JP2000026107A - オゾナイザ - Google Patents
オゾナイザInfo
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- JP2000026107A JP2000026107A JP10191485A JP19148598A JP2000026107A JP 2000026107 A JP2000026107 A JP 2000026107A JP 10191485 A JP10191485 A JP 10191485A JP 19148598 A JP19148598 A JP 19148598A JP 2000026107 A JP2000026107 A JP 2000026107A
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】両面冷却型高濃度オゾナイザの同軸円筒型オゾ
ン発生器を、オゾン濃度の向上のために０．３ｍｍ未満
の狭ギャップ長で構成する場合、対向電極間の放電ギャ
ップの均一性が、オゾン発生濃度に大きな影響を及ぼ
す。本発明は、高電圧電極と接地電極との対向面の平行
度をあげ、放電状態を均一化させてオゾンの発生濃度を
向上させたオゾナイザを提供することにある。 【解決手段】高電圧電極や接地電極の曲がりを矯正する
ため、高電圧電極表面の機械研磨、高電圧電極表面や接
地電極の素管表面を長手方向にプレス、接地電極内面に
ライニングするガラスの厚さを１ｍｍ以下にする、など
の手段を採用して課題を解決でき、オゾンの発生濃度を
向上できた。
ン発生器を、オゾン濃度の向上のために０．３ｍｍ未満
の狭ギャップ長で構成する場合、対向電極間の放電ギャ
ップの均一性が、オゾン発生濃度に大きな影響を及ぼ
す。本発明は、高電圧電極と接地電極との対向面の平行
度をあげ、放電状態を均一化させてオゾンの発生濃度を
向上させたオゾナイザを提供することにある。 【解決手段】高電圧電極や接地電極の曲がりを矯正する
ため、高電圧電極表面の機械研磨、高電圧電極表面や接
地電極の素管表面を長手方向にプレス、接地電極内面に
ライニングするガラスの厚さを１ｍｍ以下にする、など
の手段を採用して課題を解決でき、オゾンの発生濃度を
向上できた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、水処理などに用い
られるオゾンを得るオゾナイザに係わり、高濃度オゾン
が発生可能な短ギャップオゾナイザの構造に関する。
られるオゾンを得るオゾナイザに係わり、高濃度オゾン
が発生可能な短ギャップオゾナイザの構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】オゾナイザは、オゾンの持つ殺菌・脱色
・脱臭を利用するために、水処理施設などにおいて広く
使用されている。このような従来型オゾナイザの代表例
として、両面冷却オゾナイザについて、図６〜図９を用
いてその構造、運転、特性の概要を以下に説明する。
・脱臭を利用するために、水処理施設などにおいて広く
使用されている。このような従来型オゾナイザの代表例
として、両面冷却オゾナイザについて、図６〜図９を用
いてその構造、運転、特性の概要を以下に説明する。
【０００３】図６において、オゾナイザの筐体は、両端
が開口している筒状をしたステンレス鋼からなる胴部１
と、その両開口端部に締め付けられている２つのステン
レス鋼からなる側板２１および２２とによって構成され
ている。２つの側板２１および２２と胴部１とは気密に
結合される必要があるため、両開口端部のそれぞれに平
パッキン（図６では単にパッキン）８１および８２を介
して、図示していないネジなどの締めつけ手段を用いて
結合されている。胴部１の内面側には、多数のオゾン発
生管を保持するための、少なくとも一対のステンレス鋼
からなる支持板４１および４２が互いに適当な間隔をお
いて嵌め込まれている。胴部１の管壁には、側板２１と
側板２１側の支持板４１との中間の位置に、原料ガスを
供給するためのガス入口１１が有り、反対側の側板２２
と側板２２側の支持板４２との中間の位置に、生成され
たオゾンを含むガスを取り出すためのガス出口１２があ
る。更に、２つの支持板４１および４２の中間の位置
に、冷却水を流入させる為の冷却水入口１３と、冷却水
を排出するための冷却水出口１４とが、ほぼ対向て設け
られている。通常は、冷却水入口１３が下部に、冷却水
出口１４が上部に設けられる。また、胴部１の側板２１
に近い位置に電圧導入端子７２が装着されている。
が開口している筒状をしたステンレス鋼からなる胴部１
と、その両開口端部に締め付けられている２つのステン
レス鋼からなる側板２１および２２とによって構成され
ている。２つの側板２１および２２と胴部１とは気密に
結合される必要があるため、両開口端部のそれぞれに平
パッキン（図６では単にパッキン）８１および８２を介
して、図示していないネジなどの締めつけ手段を用いて
結合されている。胴部１の内面側には、多数のオゾン発
生管を保持するための、少なくとも一対のステンレス鋼
からなる支持板４１および４２が互いに適当な間隔をお
いて嵌め込まれている。胴部１の管壁には、側板２１と
側板２１側の支持板４１との中間の位置に、原料ガスを
供給するためのガス入口１１が有り、反対側の側板２２
と側板２２側の支持板４２との中間の位置に、生成され
たオゾンを含むガスを取り出すためのガス出口１２があ
る。更に、２つの支持板４１および４２の中間の位置
に、冷却水を流入させる為の冷却水入口１３と、冷却水
を排出するための冷却水出口１４とが、ほぼ対向て設け
られている。通常は、冷却水入口１３が下部に、冷却水
出口１４が上部に設けられる。また、胴部１の側板２１
に近い位置に電圧導入端子７２が装着されている。
【０００４】図７には、支持板４１および４２に支持さ
れるオゾン発生管の拡大図を示す。支持板４１および４
２に支持されるオゾン発生管は、両端が開口している円
筒状の接地側のステンレス鋼などからなる接地電極５
と、接地電極５のほぼ内側にほぼ一定のギャップ長を持
つ放電ギャップ５６を介して配置されている高電圧電極
６とで構成されている。接地電極５は、ステンレス鋼か
らなる金属管５１と、この内面にライニング（金属管５
１の内側にガラス管を挿入し、内圧を加えた状態で誘導
加熱によってガラスを軟化させ、金属管５１の内面にガ
ラス層を形成する技術）によって形成されたガラス誘電
体層５２とからなっている。高電圧電極６は両端を塞が
れた円筒状に形成され、一端面に２本の冷却パイプが接
続されている。この冷却パイプから冷却水が高電圧電極
６内に流通されて高電圧電極６を冷却する。
れるオゾン発生管の拡大図を示す。支持板４１および４
２に支持されるオゾン発生管は、両端が開口している円
筒状の接地側のステンレス鋼などからなる接地電極５
と、接地電極５のほぼ内側にほぼ一定のギャップ長を持
つ放電ギャップ５６を介して配置されている高電圧電極
６とで構成されている。接地電極５は、ステンレス鋼か
らなる金属管５１と、この内面にライニング（金属管５
１の内側にガラス管を挿入し、内圧を加えた状態で誘導
加熱によってガラスを軟化させ、金属管５１の内面にガ
ラス層を形成する技術）によって形成されたガラス誘電
体層５２とからなっている。高電圧電極６は両端を塞が
れた円筒状に形成され、一端面に２本の冷却パイプが接
続されている。この冷却パイプから冷却水が高電圧電極
６内に流通されて高電圧電極６を冷却する。
【０００５】冷却水は図６に示すように、胴部１の一端
部の上下位置に設けられた一対のマニホールド９５およ
び９６から分岐されて絶縁チューブ９７によりそれぞれ
の高電圧電極６の冷却パイプに供給されている。絶縁チ
ューブ９７が用いられてるのは、高電圧電極６と胴部１
とを電気的に絶縁するためであり、冷却水系にイオン交
換器９４が設置されているのは、冷却水の電気抵抗値を
高く保って、冷却水による絶縁不良を発生させないため
である。高電圧電極６の外面下部の両端付近には、放電
ギャップ５６を保持する為の突起体６１が溶接による肉
盛りによって形成されている。このオゾン発生管は、支
持板４１および４２に形成されている貫通孔に嵌め込ま
れて支持板４１および４２に支持されており、その接触
部は、冷却水が漏れないように図示していないＯリング
によってシールされている。
部の上下位置に設けられた一対のマニホールド９５およ
び９６から分岐されて絶縁チューブ９７によりそれぞれ
の高電圧電極６の冷却パイプに供給されている。絶縁チ
ューブ９７が用いられてるのは、高電圧電極６と胴部１
とを電気的に絶縁するためであり、冷却水系にイオン交
換器９４が設置されているのは、冷却水の電気抵抗値を
高く保って、冷却水による絶縁不良を発生させないため
である。高電圧電極６の外面下部の両端付近には、放電
ギャップ５６を保持する為の突起体６１が溶接による肉
盛りによって形成されている。このオゾン発生管は、支
持板４１および４２に形成されている貫通孔に嵌め込ま
れて支持板４１および４２に支持されており、その接触
部は、冷却水が漏れないように図示していないＯリング
によってシールされている。
【０００６】筐体、オゾン発生管などにステンレス鋼を
使用しているのは、ステンレス鋼がオゾンの強い酸化作
用に対して耐性を有するからである。高周波電源７３か
らオゾン発生管に供給される高周波電圧の一方は、胴部
１に実装されている電圧導入端子７２からリード線７１
を介して各オゾン発生管の高電圧電極６に供給される。
高周波電源７３の高周波電圧の他方は、接地電位点に接
続され、同時に胴部１に接続されており、図示していな
いリード線を介して接地電極５に接続されている。
使用しているのは、ステンレス鋼がオゾンの強い酸化作
用に対して耐性を有するからである。高周波電源７３か
らオゾン発生管に供給される高周波電圧の一方は、胴部
１に実装されている電圧導入端子７２からリード線７１
を介して各オゾン発生管の高電圧電極６に供給される。
高周波電源７３の高周波電圧の他方は、接地電位点に接
続され、同時に胴部１に接続されており、図示していな
いリード線を介して接地電極５に接続されている。
【０００７】オゾン発生管の接地電極５を冷却する冷却
水は、既述の高電圧電極６の冷却水と共通に熱交換器９
３で冷却されてポンプ９２で加圧され、冷却配管９１を
通って冷却水入口から水ジャケット３に供給されて接地
電極５を冷却し、冷却水出口１４から冷却配管９１を通
って熱交換器９３に戻る。この冷却系は高電圧電極６の
冷却をも兼ねているため、高純度水を使用した水供給系
となっており、既述の様にイオン交換器９４を備えてい
る。接地電極５の冷却には高抵抗の純水を必要とはしな
いが、冷却システムを簡素化するために純水を用いてい
る。
水は、既述の高電圧電極６の冷却水と共通に熱交換器９
３で冷却されてポンプ９２で加圧され、冷却配管９１を
通って冷却水入口から水ジャケット３に供給されて接地
電極５を冷却し、冷却水出口１４から冷却配管９１を通
って熱交換器９３に戻る。この冷却系は高電圧電極６の
冷却をも兼ねているため、高純度水を使用した水供給系
となっており、既述の様にイオン交換器９４を備えてい
る。接地電極５の冷却には高抵抗の純水を必要とはしな
いが、冷却システムを簡素化するために純水を用いてい
る。
【０００８】このような両面冷却オゾナイザにおいて、
ガス入口１１から供給された酸素を含む原料ガス（空気
あるいは酸素など）は、側板２１側の接地電極５の開口
部から放電ギャップ５６に流入し、放電ギャップ５６に
おける無声放電によって酸素の一部がオゾン化され、オ
ゾンを含むガスとなってガス出口１２から取り出され
る。ガス出口１２の後方には図示していない圧力調整弁
が装着されており、ガスの圧力値を例えば１．６気圧に
調整して、オゾンを含むガス消費設備に供給する。
ガス入口１１から供給された酸素を含む原料ガス（空気
あるいは酸素など）は、側板２１側の接地電極５の開口
部から放電ギャップ５６に流入し、放電ギャップ５６に
おける無声放電によって酸素の一部がオゾン化され、オ
ゾンを含むガスとなってガス出口１２から取り出され
る。ガス出口１２の後方には図示していない圧力調整弁
が装着されており、ガスの圧力値を例えば１．６気圧に
調整して、オゾンを含むガス消費設備に供給する。
【０００９】図８は、上記従来技術による短ギャップ化
の効果を示すグラフである。ギャップ長を短くする事に
よって、発生オゾン濃度の高濃度化が可能である。発生
オゾン濃度３００ｇ／Ｎｍ3 発生させるためにはギャッ
プ長約０．２ｍｍ以下が必要となる。図９は、接地電極
の長手方向の曲がりを測定し、概念図として図示したも
のである。水平な台に設置したときの台との隙間を、曲
がりと定義する。
の効果を示すグラフである。ギャップ長を短くする事に
よって、発生オゾン濃度の高濃度化が可能である。発生
オゾン濃度３００ｇ／Ｎｍ3 発生させるためにはギャッ
プ長約０．２ｍｍ以下が必要となる。図９は、接地電極
の長手方向の曲がりを測定し、概念図として図示したも
のである。水平な台に設置したときの台との隙間を、曲
がりと定義する。
【００１０】図１０は、従来の技術によるギャップ長
０．３ｍｍのオゾン発生管による曲がりに対するオゾン
発生特性である。この図に示すように、ギャップ長０．
３ｍｍのオゾン発生管を持つオゾナイザの場合、接地電
極の曲がりと発生オゾン濃度との間には直接的な関係は
ない。
０．３ｍｍのオゾン発生管による曲がりに対するオゾン
発生特性である。この図に示すように、ギャップ長０．
３ｍｍのオゾン発生管を持つオゾナイザの場合、接地電
極の曲がりと発生オゾン濃度との間には直接的な関係は
ない。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術におい
て、ガラスのライニングを行った際に発生する曲がり
は、０．３ｍｍ以上のギャップを持つオゾン発生器の場
合ギャップ長に対してその曲がりの絶対値が小さいた
め、接地電極の曲がりを無視する事ができ、オゾン発生
濃度に影響を与える事はない。しかし、オゾン濃度の向
上のため０．３ｍｍ未満の狭いギャップ長を持ったオゾ
ン発生器を構成する場合、ガラスの軟化でも吸収しきれ
ない曲がりがギャップ長に対して大きくなるため、対抗
する電極の平行度が悪化する。その事が放電の均一性に
対して影響を及ぼすようになり、放電不均一が発生しオ
ゾン濃度の減少を引き起こす。
て、ガラスのライニングを行った際に発生する曲がり
は、０．３ｍｍ以上のギャップを持つオゾン発生器の場
合ギャップ長に対してその曲がりの絶対値が小さいた
め、接地電極の曲がりを無視する事ができ、オゾン発生
濃度に影響を与える事はない。しかし、オゾン濃度の向
上のため０．３ｍｍ未満の狭いギャップ長を持ったオゾ
ン発生器を構成する場合、ガラスの軟化でも吸収しきれ
ない曲がりがギャップ長に対して大きくなるため、対抗
する電極の平行度が悪化する。その事が放電の均一性に
対して影響を及ぼすようになり、放電不均一が発生しオ
ゾン濃度の減少を引き起こす。
【００１２】本発明の課題は、接地電極と高電圧電極の
対向する両面の平行度を向上させ、放電状態を均一化さ
せることによりオゾンの発生濃度を向上させることにあ
る。
対向する両面の平行度を向上させ、放電状態を均一化さ
せることによりオゾンの発生濃度を向上させることにあ
る。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、両端が開口された筒状をなし内側面に誘電体層が形
成された接地電極と、接地電極の内側に空隙を介して配
置された高電圧電極からなるオゾン発生管と、オゾン発
生管を内蔵する筐体とを備え、酸素を含む原料ガスの放
電によりオゾンを生成するオゾナイザにおいて、接地電
極と高電圧電極の対向する平面の平行度を向上させるた
め、電極の曲がりを矯正する事、即ち放電ギャップの均
一性を向上させる事を技術手段として採用することとす
る。
に、両端が開口された筒状をなし内側面に誘電体層が形
成された接地電極と、接地電極の内側に空隙を介して配
置された高電圧電極からなるオゾン発生管と、オゾン発
生管を内蔵する筐体とを備え、酸素を含む原料ガスの放
電によりオゾンを生成するオゾナイザにおいて、接地電
極と高電圧電極の対向する平面の平行度を向上させるた
め、電極の曲がりを矯正する事、即ち放電ギャップの均
一性を向上させる事を技術手段として採用することとす
る。
【００１４】具体的には、（ａ）高電圧電極表面を機械
研磨する、（ｂ）高電圧電極表面や接地電極の素管表面
を長手方向にプレスする、（ｃ）接地電極内面にライニ
ングするガラスの厚さを１ｍｍ以下にする、ことを技術
手段として採用することとする。
研磨する、（ｂ）高電圧電極表面や接地電極の素管表面
を長手方向にプレスする、（ｃ）接地電極内面にライニ
ングするガラスの厚さを１ｍｍ以下にする、ことを技術
手段として採用することとする。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施例を図面を参
照して詳細に説明する。本発明のオゾナイザの基本構成
は図６の従来技術と同一であるから、以下の説明におい
て、オゾナイザ及びその周辺機器と同一部分は図６を用
いその説明を省略する。図１には、（ａ）の手段の機械
研磨の矯正の概念図を示す。
照して詳細に説明する。本発明のオゾナイザの基本構成
は図６の従来技術と同一であるから、以下の説明におい
て、オゾナイザ及びその周辺機器と同一部分は図６を用
いその説明を省略する。図１には、（ａ）の手段の機械
研磨の矯正の概念図を示す。
【００１６】図６の支持板４１および４２に支持される
オゾン発生管のうち、接地電極の内側に空隙を介して配
置されてる高電圧電極の曲がりを小さくするため、高電
圧電極表面を機械研磨によって矯正を行う。高電圧電極
は両端加工後旋盤機械研磨によって表面に削り加工を施
す。図２には、（ｂ）の手段の高電圧電極または接地電
極のプレス加工の概念図を示す。
オゾン発生管のうち、接地電極の内側に空隙を介して配
置されてる高電圧電極の曲がりを小さくするため、高電
圧電極表面を機械研磨によって矯正を行う。高電圧電極
は両端加工後旋盤機械研磨によって表面に削り加工を施
す。図２には、（ｂ）の手段の高電圧電極または接地電
極のプレス加工の概念図を示す。
【００１７】図６の支持板４１および４２に支持される
オゾン発生管のうち、高電圧電極若しくは接地電極若し
くはその両方をプレスローラーによる曲がり矯正を行
う。表１に、プレス加工前後の曲がりの絶対値を示す。
プレスローラーによる曲がりの矯正を行うことによって
５０〜７０％程度の曲がりの向上が見られる。
オゾン発生管のうち、高電圧電極若しくは接地電極若し
くはその両方をプレスローラーによる曲がり矯正を行
う。表１に、プレス加工前後の曲がりの絶対値を示す。
プレスローラーによる曲がりの矯正を行うことによって
５０〜７０％程度の曲がりの向上が見られる。
【００１８】
【表１】 図３には、実施の一例として、接地電極のライニング前
後の曲がりの相関を示す。この図より、接地電極のライ
ニング前の素管の曲がりを矯正する事によって、ライニ
ング後の接地電極の曲がりを小さく出来る事が分かる。
後の曲がりの相関を示す。この図より、接地電極のライ
ニング前の素管の曲がりを矯正する事によって、ライニ
ング後の接地電極の曲がりを小さく出来る事が分かる。
【００１９】図４には、（ｃ）の手段のガラスライニン
グ接地電極の概念図を示す。両端を開口した金属管５１
の内面に配置されたガラス誘電体層の肉厚を１ｍｍ以下
にする。ライニングするガラスの厚みを小さくする事に
よって、ライニングするガラスが加熱時に軟化する事に
より発生する偏肉を小さくする事が出来るため、ガラス
内面の表面精度は向上する。
グ接地電極の概念図を示す。両端を開口した金属管５１
の内面に配置されたガラス誘電体層の肉厚を１ｍｍ以下
にする。ライニングするガラスの厚みを小さくする事に
よって、ライニングするガラスが加熱時に軟化する事に
より発生する偏肉を小さくする事が出来るため、ガラス
内面の表面精度は向上する。
【００２０】図５には、本発明の実施例の効果を示すオ
ゾン発生特性を示す。０．１５ｍｍのギャップを持つオ
ゾン発生器において、曲がりの異なる接地電極のオゾン
濃度を測定したものである。、ギャップ長０．１５ｍｍ
のオゾン発生管では曲がりが小さいほどオゾン濃度が高
く、曲がりが０．３ｍｍ以下の接地電極を用いたオゾン
発生管で発生オゾン濃度３００ｇ／Ｎｍ3 を達成する事
が出来る。また、曲がりを０．２４ｍｍから０．０６ｍ
ｍまで小さくすると約１０％オゾン濃度を向上させる事
が出来る。
ゾン発生特性を示す。０．１５ｍｍのギャップを持つオ
ゾン発生器において、曲がりの異なる接地電極のオゾン
濃度を測定したものである。、ギャップ長０．１５ｍｍ
のオゾン発生管では曲がりが小さいほどオゾン濃度が高
く、曲がりが０．３ｍｍ以下の接地電極を用いたオゾン
発生管で発生オゾン濃度３００ｇ／Ｎｍ3 を達成する事
が出来る。また、曲がりを０．２４ｍｍから０．０６ｍ
ｍまで小さくすると約１０％オゾン濃度を向上させる事
が出来る。
【００２１】
【発明の効果】０．３ｍｍ未満の狭いギャップを持った
オゾン発生管の場合、接地電極内面の曲がりがギャップ
長に対して無視できなくなるため放電に不均一を起こす
ようになる。そこで、接地電極の曲がりが０．３ｍｍ以
下になるように上記の方法を用いる事によって、ギャッ
プの精度を上げることが出来、放電の不均一を解消する
事が可能となる。放電の不均一が解消されると、高濃度
のオゾンを効率よく発生させる事が出来るようになる。
オゾン発生管の場合、接地電極内面の曲がりがギャップ
長に対して無視できなくなるため放電に不均一を起こす
ようになる。そこで、接地電極の曲がりが０．３ｍｍ以
下になるように上記の方法を用いる事によって、ギャッ
プの精度を上げることが出来、放電の不均一を解消する
事が可能となる。放電の不均一が解消されると、高濃度
のオゾンを効率よく発生させる事が出来るようになる。
【００２２】以上の発明によれば、接地電極の曲がりを
０．３ｍｍ以下にすることによって、ギャップ長０．３
ｍｍ未満のオゾン発生器において従来より高い濃度のオ
ゾンを発生させることが可能となる。従来、高濃度のオ
ゾンを必要とするガス消費設備を構成する際は、オゾン
を含むガスを圧縮器などを使用して圧縮濃縮を行う事に
よって高濃度のオゾンを得ていた。また、圧縮濃縮を行
うためその構造は圧力容器構造を取る必要があった。本
発明において、接地電極の曲がりが０．３ｍｍ以下の物
を使用する事によって、従来より高いオゾン濃度を発生
させる事ができるため、従来必要であった圧縮器などの
周辺機器が必要なくなる。また、圧力容器構造も回避す
る事が出来るようになるため、設備のコストダウン化が
可能となる。
０．３ｍｍ以下にすることによって、ギャップ長０．３
ｍｍ未満のオゾン発生器において従来より高い濃度のオ
ゾンを発生させることが可能となる。従来、高濃度のオ
ゾンを必要とするガス消費設備を構成する際は、オゾン
を含むガスを圧縮器などを使用して圧縮濃縮を行う事に
よって高濃度のオゾンを得ていた。また、圧縮濃縮を行
うためその構造は圧力容器構造を取る必要があった。本
発明において、接地電極の曲がりが０．３ｍｍ以下の物
を使用する事によって、従来より高いオゾン濃度を発生
させる事ができるため、従来必要であった圧縮器などの
周辺機器が必要なくなる。また、圧力容器構造も回避す
る事が出来るようになるため、設備のコストダウン化が
可能となる。
【図１】本発明の請求項２に対応する高電圧電極の機械
研磨の概念図
研磨の概念図
【図２】本発明の請求項３に対応する高電圧電極または
接地電極のプレス加工の概念図
接地電極のプレス加工の概念図
【図３】接地電極の素管の曲がりとライニング後の曲が
りとの相関図
りとの相関図
【図４】本発明の請求項５に対応するガラスライニング
接地電極の概念図
接地電極の概念図
【図５】本発明の請求項１に対応するオゾン発生特性の
効果を示す図
効果を示す図
【図６】従来の技術の代表例としての両面冷却オゾナイ
ザの断面図
ザの断面図
【図７】図６に示す両面冷却オゾナイザのオゾン発生管
の拡大図
の拡大図
【図８】従来の技術によるギャップ長に対するオゾン発
生特性を示す図
生特性を示す図
【図９】接地電極の曲がりの概念図
【図１０】従来の技術による曲がりに対するオゾン発生
特性を示す図
特性を示す図
１： 胴部 ３： 水ジャケット ５： 接地電極 ６： 高電圧電極 １１： ガス入口 １２： ガス出口 １３： 冷却水入口 １４： 冷却水出口 ２１、２２： 側板 ４１、４２： 支持板 ５１： 金属管 ５２： ガラス誘電体層 ５６： 放電ギャップ ６１： 突起体 ７１： リード線 ７２： 電圧導入端子 ７３： 高周波電源 ８１、８２： パッキン ９１： 冷却配管 ９２： ポンプ ９３： 熱交換器 ９４： イオン交換器 ９５、９６： マニホールド ９７： 絶縁チューブ
Claims (5)
- 【請求項１】両端が開口された筒状をなし内側面に誘電
体層が形成された接地電極と、接地電極の内側に空隙を
介して配置された高電圧電極からなるオゾン発生管と、
オゾン発生管を内蔵する筐体とを備え、酸素を含む原料
ガスの放電によりオゾンを生成するオゾナイザにおい
て、放電ギャップの均一性を向上させる事を特徴とした
オゾナイザ。 - 【請求項２】請求項１に記載の接地電極と高電圧電極か
らなるオゾン発生管と筐体とを備えたオゾナイザにおい
て、高電圧電極表面を機械研磨する事を特徴とするオゾ
ナイザ。 - 【請求項３】請求項１に記載の接地電極と高電圧電極か
らなるオゾン発生管と筐体とを備えたオゾナイザにおい
て、高電圧電極表面を長手方向にプレスする事を特徴と
するオゾナイザ。 - 【請求項４】請求項１に記載の接地電極と高電圧電極か
らなるオゾン発生管と筐体とを備えたオゾナイザにおい
て、接地電極の素管表面を長手方向にプレスする事を特
徴とするオゾナイザ。 - 【請求項５】請求項１に記載の接地電極と高電圧電極か
らなるオゾン発生管と筐体とを備えたオゾナイザにおい
て、接地電極内面にライニングするガラスの厚さを１ｍ
ｍ以下にする事を特徴とするオゾナイザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10191485A JP2000026107A (ja) | 1998-07-07 | 1998-07-07 | オゾナイザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10191485A JP2000026107A (ja) | 1998-07-07 | 1998-07-07 | オゾナイザ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000026107A true JP2000026107A (ja) | 2000-01-25 |
Family
ID=16275437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10191485A Withdrawn JP2000026107A (ja) | 1998-07-07 | 1998-07-07 | オゾナイザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000026107A (ja) |
-
1998
- 1998-07-07 JP JP10191485A patent/JP2000026107A/ja not_active Withdrawn
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