JP2000028531A - 化学発光式窒素酸化物計 - Google Patents
化学発光式窒素酸化物計Info
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- G01N21/76—Chemiluminescence; Bioluminescence
- G01N21/766—Chemiluminescence; Bioluminescence of gases
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Abstract
(57)【要約】
【課題】測定に有害なガスを発生させず、かつ反応槽内
の温度制御にも適した反応槽を備えた化学発光式窒素酸
化物計を提供する。 【解決手段】反応槽容器６１には、反応室６２に試料ガ
ス、オゾンガスをそれぞれ導入するキャピラリ管６３、
６４、ガス排出口６５、温度制御用ヒータ６６が設けら
れ、反応室６２は光透過窓８２を介して光電変換素子７
１に対向する。反応槽容器６１が耐酸化力を有し窒素酸
化物に対して還元性を示さないＴｉ（チタン）等の金属
材を用いて構成されているので、空気を用いて無声放電
によりオゾンを生成させたときに派生的に生じるＮ
Ｏ２、Ｎ２Ｏ５等の窒素酸化物をＮＯに還元することが
ないので、測定のバックグラウンドノイズの発生が防止
され、測定精度を向上できる。
の温度制御にも適した反応槽を備えた化学発光式窒素酸
化物計を提供する。 【解決手段】反応槽容器６１には、反応室６２に試料ガ
ス、オゾンガスをそれぞれ導入するキャピラリ管６３、
６４、ガス排出口６５、温度制御用ヒータ６６が設けら
れ、反応室６２は光透過窓８２を介して光電変換素子７
１に対向する。反応槽容器６１が耐酸化力を有し窒素酸
化物に対して還元性を示さないＴｉ（チタン）等の金属
材を用いて構成されているので、空気を用いて無声放電
によりオゾンを生成させたときに派生的に生じるＮ
Ｏ２、Ｎ２Ｏ５等の窒素酸化物をＮＯに還元することが
ないので、測定のバックグラウンドノイズの発生が防止
され、測定精度を向上できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、大気中、
煙道排ガス中の窒素酸化物濃度の測定、監視を必要とす
る分野、或いは医療診断用に窒素酸化物濃度を測定する
場合、またはこれらに関係した試験研究分野その他に利
用することができる化学発光式窒素酸化物計に関し、特
にその反応槽の構成に関する。
煙道排ガス中の窒素酸化物濃度の測定、監視を必要とす
る分野、或いは医療診断用に窒素酸化物濃度を測定する
場合、またはこれらに関係した試験研究分野その他に利
用することができる化学発光式窒素酸化物計に関し、特
にその反応槽の構成に関する。
【０００２】
【従来の技術】工場の燃焼炉や自動車のエンジンからの
排ガス等に含まれる人体に有害な窒素酸化物（ＮＯｘ）
が問題となっているが、大気中や排ガス中の窒素酸化物
濃度を測定する装置の一つに、化学発光式窒素酸化物計
がある。これは、被測定ガスとオゾンガスＯ３とを測定
装置の反応槽内で接触させ、被測定ガス中の一酸化窒素
（ＮＯ）とＯ３とが化学反応を起こす際に発生する化学
発光の強度を光検出器で検出することにより、被測定ガ
ス中のＮＯ含有量を定量測定するものである。
排ガス等に含まれる人体に有害な窒素酸化物（ＮＯｘ）
が問題となっているが、大気中や排ガス中の窒素酸化物
濃度を測定する装置の一つに、化学発光式窒素酸化物計
がある。これは、被測定ガスとオゾンガスＯ３とを測定
装置の反応槽内で接触させ、被測定ガス中の一酸化窒素
（ＮＯ）とＯ３とが化学反応を起こす際に発生する化学
発光の強度を光検出器で検出することにより、被測定ガ
ス中のＮＯ含有量を定量測定するものである。
【０００３】オゾンガスは、通常は空気を原料として、
無声放電により発生され、反応槽の構成部材としては、
ガラス材或いは金属材が用いられている。この金属材と
しては、オゾンと窒素酸化物により生成する硝酸に対す
る耐食性も要求されるため、一般的にはＳＵＳ３０３等
のステンレス鋼材がよく用いられている。一方、化学発
光の安定性を確保するため、反応槽内は所定の温度に維
持されている。
無声放電により発生され、反応槽の構成部材としては、
ガラス材或いは金属材が用いられている。この金属材と
しては、オゾンと窒素酸化物により生成する硝酸に対す
る耐食性も要求されるため、一般的にはＳＵＳ３０３等
のステンレス鋼材がよく用いられている。一方、化学発
光の安定性を確保するため、反応槽内は所定の温度に維
持されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】空気を原料として無声
放電によりオゾンを発生させた場合には、オゾンと同時
にＮＯ２（二酸化窒素）、Ｎ２Ｏ５が派生的に発生して
しまう。これらの物質は、この状態では支障無いが、上
記のように、ＳＵＳ３０３等のステンレス鋼材等の金属
材を用いて反応槽を形成した場合には、通常この金属材
中に不純物として含まれる硫黄（Ｓ）、燐（Ｐ）、モリ
ブデン（Ｍｏ）等の還元能力を有する物質と次式のよう
に反応し、発光反応を生じるＮＯに変化してしまう。 ａＮＯ２＋ｂＭ（金属中不純物）→ａＮＯ＋ｂＭｘＯｙ・・・（１） Ｎ２Ｏ５→ＮＯ２＋ＮＯ５・・・（２） Ｍ（金属表面反応）
放電によりオゾンを発生させた場合には、オゾンと同時
にＮＯ２（二酸化窒素）、Ｎ２Ｏ５が派生的に発生して
しまう。これらの物質は、この状態では支障無いが、上
記のように、ＳＵＳ３０３等のステンレス鋼材等の金属
材を用いて反応槽を形成した場合には、通常この金属材
中に不純物として含まれる硫黄（Ｓ）、燐（Ｐ）、モリ
ブデン（Ｍｏ）等の還元能力を有する物質と次式のよう
に反応し、発光反応を生じるＮＯに変化してしまう。 ａＮＯ２＋ｂＭ（金属中不純物）→ａＮＯ＋ｂＭｘＯｙ・・・（１） Ｎ２Ｏ５→ＮＯ２＋ＮＯ５・・・（２） Ｍ（金属表面反応）
【０００５】このＮＯにより、本来の試料自体の中にＮ
Ｏが存在しないガスを測定した場合にも、バックグラウ
ンドノイズが検出されてしまい、測定精度を低下させる
原因となっていた。また金属材で構成した反応槽の内壁
にガス耐蝕性が高くかつ測定波長光を透過させるＳｉＯ
２膜等のライニングを施すことも、本願発明者により提
案されているが、コスト面では改善の余地があった。一
方、反応槽構成材としてガラス材を用いた場合には、上
記のようなバックグラウンドノイズの発生やコストの問
題は生じないが、ガラス材は熱伝導が良くないので、反
応槽内の精確な温度制御に困難性があり、化学発光反応
の安定性を阻害することになる。
Ｏが存在しないガスを測定した場合にも、バックグラウ
ンドノイズが検出されてしまい、測定精度を低下させる
原因となっていた。また金属材で構成した反応槽の内壁
にガス耐蝕性が高くかつ測定波長光を透過させるＳｉＯ
２膜等のライニングを施すことも、本願発明者により提
案されているが、コスト面では改善の余地があった。一
方、反応槽構成材としてガラス材を用いた場合には、上
記のようなバックグラウンドノイズの発生やコストの問
題は生じないが、ガラス材は熱伝導が良くないので、反
応槽内の精確な温度制御に困難性があり、化学発光反応
の安定性を阻害することになる。
【０００６】なおオゾン発生器からの発生窒素酸化物を
吸着剤により除去することもできるが、この場合には、
一定期間ごとに吸着剤の交換が必要となり、また長期間
にわたる精度保証が難しいという問題があった。本発明
は、測定に有害なＮＯガスを生成させず、かつ反応槽内
の温度制御にも適しかつ経済性にも優れた反応槽を備え
保守も簡便な化学発光式窒素酸化物計を提供しようとす
るものである。
吸着剤により除去することもできるが、この場合には、
一定期間ごとに吸着剤の交換が必要となり、また長期間
にわたる精度保証が難しいという問題があった。本発明
は、測定に有害なＮＯガスを生成させず、かつ反応槽内
の温度制御にも適しかつ経済性にも優れた反応槽を備え
保守も簡便な化学発光式窒素酸化物計を提供しようとす
るものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の化学発光式窒素酸化物計は、オゾンと一酸
化窒素との化学反応の際に生じる発光の強度から窒素酸
化物濃度を定量する化学発光式窒素酸化物計において、
その化学発光反応を生じさせる反応槽を、窒素酸化物還
元性の不純物等が少なく、実質的に窒素酸化物還元性を
有しない金属材により構成したものである。この金属材
としては、チタン、ニッケルまたはＳＵＳ３０４を用い
ることが好ましい。
め、本発明の化学発光式窒素酸化物計は、オゾンと一酸
化窒素との化学反応の際に生じる発光の強度から窒素酸
化物濃度を定量する化学発光式窒素酸化物計において、
その化学発光反応を生じさせる反応槽を、窒素酸化物還
元性の不純物等が少なく、実質的に窒素酸化物還元性を
有しない金属材により構成したものである。この金属材
としては、チタン、ニッケルまたはＳＵＳ３０４を用い
ることが好ましい。
【０００８】反応槽には常に腐食性ガスであるオゾンと
窒素酸化物が供給されるが、耐酸化力を有し窒素酸化物
に対して還元性を示さないＴｉ（チタン）等の金属材を
用いて構成するため、上記（１）式、（２）式の反応を
生じないので、バックグラウンドノイズを低下させるこ
とができる。また、他の構成要素を追加することなく経
済的に耐蝕性の問題を解決し、さらに反応槽がガラス等
熱伝導のよくない材質で構成されていないので、反応槽
の温度制御適性も保たれる。
窒素酸化物が供給されるが、耐酸化力を有し窒素酸化物
に対して還元性を示さないＴｉ（チタン）等の金属材を
用いて構成するため、上記（１）式、（２）式の反応を
生じないので、バックグラウンドノイズを低下させるこ
とができる。また、他の構成要素を追加することなく経
済的に耐蝕性の問題を解決し、さらに反応槽がガラス等
熱伝導のよくない材質で構成されていないので、反応槽
の温度制御適性も保たれる。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は一般的な化学発光式窒素酸
化物計の全体概略図であり、１は測定ガス導入部、２は
主流路ライン、３は二酸化窒素を一酸化窒素に変換する
コンバータ、４は測定ガスの除湿等を行う前処理部、５
は反応槽に流入する測定ガスの流量を制御する流量制御
部、６は測定ガス中のＮＯとオゾンとの反応により化学
発光を生じさせる反応槽である。反応槽６には化学発光
反応を生じさせるためのオゾンガスを供給するオゾン発
生部９が結合されている。オゾン発生部９はＴｉ等窒素
酸化物に対して還元性を有しない材料で構成することが
望ましい。１１は反応槽６から排出されるガス中に含ま
れるオゾンを分解するオゾン分解器である。
化物計の全体概略図であり、１は測定ガス導入部、２は
主流路ライン、３は二酸化窒素を一酸化窒素に変換する
コンバータ、４は測定ガスの除湿等を行う前処理部、５
は反応槽に流入する測定ガスの流量を制御する流量制御
部、６は測定ガス中のＮＯとオゾンとの反応により化学
発光を生じさせる反応槽である。反応槽６には化学発光
反応を生じさせるためのオゾンガスを供給するオゾン発
生部９が結合されている。オゾン発生部９はＴｉ等窒素
酸化物に対して還元性を有しない材料で構成することが
望ましい。１１は反応槽６から排出されるガス中に含ま
れるオゾンを分解するオゾン分解器である。
【００１０】１０は切替えコック、２ａはコンバータ３
の出入口間を接続するバイパスラインであり、切替えコ
ック１０により測定ガスがコンバータ３を通る状態と、
コンバータ３を通らずに直接前処理部４に入る状態とを
切替えることができる。７は反応槽６で、発生した化学
発光の強度を光電変換検出する光電検出部であり、反応
槽６と光電検出部７とは一体に結合され、測定の中核で
ある測定セル８を構成する。光電検出部７の出力は表示
部１２に供給される。表示部１２は、光電検出部７から
の出力信号をデータ処理するデータ処理部と、処理結果
からＮＯガス、ＮＯ２ガス等の窒素酸化物の濃度をアナ
ログまたはデジタルで表示、記録する出力部を備えてい
る。
の出入口間を接続するバイパスラインであり、切替えコ
ック１０により測定ガスがコンバータ３を通る状態と、
コンバータ３を通らずに直接前処理部４に入る状態とを
切替えることができる。７は反応槽６で、発生した化学
発光の強度を光電変換検出する光電検出部であり、反応
槽６と光電検出部７とは一体に結合され、測定の中核で
ある測定セル８を構成する。光電検出部７の出力は表示
部１２に供給される。表示部１２は、光電検出部７から
の出力信号をデータ処理するデータ処理部と、処理結果
からＮＯガス、ＮＯ２ガス等の窒素酸化物の濃度をアナ
ログまたはデジタルで表示、記録する出力部を備えてい
る。
【００１１】上記構成の化学発光式窒素酸化物計におい
て、ガス導入部１から導入されＮＯ ２ガスとＮＯガスが
共存する被測定ガスを、還元触媒が設けられたコンバー
タ３を通すことによりＮＯ２をＮＯに変換して測定セル
８に導入し、このガス中のＮＯ濃度が測定セル８におい
て検出される。一方、切り替えコック１０を切り替え、
被測定ガスをコンバータ３を通さずに測定セル８に導入
して、被測定ガス中のＮＯ濃度が検出される。これらの
ＮＯガス濃度検出値間の差から、被測定ガス中のＮＯ２
ガス濃度が算出される。
て、ガス導入部１から導入されＮＯ ２ガスとＮＯガスが
共存する被測定ガスを、還元触媒が設けられたコンバー
タ３を通すことによりＮＯ２をＮＯに変換して測定セル
８に導入し、このガス中のＮＯ濃度が測定セル８におい
て検出される。一方、切り替えコック１０を切り替え、
被測定ガスをコンバータ３を通さずに測定セル８に導入
して、被測定ガス中のＮＯ濃度が検出される。これらの
ＮＯガス濃度検出値間の差から、被測定ガス中のＮＯ２
ガス濃度が算出される。
【００１２】図２は、本発明の化学発光式窒素酸化物計
の反応槽６及びこれと一体に結合された光電検出部７の
具体的構成例の縦断面である。反応槽６は、内部に例え
ばドーム状の反応室６２を形成し下方が開口した本体容
器６１に、反応室６２内にＮＯガスを供給するキャピラ
リ管６３とオゾンガスを供給するキャピラリ管６４とを
配設して構成され、上部には反応後のガスを排出するた
めの排出路６５が形成されている。また、反応槽６に
は、反応室６２内を一定温度に温度制御し化学発光反応
を安定化するため、温度制御機構が配設されている。温
度制御機構として図では反応槽６の外周を包囲するヒー
タ６６のみが示され、ヒータ６６は図示されていない電
源及び制御部に接続されている。
の反応槽６及びこれと一体に結合された光電検出部７の
具体的構成例の縦断面である。反応槽６は、内部に例え
ばドーム状の反応室６２を形成し下方が開口した本体容
器６１に、反応室６２内にＮＯガスを供給するキャピラ
リ管６３とオゾンガスを供給するキャピラリ管６４とを
配設して構成され、上部には反応後のガスを排出するた
めの排出路６５が形成されている。また、反応槽６に
は、反応室６２内を一定温度に温度制御し化学発光反応
を安定化するため、温度制御機構が配設されている。温
度制御機構として図では反応槽６の外周を包囲するヒー
タ６６のみが示され、ヒータ６６は図示されていない電
源及び制御部に接続されている。
【００１３】本発明の要部である反応槽６の構成材とし
ては、大気からオゾンを発生させる際に派生的に生じる
窒素酸化物（ＮＯ２、Ｎ２Ｏ５）に対して還元性を有す
る不純物、即ち硫黄（Ｓ）、燐（Ｐ）等が少なく、実質
的に窒素酸化物還元性物質を含まない金属材、たとえば
不純物の少ないチタン（Ｔｉ）材がとくに好適である。
純チタンは耐蝕性のほか機械加工性も良好である。反応
槽６の内部は、切削加工または放電加工等により、例え
ばドーム状に加工されて、反応室６２が形成されてい
る。反応槽６の内壁には、化学発光による光の光電検出
部７への集光性を良くするため、パフ研磨によって鏡面
仕上げ加工が施されている。反応槽６の構成部材は、後
述のように、ＴｉのほかにＮｉ、ＳＵＳ３０４等も好適
である。
ては、大気からオゾンを発生させる際に派生的に生じる
窒素酸化物（ＮＯ２、Ｎ２Ｏ５）に対して還元性を有す
る不純物、即ち硫黄（Ｓ）、燐（Ｐ）等が少なく、実質
的に窒素酸化物還元性物質を含まない金属材、たとえば
不純物の少ないチタン（Ｔｉ）材がとくに好適である。
純チタンは耐蝕性のほか機械加工性も良好である。反応
槽６の内部は、切削加工または放電加工等により、例え
ばドーム状に加工されて、反応室６２が形成されてい
る。反応槽６の内壁には、化学発光による光の光電検出
部７への集光性を良くするため、パフ研磨によって鏡面
仕上げ加工が施されている。反応槽６の構成部材は、後
述のように、ＴｉのほかにＮｉ、ＳＵＳ３０４等も好適
である。
【００１４】なお、オゾン発生部９、オゾン発生部９と
反応槽６との接続配管及びキャピラリ管６３、６４も同
様に、実質的に窒素酸化物還元性物質を含まない金属
材、例えば反応槽容器６１と同種の材料で構成すること
が好ましい。反応槽容器６１とオゾン発生部９とを、実
質的に窒素酸化物還元性物質を含まない同種の金属材、
例えばＴｉを用いて構成する場合には、反応槽６の一部
にオゾン発生部９を取り込むようにしてもよい。反応槽
６の下部は、中心開口部を有する断熱、耐蝕性の円環状
部材８１を介して光電検出部７側に、着脱可能に一体に
結合され、円環状部材８１の下方には反応槽６でのＮＯ
とＯ３の化学反応によって生じた発光による光を透過す
る光透過窓８２（ガラス板または透明樹脂板）が設けら
れ、光透過窓８２により反応槽６の下方開口が気密に閉
じられ、反応槽６と光電検出部７とが区画されている。
反応槽６との接続配管及びキャピラリ管６３、６４も同
様に、実質的に窒素酸化物還元性物質を含まない金属
材、例えば反応槽容器６１と同種の材料で構成すること
が好ましい。反応槽容器６１とオゾン発生部９とを、実
質的に窒素酸化物還元性物質を含まない同種の金属材、
例えばＴｉを用いて構成する場合には、反応槽６の一部
にオゾン発生部９を取り込むようにしてもよい。反応槽
６の下部は、中心開口部を有する断熱、耐蝕性の円環状
部材８１を介して光電検出部７側に、着脱可能に一体に
結合され、円環状部材８１の下方には反応槽６でのＮＯ
とＯ３の化学反応によって生じた発光による光を透過す
る光透過窓８２（ガラス板または透明樹脂板）が設けら
れ、光透過窓８２により反応槽６の下方開口が気密に閉
じられ、反応槽６と光電検出部７とが区画されている。
【００１５】光電検出部７は、本発明の要部に直接関係
するものではないが、上記円環状部材８１と結合された
密閉筐体７２内に、上記光透過窓８２と対向して化学発
光の強度を電気信号に変換する光電変換素子７１が配設
されている。光電変換素子７１は、たとえば半導体光電
変換素子で構成され、ペルチェ効果を利用した電子冷却
素子等の冷却部７３その他が設けられる。筐体７２は、
耐熱性の高分子樹脂材または金属等で構成される。
するものではないが、上記円環状部材８１と結合された
密閉筐体７２内に、上記光透過窓８２と対向して化学発
光の強度を電気信号に変換する光電変換素子７１が配設
されている。光電変換素子７１は、たとえば半導体光電
変換素子で構成され、ペルチェ効果を利用した電子冷却
素子等の冷却部７３その他が設けられる。筐体７２は、
耐熱性の高分子樹脂材または金属等で構成される。
【００１６】図３は、反応槽６の他の具体的構成例の縦
断面図であり、基本的には図２と同じであるが、反応槽
部分６の本体容器６１が下方の円筒形部分とこれに連な
る円錐形部分とで構成され、またガス導入用のキャピラ
リ管は、測定ガス導入管６３とオゾンガス導入管６４と
が中央部で連なった１本の細管で構成され、この中央部
には、光電検出部７側（図では下方）に向けて開口した
小孔６７が設けられ、測定時には測定ガスとオゾンガス
が接触混合しつつ、反応室６２内で光電検出部方向に噴
出しながら、化学発光反応を生じるように構成されてい
る。図３の構成においては、測定ガスとオゾンガスが反
応槽６内で殆ど拡散しない状態で接触混合され、反応槽
の中心軸付近で化学発光反応を生じるので、発光強度が
増大し且つ効率よく光電検出部７により受光され、従っ
て測定感度を向上させることができる。また、反応室６
２を形成するための機械加工をドーム状の場合よりも迅
速に行うことができる。
断面図であり、基本的には図２と同じであるが、反応槽
部分６の本体容器６１が下方の円筒形部分とこれに連な
る円錐形部分とで構成され、またガス導入用のキャピラ
リ管は、測定ガス導入管６３とオゾンガス導入管６４と
が中央部で連なった１本の細管で構成され、この中央部
には、光電検出部７側（図では下方）に向けて開口した
小孔６７が設けられ、測定時には測定ガスとオゾンガス
が接触混合しつつ、反応室６２内で光電検出部方向に噴
出しながら、化学発光反応を生じるように構成されてい
る。図３の構成においては、測定ガスとオゾンガスが反
応槽６内で殆ど拡散しない状態で接触混合され、反応槽
の中心軸付近で化学発光反応を生じるので、発光強度が
増大し且つ効率よく光電検出部７により受光され、従っ
て測定感度を向上させることができる。また、反応室６
２を形成するための機械加工をドーム状の場合よりも迅
速に行うことができる。
【００１７】（実施例１）図１及び図３のように構成し
た化学発光式窒素酸化物計を用い、反応槽構成材とし
て、Ｓ、Ｐ含有量が、比較的多いステンレス鋼材ＳＵＳ
３０３を用いた場合と、それらの量が少ないＳＵＳ３０
３を用いた場合について、反応槽６を所定の温度に保
ち、反応槽６内にＮＯを含まない測定ガスと、オゾンガ
スをそれぞれ所定の流量で導入し、ガス中のＮＯの濃度
を測定した。その結果、ＳＵＳ３０３を用いた場合は、
約２０ｐｐｂＮＯ相当の検出値を生じたが、ＳＵＳ３０
４を用いた場合には、約３ｐｐｂＮＯ相当の検出値に留
まりバックグラウンドノイズが大幅に減少した。
た化学発光式窒素酸化物計を用い、反応槽構成材とし
て、Ｓ、Ｐ含有量が、比較的多いステンレス鋼材ＳＵＳ
３０３を用いた場合と、それらの量が少ないＳＵＳ３０
３を用いた場合について、反応槽６を所定の温度に保
ち、反応槽６内にＮＯを含まない測定ガスと、オゾンガ
スをそれぞれ所定の流量で導入し、ガス中のＮＯの濃度
を測定した。その結果、ＳＵＳ３０３を用いた場合は、
約２０ｐｐｂＮＯ相当の検出値を生じたが、ＳＵＳ３０
４を用いた場合には、約３ｐｐｂＮＯ相当の検出値に留
まりバックグラウンドノイズが大幅に減少した。
【００１８】（実施例２）反応槽構成材としてＴｉ材を
用い、他の条件を実施例１と同じにして同様の測定を行
ったところ、バックグラウンドノイズ出力の値が０ｐｐ
ｂＮＯ相当まで低減された。以上のように、反応槽構成
材として窒素酸化物還元性を有しない材料を用いること
により、化学発光式窒素酸化物計のバックグラウンドノ
イズが減少し、ＮＯ測定精度を向上できることがわかっ
た。
用い、他の条件を実施例１と同じにして同様の測定を行
ったところ、バックグラウンドノイズ出力の値が０ｐｐ
ｂＮＯ相当まで低減された。以上のように、反応槽構成
材として窒素酸化物還元性を有しない材料を用いること
により、化学発光式窒素酸化物計のバックグラウンドノ
イズが減少し、ＮＯ測定精度を向上できることがわかっ
た。
【００１９】
【発明の効果】本発明の化学発光式窒素酸化物計は、上
記のように、反応槽構成材として窒素酸化物還元性を有
しない材料を用いているので、オゾンを生成させる際、
オゾンと同時にＮＯ２（二酸化窒素）、Ｎ２Ｏ５が発生
しても、これらの物質が発光反応を生じるＮＯに変化し
てしまうことがないので、バックグラウンドノイズがほ
とんど生じないので、検出分解能を向上できる。
記のように、反応槽構成材として窒素酸化物還元性を有
しない材料を用いているので、オゾンを生成させる際、
オゾンと同時にＮＯ２（二酸化窒素）、Ｎ２Ｏ５が発生
しても、これらの物質が発光反応を生じるＮＯに変化し
てしまうことがないので、バックグラウンドノイズがほ
とんど生じないので、検出分解能を向上できる。
【００２０】さらに、反応槽内壁にライニングを施すよ
うに他に付加部材を要することがないので、コストの低
減がはかれる。さらに、オゾン発生器からの窒素酸化物
除去に吸着材を使用した場合のように、一定期間ごとに
吸着材を交換する等の定期保守が不要となる。また反応
槽構成材が従来以上に耐蝕性の高い部材であり、装置寿
命が延びる等の諸効果も得られる。
うに他に付加部材を要することがないので、コストの低
減がはかれる。さらに、オゾン発生器からの窒素酸化物
除去に吸着材を使用した場合のように、一定期間ごとに
吸着材を交換する等の定期保守が不要となる。また反応
槽構成材が従来以上に耐蝕性の高い部材であり、装置寿
命が延びる等の諸効果も得られる。
【図１】化学発光式窒素酸化物計の全体概略図。
【図２】反応槽の具体的構成例の縦断面図。
【図３】反応槽の他の具体的構成例の縦断面図。
１……ガス導入部 ２……主流路ライン ２ａ……バイパスライン ３……コンバータ ４……前処理部 ５……流量制御部 ６……反応槽 ７……光電検出部 ８……測定セル ９……オゾン発生部 １２……表示部 ６１……本体容器（窒素酸化物非還元性） ６２……反応室 ６３……キャピラリ管 ６４……キャピラリ管 ６５……ガス出口 ６６……ヒータ ７１……光電変換素子 ８２……光透過窓
Claims (2)
- 【請求項１】オゾンと一酸化窒素との化学反応の際に生
じる化学発光の強度から窒素酸化物濃度を定量する化学
発光式窒素酸化物計において、その化学発光反応を生じ
させる反応槽を、窒素酸化物還元性の物質を実質的に含
まない金属材により形成したことを特徴とする窒素酸化
物計。 - 【請求項２】前記金属として、チタン、ニッケルまたは
ＳＵＳ３０４を用いた請求項１記載の化学発光式窒素酸
化物計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10200229A JP2000028531A (ja) | 1998-07-15 | 1998-07-15 | 化学発光式窒素酸化物計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10200229A JP2000028531A (ja) | 1998-07-15 | 1998-07-15 | 化学発光式窒素酸化物計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000028531A true JP2000028531A (ja) | 2000-01-28 |
Family
ID=16420970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10200229A Withdrawn JP2000028531A (ja) | 1998-07-15 | 1998-07-15 | 化学発光式窒素酸化物計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000028531A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021073474A (ja) * | 2021-02-15 | 2021-05-13 | 株式会社島津製作所 | 化学発光式ＮＯｘ濃度測定装置 |
-
1998
- 1998-07-15 JP JP10200229A patent/JP2000028531A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021073474A (ja) * | 2021-02-15 | 2021-05-13 | 株式会社島津製作所 | 化学発光式ＮＯｘ濃度測定装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050204 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20060314 |