JP2000033543A - 加工荷重を調整可能な研磨装置 - Google Patents
加工荷重を調整可能な研磨装置Info
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- JP2000033543A JP2000033543A JP10204798A JP20479898A JP2000033543A JP 2000033543 A JP2000033543 A JP 2000033543A JP 10204798 A JP10204798 A JP 10204798A JP 20479898 A JP20479898 A JP 20479898A JP 2000033543 A JP2000033543 A JP 2000033543A
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- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウエートの数を簡単な方法で確実に増減する
ことができる、加工荷重の調整が容易な研磨装置を得
る。 【解決手段】 ワイヤー１８に間隔をおいて吊り下げら
れた複数のウエート２０の重量によってワークＷと研磨
部材２との間に加工荷重を作用させるウエート手段１４
と、該ウエート手段１４におけるウエート２０の重量を
調整するための重量調整手段１５とを設け、該重量調整
手段１５を、上記複数のウエート２０を下端部のものか
ら順次支持可能な受け皿２２と、該受け皿２２を昇降さ
せるためのシリンダ２１とで構成する。
ことができる、加工荷重の調整が容易な研磨装置を得
る。 【解決手段】 ワイヤー１８に間隔をおいて吊り下げら
れた複数のウエート２０の重量によってワークＷと研磨
部材２との間に加工荷重を作用させるウエート手段１４
と、該ウエート手段１４におけるウエート２０の重量を
調整するための重量調整手段１５とを設け、該重量調整
手段１５を、上記複数のウエート２０を下端部のものか
ら順次支持可能な受け皿２２と、該受け皿２２を昇降さ
せるためのシリンダ２１とで構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハや磁
気ディスク基板のようなワークを研磨するための研磨装
置に関するものであり、更に詳しくは、加工荷重を調整
可能な研磨装置に関するものである。
気ディスク基板のようなワークを研磨するための研磨装
置に関するものであり、更に詳しくは、加工荷重を調整
可能な研磨装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば特公平６−３７０５２号や特公平
７−１６８６５号公報に開示されているように、半導体
ウエハの面取りされた外周エッジを鏡面研磨するための
研磨装置においては、ワークと研磨部材（研磨ドラム）
との間に加工荷重を作用させる手段として、ワイヤーの
先端にウエートを取り付けたものが使用されている。
７−１６８６５号公報に開示されているように、半導体
ウエハの面取りされた外周エッジを鏡面研磨するための
研磨装置においては、ワークと研磨部材（研磨ドラム）
との間に加工荷重を作用させる手段として、ワイヤーの
先端にウエートを取り付けたものが使用されている。
【０００３】このようにウエートの重量を利用して加工
荷重を作用させる方法は、ワークが完全に円形である場
合はもちろんのこと、外周に直線部分（オリフラ）を有
している場合であっても、常に一定の荷重を安定的に作
用させることができるという点で勝れている。
荷重を作用させる方法は、ワークが完全に円形である場
合はもちろんのこと、外周に直線部分（オリフラ）を有
している場合であっても、常に一定の荷重を安定的に作
用させることができるという点で勝れている。
【０００４】しかし、研磨条件の変更等によって加工荷
重を増減しなければならないような場合に、手作業でウ
エートの数を増減しなければならないために調整作業が
面倒である。
重を増減しなければならないような場合に、手作業でウ
エートの数を増減しなければならないために調整作業が
面倒である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、ウエートの数を簡単な方法で確実に増減することが
できる、加工荷重の調整が容易な研磨装置を提供するこ
とにある。
は、ウエートの数を簡単な方法で確実に増減することが
できる、加工荷重の調整が容易な研磨装置を提供するこ
とにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明によれば、ワイヤーに間隔をおいて吊り下げ
られた複数のウエートの重量によってワークと研磨部材
との間に加工荷重を作用させるウエート手段と、該ウエ
ート手段におけるウエートの重量を調整するための重量
調整手段とを有し、該重量調整手段が、上記複数のウエ
ートを下端部のものから順次支持可能な受け皿と、該受
け皿を昇降させるための昇降手段とからなることを特徴
とする研磨装置が提供される。
め、本発明によれば、ワイヤーに間隔をおいて吊り下げ
られた複数のウエートの重量によってワークと研磨部材
との間に加工荷重を作用させるウエート手段と、該ウエ
ート手段におけるウエートの重量を調整するための重量
調整手段とを有し、該重量調整手段が、上記複数のウエ
ートを下端部のものから順次支持可能な受け皿と、該受
け皿を昇降させるための昇降手段とからなることを特徴
とする研磨装置が提供される。
【０００７】本発明の具体的な実施形態によれば、上記
研磨装置が、研磨すべきワークを保持するためのワーク
保持手段と、上記ワークを研磨するための研磨部材と、
これらのワーク保持手段と研磨部材とを相互に接離する
方向に相対的に移動自在なるように支持する支持機構と
を有していて、上記ウエート手段が、上記ワーク保持手
段又は研磨部材の何れか一方に接続されている。
研磨装置が、研磨すべきワークを保持するためのワーク
保持手段と、上記ワークを研磨するための研磨部材と、
これらのワーク保持手段と研磨部材とを相互に接離する
方向に相対的に移動自在なるように支持する支持機構と
を有していて、上記ウエート手段が、上記ワーク保持手
段又は研磨部材の何れか一方に接続されている。
【０００８】上記構成を有する本発明の研磨装置におい
て、昇降手段により上記受け皿を、最下段のウエートか
ら離れた位置まで下降させた場合には、全てのウエート
の重量が加工荷重としてワークと研磨部材との間に作用
する。
て、昇降手段により上記受け皿を、最下段のウエートか
ら離れた位置まで下降させた場合には、全てのウエート
の重量が加工荷重としてワークと研磨部材との間に作用
する。
【０００９】そして、上記受け皿を上昇させて最下段の
ウエートをやや持ち上げ気味に下から支えると、加工荷
重はウエート１つ分だけ減少し、受け皿を更に上昇させ
て次段のウエートも同様に支えると、加工荷重はウエー
ト２つ分減少する。即ち、上記加工荷重は、受け皿でウ
エートを支えることにより、支えられたウエートの重量
分だけ減少させることができる。
ウエートをやや持ち上げ気味に下から支えると、加工荷
重はウエート１つ分だけ減少し、受け皿を更に上昇させ
て次段のウエートも同様に支えると、加工荷重はウエー
ト２つ分減少する。即ち、上記加工荷重は、受け皿でウ
エートを支えることにより、支えられたウエートの重量
分だけ減少させることができる。
【００１０】かくして本発明によれば、ワイヤーに間隔
をおいて吊り下げられた複数のウエートを、昇降手段に
より受け皿を昇降させて下から支えたり又は解放すると
いう簡単な方法により、ワークと研磨部材との間に作用
する加工荷重を簡単かつ確実に調整することができる。
をおいて吊り下げられた複数のウエートを、昇降手段に
より受け皿を昇降させて下から支えたり又は解放すると
いう簡単な方法により、ワークと研磨部材との間に作用
する加工荷重を簡単かつ確実に調整することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施例として、
半導体ウエハのような円形ワークＷの面取り加工された
外周エッジを鏡面研磨するための研磨装置を概略的に示
すもので、この研磨装置は、研磨すべきワークＷを保持
するためのワーク保持手段１と、上記ワークＷを研磨す
るための研磨部材である研磨ドラム２とを有している。
半導体ウエハのような円形ワークＷの面取り加工された
外周エッジを鏡面研磨するための研磨装置を概略的に示
すもので、この研磨装置は、研磨すべきワークＷを保持
するためのワーク保持手段１と、上記ワークＷを研磨す
るための研磨部材である研磨ドラム２とを有している。
【００１２】上記ワーク保持手段１は、ワークＷをバキ
ュームチャックするためのチャックヘッド４と、該チャ
ックヘッド４を支軸５の回りに傾動自在に支持する支持
部材６と、上記チャックヘッド４を中心軸線Ｌの回りに
回転させるモーター７とを有していて、支持機構である
スライド機構８により機体３上に、上記研磨ドラム２に
対して接離する方向に移動自在なるように支持されてい
る。
ュームチャックするためのチャックヘッド４と、該チャ
ックヘッド４を支軸５の回りに傾動自在に支持する支持
部材６と、上記チャックヘッド４を中心軸線Ｌの回りに
回転させるモーター７とを有していて、支持機構である
スライド機構８により機体３上に、上記研磨ドラム２に
対して接離する方向に移動自在なるように支持されてい
る。
【００１３】上記チャックヘッド４は、その表面に複数
の吸着孔を有していて、これらの吸着孔が、チューブや
切換弁等を介して真空源に接続されているが、それらの
図示は省略されている。また、該チャックヘッド４は、
図示しない駆動手段により、ワークＷの外周エッジを研
磨するときの姿勢である実線で示す傾斜位置と、ワーク
Ｗの着脱を行うときの姿勢である鎖線で示す水平位置と
の間を傾動させられるようになっている。
の吸着孔を有していて、これらの吸着孔が、チューブや
切換弁等を介して真空源に接続されているが、それらの
図示は省略されている。また、該チャックヘッド４は、
図示しない駆動手段により、ワークＷの外周エッジを研
磨するときの姿勢である実線で示す傾斜位置と、ワーク
Ｗの着脱を行うときの姿勢である鎖線で示す水平位置と
の間を傾動させられるようになっている。
【００１４】一方、上記スライド機構８は、機体３上に
設けられて上記研磨ドラム２の方向に延びるガイド１１
と、このガイド１１に添って摺動する摺動部材１２とで
構成され、この摺動部材１２が、上記ワーク保持手段１
における支持部材６の下面に取り付けられている。
設けられて上記研磨ドラム２の方向に延びるガイド１１
と、このガイド１１に添って摺動する摺動部材１２とで
構成され、この摺動部材１２が、上記ワーク保持手段１
における支持部材６の下面に取り付けられている。
【００１５】上記ワーク保持手段１にはまた、ワークＷ
と研磨ドラム２との間に加工荷重を作用させるためのウ
エート手段１４が連結され、機体３には、該ウエート手
段１４による加工荷重を調整するための重量調整手段１
５が設けられている。
と研磨ドラム２との間に加工荷重を作用させるためのウ
エート手段１４が連結され、機体３には、該ウエート手
段１４による加工荷重を調整するための重量調整手段１
５が設けられている。
【００１６】上記ウエート手段１４は、上記支持部材６
の端部に一端を固定されて機体３上のプーリー１９に巻
き掛けられたワイヤー１８と、該ワイヤー１８の先端に
一定の間隔をおいて順番に吊り下げられた複数（図示の
例では３個）のウエート２０とを有し、これらのウエー
ト２０の重量を上記加工荷重として作用させるものであ
る。
の端部に一端を固定されて機体３上のプーリー１９に巻
き掛けられたワイヤー１８と、該ワイヤー１８の先端に
一定の間隔をおいて順番に吊り下げられた複数（図示の
例では３個）のウエート２０とを有し、これらのウエー
ト２０の重量を上記加工荷重として作用させるものであ
る。
【００１７】一方、上記重量調整手段１５は、機体３に
おける上記ウエート２０の真下の位置に軸線を鉛直に向
けて設置された、昇降手段としての調整用シリンダ２１
と、該シリンダ２１のピストンロッド２１ａに取り付け
られた受け皿２２とからなっていて、該受け皿２２を上
下動させるにより上記複数のウエート２０を、最下段の
ものから順次支持可能なるように構成されたもので、該
受け皿２２が下から支えたウエート２０の重量分だけ上
記加工荷重が減少するようになっている。
おける上記ウエート２０の真下の位置に軸線を鉛直に向
けて設置された、昇降手段としての調整用シリンダ２１
と、該シリンダ２１のピストンロッド２１ａに取り付け
られた受け皿２２とからなっていて、該受け皿２２を上
下動させるにより上記複数のウエート２０を、最下段の
ものから順次支持可能なるように構成されたもので、該
受け皿２２が下から支えたウエート２０の重量分だけ上
記加工荷重が減少するようになっている。
【００１８】上記機体３の下面にはまた、ワーク保持手
段１を移動させるための移動用シリンダ２４が取り付け
られていて、該シリンダ２４のピストンロッド２４ａの
先端が、支持部材６の下面から下方に延びるアーム６ａ
に対向するように配置されている。そして、図示の状態
からピストンロッド２４ａが伸長して上記アーム６ａを
図の左側に押すことにより、ワーク保持手段１がウエー
ト２０を引き上げながらガイド１１に沿って移動し、ワ
ークＷが研磨ドラム２から離間する非研磨位置まで後退
する。
段１を移動させるための移動用シリンダ２４が取り付け
られていて、該シリンダ２４のピストンロッド２４ａの
先端が、支持部材６の下面から下方に延びるアーム６ａ
に対向するように配置されている。そして、図示の状態
からピストンロッド２４ａが伸長して上記アーム６ａを
図の左側に押すことにより、ワーク保持手段１がウエー
ト２０を引き上げながらガイド１１に沿って移動し、ワ
ークＷが研磨ドラム２から離間する非研磨位置まで後退
する。
【００１９】また、ワーク保持手段１が上記非研磨位置
にある状態からピストンロッド２４ａが短縮すると、該
ワーク保持手段１がウエート２０の重量によって研磨ド
ラム２に向けて前進する。そして、保持したワークＷが
研磨ドラム２に当接すると、該ワーク保持手段１はその
位置に停止するが、ピストンロッド２４ａは更に短縮し
てアーム６ａから離れるため、図示したように、ワーク
Ｗはウエート２０の重量によって研磨ドラム２に押し付
けられることになる。
にある状態からピストンロッド２４ａが短縮すると、該
ワーク保持手段１がウエート２０の重量によって研磨ド
ラム２に向けて前進する。そして、保持したワークＷが
研磨ドラム２に当接すると、該ワーク保持手段１はその
位置に停止するが、ピストンロッド２４ａは更に短縮し
てアーム６ａから離れるため、図示したように、ワーク
Ｗはウエート２０の重量によって研磨ドラム２に押し付
けられることになる。
【００２０】上記研磨ドラム２は、金属製又はセラミッ
ク製の円筒形をしたドラム本体の外周面に研磨パッドを
貼り付けたもので、ドラム軸２ａにより機体３に回転自
在に支持され、図示しない駆動手段によって自身の軸線
の回りに所要の速度で回転させられるようになってい
る。
ク製の円筒形をしたドラム本体の外周面に研磨パッドを
貼り付けたもので、ドラム軸２ａにより機体３に回転自
在に支持され、図示しない駆動手段によって自身の軸線
の回りに所要の速度で回転させられるようになってい
る。
【００２１】上記構成を有する研磨装置において、ワー
クＷの研磨時に該ワークＷと研磨ドラム２との間に作用
する加工荷重は、上記ウエート手段１４におけるウエー
ト２０の重量によって発生するが、シリンダ２１によっ
て上記受け皿２２を、最下段のウエート２０から離れた
位置まで下降させた場合には、全てのウエート２０の重
量が加工荷重として作用し、重荷重の状態になる。
クＷの研磨時に該ワークＷと研磨ドラム２との間に作用
する加工荷重は、上記ウエート手段１４におけるウエー
ト２０の重量によって発生するが、シリンダ２１によっ
て上記受け皿２２を、最下段のウエート２０から離れた
位置まで下降させた場合には、全てのウエート２０の重
量が加工荷重として作用し、重荷重の状態になる。
【００２２】また、図２に示すように、上記受け皿２２
を上昇させて最下段のウエート２０をやや持ち上げ気味
に下から支えると、加工荷重はウエート１つ分だけ減少
し、中荷重の状態になる。更に、図３に示すように、上
記受け皿２２をもう一段上昇させて２番目のウエート２
０まで支えると、加工荷重は２つのウエート分減少し、
軽荷重の状態になる。
を上昇させて最下段のウエート２０をやや持ち上げ気味
に下から支えると、加工荷重はウエート１つ分だけ減少
し、中荷重の状態になる。更に、図３に示すように、上
記受け皿２２をもう一段上昇させて２番目のウエート２
０まで支えると、加工荷重は２つのウエート分減少し、
軽荷重の状態になる。
【００２３】かくして、ワイヤー１８に間隔をおいて吊
り下げた複数のウエート２０を、シリンダ２１により受
け皿２２を昇降させて下から支えたり又は解放するとい
う簡単な方法により、ワークＷと研磨ドラム２との間に
作用する加工荷重を簡単かつ確実に調整することができ
る。
り下げた複数のウエート２０を、シリンダ２１により受
け皿２２を昇降させて下から支えたり又は解放するとい
う簡単な方法により、ワークＷと研磨ドラム２との間に
作用する加工荷重を簡単かつ確実に調整することができ
る。
【００２４】なお、図示した実施例では、ウエート２０
が３つ設けられているが、ウエートの数はこれに限定さ
れない。また、上記実施例では、ワーク保持手段１がス
ライド機構８により研磨ドラム２に対して接離自在に支
持されているが、それとは逆に、研磨ドラム２の方を移
動自在とし、この研磨ドラム２側にウエート手段１４を
取り付けても良い。更に、本発明は、ワークＷの外周エ
ッジを研磨する装置だけでなく、ワークの外周に形成し
たノッチの部分を研磨するための装置や、ワークの表面
又は表裏面を研磨するための装置にも適用できることは
いうまでもないことである。
が３つ設けられているが、ウエートの数はこれに限定さ
れない。また、上記実施例では、ワーク保持手段１がス
ライド機構８により研磨ドラム２に対して接離自在に支
持されているが、それとは逆に、研磨ドラム２の方を移
動自在とし、この研磨ドラム２側にウエート手段１４を
取り付けても良い。更に、本発明は、ワークＷの外周エ
ッジを研磨する装置だけでなく、ワークの外周に形成し
たノッチの部分を研磨するための装置や、ワークの表面
又は表裏面を研磨するための装置にも適用できることは
いうまでもないことである。
【００２５】
【発明の効果】このように本発明によれば、ワイヤーに
吊り下げられた複数のウエートを、昇降手段により受け
皿を昇降させて下から支えたり又は解放するという簡単
な方法により、ワークと研磨部材との間に作用する加工
荷重を簡単かつ確実に調整することができる。
吊り下げられた複数のウエートを、昇降手段により受け
皿を昇降させて下から支えたり又は解放するという簡単
な方法により、ワークと研磨部材との間に作用する加工
荷重を簡単かつ確実に調整することができる。
【図１】本発明に係る研磨装置の一実施例の要部を概略
的に示す断面図である。
的に示す断面図である。
【図２】異なる動作状態を示す図１の要部断面図であ
る。
る。
【図３】更に異なる動作状態を示す図１の要部断面図で
ある。
ある。
【符号の説明】 １ ワーク保持手段 ２ 研磨ドラム １４ ウエート手段 １５ 重量調整手段 １８ ワイヤー ２０ ウエート ２１ 調整用シリンダ ２２ 受け皿
Claims (2)
- 【請求項１】ワイヤーに間隔をおいて吊り下げられた複
数のウエートの重量によってワークと研磨部材との間に
加工荷重を作用させるウエート手段と、該ウエート手段
におけるウエートの重量を調整するための重量調整手段
とを有し、 上記重量調整手段が、上記複数のウエートを下端部のも
のから順次支持可能な受け皿と、該受け皿を昇降させる
ための昇降手段とからなる、ことを特徴とする加工荷重
を調整可能な研磨装置。 - 【請求項２】研磨すべきワークを保持するためのワーク
保持手段と、上記ワークを研磨するための研磨部材と、
これらのワーク保持手段と研磨部材とを相互に接離する
方向に相対的に移動自在なるように支持する支持機構
と、上記ワーク保持手段又は研磨部材の何れか一方に接
続され、ワイヤーに間隔をおいて吊り下げられた複数の
ウエートの重量によって上記ワークと研磨部材との間に
加工荷重を作用させるウエート手段と、該ウエート手段
におけるウエートの重量を調整するための重量調整手段
とを有し、 上記重量調整手段が、上記複数のウエートを下端部のも
のから順次支持可能な受け皿と、該受け皿を昇降させる
ための昇降手段とからなる、ことを特徴とする加工荷重
を調整可能な研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10204798A JP2000033543A (ja) | 1998-07-21 | 1998-07-21 | 加工荷重を調整可能な研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10204798A JP2000033543A (ja) | 1998-07-21 | 1998-07-21 | 加工荷重を調整可能な研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000033543A true JP2000033543A (ja) | 2000-02-02 |
Family
ID=16496545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10204798A Withdrawn JP2000033543A (ja) | 1998-07-21 | 1998-07-21 | 加工荷重を調整可能な研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000033543A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102794687A (zh) * | 2012-07-06 | 2012-11-28 | 浙江上城科技有限公司 | 一种蓝宝石晶片倒角设备及方法 |
| CN104568641A (zh) * | 2014-12-08 | 2015-04-29 | 江苏三菱磨料磨具有限公司 | 平面砂布轮仿真磨削测试机 |
| CN107009214A (zh) * | 2017-05-18 | 2017-08-04 | 海安金锻工业有限公司 | 一种自动倒角机 |
-
1998
- 1998-07-21 JP JP10204798A patent/JP2000033543A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102794687A (zh) * | 2012-07-06 | 2012-11-28 | 浙江上城科技有限公司 | 一种蓝宝石晶片倒角设备及方法 |
| CN104568641A (zh) * | 2014-12-08 | 2015-04-29 | 江苏三菱磨料磨具有限公司 | 平面砂布轮仿真磨削测试机 |
| CN107009214A (zh) * | 2017-05-18 | 2017-08-04 | 海安金锻工业有限公司 | 一种自动倒角机 |
| CN107009214B (zh) * | 2017-05-18 | 2023-12-22 | 海安金锻工业有限公司 | 一种自动倒角机 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050720 |
|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20051004 |