JP2000035007A - モジュ―ル式気体分配部組立体 - Google Patents

モジュ―ル式気体分配部組立体

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数のモジュールを具備するモジュール式気
体分配部組立体において、異なる容量の分配部を外観に
おいて整理されて連結可能とすることである。 【解決手段】 各モジュールは、基部27に固定された
気体分配部26によって形成され、基部は、共通圧力ダ
クト部分と、共通排気ダクト部分と、隣接する基部へ固
定されるための固定手段とを具備し、各分配部は、三つ
の分配オリフィス13,14,15を介して基部と連通
する平らな滑り分配部分10と、圧力オリフィスと、共
通圧力ダクト部分及び共通排気ダクト部分の延在方向と
平行な滑り機構8の軸線7とを有し、少なくとも二つの
気体分配部は異なる容量であり、二つの気体分配部の一
方は、他方の三つの分配オリフィスの少なくとも二倍の
断面積の三つの分配オリフィスを有し、滑り機構の軸線
と垂直な平面における各モジュールの外形断面は気体分
配部の容量に係わらずに同一である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数のモジュール
を具備し、各モジュールが基部に固定された気体分配部
によって形成され、モジュールが基部を介して一体化さ
れたモジュール式気体分配部組立体に関する。
【0002】
【従来の技術】機能ブロックにおいて分配部を連結する
気体式及び電気気体式自動化装置において、共通の圧力
ダクトと、それらを通過する一つ又は二つの共通の排気
ダクトとを有する各分配部は、広汎慣習となっており、
これは、満足する分配部をかなり簡単化し、特に良好に
系統立てられた装置をもたらす。
【0003】装置における各一団の気体式アクチュエー
タのために、機能ブロックは、分離して制御されるアク
チュエータと同じ多くの分配部を具備して組み立てられ
る。この機能ブロックは、アクチュエータ近傍に設置さ
れ、一つだけの圧力供給と、一つ又は二つだけの排気戻
しとを必要とする。加えて、最近の変形例において、機
能ブロックは、さらに、プラグ接続可能なソケットを介
して接続された複数導体を有する単一ケーブルを介し
て、供給電力及び指令の全てを受け取ることができる。
【0004】実際的に、単一装置に配置された気体式ア
クチュエータは、種々の大きさであり、圧縮空気のため
の非常に異なる要求を有する可能性がある。特に、各ア
クチュエータは、それ自身の大きさと空気流要求とに応
じた容量の分配部と協働しなければならない。これは、
一般的に行われることであり、機能ブロックを均一化す
ることができる範囲を制限する容量の最適化である。単
一の機能ブロックと協働する一団の気体式アクチュエー
タにおいて、アクチュエータは、一般的に変化させら
れ、現在までに、製造業者は、容量が同一の分配部の連
結だけを提供しており、それにより、一団の小さなアク
チュエータのために、高価な過剰寸法とされる分配部を
必要とする。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、この
問題を解決するための解法を提案することであり、すな
わち、単一の機能ブロックに異なる容量の分配部を連結
することを可能とすることである。
【0006】本発明は、観察から由来し、それにより、
自動化された気体式装置で必要なほぼ全ての圧縮空気流
は、12mm2 から50mm2 の範囲内に位置する流れ
断面積によって満足可能であり、主に12mm2 から3
8mm2 の範囲であり、これは、2mmから7mm好ま
しくは8mmの範囲内に位置する内径を有する分配部と
アクチュエータとの間の連結管に対応している。この観
察に基づき、このような全ての要求を、利用可能な少数
の分配部の容量だけを、例えば、二つの分配部の容量で
あって、第一容量は12mm2 の内部気体流断面積を有
し、第二容量は36mm2 の内部気体断面積を有する二
つの分配部の容量だけを形成することによって、満足す
ると判断される。第一容量は、約6mmから35mmの
範囲内に位置する直径を有するアクチュエータの気体要
求を満足可能である。第一容量は、2mmから4mmの
範囲内に位置する内径及び4mmから6mmの範囲内に
位置する外径の連結管を受け入れ可能である。第二容量
は、35mmから120mmの範囲内に位置する直径を
有するアクチュエータの圧縮空気要求を満足することを
意図している。この連結管は、6mm又は7mmの内径
と、8mm又は10mmの外径とを有している。
【0007】もちろん、これらの数値は、単に例として
与えられ、装置の最小容量での最大に可能な要求数を最
適に満足するような妥協検索と同然であるが、同じ系統
において、第一容量が12mm2 以上である時に第二容
量が50mm2 (連結管の内径は8mmである)として
選択可能であることが理解されなければならない。さら
に、例えば、12mm2 、30mm2 、及び48mm2
の各流れ断面積を有する三つの容量を選択可能である。
【0008】こうして、これらの系統において、特定の
切り換え技術を選択することによって、本発明は、モジ
ュール式の気体分配部組立体を形成することを可能と
し、すなわち、異なる容量の分配モジュールを採用する
こと及び外観において整理された単一の分配部組立体を
形成するように直接的に分配モジュールを組み付け可能
とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】このために、本発明は、
複数のモジュールを具備するモジュール式気体分配部組
立体を提供し、各モジュールは、少なくとも一つの共通
長さの圧力ダクトと、少なくとも一つの共通長さの排気
ダクトと、隣接する基部への固定手段とを具備する基部
上に固定された気体分配部から構成され、このモジュー
ル式気体分配部組立体は、各気体分配部が三つの分配オ
リフィスを介して基部と連通する平らな滑り分配部分を
有する分配部であり、滑り機構の軸線が基部上の共通の
圧力ダクト及び排気ダクトの方向と平行であり、モジュ
ール式気体分配部組立体の少なくとも二つの分配部が異
なる容量を有し、一方が他方の分配オリフィスの少なく
とも二倍の断面積の分配オリフィスを有し、滑り機構の
軸線と垂直な平面上の各モジュールの断面の外形が分配
部の容量に係わらず同一であることにおいて、際立って
いる。
【0010】容量に係わらず各モジュールの同一断面
は、モジュール式気体分配部組立体が、各モジュールの
基部を直接的に互い連結させることによって、組み立て
られることを可能とする手段となる。この同一断面を実
現するために、第一に、切り換え技術を平らな滑り分配
部分に基づかせることが必要であり、以前の筒状の滑り
分配部分の選択をやめ、第二に、大きな容量の断面積が
小さな容量の断面積の少なくとも二倍の流れ断面積を提
供し、気体装置で必要な圧縮空気流の大部分を、このよ
うな少なくとも二つの容量を具備する少数の容量によっ
て満足させることが必要である。
【0011】本発明の好適な実施形態において、小さな
容量の分配部の内部流れ断面積は12mm2 である。こ
の断面積は、内径4mm(外径6mm)の管を有する気
体自動化装置の分野において極めて広汎な使用に対応
し、外径が1/4インチに等しいアメリカ合衆国におけ
る同等な大きさに対応している。
【0012】本発明により、各分配部の分配オリフィス
は、滑り機構の軸線と直交する長手寸法の細長穴を形成
し、この細長穴は異なる容量の分配部において同一であ
り、気体分配部組立体の少なくとも一つの分配部の細長
穴の幅は、最も小さな容量の分配部の細長穴の幅の少な
くとも二倍である。
【0013】これらの容量の一つからもう一つの容量へ
移行することが望まれる時に、分配オリフィスの断面積
の大きな変更は、その幅だけに作用することによって実
現され、それにより、断面積の大きな増加がストローク
の非常に小さな増加によって実現される。その結果とし
て、異なる容量の二つの分配部の唯一の違いは、その滑
り分配部分の軸線に平行に測定される大きさであり、一
方、互いに連結されるのに適した一般的な分配モジュー
ルにおいては、容量の変更は、全ての三つの寸法の大き
さを変更することを引き起こし、それにより、それらの
間の適合部を提供しないで異なる容量のモジュールを連
結することは不可能であり、それにより、それらを組み
込むモジュール式気体分配部組立体の外観を損ない全体
大きさをさらに増大させる。
【0014】同様な好適な方法において、本発明の小さ
な容量の分配部の分配オリフィスの二つの寸法の間の比
は、1:15から1:20の範囲であり、二つの隣接す
るオリフィスの間の空間は、オリフィスの最も小さな寸
法以上である。
【0015】これらの数値は、多くの試行錯誤の後に見
い出され、少なくとも1:2の比の流れ断面積を有する
二つの容量のための滑り分配部分のストロークの違い
を、容量に係わらずに、分配オリフィスを提供する壁部
上のシューの接触性が全体的に適当であるように、可能
な限り小さい絶対値とすることが最適である。これは、
異なる容量の二つの分配部分の間の大きさの違いを最小
限とすることを可能とし、こうして、極めて小型のモジ
ュール式気体分配部組立体を得ることができる。
【0016】本発明の他の特徴及び利点は、以下の種々
の実施形態の記述から明らかになる。
【0017】
【発明の実施の形態】最初に、平らな滑り分配部分の構
造が説明される。この分配部は、外形が全体的に矩形の
平行六面体の形状である本体1を有し、この本体1は、
基部との連結のための底面2と、電気制御のパイロット
弁を取り付け可能な上面3と、前面4と、二つの端面5
及び6とによって区画される(図1及び3)。本体1
は、端面5及び6と実質的に垂直な軸7をガイドするた
めの筒状当接表面を有する中空内部が設けられ、この軸
には、滑り機構8が取り付けられている。滑り機構をガ
イドするために、二つの当接表面の間において、本体1
の中空内部は、側壁によって区画された室部9を形成
し、この室部9は、室部9の内側へ向けられた平面10
である部分を有している。一般的に、この平面10は、
本体1の主部分と分配部支持プレート12との間におい
て本体内に挿入された分配プレート11によって担持さ
れ、分配プレート11は滑らかで実質的に底面2と平行
であり、この底面を介して分配部が基部と連結される。
【0018】滑らかな分配プレート11は、三つのオリ
フィス13,14,15を有し、シュー16は、滑り機
構8と協働し、滑らかな分配プレート11の平面10上
を滑り可能である。シュー16は、軸線7に沿って滑り
機構によって取られる最端位置に従属する中空内部17
を有している。シューは、例えば、第一位置において分
配オリフィス13及び14の間の連通を実現するように
機能し、この連通は室部9から遮断され、最後のオリフ
ィス15を開放し、それにより、最後のオリフィス15
は、不変的に室部9内に存在する圧力を受ける。図示さ
れていないオリフィスは、例えば、基部に収納されたモ
ジュール式気体分配部組立体の全ての分配部へ加圧され
た流体を供給するための共通の供給ダクトを介して、室
部9と圧力源との間の不変の連通を提供する。滑り機構
の第二位置において、シューの中空内部17は、オリフ
ィス14及び15の間の連通を実現し、この連通は室部
9から遮断され、一方、オリフィス13は室部9と連通
される。室部9が圧力源に接続されており、中央のオリ
フィス14が排気通路に接続されているために、滑り機
構が第一位置となる時には、オリフィス13は排気通路
に接続され、特に基部を介して、オリフィス13へ導か
れる気体回路の一部は、排気通路との連通状態に置か
れ、一方、オリフィス15へ導かれる気体回路の一部
は、加圧状態に置かれる。シューのもう一つの位置(図
示せず)においては、オリフィス15及びそこで終端す
る気体回路の一部は排気通路へ接続され、一方、オリフ
ィス13で終端する気体回路の他の部分は圧力源と連通
する。
【0019】図3に示す実施形態において、滑り機構8
の位置の変更は、パイロット室18及び19を選択的に
圧力源又は排気通路へ接続することによって得られ、こ
れらのパイロット室は滑り機構8の端部において本体1
に形成されている。これらのパイロット室のそれぞれを
供給通路又は排気通路へ接続することは、電気制御パイ
ロット弁によって制御される。
【0020】図3において、図示された平らな滑り分配
部分は二安定である。もちろん、本発明は、さらに、滑
り機構8の一端部だけと協働する一つのパイロット室だ
けを有する平らな滑り分配部分を提供し、一方、滑り機
構の他の端部は、滑り機構8を所定位置へ連続的に付勢
する戻しスプリングに当接している。これは、一安定の
分配部分を構成する。二安定の分配部分では、二つの電
気制御弁が、滑り機構を導くのに必要であり、一方、一
安定の分配部分では、単一の電気制御弁で十分である。
小さな容量の分配部と協働する基部27が、大きな容量
の分配部と協働する基部からの対応出口オリフィス44
bより小さな直径の出口オリフィス44aを有すること
が図3に見られる。
【0021】図1のモジュール式気体分配部組立体20
は、五つの連結モジュール、すなわち、入口モジュール
21と、三つの小さな容量のモジュール22,23,2
4と、一つの大きな容量のモジュール25とを有してい
る。入口モジュール21から分離する各モジュール22
〜25は、平らな滑り分配部分26と、基部27と、二
安定の分配部分のための二つの電気制御弁28又は一安
定の分配部のための一つの電気制御弁及び空カバー(図
2に28で参照される)とを有している。
【0022】基部において、小さな容量のモジュールの
それぞれは、角度連結部29によって表された二つの小
さな直径の出口を有する。大きな容量のモジュール25
は、角度連結部30によって表された二つの大きな直径
の出口を有する。図1及び2から判るように、入口モジ
ュールから離間するモジュール式気体分配部組立体を通
る断面において、小さな容量のモジュール22,23,
24と大きな容量のモジュール25との間に存在する違
いは、連結方向で測定されたモジュールの寸法及びそれ
に連結された連結部の大きさだけである。
【0023】図2は、この単一の違いを明確に示し、各
モジュールの外形Pは、小さな容量又は大きな容量でも
完全に同一である。
【0024】図面は、異なる容量のモジュールから構成
されることを可能とする一方で、モジュールの三つの寸
法の一つだけを変更する本発明の寸法決定の利点を示し
ている。第一の利点は、単に、外形によるものである
が、この利点は、モジュール式気体分配部組立体の基部
が共通の圧力及び排気ダクトの間の相応関係を保証する
ことを可能とするために、何よりもまして実用的で機能
的な特性であり、さらに、非常に簡単な手段、例えば、
ネジ類等の手段によって単に基部を並置及び連結するこ
とにより電気導体にとって適当である。
【0025】同一の横断形状の異なる容量のモジュール
を有することを可能とし、それにより、これらのモジュ
ールを単一の均一モジュール式気体分配部組立体に連結
させることが可能となる理由は、平らな滑り分配部分の
構造的な配置の改良に存在する。
【0026】これらの構造的な配置の一つは、分配部に
使用される滑らかな分配プレート11に関連している。
図4(A)は、小さな容量の分配部ための分配プレート
11aの平面図を示し、図4(B)は、大きな容量の分
配部ための分配プレート11bの平面図を示している。
これらの分配プレートに設けられたオリフィス13,1
4,15が滑り機構8の軸線7と直交して延在する長手
寸法Lの細長穴の形状であることが、これらの図面に見
られる。この長手寸法は、分配部の容量に係わらずに同
一である。オリフィス13,14,15の断面積が分配
部の容量を決定するために、これらのオリフィスの断面
積を変化させることによって、分配部の容量は対応して
変化させられ、このために必要な全ては、オリフィスの
流れ断面積を変化させるようにオリフィス13,14,
15の幅を変化させることである。図4(A)及び図4
(B)において、分配プレート11aのオリフィスの幅
laは、分配プレート11bのオリフィスの幅lbの三
分の一である。数値例として、laは0.8mmに等し
く、lbは2.4mmに等しい。小さな容量の分配部の
ためのオリフィス間の空間dは0.9mmであり、大き
な容量の分配部のためのオリフィス間の空間は2.4m
mであり、一方、長さLは15mmである。内部流れ断
面積は、こうして、それぞれ、12mm2 と36mm2
である。
【0027】分配部の全体寸法におけるオリフィス幅の
影響を最小限にするために、オリフィスの長手寸法はス
トローク方向と垂直に延在している。多くの試行錯誤の
後、分配部の全体的な大きさに関しての最適な解法は、
最も小さな容量の分配部のオリフィスにとっては、幅と
長さの比を1:15から1:20の範囲内に、オリフィ
ス間の空間dの幅を、実質的に、オリフィスの幅la以
上に選択することによって得られる。
【0028】この解法は、基部をアクチュエータへ連結
する管のための連結部が受け入れられるオリフィス44
a及び44b(図3)にとっても最適である。二つの容
量を有する本発明の好適な実施形態にとっては特に、軸
線7に沿う大きな容量の基部の大きさは、小さな容量の
基部の大きさより約50%大きく、それにより、長い基
部において内径7mmを有する管のための連結部を受け
入れるためのオリフィスと、短い基部において内径4m
mを有する管のための連結部を受け入れるためのオリフ
ィスとを、調和して提供することが可能となる。
【0029】二つの異なる容量のための異なる流れ断面
積は、例えば、オリフィスの長手方向で測定されるよう
なシューの大きさに、又は、滑り機構の直径に、又は、
滑り機構と滑らかな分配プレートとの間の空間等に影響
せず、異なる容量のための寸法差の全ては、単一方向、
すなわち、滑り機構の軸線に沿ってだけ延在する。滑り
機構の軸線を、モジュールが単一の組立体を形成するた
めに共に組み付けられる方向に沿って延在させることに
よって、寸法はモジュール式気体分配部組立体の組み付
け方向だけに延在して変化し、種々の容量のために均一
な断面積の基部要素を有することが可能となる。
【0030】図5は、分配部の滑り機構の方向と平行な
水平面での基部の断面図であり、入口モジュールと異な
る容量のモジュールとを具備するモジュール式気体分配
部組立体は省略されている。この図面において、共通の
圧力及び排気ダクトのための入口及び出口手段を有する
入口モジュールの基部回路は、電気導体に適した部分を
有し、詳細には図示されていない。この基部には、端部
の一方においてネジ切りされ、端部の他方においてネジ
回しを受け入れるための頭部33を有する筒状スリーブ
の形状のナット32が単に設けらていることが判る。当
然に大きな容量のモジュールに対応する基部27bは、
分配部のそれぞれへ圧力を提供するために貫通する共通
の圧力供給ダクトの長さ部34と、分配部からの排気を
取り出すための共通の排気戻しダクトの長さ部35とを
有している。この基部27bは、密閉ガスケット36と
接触する平面当接によって、また、基部に設けられた適
当な収納部に埋設された頭部38を有するネジ37によ
って、入口モジュールの基部31と連結される。このネ
ジ37は、ナット32と係合するように基部31のナッ
ト32と整列させられる。この頭部は、ネジ回し受け入
れ細長穴39と、次の基部27a、例えば、小さな容量
のモジュールに対応する基部の組み付けネジ41を受け
入れるネジ切り部40とを有している。
【0031】この基部27aには、さらに、共通のダク
ト部分34及び35と、異なる長さを無視すればネジ3
7と同一のネジ41とが設けられている。
【0032】基部27aは、本発明のモジュール式気体
分配部組立体の終端基部を構成し、こうして、共通の気
体ダクトを閉鎖する遮蔽部材42及び43を保持してい
ることが判る。これらの遮蔽部材42及び43は、除去
可能であり、もし、基部27aがモジュール式気体分配
部組立体内の二つのモジュールの間に挿入されるなら
ば、組み付け以前に、遮蔽部材42及び43は、基部2
7aを終端基部としては使用できなくするように、基部
の本体への取り付け部を切断されることによって除去さ
れる。こうして、本発明の全てのモジュールの基部は、
最初に使用される以前には遮蔽部材42及び43を有
し、これらの遮蔽部材は、組み立てネジの頭部のための
収納部を有する表面に位置している。基部42は、さら
に、遮蔽部材と、受け入れる穴部内に、例えば、失い難
く取り付けられたネジとを有して提供される。
【0033】図6は、小さな容量のモジュールを通る滑
り機構の軸線と垂直な断面であり、この図面における基
部27aの主な機能は、モジュール式気体分配部組立体
全体のための共通の気体通路34及び35を提供し、各
モジュールを制御アクチュエータに接続するように、モ
ジュールに関連する表面と出口オリフィス44aとの間
の内部ダクトを提供することである。この基部は、分配
部26の表面が設置されて、分配支持プレート12と、
分配部の本体1と、それらの間に挟まれる滑らかな分配
プレート11と共に二つのネジ46によって固定される
表面を提供する単純な矩形の平行六面体に過ぎない。そ
の上面3において、分配部は、滑り機構を導きくため
に、一つ又は二つの電気制御弁28を担持する。
【0034】一端部において、電気制御弁28はタブ4
7を有し、このタブが、分配部の前面4に近接する上部
に設けられた穴部47a内に受け入れられ、一方、電気
制御弁28の他端部48は、電気制御弁を分配部へ固定
するための固定手段49を受け取るために分配部を越え
て突出し、この固定手段から接続ワイヤ50が延在して
いる。
【0035】図7及び8に示された他の二つの実施形態
において、分配部及び電気制御弁に連結される本発明の
基部は、大きな容量のモジュールに関している。これら
の大きな容量のモジュールと、図6の小さな容量のモジ
ュールとの間に見られる違いは、小さな角度連結部29
又は大きな直径の連結部30を受け入れるためのオリフ
ィス44の直径と、平らな滑り分配部のシュー16の中
空内部17とに存在する。図7及び8において、滑らか
な分配プレート11の細長穴上のシューによって構成さ
れるアーチ架橋は、図6に示すシューより深いことが理
解される。
【0036】これらの実施形態において、基部は、前述
の基部27aと全体的に同様な断面(出口オリフィス4
4bの直径を除き)の底部27bと、分配部の上面3と
高さ的に一致する上面61,71を有するように、配置
された分配部の背面に沿って、滑り機構の軸線と平行で
分配部が配置される表面に垂直に直立する背部60,7
0とを有している。この上面61,71は、こうして、
電気制御弁が設置される平面として延在する。この電気
制御弁は、固定ナット63,73と協働するネジ51に
よって、この平面を介して基部へ固定可能である。
【0037】図7において、背部60は、電気制御弁2
8のピンと協働する電気導体64と適合しており、この
電気導体64は、電気制御弁28の電力供給ワイヤのた
めの接続端子62を担持する背部60のリム65に対し
て押圧される。
【0038】図8において、背部70は、電気制御弁2
8の底ピンを受け入れるためのコネクタ75と連続のモ
ジュールのそれぞれへの電気接続を形成するための複数
のピンコネクタ76と共に、プリント回路74が受け入
れられるモジュールの背面の横方向通路を構成する。
【0039】前述は、最も小さな容量の分配部の内部流
れ断面積が12mm2 であり、並びを形成するために二
つの異なる容量だけが存在する本発明の好適な実施形態
に関している。
【0040】本発明の他の実施形態も可能である。それ
でも、これらの実施形態のそれぞれが、前述と同様な、
すなわち、12mm2 の内部流れ断面積を有する小さな
容量の分配部を有することは有利である。これは、モジ
ュール式気体分配部組立体に最も頻繁に使用され、自動
化気体装置の主な流量要求を与える大きさである。指摘
したように、滑り機構の軸線に沿っての長さは約22m
mである。このモジュールは、次に、大きな容量、例え
ば、30mm2 及び48mm2 又はそれ以上の内部流れ
断面積を有する他のモジュールと連結させることができ
る。これらのモジュールは、必然的に、組み付け方向
(滑り機構の軸線方向)において、最も小さな容量のモ
ジュールより大きくなる。二つ又は三つのさらなるモジ
ュールのそれぞれにおいて、この寸法は特定値とされ
る。しかしながら、このようなモジュールが装置に存在
する頻度は全体的に低く(最も小さな容量のモジュール
が存在する頻度の四分の一より低い)、この寸法の大き
さは、一組のモジュールの長さに小さくしか影響しな
い。こうして、最も小さなモジュール以外の全てのモジ
ュールにとって、これらの他の実施形態においては、こ
の寸法は、最も大きな容量のモジュールのために必要な
寸法と同一とすることができる。これは、小さなモジュ
ールに加えられるモジュールにとって、高く基準化され
た製造からの利点を得ることを可能とする。分配部の構
成要素の全ては、一つのモジュールからもう一つのモジ
ュールへ変化する分配オリフィスが設けられた滑らかな
分配プレートを除き、最も大きな容量のために形成され
た構成要素と同一とすることができ、分配プレートの違
いは、オリフィスを形成する細長穴の幅及び相対位置だ
けである。一つのモジュールからもう一つのモジュール
へのもう一つの変更点は、連結部を収納するためのオリ
フィスの直径である。これに関して、最も大きな容量の
モジュールが、基部の厚さ(分配部が設置される平面に
垂直な寸法)を決定し、これに基づいて、最も小さな容
量のモジュールの基部の厚さが決定される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のモジュール式気体分配部組立体の一例
の外形図である。
【図2】図1のモジュール式気体分配部組立体の共通の
断面図である。
【図3】図1のモジュール式気体分配部組立体内に並置
された二つの異なる容量の分配部を有するモジュールを
通る長手断面図である。
【図4】図3の二つの容量の分配部で使用される分配プ
レートの平面図であり、(A)は小さな容量の分配部用
であり、(B)は大きな容量の分配部用である。
【図5】基部が互いにどのように連結されるかを示す概
略断面図である。
【図6】本発明の一つの種類のモジュール式気体分配部
組立体を実施するのに使用可能な基部を通る概略断面図
である。
【図7】本発明のもう一つの種類のモジュール式気体分
配部組立体を実施するのに使用可能な基部を通る概略断
面図である。
【図8】本発明のさらにもう一つの種類のモジュール式
気体分配部組立体を実施するのに使用可能な基部を通る
概略断面図である。
【符号の説明】
7…軸線 8…滑り機構 13,14,15…分配オリフィス 22,23,24,25…モジュール 26…分配部 27…基部 34…圧力ダクト 35…排気ダクト

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のモジュール(22,23,24,
    25)を具備するモジュール式気体分配部組立体であっ
    て、各前記モジュールは、基部(27)に固定された気
    体分配部(26)によって形成され、前記基部は、少な
    くとも一つの共通圧力ダクト部分と、少なくとも一つの
    共通排気ダクト部分と、隣接する前記基部へ固定するた
    めの固定手段とを具備し、各前記分配部(26)は、三
    つの分配オリフィス(13,14,15)を介して前記
    基部(27)と連通する平らな滑り分配部分と、圧力オ
    リフィスと、前記基部の前記共通圧力ダクト部分(3
    4)及び前記共通排気ダクト部分(35)の延在方向と
    平行な滑り機構(8)の軸線(7)とを有し、前記モジ
    ュール式気体分配部組立体の少なくとも二つの前記気体
    分配部(26)は異なる容量であり、前記二つの気体分
    配部の一方は、他方の前記三つの分配オリフィスの断面
    積の少なくとも二倍の断面積の前記三つの分配オリフィ
    スを有し、前記滑り機構の軸線と垂直な平面における前
    記各モジュールの外形断面(P)は前記気体分配部の容
    量に係わらずに同一であることを特徴とするモジュール
    式気体分配部組立体。
  2. 【請求項2】 前記基部(27)に対向して位置する各
    前記気体分配部の前記分配オリフィス(13,14,1
    5)は、前記滑り機構の軸線(7)と直交する長手寸法
    (L)の細長穴の形状であり、前記長手寸法は、異なる
    容量の前記気体分配部にとって同一であり、前記モジュ
    ール式気体分配部組立体の少なくとも一つの前記気体分
    配部の前記細長穴の幅(lb)は、最も小さな容量の前
    記気体分配部の前記細長穴の幅(la)の少なくとも二
    倍であることを特徴とする請求項1に記載のモジュール
    式気体分配部組立体。
  3. 【請求項3】 前記最も小さな容量の気体分配部におい
    て、前記分配オリフィス(13,14,15)の前記幅
    と前記長手寸法との比(la/L)は、1:15から
    1:20の範囲内であり、前記分配オリフィスの間の空
    間の幅(d)は、実質的に前記分配オリフィスの幅(l
    a)以上であることを特徴とする請求項2に記載のモジ
    ュール式気体分配部組立体。
  4. 【請求項4】 前記最も小さな容量の気体分配部の前記
    分配オリフィスの一つの断面積は、12mm2 であるこ
    とを特徴とする請求項3に記載のモジュール式気体分配
    部組立体。
  5. 【請求項5】 前記基部(27a,27b)は、ネジ
    (37,41)によって相互連結され、前記ネジは、前
    記共通圧力ダクト部分及び前記共通排気ダクト部分(3
    4,35)と平行に前記基部内を延在するネジ切り頭部
    (40)を有することを特徴とする請求項3又は4に記
    載のモジュール式気体分配部組立体。
  6. 【請求項6】 各前記基部の前記共通圧力ダクト部分及
    び前記共通排気ダクト部分(34,35)は、前記ネジ
    切り頭部側の端部に、切除されることによって各前記基
    部から除去可能な遮蔽部材(42,43)が設けられて
    いることを特徴とする請求項5に記載のモジュール式気
    体分配部組立体。
  7. 【請求項7】 各前記基部は、矩形の平行六面体の形状
    の底部プレート(27a,27b)と、前記滑り機構の
    軸線(7)と平行な前記気体分配部が設置される表面と
    垂直に延在する背部(60,70)とを有していること
    を特徴とする請求項5又は6に記載のモジュール式気体
    分配部組立体。
  8. 【請求項8】 各背部(60,70)の上面(61,7
    1)は、前記気体分配部の上面(3)と同じ高さであ
    り、前記背部には、前記基部から離間する側で前記気体
    分配部上に設置された電気制御パイロット弁(28)の
    一端部において、固定ネジ(49)を受け入れるための
    ナット(63,73)と適合し、前記電気制御パイロッ
    ト弁の他端部は、前記気体分配部の本体の収納部(47
    a)へ滑り込むタブ(47)によって前記気体分配部に
    固定されることを特徴とする請求項7に記載のモジュー
    ル式気体分配部組立体。
  9. 【請求項9】 各背部(60,70)は、共に連結され
    る種々の前記モジュールの間の接続と、前記電気制御パ
    イロット弁と前記モジュールとの間の接続とを形成する
    電気接続手段(75,76)のための支持部を形成する
    ことを特徴とする請求項7又は8に記載のモジュール式
    気体分配部組立体。
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