Electrolytic dressing can be performed with low power consumption, and the electrolytic dressing time is significantly reduced as compared with the conventional ELID grinding (see FIG. 4).

【0041】実施形態2 本実施形態の精密研削装置は図3に示されており、具体
的には、実施形態1における電解ドレッシング装置1に
加えて、放電ツルーイング装置20が併設されてなるセ
ンタレス研削盤であって、実施形態1と同一の参照符号
は同じ構成装置または構成要素を示している。
Embodiment 2 A precision grinding apparatus according to this embodiment is shown in FIG. 3. Specifically, in addition to the electrolytic dressing apparatus 1 according to Embodiment 1, a centerless grinding apparatus provided with a discharge truing apparatus 20 is also provided. On the board, the same reference numerals as those in the first embodiment denote the same components or components.

【0042】放電ツルーイング装置20は、放電ツルー
イング電極21が砥石車2に対して調整車3の反対側に
配置されてなる。換言すれば、放電ツルーイング装置2
0は、電解ドレッシング装置1に対して、砥石車2の回
転方向上流側に配置されている。
The discharge truing device 20 has a discharge truing electrode 21 disposed on the opposite side of the adjusting wheel 3 with respect to the grinding wheel 2. In other words, the discharge truing device 2
Numeral 0 is disposed on the upstream side in the rotation direction of the grinding wheel 2 with respect to the electrolytic dressing apparatus 1.

【0043】この放電ツルーイング電極21は、具体的
には幅狭の小円盤状とされており、その外周面部分が、
砥石車2の研削面2aに対向する円筒状電極面21aと
されている。
The discharge truing electrode 21 is specifically in the shape of a small disk having a narrow width, and its outer peripheral surface portion is
The cylindrical electrode surface 21a is opposed to the grinding surface 2a of the grinding wheel 2.

【0044】放電ツルーイング電極21は、具体的には
図示しないが、上記砥石軸5と平行に配された放電ツル
ーイング電極軸を介して、放電ツルーイング電極基台に
回転可能に支持されるとともに、動力伝達機構を介して
回転駆動源に連係されている。これにより、放電ツルー
イング電極21は、その電極面21aが、砥石車2の研
削面2aと平行となるように対向配置した状態で回転駆
動される。
Although not specifically shown, the discharge truing electrode 21 is rotatably supported on a discharge truing electrode base via a discharge truing electrode shaft arranged in parallel with the grinding wheel shaft 5 and has a power source. It is linked to a rotary drive source via a transmission mechanism. As a result, the discharge truing electrode 21 is rotationally driven in a state where the electrode surface 21a is opposed to the grinding surface 2a of the grinding wheel 2 so as to be parallel to the grinding surface 2a.

【0045】また、放電ツルーイング電極21は、上記
砥石車2の砥石軸5と平行な方向(矢符方向)へスライ
ド可能とされるとともに、スライド駆動源に連係されて
なり、砥石車2の研削面2aに沿って砥石軸5方向へト
ラバース移動する。
The discharge truing electrode 21 is slidable in a direction (arrow direction) parallel to the grinding wheel shaft 5 of the grinding wheel 2 and is linked to a slide drive source to grind the grinding wheel 2. The traverse moves in the direction of the grinding wheel axis 5 along the surface 2a.

【0046】この放電ツルーイング電極21は、前記電
解ドレッシング電極15のプログラマブル電極切替ユニ
ット18と共に、電極切替え用の放電・電解切替ユニッ
ト(切替操作部)25を介して、電源11に電気的に接
続されている。具体的には、放電ツルーイング電極21
は、給電体22を介して放電・電解切替ユニット25へ
電気的に接続され、この放電・電解切替ユニット25が
電源7の(−)極に電気的に接続されて、(−)極の放
電ツルーイング電極とされている。したがって、放電・
電解切替ユニット25を手動または自動で切替え操作す
ることにより、放電ツルーイング電極21と電解ドレッ
シング電極15が選択的に切替えられる。
The discharge truing electrode 21 is electrically connected to the power supply 11 via a discharge / electrolysis switching unit (switching operation unit) 25 for electrode switching together with the programmable electrode switching unit 18 of the electrolytic dressing electrode 15. ing. Specifically, the discharge truing electrode 21
Is electrically connected to the discharge / electrolysis switching unit 25 via the power supply 22, and the discharge / electrolysis switching unit 25 is electrically connected to the (−) pole of the power supply 7 to discharge the (−) pole. It is a truing electrode. Therefore, the discharge
By manually or automatically switching the electrolytic switching unit 25, the discharge truing electrode 21 and the electrolytic dressing electrode 15 are selectively switched.

【0047】しかして、以上のように構成されたセンタ
レス研削盤おいては、実施形態1における電解ドレッシ
ングに先立って、放電ツルーイング装置20による放電
ツルーイングが施される。
In the centerless grinding machine configured as described above, discharge truing is performed by the discharge truing device 20 prior to the electrolytic dressing in the first embodiment.

【0048】この放電ツルーイングは、砥石車2の研削
面2aの性状に応じて、研削加工中または研削加工停止
中に随時実行され、具体的には、放電ツルーイング電極
21が、研削面2aに対して回転しながらトラバース移
動されるとともに、砥石車2と放電ツルーイング電極2
1に直流電流が流されて、これにより、上記研削面2a
の導電性結合材料部分が放電作用で溶融除去されて、チ
ップポケットが形成され、研削面2aにおける砥粒の突
出し量が揃えられる。
This discharge truing is performed at any time during the grinding process or while the grinding process is stopped, depending on the properties of the grinding surface 2a of the grinding wheel 2. Specifically, the discharge truing electrode 21 is applied to the grinding surface 2a. Traverse while rotating, grinding wheel 2 and discharge truing electrode 2
1, a DC current is applied to the ground surface 2a.
Is melted and removed by the discharge action to form chip pockets, and the protrusion amounts of the abrasive grains on the grinding surface 2a are made uniform.

【0049】この場合、電極面21aと研削面2aとの
間の放電領域への冷却水等の侵入を防止するため、この
放電領域には図示しない冷却エアノズルから冷却空気が
噴射供給される。
In this case, in order to prevent cooling water or the like from entering the discharge region between the electrode surface 21a and the grinding surface 2a, cooling air is injected from a cooling air nozzle (not shown) into this discharge region.

【0050】続いて、放電・電解切替ユニット25によ
り、放電ツルーイング電極21から電解ドレッシング電
極15が作動するように切替え操作されて、電解ドレッ
シング装置1による電解ドレッシングがインプロセスで
実行される。電解ドレッシングの具体的なメカニズムは
実施形態1で説明したところと同じである。
Subsequently, switching is performed by the discharge / electrolysis switching unit 25 so that the electrolytic dressing electrode 15 is operated from the discharge truing electrode 21, and the electrolytic dressing by the electrolytic dressing apparatus 1 is executed in-process. The specific mechanism of the electrolytic dressing is the same as that described in the first embodiment.

【0051】しかして、以上のように、電解ドレッシン
グに先立って放電ツルーイングを施す構成、換言すれ
ば、砥石車2の研削面2aを放電ツルーイングにより整
形した状態から研削加工すると同時に、電解ドレッシン
グをインプロセスで実行することにより、上述した実施
形態1の効果に加えて、放電ツルーイングによる効果が
相乗効果として発揮され、より高い研削能率でかつ高い
研削加工精度のセンタレス研削が実現し得る。その他の
構成および作用は実施形態1と同様である。
Thus, as described above, the discharge truing is performed prior to the electrolytic dressing, in other words, the grinding surface 2a of the grinding wheel 2 is ground from the shape formed by the discharge truing, and at the same time, the electrolytic dressing is started. By executing in a process, in addition to the effect of the first embodiment described above, the effect of discharge truing is exhibited as a synergistic effect, and centerless grinding with higher grinding efficiency and higher grinding accuracy can be realized. Other configurations and operations are the same as those of the first embodiment.

【0052】なお、上述した実施形態は、あくまでも本
発明の好適な実施態様を示すものであって、本発明はこ
れに限定されることなく、その範囲内で種々設計変更可
能である。
The above-described embodiment merely shows a preferred embodiment of the present invention, and the present invention is not limited to this, and various design changes can be made within the scope.

【0053】例えば、図示の実施形態はセンタレス研削
盤であるが、本発明は平面研削盤や円筒研削盤などの他
の研削方式の研削盤にも適用することができる。
For example, although the illustrated embodiment is a centerless grinding machine, the present invention can be applied to grinding machines of other grinding methods such as a surface grinding machine and a cylindrical grinding machine.

【0054】[0054]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
電解ドレッシングを利用した超精密研削加工において、
導電性砥石として、砥粒が導電物質を含有した導電性レ
ジンボンドにより結合されてなる導電性レジンボンド砥
石を用いるとともに、この導電性レジンボンド砥石によ
る工作物の研削加工中に、導電性レジンボンド砥石の砥
石表面に対して電解ドレッシングを施すようにしたか
ら、砥石表面の切れ味と弾性を確保しつつ、精密研削に
要求される砥石表面のプロファイル精度を満足させて、
高い仕上げ精度を得ることができ、しかも、ドレッシン
グサイクルタイムの短縮化と消費電力の低減化を図るこ
とができる。
As described in detail above, according to the present invention,
In ultra-precision grinding using electrolytic dressing,
As the conductive grindstone, a conductive resin bond grindstone in which abrasive grains are bonded by a conductive resin bond containing a conductive substance is used, and the conductive resin bond grindstone is used during grinding of a workpiece with the conductive resin bond grindstone. Electrolytic dressing is applied to the grindstone surface, so while maintaining the sharpness and elasticity of the grindstone surface, satisfying the profile accuracy of the grindstone surface required for precision grinding,
High finishing accuracy can be obtained, and the dressing cycle time and power consumption can be reduced.

【0055】具体的には、上記レジンボンドに含有され
る導電物質として、銅やタングステン等の金属材料が用
いられるため、以下に述べるような効果が得られる。
Specifically, since a metal material such as copper or tungsten is used as the conductive material contained in the resin bond, the following effects can be obtained.

【0056】(1) 電解作用によって、レジンボンド中の
導電物質(メタル成分)のみが溶解して、砥石表面には
砥粒とレジンのみが残り、ELID研削におけるような
酸化皮膜の生成は必要としない。このため、砥粒の十分
な突出し量が得られるとともに、レジンホンド自体の弾
性により砥粒の保持状態にも弾力性がある。これによ
り、工作物表面にスクラッチを生じることがない。
(1) Only the conductive material (metal component) in the resin bond is dissolved by the electrolytic action, and only the abrasive grains and the resin remain on the grindstone surface. Therefore, it is necessary to form an oxide film as in ELID grinding. do not do. For this reason, a sufficient protrusion amount of the abrasive grains can be obtained, and the elasticity of the resin itself has elasticity in the holding state of the abrasive grains. Thus, no scratch is generated on the workpiece surface.

【0057】この結果、研削能率を上げかつ研削加工精
度(面粗さ)を向上させるための二つの必要条件(砥
粒の突出し量が十分あること、砥粒を保持するボンド
(酸化皮膜も含む)の弾力性があること)が同時に満た
される。
As a result, there are two necessary conditions for improving the grinding efficiency and improving the grinding accuracy (surface roughness) (the amount of protrusion of the abrasive grains is sufficient, the bond holding the abrasive grains (including the oxide film). ) Is satisfied at the same time.

【0058】(2) 酸化皮膜の生成が不要であるので、幅
広砥石でも省電力で電解ドレッシングできるとともに、
電解ドレッシング時間もELID研削の場合に比べて短
縮されて、ランニングコストの低減化が図れる。
(2) Since it is not necessary to form an oxide film, it is possible to perform electrolytic dressing with power saving even with a wide whetstone.
The electrolytic dressing time is also shortened as compared with the case of ELID grinding, so that the running cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る実施形態1であるセンタレス研削
盤の概略構成を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a centerless grinding machine according to a first embodiment of the present invention.

【図2】同センタレス研削盤における電解ドレッシング
装置の電解ドレッシング工程を示す拡大模式図である。
FIG. 2 is an enlarged schematic view showing an electrolytic dressing step of the electrolytic dressing apparatus in the centerless grinding machine.

【図3】本発明に係る実施形態2であるセンタレス研削
盤の概略構成を示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a schematic configuration of a centerless grinding machine according to a second embodiment of the present invention.

【図4】従来のELID研削における電解ドレッシング
工程を示す図2に対応する拡大模式図である。
FIG. 4 is an enlarged schematic view corresponding to FIG. 2, showing an electrolytic dressing step in conventional ELID grinding.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 電解ドレッシング装置 2 砥石車 2a 砥石車の研削面(砥石表面) 3 調整車 4 ブレード 10 給電体 11 電源 15 ドレッシング電極 15a ドレッシング電極の環状電極面 16 小電極 20 放電ツルーイング装置 21 放電ツルーイング電極 21a 放電ツルーイング電極の円筒状電極面 22 給電体 25 放電・電解切替ユニット(切替操作
部) A レジンボンド中の導電物質 B 砥粒 C レジンボンド中のレジン W 工作物
Reference Signs List 1 electrolytic dressing device 2 grinding wheel 2a grinding surface of grinding wheel (grinding wheel surface) 3 adjusting wheel 4 blade 10 power supply 11 power supply 15 dressing electrode 15a ring electrode surface of dressing electrode 16 small electrode 20 discharge truing device 21 discharge truing electrode 21a discharge Cylindrical electrode surface of truing electrode 22 Feeder 25 Discharge / electrolysis switching unit (switching operation unit) A Conductive substance in resin bond B Abrasive C Resin in resin bond W Workpiece

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電解ドレッシングを利用した導電性砥石
による研削方法であって、 前記導電性砥石として、導電性レジンボンドにより砥粒
が結合されてなる導電性レジンボンド砥石を用いるとと
もに、この導電性レジンボンド砥石による工作物の研削
加工中に、導電性レジンボンド砥石の砥石表面に対して
電解ドレッシングを施すようにしたことを特徴とする超
精密研削方法。
1. A grinding method using a conductive grindstone utilizing electrolytic dressing, wherein a conductive resin bond grindstone having abrasive grains bonded by a conductive resin bond is used as the conductive grindstone. An ultra-precision grinding method, wherein electrolytic dressing is performed on a grindstone surface of a conductive resin-bonded grindstone during grinding of a workpiece with the resin-bonded grindstone.
【請求項2】 前記電解ドレッシングに先立って放電ツ
ルーイングを施すことを特徴とする請求項1に記載の超
精密研削方法。
2. The ultra-precision grinding method according to claim 1, wherein discharge truing is performed prior to said electrolytic dressing.
【請求項3】 前記放電ツルーイングを導電性砥石の研
削加工停止中に施すことを特徴とする請求項2に記載の
超精密研削方法。
3. The ultra-precision grinding method according to claim 2, wherein the discharge truing is performed while grinding of the conductive grindstone is stopped.
【請求項4】 前記放電ツルーイングを導電性砥石の研
削加工中に施すことを特徴とする請求項2に記載の超精
密研削方法。
4. The ultra-precision grinding method according to claim 2, wherein the discharge truing is performed during the grinding of the conductive grindstone.
【請求項5】 導電性結合材料により砥粒が結合されて
なる導電性砥石を用いた砥石車を備えるセンタレス方式
の研削装置であって、 前記砥石車を構成する導電性砥石は、導電性レジンボン
ドにより砥粒が結合されてなるとともに、前記砥石車の
砥石表面に対向して電解ドレッシング電極が設けられて
なることを特徴とする超精密研削装置。
5. A centerless type grinding apparatus provided with a grinding wheel using a conductive grinding wheel having abrasive grains bonded by a conductive bonding material, wherein the conductive grinding wheel constituting the grinding wheel is a conductive resin. An ultra-precision grinding apparatus characterized in that abrasive grains are bonded by a bond and an electrolytic dressing electrode is provided to face the grinding wheel surface of the grinding wheel.
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