JP2000038695A - リードフレームメッキ用マスキング材 - Google Patents

リードフレームメッキ用マスキング材

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JP2000038695A
JP2000038695A JP20627998A JP20627998A JP2000038695A JP 2000038695 A JP2000038695 A JP 2000038695A JP 20627998 A JP20627998 A JP 20627998A JP 20627998 A JP20627998 A JP 20627998A JP 2000038695 A JP2000038695 A JP 2000038695A
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lead frame
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masking material
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silicone elastomer
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JP20627998A
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Takeyuki Tsunekawa
武幸 恒川
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Mitsubishi Plastics Inc
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Mitsubishi Plastics Inc
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

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  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 リードフレームのインナーリードの片面にボ
ンディング性向上のためにメッキを施す際に、リードフ
レーム背面およびインナーリード側面部にメッキが侵入
するのを防ぐために押圧マスク用として使用されるリー
ドフレームメッキ用マスキング材を提供する。 【解決手段】リードフレームのインナーリード部にメッ
キを施す際に使用されるリードフレーム背面およびイン
ナーリード側面部にメッキ液が侵入しないように押圧マ
スク用として使用されるマスキング材であって、該マス
キング材はシリコーンエラストマー層と非伸縮性支持体
層とを有し、リードフレームと接するシリコーンエラス
トマーは、動的粘弾性測定により、周波数10Hz、温
度20℃で測定した剪断弾性率(G′)が3.0×10
5 〜5.0×106 dyn/cm2 であって、その損失
係数(tanδ)が、0.15〜0.60の範囲である
ことを特徴とするリードフレームメッキ用マスキング
材。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、リードフレームの
インナーリードの片面にボンディング性向上のためにメ
ッキを施す際に、リードフレーム背面およびインナーリ
ード側面部にメッキが侵入するのを防ぐために押圧マス
ク用として使用されるリードフレームメッキ用マスキン
グ材に関する。
【0002】
【従来の技術】ICチップなどを搭載するためのリード
フレームは、導電性の金属材料からなり、ICチップと
ボンディングするためのインナーリードと外部との導通
のためのアウターリードとを有している。金属材料とし
ては、鉄/ニッケル合金、銅合金などが用いられる場合
が多い。
【0003】そして、インナーリードの片面には、金、
銀、パラジウムなどをメッキして、ICチップとワイヤ
ーボンディングの際のボンディング性を向上させてい
る。このメッキ処理は、インナーリード先端部やダイス
トッパー部の片面のみにメッキを施す必要があるため、
必要部分のみ窓を開けた治具を介して噴流式メッキ装置
などで実施される。通常メッキを施す面は、メッキする
必要のない部分にメッキ液が侵入するのを防ぐため、シ
リコーンゴムを有する窓の開いた固定治具が用いられて
いる。
【0004】一方、メッキを施さない面は、メッキ液が
リードフレームの背面に侵入するのを防ぐため、図4の
概略図に示すような軟質材料11を表面材として有する
押圧マスク用の押圧治具1が用いられる。この押圧治具
1を上方からリードフレーム2に密着させメッキ不要部
分をマスクし、下方を噴流式メッキ装置に接触させる。
このような軟質材料11としては、従来から、ゴム硬度
10以下(JIS A)のシリコーンゴムやポリウレタ
ン等からなるスポンジ状のゴム等の柔らかい弾性に富む
材料が用いられている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このメッキ
を施さない面に使用されている従来の軟質材料(マスキ
ング材)では種々の問題点があり、必ずしも満足すべき
ものではなかった。特に、リードフレーム背面へのメッ
キ液の侵入だけでなく、インナーリード側面部への侵入
を嫌う用途では、従来の材料では対応が極めて困難であ
った。それを図2、図3で説明する。
【0006】図2、図3に示した各(イ)は、図4にお
ける押圧治具1を上方からリードフレーム2に密着させ
下方を噴流式メッキ装置に接触させた状態であって、イ
ンナーリード3のA−A矢視断面図である。図2の
(イ)は、軟質材料11が硬すぎ、変形が不足した状態
の例であって、インナーリード3の隙間に軟質材料11
が完全には充満していない状態を示している。この場
合、図2(ロ)のインナーリード3の斜視図、同(ハ)
の断面該略図に示すように、インナーリード3の側面部
にメッキ4が回り込んだ状態となる。このような状態
で、ICチップが搭載され、モールド樹脂で封止される
と、貴金属部分の接着不良が原因で、ICチップの寿命
が短くなるという問題が生じる。
【0007】図3の(ロ)は、軟質材料11が柔らかす
ぎ、変形が過大となり、メッキすべき面まで軟質材料1
1が突出した状態となる例を示すもので、この場合、図
3(イ)、(ロ)に示すようにインナーリードのメッキ
すべき面の周辺部にメッキされない部分が生じ、ボンデ
ィング不良の原因となる。
【0008】従来は、上記問題を解消するために軟質材
料11の硬度と押圧力との調整で、より好適な材料、操
作条件を選定しようとしたが、取扱い性、繰り返し耐久
性などとの関係から、良好な状態を得るのは困難であっ
た。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明はかかる背景のも
とになされたものであり、軟質材料11としてシリコー
ンゴムを使用し、その硬度とマスキング性能は必ずしも
相関しないことから、シリコーンゴムの粘弾性特性を一
定の範囲にするとともに、非伸縮性支持層と組合わせる
ことにより、良好なメッキ状態が得られるマスキング材
が得られることを見出したものである。
【0010】すなわち、本発明の要旨は、リードフレー
ムのインナーリード部にメッキを施す際に使用されるリ
ードフレーム背面およびインナーリード側面部にメッキ
液が侵入しないように使用される押圧マスク用のマスキ
ング材であって、該マスキング材はシリコーンエラスト
マー層と非伸縮性支持体層とを有し、リードフレームと
接するシリコーンエラストマーは、動的粘弾性測定によ
り、周波数10Hz、温度20℃で測定した剪断弾性率
(G′)が3.0×105 〜5.0×106 dyn/c
2 であって、その損失係数(tanδ)が、0.15
〜0.60の範囲であることを特徴とするリードフレー
ムメッキ用マスキング材にある。
【0011】本発明のマスキング材は、インナーリード
の間に食い込んだ場合に、適当な変形のしやすさと適度
な緩和現象によりインナーリード側面部に沿った変形を
示し、インナーリードとの間に隙間が生じず、またメッ
キ面への突出も起こらないという状態が容易に得られる
ものである。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明について詳細に説明
する。本発明のマスキング材の主体となるシリコーンゴ
ムは、シロキサン骨格、すな
【0013】わち
【式1】 を有するポリオルガノシロキサンを架橋することにより
得られるゴム状弾性体であり、Rのすべてがメチル基で
あるポリジメチルシロキサンをはじめ、メチル基の一部
が他のアルキル基、ビニル基、フェニル基、フルオロア
ルキル基などの一種あるいはそれ以上と置換された各種
ポリオルガノシロキサンを単独あるいは二種以上ブレン
ドしたものである。
【0014】本発明で適用できる架橋方法としては、特
に限定されるものではなく、従来より公知の方法が適用
できる。例えば、ポリオルガノシロキサンのメチル基あ
るいはビニル基をラジカル反応で架橋する方法、シラノ
ール末端ポリオルガノシロキサンと加水分解可能な官能
基を有するシラン化合物との縮合反応で架橋させる方
法、ビニル基へのヒドロシリル基の付加反応で架橋する
方法などが挙げられる。
【0015】さらに、本発明のシリコーンゴムには、シ
リコーンゴム組成物に従来添加することが知られている
添加剤を本発明の物性を損なわない範囲で添加してもよ
い。これら添加剤として、ヒュームドシリカ、沈降性シ
リカ、石英粉など酸化ケイ素の他、ケイソウ土、炭酸カ
ルシウム、カーボンブラック、アルミナ、酸化マグネシ
ウム、酸化亜鉛、窒化ホウ素、酸化鉄などが挙げられ
る。
【0016】このシリコーンゴムの物性は、動的粘弾性
測定により周波数10Hz、温度20℃での剪断弾性率
(G′)が3.0×105 〜5.0×106 dyn/c
2、損失係数(tanδ)が、0.15〜0.60の
範囲であることが重要である。さらにメッキされる際、
該シリコーンゴムの温度は、概略80℃程度まで上昇す
る可能性があるため、この温度領域まで動的粘弾性の性
質が本発明の範囲にあることが望ましい。
【0017】すなわち、G′が3.0×105 dyn/
cm2 未満であると、シリコーンゴム自体の機械的強度
が弱く、たとえインナーリード間の間隙を埋めることが
できても繰り返し使用ができない。反対に、G′が5.
0×106 dyn/cm2 を越えると、インナーリード
の間隙に侵入することが容易にできず、メッキ部分が図
2(ロ)、(ハ)のような状態になり易い。間隙に侵入
させるため、無理に押圧力を過大に掛けるとリードフレ
ームの変形が起こるなどの不都合が生じ易くなる。
【0018】また、tanδが、0.15未満である
と、インナーリードの間隙に侵入した後、短時間で復元
が起こり、インナーリード側面部を十分にマスキングで
きない。復元が起こり難くするため、押圧力を高めると
メッキ面側に突出し、図3(ロ)、(ハ)のようにメッ
キされない部分が生じ易くなる。tanδが、0.60
を越える場合はマスキング機能は満足するが、リードフ
レームを剥離させた後も、その変形が戻らず、繰り返し
使用ができなくなるという不具合が生じる。
【0019】このような動的粘弾性の性質を有するシリ
コーンゴムを得るための方法について以下説明する。
G′については、通常のシリコーンゴムといわゆるシリ
コーンゲルとの中間に位置づけられる範囲であり、ポリ
オルガノシロキサンの種類、分子量、補強性フィラーな
どシリコーンゴムの組成と架橋度を適当に調整すること
によって目的のG′にすることも可能であるし、複数の
市販シリコーンコンパウンドを任意にブレンドすること
によっても可能である。
【0020】また、tanδについては、ポリオルガノ
シロキサンの分子構造および架橋状態の影響を受ける物
性値であり、原料ゴムの構造および架橋条件を適時選択
する必要があるが、本発明では、それらの内容を限定す
るものではない。その分子構造としては、ポリジメエチ
ルシロキサンのメチル基の一部を適当量他の官能基に置
換して、その結晶性を低減させたもの例として挙げるこ
とができ、架橋方法としては、ビニル基とヒドロシリル
基との付加反応を利用する方法であって、シリコーンゲ
ルを得るための公知の官能基の比率および架橋条件を選
定して架橋させるという手法が挙げられる。
【0021】本発明のマスキング材は、通常押圧治具の
押圧板に接着層を介して固定される。この取扱いをする
際、シリコーンゴム単体では、変形しやすく形状保持が
極めて困難である。そのため、本発明のマスキング材
は、シリコーンゴムの一面に非伸縮性の支持体が必要で
ある。この支持体の材料として、その機械的強度、耐熱
性、平滑性、接着剤層形成等の二次加工性の容易さなど
から二軸延伸されたポリエチレンテレフタレート、ポリ
エチレンナフタレートが特に好適であるが、形状保持性
が十分であれば、他の材料であっても使用可能である。
【0022】シリコーンゴム層とこの非伸縮性支持体と
の接着は、一般にシリコーンゴムと他の材料との接合法
として実施されている公知の方法による。例えば、支持
体に適当なプライマー処理を施した後、未架橋のシリコ
ーンゴム層を形成させ、いわゆる加硫接着させる方法、
架橋したシリコーンゴムシートをシリコーン系接着剤で
支持体に接着させる方法などが挙げられる。
【0023】また、該シリコーンゴムシートの厚さは、
対象となるリードフレームの厚さにもよるが、通常0.
3mm以上必要である。これ未満の厚さでは、非伸縮性
支持体の硬さの影響を受け、リードフレームに押当てた
際、必要な変形が得られずマスキング硬化が十分に得ら
れない。適当な押圧条件が広い範囲で得られるとか、マ
スキング効果の場所による差異が少ない等の条件を考慮
に入れると、1.0mm〜5.0mmの範囲であるもの
が特に好ましい。
【0024】本発明のマスキング材は、さらに押圧治具
の押圧板と接着層を介して固定される。接着方法として
は、取替えの容易さ等から粘着剤を使用することが簡便
である。上述のように本発明のマスキング材は、シリコ
ーンゴムの片面に非伸縮性の支持体が接着されているの
で、支持体のもう一方の面に通常のアクリル系粘着剤を
使用することができる。この粘着剤は、市販されている
両面テープを支持体に貼り合わせてもよく、粘着剤溶液
を適当量塗布、溶剤乾燥後、架橋などを施して、粘着剤
層を形成させても良い。
【0025】以下、本発明を実施例にて説明する。
【0026】
【実施例】(実施例1) マスキング材の構成: 非伸縮性支持体層(二軸延伸ポリエチレンテレフタレー
ト樹脂フイルム0.1mm)/シリコーンエラストマー
層(1.0mm) シリコーンエラストマー層の周波数10Hz、温度20
℃で測定した剪断弾性率(G′)が8.3×105 dy
n/cm2 、損失係数(tanδ)が、0.28であっ
た。上記マスキング材の非伸縮性支持体層に両面テープ
を貼付した後、図4に示した押圧治具の押圧板に固定し
た。
【0027】ついで図1(イ)に示すように押圧治具の
マスキング材12をリードフレームに圧着した後、メッ
キ装置により金メッキを行なった。その結果、図1
(ロ)、(ハ)に示すようにインナーリード3へのメッ
キ状態は極めて良好であった。
【0028】(比較例1)実施例1と同一層構成でシリ
コーンエラストマー層の樹脂を変え周波数10Hz、温
度20℃で測定した剪断弾性率(G′)が1.0×10
7 dyn/cm2損失係数(tanδ)が0.40であ
る以外は実施例1と同様にリードフレームへのメッキを
実施したところ、図2(ロ)、(ハ)に示すようにイン
ナーリード3の側面部にメッキ4が回り込んだ状態とな
った。
【0029】(比較例2)実施例1と同一層構成でシリ
コーンエラストマー層の樹脂を変え、周波数10Hz、
温度20℃で測定した剪断弾性率(G′)が9.5×1
5 dyn/cm2 、損失係数(tanδ)が0.12
である以外は実施例1と同様にリードフレームへのメッ
キを実施したところ、図3(ロ)、(ハ)に示すように
メッキされない部分が生じた。
【0030】
【発明の効果】上述したように、本発明のマスキング材
は、リードフレームのインナーリードの片面にボンディ
ング性向上のためにメッキを施す際に、リードフレーム
背面およびインナーリード側面部にメッキが侵入するの
を良好に防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 (イ)本発明のマスキング材を用いたメッキ
加工状態、(ロ)メッキ後のリードの斜視図、(ハ)、
(ロ)の断面図である。
【図2】 (イ)本発明以外のマスキング材を用いたメ
ッキ加工状態、(ロ) メッキ後のリードの斜
視図、(ハ)、(ロ)の断面図である。
【図3】 図2と同様に本発明以外のマスキング材の例
を示している。
【図4】 押圧治具とリードフレームの概略図。
【符号の説明】
1 … 押圧治具 3 … インナーリード 4 … メッキ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 リードフレームのインナーリード部にメ
    ッキを施す際に使用されるリードフレーム背面およびイ
    ンナーリード側面部にメッキ液が侵入しないように押圧
    マスク用として使用されるマスキング材であって、該マ
    スキング材はシリコーンエラストマー層と非伸縮性支持
    体層とを有し、リードフレームと接するシリコーンエラ
    ストマーは、動的粘弾性測定により、周波数10Hz、
    温度20℃で測定した剪断弾性率(G′)が3.0×1
    5 〜5.0×106 dyn/cm2 であって、その損
    失係数(tanδ)が、0.15〜0.60の範囲であ
    ることを特徴とするリードフレームメッキ用マスキング
    材。
  2. 【請求項2】 シリコーンエラストマー層の合計の厚さ
    が、0.3〜5.0mmであることを特徴とする請求項
    1記載のリードフレームメッキ用マスキング材。
  3. 【請求項3】 非伸縮性支持体層が、二軸延伸されたポ
    リエチレンテレフタレート又は、ポリエチレンナフタレ
    ートであることを特徴とする請求項1又は2記載のリー
    ドフレームメッキ用マスキング材。
  4. 【請求項4】 非伸縮性支持体層の背面に粘着剤あるい
    は、接着剤を介して押圧治具に装着されることを特徴と
    する特許請求項1乃至3記載のリードフレームメッキ用
    マスキング材。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003347717A (ja) * 2002-05-23 2003-12-05 Mitsubishi Plastics Ind Ltd 電子部品実装用マスク材
CN104294341A (zh) * 2014-01-10 2015-01-21 河南航天精工制造有限公司 用于对套筒类零件局部电镀的工装
WO2015060298A1 (ja) * 2013-10-24 2015-04-30 Dowaメタルテック株式会社 端子部材のめっき方法、めっき装置、および端子部材

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003347717A (ja) * 2002-05-23 2003-12-05 Mitsubishi Plastics Ind Ltd 電子部品実装用マスク材
WO2015060298A1 (ja) * 2013-10-24 2015-04-30 Dowaメタルテック株式会社 端子部材のめっき方法、めっき装置、および端子部材
JP2015108186A (ja) * 2013-10-24 2015-06-11 Dowaメタルテック株式会社 端子部材のめっき方法、めっき装置、および端子部材
CN104294341A (zh) * 2014-01-10 2015-01-21 河南航天精工制造有限公司 用于对套筒类零件局部电镀的工装

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