JP2000039389A - 光ファイバープローブ及びその製造方法 - Google Patents
光ファイバープローブ及びその製造方法Info
- Publication number
- JP2000039389A JP2000039389A JP10205043A JP20504398A JP2000039389A JP 2000039389 A JP2000039389 A JP 2000039389A JP 10205043 A JP10205043 A JP 10205043A JP 20504398 A JP20504398 A JP 20504398A JP 2000039389 A JP2000039389 A JP 2000039389A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- light
- fiber probe
- polarizing film
- tip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 先端から出射される光の偏光特性を制御す
る。 【解決手段】 本発明に係る光ファイバープローブ１
は、コア２の周りにクラッド３が設けられ先端に先鋭部
６が形成された光ファイバーよりなり、先鋭部６には、
偏光特性を有する偏光膜８が形成されている。
る。 【解決手段】 本発明に係る光ファイバープローブ１
は、コア２の周りにクラッド３が設けられ先端に先鋭部
６が形成された光ファイバーよりなり、先鋭部６には、
偏光特性を有する偏光膜８が形成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばプローブ走
査型顕微鏡の一つである近接場光学顕微鏡において、エ
バネッセント光を検出する光プローブとして使用される
光ファイバープローブ及びその製造方法に関する。
査型顕微鏡の一つである近接場光学顕微鏡において、エ
バネッセント光を検出する光プローブとして使用される
光ファイバープローブ及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、微細加工技術の発展を基盤に単一
分子光メモリー、単一電子デバイスといったナノメート
ルサイズの微細構造を有する素子が実用化されようとし
ている。ナノメートルオーダーの分解能をもつ近接場光
学顕微鏡は、上述したデバイスの開発或いは評価に欠か
せない技術として注目されている。
分子光メモリー、単一電子デバイスといったナノメート
ルサイズの微細構造を有する素子が実用化されようとし
ている。ナノメートルオーダーの分解能をもつ近接場光
学顕微鏡は、上述したデバイスの開発或いは評価に欠か
せない技術として注目されている。
【０００３】この近接場光学顕微鏡は、例えば試料から
の発光或いは透過光の光強度、波長、偏光等を検出する
ことにより、試料から得られる発光或いは透過光から試
料の物性を知ることができる。
の発光或いは透過光の光強度、波長、偏光等を検出する
ことにより、試料から得られる発光或いは透過光から試
料の物性を知ることができる。
【０００４】近接場光学顕微鏡は、ナノメートルサイズ
の構造を持つプローブを備え、光の波長を超えた分解能
をもつ光学像を得ることができる。したがって、この近
接場光学顕微鏡技術を利用することにより、ナノメート
ル級の分解能で、例えば生体試料、半導体試料、光メモ
リー材料、感光性材料等の物体の形状測定や分光測定、
さらにはメモリー操作（書き込み／読み出し／消去）、
光加工などを行うことができる。
の構造を持つプローブを備え、光の波長を超えた分解能
をもつ光学像を得ることができる。したがって、この近
接場光学顕微鏡技術を利用することにより、ナノメート
ル級の分解能で、例えば生体試料、半導体試料、光メモ
リー材料、感光性材料等の物体の形状測定や分光測定、
さらにはメモリー操作（書き込み／読み出し／消去）、
光加工などを行うことができる。
【０００５】この近接場光学顕微鏡は、試料の物性を得
るときには物質表面の光の波長より小さい領域に局在す
るエバネッセント光を検出して物体の形状を測定し、全
反射条件下で物体にレーザ光が照射されることにより生
じたエバネッセント光を、プローブのナノメートルサイ
ズとなされた先鋭部の先端によって散乱させる。この場
合には、プローブが光ファイバーで形成されており、先
鋭部によって散乱された光は当該先鋭部を通じて光ファ
イバーのコアに導かれる。そして、コア内に導かれた光
は、光ファイバーのもう一方の出射端から出射し、検出
器により検出される。つまり、この顕微鏡では、光ファ
イバープローブによって散乱と検出の両方が行われる。
そして、このとき、プローブを物体上で走査させること
により、２次元的な検出光の画像が得られることにな
る。
るときには物質表面の光の波長より小さい領域に局在す
るエバネッセント光を検出して物体の形状を測定し、全
反射条件下で物体にレーザ光が照射されることにより生
じたエバネッセント光を、プローブのナノメートルサイ
ズとなされた先鋭部の先端によって散乱させる。この場
合には、プローブが光ファイバーで形成されており、先
鋭部によって散乱された光は当該先鋭部を通じて光ファ
イバーのコアに導かれる。そして、コア内に導かれた光
は、光ファイバーのもう一方の出射端から出射し、検出
器により検出される。つまり、この顕微鏡では、光ファ
イバープローブによって散乱と検出の両方が行われる。
そして、このとき、プローブを物体上で走査させること
により、２次元的な検出光の画像が得られることにな
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述の光ファイバープ
ローブは、先鋭部の先端に微小開口を形成することによ
り光を閉じこめ、或いは先鋭部を微小構造とすることに
より光を散乱させる現象を生じさせて近接場光学顕微鏡
として利用されている。光ファイバープローブは、先端
を鋭く尖らせた構造とすることにより、近接場領域への
光を閉じこめ、局所的な散乱を可能としている。
ローブは、先鋭部の先端に微小開口を形成することによ
り光を閉じこめ、或いは先鋭部を微小構造とすることに
より光を散乱させる現象を生じさせて近接場光学顕微鏡
として利用されている。光ファイバープローブは、先端
を鋭く尖らせた構造とすることにより、近接場領域への
光を閉じこめ、局所的な散乱を可能としている。
【０００７】この光ファイバープローブの分解能は、光
を閉じこめる開口の大きさだけでなく、どれほど微小な
領域で光を散乱できるかによって決定され、先鋭部の曲
率半径を制御することにより良好な結果が得られてい
る。また、光ファイバープローブは、内部の構造をテー
パ形状とすることにより、光の伝達効率の向上が図られ
ている。
を閉じこめる開口の大きさだけでなく、どれほど微小な
領域で光を散乱できるかによって決定され、先鋭部の曲
率半径を制御することにより良好な結果が得られてい
る。また、光ファイバープローブは、内部の構造をテー
パ形状とすることにより、光の伝達効率の向上が図られ
ている。
【０００８】更に、上述の近接場光学顕微鏡に備えられ
る光ファイバープローブは、試料の表面に近接して配設
される先鋭部の物質を変えることで様々な機能を持たせ
ることが可能となる。
る光ファイバープローブは、試料の表面に近接して配設
される先鋭部の物質を変えることで様々な機能を持たせ
ることが可能となる。
【０００９】しかし、上述の光ファイバープローブにお
いては、先端から出射される光の偏光を制御するという
試みはなされていなかった。
いては、先端から出射される光の偏光を制御するという
試みはなされていなかった。
【００１０】そこで、本発明は、上述したような実情に
鑑みて提案されたものであり、先端から出射される光の
偏光特性を制御することができるファイバープローブ及
びその製造方法を提供することを目的とする。
鑑みて提案されたものであり、先端から出射される光の
偏光特性を制御することができるファイバープローブ及
びその製造方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決する本
発明に係る光ファイバープローブは、コアの周りにクラ
ッドが設けられ先端に先鋭部が形成された光ファイバー
よりなり、先鋭部には、偏光特性を有する偏光膜が形成
されていることを特徴とするものである。
発明に係る光ファイバープローブは、コアの周りにクラ
ッドが設けられ先端に先鋭部が形成された光ファイバー
よりなり、先鋭部には、偏光特性を有する偏光膜が形成
されていることを特徴とするものである。
【００１２】このように構成された光ファイバープロー
ブは、先鋭部の先端に偏光膜が形成されているので、先
端から出射される光の偏光特性を制御する。
ブは、先鋭部の先端に偏光膜が形成されているので、先
端から出射される光の偏光特性を制御する。
【００１３】また、本発明に係る光ファイバープローブ
の製造方法は、先鋭化させたファイバに金属膜を形成す
る金属膜形成工程と、金属膜を形成した先端部を切断し
て開口を形成する開口形成工程と、開口が形成された先
端部に偏光特性を有する偏光膜を形成する偏光膜形成工
程とを有することを特徴とする。
の製造方法は、先鋭化させたファイバに金属膜を形成す
る金属膜形成工程と、金属膜を形成した先端部を切断し
て開口を形成する開口形成工程と、開口が形成された先
端部に偏光特性を有する偏光膜を形成する偏光膜形成工
程とを有することを特徴とする。
【００１４】このような光ファイバープローブの製造方
法は、先鋭部に偏光膜を形成する偏光膜形成工程を有す
るので、先端から出射する光の偏光特性を制御する光フ
ァイバープローブを製造する。
法は、先鋭部に偏光膜を形成する偏光膜形成工程を有す
るので、先端から出射する光の偏光特性を制御する光フ
ァイバープローブを製造する。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。
て図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１６】本発明が適用可能な光ファイバープローブ
１は、図１に示すように、コア２の周りにクラッド３及
び金属膜４が形成されてなる光ファイバーよりなる。こ
の光ファイバープローブ１は、コア２、クラッド３及び
金属膜４からなる光導入部５と、この光導入部５の先端
側に形成された先鋭部６が形成されている。
１は、図１に示すように、コア２の周りにクラッド３及
び金属膜４が形成されてなる光ファイバーよりなる。こ
の光ファイバープローブ１は、コア２、クラッド３及び
金属膜４からなる光導入部５と、この光導入部５の先端
側に形成された先鋭部６が形成されている。
【００１７】先鋭部６は、光を出射する出射開口７の開
口を狭くするように先鋭化されてなる。先鋭部６は、コ
ア２の直径を光伝搬部５から出射開口７に向かうに従っ
て次第に小とされてなる。
口を狭くするように先鋭化されてなる。先鋭部６は、コ
ア２の直径を光伝搬部５から出射開口７に向かうに従っ
て次第に小とされてなる。
【００１８】この先鋭部６の先端には、偏光膜８が形成
されている。この偏光膜８は、例えば真空蒸着法により
成膜され膜圧が約２００ｎｍ程度のポリジアセチレンか
らなる。
されている。この偏光膜８は、例えば真空蒸着法により
成膜され膜圧が約２００ｎｍ程度のポリジアセチレンか
らなる。
【００１９】なお、この偏光膜８は、ポリジアセチレン
に限らず、出射開口７から出射する光の偏光特性を制御
できる材料であればよい。
に限らず、出射開口７から出射する光の偏光特性を制御
できる材料であればよい。
【００２０】また、光ファイバープローブ１の先鋭部６
の形状としては、上述した形状した限らず、例えばコア
２が複数の傾斜角を有してなるものであっても良い。こ
のように、コア２の形状を制御することにより、光効率
を制御することができる。
の形状としては、上述した形状した限らず、例えばコア
２が複数の傾斜角を有してなるものであっても良い。こ
のように、コア２の形状を制御することにより、光効率
を制御することができる。
【００２１】つぎに、上述した光ファイバープローブ１
の製造方法の一例について図２を参照して説明する。
の製造方法の一例について図２を参照して説明する。
【００２２】先ず、図２（ａ）に示すように、コア２と
クラッド３からなる光ファイバーを用意する。
クラッド３からなる光ファイバーを用意する。
【００２３】次に、図２（ｂ）に示すように、コア２及
びクラッド３に選択化学エッチング法により、コアを先
鋭化する。このとき、図２（ａ）に示した光ファイバー
に例えばＧｅＯ2等を用いてドーピングを施すととも
に、当該光ファイバーとＮＨ4Ｆ−ＨＦ−Ｈ2Ｏ系緩衝溶
液を用いることにより選択化学エッチングを行う。
びクラッド３に選択化学エッチング法により、コアを先
鋭化する。このとき、図２（ａ）に示した光ファイバー
に例えばＧｅＯ2等を用いてドーピングを施すととも
に、当該光ファイバーとＮＨ4Ｆ−ＨＦ−Ｈ2Ｏ系緩衝溶
液を用いることにより選択化学エッチングを行う。
【００２４】なお、コア２を先鋭化する手法としては、
上述の選択化学エッチングに限らず、光ファイバーを加
熱しながら当該光ファイバーの両端を引っ張る手法であ
っても良い。
上述の選択化学エッチングに限らず、光ファイバーを加
熱しながら当該光ファイバーの両端を引っ張る手法であ
っても良い。
【００２５】次に、図２（ｃ）に示すように先鋭部６及
び光導入部５に金属膜を形成する。このように金属膜４
をクラッド３の周囲に形成することにより、光導入部５
内及び先鋭部６内を伝達する光を近接場領域に閉じこめ
る。クラッド３の周囲に形成する金属膜４としては、例
えばＡｕをスパッタリング法や真空蒸着法等を用いて約
１００ｎｍ程度に成膜する。
び光導入部５に金属膜を形成する。このように金属膜４
をクラッド３の周囲に形成することにより、光導入部５
内及び先鋭部６内を伝達する光を近接場領域に閉じこめ
る。クラッド３の周囲に形成する金属膜４としては、例
えばＡｕをスパッタリング法や真空蒸着法等を用いて約
１００ｎｍ程度に成膜する。
【００２６】次に、図２（ｄ）に示すように先端を集束
イオンビームにより切断する。これにより、先鋭化した
光ファイバーの先端に出射開口７を形成する。このと
き、出射する光の波長以下の開口径を有する出射開口７
を形成する。このように出射開口７を形成する方法とし
ては、適切な粘度の樹脂をレジストとして用いＫＩ−Ｉ
2−Ｈ2Ｏ系緩衝溶液によって金属膜を溶解させるＳＲＣ
法、シェアフォースフィードバックを用いて基板とファ
イバの距離を制御した状態で基板に高周波を与えること
によりファイバ先端を折る方法、集束イオンビームを用
いてファイバにイオンを照射し先端を切断する方法があ
る。これにより、開口径ｔ1が約６０ｎｍ程度の出射開
口７を形成するとともに、直径ｔ2が約８００ｎｍ程度
の先端を形成する。
イオンビームにより切断する。これにより、先鋭化した
光ファイバーの先端に出射開口７を形成する。このと
き、出射する光の波長以下の開口径を有する出射開口７
を形成する。このように出射開口７を形成する方法とし
ては、適切な粘度の樹脂をレジストとして用いＫＩ−Ｉ
2−Ｈ2Ｏ系緩衝溶液によって金属膜を溶解させるＳＲＣ
法、シェアフォースフィードバックを用いて基板とファ
イバの距離を制御した状態で基板に高周波を与えること
によりファイバ先端を折る方法、集束イオンビームを用
いてファイバにイオンを照射し先端を切断する方法があ
る。これにより、開口径ｔ1が約６０ｎｍ程度の出射開
口７を形成するとともに、直径ｔ2が約８００ｎｍ程度
の先端を形成する。
【００２７】次に、図２（ｄ）に示すように、上述の工
程で出射開口７を形成した光ファイバーの先端に偏光膜
８を形成する。このとき、偏光膜形成法として蒸着法を
用い、ジアセチレンを１００〜２００ の速度で形成す
る。これにより、出射開口７が形成された光ファイバー
の先端に膜圧が約２００ｎｍ程度のジアセチレン配向膜
が形成されることになる。
程で出射開口７を形成した光ファイバーの先端に偏光膜
８を形成する。このとき、偏光膜形成法として蒸着法を
用い、ジアセチレンを１００〜２００ の速度で形成す
る。これにより、出射開口７が形成された光ファイバー
の先端に膜圧が約２００ｎｍ程度のジアセチレン配向膜
が形成されることになる。
【００２８】次に、上述の工程で形成したモノマーであ
るジアセチレンに紫外線を照射することにより固相重合
反応を起こしポリマーであるポリジアセチレンに変換す
る。このとき、強度が約５００ｍＷ／ｃｍ２程度の紫外
線を１５分程度照射することにより光重合を行う。これ
により、図１に示した光ファイバープローブ１が完成す
る。
るジアセチレンに紫外線を照射することにより固相重合
反応を起こしポリマーであるポリジアセチレンに変換す
る。このとき、強度が約５００ｍＷ／ｃｍ２程度の紫外
線を１５分程度照射することにより光重合を行う。これ
により、図１に示した光ファイバープローブ１が完成す
る。
【００２９】つぎに、上述したように作製される光ファ
イバープローブ１の偏光特性について説明する。
イバープローブ１の偏光特性について説明する。
【００３０】図３は、光ファイバープローブ１から出射
される光の光軸を中心として出射直線偏光方位を１８０
度回転させながら出射光強度[a.u.]を測定した結果であ
る。この図３によれば、偏光膜８を備えた光ファイバー
プローブ１の入射直線偏光方位と出射光強度との関係
は、約６０度程度の出射直線偏光方位で出射光強度が約
０．３[a.u.]程度となっている。また、入射直線偏光方
位と出射光強度との関係は、約１５０度程度の出射直線
偏光方位で出射光強度が約０．６[a.u.]程度となってい
る。
される光の光軸を中心として出射直線偏光方位を１８０
度回転させながら出射光強度[a.u.]を測定した結果であ
る。この図３によれば、偏光膜８を備えた光ファイバー
プローブ１の入射直線偏光方位と出射光強度との関係
は、約６０度程度の出射直線偏光方位で出射光強度が約
０．３[a.u.]程度となっている。また、入射直線偏光方
位と出射光強度との関係は、約１５０度程度の出射直線
偏光方位で出射光強度が約０．６[a.u.]程度となってい
る。
【００３１】一方、先鋭部に偏光膜を備えていない光フ
ァイバープローブを用いて出射直線偏光方位と出射光強
度との関係は、出射直線偏光方位が０〜１８０度まで変
化しても、約０．５〜０．６[a.u.]程度の出射光強度と
なっていることがわかる。
ァイバープローブを用いて出射直線偏光方位と出射光強
度との関係は、出射直線偏光方位が０〜１８０度まで変
化しても、約０．５〜０．６[a.u.]程度の出射光強度と
なっていることがわかる。
【００３２】したがって、偏光膜８を備えた光ファイバ
ープローブ１によれば、偏光膜８を備えた光ファイバー
プローブと比較して約１．６倍の消光比が得られる。ま
た、この光ファイバープローブ１によれば、良質のポリ
ジアセチレン配向膜が吸収極大位置で３０以上の偏光二
色比を有することから、ポリジアセチレンの配向性を向
上させることによってより高い消光比を持たせることも
できる。
ープローブ１によれば、偏光膜８を備えた光ファイバー
プローブと比較して約１．６倍の消光比が得られる。ま
た、この光ファイバープローブ１によれば、良質のポリ
ジアセチレン配向膜が吸収極大位置で３０以上の偏光二
色比を有することから、ポリジアセチレンの配向性を向
上させることによってより高い消光比を持たせることも
できる。
【００３３】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
る光ファイバープローブによれば、先鋭部に偏光特性を
有する偏光膜が形成されているので、先端から出射され
る光の偏光特性を制御することができる。
る光ファイバープローブによれば、先鋭部に偏光特性を
有する偏光膜が形成されているので、先端から出射され
る光の偏光特性を制御することができる。
【００３４】また、本発明に係る光ファイバープローブ
の製造方法は、開口が形成された先端部に偏光特性を有
する偏光膜を形成する偏光膜形成工程を有するので、先
端から出射する光の偏光特性を制御可能な光ファイバー
プローブを製造することができる。
の製造方法は、開口が形成された先端部に偏光特性を有
する偏光膜を形成する偏光膜形成工程を有するので、先
端から出射する光の偏光特性を制御可能な光ファイバー
プローブを製造することができる。
【図１】本発明を適用した光ファイバープローブを示す
断面図である。
断面図である。
【図２】本発明を適用した光ファイバープローブの製造
方法を示す工程図である。
方法を示す工程図である。
【図３】本発明を適用した光ファイバープローブ及び先
端に偏光膜を備えていない光ファイバープローブの出射
光強度と入射直線偏光方位との関係を示す図である。
端に偏光膜を備えていない光ファイバープローブの出射
光強度と入射直線偏光方位との関係を示す図である。
１ 光ファイバープローブ、２ コア、３ クラッド、
６ 先鋭部、７ 出射開口、８ 偏光膜
６ 先鋭部、７ 出射開口、８ 偏光膜
Claims (4)
- 【請求項１】 コアの周りにクラッドが設けられ先端に
先鋭部が形成された光ファイバーよりなり、 上記先鋭部には、偏光特性を有する偏光膜が形成されて
いることを特徴とする光ファイバープローブ。 - 【請求項２】 上記偏光膜は、ポリジアセチレンからな
ることを特徴とする請求項１記載の光ファイバープロー
ブ。 - 【請求項３】 先鋭化させたファイバに金属膜を形成す
る金属膜形成工程と、 上記金属膜を形成した先端部を切断して開口を形成する
開口形成工程と、 上記開口が形成された先端部に偏光特性を有する偏光膜
を形成する偏光膜形成工程とを有することを特徴とする
光ファイバープローブの製造方法。 - 【請求項４】 上記偏光膜形成工程は、偏光膜としてポ
リジアセチレンを先端部に形成することを特徴とする請
求項３記載の光ファイバープローブの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10205043A JP2000039389A (ja) | 1998-07-21 | 1998-07-21 | 光ファイバープローブ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10205043A JP2000039389A (ja) | 1998-07-21 | 1998-07-21 | 光ファイバープローブ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000039389A true JP2000039389A (ja) | 2000-02-08 |
Family
ID=16500512
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10205043A Pending JP2000039389A (ja) | 1998-07-21 | 1998-07-21 | 光ファイバープローブ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000039389A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2368164A (en) * | 2000-04-27 | 2002-04-24 | Mitsubishi Corp | Ship-charter contracting sytstem, server and database for the system, and ship-charter contract aiding method |
| JP2002162333A (ja) * | 2000-11-28 | 2002-06-07 | Jasco Corp | 近接場プローブ及びその製造方法、並びに、該近接場プロープを用いた近接場顕微鏡 |
-
1998
- 1998-07-21 JP JP10205043A patent/JP2000039389A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2368164A (en) * | 2000-04-27 | 2002-04-24 | Mitsubishi Corp | Ship-charter contracting sytstem, server and database for the system, and ship-charter contract aiding method |
| JP2002162333A (ja) * | 2000-11-28 | 2002-06-07 | Jasco Corp | 近接場プローブ及びその製造方法、並びに、該近接場プロープを用いた近接場顕微鏡 |
| JP4703841B2 (ja) * | 2000-11-28 | 2011-06-15 | 日本分光株式会社 | 近接場プローブ及びその製造方法、並びに、該近接場プロープを用いた近接場顕微鏡 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5908562A (en) | Method for producing optical fiber having core with sharpened tip protruding from light-shielding coating | |
| JP3882456B2 (ja) | 近接場光プローブおよびそれを用いた近接場光学顕微鏡および光記録／再生装置 | |
| Paiva et al. | Optical fiber tips for biological applications: from light confinement, biosensing to bioparticles manipulation | |
| JP3074357B2 (ja) | 微細表面観察装置 | |
| US5812723A (en) | Optical fiber with tapered end of core protruding from clad | |
| WO1998010296A1 (en) | Optical fiber probe and its manufacturing method | |
| JP2006214942A (ja) | 光ファイバープローブ、光検出装置及び光検出方法 | |
| JP2001165852A (ja) | Ｓｐｒセンサーおよびその製造方法 | |
| JP2000039389A (ja) | 光ファイバープローブ及びその製造方法 | |
| JP4553240B2 (ja) | 光検出装置、及び光検出方法 | |
| JP3267992B2 (ja) | 近距離場走査光学顕微鏡及びその用途 | |
| JP2002221478A (ja) | 近接場光プローブおよびそれを用いた近接場光学顕微鏡および光記録／再生装置 | |
| JP3117667B2 (ja) | 光ファイバプローブ及びその製造方法 | |
| JP4933091B2 (ja) | 表面プラズモン共鳴センサー素子 | |
| JP3335892B2 (ja) | 光ファイバプローブの製造方法 | |
| JP4153089B2 (ja) | 光ファイバプローブ及びその製造方法 | |
| JP3669436B2 (ja) | 近接場光学顕微鏡用のプローブ | |
| Haugwitz et al. | Optical Dipole Nano-Antennas on Glass Substrates | |
| JP2002221477A (ja) | 近接場光プローブおよびそれを用いた近接場光学顕微鏡および光記録／再生装置 | |
| JPH1123587A (ja) | 光ファイバプローブの製造方法 | |
| JP3788432B2 (ja) | 光プローブ | |
| JP3481583B2 (ja) | 光ファイバ及びその製造方法 | |
| JP4020392B2 (ja) | 近接場光プローブ作製装置及びその作製方法 | |
| JP3651800B2 (ja) | ピンホールの作製方法及び作製装置 | |
| Kambalathmana et al. | Plasmonic Nanocone Scanning Antenna: Fabrication and Optical Properties |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050630 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070912 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070918 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080408 |