JP2000034130A - 石英ガラス管の製造方法及び、装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 作業時間が短時間で済み、製造コストが低減
する石英ガラス管の製造方法及び装置の提供。 【解決手段】 連続的に延設する石英ガラス板状体（石
英ガラス板）３を延設方向に沿って、ボビン状のローラ
（巻取ローラ）１に供給するとともに、該板状体を加熱
手段（第１バーナー６、第２バーナー７）により溶融し
た状態で前記ローラを回転させ、そのローラの外面に巻
きつけて筒状に形成する石英ガラス管の製造する。前記
ローラの外面に位置する前記板状体の溶融部分の前記ロ
ーラの外面からの板厚を、前記板状体の上面側の前記ロ
ーラの上がり外面において規制し、前記ローラの回転に
よって前記溶融部分が固化し、当該固化部分が所定量前
記ローラ外面に載置された状態で前記板状体を切断する
ことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、石英ガラス管の製
造に関するもので、特に、大口径石英ガラス管に適する
石英ガラス管の製造方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より石英ガラス管の製造方法は、中
空の円筒原材料の先端部を加熱して引き抜くブローアッ
プによる製造方法と、長方形状の石英ガラス板を雄型と
雌型により半円筒状に形成し、これらを溶接して円筒の
石英ガラス管を製造する分割板貼り付け法が存在する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記ブ
ローアップによる製造方法は、大きい径の中空原材料か
ら小径に絞るために原材料を溶融する加熱熱源のコスト
が高くなる。また、原材料と引き抜いたガラス管とを共
に同方向に回転させながらガラス管の延設方向に送る必
要があり、構成が複雑となるとともに、作業時間が長
く、ガラス管の板厚のばらつきが大きい。

【０００４】また、後者の分割板貼り付け法は、石英ガ
ラス板を半円筒状に成型し、しかる後に半円筒を合わせ
て溶接し、溶接部分を研削する必要があり、分割個数に
よっては、例えば、２個の場合には２箇所の研削、３個
の場合では３箇所の研削を必要とし、作業時間が長く、
製造コストが高くなる。

【０００５】上述の事情に鑑み、本発明は、作業時間が
短時間で済み、製造コストが低減する石英ガラス管の製
造方法及び装置の提供を目的としたものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本第１発明は石英ガラス
管の製造方法に係るものであり、連続的に延設する石英
ガラス板状体を延設方向に沿って、ボビン状のローラに
供給するとともに、該板状体を加熱手段により溶融した
状態で前記ローラを回転させ、そのローラの外面に巻き
つけて筒状に形成して石英ガラス管が製造される。そし
て、前記ローラの外面に位置する前記板状体の溶融部分
の前記ローラの外面からの板厚を、前記板状体の上面側
の前記ローラの上がり外面において規制するとともに、
前記ローラの回転によって前記溶融部分が固化し、当該
固化部分が所定量前記ローラ外面に載置された状態で前
記板状体を切断することを特徴とする。

【０００７】前記ボビン状のローラは、少なくとも溶融
した石英ガラス板が巻き付かれる外面は黒鉛で形成さ
れ、石英ガラス板状体は前記ローラの手前で加熱手段に
より加熱溶融され、前記ローラの外面に乗り、当該外面
上に載置されて前記ローラの回転により上昇する。

【０００８】加熱溶融された前記板状体の溶融部分は、
前記板状体の上面側の前記ローラの上がり外面におい
て、例えば、前記ローラ外面と所定間隔離れた位置に配
置されたピンチローラによって規制され、一定肉厚で前
記ローラ外面に沿って回転し、前記ローラの回転によっ
て前記溶融部分が固化し、その固化部分は前記ローラの
外面から離間しないで、一周する。前記固化部分は一周
が終了するあたりで再度加熱手段により溶融するととも
に、前記板状体が切断される。

【０００９】前記固化部分の一周回転が終了するあたり
で前記板状体の供給を停止することことも本第１発明の
有効な手段であり、前記板状体の供給を停止することで
前記加熱手段による前記溶融部分から切断され、溶融部
分が再度加熱手段により再溶融された前記固化部分の先
端と溶接される。

【００１０】本第２発明は、石英ガラス管の製造装置に
係るものであり、連続的に延設する石英ガラス板状体を
延設方向に沿って、回転するボビン状のローラに供給す
るとともに、該板状体を溶融した状態で前記ローラの外
面に巻きつけて筒状に形成する石英ガラス管を製造装置
において、前記ローラの回転を制御するローラ回転制御
手段と、前記板状体を前記ローラの外面に向かって供給
する供給手段と、前記板状体を溶融状態で前記ローラの
外面に供給する加熱手段と、前記ローラの外面に位置す
る前記板状体の溶融部分の前記ローラの外面からの板厚
を、前記板状体の上面側の前記ローラの上がり外面にお
いて規制する規制手段とを備え、前記規制手段と前記ロ
ーラの回転によって前記ガラス管の板厚を制御するとと
もに、前記供給手段を停止することによって前記板状体
を切断することを特徴とする。

【００１１】ここにおいて、前記ローラ回転制御手段
は、ローラの回転速度を溶融した石英ガラス板のローラ
外面上への載置量を所定量に同期するものであり、製造
するガラス管の径、供給される石英ガラス板の板厚、供
給速度、加熱手段の加熱能力等によりローラの回転速度
が制御可能である。

【００１２】また、前記規制手段を前記板状体の上面側
の前記ローラの上がり外面から所定位置に回転可能に配
置されたピンチローラで構成することも本第２発明の有
効な手段である。ピンチローラで構成することにより、
石英ガラス板の溶融部分との摩擦抵抗が少なく溶融部分
の滑性がよく、溶融部分を送ることができる。

【００１３】また、前記ピンチローラの回転速度を制御
可能に構成するとともに、前記ローラの回転速度と前記
ピンチローラの回転速度とを制御することにより、前記
ガラス管の板厚を制御可能に構成することも本第２発明
の有効な手段である。前記ローラの回転速度と前記ピン
チローラの回転速度とにより石英ガラス板の溶融部分の
送り出し量を制御することができる。よって、原材料の
石英ガラス板の板厚より薄い範囲で板厚を制御すること
ができる。

【００１４】また、前記板状体を溶融する加熱手段の加
熱状態を制御可能に構成するとともに、前記板状体の供
給速度と前記加熱手段の加熱状態を制御することによ
り、前記ピンチローラ入口側で前記板状体の溶融部分を
一時的に保持して前記ローラと前記ピンチローラとによ
り出口側に供給するように構成することも本第２発明の
有効な手段である。

【００１５】原材料の石英ガラス板の板厚にバラツキが
あっても、ピンチローラ入口側で前記ガラス板の溶融部
分を一時的に保持して送出することができるので、均一
な板厚のガラス管を製造することができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の好
適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。但しこの実
施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形
状、その相対的配置等は特に特定的な記載がないかぎり
は、この発明の範囲をそれに限定する趣旨ではなく、単
なる説明例にすぎない。

【００１７】図１は本発明の石英ガラス管製造装置の一
実施の形態に係るブロック構成図である。同図におい
て、ＲＡＭ５３と、制御プログラムが記憶されたＲＯＭ
５４とが接続されたＣＰＵ５２は、インターフェイス回
路５１を介して、各機構を制御する制御回路５０に接続
されている。スタート信号５５の入来により駆動制御が
開始される制御回路５０は、センサ１１の発光部１１ａ
に信号を送って発光させ、受光部１１ｂからの信号を受
け取ることにより、石英ガラス板３が巻取ローラ１の外
周面に巻き取りが完了したことを検出するように構成さ
れている。また、石英ガラス板３の送り量を検出するエ
ンコーダ１９からの信号を入力するように構成されてい
る。

【００１８】制御回路５０は、上述の入力信号を得てＣ
ＰＵ５２に該信号を送出するとともに、ＣＰＵ５２から
の演算信号を受け出力を送出するよう構成される。以下
に、制御回路５０の出力信号により駆動する各機構部分
を説明する。石英ガラス板巻取制御装置（以下、巻取制
御装置）９は、図２に記載するように、内部にモータ１
３を有し、該モータ１３により回転するチャック１５を
備えた巻取ローラ回転制御部１０と、前記チャック１５
に一端が取り付けられたシャフト１２と、該シャフト１
２の他端を回転可能に支持するとともに、矢印方向に移
動可能な支持台８とを備え、ボビン状に形成された巻取
ローラ１をシャフト１２に着脱可能に構成されている。
よって巻取ローラ１を交換することで各種の径のガラス
管の製造に対応することができる。

【００１９】また、石英ガラス板３の上側であって、前
記巻取ローラ回転制御部１０と前記支持台８との間に、
巻取ローラ１の外周面と所定距離離間した位置に、溶融
された板材の板厚を規制するピンチローラ２が回転可能
に配置されている。そして、このピンチローラ２は図示
しない手段で巻取ローラ１の径及び管の肉厚によって巻
取ローラ１の外周面との間隔を調整可能に構成されてい
る。

【００２０】前記巻取ローラ１は、溶融した石英ガラス
板と直接接触する外周部１ａを黒鉛で形成し、前記シャ
フト１２に装着することにより前記シャフト１２と一体
となってシャフト１２の回転方向に回転可能に構成され
ている。モータ１３の制御手段１６は、制御回路５０の
指令信号によりモータ１３を駆動し、前記巻取ローラ１
をシャフト１２を介して回転制御するように構成されて
いる。

【００２１】前記石英ガラス板３は、送りローラ２２及
びエンコーダ１９により石英ガラス板３の送り量を検出
する送り量検出ローラ２１上に載置されるとともに、エ
アシリンダ３２及び３３の駆動により所定距離離間して
配置されたそれぞれ一対の規制ローラ２８、２８及び２
９、２９を駆動し、該規制ローラによって帯状に延設さ
れた両側面を挟んで位置規制されている。

【００２２】そして、上述の位置規制状態で、エアシリ
ンダ３４を駆動して押圧ローラ２３により上方から石英
ガラス板３を押圧して、送りローラ２２による石英ガラ
ス板３の送出と、送り量検出ローラ２１の検出状態を良
好に確保している。また、制御回路５０から信号が制御
手段１７に伝達され、モータ１４の回転速度を制御する
とともに、一定トルクでモータ１４が回転するように構
成されている。

【００２３】また、石英ガラス板３を送出する送りモー
タ１４と送りローラ２２との間には電磁クラッチ３５が
配置され、該クラッチの連結状態により、ローラ２２へ
のトルク状態を調整可能に構成されている。尚、この電
磁クラッチ３５は、入力と出力間に軸トルクを調整可能
に配置するものであり、磁気力を調整することによりク
ラッチ板の保持力を選択し、連結状態、すなわち、クラ
ッチのつなぎ量を選択することが可能である。石英ガラ
ス板３の送り停止時には、該クラッチ３５によって送り
ローラ２２と送りモータ１４との連結が解除される。ま
た、送り量検出ローラ２１にはブレーキ３６が付設さ
れ、制御回路５０の信号により、前記クラッチ３５の連
結解除に同期して電気的にブレーキ３６が駆動し、石英
ガラス板３の送出を停止するように構成されている。

【００２４】前記一対の規制ローラ２８、２８と巻取制
御装置９との間には、バーナー制御手段１８が配設さ
れ、該バーナー制御手段１８には第１バーナー６及び第
２バーナー７が石英ガラス板３の端面を含んでその周囲
の溶融位置を上方及び下方から加熱溶融可能に配置され
るとともに、前記第１バーナー６及び第２バーナー７は
６ａ，７ａを回動中心として回動可能に配置され、前記
溶融位置を石英ガラス板３の延設方向に沿って移動可能
に構成されている。また、前記バーナーは多数本のバー
ナー通路が設けられ、製造されるガラス管の長さに対応
可能に構成されている。

【００２５】次に、本実施の形態の機構部分の要部を図
４、及び図５を用いて説明する。図４は、機構部分の要
部に係る平面図、図５は、図４のＡ−Ａ断面図である。
これらの図において、巻取制御装置９内には、巻取ロー
ラ１が配置されるとともに、石英ガラス板３が巻取ロー
ラ１の外周面に巻き取られ、石英ガラス板３の巻き取り
が完了する位置で発光部１１ａの光を受光部１１ｂによ
り検知できるように、センサ１１が配置されている。

【００２６】巻取ローラ１の外周面１ａに当接する石英
ガラス板３は、基台４上に配設されているローラ２４、
２５、送りローラ２２、及び送り量検出ローラ２１上に
載置されている。

【００２７】石英ガラス板３の側面３ｃ，３ｄ側には、
エアシリンダ３２の駆動により該側面に当接離間可能に
押さえローラ２８ａ，２８ｂが配設され、また、エアシ
リンダ３３の駆動により前記側面に当接離間可能に押さ
えローラ２９ａ，２９ｂが配設されている。そして、図
４に示すように、押さえローラ２８ａ，２８ｂ、押さえ
ローラ２９ａ，２９ｂはそれぞれ仮想線で示す２８
ａ′，２８ｂ′、２９ａ′，２９ｂ′まで移動可能であ
るために、石英ガラス板３の幅方向の寸法変化に対応す
ることができる。

【００２８】前述の構成をより理解するために、図５を
用いて説明すると、基台４は、脚部６８により支持され
た取付板６７上に配置され、該基台４に配設されたバー
ナー取付台５には、石英ガラス板３の上方及び下方に取
付られた第１バーナー６及び第２バーナー７が、石英ガ
ラス板３の端面３ａを含むその周囲部分を加熱溶融可能
に配置されているとともに、これらのバーナーは６ａま
たは、７ａを回転中心として、溶融位置を可変に構成さ
れている。

【００２９】前記送りローラ２２は、基台４の下側に設
けられた電磁クラッチ３５の一方の回転軸にベルト３８
により回動可能に連結され、クラッチ部を介して他方の
回転部分は送りモータ１４と連結している。また、前記
送り量検出ローラ２１は、基台４の下側に設けられたブ
レーキ３６の回転軸にベルト３７により連結され、制御
回路５０の信号により前記回転軸にブレーキが掛かり前
記検出ローラ２１を停止させ、石英ガラス板３を摩擦停
止させるように構成するとともに、検出ローラ２１の回
転数を検出するエンコーダ１９が配置されている。

【００３０】基台４の上面に取付られた取付板３９は、
上部にエアシリンダ３４が設けられて、該エアシリンダ
３４には、エアシリンダの動作により下方に所定押圧力
で押圧され、前記送りローラ２２、及び送り量検出ロー
ラ２１の中間部分を上方から押圧して両者と石英ガラス
板３との接触状態を安定させる押圧ローラ２３が配設さ
れている。

【００３１】次に、このように構成された本実施の形態
の動作を説明する。運転に際しては、図示しない入力装
置から、各種パラメータを制御回路５０に入力する。そ
れらは、巻取ローラ１の直径及び、ガラス板３の板厚及
び幅寸法、巻取ローラ１を回転するモータ１３の制御パ
ルス振動数の初期値、ガラス板３の送りモータ１４の制
御パルス振動数の初期値、前記モータ１４と送りローラ
２２との間に介在して伝達トルクを制御するクラッチ３
５の初期値等である。

【００３２】図２において、巻取ローラ１をシャフト１
２に挿入し、シャフト１２の端部を支持部８ａに支持す
る。図示しない制御板のスイッチを押してスタート信号
５５を発生すると、制御回路５０はエアシリンダ３２及
び３３を駆動して、前記一対の押さえローラ２８ａ、２
８ｂ、及び押さえローラ２９ａ，２９ｂを石英ガラス板
３の側面３ｃ，３ｂに押圧当接して、石英ガラス管１の
端面１ｂと一致させるように位置規制する。

【００３３】次に、制御回路５０は、シリンダ３４を駆
動し、押圧ローラ２３に所定押圧力を印加する。そし
て、クラッチ３５に信号を送り、連結させるとともに、
制御手段１７によりモータ１４を始動させ、ローラ２２
により石英ガラス板３を送出するとともに、エンコーダ
１９を介して送り量を計測する。ガラス板３が予め決め
られた位置から所定送り量送られると、制御回路５０は
クラッチ３５を半クラッチ状態とし、ガラス板３の端面
３ａは巻取ローラ１の外周に当接して停止する。

【００３４】ガラス板３の停止に同期して、第１バーナ
ー６及び第２バーナー７がガラス板３の端面３ａを含む
その周囲部分の加熱溶融を開始する。ガラス板３の端面
３ａを含む端部部分が溶融すると、その溶融に同期して
モータ１３が回転して、巻取ローラ１が図３上半時計方
向に回動する。

【００３５】石英ガラス板３の溶融部分は巻取ローラ１
の外周面に乗ってピンチローラ２側に移送され、ピンチ
ローラ２と巻取ローラ１の外周面とにより板厚が規制さ
れ巻取ローラ１によって運ばれる。

【００３６】巻取ローラ１が９０゜回転すると、前記溶
融部分の先端部は下降されるが、１８０゜回転するころ
には前記溶融部分は冷却されて固化するので、巻取ロー
ラ１の外周面を離れることはなく、該外周面に接触状態
を保って１回転して、円筒部３ｂを形成する。

【００３７】前記溶融部分が１回転すると、センサ１１
が円筒部３ｂの面からの反射光を検知して、１回転を完
了する前に、ブレーキ３６を駆動するとともに、クラッ
チ３５の連結を解除すると、ガラス板３の送出を停止し
て巻取ローラ１が回転するので、自動的にガラス板３
は、その溶融している部分から切断され、その切断部分
と１回転した先端部分とが溶着し、両バーナーの加熱が
停止する。そして、必要に応じて、溶着した部分を研削
して石英ガラス管の製造が完了する。

【００３８】よって、両バーナーが加熱する時期とは、
若干の時間差をもって、適切な溶融状態と同期するよう
に巻取ローラ１を回転駆動させ、また、ガラス板３の送
出停止は巻取ローラ１の１回転終了より若干前に停止
し、巻取ローラ１の外周面に溶接されたガラス板３の端
面と切断される溶融部分とが一致するように制御するこ
とが望ましい。

【００３９】尚、前記実施の形態においては、センサ１
１により巻取ローラ１の回転終了を検知したが、これに
限定されず、巻取ローラ１の回動量は、予め知られてい
る巻取ローラ１の外径、及び回動速度と、ガラス板３の
板厚等により演算して求めてもよく、また、送り量検出
ローラ２１、エンコーダ１９により送り量を検出してそ
のデータから演算してもよい。よって、ガラス板３が切
断される位置は、ガラス板３の送り量もしくは巻取ロー
ラ１の回動量等により制御される。

【００４０】また、前記実施の形態においては、円筒の
厚さを規制するピンチローラを回転可能に配置している
が、回転速度を制御可能なモータと連結して前記ピンチ
ローラの回転速度を制御可能に構成するとともに、前記
ローラの回転速度と前記ピンチローラの回転速度とを制
御することにより、前記ガラス管の板厚を制御可能に構
成することもできる。

【００４１】このように構成することで、前記ローラの
回転速度と前記ピンチローラの回転速度とにより石英ガ
ラス板の溶融部分の送り出し量を制御することができ
る。すなわち、両者を速く回転することで、溶融部分の
単位時間当たりの送出量が減り板厚を薄くすることがで
き、両者を遅く回転させることで、原材料のガラス板厚
まで厚くすることができる。よって、原材料の石英ガラ
ス板の板厚より薄い範囲で板厚を制御することができ
る。

【００４２】また、前記板状体を溶融する加熱手段の加
熱状態を制御可能に構成するとともに、前記板状体の供
給速度と前記加熱手段の加熱状態を制御することによ
り、前記ピンチローラ入口側で前記板状体の溶融部分を
一時的に保持して前記ローラと前記ピンチローラとによ
り出口側に供給するように構成することもできる。

【００４３】このように構成することで、原材料の石英
ガラス板の板厚にバラツキがあっても、ピンチローラ入
口側で前記ガラス板の溶融部分を一時的に保持して単位
時間当たり一定量を送出することができるので、均一な
板厚のガラス管を製造することができる。

【００４４】

【発明の効果】以上記載した如く、請求項１記載の方法
発明及び請求項３記載の装置発明は、石英ガラス板をボ
ビン状のローラに供給するとともに、該板状体を加熱手
段により溶融した状態で前記ローラを回転させ、そのロ
ーラの外面に巻きつけて筒状に形成しているので、製造
時間が短縮され、また、加熱溶融された前記板状体の溶
融部分の先端部分と切断された部分との溶接部分は、円
筒体の長さ方向に沿って１本形成されるのみであり、必
要に応じての外周面の研削処理は１箇所だけおこなえば
よいため処理工数が減り、また、板厚が溶融状態で規制
できるので、均一の板厚を有したガラス管を製造コスト
を低減して製造することができる。そして、ボビン状の
ローラを交換することで、各種の径を有するガラス管を
製造できるとともに、大径の石英ガラス管を製造するこ
とが可能である。

【００４５】また、請求項２記載の方法発明は、請求項
１の効果を具備するとともに、前記ガラス板の供給を停
止することで切断するように構成しているので、特別の
切断手段を設けなくても、自動的に石英ガラス板を切断
することができる。

【００４６】また、請求項４記載の装置発明は、前記規
制手段を前記板状体の上面側の前記ローラの上がり外面
から所定位置に回転可能に配置されたピンチローラで構
成しているので、石英ガラス板の溶融部分との摩擦抵抗
が少なく溶融部分の滑性がよく、溶融部分を送ることが
できる。

【００４７】また、請求項５記載の装置発明は、前記ピ
ンチローラの回転速度を制御可能に構成するとともに、
前記ローラの回転速度と前記ピンチローラの回転速度と
を制御することにより、前記ガラス管の板厚を制御可能
に構成しているので、原材料の石英ガラス板の板厚より
薄い範囲で板厚を制御することができる。

【００４８】また、前記板状体を溶融する加熱手段の加
熱状態を制御可能に構成するとともに、前記板状体の供
給速度と前記加熱手段の加熱状態を制御することによ
り、前記ピンチローラ入口側で前記板状体の溶融部分を
一時的に保持して前記ローラと前記ピンチローラとによ
り出口側に供給するように構成しているので、原材料の
石英ガラス板の板厚にバラツキがあっても、均一な板厚
のガラス管を製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の石英ガラス管製造装置の一実施の形態
に係るブロック構成図である。

【図２】石英ガラス管の巻取制御装置の一実施の形態に
係る構成図である。

【図３】本実施の形態の動作説明図である。

【図４】本実施の形態に係る機構部分の要部に係る平面
図である。

【図５】図４のＡ−Ａ断面図である。

【符号の説明】

１ 巻取ローラ（ローラ） ２ ピンチローラ（規制手段） ３ 石英ガラス板（石英ガラス板状
体） ６ 第１バーナー（加熱手段） ７ 第２バーナー（加熱手段） １０ 巻取ローラ回転制御部（ローラ回
転制御手段）

フロントページの続き (72)発明者 松谷 利勝 山形県天童市大字清池字藤段1357番３ 株 式会社山形信越石英内 Ｆターム(参考） 4G014 AH08 AH23

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 連続的に延設する石英ガラス板状体を延
   設方向に沿って、ボビン状のローラに供給するととも
   に、該板状体を加熱手段により溶融した状態で前記ロー
   ラを回転させ、そのローラの外面に巻きつけて筒状に形
   成する石英ガラス管の製造方法において、 前記ローラの外面に位置する前記板状体の溶融部分の前
   記ローラの外面からの板厚を、前記板状体の上面側の前
   記ローラの上がり外面において規制するとともに、 前記ローラの回転によって前記溶融部分が固化し、当該
   固化部分が所定量前記ローラ外面に載置された状態で前
   記板状体を切断することを特徴とする石英ガラス管の製
   造方法。
2. 【請求項２】 前記板状体の供給を停止することによっ
   て前記加熱手段による前記溶融部分から切断されること
   を特徴とする請求項１記載の石英ガラス管の製造方法。
3. 【請求項３】 連続的に延設する石英ガラス板状体を延
   設方向に沿って、回転するボビン状のローラに供給する
   とともに、該板状体を溶融した状態で前記ローラの外面
   に巻きつけて筒状に形成する石英ガラス管の製造装置に
   おいて、 前記ローラの回転を制御するローラ回転制御手段と、 前記板状体を前記ローラの外面に向かって供給する供給
   手段と、 前記板状体を溶融状態で前記ローラの外面に供給する加
   熱手段と、 前記ローラの外面に位置する前記板状体の溶融部分の前
   記ローラの外面からの板厚を、前記板状体の上面側の前
   記ローラの上がり外面において規制する規制手段とを備
   え、 前記規制手段と前記ローラの回転によって前記ガラス管
   の板厚を制御するとともに、前記供給手段を停止するこ
   とによって前記板状体を切断することを特徴とする石英
   ガラス管の製造装置。
4. 【請求項４】 前記規制手段を前記板状体の上面側の前
   記ローラの上がり外面から所定位置に回転可能に配置さ
   れたピンチローラで構成したことを特徴とする請求項３
   記載の石英ガラス管の製造装置。
5. 【請求項５】 前記ピンチローラの回転速度を制御可能
   に構成するとともに、前記ローラの回転速度と前記ピン
   チローラの回転速度とを制御することにより、前記ガラ
   ス管の板厚を制御可能に構成したことを特徴とする請求
   項４記載の石英ガラス管の製造装置。
6. 【請求項６】 前記板状体を溶融する加熱手段の加熱状
   態を制御可能に構成するとともに、前記板状体の供給速
   度と前記加熱手段の加熱状態を制御することにより、前
   記ピンチローラ入口側で前記板状体の溶融部分を一時的
   に保持して前記ローラと前記ピンチローラとにより出口
   側に供給することを特徴とする請求項５記載の石英ガラ
   ス管の製造装置。