JP2000035263A - ステップモ―タを利用した流量調節バルブ - Google Patents

ステップモ―タを利用した流量調節バルブ

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 熱膨脹液及び隔膜等の使用を排除するととも
に比例制御を可能にして流量調節性能と耐久性を一層向
上させるステップモータを利用した流量調節バルブを提
供する。 【解決手段】 両側に流入口及び排出口が形成されて内
部に流入口及び排出口と連通する案内空間が形成された
バルブハウジングと、バルブハウジングの案内空間に昇
・下降が可能に結合されて排出口の開放程度を調節する
スプールと、案内空間の上部に収納されてスプールとと
もに昇・下降しながら液冷媒を下側に通過させるスプー
ルガイドと、スプールガイドを一方向に弾力支持する弾
持手段と、バルブハウジングの下部にスプールを囲みな
がら結合されて液冷媒の漏泄を防止するシール手段と、
スプールを昇下降させる駆動手段とを含んで構成され
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は冷凍サイクルに適用
される流量調節バルブに係り、より詳細には、ステップ
モータを利用して比例制御を可能にすることにより流量
調節性能と耐久性を一層向上させた流量調節バルブに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般的に冷凍サイクルは、蒸発器（エバ
ポレータ）、圧縮機（コンプレッサ）、凝縮機（コンデ
ンサ）及び膨脹バルブ等で構成されて、冷媒の蒸発、圧
縮、凝縮及び膨脹作用を通して周辺の温度を低減させる
機能を実行する。より詳細に説明すると、蒸発器内部の
液化冷媒は蒸発により気化されて、この時、冷媒液は冷
却管の周囲にある空気から蒸発に必要な蒸発潜熱を取っ
てそれ自身が継続蒸発する。熱を取られた空気は冷却さ
れて温度が低下されて、その空気は自然対流または送風
ファンにより庫内の内部を低温で維持する。前記蒸発器
内部には膨脹バルブから供給された冷媒液と蒸発した冷
媒蒸気が共存しており、液体から蒸気への変化が進行さ
れて、その状態変化の間は蒸発圧力と蒸発温度との間に
一定な関係が成立される。
【０００３】前記蒸発器で気化した冷媒蒸気は圧縮機に
吸入される。この作用は蒸発器内部の冷媒圧力を低く維
持することにより低温状態下でも液冷媒が活発に継続し
て蒸発できるようにするためである。また、圧縮機に吸
入された冷媒蒸気はシリンダ内部でピストンにより圧縮
されて、圧力が高くなることにより常温の冷却水または
冷却空気で冷却させても容易に液化される状態になる。
【０００４】以後、圧縮機を出た圧縮ガスは凝縮機によ
り冷却されて凝縮液化させる。このような凝縮作用の場
合も蒸発の場合と同様に冷媒が蒸気と液が共存している
状態であり、気体から液体に変化する間、凝縮圧力と凝
縮温度との間に一定な関係が成立される。前記凝縮機に
より液化された冷媒を蒸発器に送り出す前に既に蒸発し
やすい状態まで圧力を低下させる作用を膨脹として、そ
の膨脹作用する膨脹バルブは減圧作用するとともに冷媒
液の流量を制御する。即ち、蒸発器内部で蒸発する冷媒
量は所定の蒸発温度（蒸発圧力）下の庫内で除去すべき
熱量によって決定して、それを正確に把握して過不足さ
れないように必要な冷媒量を蒸発器に供給して制御する
ことは重要事項である。
【０００５】言い換えると、膨脹バルブは高温高圧の液
冷媒を低温低圧の状態で断熱膨脹させるとともに蒸発器
の負荷によって適正な冷媒供給量を維持させる流量調節
バルブの役割をする。前記膨脹バルブは操作方式及び構
造によって多様な形態のものが知られており、最近、駆
動力が大きく、微細駆動が可能であり、製造費用を低減
させた熱空圧方式流量調節バルブが知られている。その
典型的な実施形態を添付図面を参照して説明する。
【０００６】図８及び図９は従来技術による流量調節バ
ルブの構成及び作用を示すもので、図８は熱膨脹液が膨
脹しなかった状態を示す断面図、図９は熱膨脹液が膨脹
して隔膜が膨脹した状態を示す断面図である。図８に示
されるように、所定の形状を持つキャップ１と、両側に
膨脹液注入口２が形成されたセラミックス材質の発熱板
３と、中間部にTa-Al 発熱電極４が具備されて発熱板３
の上面に付着固定されるAl電極５と、前記Al電極５の上
面外周縁部にスペーサ６を介在して固定される、例え
ば、Cu材質で形成された隔膜７と、前記Al電極５の上面
とスペーサ６の下面との間及びスペーサ６の上面と隔膜
７の下面との間に各々介在されて接着強度を向上させる
接着層("フィラー”ともいう）８、９と、前記Al電極５
と隔膜７との間に形成された空間に充填される熱膨脹液
10と、前記発熱板３の下面に固定されて膨脹液注入口２
を閉鎖させる封合用板11とで構成されている。参照符号
12は電源線である。
【０００７】また、前記キャップ１は内部に液冷媒が通
過する所定の空間部1aが形成されており、上部の両側に
液冷媒の流入のための流入口1b及び排出のための排出口
1cが空間部1aが通過するように形成されている。前記の
ような熱空圧方式流量調節バルブの構成は、まず、発熱
板３の上面にTa-Al 発熱電極４が具備されたAl電極５を
固定して、そのAl電極５の上面に下部接着層８、スペー
サ６、上部接着層９及び隔膜７を順次的に接合固定し
て、Al電極５とスペーサ６、隔膜７の内部に所定の空間
を形成する。
【０００８】次に、前記発熱板３の下側から膨脹液注入
口２を通して熱膨脹液10を注入して、前記発熱板３の下
面に封合用板11を付着固定して膨脹液注入口２を密封さ
せた後、その封合用板11をキャップ１の底面に付着固定
して、Al電極５の電源線12をキャップ１の外部に引出
す。この時、前記隔膜７の中心部をキャップ１に形成さ
れた排出口1cの直下部に位置させる。
【０００９】前記のような従来の技術による流量調節バ
ルブでは、キャップ１の流入口1bを通して液冷媒が流入
されて、その内部に形成された空間部1aを通過した後、
排出口1cを通して蒸発器側に排出される。また、液冷媒
の流量を調節する必要がある場合には、キャップ１の外
部に引出された電源線12を通してAl電極５に電源を印加
すると、前記Al電極５のTa-Al 発熱電極４が熱を発散す
ることによりAl電極５とスペーサ６及び隔膜７の内側に
形成された所定の空間に充填されている熱膨脹液10が膨
脹して、その熱膨脹液10の熱膨脹作用により、図９に示
されるように、隔膜７の中間部がキャップ１の排出口1c
方向に膨脹することによって、排出口1cに排出される液
冷媒の量を規制して流体量を全体的に調節する。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記のような
従来技術による熱空圧方式流量調節バルブは、Ta-Al 発
熱電極４に熱を印加して熱膨脹液10を膨脹させて流量を
調節する方法として、比例制御が不可能であるため性能
の向上に限界があるだけではなく熱膨脹液10の使用によ
る改善点があった。即ち、熱膨脹液10の漏泄を完璧に防
止するためのシーリングが容易ではなく、前記熱膨脹液
10の反復される膨脹及び収縮による隔膜７の耐久性が不
良して流量調節バルブの動作信頼度が低下されて全体的
な寿命短縮要因として作用する欠点があった。
【００１１】したがって、本発明はこのような問題点に
着眼して案出されたもので、その目的は、ステップモー
タを利用して比例制御を可能にすることにより流量調節
性能を一層向上させた流量調節バルブを提供することに
ある。本発明の他の目的は、熱膨脹液及び隔膜等の使用
を排除して耐久性を一層向上させた流量調節バルブを提
供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めの本発明の特徴によると、両側に流入口及び排出口が
形成されて、内部に流入口及び排出口と連通する案内空
間が形成されたバルブハウジングと、前記バルブハウジ
ングの案内空間に昇・下降可能に結合されて排出口の開
放程度を調節するスプールと、前記案内空間の上部に収
納されてスプールとともに昇・下降しながら液冷媒を下
側に通過させるスプールガイドと、前記スプールガイド
を一方向に弾力支持する弾持手段と、前記バルブハウジ
ングの下部にスプールを囲みながら結合されて液冷媒の
漏泄を防止するシール手段と、前記スプールを昇・下降
させるためのステップモータとが具備された駆動手段と
を含んで構成したステップモータを利用した流量調節バ
ルブが提供される。
【００１３】また、前記スプールガイドの一実施例によ
ると、外周縁部に多数の液冷媒通過溝が外側に開放され
た形態で形成される。前記スプールガイドの他の実施例
によると、中心に対して所定間隔が維持された形態で上
下に貫通する多数の液冷媒通過孔を放射状で形成する。
また、前記バルブハウジングの流入口と案内空間を同一
線上に形成して、前記排出口は案内空間に直角で形成し
て、前記流入口及び排出口の内側端部に該流入口と排出
口より小さい内径を持つ流入孔及び排出孔を案内空間と
連通するように形成する。
【００１４】前記シール手段は、バルブハウジングの下
端部に固定されてスプールの下端部を囲むベローズでよ
い。また、前記駆動手段の一実施例によると、ステップ
モータと、該ステップモータの回転力を伝達するための
ギヤ列と、前記ギヤ列により回転しながらスプールを昇
・下降させるカム部材とを含んで構成する。
【００１５】前記駆動手段の他の実施例によると、バル
ブハウジングの下端部が支持されるブラケットと、前記
ブラケットの所定部位に固定されるステップモータと、
前記ステップモータに直結される第１ギヤと、大ギヤ及
び小ギヤが一体で形成されて前記ブラケットの一側に回
転可能に支持されて第１ギヤにより回転される第２ギヤ
と、前記ブラケットの他側に回転可能に支持されて第２
ギヤにより回転される第３ギヤと、半径が小さい短径部
と半径が大きい長径部が具備されて第３ギヤに一体で形
成されて、ベローズが結合されたスプールが連動される
カム円板と、前記カム円板の位置を感知するカム位置感
知手段とを含んで構成する。
【００１６】好ましくは、前記カム円板の外周面とその
外周面に接触するベローズの下面との中で少なくとも一
面以上は相互の摩擦係数を減少させるためMoS2コーティ
ング層を形成する。前記カム位置感知手段は、ブラケッ
トの所定部位に固定される感知スイッチと、前記第３ギ
ヤの下面所定部位に下側に向かって形成されて第３ギヤ
の回転により感知スイッチを作動させる突出片とを含ん
で構成する。
【００１７】また、前記ブラケットの下部所定部位に折
曲部を形成して、その折曲部にステップモータの回転軸
を支持するシャフトガイドを固定する。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
のステップモータを利用した流量調節バルブについて詳
細に説明する。図１は本発明のステップモータを利用し
た流量調節バルブの構成を示す断面図、図２及び図３は
本発明による流量調節バルブの構成及び作用を説明する
ための断面図、図４は図２のA-A 線に沿って切断した断
面図、図５は本発明による流量調節バルブの底面図、図
６及び図７は本発明による流量調節バルブを構成するス
プールガイドの実施例を示す平面図である。
【００１９】図１乃至図３に示されるように、本発明に
よる流量調節バルブは、両側に流入口21a 及び排出口21
b が形成されて、内部に流入口21a 及び排出口21b と連
通する案内空間21c が形成されたバルブハウジング21
と、前記バルブハウジング21の案内空間21c に昇・下降
が可能に結合されて排出口21b の開放程度を調節するス
プール22と、前記案内空間21c の上部に収納されてスプ
ール22とともに昇・下降しながら液冷媒を下側に通過さ
せるスプールガイド23と、該スプールガイド23の上部に
収納されてスプールガイド23を弾性的に支持する弾持手
段と、前記バルブハウジング21の下部にスプール22を囲
みながら結合されて高圧で作用する液冷媒の漏泄を防止
するシール手段と、前記スプール22を昇・下降させるた
めステップモータ31が具備された駆動手段とを含んで構
成する。
【００２０】前記バルブハウジング21は、流入口21a と
案内空間21c が同一線上に形成されており、前記排出口
21b は案内空間21c に直角で形成されて、前記流入口21
a 及び排出口21b の内側端部には流入孔21a'及び排出孔
21b'が案内空間21c と連通するように形成されている。
好ましくは、前記スプールガイド23は、図６に示される
ように、外周縁部に多数の液冷媒通過溝23a が形成され
ている。前記液冷媒通過溝23a は一定な間隔で放射状で
形成される。
【００２１】前記スプールガイド23の形状は、図示され
た実施例に限定されず、図７に示されるように、スプー
ルガイド23' の中間部に数個の液冷媒通過孔23a'を一定
間隔で放射状で形成してもよい。また、前記弾持手段
は、圧縮コイルスプリング24を使用することが好まし
く、前記圧縮コイルスプリング24の上端部は案内空間21
c に形成された段差部21d に支持されて、下端部はスプ
ールガイド23の上面周縁部に支持されてスプールガイド
23を弾力的に支持する。したがって、スプール22が下降
して流入口21a に多量の液冷媒が流入されると、液冷媒
の油圧によりスプールガイド23を下降させて多量の液冷
媒が排出孔21b'及び排出口21b を通して排出される。
【００２２】前記シール手段はシール性能が優れて、Ｙ
軸方向に伸縮性が良好なベローズ25であることを特徴と
する。前記ベローズ25をバルブハウジング21の下部に結
合するためにはバルブハウジング21の上部には高圧が作
用するが下部では高圧が及ばないためエポキシボンドで
接合固定することが好ましい。
【００２３】一方、前記駆動手段は、動力発生手段であ
るステップモータと、そのステップモータの回転力を伝
達するためのギヤ列と、前記ギヤ列により回転しながら
スプール22を昇・下降させるカム部材とを含んでいる。
前記ステップモータ、ギヤ列及びカム部材を含む駆動手
段の実施例についてより詳細に説明すると、バルブハウ
ジング21の下面に固定ボルト等の通常的な固定手段で固
定されるブラケット30と、前記ブラケット30の上面一側
に固定ボルト等の通常的な固定手段により固定されてブ
ラケット30を貫通して下側に突出される回転軸31a が具
備されたステップモータ31と、前記ステップモータ31の
回転軸31a に固定される第１ギヤ41と、前記ブラケット
30の両側に各々固定された支持軸32、33に回転可能に結
合される第２ギヤ42及び第３ギヤ43と、前記第３ギヤ43
に一体で形成されて外周面の所定部位にベローズ25の下
面が接触されるカム円板44と、前記カム円板44の回転動
作を感知してステップモータ31を制御するカム位置感知
手段とで構成する。
【００２４】前記第１ギヤ41はウォームで形成されて、
前記第２ギヤ42は直径が異なる大ギヤ42a 及び小ギヤ42
b が一体で形成されて、前記第３ギヤ43は平ギヤで形成
される。また、前記第１ギヤ41は第２ギヤ42のウォーム
歯車、即ち、大ギヤ42a と常に噛合されており、前記第
２ギヤ42の小ギヤ42b は第３ギヤ43と常に噛合されてい
る。
【００２５】前記第３ギヤ43に一体で形成されるカム円
板44には半径が最も小さい短径部44a と、半径が最も大
きい長径部44b が形成されており、前記カム円板44の外
周面に接触されるスプール22が半径差により昇・下降動
作が可能になっている。 好ましくは、前記カム円板44
の外周面とその外周面に接触するベローズ25の下面との
中で少なくともいずれの一面以上は相互摩擦係数を減少
させるためMoS2コーティング層を形成する。
【００２６】前記ステップモータ31はステッピングモー
タまたはパルスモータともいい、回転軸31a がステップ
状で回転する特性を持つ。例えば、１回転で200 パルス
のステップモータ31は駆動回路に１個のパルスを付与す
ると、基本的に１ステップ、即ち、1.8 °(360/200）ほ
ど回転軸31a が回転する。したがって、ステップモータ
31は付与するパルス数の調整によって回転軸31a の回転
角が制御できる。即ち、オープンルートの位置決定制御
が可能である。また、パルス周波数（デジタル信号）に
より回転速度が制御されて、駆動回路もデジタル的に動
作するためマイコンと結合が容易な特徴がある。
【００２７】前記カム位置感知手段は、ブラケット30の
所定部位に固定ボルト等の通常的な固定手段により固定
される感知スイッチ50と、前記第３ギヤ43の下面所定部
位に下側に向かって形成されて第３ギヤ43の回転により
感知スイッチ50を作動させる突出片52とを含んでいる。
前記感知スイッチ50には突出片52に接触される感知片51
が具備されている。
【００２８】前記突出片52の形成部位は本発明の実施例
のように、第３ギヤ43の下面にだけ限定されずカム円板
44の下面外周縁部に形成してもよい。前記感知スイッチ
50は、スプール22が完全に開放された場合カム円板44の
位置を感知する役割、即ち、カム円板44の初期動作開始
基準点を確認する役割をする。即ち、図２に示されるよ
うに、スプール22が完全に下降されてバルブが完全に開
放されると、第３ギヤ43の突出片52が感知スイッチ50の
感知片51に接触されることによってステップモータ31の
駆動が停止される。
【００２９】前記のように、スプール22が完全に下降し
て突出片52が感知スイッチ50の感知片51に接触された状
態を基準としてステップモータ31のステップ量によって
回転軸31a が回転されることによりカム円板44を所定角
度だけ回転させる。また、前記のようにカム円板44が所
定角度だけ回転された状態で流量調節作用をさらに実行
する場合には、第３ギヤ43の突出片52が感知スイッチ50
の感知片51に接触するようにカム円板44を逆回転させた
後、さらに所望する角度だけパルスを発生させて回転軸
31a を所定量で回転させる。
【００３０】一方、前記ブラケット30の下部所定部位に
は折曲部30a が形成されて、その折曲部30a にはステッ
プモータ31の回転軸31a の下端部を支持して第１ギヤ41
の押される現象を防止する支持溝61が形成されたシャフ
トガイド60が固定されている。前記駆動手段は本発明に
示された実施例に限定されずステップモータ31の動力を
利用してスプール22を効果的に昇下降させる構成ならば
問題ない。
【００３１】前記のように構成される本発明による流量
調節バルブの作用について詳細に説明する。図２のよう
に本発明による流量調節バルブが最大に開放された状態
である場合には、カム円板44の半径が最も小さい短径部
44a にスプール22が結合されたベローズ25の下面が接触
されていることにより、スプール22がバルブハウジング
21の案内空間21c に沿って下降してバルブハウジング21
の排出孔21b'から離脱されて液冷媒の流れを妨害しな
い。
【００３２】前記のようにスプール22の下降動作により
流入口21a を通して流入孔21a'に流入された液冷媒は、
スプールガイド23の外周縁部に形成された液冷媒通過溝
23aを通過して下降した後、既に開放されている排出孔2
1b'を通してバルブハウジング21の外部に排出される。
この時、前記スプール22は圧縮コイルスプリング24の復
原力と液冷媒の圧力により下方に力を受けているため任
意で上昇されることはない。
【００３３】このような状態で液冷媒量を減少させる場
合にはステップモータ31に電源を印加すると、ステップ
モータ31のステップ量によって回転軸31a が回転して、
その回転軸31a の動力が第１ギヤ41→第２ギヤ42の大ギ
ヤ42a →小ギヤ42b →第３ギヤ43に伝達されて、前記第
３ギヤ43が所定の角度だけ回転することによってその第
３ギヤ43に一体で形成されたカム円板44も一体で回転す
る。
【００３４】したがって、前記カム円板44の外周面に支
持されたベローズ25のスプール22は圧縮コイルスプリン
グ24の弾性力及び液冷媒の圧力を克服して上昇してバル
ブハウジング21の排出孔21b'を漸次に閉鎖することによ
り全体的な液冷媒量を減少させる。また、図３のように
カム円板44が初期動作開始点に対して約180 °程度回転
してカム円板44の長径部44b にスプール22が接触された
状態では、前記スプール22が上部ハウジング21の案内空
間21c に沿って上昇して排出口21b の排出孔21b'を完全
に閉鎖する。
【００３５】一方、カム円板44が図２に示された初期動
作開始点から所定角度回転された状態で液冷媒の流量調
節作用を再実行しようとする場合には、ステップモータ
31に逆方向信号を印加して第３ギヤ43を逆方向に回転さ
せて、前記第３ギヤ43の突出片52が感知スイッチ50の感
知片51に接触される瞬間ステップモータ31の駆動を停止
させる。
【００３６】次に、ステップモータ31に所望する角度だ
けパルスを発生させて回転軸31a を所定量回転させるこ
とによりカム円板44の回転角度が調節でき、それによっ
て、液冷媒量の調節が可能になる。以上、本発明による
好ましい実施形態について詳細に記述したが、本発明が
属する技術分野において通常の知識を持つ者であれば、
添付された請求範囲に定義された本発明の精神及び範囲
を離脱せず本発明を多様に変形または変更して実施でき
る。
【００３７】
【発明の效果】以上のように本発明による流量調節バル
ブは、両側に流入口及び排出口が形成されて、内部に流
入口及び排出口と連通する案内空間が形成されたバルブ
ハウジングと、前記バルブハウジングの案内空間に昇・
下降が可能に結合されて排出口の開放程度を調節するス
プールと、前記案内空間の上部に収納されてスプールと
ともに昇・下降しながら液冷媒を下側に通過させるスプ
ールガイドと、前記バルブハウジングの下部にスプール
を囲みながら結合されて液冷媒の漏泄を防止するシール
手段と、前記スプールを昇・下降させる駆動手段とを含
んで構成することにより、熱膨脹液及び隔膜等の使用を
排除するとともに比例制御を可能にして流量調節性能と
耐久性を一層向上させる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のステップモータを利用した流量調節バ
ルブの構成を示す断面図である。
【図２】本発明による流量調節バルブにおいてバルブの
最大開放状態を示す部分断面図である。
【図３】本発明による流量調節バルブにおいてバルブの
最大閉鎖状態を示す部分断面図である。
【図４】図２のA-A 線に沿って切断した断面図である。
【図５】本発明による流量調節バルブの底面図である。
【図６】本発明による流量調節バルブを構成するスプー
ルガイドの実施例を示す平面図である。
【図７】スプールガイドの変形例を示す平面図である。
【図８】従来技術による流量調節バルブにおいて熱膨脹
液が膨脹しなかった状態を示す断面図である。
【図９】従来技術による流量調節バルブにおいて熱膨脹
液が膨脹して隔膜が膨脹された状態を示す断面図であ
る。
【符号の説明】
21 バルブハウジング 21a 流入口 21b 排出口 21c 案内空間 22 スプール 23 スプールガイド 23a 液冷媒通過溝 24 圧縮コイルスプリング 25 ベローズ 30 ブラケット 31 ステップモータ 31a 回転軸 32、33 支持軸 41 第１ギヤ 42 第２ギヤ 42a 大ギヤ 42b 小ギヤ 43 第３ギヤ 44 カム円板 44a 短径部 44b 長径部 50 感知スイッチ 51 感知片 52 突出片

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 両側に流入口及び排出口が形成されて内
    部に流入口及び排出口と連通する案内空間が形成された
    バルブハウジングと、 前記バルブハウジングの案内空間に昇・下降が可能に結
    合されて排出口の開放程度を調節するスプールと、 前記案内空間の上部に収納されてスプールとともに昇・
    下降しながら液冷媒を下側に通過させるスプールガイド
    と、 前記スプールガイドを一方向に弾力支持する弾持手段
    と、 前記バルブハウジングの下部にスプールを囲みながら結
    合されて液冷媒の漏泄を防止するシール手段と、 前記スプールを昇下降させる駆動手段とを含んで構成し
    たことを特徴とするステップモータを利用した流量調節
    バルブ。
  2. 【請求項２】 前記スプールガイドは、外周縁部に数個
    の液冷媒通過溝が形成されたことを特徴とする請求項１
    記載のステップモータを利用した流量調節バルブ。
  3. 【請求項３】 前記スプールガイドは、中間部に数個の
    液冷媒通過孔が形成されたことを特徴とする請求項１記
    載のステップモータを利用した流量調節バルブ。
  4. 【請求項４】 前記バルブハウジングの流入口と案内空
    間が同一線上に形成されて、前記排出口が案内空間に直
    角で形成されて、前記流入口及び排出口の内側端部にそ
    の流入口及び排出口より小さい内径を持つ流入孔及び排
    出孔が案内空間と連通するように形成されたことを特徴
    とする請求項１記載のステップモータを利用した流量調
    節バルブ。
  5. 【請求項５】 前記シール手段は、バルブハウジングの
    下端部に固定されてスプールの下端部を囲むベローズで
    あることを特徴とする請求項１記載のステップモータを
    利用した流量調節バルブ。
  6. 【請求項 6】 前記駆動手段は、ステップモータと、 前記ステップモータの回転力を伝達するためのギヤ列
    と、 前記ギヤ列により回転しながらスプールを昇・下降させ
    るカム部材とを含んで構成したことを特徴とする請求項
    １記載のステップモータを利用した流量調節バルブ。
  7. 【請求項７】 前記駆動手段は、バルブハウジングの下
    端部が支持されるブラケットと、 前記ブラケットの所定部位に固定されるステップモータ
    と、 前記ステップモータに直結される第１ギヤと、 大ギヤ及び小ギヤが一体で形成されて前記ブラケットに
    回転可能に支持されて第１ギヤにより回転される第２ギ
    ヤと、 前記ブラケットに回転可能に支持されて第２ギヤにより
    回転される第３ギヤと、 半径が小さい短径部と半径が大きい長径部とが具備され
    て、第３ギヤに一体で形成されてベローズが結合された
    スプールを連動させるカム円板と、 前記カム円板の位置を感知するカム位置感知手段とを含
    んで構成したことを特徴とする請求項１記載のステップ
    モータを利用した流量調節バルブ。
  8. 【請求項８】 前記カム円板の外周面と該外周面に接触
    されるベローズの下面の中で少なくともいずれの一面以
    上は互いの摩擦係数を減少させるためMoS2コーティング
    層が形成されたことを特徴とする請求項７記載のステッ
    プモータを利用した流量調節バルブ。
  9. 【請求項９】 前記カム位置感知手段は、ブラケットの
    所定部位に固定される感知スイッチと、 前記第３ギヤの下面所定部位に下側に向かって形成され
    て、第３ギヤの回転により感知スイッチを作動させる突
    出片とを含んで構成したことを特徴とする請求項７記載
    のステップモータを利用した流量調節バルブ。
  10. 【請求項１０】 前記ブラケットの下部所定部位に折曲
    部が形成されて、その折曲部にステップモータの回転軸
    を支持するシャフトガイドが固定されたことを特徴とす
    る請求項７記載のステップモータを利用した流量調節バ
    ルブ。
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