JP2000039309A - 変形検査方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光ファイバーグレーティングを用いて橋梁や
隧道のような大きな被測定物の１ｍメッシュ程度のサイ
ズでの平均的変形を計測する。 【解決手段】 グレーティング３を内蔵した一定長Ｌの
センサー光ファイバー２に一定の伸張を付与した状態で
その両端４を被測定物１に固定し、そのグレーティング
３による反射スペクトル若しくは透過吸収スペクトルの
波長変化を測定し、その変化量から被測定物１の両固定
位置間の伸縮を長さＬの間での平均値として計測する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、変形検査方法及び
装置に関し、特に、光ファイバーグレーティングを用い
た建造物変形検査装置及び装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】光ファイバーグレーティングによる張力
センサーは、電気的ストレインゲージに比較して優れた
点が多い。つまり、電気的ストレインゲージでは、電源
供給のために２本、信号の取り出しのために２本、計４
本のリード線を必要とし、数多くのストレインゲージを
配置する場合には、配線が繁雑になるばかりでなく、電
磁誘導やノイズの多い場所では精度の高い測定は困難で
ある等の問題が多かった。

【０００３】それに対し、光ファイバーグレーティング
による張力センサーはグレーティンからの反射光を利用
すれば、１本の光ファイバーを接続すればよく、また、
電磁誘導の影響は受けず、精度、感度共極めて優れてい
るため、その普及が期待されているものである。

【０００４】これまでの光ファイバーグレーティングに
よる張力センサーは、電気的ストレインゲージと同様
に、被測定物に接着剤等でその全体を貼り付けて固定
し、被測定物の変形を直接グレーティングの変形に転嫁
する方法をとっていた。しかしながら、この方法では、
実際に使われるグレーティングは数ｃｍ程度の長さであ
るため、被測定物の局所の変形しか計測することができ
ないという問題があった。橋梁や隧道のような大きな被
測定物の場合には、局所よりも１ｍメッシュ程度のサイ
ズでの平均的変形を把握することが重要な場合があり、
このような目的に使える光ファイバーグレーティングに
よる張力センサーの出現が要求されていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明はそのような状
況に鑑みてなされたものであり、その目的は、光ファイ
バーグレーティングを用いて橋梁や隧道のような大きな
被測定物の１ｍメッシュ程度のサイズでの平均的変形を
計測することができる変形検査方法及び装置を提供する
ことである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の変形検査方法は、長さ１ｍ程度の光ファイバーの内
部にグレーティング（ブラッグ型回折格子）を内蔵した
ものをセンサーとして用い、その両端を被測定物体に固
定するものである。この方式によれば、局所的な変形よ
りは、その光ファイバーが張られた１ｍ長部分の被測定
物の平均的な変形が観測されることになる。

【０００７】したがって、例えば、このようなセンサー
を１ｍメッシュで被測定物体の表面に張り巡らせば、メ
ッシュの変形が観測でき、被測定物体の２次元的あるい
は３次元的な変形を計測することができる。グレーティ
ングの格子間隔を変えることによってそれぞれのグレー
ティグを識別することができるから、複数のセンサーを
直列に接続して１本の光ファイバーとなすことも可能で
ある。このようにすれば、配線は極めて簡素化される。
これは、従来の電気的ストレインゲージにない特徴であ
る。

【０００８】また、光ファイバーは伝送損失が小さいの
で、観測拠点を測定位置から数１０ｋｍ程度まで遠隔に
設置することができる。この場合、変形に係わる情報は
光の波長に乗っており、これは原理的に信号パワーが劣
化しても影響を受けないという利点がある。

【０００９】すなわち、本発明の変形検査方法は、グレ
ーティングを内蔵した一定長Ｌのセンサー光ファイバー
に一定の伸張を付与した状態でその両端を被測定物に固
定し、そのグレーティングによる反射スペクトル若しく
は透過吸収スペクトルの波長変化を測定し、その変化量
から被測定物の両固定位置間の伸縮を前記長さＬの間で
の平均値として計測することを特徴とする方法である。

【００１０】この場合に、内蔵されるグレーティングの
格子間隔が異なるセンサー光ファイバーを複数個直列に
接続するか、若しくは、１本のセンサー光ファイバー中
に格子間隔が異なるグレーティングを複数個配置したも
のを用いて、被測定物の複数の箇所個々の伸縮の平均値
を同時に計測するようにすることができる。

【００１１】その場合には、複数の箇所個々の伸縮の平
均値を計測し、その計測情報から被測定物全体の変形を
幾何学的に推定するようにすることができる。

【００１２】また、センサー光ファイバーの両端を被測
定物に固定する際に、まず、センサー光ファイバーの一
端を被測定物に固定し、他端に張力計付き伸張付与機構
を取り付けて特定の長さだけ正確に伸張した状態で他端
を被測定物に固定するようにすることが望ましい。

【００１３】また、センサー光ファイバーの伸縮特性を
その長手方向で不均一なものとし、グレーティングが内
蔵されている部分の弾性率をより小さくなるようにして
検出感度を増大させるようにすることができる。

【００１４】本発明の変形検査装置は、被測定物に一定
の伸張を付与した状態で両端が固定されるグレーティン
グを内蔵したセンサー光ファイバーと、前記グレーティ
ングでブラッグ回折されて反射する波長の光を含む連続
波長域の光を発光する光源であって、前記センサー光フ
ァイバーの一端に導入されるを光を発光する光源と、前
記センサー光ファイバーの他端に接続されるスペクトラ
ムアナライザーとからなることを特徴とするものであ
る。

【００１５】本発明のもう１つの変形検査装置は、被測
定物に一定の伸張を付与した状態で両端が固定されるグ
レーティングを内蔵したセンサー光ファイバーと、前記
グレーティングでブラッグ回折されて反射する波長の光
を含む連続波長域の光を発光する光源であって、前記セ
ンサー光ファイバーの一端に導入されるを光を発光する
光源と、前記光源と前記センサー光ファイバーの前記一
端との間の光路中に配置され、前記グレーティングで反
射された光成分を分岐する分岐手段と、前記分岐手段に
よって分岐された光成分のスペクトラムを分析するスペ
クトラムアナライザーとからなることを特徴とするもの
である。

【００１６】これらにおいて、センサー光ファイバーと
して、内蔵されるグレーティングの格子間隔が異なるセ
ンサー光ファイバーを複数個直列に接続するか、若しく
は、１本のセンサー光ファイバー中に格子間隔が異なる
グレーティングを複数個配置したものとすることができ
る。

【００１７】また、センサー光ファイバーとして、その
伸縮特性を長手方向で不均一なものとし、グレーティン
グが内蔵されている部分の弾性率をより小さくなるよう
にして検出感度を増大させたものとすることができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】橋梁や隧道は、常にその変形を監
視し、崩壊や崩落を防止することが求められている。こ
のような監視のための計測においては、局所的な変形よ
りは全体の平均的な変形を知ることが必要であり、本発
明は、このような社会的な要求によりなされた。

【００１９】つまり、橋梁の場合には、複数のグレーテ
ィングを内蔵したセンサー光ファイバーを一定の張力を
付与した状態で、また、要求される分解能を満たす間隔
で固定しながら橋げたの左右あるいは上下に敷設する。
この場合、固定間隔の間の光ファイバーには必ず１個以
上のグレーティングが内蔵されているものとする。

【００２０】このようにして敷設されたセンサー光ファ
イバーに所定の波長を有する光を通すことにより、グレ
ーティングからの反射光波長、若しくは、その反射によ
り失われた透過光の波長成分を観測することにより、グ
レーティングの伸縮状態、つまり、センサー光ファイバ
ーの固定間隔間での被測定物体の平均の伸縮が測定され
る。この情報をコンピュータに送り、幾何学的に全体を
再構成すれば、全体形状の変化が求められ、橋梁の変形
監視が可能となる。

【００２１】一方、隧道の場合には、その内壁にグレー
ティングを内蔵したセンサー光ファイバーを一定の間隔
で固定して敷設する。このようにすると、トンネルの断
面形状を多角形で近似した状況となり、多角形の各辺の
長さを計測することにより、多角形の変形すなわちトン
ネルの断面形状の変形が観測できる。

【００２２】特に後者の場合には、国内で大きな事故が
あったばかりであり、また、青函トンネル等、高度な安
全性が要求されるトンネルが建設され、社会的な関心が
高まってきている時期でもあり、本発明はそのような社
会問題を解決し得るものである。

【００２３】以下、発明の変形検査方法及び装置の詳細
を説明する。ゲルマニウムドープ石英光ファイバーコア
に紫外線を照射すると、フォトリフラクティブ効果によ
りわずかに屈折率が増加することが知られている。これ
を利用して軸方向に周期的に屈折率の高い部分（格子）
を形成させたものが光ファイバーグレーティングであ
り、本発明で用いるグレーティング内蔵センサー光ファ
イバーである（Ｊ．Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ Ｔｅｃｈｎｏ
ｌ．，１５（１９９７）１２６３〜１２７６；Ｏｐｔ．
Ｌｅｔｔ．，１４（１９８９）８２３〜８２５；Ａｐｐ
ｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．，６２（１９９３）１０３５
〜１０３７）。

【００２４】光ファイバーグレーティングは、その格子
間隔で決まる特定の波長の光を効率良く反射する機能を
持っている。つまり、格子間隔が変化すれば反射波長も
変化する。精度の高い波長分析器（スペクトラムアナラ
イザー）を用いれば、光の波長の１／１００以下の変化
も感知可能である。このことを利用すれば、光ファイバ
ーグレーティングはこのような感度を有する歪みゲージ
として使えることを意味している。

【００２５】石英系光ファイバーは破断延伸量は３％程
度と考えられている。また、延伸したままでは疲労が蓄
積して破断に至る寿命が短くなるが、０．１％程度の十
分小さい延伸であれば問題がない。

【００２６】本発明は、光ファイバーグレーティングに
よる被測定物体の変形を検査する方法に関するものであ
り、このようなグレーティング内蔵する光ファイバーの
一定長の両端を被測定物表面に固定する。このようにす
れば、被測定物の伸縮に応じた伸縮を光ファイバーが受
けるので、内蔵した光ファイバーグレーティングがこれ
を感じてその反射する光の波長を変化させるので、その
ことから被測定物体の変形を知るのである。

【００２７】この方法では、従来のように光ファイバー
グレーティングを被測定物体に直接貼り付けて固定する
のではないので、センサー光ファイバーの固定された２
点間での平均的な変形量が測定される。この点が従来の
計測方法と異なる点である。従来方式では、光ファイバ
ーグレーティングが貼り付けられた局部の変形しか測定
することができず、点観測であったため、被測定物全体
の形状変形を求めるには適していなかった。それに対
し、本発明では、線観測が可能となることから、被測定
物形状を網目構造で近似した場合の各網目を構成する線
素の長さ変化を計測していることに相当するので、被測
定物の全体の形状変化を容易に把握することが可能とな
る。

【００２８】いま、被測定物の表面に１ｍ長のセンサー
光ファイバーの両端が固定されており、その１ｍ長の部
分で１００μｍの変形（０．０１％）があったとする。
センサー光ファイバーも、被測定物と同じく全体として
同量の伸びを受ける。もし、センサー光ファイバーが一
様に伸びるとすると、グレーティングも同じ割合（０．
０１％）で伸びる。このとき、もし、波長０．５５μｍ
帯の光を用いているとすれば、反射光の波長は０．１５
５ｎｍだけ長波長側にシフトするはずである。この値
は、通常光通信等で使われているスペクトラムアナライ
ザーを用いれば測定可能な量である。

【００２９】さらに、より高感度にするためには、グレ
ーティング成型部の被覆を他の部分より薄くして弾性率
を不均一のものとする方法がある。弾性率の一番小さな
部分に応力が集中するから、グレーティング部は他の部
分より大きな伸長を受けるため、感度が増大する。この
ことを詳しく説明すると、もし、１ｍ長の光ファイバー
の中のグレーティング部の長さが１０ｃｍであるとし、
その部分の弾性率が１／１０であるとすると、グレーテ
ィング部が１．０だけ伸びるのに対し、他の部分では１
０ｃｍ当たり０．１であるから、他の部分での合計は
０．９となる。従って、全体が１００μｍだけ伸びる場
合のグレーティング部の伸び量は、１００μｍ／１．９
×１．０＝５２．６μｍとなり、均一にした場合の伸び
量１０μｍに比較して５倍以上の感度の向上が図れる。

【００３０】以下、本発明の原理を図１を用いてさらに
詳細に説明する。図１（ａ）に示すように、被測定物１
の表面に、伸縮を測定したい方向に沿ってグレーティン
グ３を内蔵したセンサー光ファイバー２をその長手方向
に沿って所定の伸張（張力）を付与した状態でその両端
４を固定する。このように、一定の伸張を付与した状態
でセンサー光ファイバー２の両端４を固定するには、例
えば、まず、その一端を被測定物１に固定し、その状態
でセンサー光ファイバー２の他端に張力計付き伸張付与
機構を取り付けて特定の長さだけ正確に伸張した状態
で、今度はもう一方の端部を被測定物１に固定するよう
にすればよい。

【００３１】センサー光ファイバー２には、光源６から
のグレーティング３でブラッグ回折されて反射する波長
（＝２ｎｄ_g ，（ｄ_g ：格子間隔，ｎ：コアの屈折
率））の光を含む連続波長域λ₀ 〜λ₁ の光が別の光フ
ァイバー５を介して導かれている。このとき、グレーテ
ィング３の格子間隔ｄ_g に依存する測定の波長の光のみ
が反射されるので、センサー光ファイバー５を通った光
をさらに別の光ファイバー９を介して波長分析器（スペ
クトラムアナライザー）７へと導けば、その反射波長成
分の吸収スペクトルが得られる。

【００３２】いま、被測定物体１が伸張したとすると、
センサー光ファイバー２も伸び、さらに、センサー光フ
ァイバー２に内蔵されたグレーティング３も同様に伸張
されるから格子間隔ｄ_g が増大し、吸収スペクトルは、
図１（ｂ）に示すように長波長側にシフトする。一方、
被測定物体１が収縮したとすると、センサー光ファイバ
ー２の伸び量が減り、さらに、内蔵されたグレーティン
グ３も同様に伸び量が減少するから格子間隔ｄ_g が狭ま
り、吸収スペクトルは、図１（ｃ）に示すように短波長
側にシフトする。これらの波長シフト量をスペクトラム
アナライザー７で測定すれば、被測定物体１の伸縮を計
測したこととなる。

【００３３】同様の計測はグレーティング３からの反射
光を用いても可能である。図２（ａ）にその例を示す。
この場合、光源６に接続された光ファイバーの途中に光
カプラー８を設け、光源６からの光とグレーティング３
からの反射光を分岐させる。反射光成分は光ファイバー
９を介してスペクトラムアナライザー７に接続される。
観測される光スペクトル形状は、図２（ｂ）、（ｃ）に
示すように、図１の場合と反転したものとなる以外、ス
ペクトルラインのシフトと被測定物体１の伸縮の関係は
全く同様である。

【００３４】ここで、注意すべきは、図１、図２の場合
共、伸縮量として計測される量は被測定物体１の各部分
で伸縮にばらつきがあっても、センサー光ファイバー２
が固定されている２点間の伸縮の総和であるということ
である。この点が、センサー光ファイバー２を被測定物
体１に直接貼り付けて作成した光ファイバー型ストレイ
ンゲージ方式とは決定的に異なる。ストレインゲージ方
式では、センサー光ファイバーの伸縮は被測定物体の伸
縮と全く同じであるが、本方式では異なる場合もあり得
る。しかし、被測定物体１が大きい場合には、ストレイ
ンゲージ方式のような局部的な変形よりも全体としての
形状の変形が問題となるため、従来のストレインゲージ
方式では限界があった。従来のストレインゲージ方式を
点的な計測方式とすれば、本発明は線的な計測方式に相
当し、全体形状の変形の把握には各段に有利である。

【００３５】図３（ａ）は、図１、図２で述べた方式の
センサー光ファイバー２を複数個２₁ 〜２₄ 直列に接続
して用いる場合について説明するための図で、それぞれ
の部分では，図１、図２について説明した通りである
が、それぞれの部位を識別するために、各々のセンサー
光ファイバー２₁ 〜２₄ でわずかずつ異なる格子間隔を
有するグレーティング３₁ 〜３₄ を内蔵させている。こ
の場合は、スペクトラムアナライザー７には、図３
（ｂ）に示すように、多くのスペクトラルラインが現れ
るが、これらを識別してコンピュータにより読み取り、
各部分での伸縮に振り分けて計測すれば、被測定物体１
の形状を幾何学的に線画により近似したものが得られ、
その全体形状の変形を把握することが容易となる。ま
た、図３では透過光を利用する場合について図示してあ
るが、センサー光ファイバー２₁ 〜２₄ に加え、さらに
グレーティングを内蔵しない光ファイバー１０を同時に
並列して敷設し、その終端でセンサー光ファイバー２₁
〜２₄ の延長光ファイバー９とを接続点１１で結合して
復路として用いている。この方法を用いると、光源部６
と測定部７を分ける必要がないという点で便利性が高ま
る。

【００３６】図４、図５及び図６は、図３に示した方法
を実際に適用した例を示す図で、図４は橋梁に、図５、
図６は隧道に適用した例である。図４に示した例では、
図４（ａ）の側面図、同図（ｂ）の上面図に示すよう
に、橋梁橋げた２０の上面、下面、及び左右の側面に４
本のセンサー光ファイバー２１、２２、２３、２４を敷
設してある（それぞれセンサー光ファイバーのみを図示
してある。）。左右のセンサー光ファイバー２３、２４
により、図４（ｃ）に示すように、橋げた２０の横揺れ
による変形を、上下面のセンサー光ファイバー２１、２
２は、図４（ｄ）に示すように、橋げた２０の上下のう
ねり変形に対して感度を有する。

【００３７】図５の場合は、図５（ａ）に示すように、
隧道（トンネル）２５の断面形状を折れ線により近似す
る場合と同様な形態で、隧道２５の内壁にセンサー光フ
ァイバー２６を敷設した例である。計測部２７での計測
結果をそのままプロットすることにより、図５（ｂ）に
示すように、コンピュータ２８の画面２９上に隧道２５
の断面形状の折れ線近似を表示することができる。形状
の変形は、その折れ線の各線素の長さの変動から算出す
る。

【００３８】図６は、検出感度を上げるため、敷設方法
を工夫したもので、センサー光ファイバー２６を固定す
る点４の位置を１個おきに支柱３０を設けてジグザグ形
状とすることにより、その点での隧道断面の中心へ向か
う変動量Δｘに対する検知感度を上げている。つまり、
図７（ａ）の状態と同図（ｂ）の状態とを比較すると、
図（ｂ）では隧道２５の壁面に対するセンサー光ファイ
バー２６のなす角度を自由に敷設できるから、同じ壁面
の移動Δｘであっても、それによって生ずるセンサー光
ファイバー２６の伸長量はΔｌ_B ＞Δｌ_A となり、図７
（ｂ）の方が高感度となることが分かる。

【００３９】以上、本発明の変形検査方法及び装置の原
理と実施例を説明してきたが、本発明はこれら実施例に
限定されず種々の変形が可能である。また、本発明の被
測定物体は橋梁や隧道等の建造物のみに限定されるもの
ではなく、位置変動等が問題となる自然石、断崖の形状
の監視等にも適用でき、このような最近の社会問題にも
貢献できるものである。

【００４０】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の変形検査方法及び装置によると、グレーティングを内
蔵した一定長Ｌのセンサー光ファイバーに一定の伸張を
付与した状態でその両端を被測定物に固定し、そのグレ
ーティングによる反射スペクトル若しくは透過吸収スペ
クトルの波長変化を測定し、その変化量から被測定物の
両固定位置間の伸縮をその長さＬの間での平均値として
計測するので、橋梁や隧道のような大きな被測定物の１
ｍメッシュ程度のサイズでの平均的変形を計測すること
ができ、被測定物体の２次元的あるいは３次元的な変形
を計測することができる。また、グレーティングの格子
間隔を変えることによってそれぞれのグレーティグを識
別することができるから、複数のセンサーを直列に接続
して１本の光ファイバーとなすことも可能である。この
ようにすれば、配線は極めて簡素化される。光ファイバ
ーは伝送損失が小さいので、観測拠点を測定位置から数
１０ｋｍ程度まで遠隔に設置することができる。この場
合、変形に係わる情報は光の波長に乗っており、これは
原理的に信号パワーが劣化しても影響を受けないという
利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の変形検査方法の原理を説明するための
図である。

【図２】図１の変形の変形検査方法の原理を説明するた
めの図である。

【図３】複数個のセンサー光ファイバーを直列接続した
場合について説明するための図である。

【図４】図３に示した方法を橋梁に適用した例を説明す
るための図である。

【図５】図３に示した方法を隧道に適用した例を説明す
るための図である。

【図６】図３に示した方法を隧道に適用した別の例を説
明するための図である。

【図７】図６の方法が検知感度が上がる理由を説明する
ための図である。

【符号の説明】

１…被測定物 ２、２₁ 〜２₄ …センサー光ファイバー ３、３₁ 〜３₄ …グレーティング ４…センサー光ファイバーの固定端 ５…光信号導入用光ファイバー ６…光源 ７…波長分析器（スペクトラムアナライザー） ８…光カプラー ９…光信号導出用光ファイバー １０…副設光ファイバー １１…接続点 ２０…橋梁橋げた ２１〜２４…センサー光ファイバー ２５…隧道（トンネル） ２６…センサー光ファイバー ２７…計測部 ２８…コンピュータ ２９…コンピュータ画面 ３０…支柱

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１０年８月６日（１９９８．８．６）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２８】いま、被測定物の表面に１ｍ長のセンサー
光ファイバーの両端が固定されており、その１ｍ長の部
分で１００μｍの変形（０．０１％）があったとする。
センサー光ファイバーも、被測定物と同じく全体として
同量の伸びを受ける。もし、センサー光ファイバーが一
様に伸びるとすると、グレーティングも同じ割合（０．
０１％）で伸びる。このとき、もし、波長１．５５μｍ
帯の光を用いているとすれば、反射光の波長は０．１５
５ｎｍだけ長波長側にシフトするはずである。この値
は、通常光通信等で使われているスペクトラムアナライ
ザーを用いれば測定可能な量である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 000002255 昭和電線電纜株式会社 神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１ 号 (72)発明者 佐々木一正 北海道札幌市手稲区前田９条17丁目２の７ Ｆターム(参考） 2F065 AA65 CC14 LL02 LL42 QQ00 2H038 AA03 AA22 AA34 BA25

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 グレーティングを内蔵した一定長Ｌのセ
   ンサー光ファイバーに一定の伸張を付与した状態でその
   両端を被測定物に固定し、そのグレーティングによる反
   射スペクトル若しくは透過吸収スペクトルの波長変化を
   測定し、その変化量から被測定物の両固定位置間の伸縮
   を前記長さＬの間での平均値として計測することを特徴
   とする変形検査方法。
2. 【請求項２】 請求項１において、内蔵されるグレーテ
   ィングの格子間隔が異なるセンサー光ファイバーを複数
   個直列に接続するか、若しくは、１本のセンサー光ファ
   イバー中に格子間隔が異なるグレーティングを複数個配
   置したものを用いて、被測定物の複数の箇所個々の伸縮
   の平均値を同時に計測することを特徴とする変形検査方
   法。
3. 【請求項３】 請求項２において、複数の箇所個々の伸
   縮の平均値を計測し、その計測情報から被測定物全体の
   変形を幾何学的に推定することを特徴とする変形検査方
   法。
4. 【請求項４】 請求項１から３の何れか１項において、
   前記センサー光ファイバーの両端を被測定物に固定する
   際に、まず、前記センサー光ファイバーの一端を被測定
   物に固定し、他端に張力計付き伸張付与機構を取り付け
   て特定の長さだけ正確に伸張した状態で他端を被測定物
   に固定することを特徴とする変形検査方法。
5. 【請求項５】 請求項１から４の何れか１項において、
   前記センサー光ファイバーの伸縮特性をその長手方向で
   不均一なものとし、前記グレーティングが内蔵されてい
   る部分の弾性率をより小さくなるようにして検出感度を
   増大させるようにしたことを特徴とする変形検査方法。
6. 【請求項６】 被測定物に一定の伸張を付与した状態で
   両端が固定されるグレーティングを内蔵したセンサー光
   ファイバーと、前記グレーティングでブラッグ回折され
   て反射する波長の光を含む連続波長域の光を発光する光
   源であって、前記センサー光ファイバーの一端に導入さ
   れるを光を発光する光源と、前記センサー光ファイバー
   の他端に接続されるスペクトラムアナライザーとからな
   ることを特徴とする変形検査装置。
7. 【請求項７】 被測定物に一定の伸張を付与した状態で
   両端が固定されるグレーティングを内蔵したセンサー光
   ファイバーと、前記グレーティングでブラッグ回折され
   て反射する波長の光を含む連続波長域の光を発光する光
   源であって、前記センサー光ファイバーの一端に導入さ
   れるを光を発光する光源と、前記光源と前記センサー光
   ファイバーの前記一端との間の光路中に配置され、前記
   グレーティングで反射された光成分を分岐する分岐手段
   と、前記分岐手段によって分岐された光成分のスペクト
   ラムを分析するスペクトラムアナライザーとからなるこ
   とを特徴とする変形検査装置。
8. 【請求項８】 請求項６又は７において、前記センサー
   光ファイバーが、内蔵されるグレーティングの格子間隔
   が異なるセンサー光ファイバーを複数個直列に接続する
   か、若しくは、１本のセンサー光ファイバー中に格子間
   隔が異なるグレーティングを複数個配置したものである
   ことを特徴とする変形検査装置。
9. 【請求項９】 請求項６から８の何れか１項において、
   前記センサー光ファイバーが、その伸縮特性を長手方向
   で不均一なものとし、前記グレーティングが内蔵されて
   いる部分の弾性率をより小さくなるようにして検出感度
   を増大させたものであることを特徴とする変形検査装
   置。